JP6961422B2 - probe - Google Patents

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Description

本発明は、被検査体の特性の測定に使用されるプローブに関する。 The present invention relates to a probe used for measuring the characteristics of an object to be inspected.

集積回路などの特性をウェハから分離しない状態で測定するために、プローブが用いられている。プローブを用いた検査では、プローブの一方の端部を被検査体に接触させ、プローブの他方の端部を、基板に配置されてテスタと電気的に接続された端子（以下において「ランド」という。）に接触させる。 A probe is used to measure the characteristics of integrated circuits and the like without separating them from the wafer. In inspection using a probe, one end of the probe is brought into contact with the object to be inspected, and the other end of the probe is placed on a substrate and electrically connected to a tester (hereinafter referred to as "land"). .).

検査での被検査体やランドとプローブとの電気的な接続を確保するために、弾性変形するように構成されたプローブが使用されている。例えば、特許文献１に、側面にスリット状の切り込みを形成して弾性変形するバネ部をプローブに設ける構造が用いられている。 In order to secure the electrical connection between the probe or the object to be inspected in the inspection, the probe is configured to be elastically deformed. For example, Patent Document 1 uses a structure in which a probe is provided with a spring portion that is elastically deformed by forming a slit-shaped notch on a side surface.

特開２０１０−２８１５８３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-281583

しかしながら、切り込みによりバネ部を形成したプローブにおいては、プローブに流れる電流により生じるジュール熱によってバネ部にヘタリが生じる。ヘタリが生じると、被検査体やランドとプローブとの接触が弱くなり、プローブに流せる電流の許容値（以下において「許容電流値」という。）が低下するという問題が生じていた。 However, in a probe in which a spring portion is formed by cutting, Joule heat generated by a current flowing through the probe causes the spring portion to settle. When the settling occurs, the contact between the object to be inspected or the land and the probe becomes weak, and there is a problem that the allowable value of the current that can be passed through the probe (hereinafter referred to as "allowable current value") decreases.

上記問題点に鑑み、本発明は、バネ部のヘタリに起因する許容電流値の低下を抑制できるプローブを提供することを目的とする。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a probe capable of suppressing a decrease in the allowable current value due to the settling of the spring portion.

本発明の一態様によれば、側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されたコイルバネ形状のバネ部を有する管形状のバレルと、バレルの端部の開口端から先端部が露出した状態でバレルに接合された棒形状のプランジャーとを備え、バレルのバネ部が、導電性を有する基体と、基体よりも熱伝導率の高い材料からなり、基体に接触する放熱材とを有し、放熱材は、コイルバネ形状のバネ部のみに配置されているプローブが提供される。 According to one aspect of the present invention, a tube-shaped barrel having a coil spring-shaped spring portion formed with a spiral notch penetrating a side surface, and a barrel in a state where the tip portion is exposed from the opening end of the end portion of the barrel. and a plunger joined rod shape, the spring portion of the barrel, a substrate having conductivity, made of a material having a high thermal conductivity than the substrate, have a heat radiating member in contact with the substrate, heat radiation As the material, a probe is provided which is arranged only in the spring portion in the shape of a coil spring.

本発明によれば、バネ部のヘタリに起因する許容電流値の低下を抑制できるプローブを提供できる。 According to the present invention, it is possible to provide a probe capable of suppressing a decrease in the allowable current value due to the settling of the spring portion.

