JP6953249B2 - Information processing equipment, information processing system, information processing method and program - Google Patents

Description

本発明は、情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラムに関する。 The present invention relates to an information processing apparatus, an information processing system, an information processing method and a program.

半導体製造装置では、チャンバー内に真空環境を作り出すことを目的として半導体製造工程に使用されるガスをチャンバー内から排気する真空ポンプが広く使用されている。このような真空ポンプとしては、ルーツ型やスクリュー型のポンプロータを備えた容積式タイプの真空ポンプが知られている。 In the semiconductor manufacturing apparatus, a vacuum pump that exhausts the gas used in the semiconductor manufacturing process from the chamber is widely used for the purpose of creating a vacuum environment in the chamber. As such a vacuum pump, a positive displacement type vacuum pump provided with a roots type or screw type pump rotor is known.

一般に、容積式の真空ポンプは、ケーシング内に配置された一対のポンプロータと、このポンプロータを回転駆動するためのモータとを備えている。一対のポンプロータ間及びポンプロータとケーシングの内面との間には微小なクリアランスが形成されており、ポンプロータは、ケーシングに非接触で回転するように構成されている。そして、一対のポンプロータが同期しつつ互いに反対方向に回転することにより、ケーシング内の気体が吸入側から吐出側に移送され、吸込口に接続されたチャンバーなどから気体が排気される。 Generally, a positive displacement vacuum pump includes a pair of pump rotors arranged in a casing and a motor for rotationally driving the pump rotors. A minute clearance is formed between the pair of pump rotors and between the pump rotor and the inner surface of the casing, and the pump rotor is configured to rotate in a non-contact manner with the casing. Then, the pair of pump rotors rotate in opposite directions while synchronizing with each other, so that the gas in the casing is transferred from the suction side to the discharge side, and the gas is exhausted from the chamber or the like connected to the suction port.

半導体製造工程に使用されるガス、あるいは使用されるガスが化学反応によって生成する物質には、温度が低下すると固形化あるいは液状化する成分が含まれるものがある。通常、上述した真空ポンプは、ガスを移送する過程で圧縮熱が発生するため、運転中の真空ポンプは、ある程度高温となっている。圧縮熱による高温化ではガス中の成分あるいは生成物質の固形化あるいは液状化温度より高くならない場合には、ポンプ本体を外部加熱あるいは流入するガスの加熱により真空ポンプの高温を維持している。上記真空ポンプを用いて上述した成分を含むガスを排気した場合でもガス中の成分あるいは生成物質が固形化又は液状化せずに良好な真空排気が行われる。 Some of the gases used in the semiconductor manufacturing process or the substances produced by the chemical reaction of the gases used include components that solidify or liquefy when the temperature drops. Usually, in the above-mentioned vacuum pump, heat of compression is generated in the process of transferring gas, so that the vacuum pump in operation is heated to some extent. When the temperature rise by the heat of compression does not rise above the solidification or liquefaction temperature of the components or products in the gas, the high temperature of the vacuum pump is maintained by externally heating the pump body or heating the inflowing gas. Even when the gas containing the above-mentioned components is exhausted by using the vacuum pump, good vacuum exhaust is performed without solidifying or liquefying the components or products in the gas.

しかしながら、上述した真空ポンプの高温化では使用されるガス、あるいは使用されるガスからの生成物資の液状化、固形化を防ぐことができない半導体製造工程がある。この工程での真空ポンプの運転を継続すると、この固形化した生成物（反応生成物）がポンプロータ間やポンプロータとケーシングとの隙間に堆積する。そして、この生成物の堆積が進行すると、真空ポンプの運転中に真空ポンプに過剰な負荷がかかることによって、製造プロセス中に真空ポンプが停止する場合がある。この場合、製造プロセス中の製品が損失し、復旧に要する想定外の時間がかかり装置稼働率を悪化させる。 However, there is a semiconductor manufacturing process in which the gas used or the product material from the gas used cannot be prevented from liquefaction or solidification by increasing the temperature of the vacuum pump described above. When the operation of the vacuum pump in this step is continued, the solidified product (reaction product) is deposited between the pump rotors and in the gap between the pump rotors and the casing. Then, as the accumulation of this product progresses, the vacuum pump may be stopped during the manufacturing process due to an excessive load applied to the vacuum pump during the operation of the vacuum pump. In this case, the product in the manufacturing process is lost, and it takes an unexpected time to recover, which deteriorates the equipment operating rate.

そのような損害を防止するために、特許文献１では、モータ電流の積分値もしくは平均値が閾値を超えたときに警報を発生することが開示されている。特許文献２では、真空ポンプの発生するＡＥ（アコースティックエミッション）を検出するＡＥセンサを少なくとも備えたセンサ部からの信号を解析診断することが開示されている。 In order to prevent such damage, Patent Document 1 discloses that an alarm is generated when the integrated value or the average value of the motor current exceeds the threshold value. Patent Document 2 discloses that a signal from a sensor unit including at least an AE sensor for detecting AE (acoustic emission) generated by a vacuum pump is analyzed and diagnosed.

特表２００８−５３４８３１号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2008-534831 特開平１１−６２８４６号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-62846

真空ポンプは正常状態と異常状態を繰り返して最終的に故障に至る。しかしながら、これまでは、異常状態の検知手段、異常状態検知後のデータ処理方法が考案されていなかった。このため、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部の状態を診断することができないという問題があった。 The vacuum pump repeats a normal state and an abnormal state, and finally fails. However, until now, a means for detecting an abnormal state and a data processing method after detecting an abnormal state have not been devised. Therefore, there is a problem that the state inside the pump cannot be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプの内部状態を診断することを可能とする情報処理装置、情報処理システム、情報処理方法及びプログラムを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, and is an information processing device, an information processing system, an information processing method, and an information processing device capable of diagnosing an internal state of the pump from an abnormal state of the target vacuum pump during operation. The purpose is to provide a program.

本発明の第１の態様に係る情報処理装置は、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する記憶装置から、運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件を読み出す読出部と、運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する検出部と、前記読み出された共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する比較部と、を備える。 The information processing apparatus according to the first aspect of the present invention is the setting group determined by using the generation tendency of the first abnormality data detected from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. A reading unit that reads out the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs from the storage device that stores the common conditions of the occurrence tendency of abnormal data of the vacuum pumps belonging to the above for each setting group, and the target vacuum in operation. A detection unit that detects the second abnormality data from the data of the state amount of the pump, and a comparison unit that compares the read common condition with the occurrence tendency of the detected second abnormality data. Be prepared.

この構成によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが属するグループの過去の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部の状態を診断することができる。 According to this configuration, the tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the common conditions based on the past tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump of the group to which the target vacuum pump belongs. Therefore, the state inside the pump can be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

本発明の第２の態様に係る情報処理装置は、第１の態様に係る情報処理装置であって、前記真空ポンプの設定グループは、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループであり、前記比較部は、前記運転中の対象真空ポンプと同一の製造番号の真空ポンプのグループに対応する前記共通条件と、前記運転中の対象真空ポンプの前記第２の異常データの発生傾向とを比較する。 The information processing device according to the second aspect of the present invention is the information processing device according to the first aspect, and the setting group of the vacuum pump is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number. The comparison unit compares the common conditions corresponding to the group of vacuum pumps having the same serial number as the target vacuum pump in operation with the tendency of the second abnormal data of the target vacuum pump in operation to occur. ..

この構成によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプの製造番号と同一の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the common condition based on the tendency of occurrence of an abnormal state of the vacuum pump having the same serial number as the target vacuum pump. Therefore, the accuracy of diagnosing the state inside the pump can be improved.

本発明の第３の態様に係る情報処理装置は、第１の態様に係る情報処理装置であって、前記真空ポンプの設定グループは、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループであり、前記比較部は、前記運転中の対象真空ポンプが接続されている半導体製造装置と同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループに対応する前記共通条件と、前記運転中の対象真空ポンプの前記第２の異常データの発生傾向とを比較する。 The information processing device according to the third aspect of the present invention is the information processing device according to the first aspect, and the setting group of the vacuum pump is a vacuum connected to the semiconductor manufacturing device corresponding to the same serial number. The comparison unit is a group of pumps, and the comparison unit corresponds to the group of vacuum pumps connected to a semiconductor manufacturing apparatus having the same serial number as the semiconductor manufacturing apparatus to which the target vacuum pump in operation is connected. The conditions are compared with the tendency of the second anomaly data to occur in the target vacuum pump during operation.

この構成によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが接続された半導体製造装置に過去に接続された真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the tendency of the abnormal state of the target vacuum pump during operation is set to the common condition based on the tendency of the abnormal state of the vacuum pump connected in the past to the semiconductor manufacturing apparatus to which the target vacuum pump is connected. Can be compared. Therefore, the accuracy of diagnosing the state inside the pump can be improved.

本発明の第４の態様に係る情報処理装置は、第１の態様に係る情報処理装置であって、前記真空ポンプの設定グループは、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループであり、前記比較部は、前記運転中の対象真空ポンプが使用されているプロセスと同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループに対応する前記共通条件と、前記運転中の対象真空ポンプの前記第２の異常データの発生傾向とを比較する。 The information processing device according to the fourth aspect of the present invention is the information processing device according to the first aspect, and the setting group of the vacuum pump is a group of vacuum pumps used in the same process. The comparison unit includes the common conditions corresponding to the group of vacuum pumps used in the same process as the process in which the target vacuum pump in operation is used, and the second of the target vacuum pumps in operation. Compare with the tendency of abnormal data to occur.

