JP6961342B2 - ポリイミド樹脂およびポジ型感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
本発明のポリイミド樹脂は、5モル%以上20モル%以下のカルボキシル基を有する繰り返し単位と、80モル%以上95モル%以下のフェノール性水酸基を有する繰り返し単位と、(ただし、カルボキシル基を有する繰り返し単位と、フェノール性水酸基を有する繰り返し単位との合計は100モル%)を含む。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物は、上記本発明のポリイミド樹脂と、ポリイミド樹脂100質量部に対して、1質量部以上50質量部以下の光酸発生剤と、を含むことが好ましい。ポリイミド樹脂は、単独でもまたは2種以上組み合わせても用いることができる。ポリイミド樹脂については、上記で詳述したため、下記では光酸発生剤やその他の成分について説明する。
本発明のポジ型感光性樹脂組成物で用いられる光酸発生剤としては、たとえば、キノンジアジド化合物、オニウム塩、ハロゲン含有化合物などが挙げられる。中でも、溶剤溶解性、保存安定性、高感度等の観点から、キノンジアジド化合物が好ましい。光酸発生剤は、単独でもまたは2種以上組み合わせて用いてもよい。
本発明の組成物は、架橋剤を含むことが好ましい。架橋剤を含むことにより、機械的強度や基板密着性を向上させることができる。該架橋剤は、単独でもまたは2種以上組み合わせても用いることができる。また、該架橋剤は、市販品を用いてもよいし、合成品を用いてもよい。
本発明の組成物は、ノボラック樹脂を含むことが好ましい。ノボラック樹脂を含むことにより、現像性および解像性が向上する。ノボラック樹脂としては、公知のノボラック樹脂を適宜選択して用いることができる。具体的には、たとえば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、t−ブチルフェノールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエンクレゾールノボラック樹脂、ジシクロペンタジエンフェノールノボラック樹脂、キシリレン変性フェノールノボラック樹脂、テトラキスフェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ポリ−p−ビニルフェノール樹脂などが挙げられる。
本発明の組成物は、界面活性剤を含むことが好ましい。界面活性剤を含むことにより、組成物の塗布性や塗布膜の面内均一性、平滑性等が向上する。
本発明の組成物は、必要に応じて、感光特性に影響しない程度に、着色剤、フィラー、光増感剤、アルカリ溶解促進剤、密着助剤、消泡剤、レベリング剤等のその他の添加剤を添加することができる。
本発明の組成物の製造方法は、特に制限はなく、通常は、上記の成分を攪拌混合することにより得ることができる。塗布性向上のために適宜有機溶媒を使用してもよい。混合方法にも特に制限はなく、たとえば、紫外光を遮光した部屋で、室温(20℃以上40℃以下)で、液体内が均一になるまで十分に攪拌混合すればよい。攪拌混合後に、濾過を行ってもよい。
本発明の組成物を用いて、硬化膜またはパターンを有する硬化膜(パターン硬化膜)を製造することができる。
(a)本発明のポジ型感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層を基板上に形成する工程、
(b)該感光性樹脂層を露光する工程、
(c)現像液により露光部を除去してパターンを得る工程、および
(d)該パターンを加熱する工程。
この工程では、本発明の組成物を、基板上にスピンコーターを用いた回転塗布、またはダイコーターもしくはロールコーター等のコーターにより塗布する。その後、これをオーブンやホットプレートを用いて、好ましくは50℃以上140℃以下の温度で乾燥して溶媒を除去して、感光性樹脂層を形成する。膜厚の均一な塗布膜を得るという観点から、スピンコーターを用いた回転塗布法が好ましい。
次に、上記で得られた感光性樹脂層に対し、フォトマスクを介して、マスクアライナーやステッパーを用いて紫外線(i線(波長365nm)、h線(波長405nm)、g線(波長436nm)等)、X線、電子線等の活性エネルギー線を直接照射し露光する。上記フォトマスクは、所望のパターンをくり貫いたものであってもよい。
次に、現像を、浸漬法、パドル法、回転スプレー法等の方法から選択して行うことができる。現像により、感光性樹脂層から、未硬化の組成物を溶出除去し、パターンを得ることができる。現像液としては、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア水等の無機アルカリ類、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、トリエタノールアミン等の有機アミン類、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド等の4級アンモニウム塩類等の水溶液および必要に応じてメタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒または界面活性剤を適当量添加した水溶液を使用することができる。これらの中でも、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液が好ましい。該テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液の濃度は、好ましくは0.5質量%以上10質量%以下であり、より好ましくは、1質量%以上5質量%以下である。