本発明の第１の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the probe which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図２（ａ）は側面図、図２（ｂ）は図２（ａ）のＩＩ−ＩＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the barrel of the probe which concerns on 1st Embodiment of this invention, FIG. 2A is a side view, FIG. 2B is along the II-II direction of FIG. 2A. It is a cross-sectional view. 本発明の第１の実施形態の変形例に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図３（ａ）は側面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＩＩＩ−ＩＩＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the barrel of the probe which concerns on the modification of 1st Embodiment of this invention, FIG. 3A is a side view, FIG. 3B is a direction III-III of FIG. 3A. It is a cross-sectional view along. 本発明の第１の実施形態の変形例に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式的な断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on the modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１の実施形態の変形例に係るプローブのバレルの更に他の構成を示す模式的な断面図である。It is a schematic cross-sectional view which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on the modification of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第２の実施形態に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図６（ａ）は側面図、図６（ｂ）は図６（ａ）のＶＩ−ＶＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the barrel of the probe which concerns on 2nd Embodiment of this invention, FIG. 6 (a) is a side view, and FIG. 6 (b) is along the VI-VI direction of FIG. 6 (a). It is a cross-sectional view. 本発明の第２の実施形態に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図７（ａ）は側面図、図７（ｂ）は図７（ａ）のＶＩＩ−ＶＩＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on 2nd Embodiment of this invention, FIG. 7A is a side view, FIG. 7B is a VII-VII direction of FIG. 7A. It is a cross-sectional view along. 本発明の第２の実施形態に係るプローブのバレルの更に他の構成を示す模式図であり、図８（ａ）は側面図、図８（ｂ）は図８（ａ）のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on 2nd Embodiment of this invention, FIG. 8A is a side view, FIG. 8B is a VIII-VIII direction of FIG. 8A. It is a cross-sectional view along. 本発明の第２の実施形態に係るプローブのバレルの更に他の構成を示す模式図であり、図９（ａ）は側面図、図９（ｂ）は図９（ａ）のＩＸ−ＩＸ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on 2nd Embodiment of this invention, FIG. 9A is a side view, FIG. 9B is an IX-IX direction of FIG. 9A. It is a cross-sectional view along. 本発明の第２の実施形態の変形例に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図１０（ａ）は側面図、図１０（ｂ）は図１０（ａ）のＸ−Ｘ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the barrel of the probe which concerns on the modification of 2nd Embodiment of this invention, FIG. 10A is a side view, FIG. It is a cross-sectional view along. 本発明の第３の実施形態に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図１１（ａ）は側面図、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＸＩ−ＸＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the barrel of the probe which concerns on 3rd Embodiment of this invention, FIG. 11A is a side view, and FIG. 11B is along the XI-XI direction of FIG. 11A. It is a cross-sectional view. 本発明の第３の実施形態に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図１２（ａ）は側面図、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＸＩＩ−ＸＩＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic view which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on 3rd Embodiment of this invention, FIG. It is a cross-sectional view along. 本発明の第４の実施形態に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図１３（ａ）は側面図、図１３（ｂ）は図１３（ａ）のＸＩＩＩ−ＸＩＩＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the barrel of the probe which concerns on 4th Embodiment of this invention, FIG. 13A is a side view, and FIG. 13B is along the XIII-XIII direction of FIG. It is a cross-sectional view. 本発明の第４の実施形態に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図１４（ａ）は側面図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＸＩＶ−ＸＩＶ方向に沿った断面図である。It is a schematic view which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on 4th Embodiment of this invention, FIG. 14A is a side view, FIG. It is a cross-sectional view along. 本発明の第５の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the probe which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第５の実施形態に係るプローブのバレルの構成を示す模式図であり、図１６（ａ）は側面図、図１６（ｂ）は図１６（ａ）のＸＶＩ−ＸＶＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the structure of the barrel of the probe which concerns on 5th Embodiment of this invention, FIG. It is a cross-sectional view. 本発明の第５の実施形態に係るプローブのバレルの他の構成を示す模式図であり、図１７（ａ）は側面図、図１７（ｂ）は図１７（ａ）のＸＶＩＩ−ＸＶＩＩ方向に沿った断面図である。It is a schematic diagram which shows the other structure of the barrel of the probe which concerns on 5th Embodiment of this invention, FIG. 17A is a side view, FIG. It is a cross-sectional view along.

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の長さや厚みの比率などは現実のものとは異なる。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the description of the drawings below, the same or similar parts are designated by the same or similar reference numerals. However, the drawings are schematic, and the length and thickness ratio of each part are different from the actual ones. In addition, there are parts in which the relations and ratios of the dimensions of the drawings are different from each other.

（第１の実施形態）
本発明の第１の実施形態に係るプローブは、図１に示すように、側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されたコイルバネ形状のバネ部を有する管形状のバレル１０と、バレル１０の端部の開口端から先端部が露出した状態でバレルに接合された棒形状のプランジャー２０を備える。バレル１０のバネ部は、導電性を有する基体１１と、基体１１よりも熱伝導率の高い材料からなり、基体１１に接触する放熱材１２を有する。 (First Embodiment)
As shown in FIG. 1, the probe according to the first embodiment of the present invention has a tube-shaped barrel 10 having a coil spring-shaped spring portion having a spiral notch formed through a side surface, and an end of the barrel 10. A rod-shaped plunger 20 joined to the barrel with the tip portion exposed from the open end of the portion is provided. The spring portion of the barrel 10 is made of a conductive base 11 and a material having a higher thermal conductivity than the base 11, and has a heat radiating material 12 that comes into contact with the base 11.