この構成によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが使用されているプロセスと同一のプロセスで過去に使用されていた真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the tendency of the abnormal state of the target vacuum pump during operation to be changed to the tendency of the abnormal state of the vacuum pump used in the past in the same process as the process in which the target vacuum pump is used. Can be compared with the common conditions based on. Therefore, the accuracy of diagnosing the state inside the pump can be improved.

本発明の第５の態様に係る情報処理装置は、第１から４のいずれかの態様に係る情報処理装置であって、前記共通条件は、前記設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常データに基づいて設定された閾値であり、前記比較部は、前記閾値と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する。 The information processing device according to the fifth aspect of the present invention is the information processing device according to any one of the first to fourth aspects, and the common condition is in the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group. It is a threshold value set based on the abnormal data detected in the above, and the comparison unit compares the threshold value with the occurrence tendency of the detected second abnormal data.

この構成によれば、所定期間故障なく運転継続された真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常データに基づいて設定された閾値と比較することにより、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the internal state of the pump is improved by comparing with the threshold value set based on the abnormal data detected in the data of the state amount of the vacuum pump that has been continuously operated for a predetermined period without failure. Can be made to.

本発明の第６の態様に係る情報処理装置は、第５の態様に係る情報処理装置であって、前記閾値は、単位時間あたりに特定の状態量が設定範囲から外れた回数の閾値であり、前記比較部は、前記閾値と、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された単位時間あたりに前記特定の状態量が設定範囲から外れた回数とを比較する。 The information processing device according to the sixth aspect of the present invention is the information processing device according to the fifth aspect, and the threshold value is a threshold number of times that a specific state quantity deviates from the set range per unit time. The comparison unit compares the threshold value with the number of times the specific state quantity deviates from the set range per unit time detected from the data of the state quantity of the vacuum pump during operation.

この構成によれば、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the state inside the pump can be improved.

本発明の第７の態様に係る情報処理装置は、第１から４のいずれかの態様に係る情報処理装置であって、前記共通条件は、前記設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の許容範囲の時間変化を表すデータであり、前記比較部は、前記異常の許容範囲の時間変化を表すデータと、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された異常の時系列データとを比較する。 The information processing device according to the seventh aspect of the present invention is the information processing device according to any one of the first to fourth aspects, and the common condition is in the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group. It is the data representing the time change of the permissible range of the abnormality detected in the above, and the comparison unit was detected from the data representing the time change of the permissible range of the abnormality and the data of the state amount of the vacuum pump during the operation. Compare with anomalous time series data.

この構成によれば、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the state inside the pump can be improved.

本発明の第８の態様に係る情報処理装置は、第７の態様に係る情報処理装置であって、前記異常の許容範囲の時間変化を表すデータは、単位時間あたりに特定の状態量が設定範囲から外れた回数の許容範囲の時間変化を表すデータであり、前記比較部は、前記許容範囲の時間変化を表すデータと、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された単位時間あたりに前記特定の状態量が設定範囲から外れた回数の時系列データとを比較する。 The information processing device according to the eighth aspect of the present invention is the information processing device according to the seventh aspect, and the data representing the time change in the allowable range of the abnormality is set to a specific state amount per unit time. It is data representing the time change of the permissible range of the number of times out of the range, and the comparison unit is a unit time detected from the data representing the time change of the permissible range and the data of the state amount of the vacuum pump during operation. It is compared with the time series data of the number of times that the specific state amount deviates from the set range.

この構成によれば、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the state inside the pump can be improved.

本発明の第９の態様に係る情報処理装置は、第１から４のいずれかの態様に係る情報処理装置であって、前記共通条件は、前記真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常に基づいて設定された異常発生規則を表す第１異常発生規則データであり、前記比較部は、前記第１異常発生規則データと、前記運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから検出された異常発生規則を表す第２異常発生規則データとを比較する。 The information processing device according to the ninth aspect of the present invention is the information processing device according to any one of the first to fourth aspects, and the common condition is detected in the data of the state amount of the vacuum pump. It is the first abnormality occurrence rule data representing the abnormality occurrence rule set based on the abnormality, and the comparison part is detected from the said 1st abnormality occurrence rule data and the data of the state amount of the target vacuum pump in operation. Compare with the second abnormality occurrence rule data representing the abnormality occurrence rule.

この構成によれば、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the state inside the pump can be improved.

本発明の第１０の態様に係る情報処理装置は、第９の態様に係る情報処理装置であって、前記第１異常発生規則データは、前記真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の発生回数に基づいて設定された設定回数範囲であり、前記比較部は、前記設定回数範囲と、前記運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから検出された異常発生回数とを比較して、前記設定回数範囲からの離れ度合いを決定する。 The information processing device according to the tenth aspect of the present invention is the information processing device according to the ninth aspect, and the first abnormality occurrence rule data is an abnormality detected in the data of the state amount of the vacuum pump. It is a set number of times range set based on the number of occurrences of, and the comparison unit compares the set number of times range with the number of abnormal occurrences detected from the data of the state amount of the target vacuum pump during operation. , Determine the degree of departure from the set number of times range.

この構成によれば、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the state inside the pump can be improved.

本発明の第１１の態様に係る情報処理装置は、第１０の態様に係る情報処理装置であって、前記比較部は前記離れ度合いに応じて、前記運転中の対象真空ポンプの状態を、正常な状態、注意が必要な状態、交換が必要な状態に分けて判定する。 The information processing device according to the eleventh aspect of the present invention is the information processing device according to the tenth aspect, and the comparison unit normally changes the state of the target vacuum pump during operation according to the degree of separation. Judgment is made by dividing into a state that requires attention, a state that requires attention, and a state that requires replacement.

この構成によれば、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the state inside the pump can be improved.

本発明の第１２の態様に係る情報処理装置は、第１から１１のいずれかの態様に係る情報処理装置であって、前記比較部は、比較して数値化し、数値化したデータを比較結果として出力する。 The information processing device according to the twelfth aspect of the present invention is the information processing device according to any one of the first to eleventh aspects, and the comparison unit compares and quantifies the quantified data. Output as.

この構成によれば、ポンプ内部の状態の診断精度を向上させることができる。 According to this configuration, the diagnostic accuracy of the state inside the pump can be improved.

本発明の第１３の態様に係る情報処理装置は、真空ポンプの状態量のデータから第１の異常データを検出する第１の検出部と、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された前記第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に決定する決定部と、を備える。 The information processing apparatus according to the thirteenth aspect of the present invention includes a first detection unit that detects first abnormality data from the state amount data of the vacuum pump, and a state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. It is provided with a determination unit that determines a common condition for the occurrence tendency of the abnormal data of the vacuum pump belonging to the setting group for each setting group by using the occurrence tendency of the first abnormality data detected from the data.

この構成によれば、真空ポンプの設定グループ毎に、真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を決定することができる。 According to this configuration, it is possible to determine a common condition for the tendency of occurrence of abnormal data of the vacuum pump for each setting group of the vacuum pump.

本発明の第１４の態様に係る情報処理システムは、真空ポンプの状態量のデータから第１の異常データを検出する第１の検出部と、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された前記第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に決定する決定部と、運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する第２の検出部と、前記運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する前記共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する比較部と、を備える。 The information processing system according to the fourteenth aspect of the present invention has a first detection unit that detects the first abnormal data from the state amount data of the vacuum pump, and a state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. Using the occurrence tendency of the first abnormality data detected from the data, a determination unit that determines a common condition for the occurrence tendency of the abnormality data of the vacuum pump belonging to the setting group for each setting group, and a target during operation. The second detection unit that detects the second abnormality data from the state quantity data of the vacuum pump, the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs, and the detected second abnormality. It is provided with a comparison unit for comparing the tendency of data generation.

この構成によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが属するグループの過去の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部状態を診断することができる。 According to this configuration, the tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the common conditions based on the past tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump of the group to which the target vacuum pump belongs. Therefore, the internal state of the pump can be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

本発明の第１５の態様に係る情報処理方法は、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する記憶装置から、運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件を読み出す工程と、運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する工程と、前記読み出された共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する工程と、を有する。 The information processing method according to the fifteenth aspect of the present invention is determined by using the tendency of occurrence of the first abnormal data detected from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. The process of reading out the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs from the storage device that stores the common conditions of the occurrence tendency of abnormal data of the vacuum pumps belonging to the above for each setting group, and the target vacuum pump in operation. It has a step of detecting the second abnormal data from the data of the state amount of the above, and a step of comparing the read common condition with the occurrence tendency of the detected second abnormal data.

