JP6950613B2 - 磁気作動型ｍｅｍｓスイッチ - Google Patents

Description

本発明は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチに関する。

従来からスイッチング装置として電気式微小機械装置（Micro Electromechanical System：ＭＥＭＳ）を用いたものが知られている。このようなスイッチング装置として磁気の有無により開閉する磁気作動型のＭＥＭＳスイッチが検討されている。例えば、特許文献１では、磁性体に磁力が付与されることで磁性体が撓み、磁性体に設けられた第１の接点と、第１の接点に対向配置された第２の接点とが接触するＭＥＭＳスイッチが開示されている。特許文献１では、ＭＥＭＳスイッチの近傍でマグネットを移動させることで、磁性体に対して磁力を付与する構成が示されている。

特開２００９−１３４９９３号公報

しかしながら、特許文献１記載のＭＥＭＳスイッチを実現するためには、ＭＥＭＳスイッチの近傍でマグネットを移動させる機構を設ける必要があり、ＭＥＭＳスイッチを実現するための装置構成が大型化する。また、ＭＥＭＳスイッチでは、スイッチングの高速化、および、接点同士のスティッキングが従来からの課題となっており、これらについても改善が期待されている。

本発明は上記を鑑みてなされたものであり、小型化、高速スイッチング化、および、接点同士のスティッキング解消が可能な磁気作動型ＭＥＭＳスイッチを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチは、第１磁心部と、前記第１磁心部に設けられた第１信号線と、前記第１磁心部の一端に対して固定されて、前記第１信号線に対して電気的に接続された第１接点と、第２磁心部と、前記第２磁心部に設けられた第２信号線と、前記第２磁心部の一端に対して固定されて、前記第２信号線に対して電気的に接続された第２接点と、導体コイルを含み、電流を流すことで前記第１磁心部および前記第２磁心部に対して磁界を印加する磁界印加部と、を備え、前記磁界印加部による磁界の印加の有無により、前記第１接点が変位し、前記第１接点の変位に伴って、前記第１接点と前記第２接点との接続および切断が切り替わる。

上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチによれば、導体コイルを含む磁界印加部により、第１磁心部および第２磁心部に対して印加する磁界を制御することで、第１接点が変位し、第１磁心部に固定された第１接点と第２磁心部に固定された第２接点との接続および切断が切り替えられる。したがって、外部のマグネットを移動させる機構等を設けなくても、第１接点および第２接点の接続および切断が制御可能となり、小型化が可能となる。また第１接点および第２接点に対する磁界の印加の切り替えを高速化することが可能なため、高速スイッチングが可能となる。さらに、第１磁心部および第２磁心部への磁界の印加および切断を強制的に切り替えることができるため、仮に、第１接点および第２接点の間でスティッキングが発生している場合でも、磁界の制御によりスティッキングの解消を促進することができる。

ここで、前記第１磁心部は、前記第１接点が固定される前記一端と、前記一端とは逆の他端との間に、前記一端がその延在方向に対して交差する方向の外力に対して可撓性を有する可撓磁心部を有している態様とすることができる。

上記のように、第１磁心部の両方の端部の間に可撓性を有する可撓磁心部を有していることで、磁界印加部による磁界の印加によって第１接点が固定されている一端が変位した場合に、当該変位に伴って他端が変位することを防ぐことができる。そのため、例えば、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの配置等の自由度を高めることができる。

また、前記磁界印加部による磁界の印加の有無により、前記第２接点が変位し、前記第１接点および前記第２接点の変位に伴って、前記第１接点と前記第２接点との接続および切断が切り替わる態様とすることができる。