図１に示したプローブは、バレル１０の両端部の開口端からそれぞれ先端部が露出した状態でバレル１０に接合された、２つのプランジャー２０を備える。接合部３０において、バレル１０の内部に挿入されたプランジャー２０の挿入部とバレル１０とが接合されている。バレル１０とプランジャー２０とは、スポット溶接によって溶接してもよいし、接着材によって接着してもよい。なお、プローブの全体を示す図１では、プランジャー２０のバレル１０の内部に挿入された部分の図示を省略している（以下において同様。）。 The probe shown in FIG. 1 includes two plungers 20 joined to the barrel 10 with their tips exposed from the open ends of both ends of the barrel 10. At the joint portion 30, the insertion portion of the plunger 20 inserted inside the barrel 10 and the barrel 10 are joined. The barrel 10 and the plunger 20 may be welded by spot welding or may be bonded by an adhesive. In FIG. 1, which shows the entire probe, the portion inserted inside the barrel 10 of the plunger 20 is not shown (the same applies hereinafter).

プローブは、例えば被検査体の電気的特性を判断する際に使用される。即ち、一方のプランジャー２０の先端部は被検査体に接触し、他方のプランジャー２０の先端部は配線基板などのランドと接触する。 The probe is used, for example, in determining the electrical properties of the subject to be inspected. That is, the tip of one plunger 20 comes into contact with the object to be inspected, and the tip of the other plunger 20 comes into contact with a land such as a wiring board.

被検査体の電気的特性を検査するために、バレル１０とプランジャー２０には導電性材料が使用される。例えば、バレル１０にニッケル（Ｎｉ）材などが使用され、プランジャー２０にＡｇＰｄＣｕ材などが使用される。 A conductive material is used for the barrel 10 and the plunger 20 to inspect the electrical properties of the object to be inspected. For example, a nickel (Ni) material or the like is used for the barrel 10, and an AgPdCu material or the like is used for the plunger 20.

バレル１０の一部がコイルバネ形状になっているため、バレル１０は軸方向に伸縮自在である。したがって、適切な押圧でプランジャー２０を被検査体や配線基板と接触させることができる。即ち、プローブを強く被検査体に押し付けるようにオーバードライブ（ＯＤ）をかけられる。また、プローブを弾性変形させることによってプローブとランドにプリロードをかけることができる。なお、例えばフォトリソグラフィ技術などを用いて、バレル１０に切り込みをエッチングによって形成することができる。 Since a part of the barrel 10 has a coil spring shape, the barrel 10 can be expanded and contracted in the axial direction. Therefore, the plunger 20 can be brought into contact with the object to be inspected or the wiring board with appropriate pressing. That is, overdrive (OD) is applied so as to strongly press the probe against the object to be inspected. In addition, the probe and land can be preloaded by elastically deforming the probe. A notch can be formed in the barrel 10 by etching using, for example, a photolithography technique.

プローブの使用時には、プローブを介して被検査体に電流が流れる。このときプローブに発生するジュール熱によって、バレル１０に形成したバネ部にヘタリ（熱ヘタリ）が生じることが想定される。バネ部にヘタリが生じると、被検査体やランドに接触するプローブの針圧が低下し、プローブの許容電流値が低下する。そのため、被検査体に流せる電流の大きさに限界が生じ、被検査体の十分な検査ができない事態が生じ得る。 When the probe is used, an electric current flows through the probe to the object to be inspected. At this time, it is assumed that the Joule heat generated in the probe causes settling (heat settling) in the spring portion formed in the barrel 10. When the spring portion is settled, the stylus pressure of the probe in contact with the object to be inspected or the land decreases, and the allowable current value of the probe decreases. Therefore, there is a limit to the magnitude of the current that can be passed through the object to be inspected, and a situation may occur in which the object to be inspected cannot be sufficiently inspected.

これに対し、図１に示したプローブでは、バレル１０のバネ部に放熱材１２が配置されている。この放熱材１２が熱伝導経路となり、バネ部に生じるジュール熱を放熱材１２での熱伝導によってバネ部の外部に放熱することができる。したがって、バネ部のヘタリの発生が抑制され、プローブの許容電流値は低下しない。 On the other hand, in the probe shown in FIG. 1, the heat radiating material 12 is arranged in the spring portion of the barrel 10. The heat radiating material 12 serves as a heat conduction path, and Joule heat generated in the spring portion can be radiated to the outside of the spring portion by heat conduction in the heat radiating material 12. Therefore, the occurrence of settling of the spring portion is suppressed, and the allowable current value of the probe does not decrease.