この構成によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが属するグループの過去の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部状態を診断することができる。 According to this configuration, the tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the common conditions based on the past tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump of the group to which the target vacuum pump belongs. Therefore, the internal state of the pump can be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

本発明の第１６の態様に係るプログラムは、コンピュータを、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する記憶装置から、運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件を読み出す読出部と、運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する検出部と、前記読み出された共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する比較部と、として機能させるためのプログラムである。 In the program according to the sixteenth aspect of the present invention, the computer is determined by using the tendency of occurrence of the first abnormal data detected from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. A reading unit that reads out the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs from the storage device that stores the common conditions of the occurrence tendency of abnormal data of the vacuum pumps belonging to the group for each setting group, and the target in operation. A detection unit that detects the second abnormality data from the data of the state amount of the vacuum pump, a comparison unit that compares the read common condition with the occurrence tendency of the detected second abnormality data, and a comparison unit. It is a program to function as.

この構成によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが属するグループの過去の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部状態を診断することができる。 According to this configuration, the tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the common conditions based on the past tendency of occurrence of an abnormal state of the target vacuum pump of the group to which the target vacuum pump belongs. Therefore, the internal state of the pump can be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

本発明によれば、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが属するグループの過去の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部状態を診断することができる。 According to the present invention, the tendency of an abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the common conditions based on the past tendency of the abnormal state of the target vacuum pump of the group to which the target vacuum pump belongs. Therefore, the internal state of the pump can be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

本実施形態に係る第１の情報処理装置の入出力関係を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the input / output relation of the 1st information processing apparatus which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る第１の情報処理装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the schematic structure of the 1st information processing apparatus which concerns on this embodiment. 運転時間と真空ポンプの平均電流値との関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between the operation time and the average current value of a vacuum pump. 運転時間とスパイク値発生回数との関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between the operation time and the number of occurrences of a spike value. 真空ポンプのグループを説明するための図である。It is a figure for demonstrating a group of vacuum pumps. 記憶部に記憶される状態量に関するテーブルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the table about the state quantity stored in the storage part. 第１の情報処理装置の処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the processing of the 1st information processing apparatus. 第１の実施形態に係る半導体製造システムの概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the schematic structure of the semiconductor manufacturing system which concerns on 1st Embodiment. 本実施形態に係る第２の情報処理装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the schematic structure of the 2nd information processing apparatus which concerns on this embodiment. 演算部により記憶部に格納されるテーブルの一例である。This is an example of a table stored in the storage unit by the arithmetic unit. 第２の情報処理装置の処理の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the processing of the 2nd information processing apparatus. 第２の実施形態に係る半導体製造システムの概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the schematic structure of the semiconductor manufacturing system which concerns on 2nd Embodiment. 第３の実施形態に係る半導体製造システムの概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the schematic structure of the semiconductor manufacturing system which concerns on 3rd Embodiment.

以下、各実施形態について、図面を参照しながら説明する。但し、必要以上に詳細な説明は省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項の詳細説明や実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。これは、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け、当業者の理解を容易にするためである。 Hereinafter, each embodiment will be described with reference to the drawings. However, more detailed explanation than necessary may be omitted. For example, detailed explanations of already well-known matters and duplicate explanations for substantially the same configuration may be omitted. This is to avoid unnecessary redundancy of the following description and to facilitate the understanding of those skilled in the art.

各実施形態に係る情報処理装置は、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが属するグループ（例えば、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループ、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループ、または、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループなど）の過去の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較する。ここで過去の真空ポンプは、初手期間故障なく運転継続された真空ポンプ（例えば、定期点検まで故障することなく運転継続されてオーバーホールのための生産者等に戻ってきた真空ポンプ）でもよいし、故障で回収された真空ポンプであってもよい。 In the information processing apparatus according to each embodiment, the tendency of the target vacuum pump to generate an abnormal state during operation is determined by the group to which the target vacuum pump belongs (for example, the group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, the same serial number). Compare with the common conditions based on the tendency of abnormal conditions of vacuum pumps in the past (such as the group of vacuum pumps connected to the semiconductor manufacturing equipment corresponding to) or the group of vacuum pumps used in the same process). Here, the past vacuum pump may be a vacuum pump that has been continuously operated without failure during the initial period (for example, a vacuum pump that has been continuously operated without failure until the periodic inspection and returned to the producer for overhaul). It may be a vacuum pump recovered due to a failure.

これにより、例えば運転中の対象真空ポンプの異常状態を、同一の製造番号の過去の真空ポンプの異常状態と比較することができる。あるいは、運転中の対象真空ポンプの異常状態を、対象真空ポンプが接続されている半導体製造装置と同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された過去の真空ポンプと比較することができる。あるいは、運転中の対象真空ポンプの異常状態を、対象真空ポンプが使用されているプロセスと同一のプロセスで使用されていた過去の真空ポンプ比較することができる。
従って、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部状態を診断することができる。 Thereby, for example, the abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the abnormal state of the past vacuum pumps having the same serial number. Alternatively, the abnormal state of the target vacuum pump in operation can be compared with the past vacuum pump connected to the semiconductor manufacturing device corresponding to the same serial number as the semiconductor manufacturing device to which the target vacuum pump is connected. Alternatively, the abnormal state of the target vacuum pump in operation can be compared with past vacuum pumps used in the same process as the process in which the target vacuum pump is used.
Therefore, the internal state of the pump can be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

まず、各実施形態に共通する第１の情報処理装置について説明する。第１の情報処理装置は、予め設定された設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を出力する。
図１は、本実施形態に係る第１の情報処理装置の入出力関係を示すブロック図である。図１に示すように、それぞれのログに記録されている状態量のデータそれぞれが第１の情報処理装置１に入力される。 First, the first information processing apparatus common to each embodiment will be described. The first information processing apparatus outputs a common condition of the tendency of occurrence of abnormal data of the vacuum pump belonging to the preset setting group.
FIG. 1 is a block diagram showing an input / output relationship of the first information processing apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, each state quantity data recorded in each log is input to the first information processing device 1.

また図１に示すように、第１の情報処理装置１は、予め設定された設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を出力する。 Further, as shown in FIG. 1, the first information processing apparatus 1 outputs a common condition of a tendency of occurrence of abnormal data of a vacuum pump belonging to a preset setting group.

図２は、本実施形態に係る第１の情報処理装置の概略構成を示すブロック図である。図２に示すように、第１の情報処理装置１は、入力部１１、出力部１２、記憶部１３、メモリ１４、及びＣＰＵ（Central Processing Unit）１５０及びキャッシュ１５３を有する演算部１５を備える。各部はバスによって接続されている。 FIG. 2 is a block diagram showing a schematic configuration of the first information processing apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 2, the first information processing apparatus 1 includes an input unit 11, an output unit 12, a storage unit 13, a memory 14, and a calculation unit 15 having a CPU (Central Processing Unit) 150 and a cache 153. Each part is connected by a bus.

入力部１１には、真空ポンプそれぞれのログに記録されている状態量のデータそれぞれが入力される。
出力部１２は、演算部１５の指令に従って、予め設定された設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を出力する。
記憶部１３は、入力部１１から入力された状態量のデータが格納される。 The data of the state quantity recorded in the log of each vacuum pump is input to the input unit 11.
The output unit 12 outputs a common condition of the tendency of occurrence of abnormal data of the vacuum pump belonging to the preset setting group according to the command of the calculation unit 15.
The storage unit 13 stores the data of the state quantity input from the input unit 11.

メモリ１４は、一時的に情報を格納する。演算部１５は、入力部１１から入力された状態量のデータを記憶部１３に保存する。演算部１５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１５０、第１の検出部１５１、決定部１５２及びプログラムが格納されているキャッシュ１５３を有する。 The memory 14 temporarily stores information. The calculation unit 15 stores the state quantity data input from the input unit 11 in the storage unit 13. The calculation unit 15 includes a CPU (Central Processing Unit) 150, a first detection unit 151, a determination unit 152, and a cache 153 in which a program is stored.

第１の検出部１５１は、真空ポンプの状態量のデータから第１の異常データを検出する。ここで第１の異常データと後述する第２の異常データを総称して異常データという。ここで、異常データは、区分けした工程毎に定義した状態量の正常範囲からの状態量の外れ値であってもよいし、工程に関わらずに設定された設定範囲を、状態量（例えば電流値）が超えたとき値（以下、スパイク値ともいう）でもよい。また、異常データは、区分けした工程毎の工程全体の経時的な変化傾向の異常（例えば瞬間的な外れ値ではなく、一定期間の区分区間全体が増加傾向する場合など）であってもよい。 The first detection unit 151 detects the first abnormality data from the data of the state quantity of the vacuum pump. Here, the first abnormal data and the second abnormal data described later are collectively referred to as abnormal data. Here, the abnormal data may be a value outside the normal range of the state quantity defined for each divided process, or the set range set regardless of the process may be set to the state quantity (for example, current). A value (hereinafter, also referred to as a spike value) may be used when the value (value) is exceeded. Further, the abnormality data may be an abnormality of the change tendency of the entire process for each divided process over time (for example, when the entire divided section for a certain period tends to increase instead of a momentary outlier).

状態量には、真空ポンプの電流値が含まれる。図３Ａは、運転時間と真空ポンプの平均電流値との関係の一例を示すグラフである。ここで、真空ポンプの平均電流値は、設定時間毎の真空ポンプの平均電流値である。図３Ｂは、運転時間とスパイク値発生回数との関係の一例を示すグラフである。ここで、スパイク値発生回数は、電流値が設定範囲内を超えた回数であり、第１の異常データの発生傾向を表す。 The state quantity includes the current value of the vacuum pump. FIG. 3A is a graph showing an example of the relationship between the operating time and the average current value of the vacuum pump. Here, the average current value of the vacuum pump is the average current value of the vacuum pump for each set time. FIG. 3B is a graph showing an example of the relationship between the operation time and the number of spike value occurrences. Here, the number of times the spike value is generated is the number of times the current value exceeds the set range, and represents the tendency of occurrence of the first abnormal data.

