JP6959341B2 - 半導体コンポーネント用の可視光及び赤外光による光学的な調査装置及び光学的な調査方法 - Google Patents
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Description
−半導体コンポーネントの2つの異なる表面を赤外光で照射し、その赤外光はそれぞれ少なくともある割合で半導体コンポーネントを完全に貫通する。
−半導体コンポーネントの2つの異なる表面を可視光で照射し、可視光によって照射される表面が、それぞれ赤外光で照射される表面の反対に位置する。
−コンポーネントの、可視光によって照射された2つの表面から反射された可視光と、赤外光によって照射された2つの表面からコンポーネントを貫通する赤外光を、少なくとも1つの画像を与える装置、特にカメラ、によって検出し、その装置がそのために少なくとも部分的に同一の光路を利用する。
−照明に使用される可視光と照明に使用される赤外光に基づいて、画像を与える装置によってそれぞれ少なくとも1つの画像キャプチャーを形成する。特にコンポーネントの、それぞれ可視光によって照射される2つの表面の方向に2つの画像キャプチャーを形成し、コンポーネント表面によって反射された可視光に基づいて2つの画像キャプチャーの一方を、そしてコンポーネントを貫通する赤外光に基づいて他方を形成する。
−画像キャプチャーを用いて後段に配置された画像評価によってエラー又は損傷の有無についてコンポーネントを調査する。
Claims (10)
- 基板(40)から外された矩形の半導体コンポーネント(2)のための光学的な調査装置(100)において、
取出し装置であって、当該取出し装置は、
基板(40)から外された1つの矩形の半導体コンポーネント(2)を収容する第1の収容ユニット(60)と、
前記半導体コンポーネントを調査位置へ移送する第2の収容ユニット(62)と、を有する、取出し装置と、
第1の照明配置(4、6)、第2の照明配置(8、10)及び画像装置(12、14)と、
を有し、
前記画像装置(12、14)は、少なくとも第1の画像センサ(12)と第2の画像センサ(14)とを有し、
前記第1の画像センサ(12)と前記第2の画像センサ(14)は、前記調査位置にある前記半導体コンポーネント(2)の異なる表面へそれぞれ向けられており、
前記第1の照明配置(4、6)は、1つ以上のLEDからなり、
前記LEDは、前記調査位置にある前記半導体コンポーネント(2)の、前記画像装置(12、14)と別の方をそれぞれ向いた、互いに垂直に隣接する2つの表面へ垂直に赤外光を放射し、
前記赤外光は、前記半導体コンポーネント(2)を完全に貫通し、
前記第2の照明配置(8、10)は、1つ以上のLEDからなり、
前記LEDは、前記調査位置にある前記半導体コンポーネントの、前記画像装置(12、14)へそれぞれ向いた、互いに垂直に隣接する2つの表面へ垂直に可視光を放射し、
前記表面は、前記第1の照明配置(4、6)からの赤外光を向けられる前記表面の反対側にそれぞれ位置し、
前記第1の照明配置(4、6)と前記第2の照明配置(8、10)は、前記半導体コンポーネント(2)を同時に照明し、
前記第1の画像センサ(12)と前記第2の画像センサ(14)は、前記第1の照明配置(4、6)によって放射された光スペクトル及び前記第2の照明配置(8、10)によって放射された光スペクトルの双方を検出するように、それぞれ形成され、かつ配置されており、
前記半導体コンポーネント(2)の特性エラー又は損傷を判定するための、前記第1の画像センサが形成する第1の画像キャプチャー及び前記第2の画像センサ(14)が形成する第2の画像キャプチャーを、前記可視光のスペクトル及び前記赤外光のスペクトルの双方に基づく後段の評価のために提供し、
前記第1の画像センサ(12)及び前記第2の画像センサ(14)は、前記半導体コンポーネント(2)によって反射される前記可視光を記録するために、かつ前記半導体コンポーネント(2)を貫通する前記赤外光を記録するために、少なくとも部分的に同一の光路を利用する、光学的な調査装置(100)。 - 基板から外された矩形の半導体コンポーネント(2)のための光学的な調査装置(200)において、