なお、被検査体の検査時に電流をバレル１０に流すため、放熱材１２が導電性を有することが好ましい。例えば、放熱材１２には、金（Ａｕ）、銀（Ａｇ），銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）などが好適に使用される。バネ部の全体を導電性の材料にすることにより、プローブの許容電流値が増大する。 Since the current flows through the barrel 10 when the object to be inspected is inspected, it is preferable that the heat radiating material 12 has conductivity. For example, gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), aluminum (Al) and the like are preferably used as the heat radiating material 12. By using a conductive material for the entire spring portion, the allowable current value of the probe is increased.

図２（ａ）及び図２（ｂ）に、図１に示したプローブのバネ部の拡大図を示す。図２（ａ）及び図２（ｂ）に示したプローブでは、放熱材１２が、基体１１に周囲を囲まれて基体１１の内部に埋め込まれている。放熱材１２は、基体１１と同様に螺旋状に延伸する。 2 (a) and 2 (b) show an enlarged view of the spring portion of the probe shown in FIG. In the probes shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b), the heat radiating material 12 is surrounded by the base 11 and embedded inside the base 11. The heat radiating material 12 is spirally stretched like the substrate 11.

なお、バレル１０の両端部の開口端で放熱材１２の端部が露出するように、放熱材１２をバレル１０の内部に連続的に埋め込むことが好ましい。放熱材１２の端部をバレル１０の外側に露出させることにより、バネ部で発生したジュール熱が効率的にバレル１０の外部に放出される。 It is preferable that the heat radiating material 12 is continuously embedded inside the barrel 10 so that the ends of the heat radiating material 12 are exposed at the open ends of both ends of the barrel 10. By exposing the end portion of the heat radiating material 12 to the outside of the barrel 10, the Joule heat generated in the spring portion is efficiently released to the outside of the barrel 10.

＜変形例＞
図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、基体１１の延伸方向に垂直な幅方向に互いに離間して配置された複数の放熱材１２を、基体１１の内部に配置してもよい。これにより、基体１１の断面積の減少を抑制しつつ、バネ部の全体の放熱が行われる。なお、２列の放熱材１２がコイル部に沿って平行に延伸する例を示したが、３列以上の放熱材１２を基体１１の内部に配置してもよい。 <Modification example>
As shown in FIGS. 3 (a) and 3 (b), even if a plurality of heat radiating materials 12 arranged apart from each other in the width direction perpendicular to the stretching direction of the base 11 are arranged inside the base 11. good. As a result, heat is dissipated from the entire spring portion while suppressing a decrease in the cross-sectional area of the substrate 11. Although an example is shown in which two rows of heat radiating materials 12 are stretched in parallel along the coil portion, three or more rows of heat radiating materials 12 may be arranged inside the substrate 11.

また、図４に示すように、複数の放熱材１２を基体１１の膜厚方向に積層してもよい。図４は、図２（ｂ）と同様の方向から見たバネ部の断面図である。これにより、バネ部の内部に満遍なく放熱材１２を配置できる。このとき、図４に示すようにコイル部の側面に放熱材１２を露出させることにより、バレル１０の基体１１で発生したジュール熱をプローブの周囲に放出することができる。更に、図５に示すように、基体１１の内部に積層された放熱材１２を連結させてもよい。 Further, as shown in FIG. 4, a plurality of heat radiating materials 12 may be laminated in the film thickness direction of the substrate 11. FIG. 4 is a cross-sectional view of the spring portion viewed from the same direction as in FIG. 2 (b). As a result, the heat radiating material 12 can be evenly arranged inside the spring portion. At this time, by exposing the heat radiating material 12 on the side surface of the coil portion as shown in FIG. 4, the Joule heat generated in the base 11 of the barrel 10 can be released to the periphery of the probe. Further, as shown in FIG. 5, the heat radiating material 12 laminated inside the substrate 11 may be connected.