図４は、真空ポンプのグループを説明するための図である。図４に示すように、半導体装置は、プロセスＰ−１、Ｐ−２、…、Ｐ−Ｎ（Ｎは１以上の整数）毎に分けられる。例えば半導体装置Ｓ−１１、Ｓ−１２、…、Ｓ−１ＭはプロセスＰ−１を実行するので、プロセスＰ−１のグループに属する。これらのプロセスＰ−１を実行する半導体装置Ｓ−１１、Ｓ−１２、…、Ｓ−１Ｍに対して、現在接続されて稼働中の真空ポンプＶ−１１、Ｖ−２１、…、Ｖ−６１と、過去に接続された真空ポンプＶ−５２、Ｖ−１３、…、Ｖ−４４、…、Ｖ−８２、Ｖ−４３、…、Ｖ−３５がある。このように真空ポンプは、プロセス毎にグループ化される。 FIG. 4 is a diagram for explaining a group of vacuum pumps. As shown in FIG. 4, the semiconductor device is divided into processes P-1, P-2, ..., PN (N is an integer of 1 or more). For example, the semiconductor devices S-11, S-12, ..., S-1M execute the process P-1, and therefore belong to the group of the process P-1. Vacuum pumps V-11, V-21, ..., V-61 that are currently connected and in operation with respect to the semiconductor devices S-11, S-12, ..., S-1M that execute these processes P-1. And, there are vacuum pumps V-52, V-13, ..., V-44, ..., V-82, V-43, ..., V-35 connected in the past. In this way, the vacuum pumps are grouped by process.

また半導体装置Ｓ−１１には、現在、稼働中の真空ポンプＶ−１１が接続されているが、過去には、真空ポンプＶ−５２、Ｖ−１３、…、Ｖ−４４が接続されている。このように真空ポンプは、接続された半導体装置毎にグループ化される。 Further, the vacuum pump V-11 currently in operation is connected to the semiconductor device S-11, but in the past, the vacuum pumps V-52, V-13, ..., V-44 are connected. .. In this way, the vacuum pumps are grouped by the connected semiconductor devices.

また真空ポンプＶ−１１、Ｖ−１２、Ｖ−１３が、同一の製造番号である。このように、真空ポンプは、製造番号毎にグループ化される。 The vacuum pumps V-11, V-12, and V-13 have the same serial number. In this way, the vacuum pumps are grouped by serial number.

図５は、記憶部に記憶される状態量に関するテーブルの一例を示す図である。図５に示すように、テーブルＴ１は、真空ポンプ識別情報、プロセス識別情報、半導体装置識別情報、製造番号、状態量のデータの組が格納されている。
ここで、真空ポンプ識別情報は、真空ポンプを識別する情報であり、プロセス識別情報はそのレコードの真空ポンプが接続された半導体製造装置が実行するプロセスを識別する情報（例えば、プロセス番号）である。半導体装置識別情報は、そのレコードの真空ポンプが接続された半導体装置を識別する情報であり、製造番号はそのレコードの真空ポンプの製造番号である。 FIG. 5 is a diagram showing an example of a table relating to the state quantity stored in the storage unit. As shown in FIG. 5, the table T1 stores a set of data of vacuum pump identification information, process identification information, semiconductor device identification information, serial number, and state quantity.
Here, the vacuum pump identification information is information for identifying the vacuum pump, and the process identification information is information for identifying the process executed by the semiconductor manufacturing apparatus to which the vacuum pump of the record is connected (for example, the process number). .. The semiconductor device identification information is information for identifying the semiconductor device to which the vacuum pump of the record is connected, and the serial number is the serial number of the vacuum pump of the record.

状態量のデータは、例えばそのレコードの真空ポンプの状態量（例えば電流値）のデータが格納されているファイルのファイル名であり、状態量のデータがファイルとして記憶部１３に格納されていてもよい。これにより、演算部１５は、当該ファイル名から状態量のデータを参照することができる。 The state quantity data is, for example, the file name of a file in which the status quantity (for example, current value) data of the vacuum pump of the record is stored, and even if the state quantity data is stored as a file in the storage unit 13. good. As a result, the calculation unit 15 can refer to the state quantity data from the file name.

図６は、第１の情報処理装置の処理の一例を示すフローチャートである。
（ステップＳ１０１）まず、第１の検出部１５１は、真空ポンプの状態量のデータから第１の異常データを検出する。 FIG. 6 is a flowchart showing an example of processing of the first information processing apparatus.
(Step S101) First, the first detection unit 151 detects the first abnormality data from the data of the state quantity of the vacuum pump.

（ステップＳ１０２）次に、第１の検出部１５１は、検出された第１の異常データを記憶部１３に保存する。 (Step S102) Next, the first detection unit 151 stores the detected first abnormality data in the storage unit 13.

（ステップＳ１０３）次に、決定部１５２は、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に決定する。 (Step S103) Next, the determination unit 152 uses the generation tendency of the first abnormal data detected from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump to use the tendency of the vacuum pump belonging to the setting group. The common conditions for the tendency of abnormal data to occur are determined for each setting group.

例えば、真空ポンプの設定グループは、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループであり、その場合、決定部１５２は、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に決定する。 For example, the vacuum pump setting group is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, and in that case, the determination unit 152 determines the state quantity of the vacuum pumps belonging to the group of vacuum pumps corresponding to the same serial number. Using the occurrence tendency of the first abnormality data detected from the data, the common condition of the occurrence tendency of the abnormality data of the vacuum pump belonging to the setting group is determined for each setting group.

例えば、真空ポンプの設定グループは、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループであり、その場合、決定部１５２は、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に決定する。 For example, a vacuum pump setting group is a group of vacuum pumps connected to semiconductor manufacturing equipment corresponding to the same serial number, in which case the determination unit 152 connects to the semiconductor manufacturing equipment corresponding to the same serial number. Using the occurrence tendency of the first abnormal data detected from the data of the state quantity of the vacuum pumps belonging to the group of the vacuum pumps, the common condition of the occurrence tendency of the abnormal data of the vacuum pumps belonging to the setting group is set. Determined for each group.

例えば、真空ポンプの設定グループは、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループであり、その場合、決定部１５２は、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に決定する。 For example, the vacuum pump setting group is a group of vacuum pumps used in the same process, in which case the determination unit 152 is the state of the vacuum pumps belonging to the group of vacuum pumps used in the same process. Using the occurrence tendency of the first abnormality data detected from the amount data, the common condition of the occurrence tendency of the abnormality data of the vacuum pump belonging to the setting group is determined for each setting group.

ここで、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件は、例えば、（１）異常データ発生回数、（２）異常データ発生間隔の時間変化（間隔の減少）、（３）異常データ値の増加・減少傾向、（４）異常発生継続時間または継続時間の時間変化、（５）異常データが発生する工程の傾向（片寄り）の関係、（７）異常が発生する工程の中で（１）〜（４）の条件（例えば、Ａという工程の中における（１）〜（４）の傾向または条件など）、または（７）（２）〜（４）の組合せ（セット）の発生状況などである。 Here, the common conditions for the occurrence tendency of abnormal data of vacuum pumps belonging to the setting group are, for example, (1) the number of times abnormal data is generated, (2) the time change of the abnormal data generation interval (decrease in interval), and (3). Increasing / decreasing tendency of abnormal data value, (4) time change of abnormality occurrence duration or duration, (5) relationship of tendency (bias) of process in which abnormal data occurs, (7) process in which abnormality occurs Among them, the conditions (1) to (4) (for example, the tendency or condition of (1) to (4) in the step A), or the combination (set) of (7) (2) to (4). The occurrence status of.

また共通条件は、例えば、（１）閾値（例えば異常発生１０回までは、所定期間内に故障なく運転継続可能な場合に、閾値を１０回に設定するなど）、（２）異常発生回数などの連続した数値（または数値区間）であり、この数値（または数値区間）に対応して運転継続度合（運転継続確率）が定義されているもの、または（３）異常発生パターン（例えば発生頻度増加傾向、状態量の変化傾向）が定義されており、異常発生パターンごとに運転継続度合（運転継続確率）が定義されているものである。 Common conditions include, for example, (1) threshold value (for example, up to 10 abnormal occurrences, the threshold value is set to 10 times when operation can be continued without failure within a predetermined period), (2) number of abnormal occurrences, and the like. It is a continuous numerical value (or numerical interval) of, and the degree of operation continuation (operation continuation probability) is defined corresponding to this numerical value (or numerical interval), or (3) Abnormal occurrence pattern (for example, increase in occurrence frequency). The tendency (change tendency of the state amount) is defined, and the degree of continuation of operation (probability of continuation of operation) is defined for each abnormality occurrence pattern.