続いて、得られたパターンを加熱することでキュアし、パターン硬化膜を形成する。加熱することにより、組成物の架橋密度を上げ、残存する揮発成分を除去でき、基板に対する密着力、耐熱性や強度等を向上させることができる。加熱装置としては、オーブン炉、ホットプレート、縦型炉、ベルトコンベアー炉、圧力オーブン等を使用することができ、加熱方法としては、熱風、赤外線、電磁誘導による加熱等が用いられてもよい。加熱温度は好ましくは280℃以下、より好ましくは120℃以上280℃以下、さらに好ましくは160℃以上250℃以下である。加熱時間は好ましくは15分以上8時間以下、より好ましくは15分以上4時間以下である。また、加熱処理工程の雰囲気は大気中、または窒素等の不活性雰囲気中のいずれかを選択することができる。
本発明に係る電子部品は、上述の本発明のポジ型感光性樹脂組成物から形成される硬化膜またはパターン硬化膜、すなわち本発明のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物を含む硬化膜またはパターン硬化膜を有する。電子部品の例としては、半導体装置や多層配線板、各種電子デバイス等が挙げられる。
還流冷却器を連結したコック付き水分定量受器、温度計、および攪拌器を備えたセパラブルフラスコに、1,3−ジヒドロ−1,3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル 67.4g(50モル%)、メチレンビスアミノ安息香酸 4.2g(5モル%)、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン 48.4g(45モル%)、およびN−メチル−2−ピロリドン 540gを加え、室温(25℃)で20時間反応させた。さらに、トルエン200gを反応溶液に加え、オイルバスを用いて内温が145℃になるまで加熱し、トルエン−水の共沸脱水反応を5時間行った。このようにして得られた反応溶液をメタノールに添加し、再沈殿およびろ過を行い、得られた白色固体を、減圧下、60℃で10時間乾燥させることにより、105.0gの高分子化合物(ポリイミド樹脂)1を得た。
1H−NMR(300MHz、DMSO−d6)δ 3.17(s,0.2H、−CH2−)、6.6−8.7(m、16H、Ar−H)、10.54(s、1.8H、Ar−OH)。
還流冷却器を連結したコック付き水分定量受器、温度計、および攪拌器を備えたセパラブルフラスコに、1,3−ジヒドロ−1、3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン−1,4−フェニレンエステル 67.4g(50モル%)、メチレンビスアミノ安息香酸 2.1g(2.5モル%)、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン 51.1g(47.5モル%)、およびN−メチル−2−ピロリドン 540gを加え、室温(25℃)で20時間反応させた。さらに、トルエン200gを反応溶液に加え、オイルバスを用いて内温が145℃になるまで加熱し、トルエン−水の共沸脱水反応を5時間行った。このようにして得られた反応溶液をメタノールに添加し、再沈殿およびろ過を行い、得られた白色固体を、減圧下、60℃で10時間乾燥させることで、102.5gの高分子化合物(ポリイミド樹脂)2を得た。
1H−NMR(300MHz、DMSO−d6)δ 3.17(s,0.1H、−CH2−)、6.6−8.7(m、16H、Ar−H)、10.54(s、1.9H、Ar−OH)。
還流冷却器を連結したコック付き水分定量受器、温度計、および攪拌器を備えたセパラブルフラスコに、エチレングリコールビスアンヒドロトリメリテート 63.4g(50モル%)、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン 56.6g(50モル%)、およびN−メチル−2−ピロリドン 540gを加え、室温(25℃)で20時間反応させた。さらに、トルエン200gを反応溶液に加え、オイルバスを用いて内温が145℃になるまで加熱し、トルエン−水の共沸脱水反応を5時間行った。このようにして得られた反応溶液をメタノールに添加し、再沈殿およびろ過を行い、得られた白色固体を、減圧下、60℃で10時間乾燥させることで、92.0gのカルボキシル基を有する繰り返し単位を含まない高分子化合物(ポリイミド樹脂)3を得た。