以上に説明したように、本発明の第１の実施形態に係るプローブによれば、バネ部で発生したジュール熱が放熱材１２を伝わって速やかにバネ部以外に放熱される。このため、バネ部の温度上昇が抑制される。その結果、バネ部のヘタリが発生せず、プローブの許容電流値の減少を抑制することができる。 As described above, according to the probe according to the first embodiment of the present invention, the Joule heat generated in the spring portion is quickly dissipated to other than the spring portion by being transmitted through the heat radiating material 12. Therefore, the temperature rise of the spring portion is suppressed. As a result, the spring portion does not settle, and the decrease in the allowable current value of the probe can be suppressed.

（第２の実施形態）
本発明の第２の実施形態に係るプローブは、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、バレル１０の基体１１に埋め込まれた放熱材１２の一部が、バネ部でバレル１０の表面に露出している。つまり、放熱材１２の全体が基体１１に囲まれていない点が第１の実施形態と異なり、他は図１に示したプローブと同様である。 (Second Embodiment)
In the probe according to the second embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), a part of the heat radiating material 12 embedded in the base 11 of the barrel 10 is a barrel at a spring portion. It is exposed on the surface of 10. That is, unlike the first embodiment, the heat radiating material 12 is not entirely surrounded by the substrate 11, and other than that, it is the same as the probe shown in FIG.

図６（ａ）及び図６（ｂ）に示したプローブでは、バネ部において基体１１の幅方向の中央に埋め込まれた放熱材１２が、コイル部に沿って螺旋状に配置されている。第２の実施形態に係るプローブによれば、バネ部の表面に放熱材１２を露出させることにより、バネ部で生じたジュール熱を効率よくプローブの周囲に放熱させることができる。 In the probes shown in FIGS. 6 (a) and 6 (b), the heat radiating material 12 embedded in the center of the base 11 in the width direction in the spring portion is spirally arranged along the coil portion. According to the probe according to the second embodiment, by exposing the heat radiating material 12 on the surface of the spring portion, the Joule heat generated in the spring portion can be efficiently dissipated to the periphery of the probe.

図６（ａ）及び図６（ｂ）では、バネ部の全体に放熱材１２が連続的に配置されている例を示したが、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、コイル部の延伸する方向に沿って複数の放熱材１２が離間して配置されていてもよい。図７（ａ）に示した例では、放熱材１２が離間して一列に配列されている。 6 (a) and 6 (b) show an example in which the heat radiating material 12 is continuously arranged over the entire spring portion, but as shown in FIGS. 7 (a) and 7 (b). , A plurality of heat radiating materials 12 may be arranged apart from each other along the extending direction of the coil portion. In the example shown in FIG. 7A, the heat radiating materials 12 are arranged in a row at intervals.

また、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、基体１１の幅方向に離間して平行に配置された複数の放熱材１２を、コイル部に沿って延伸させてもよい。或いは、図９（ａ）及び図９（ｂ）に示すように、平行に延伸する複数の放熱材１２のそれぞれを、延伸する方向に沿って離間して配置してもよい。図９（ａ）に示した例では、コイル部に沿って離間して配置された放熱材１２が二列に配列されている。 Further, as shown in FIGS. 8A and 8B, a plurality of heat radiating materials 12 arranged in parallel at intervals in the width direction of the substrate 11 may be stretched along the coil portion. Alternatively, as shown in FIGS. 9A and 9B, the plurality of heat radiating materials 12 to be stretched in parallel may be arranged apart from each other along the stretching direction. In the example shown in FIG. 9A, the heat radiating materials 12 arranged apart from each other along the coil portion are arranged in two rows.

本発明の第２の実施形態に係るプローブによれば、放熱材１２の一部をバネ部の表面に露出させることにより、バネ部で発生したジュール熱をプローブの周囲に効率的に放熱することができる。このため、バネ部のヘタリが発生せず、プローブの許容電流値の減少を抑制することができる。他は、第１の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。 According to the probe according to the second embodiment of the present invention, by exposing a part of the heat radiating material 12 to the surface of the spring portion, Joule heat generated in the spring portion is efficiently radiated to the periphery of the probe. Can be done. Therefore, the spring portion does not settle, and the decrease in the allowable current value of the probe can be suppressed. Others are substantially the same as those in the first embodiment, and duplicate description will be omitted.