（ステップＳ１０４）次に、決定部１５２は、決定した共通条件をグループ毎に記憶部１３に保存するとともに、グループ識別情報と共通条件の組を出力部１２から出力させる。グループ識別情報は、グループを識別する情報であり、例えば、プロセス識別情報、半導体製造装置識別情報、または製造番号などである。 (Step S104) Next, the determination unit 152 stores the determined common conditions in the storage unit 13 for each group, and outputs the group identification information and the set of the common conditions from the output unit 12. The group identification information is information that identifies a group, such as process identification information, semiconductor manufacturing equipment identification information, or serial number.

以上、本実施形態に係る第１の情報処理装置１は、真空ポンプの状態量のデータから第１の異常データを検出する第１の検出部１５１と、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプに関する共通条件を当該設定グループ毎に決定する決定部１５２と、を備える。 As described above, the first information processing apparatus 1 according to the present embodiment includes the first detection unit 151 that detects the first abnormality data from the state quantity data of the vacuum pump, and the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. It is provided with a determination unit 152 that determines common conditions for vacuum pumps belonging to the setting group for each setting group by using the occurrence tendency of the first abnormality data detected from the state quantity data.

この構成により、真空ポンプの設定グループ毎に、ポンプ内部状態に関する共通条件を出力することができる。 With this configuration, it is possible to output common conditions regarding the internal state of the pump for each setting group of the vacuum pump.

＜第１の実施形態＞
続いて、第１の実施形態に係る半導体製造システムの構成について説明する。図７は、第１の実施形態に係る半導体製造システムの概略構成を示すブロック図である。図７に示すように、半導体製造システムＳＳ１は、半導体製造装置２、真空ポンプ４、半導体製造装置２と真空ポンプ４を接続する配管３と、真空ポンプ４に配線を介して接続された第２の情報処理装置５と、第２の情報処理装置５に配線を介して接続された表示装置６を備える。 <First Embodiment>
Subsequently, the configuration of the semiconductor manufacturing system according to the first embodiment will be described. FIG. 7 is a block diagram showing a schematic configuration of the semiconductor manufacturing system according to the first embodiment. As shown in FIG. 7, the semiconductor manufacturing system SS1 has a semiconductor manufacturing apparatus 2, a vacuum pump 4, a pipe 3 connecting the semiconductor manufacturing apparatus 2 and the vacuum pump 4, and a second connected to the vacuum pump 4 via wiring. The information processing device 5 and the display device 6 connected to the second information processing device 5 via wiring are provided.

第２の情報処理装置５には、真空ポンプ４から状態量のデータが入力され、第１の情報処理装置１から出力されたグループと共通条件の組が入力される。第２の情報処理装置５は、比較結果を表示装置６へ出力して比較結果を表示させる。ここで比較結果は、運転中の真空ポンプ４が属するグループに対応する共通条件と、真空ポンプ４の状態量のデータから検出された第２の異常データの発生傾向とを比較した結果である。 State quantity data is input to the second information processing device 5 from the vacuum pump 4, and a set of common conditions with the group output from the first information processing device 1 is input. The second information processing device 5 outputs the comparison result to the display device 6 to display the comparison result. Here, the comparison result is a result of comparing the common conditions corresponding to the group to which the vacuum pump 4 in operation belongs and the tendency of occurrence of the second abnormal data detected from the data of the state quantity of the vacuum pump 4.

図８は、本実施形態に係る第２の情報処理装置の概略構成を示すブロック図である。図８に示すように、第２の情報処理装置５は、入力部５１、出力部５２、記憶部５３、メモリ５４、及び演算部５５を備える。
入力部５１は、真空ポンプ４に接続されており、状態量（例えば電流値）のデータが入力される。また入力部５１には、第１の情報処理装置１から出力されたグループ識別情報と共通条件の組が入力される。 FIG. 8 is a block diagram showing a schematic configuration of the second information processing apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 8, the second information processing apparatus 5 includes an input unit 51, an output unit 52, a storage unit 53, a memory 54, and a calculation unit 55.
The input unit 51 is connected to the vacuum pump 4, and data of a state quantity (for example, a current value) is input. Further, the group identification information output from the first information processing device 1 and a set of common conditions are input to the input unit 51.

演算部５５は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）５５０、読出部５５１、第２の検出部５５２、比較部５５３及びプログラムが格納されているキャッシュ５５４を有する。演算部５５は、入力部５１に入力されたグループと共通条件の組を記憶部に格納する。 The calculation unit 55 includes a CPU (Central Processing Unit) 550, a read unit 551, a second detection unit 552, a comparison unit 553, and a cache 554 in which a program is stored. The calculation unit 55 stores the group input to the input unit 51 and the set of common conditions in the storage unit.

図９は、演算部により記憶部に格納されるテーブルの一例である。テーブルＴ２は、真空ポンプのグループが、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループの場合であり、この場合にはグループ識別情報がプロセス識別情報である場合である。テーブルＴ２には、プロセス識別情報と共通条件の組が格納される。 FIG. 9 is an example of a table stored in the storage unit by the calculation unit. Table T2 shows the case where the group of vacuum pumps is a group of vacuum pumps used in the same process, and in this case, the group identification information is the process identification information. The table T2 stores a set of process identification information and common conditions.

テーブルＴ３は、真空ポンプのグループが、同一の半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループの場合であり、この場合にはグループ識別情報が半導体製造装置識別情報である。テーブルＴ３には、半導体製造装置識別情報と共通条件の組が格納される。 Table T3 shows the case where the group of vacuum pumps is a group of vacuum pumps connected to the same semiconductor manufacturing apparatus, and in this case, the group identification information is the semiconductor manufacturing apparatus identification information. The table T3 stores a set of semiconductor manufacturing apparatus identification information and common conditions.

テーブルＴ４は、真空ポンプのグループが、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループの場合であり、この場合にはグループ識別情報が製造番号である。テーブルＴ４には、製造番号と共通条件の組が格納される。このようにして、テーブルＴ２〜Ｔ４の一部または全部が記憶部５３に格納される。これにより、記憶部５３は、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する。 Table T4 shows the case where the vacuum pump group is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, and in this case, the group identification information is the serial number. The table T4 stores a set of serial numbers and common conditions. In this way, a part or all of the tables T2 to T4 is stored in the storage unit 53. As a result, the storage unit 53 determines the abnormality of the vacuum pump belonging to the setting group, which is determined by using the generation tendency of the first abnormality data detected from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. The common conditions of data generation tendency are stored for each setting group.

図１０は、第２の情報処理装置の処理の一例を示すフローチャートである。 FIG. 10 is a flowchart showing an example of processing of the second information processing apparatus.

（ステップＳ２０１）まず、読出部５５１は、運転中の真空ポンプ４が属するグループに対応する共通条件を記憶部５３から読み出す。例えば、グループが同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループの場合、読出部５５１は、運転中の真空ポンプ４と同一の製造番号の真空ポンプのグループに対応する共通条件を記憶部５３から読み出す。すなわち、読出部５５１は、運転中の真空ポンプ４の製造番号に対応する共通条件を記憶部５３のテーブルＴ４から読み出す。 (Step S201) First, the reading unit 551 reads the common conditions corresponding to the group to which the operating vacuum pump 4 belongs from the storage unit 53. For example, when the group is a group of vacuum pumps having the same serial number, the reading unit 551 reads out from the storage unit 53 common conditions corresponding to the group of vacuum pumps having the same serial number as the operating vacuum pump 4. .. That is, the reading unit 551 reads the common conditions corresponding to the serial numbers of the vacuum pump 4 in operation from the table T4 of the storage unit 53.

あるいは、例えば、グループが同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループの場合、読出部５５１は、運転中の真空ポンプ４が接続されている半導体製造装置と同一の半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループに対応する共通条件を記憶部５３から読み出す。すなわち、読出部５５１は、運転中の真空ポンプ４が接続されている半導体製造装置を識別する半導体製造装置識別情報に対応する共通条件を記憶部５３のテーブルＴ３から読み出す。 Alternatively, for example, in the case of a group of vacuum pumps in which the group is connected to a semiconductor manufacturing apparatus corresponding to the same serial number, the reading unit 551 is the same semiconductor as the semiconductor manufacturing apparatus to which the operating vacuum pump 4 is connected. The common conditions corresponding to the group of vacuum pumps connected to the manufacturing apparatus are read from the storage unit 53. That is, the reading unit 551 reads the common conditions corresponding to the semiconductor manufacturing device identification information for identifying the semiconductor manufacturing device to which the vacuum pump 4 in operation is connected from the table T3 of the storage unit 53.

あるいは、例えば、グループが同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループの場合、読出部５５１は、運転中の真空ポンプ４が使用されているプロセスと同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループに対応する共通条件を記憶部５３から読み出す。すなわち、読出部５５１は、運転中の真空ポンプ４が使用されているプロセスを識別するプロセス識別情報に対応する共通条件を記憶部５３のテーブルＴ２から読み出す。 Alternatively, for example, in the case of a group of vacuum pumps in which the group was used in the same process, the reading unit 551 is a vacuum pump in which the vacuum pump 4 in operation was used in the same process as the process in which it is used. The common condition corresponding to the group is read from the storage unit 53. That is, the reading unit 551 reads the common conditions corresponding to the process identification information for identifying the process in which the operating vacuum pump 4 is used from the table T2 of the storage unit 53.