還流冷却器を連結したコック付き水分定量受器、温度計、および攪拌器を備えたセパラブルフラスコに、1,3−ジヒドロ−1、3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル 55.6g(50モル%)、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン 44.4g(50モル%)、およびN−メチル−2−ピロリドン 450gを加え、室温(25℃)で20時間反応させた。さらに、トルエン180gを反応溶液に加え、オイルバスを用いて内温が145℃になるまで加熱し、トルエン−水の共沸脱水反応を5時間行った。このようにして得られた反応溶液をメタノールに添加し、再沈殿およびろ過を行い、得られた白色固体を、減圧下、60℃で10時間乾燥させることで、91.5gのカルボキシル基を有する繰り返し単位を含まない高分子化合物(ポリイミド樹脂)4を得た。
還流冷却器を連結したコック付き水分定量受器、温度計、および攪拌器を備えたセパラブルフラスコに、1,3−ジヒドロ−1、3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル 67.4g(50モル%)、メチレンビスアミノ安息香酸 21.0g(25モル%)、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン 26.9g(25モル%)、およびN−メチル−2−ピロリドン 540gを加え、室温(25℃)で20時間反応させた。さらに、トルエン200gを反応溶液に加え、オイルバスを用いて内温が145℃になるまで加熱し、トルエン−水の共沸脱水反応を5時間行った。このようにして得られた反応溶液をメタノールに添加し、再沈殿およびろ過を行い、得られた白色固体を、減圧下、60℃で10時間乾燥させることで、90.3gのカルボキシル基を有する繰り返し単位の含有量が50モル%であり、フェノール性水酸基を有する繰り返し単位の含有量が50モル%である高分子化合物(ポリイミド樹脂)5を得た。
還流冷却器を連結したコック付き水分定量受器、温度計、および攪拌器を備えたセパラブルフラスコに、1,3−ジヒドロ−1、3−ジオキソ−5−イソベンゾフランカルボン酸−1,4−フェニレンエステル 67.4g(50モル%)、メチレンビスアミノ安息香酸 42.0g(50モル%)、およびN−メチル−2−ピロリドン 540gを加え、室温(25℃)で20時間反応させた。さらに、トルエン200gを反応溶液に加え、オイルバスを用いて内温が145℃になるまで加熱し、トルエン−水の共沸脱水反応を5時間行った。このようにして得られた反応溶液をメタノールに添加し、再沈殿およびろ過を行い、得られた白色固体を、減圧下、60℃で10時間乾燥させることで、90.6gのフェノール性水酸基を含まない高分子化合物(ポリイミド樹脂)6を得た。しかし、得られた高分子化合物6は、有機溶媒に不溶だったため、分子量の測定およびポジ型感光性樹脂組成物の調製を行うことができなかった。
上記で合成した高分子化合物1〜5を用い、下記表1に示す処方で、感光性樹脂組成物を調製した。調製は、各成分を25℃で6時間攪拌混合した後、5μmの細孔径を有するろ過膜でろ過して行った。
架橋剤1:ニカラック(登録商標)MX−270(株式会社三和ケミカル製)
架橋剤2:ニカラック(登録商標)MX−390(株式会社三和ケミカル製)
ノボラック樹脂:クレゾールノボラック樹脂 TR4020G(旭有機材工業株式会社製)
界面活性剤:サーフロン(登録商標)S−141(AGCセイミケミカル株式会社製)
上記で得られたポジ型感光性樹脂組成物を、直径200mmの銅メッキ処理したシリコンウェハ(アドバンテック東洋株式会社製、Φ200mm Cu Blanket wafer)またはガラス繊維強化エポキシ多層板(日立化成株式会社製、MCL−E−700G)にスピンコート法で塗布した。塗布後、ホットプレートを用いて、120℃で5分間乾燥を行った。乾燥後、得られた塗膜の上に、テストパターン(15μmのスルーホールおよびラインアンドスペースパターン)が形成されているポジ型フォトマスクを置き、紫外線照射装置(ミカサ製、マスクアライナーM−1S型、超高圧水銀ランプ、250W)を用いて、パターンが得られる照射量で、波長365nmの紫外線を照射した。
(信頼性試験(耐金属腐食性))
高温信頼性試験は、上記のパターン形成で得られた銅メッキ処理したシリコンウェハを、150℃空気環境のオーブン中に放置し、100時間経過後、250時間経過後、500時間経過後、および1000時間終了後のそれぞれで、レジストと銅箔との接触部分の腐食の有無を光学顕微鏡で観察して行った。評価基準は以下の通りであり、△以上であれば実用可能である:
◎:500時間以上放置しても腐食が見られなかった
○:250時間以上500時間未満で腐食が発生した
△:100時間以上250時間未満で腐食が発生した
×:100時間未満で腐食が発生した。
◎:500時間放置してもクラックが見られなかった
○:250時間以上500時間未満でクラックが発生した
×:250時間未満でクラックが発生した。