上記のように、磁界の第２接点も変位し、第１接点および第２接点の変位に伴って、第１接点と第２接点との接続および切断が切り替わる構成とすることで、第１接点および第２接点それぞれの変位量が少なくても第１接点と第２接点との接続および切断を切り替えることができる。したがって、第１磁心部および第２磁心部に印加する磁界の大きさを小さくした場合でも、第１接点と第２接点との接続および切断の切り替えを好適に行うことができる。また、第１接点および第２接点それぞれの変位量を少なくしながら第１接点と第２接点との接続および切断を切り替えることができるため、より高速なスイッチングを実現することが可能となる。

また、前記第２磁心部は、前記第２接点が固定される前記一端と、前記一端とは逆の他端との間に、前記一端がその延在方向に対して交差する方向の外力に対して可撓性を有する可撓磁心部を有している態様とすることができる。

上記のように、第２磁心部の両方の端部の間に可撓性を有する可撓磁心部を有していることで、磁界印加部による磁界の印加によって第２接点が固定されている一端が変位した場合に、当該変位に伴って他端が変位することを防ぐことができる。そのため、例えば、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの配置等の自由度を高めることができる。

前記第１接点および前記第２接点は、前記磁界印加部による磁界の印加が無い場合には離間し、前記磁界印加部による磁界の印加が有る場合に電気的に接続する態様とすることができる。

前記第１接点および前記第２接点は、前記磁界印加部による磁界の印加が有る場合には離間し、前記磁界印加部による磁界の印加が無い場合に電気的に接続する態様とすることができる。

前記第１磁心部が、前記第１信号線、または、前記第１信号線および前記第１接点としての機能を有している態様とすることができる。このような構成とすることで、第１信号線、または、第１信号線および第１接点を別途設けなくても、ＭＥＭＳスイッチとしての機能を実現することができる。

また、前記第２磁心部が、前記第２信号線、または、前記第２信号線および前記第２接点としての機能を有している態様とすることができる。このような構成とすることで、第２信号線、または、第２信号線および第２接点を別途設けなくても、ＭＥＭＳスイッチとしての機能を実現することができる。

本発明によれば、小型化、高速スイッチング化、および、接点同士のスティッキング解消が可能な磁気作動型ＭＥＭＳスイッチが提供される。

磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの概略構成を示す図である。 磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの斜視図である。 変形例に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの斜視図である。 他の変形例に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの模式図である。 他の変形例に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの模式図である。 他の変形例に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの模式図である。 他の変形例に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの模式図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの概略構成を示す図である。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００は、所謂高周波スイッチ（ＲＦスイッチ）の一種であり、磁界の変化を利用して機械的なスイッチングを行う装置である。

図１に示すように、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００は、第１駆動部ＳＰ１と、第１信号線１５と、第１接点１６と、第２駆動部ＳＰ２と、第１信号線１５と、第１接点１６と、を含んで構成される。第１駆動部ＳＰ１は、第１磁界印加部１１（磁界印加部）および第１ビーム１２を含んで構成される。第２駆動部ＳＰ２は、第２磁界印加部２１（磁界印加部）および第２ビーム２２を含んで構成される。

第１信号線１５および第２信号線２５は、それぞれ銅（Ｃｕ）等の導体から構成される。また、第１接点１６および第２接点２６は、それぞれ金（Ａｕ）、タングステン（Ｗ）、モリブデン（Ｍｏ）、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）等の導体から構成される。ただし、第１接点１６および第２接点２６は、融点が高く展延性を有し耐摩耗性を備えた金属が好ましく、後述の第１ビーム１２および第２ビーム２２とは異なる材料であることが好ましい。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、外部からの入力信号を第１信号線１５および第２信号線２５を介して導き、第２信号線２５から出力信号として外部へ出力する。第１信号線１５と第２信号線２５との間は、第１信号線１５に接続された第１接点１６および第２信号線に接続された第２接点２６により接続および切断が切り替えられる。第１接点１６と第２接点２６とが接触している間は、第１接点１６と第２接点２６との接続を介して第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に接続（ＯＮ）され、第１接点１６と第２接点２６とが離間している間は、第１接点１６と第２接点２６との接続が切断されるため、第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に切断（ＯＦＦ）される。なお、第１接点１６と第２接点２６とが接触する場合について説明するが、第１接点１６と第２接点２６との接触により、第１信号線１５と第２信号線との電気的な接続が実現されていればよい。したがって、第１接点１６と第２接点２６とは接触していなくても少なくとも電気的に接続されていればよく、例えば、第１接点１６と第２接点２６との間に他の導体材料等が介在し、導体材料を介して第１接点１６と第２接点２６とが電気的に接続可能な構成とされていればよい。