（ステップＳ２０２）次に、第２の検出部５５２は、運転中の真空ポンプ４の状態量のデータから第２の異常データを検出する。 (Step S202) Next, the second detection unit 552 detects the second abnormality data from the data of the state quantity of the vacuum pump 4 during operation.

（ステップＳ２０３）次に、比較部５５３は、読み出された共通条件と、検出された第２の異常データの発生傾向とを比較する。 (Step S203) Next, the comparison unit 553 compares the read common condition with the tendency of occurrence of the detected second abnormal data.

例えば、真空ポンプの設定グループが、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループの場合、比較部５５３は、運転中の真空ポンプ４と同一の製造番号の真空ポンプのグループに対応する共通条件と、運転中の真空ポンプ４の第２の異常データの発生傾向とを比較する。 For example, when the setting group of the vacuum pump is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, the comparison unit 553 has a common condition corresponding to the group of vacuum pumps having the same serial number as the operating vacuum pump 4. , The tendency of the second abnormal data of the vacuum pump 4 during operation to be generated is compared.

あるいは例えば、真空ポンプの設定グループが、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループの場合、比較部５５３は、運転中の対象真空ポンプが接続されている半導体製造装置と同一の半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループに対応する共通条件と、運転中の対象真空ポンプの前記第２の異常データの発生傾向とを比較する。 Alternatively, for example, when the setting group of the vacuum pump is a group of vacuum pumps connected to the semiconductor manufacturing apparatus corresponding to the same serial number, the comparison unit 553 is connected to the semiconductor manufacturing apparatus to which the target vacuum pump in operation is connected. The common conditions corresponding to the group of vacuum pumps connected to the same semiconductor manufacturing apparatus as above are compared with the tendency of occurrence of the second abnormal data of the target vacuum pump in operation.

あるいは例えば、真空ポンプの設定グループが、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループの場合、比較部５５３は、運転中の対象真空ポンプが使用されているプロセスと同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループに対応する共通条件と、運転中の対象真空ポンプの第２の異常データの発生傾向とを比較する。 Alternatively, for example, if the vacuum pump setting group is a group of vacuum pumps used in the same process, the comparison unit 553 is used in the same process as the process in which the target vacuum pump in operation is used. The common conditions corresponding to the group of vacuum pumps are compared with the tendency of the second anomaly data of the target vacuum pump in operation to occur.

ここで、比較方法としては、例えば、（１）共通条件が閾値の場合、この閾値と運転中の真空ポンプの異常発生傾向を単純に比較すること（例えば閾値を超えているか否か判定すること）、（２）共通条件が連続した数値（連続値という）の場合、この連続値と運転ポンプの異常発生傾向データを比較し、対応する運転継続度合を算出すること、または（３）共通条件が異常発生パターンの場合、この異常発生パターンと運転ポンプの異常発生傾向を比較し、運転ポンプの異常発生傾向の当該異常発生パターンからの乖離値（または一致傾向度合）を計算し、乖離値と異常発生パターンの組に対応する運転継続度合から運転継続可能性比率を算出すること、などがある。 Here, as a comparison method, for example, (1) when the common condition is a threshold value, simply compare this threshold value with the tendency of abnormal occurrence of the vacuum pump during operation (for example, determine whether or not the threshold value is exceeded). ), (2) When the common condition is a continuous value (called a continuous value), compare this continuous value with the abnormality occurrence tendency data of the operating pump and calculate the corresponding operation continuity degree, or (3) Common condition When is an abnormality occurrence pattern, this abnormality occurrence pattern is compared with the abnormality occurrence tendency of the operating pump, the deviation value (or the degree of matching tendency) of the abnormality occurrence tendency of the operation pump from the abnormality occurrence pattern is calculated, and the deviation value and the deviation value are calculated. The operation continuity possibility ratio is calculated from the operation continuity degree corresponding to the set of abnormality occurrence patterns.

上記（１）の場合、例えば、共通条件は、真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常データに基づいて設定された閾値であり、比較部５５３は、当該閾値と、検出された第２の異常データの発生傾向とを比較する。ここで、閾値は、単位時間あたりに特定の状態量（例えば、電流値）が設定範囲から外れた回数の閾値であってもよい。その場合、比較部５５３は、この閾値と、運転中の真空ポンプ４の状態量のデータから検出された単位時間あたりに当該特定の状態量が設定範囲から外れた回数とを比較してもよい。 In the case of (1) above, for example, the common condition is a threshold value set based on the abnormality data detected in the data of the state quantity of the vacuum pump, and the comparison unit 553 has the threshold value and the detected third. Compare with the tendency of occurrence of abnormal data in 2. Here, the threshold value may be the threshold value of the number of times that a specific state quantity (for example, a current value) deviates from the set range per unit time. In that case, the comparison unit 553 may compare this threshold value with the number of times the specific state quantity deviates from the set range per unit time detected from the data of the state quantity of the vacuum pump 4 during operation. ..

具体的には、例えば、比較部５５３は、閾値を平均電流値の振れ幅の閾値として、真空ポンプの異常発生傾向を平均電流値として、平均電流値がこの平均電流値の振れ幅の閾値が超えているか否かを判定してもよい。この場合、比較部５５３は、例えば、平均電流値がこの平均電流値の振れ幅の閾値が超えている場合、運転継続度合を０として出力し、平均電流値がこの平均電流値の振れ幅の閾値に収まる場合、運転継続度合を１として出力してもよい。 Specifically, for example, the comparison unit 553 uses the threshold value as the threshold value of the fluctuation width of the average current value, the abnormal occurrence tendency of the vacuum pump as the average current value, and the average current value as the threshold value of the fluctuation width of the average current value. It may be determined whether or not it exceeds. In this case, for example, when the average current value exceeds the threshold value of the fluctuation width of the average current value, the comparison unit 553 outputs the degree of operation continuation as 0, and the average current value is the fluctuation width of the average current value. If it falls within the threshold value, the operation continuity degree may be output as 1.

上記（２）、（３）の場合、比較部５５３は、例えば、比較して数値化し、数値化したデータ（例えば、運転継続度合または運転継続可能性比率）を比較結果として出力してもよい。 In the cases of (2) and (3) above, the comparison unit 553 may, for example, compare and quantify, and output the quantified data (for example, the degree of continuation of operation or the ratio of possibility of continuation of operation) as a comparison result. ..

上記（３）の場合、共通条件は、真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の許容範囲の時間変化を表すデータであってもよい。この場合、比較部５５３は、異常の許容範囲の時間変化を表すデータと、運転中の真空ポンプ４の状態量のデータから検出された異常の時系列データとを比較してもよい。 In the case of (3) above, the common condition may be data representing a time change in an allowable range of abnormality detected in the data of the state quantity of the vacuum pump. In this case, the comparison unit 553 may compare the data representing the time change of the allowable range of abnormality with the time series data of the abnormality detected from the data of the state quantity of the vacuum pump 4 during operation.

ここで、異常の許容範囲の時間変化を表すデータは、単位時間あたりに特定の状態量（例えば、電流値、または平均電流値）が設定範囲から外れた回数の許容範囲の時間変化を表すデータであってもよい。この場合、比較部５５３は、当該許容範囲の時間変化を表すデータと、運転中の真空ポンプ４の状態量のデータから検出された単位時間あたりに特定の状態量（例えば、電流値）が設定範囲から外れた回数の時系列データとを比較してもよい。 Here, the data representing the time change of the permissible range of abnormality is the data representing the time change of the permissible range of the number of times that a specific state quantity (for example, a current value or an average current value) deviates from the set range per unit time. It may be. In this case, the comparison unit 553 sets a specific state amount (for example, a current value) per unit time detected from the data representing the time change in the permissible range and the state amount data of the vacuum pump 4 during operation. It may be compared with the time series data of the number of times out of the range.

あるいは共通条件は、真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常に基づいて設定された異常発生規則を表す第１異常発生規則データであってもよい。この場合、比較部５５３は、第１異常発生規則データと、運転中の真空ポンプ４の状態量のデータから検出された異常発生規則を表す第２異常発生規則データとを比較してもよい。 Alternatively, the common condition may be the first abnormality occurrence rule data representing the abnormality occurrence rule set based on the abnormality detected in the state quantity data of the vacuum pump. In this case, the comparison unit 553 may compare the first abnormality occurrence rule data with the second abnormality occurrence rule data representing the abnormality occurrence rule detected from the data of the state quantity of the vacuum pump 4 during operation.

ここで第１異常発生規則データは、運転継続可能な真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の発生回数（例えば、スパイク値発生回数）に基づいて設定された設定回数範囲であってもよい。この場合、比較部５５３は、設定回数範囲と、運転中の真空ポンプ４の状態量のデータから検出された異常発生回数とを比較して、設定回数範囲からの離れ度合いを決定してもよい。 Here, the first abnormality occurrence rule data is a set number of times range set based on the number of occurrences of abnormality (for example, the number of occurrences of spike value) detected in the data of the state quantity of the vacuum pump capable of continuing operation. May be good. In this case, the comparison unit 553 may compare the set number of times range with the number of times of abnormality occurrence detected from the data of the state amount of the vacuum pump 4 during operation to determine the degree of deviation from the set number of times range. ..

