JP6962639B2 - 大スケール表面処理装置を有する垂直マイクロ流体プローブヘッド - Google Patents
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Description
2:被処理表面
5:処理液
7:浸液
10、10a:垂直マイクロ流体プローブヘッド
11、13:外層
11es、13es:外層の縁端面
12:中間層
12es:中間層の縁端面
12ms:主面
14:処理面
15、16:マイクロチャネルキャビティ
17、18:オリフィス
19:外側吸引オリフィス
25、26:チャネル
25、35:液体ディスペンサ
26、36:液体アスピレータ
35、36:液体リザーバ
Claims (19)
- 垂直マイクロ流体プローブヘッドであって、
材料の中間層と、
2つの外層と、
を備え、
前記中間層は、2つの対向する主面を備え、これらの各々に、前記主面の各々に隣接する同じ縁端面に達する溝を切り、前記主面の各々の上に各組のnマイクロチャネルキャビティが前記同じ縁端面を除いて流体連通しない2組のnマイクロチャネルキャビティを形成し、n≧1であり、
前記中間層は、前記2つの外層間に配置され、前記外層は、前記2つの主面上に溝を切った前記マイクロチャネルキャビティを少なくとも部分的に閉鎖して2組のnマイクロチャネルを形成し、これらは各々、前記縁端面上に開口し、その結果、対向する2組のnオリフィスが前記縁端面上に形成される、
垂直マイクロ流体プローブヘッド。 - 前記2つの主面の各々に、前記縁端面に達する複数の溝を切り、n≧2である、請求項1に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記nオリフィスの第1の組の各オリフィスは、前記nオリフィスの第2の組のオリフィスと対面関係にある、請求項1又は請求項2に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記nオリフィスの対向する組の各々は、前記縁端面上にフットプリントを有し、そのフットプリントは、実質的に矩形を形成し、その長さは、前記縁端面上で前記主面の各々に対して平行に測定したとき、1mm以上である、請求項2に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記nオリフィスの第1の組のオリフィスと、前記nオリフィスの第2の組の最も近いオリフィスとの間の間隔は、50μmと1000μmとの間である、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記2つの主面の各々に、前記オリフィスの各々がアスペクト比を有するように溝を切り、これにより、前記対向する組の第1の組の第1のオリフィスと前記対向する組の第2の組の第2のオリフィスとが各々、スリットを形成する、請求項1〜請求項5のいずれかに記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記第1のオリフィス及び前記第2のオリフィスは、それぞれの長さを有し、前記長さは、前記縁端面上で前記主面の各々に平行に測定され、
前記長さは実質的に異なる、
請求項6に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。 - 前記長さのうち最小の長さは、少なくとも50μmに等しい、請求項7に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記長さのうち最長の長さは、少なくとも5cmに等しい、請求項7または請求項8に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記長さは、3.0と5.0との間の係数で異なる、請求項7に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記長さは、4.0に等しい係数で異なる、請求項7に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記nオリフィスの2つの対向する組のオリフィスは、それぞれの幅を有し、前記幅は、前記縁端面上で前記主面の各々に対して垂直に測定され、各々が20μmと200μmとの間である、請求項1〜請求項11のいずれかに記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記オリフィスは、本質的に等しい幅を有する、請求項12に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記中間層は、ウェハ又はウェハの一部である、請求項1〜請求項13のいずれかに記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記ウェハ又はウェハの一部は、シリコンウェハの一部のシリコンウェハである、請求項14に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 前記外層の各々は、前記ウェハ又はウェハの一部に接合されたガラス層である、請求項15に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッド。
- 請求項1〜請求項16のいずれかに記載の垂直マイクロ流体プローブヘッドと、
前記nオリフィスの第1の組のオリフィスを介して液体を分配するように構成された液体ディスペンサと、
前記nオリフィスの第2の組のオリフィスを介して液体を吸引するように構成された液体アスピレータと、
を備える、垂直マイクロ流体プローブ。 - 前記nオリフィスの2つの対向する組のオリフィスと、前記液体ディスペンサと、前記液体アスピレータとが共同的に設計され、システムが、動作時、前記nオリフィスの第2の組のオリフィスを介して、前記nオリフィスの第1の組のオリフィスを通って分配された液体を吸引するようになっている、請求項17に記載の垂直マイクロ流体プローブ。
- 請求項1に記載の垂直マイクロ流体プローブヘッドで表面を処理するための方法であって、
前記マイクロ流体プローブヘッドを処理される表面に前記縁端面が面するように位置決めすることと、
前記nオリフィスの第1の組の各オリフィスを介して処理液を分配して、前記分配された処理液で前記表面を処理することと、
前記nオリフィスの第1の組の各オリフィスとは同じ前記縁端面を除いて流体連通しない前記nオリフィスの第2の組の各オリフィスを介して液体を吸引することと、
を含む、方法。
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