＜変形例＞
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）に示した第２の実施形態の変形例に係るプローブでは、基体１１に周囲を囲まれて基体１１の内部に埋め込まれた放熱材１２と、一部がバレル１０の表面に露出した放熱材１２とが、バネ部で基体１１の膜厚方向に積層されている。図１０（ａ）に示した例では、それぞれの放熱材１２をコイル部に沿って延伸するように配置している。また、図１０（ｂ）に示すように、基体１１の内部に埋め込まれた放熱材１２とバレル１０の表面に露出した放熱材１２とは、積層方向に沿って重ねずに幅方向にずらして配置されている。 <Modification example>
In the probe according to the modified example of the second embodiment shown in FIGS. 10 (a) and 10 (b), the heat radiating material 12 surrounded by the base 11 and embedded inside the base 11 and a part thereof. The heat radiating material 12 exposed on the surface of the barrel 10 is laminated at the spring portion in the film thickness direction of the substrate 11. In the example shown in FIG. 10A, each heat radiating material 12 is arranged so as to extend along the coil portion. Further, as shown in FIG. 10B, the heat radiating material 12 embedded in the substrate 11 and the heat radiating material 12 exposed on the surface of the barrel 10 are shifted in the width direction without overlapping along the stacking direction. Have been placed.

（第３の実施形態）
本発明の第３の実施形態に係るプローブは、図１１（ａ）及び図１１（ｂ）に示すように、放熱材１２が、バネ部で基体１１の表面に全体が露出して配置されている。つまり、放熱材１２が基体１１に埋め込まれた部分を有さない点が第１及び第２の実施形態と異なり、他は図１に示したプローブと同様である。 (Third Embodiment)
In the probe according to the third embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 11A and 11B, the heat radiating material 12 is arranged by the spring portion so as to be entirely exposed on the surface of the substrate 11. There is. That is, unlike the first and second embodiments, the heat radiating material 12 does not have a portion embedded in the substrate 11, and other points are the same as those of the probe shown in FIG.

図１１（ａ）及び図１１（ｂ）にはコイル部の外部に向いた外表面にのみ放熱材１２を配置する例を示した。しかし、図１２（ａ）及び図１２（ｂ）に示すように、コイル部の側面にも放熱材１２を配置してもよい。 11 (a) and 11 (b) show an example in which the heat radiating material 12 is arranged only on the outer surface of the coil portion facing the outside. However, as shown in FIGS. 12 (a) and 12 (b), the heat radiating material 12 may also be arranged on the side surface of the coil portion.

放熱材１２を基体１１の表面に配置することによって、バネ部で生じたジュール熱をプローブの周囲に放熱させることができる。このため、バネ部のヘタリが発生せず、プローブの許容電流値の減少を抑制することができる。他は、第１及び第２の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。 By arranging the heat radiating material 12 on the surface of the substrate 11, Joule heat generated in the spring portion can be radiated to the periphery of the probe. Therefore, the spring portion does not settle, and the decrease in the allowable current value of the probe can be suppressed. Others are substantially the same as those of the first and second embodiments, and duplicate description is omitted.

（第４の実施形態）
本発明の第４の実施形態に係るプローブは、図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、放熱材１２が、バネ部で基体１１の表面に全体が露出して配置された表面領域１２１、及び、表面領域１２１と一部が接触して基体１１に埋め込まれた埋込領域１２２を有する。つまり、基体１１に埋め込まれた放熱材１２が、バレル１０の表面に配置された放熱材１２と一体化されている点が第１〜第３の実施形態と異なる。 (Fourth Embodiment)
In the probe according to the fourth embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 13 (a) and 13 (b), the heat radiating material 12 is arranged so that the entire surface of the substrate 11 is exposed by the spring portion. It has a surface region 121 and an embedded region 122 that is partially in contact with the surface region 121 and embedded in the substrate 11. That is, it differs from the first to third embodiments in that the heat radiating material 12 embedded in the substrate 11 is integrated with the heat radiating material 12 arranged on the surface of the barrel 10.

放熱材１２の表面領域１２１と埋込領域１２２は、コイル部に沿って螺旋状に延伸して配置されている。なお、図１４（ａ）及び図１４（ｂ）に示すように、平行に延伸する複数の埋込領域１２２を基体１１に埋め込んだ構成にしてもよい。 The surface region 121 and the embedded region 122 of the heat radiating material 12 are arranged so as to extend spirally along the coil portion. As shown in FIGS. 14 (a) and 14 (b), a plurality of embedded regions 122 extending in parallel may be embedded in the substrate 11.