転向装置であって、
当該転向装置は、少なくとも1つの収容器を有し、
前記収容器は、矩形の半導体コンポーネント(2)を負圧によって保持する、転向装置と、
第1の照明配置(4、6)、第2の照明配置(8、10)及び画像装置(12、14)と、
を有し、
前記画像装置(12、14)は、少なくとも第1の画像センサ(12)と第2の画像センサ(14)とを有し、
前記第1の画像センサ(12)と前記第2の画像センサ(14)は、前記少なくとも1つの収容器によって保持される前記半導体コンポーネント(2)の異なる表面へそれぞれ向けられており、
前記第1の照明配置(4、6)は、数個のLEDからなり、
前記LEDは、前記少なくとも1つの収容器によって保持される前記半導体コンポーネント(2)の、それぞれ前記画像装置(12、14)と別の方をそれぞれ向いた、2つの対向する表面へ垂直に赤外光を放射し、
前記赤外光は、前記半導体コンポーネント(2)を完全に貫通し、
前記第2の照明配置(8、10)は、数個のLEDからなり、
前記LEDは、前記少なくとも1つの収容器によって保持される前記半導体コンポーネント(2)の、前記画像装置(12、14)へそれぞれ向いた2つの対向する表面上へ垂直に可視光を放射し、
前記第1の照明配置(4、6)と前記第2の照明配置(8、10)は、前記半導体コンポーネント(2)を同時に照明し、
前記第1の画像センサ(12)と前記第2の画像センサ(14)は、前記第1の照明配置(4、6)によって放射された光スペクトル及び前記第2の照明配置(8、10)によって放射された光スペクトルの双方を検出するように、それぞれ形成され、かつ配置されており、
前記半導体コンポーネント(2)の特性エラー又は損傷を判定するための、前記第1の画像センサが形成する第1の画像キャプチャー及び前記第2の画像センサ(14)が形成する第2の画像キャプチャーを、前記可視光のスペクトル及び前記赤外光のスペクトルの双方に基づく後段の評価のために提供し、
前記第1の画像センサ(12)及び前記第2の画像センサ(14)は、前記半導体コンポーネント(2)によって反射される前記可視光を記録するために、かつ前記半導体コンポーネント(2)を貫通する前記赤外光を記録するために、少なくとも部分的に同一の光路を利用する、光学的な調査装置(200)。 - 前記調査装置(100、200)は、いくつかの光学的に作用する素子を有している、請求項1又は2に記載の光学的な調査装置(100、200)。
- 前記調査装置(100、200)は、少なくとも1つのハーフミラー(22、24)を有し、
前記ハーフミラー(22、24)は、前記画像装置(12、14)の光学軸に対して約45°の角度で配置されており、かつ、前記第1の照明配置及び/又は第2の照明配置(4、6、8、10)の光を光学的に結合して、前記半導体コンポーネント(2)へ向ける働きをし、
前記ハーフミラー(22、24)は、前記半導体コンポーネント(2)によって反射された前記可視光と、前記半導体コンポーネント(2)を貫通する前記赤外光を、前記画像装置(12、14)へ向けるのに適しており、かつ配置されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の光学的な調査装置(100、200)。 - 前記第1の照明配置及び/又は第2の照明配置(4、6、8、10)は、1つ以上のLEDからなり、
前記第1の照明配置(4、6)の前記LEDは、1200nmプラスマイナス100nmの赤外線を放射し、かつ/又は、
前記第2の照明配置(8、10)の前記LEDは、630nmプラスマイナス30nmの赤い光を放射する、請求項1から4のいずれか1項に記載の光学的な調査装置(100、200)。 - 前記第1の照明配置及び/又は第2の照明配置(4、6、8、10)の前記LEDは、前記半導体コンポーネント(2)の複数の表面をそれぞれ照射するように配置されており、かつ/又は、