その際、比較部５５３は、当該離れ度合いに応じて、運転中の真空ポンプ４の状態を、正常な状態、注意が必要な状態、交換が必要な状態に分けて判定してもよい。そして、比較部５５３は、判定した運転中の真空ポンプの状態を比較結果として出力部５２から出力してもよい。 At that time, the comparison unit 553 may determine the state of the vacuum pump 4 in operation by dividing it into a normal state, a state requiring attention, and a state requiring replacement according to the degree of separation. Then, the comparison unit 553 may output the determined state of the vacuum pump during operation from the output unit 52 as a comparison result.

（ステップＳ２０４）次に、比較部５５３は例えば、比較結果を出力部５２から表示装置６へ出力させる。ここで、比較結果としては、閾値を超えているか否かの結果、運転継続度合、運転継続可能性比率、または運転ポンプの異常発生傾向の当該異常発生パターンからの乖離値（または一致傾向度合）などである。これらの比較結果が表示装置６に表示される。 (Step S204) Next, the comparison unit 553 outputs the comparison result from the output unit 52 to the display device 6, for example. Here, as a comparison result, as a result of whether or not the threshold value is exceeded, the degree of operation continuity, the degree of continuity of operation, or the deviation value (or the degree of agreement tendency) from the abnormality occurrence pattern of the operation pump abnormality occurrence tendency. And so on. These comparison results are displayed on the display device 6.

なお、比較部５５３は、表示装置に出力するだけに限らず、通信ネットワークを経由してデータを出力してもよい。 The comparison unit 553 is not limited to outputting to the display device, but may output data via the communication network.

以上、本実施形態に係る第２の情報処理装置は、記憶部５３から、運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件を読み出す読出部と、運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する検出部と、読み出された共通条件と、検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する比較部と、を備える。ここで、記憶部５３は、真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された第１の異常データの発生傾向を用いて決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する。 As described above, the second information processing apparatus according to the present embodiment has a reading unit that reads common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs from the storage unit 53, and a state amount of the target vacuum pump in operation. It includes a detection unit that detects the second abnormal data from the data, and a comparison unit that compares the read common conditions with the occurrence tendency of the detected second abnormal data. Here, the storage unit 53 determines an abnormality of the vacuum pump belonging to the setting group, which is determined by using the occurrence tendency of the first abnormality data detected from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. The common conditions of data generation tendency are stored for each setting group.

この構成により、運転中の対象真空ポンプの異常状態の発生傾向を、当該対象真空ポンプが属するグループの過去の真空ポンプの異常状態の発生傾向に基づく共通条件と比較することができる。このため、運転中の対象真空ポンプの異常状態から、ポンプ内部状態を診断することができる。 With this configuration, the tendency of the abnormal state of the target vacuum pump during operation can be compared with the common condition based on the past tendency of the abnormal state of the target vacuum pump of the group to which the target vacuum pump belongs. Therefore, the internal state of the pump can be diagnosed from the abnormal state of the target vacuum pump during operation.

＜第２の実施形態＞
続いて、第２の実施形態に係る半導体製造システムの構成について説明する。図１１は、第２の実施形態に係る半導体製造システムの概略構成を示すブロック図である。図１１に示すように、第２の実施形態に係る半導体製造システムＳＳ２は、図７の第１の実施形態に係る半導体製造システムＳＳ１に比べて、真空ポンプ４−１、４−２、…、４−Ｋ（Ｋは１以上の整数）が通信回路網７を介して第２の情報処理装置５に接続されている点が異なっている。この構成により、第２の情報処理装置５は、通信回路網７を介して入力された複数の状態量のデータそれぞれに対して、演算を独立して実行することができる。 <Second embodiment>
Subsequently, the configuration of the semiconductor manufacturing system according to the second embodiment will be described. FIG. 11 is a block diagram showing a schematic configuration of the semiconductor manufacturing system according to the second embodiment. As shown in FIG. 11, the semiconductor manufacturing system SS2 according to the second embodiment is compared with the semiconductor manufacturing system SS1 according to the first embodiment of FIG. 7, and the vacuum pumps 4-1 and 4-2, ... The difference is that 4-K (K is an integer of 1 or more) is connected to the second information processing apparatus 5 via the communication network 7. With this configuration, the second information processing apparatus 5 can independently execute the calculation for each of the plurality of state quantity data input via the communication network 7.

＜第３の実施形態＞
続いて、第３の実施形態に係る半導体製造システムの構成について説明する。図１２は、第３の実施形態に係る半導体製造システムの概略構成を示すブロック図である。図１２に示すように、第３の実施形態に係る半導体製造システムＳＳ３は、図１１の第２の実施形態に係る半導体製造システムＳＳ２に比べて、更に、上位の工場生産管理システムから通信回路網８を介して共通条件が第２の情報処理装置５に入力される点が異なっている。この構成により、第２の情報処理装置５には、上位の工場生産管理システムから自動的に共通条件が入力されるため、手動による入力作業をなくして、人手による工数を低減することができる。 <Third embodiment>
Subsequently, the configuration of the semiconductor manufacturing system according to the third embodiment will be described. FIG. 12 is a block diagram showing a schematic configuration of the semiconductor manufacturing system according to the third embodiment. As shown in FIG. 12, the semiconductor manufacturing system SS3 according to the third embodiment has a communication circuit network from a higher-level factory production control system than the semiconductor manufacturing system SS2 according to the second embodiment of FIG. The difference is that the common condition is input to the second information processing apparatus 5 via 8. With this configuration, common conditions are automatically input to the second information processing apparatus 5 from the upper factory production control system, so that manual input work can be eliminated and man-hours can be reduced.

なお、演算部１５は、記憶部１３に保存されたプログラムを読み出して実行することにより、第１の検出部１５１、決定部１５２として機能してもよい。同様に、演算部５５は、記憶部５３に保存されたプログラムを読み出して実行することにより、読出部５５１、第２の検出部５５２、比較部５５３として機能してもよい。 The calculation unit 15 may function as the first detection unit 151 and the determination unit 152 by reading and executing the program stored in the storage unit 13. Similarly, the calculation unit 55 may function as the reading unit 551, the second detection unit 552, and the comparison unit 553 by reading and executing the program stored in the storage unit 53.

なお、第１の情報処理装置と第２の情報処理装置とは別々のシステムとして説明したが、これに限らず、一つの情報処理システムが第１の情報処理装置と第２の情報処理装置とを備えてもよい。 Although the first information processing device and the second information processing device have been described as separate systems, the present invention is not limited to this, and one information processing system includes the first information processing device and the second information processing device. May be provided.

以上、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。 As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and at the implementation stage, the components can be modified and embodied within a range that does not deviate from the gist thereof. In addition, various inventions can be formed by an appropriate combination of the plurality of components disclosed in the above-described embodiment. For example, some components may be removed from all the components shown in the embodiments. Further, components over different embodiments may be combined as appropriate.

１ 第１の情報処理装置
１１ 入力部
１２ 出力部
１３ 記憶部
１４ メモリ
１５ 演算部
１５１ 第１の検出部
１５２ 決定部
１５３ キャッシュ
２ 半導体製造装置
３ 配管
４ 真空ポンプ
５ 第２の情報処理装置
５１ 入力部
５２ 出力部
５３ 記憶部
５４ メモリ
５５ 演算部
５５１ 読出部
５５２ 第２の検出部
５５３ 比較部
５５４ キャッシュ
６ 表示装置
７、８ 通信回路網
ＳＳ１、ＳＳ２、ＳＳ３ 半導体製造システム
Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４ テーブル 1 First information processing device 11 Input unit 12 Output unit 13 Storage unit 14 Memory 15 Calculation unit 151 First detection unit 152 Determining unit 153 Cash 2 Semiconductor manufacturing equipment 3 Piping 4 Vacuum pump 5 Second information processing device 51 Input Unit 52 Output unit 53 Storage unit 54 Memory 55 Calculation unit 551 Read unit 552 Second detection unit 553 Comparison unit 554 Cache 6 Display device 7, 8 Communication network SS1, SS2, SS3 Semiconductor manufacturing system T1, T2, T3, T4 table

Claims (9)