上記パターン形成と同様の操作で1mm角のパターンを形成した銅メッキ処理したシリコンウェハ基板を、85℃85%RHの高温高湿槽に100時間放置した。その後、SAICAS(登録商標)DN(ダイプラ・ウィンテス株式会社製)にて、1mm幅のBN刃を使用した切削剥離試験を実施し、剥離強度を求めた。剥離強度は、1.2kgf/cm以上であることが好ましい。
各実施例および比較例の組成物を、厚さ50μmのポリテトラフルオロエチレン(PTFE)フィルム上に塗布し、80℃のホットプレート上で30分間、および130℃空気環境のオーブンで5分間乾燥の後、酸素濃度10ppm以下のイナートオーブンで200℃1時間の加熱処理を行った。これにより組成物の硬化膜(厚さ15μm)を得た。
上記で得られた硬化膜を5mm幅の短冊状に切り、万能試験機(Stable Micro System社製、テクスチャアナライザーTA.TXplus)を用いて、チャック幅20mm、速度0.1mm/秒で引張試験を行い、破断点までの伸び(破断伸び)、および応力ひずみ曲線の下部の面積を測定した。なお、応力ひずみ曲線の下部の面積を、本明細書では靭性と定義する。破断伸びは6%以上10%以下であることが好ましい。また、靭性は6mJ/mm3以上10mJ/mm3以下であることが好ましい。
上記で得られた硬化膜を、熱機械分析(TMA)装置(セイコーインスツル株式会社製、EXSTAR6000TMA/SS6100)を用いて、昇温速度10℃/分、常温(25℃)から200℃までの2サイクルで、2サイクル目の50℃以上100℃以下の領域のTMA曲線から線膨張係数を算出した。線膨張係数は、50ppm/℃以下であることが好ましい。
上記で得られた硬化膜を、動的粘弾性測定(DMA)装置(株式会社日立ハイテクサイエンス製、EXSTAR DMA7100)を用いて、昇温温度5℃/分、23℃から400℃までの温度領域で、貯蔵弾性率(E’)および損失弾性率(E’’)を測定し、これらの比E’’/E’=tanδと定義される損失係数がピーク値をとる温度をガラス転移点と定義して、測定した。
Claims (13)
- 5モル%以上20モル%以下のカルボキシル基を有する繰り返し単位と、
80モル%以上95モル%以下のフェノール性水酸基を有する繰り返し単位と、
(ただし、カルボキシル基を有する繰り返し単位と、フェノール性水酸基を有する繰り返し単位と、の合計は100モル%)
を含み、ここで、前記カルボキシル基を有する繰り返し単位は、下記一般式1で表される繰り返し単位であり、
前記フェノール性水酸基を有する繰り返し単位は、下記一般式2で表される繰り返し単位である:
(上記一般式1及び一般式2中、R 1 は、それぞれ独立して、エーテル結合もしくはエステル結合を含んでもよい炭素数1以上10以下の直鎖状、分枝状、もしくは環状のアルキレン基、又はエーテル結合もしくはエステル結合を含んでもよい炭素数6以上20以下のアリーレン基である)
を含む、ポリイミド樹脂。 - 重量平均分子量が40000以上である、請求項1又は2に記載のポリイミド樹脂。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載のポリイミド樹脂と、
前記ポリイミド樹脂100質量部に対して、1質量部以上50質量部以下の光酸発生剤と、
を含む、ポジ型感光性樹脂組成物。 - 前記ポリイミド樹脂100質量部に対して、5質量部以上25質量部以下の架橋剤をさらに含む、請求項4又は5に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 前記ポリイミド樹脂100質量部に対して、10質量部以上40質量部以下のノボラック樹脂をさらに含む、請求項4〜6のいずれか1項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 界面活性剤をさらに含む、請求項4〜7のいずれか1項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- プロピレングリコール1−モノメチルエーテル2−アセテート、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、1−メトキシ−2−プロパノール、γ−ブチロラクトン、及びN−メチル−2−ピロリドンからなる群より選択される少なくとも1種の溶媒を含む、請求項4〜8のいずれか1項に記載のポジ型感光性樹脂組成物。
- 請求項4〜9のいずれか1項に記載のポジ型感光性樹脂組成物の硬化物。
- ガラス転移点が200℃以上350℃以下である、請求項10に記載の硬化物。
- 請求項10又は11に記載の硬化物を含み、膜厚が5μm以上20μm以下である、パターンを有する硬化膜。
- 銅、アルミ、窒化チタン、タンタル、窒化タンタル、シリコン、窒化シリコン、液晶ポリマー、ポリイミド、エポキシ樹脂、ポリファニレンスルフィド、及びポリ塩化ビニリデンからなる群より選択される少なくとも1種の材料を含む基板と、
請求項12に記載のパターンを有する硬化膜と、
を備える、プリント配線板。
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