第４の実施形態に係るプローブによれば、バレル１０のバネ部で発生したジュール熱を、速やかにバネ部以外に放熱することができる。なお、図１３（ｂ）に示すように、コイル部の外表面のみに表面領域１２１を配置してもよいし、図１４（ｂ）に示すように、コイル部の外表面と側面に表面領域１２１を配置してもよい。他は、第１〜第３の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。 According to the probe according to the fourth embodiment, the Joule heat generated in the spring portion of the barrel 10 can be quickly dissipated to other than the spring portion. As shown in FIG. 13B, the surface region 121 may be arranged only on the outer surface of the coil portion, or as shown in FIG. 14B, the surface regions may be arranged on the outer surface and the side surface of the coil portion. 121 may be arranged. Others are substantially the same as those of the first to third embodiments, and duplicate description is omitted.

（第５の実施形態）
本発明の第５の実施形態に係るプローブは、図１５に示すように、バレル１０のバネ部の最も外側に絶縁材料からなる絶縁層４０が配置されている。このため、仮に隣接するプローブ同士が接触しても、プローブ同士は絶縁層４０によって電気的に絶縁されるためにプローブ間のショートを抑制できる。他は、図１に示したプローブと同様である。 (Fifth Embodiment)
In the probe according to the fifth embodiment of the present invention, as shown in FIG. 15, an insulating layer 40 made of an insulating material is arranged on the outermost side of the spring portion of the barrel 10. Therefore, even if adjacent probes come into contact with each other, the probes are electrically insulated by the insulating layer 40, so that a short circuit between the probes can be suppressed. Others are similar to the probe shown in FIG.

例えば図１６（ａ）〜図１６（ｂ）に示すように、バレル１０のコイル部の外側に向いた外表面１０１のみに絶縁層４０を配置する。或いは、図１７（ａ）〜図１７（ｂ）に示すように、コイル部の外表面１０１と側面１０２に絶縁層４０を配置してもよい。図１６（ａ）に示す構造によれば、バネ部に絶縁層４０を容易に形成することができる。一方、図１７（ａ）に示す構造によれば、より確実にプローブ間のショートを抑制できる。 For example, as shown in FIGS. 16A to 16B, the insulating layer 40 is arranged only on the outer surface 101 facing the outside of the coil portion of the barrel 10. Alternatively, as shown in FIGS. 17 (a) to 17 (b), the insulating layer 40 may be arranged on the outer surface 101 and the side surface 102 of the coil portion. According to the structure shown in FIG. 16A, the insulating layer 40 can be easily formed on the spring portion. On the other hand, according to the structure shown in FIG. 17A, short-circuiting between probes can be suppressed more reliably.

なお、図１１や図１３に示すプローブのように基体１１の表面に放熱材１２が配置される場合には、放熱材１２の外側に絶縁層４０を配置する。他は、第１〜第４の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。 When the heat radiating material 12 is arranged on the surface of the substrate 11 as in the probe shown in FIGS. 11 and 13, the insulating layer 40 is arranged outside the heat radiating material 12. Others are substantially the same as those of the first to fourth embodiments, and duplicate description is omitted.

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。 (Other embodiments)
Although the present invention has been described by embodiment as described above, the statements and drawings that form part of this disclosure should not be understood to limit the invention. Various alternative embodiments, examples and operational techniques will be apparent to those skilled in the art from this disclosure.

例えば、放熱材１２の材料は基体１１よりも熱伝導率の高い材料であるが、更に、放熱材１２の硬度を基体１１の硬度よりも高くしてもよい。例えば、バレル１０の基体１１がＮｉ材である場合に、Ｎｉ材よりも硬度の高い材料の放熱材１２を使用する。これにより、バレル１０の剛性が高くなり、バネ部のヘタリを抑制することができる。その結果、プローブの許容電流値の低下を抑制できるとともに、隣接するプローブ間のショートを防止できる。 For example, the material of the heat radiating material 12 is a material having a higher thermal conductivity than the base 11, but the hardness of the heat radiating material 12 may be higher than the hardness of the base 11. For example, when the base 11 of the barrel 10 is made of Ni material, the heat radiating material 12 made of a material having a hardness higher than that of the Ni material is used. As a result, the rigidity of the barrel 10 is increased, and the settling of the spring portion can be suppressed. As a result, it is possible to suppress a decrease in the allowable current value of the probe and prevent a short circuit between adjacent probes.