情報処理装置であって、
真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから当該情報処理装置または他の情報処理装置によって検出された第1の異常データの発生傾向を用いて当該情報処理装置または他の情報処理装置によって決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する記憶装置から、運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件を読み出す読出部であって、前記設定グループは、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループ、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループ、又は、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループであり、前記共通条件は、前記設定グループに属する前記真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の許容範囲の時間変化を表すデータである、前記読出部と、
運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する検出部と、
前記読み出された共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する比較部と、
を備え、
前記比較部は、前記異常の許容範囲の時間変化を表すデータと、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された異常の時系列データとを対応する時刻毎に比較する
情報処理装置。 It is an information processing device
The information processing device or other information processing device uses the occurrence tendency of the first abnormal data detected by the information processing device or other information processing device from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. Reads out the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs from the storage device that stores the common conditions of the occurrence tendency of the abnormal data of the vacuum pumps belonging to the setting group determined by The setting group is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, a group of vacuum pumps connected to a semiconductor manufacturing apparatus corresponding to the same serial number, or used in the same process. and a group of the vacuum pump, the common condition, Ru data der representing the time variation of the allowable range of the detected anomalies in the data state of the vacuum pump belonging before Symbol setting group, and the reading unit ,
A detector that detects the second abnormal data from the data of the state quantity of the target vacuum pump during operation, and
A comparison unit that compares the read common conditions with the detected tendency of occurrence of the second abnormal data.
Bei to give a,
The comparison unit is an information processing device that compares the data representing the time change in the allowable range of the abnormality with the time-series data of the abnormality detected from the data of the state quantity of the vacuum pump during operation for each corresponding time. .. 前記真空ポンプの設定グループは、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループであり、
前記比較部は、前記運転中の対象真空ポンプと同一の製造番号の真空ポンプのグループに対応する前記共通条件と、前記運転中の対象真空ポンプの前記第２の異常データの発生傾向とを比較する
請求項１に記載の情報処理装置。 The vacuum pump setting group is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number.
The comparison unit compares the common conditions corresponding to the group of vacuum pumps having the same serial number as the target vacuum pump in operation with the tendency of occurrence of the second abnormal data of the target vacuum pump in operation. The information processing apparatus according to claim 1. 前記真空ポンプの設定グループは、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループであり、
前記比較部は、前記運転中の対象真空ポンプが接続されている半導体製造装置と同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループに対応する前記共通条件と、前記運転中の対象真空ポンプの前記第２の異常データの発生傾向とを比較する
請求項１に記載の情報処理装置。 The vacuum pump setting group is a group of vacuum pumps connected to semiconductor manufacturing equipment corresponding to the same serial number.
The comparison unit includes the common conditions corresponding to the group of vacuum pumps connected to the semiconductor manufacturing apparatus corresponding to the same serial number as the semiconductor manufacturing apparatus to which the target vacuum pump in operation is connected, and the operating. The information processing apparatus according to claim 1, wherein the second abnormality data of the target vacuum pump is compared with the generation tendency of the second abnormality data. 前記真空ポンプの設定グループは、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループであり、
前記比較部は、前記運転中の対象真空ポンプが使用されているプロセスと同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループに対応する前記共通条件と、前記運転中の対象真空ポンプの前記第２の異常データの発生傾向とを比較する
請求項１に記載の情報処理装置。 The vacuum pump setting group is a group of vacuum pumps used in the same process.
The comparison unit includes the common conditions corresponding to a group of vacuum pumps used in the same process as the process in which the target vacuum pump in operation is used, and the second of the target vacuum pumps in operation. The information processing apparatus according to claim 1, wherein the information processing apparatus is compared with the tendency of occurrence of abnormal data. 前記異常の許容範囲の時間変化を表すデータは、単位時間あたりに特定の状態量が設定範囲から外れた回数の許容範囲の時間変化を表すデータであり、
前記比較部は、前記許容範囲の時間変化を表すデータと、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された単位時間あたりに前記特定の状態量が設定範囲から外れた回数の時系列データとを比較する
請求項１に記載の情報処理装置。 The data representing the time change of the permissible range of the abnormality is the data representing the time change of the permissible range of the number of times that the specific state quantity deviates from the set range per unit time.
The comparison unit is a time series of the number of times the specific state quantity deviates from the set range per unit time detected from the data representing the time change of the allowable range and the data of the state quantity of the vacuum pump during operation. The information processing apparatus according to claim 1 , wherein the data is compared with the data. 前記比較部は、比較して数値化し、数値化したデータを比較結果として出力する
請求項１から５のいずれか一項に記載の情報処理装置。 The information processing apparatus according to any one of claims 1 to 5 , wherein the comparison unit compares and quantifies the data, and outputs the quantified data as a comparison result. 真空ポンプの状態量のデータから第１の異常データを検出する第１の検出部と、
真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから検出された前記第１の異常データの発生傾向を用いて、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に決定する決定部であって、前記設定グループは、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループ、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループ、又は、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループであり、前記共通条件は、前記設定グループに属する前記真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の許容範囲の時間変化を表すデータである、前記決定部と、
運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する第２の検出部と、
前記運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する比較部と、
を備え、
前記比較部は、前記異常の許容範囲の時間変化を表すデータと、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された異常の時系列データとを対応する時刻毎に比較する
情報処理システム。 The first detection unit that detects the first abnormality data from the data of the state quantity of the vacuum pump, and
Using the occurrence tendency of the first abnormality data detected from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump, the common condition of the occurrence tendency of the abnormality data of the vacuum pump belonging to the setting group is set. The setting unit is a determination unit that is determined for each group, and the setting group is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, a group of vacuum pumps connected to a semiconductor manufacturing apparatus corresponding to the same serial number, or the same. of a group of a vacuum pump that was used in the process, the common condition is the data representing the time variation of the allowable range of the detected anomalies in the data state of the vacuum pump belonging before Symbol Configuration group There is the decision unit and
A second detector that detects the second abnormality data from the data of the state quantity of the target vacuum pump during operation, and
A comparison unit that compares the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs with the detected tendency of occurrence of the second abnormality data.
Bei to give a,
The comparison unit is an information processing system that compares the data representing the time change in the allowable range of the abnormality with the time-series data of the abnormality detected from the data of the state quantity of the vacuum pump during operation for each corresponding time. .. 情報処理装置が実行する情報処理方法であって、
真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから当該情報処理装置または他の情報処理装置によって検出された第１の異常データの発生傾向を用いて当該情報処理装置または他の情報処理装置によって決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する記憶装置から、運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件を読み出す工程であって、前記設定グループは、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループ、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループ、又は、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループであり、前記共通条件は、前記設定グループに属する前記真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の許容範囲の時間変化を表すデータである、前記読み出す工程と、
運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する工程と、
前記読み出された共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する工程と、
を有し、
前記比較する工程において、前記異常の許容範囲の時間変化を表すデータと、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された異常の時系列データとを対応する時刻毎に比較する
情報処理方法。 It is an information processing method executed by an information processing device.
The information processing device or other information processing device uses the generation tendency of the first abnormal data detected by the information processing device or other information processing device from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. A step of reading out the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs from the storage device that stores the common conditions of the occurrence tendency of the abnormal data of the vacuum pumps belonging to the setting group determined by The setting group was used in a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, a group of vacuum pumps connected to a semiconductor manufacturing apparatus corresponding to the same serial number, or in the same process. is a group of the vacuum pump, the common condition is data representing the time variation of the allowable range of the detected anomalies in the data state of the vacuum pump belonging before Symbol setting group, and said reading step,
The process of detecting the second abnormal data from the data of the state quantity of the target vacuum pump during operation, and
A step of comparing the read common condition with the detected tendency of occurrence of the second abnormal data, and
Have a,
Information processing that compares the data representing the time change in the allowable range of the abnormality with the time-series data of the abnormality detected from the data of the state quantity of the vacuum pump during operation for each corresponding time in the comparison step. Method. 情報処理装置を、
真空ポンプの設定グループに属する真空ポンプの状態量のデータから当該情報処理装置または他の情報処理装置によって検出された第１の異常データの発生傾向を用いて当該情報処理装置または他の情報処理装置によって決定された、当該設定グループに属する真空ポンプの異常データの発生傾向の共通条件を当該設定グループ毎に格納する記憶装置から、運転中の対象真空ポンプが属するグループに対応する共通条件を読み出す読出部であって、前記設定グループは、同一の製造番号に該当する真空ポンプのグループ、同一の製造番号に該当する半導体製造装置に接続された真空ポンプのグループ、又は、同一のプロセスで使用されていた真空ポンプのグループであり、前記共通条件は、前記設定グループに属する前記真空ポンプの状態量のデータ中に検出された異常の許容範囲の時間変化を表すデータである、前記読出部と、
運転中の対象真空ポンプの状態量のデータから第２の異常データを検出する検出部と、
前記読み出された共通条件と、前記検出された前記第２の異常データの発生傾向とを比較する比較部と、
として機能させるためのプログラムであって、前記比較部は、前記異常の許容範囲の時間変化を表すデータと、前記運転中の真空ポンプの状態量のデータから検出された異常の時系列データとを対応する時刻毎に比較するプログラム。 Information processing device,
The information processing device or other information processing device uses the generation tendency of the first abnormal data detected by the information processing device or other information processing device from the data of the state amount of the vacuum pump belonging to the setting group of the vacuum pump. Reads out the common conditions corresponding to the group to which the target vacuum pump in operation belongs from the storage device that stores the common conditions of the occurrence tendency of the abnormal data of the vacuum pumps belonging to the setting group determined by The setting group is a group of vacuum pumps corresponding to the same serial number, a group of vacuum pumps connected to a semiconductor manufacturing apparatus corresponding to the same serial number, or used in the same process. and a group of the vacuum pump, the common condition, Ru data der representing the time variation of the allowable range of the detected anomalies in the data state of the vacuum pump belonging before Symbol setting group, and the reading unit ,
A detector that detects the second abnormal data from the data of the state quantity of the target vacuum pump during operation, and
A comparison unit that compares the read common conditions with the detected tendency of occurrence of the second abnormal data.
In the comparison unit, the data representing the time change of the allowable range of the abnormality and the time series data of the abnormality detected from the data of the state amount of the vacuum pump during operation are combined with each other. A program that compares each corresponding time .

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