前記第1の照明配置及び/又は第2の照明配置(4、6、8、10)によって放射される光は、光学的に作用する素子によって前記半導体コンポーネントの複数の表面へ反射される又は向けられる、請求項1から5のいずれか1項に記載の光学的な調査装置(100、200)。 - 前記第1の照明配置(4、6)及び/又は前記第2の照明配置(8、10)及び/又は1つ又は複数の光学的に作用する素子は、それぞれ方向づけされ、かつ/又は他から独立して調整/合焦されるように、構成されかつ配置されている、請求項1から6のいずれか1項に記載の光学的な調査装置(100、200)。
- 前記第2の照明配置(8、10)の前記可視光は、光学的に作用する素子(22、24)によって導かれ、
前記素子は、前記第2の照明配置(8、10)の放射方向内の可視光に対して所定の透過度を有し、かつそれぞれの場合に180°逆方向からの可視光と赤外光の所定の反射度を有するように、構成されかつ配置されており、
前記可視光の及び前記赤外光の反射方向は、前記第2の照明配置(8、10)の放射方向及びそれと180°逆の方向と等しくなく、
前記画像装置は、第1のカメラ(12)と第2のカメラ(14)からなり、
2つのカメラは、可視光及び赤外光に基づいて画像キャプチャーを提供するように、構成されかつ配置されており、
前記2つのカメラ(12、14)のそれぞれは、前記第2の照明配置(8、10)によって可視光を向けられる前記半導体コンポーネント(2)の表面の1つへ向けられている、請求項1に記載の光学的な調査装置(100)。 - 前記可視光及び前記赤外光の双方は、光学的に作用する素子(22、24)によってそれぞれ導かれ、
前記素子は、前記第1及び第2の照明配置(4、6、8、10)のそれぞれ共通の放射方向内の可視光と赤外光に対して所定の透過度を有し、かつそれぞれの場合に180°逆方向からの可視光と赤外光の所定の反射度を有するように、構成されかつ配置されており、
前記可視光の及び前記赤外光の反射方向は、前記第1及び第2の照明配置(4、6、8、10)の共通の放射方向及びそれと180°逆の方向と等しくなく、
前記画像装置は、第1のカメラ(12)と第2のカメラ(14)からなり、
2つのカメラは、可視光及び赤外光に基づいて画像キャプチャーを提供するように、構成されかつ配置されており、
前記2つのカメラ(12、14)のそれぞれは、前記第1及び第2の照明配置(4、6、8、10)によって光を向けられる前記半導体コンポーネント(2)の表面の1つへ向けられている、請求項2に記載の光学的な調査装置(200)。 - 請求項1に記載の装置又は請求項2に記載の装置による半導体コンポーネント(2)の光学的な調査の方法であって、以下の方法ステップ:
−収容ユニット又は収容器によって保持される半導体コンポーネント(2)の2つの異なる表面を赤外光によって照射し、前記赤外光は、前記半導体コンポーネント(2)を完全に貫通し、
−前記収容ユニット又は前記収容器によって保持される前記半導体コンポーネント(2)の2つの異なる表面を可視光によって照射し、可視光によって照射される前記表面は、赤外光によって照射される前記表面のそれぞれ反対に位置しており、
−収容ユニット又は収容器によって保持される前記半導体コンポーネント(2)の、可視光によって照射される2つの表面によって反射された前記可視光と、赤外光によって照射される前記2つの表面から前記半導体コンポーネント(2)を貫通する前記赤外光とを、少なくとも1つの画像装置(12、14)によって検出し、前記少なくとも1つの画像装置は、このために少なくとも部分的に同一の光路を利用し、
−可視光によって照射される前記半導体コンポーネントの前記表面のそれぞれの少なくとも2つの画像キャプチャーを形成し、前記2つの画像キャプチャーの一方は、前記半導体コンポーネントの表面によって反射される前記可視光に基づいて形成され、他方は、前記半導体コンポーネント(2)を貫通する前記赤外光に基づいて形成され、
−前記画像キャプチャーを用いて、後段の画像評価によって前記半導体コンポーネントを欠陥について調査する、
を有する方法。
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