また、上記ではバレル１０の両端部にプランジャー２０が装着されたプローブの例を説明したが、バレル１０の一方の端部のみにプランジャー２０が装着され、バレル１０の他方の端部がランドなどに接触するプローブでも、本発明は適用可能である。 Further, although the example of the probe in which the plunger 20 is attached to both ends of the barrel 10 has been described above, the plunger 20 is attached to only one end of the barrel 10 and the other end of the barrel 10 is a land. The present invention can also be applied to a probe that comes into contact with such as.

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。 As described above, it goes without saying that the present invention includes various embodiments not described here. Therefore, the technical scope of the present invention is defined only by the matters specifying the invention relating to the reasonable claims from the above description.

１０…バレル
１１…基体
１２…放熱材
２０…プランジャー
３０…接合部
４０…絶縁層 10 ... Barrel 11 ... Base 12 ... Heat dissipation material 20 ... Plunger 30 ... Joint 40 ... Insulation layer

Claims (11)

側面を貫通する螺旋状の切り込みが形成されたコイルバネ形状のバネ部を有する管形状のバレルと、
前記バレルの端部の開口端から先端部が露出した状態で前記バレルに接合された棒形状のプランジャーと
を備え、
前記バレルの前記バネ部が、
導電性を有する基体と、
前記基体よりも熱伝導率の高い材料からなり、前記基体に接触する放熱材と
を有し、
前記放熱材は、コイルバネ形状の前記バネ部のみに配置されている
ことを特徴とするプローブ。 A tube-shaped barrel with a coil spring-shaped spring with a spiral notch that penetrates the side surface,
A rod-shaped plunger joined to the barrel with the tip exposed from the open end of the barrel end is provided.
The spring portion of the barrel
With a conductive substrate
Wherein becomes a high thermal conductivity material than the base body, it has a heat radiating member in contact with the substrate,
The probe is characterized in that the heat radiating material is arranged only in the spring portion having a coil spring shape. 前記放熱材が、前記基体に周囲を囲まれて前記基体の内部に埋め込まれていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。 The probe according to claim 1, wherein the heat radiating material is surrounded by the substrate and embedded inside the substrate. 前記バレルの端部の前記開口端で前記放熱材の端部が露出するように、前記放熱材が前記バレルの内部に連続的に埋め込まれていることを特徴とする請求項２に記載のプローブ。 The probe according to claim 2, wherein the heat radiating material is continuously embedded inside the barrel so that the end portion of the heat radiating material is exposed at the opening end of the barrel end portion. .. 複数の前記放熱材が、前記基体の膜厚方向に積層されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のプローブ。 The probe according to claim 2 or 3, wherein a plurality of the heat radiating materials are laminated in the film thickness direction of the substrate. 前記基体に埋め込まれた前記放熱材の表面の一部が、前記バレルの表面に露出していることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。 The probe according to claim 1, wherein a part of the surface of the heat radiating material embedded in the substrate is exposed on the surface of the barrel. 前記基体に周囲を囲まれて前記基体の内部に埋め込まれた前記放熱材と、表面の一部が前記バレルの表面に露出した前記放熱材とが、前記バネ部で前記基体の膜厚方向に積層されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。 The heat radiating material surrounded by the substrate and embedded inside the substrate and the heat radiating material whose surface is partially exposed on the surface of the barrel are formed by the spring portion in the film thickness direction of the substrate. The probe according to claim 1, wherein the probe is laminated. 前記放熱材が、前記基体の表面に全体が露出して配置されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ。 The probe according to claim 1, wherein the heat radiating material is arranged so as to be entirely exposed on the surface of the substrate. 前記放熱材が、前記基体の表面に全体が露出して配置された表面領域、及び前記表面領域と一部が接触して前記基体に埋め込まれた埋込領域を有することを特徴とする請求項１に記載のプローブ。 The claim is characterized in that the heat radiating material has a surface region which is entirely exposed on the surface of the substrate and an embedded region which is partially in contact with the surface region and embedded in the substrate. The probe according to 1. 前記放熱材が導電性を有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のプローブ。 The probe according to any one of claims 1 to 8, wherein the heat radiating material has conductivity. 前記放熱材の硬度が前記基体の硬度よりも高いことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のプローブ。 The probe according to any one of claims 1 to 9, wherein the hardness of the heat radiating material is higher than the hardness of the substrate. 前記バネ部の最も外側に絶縁材料からなる絶縁層が配置されていることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のプローブ。 The probe according to any one of claims 1 to 10, wherein an insulating layer made of an insulating material is arranged on the outermost side of the spring portion.
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