第１接点１６と第２接点２６との間の接続および切断の切り替えは、第１接点１６および第２接点２６（または、第１接点１６のみ）の物理的な移動によって行われる。

第１ビーム１２および第２ビーム２２は、いずれも磁性材料（軟磁性体）から構成されて、磁心として機能する。第１ビーム１２および第２ビーム２２を構成する軟磁性体としては、例えば、鉄、ニッケル、コバルト、これらの金属を主成分とする合金、フェライト等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。第１駆動部ＳＰ１は、第１磁界印加部１１による磁界の印加により第１ビーム１２を磁化させる。第１磁界印加部１１は、第１ビーム１２の周囲に巻回された導体材料からなるコイル（導体コイル）を含んで構成される。また、第２駆動部ＳＰ２は、第２磁界印加部２１による磁界の印加により第２ビーム２２を磁化させる。第２磁界印加部２１は、第２ビーム２２の周囲に巻回された導体材料からなるコイルを含んで構成される。第１磁界印加部１１のコイルおよび第２磁界印加部２１のコイルは、それぞれ図示しない電源に接続される。

第１ビーム１２および第２ビーム２２は、それぞれの一端同士が近接した状態で配置されている。第２ビーム２２に対して近接配置される第１ビーム１２の端部は、第１磁界印加部１１により磁化されたときに、一方の極性が現れる端部である。この第１ビーム１２の端部には、第１信号線１５に接続された第１接点１６が設けられる。

また、第１ビーム１２に対して近接配置される第２ビーム２２の端部は、第２磁界印加部２１により磁化されたときに、一方の極性が現れる端部である。この第２ビーム２２の端部には、第２信号線２５に接続された第２接点２６が設けられる。

制御回路ＣＯＮＴからの信号に基づいて、電源（図示せず）から第１磁界印加部１１および第２磁界印加部２１に対して電流が流され、第１磁界印加部１１による第１ビーム１２の磁化／磁化消失、および、第２磁界印加部２１による第２ビーム２２の磁化／磁化消失が制御される。第１ビーム１２および第２ビーム２２の磁化によって、近接配置された第１ビーム１２の端部および第２ビーム２２の端部が互いに異なる極性に磁化されると、第１ビーム１２および第２ビーム２２が引き合う。この結果、第１ビーム１２に取り付けられた第１接点１６と第２ビーム２２に取り付けられた第２接点２６とが接続する。また、第１ビーム１２および第２ビーム２２が磁化消失されると、第１ビーム１２および第２ビーム２２が離間し、第１接点１６と第２接点２６との接続が切断される。

上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００は、中空構造を有した樹脂等のパッケージにより、可動部分の自由度を保ったまま封止されていてもよい。

次に、図１に示した磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００の具体的な構造について、図２を参照しながら説明する。図２は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００の斜視図である。図２では、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００が回路基板Ｐ上に取り付けられている状態を示している。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００の第１駆動部ＳＰ１および第２駆動部ＳＰ２は、それぞれ回路基板Ｐ上に取り付けられ対向配置している。

第１駆動部ＳＰ１は、第１ビーム１２を含む第１磁心部１２０、および、第１磁心部１２０に対して磁界を印加する第１磁界印加部１１を含む。また、第１ビーム１２の一方の端部（一端）には第１接点１６が取り付けられると共に、第１接点１６に対して第１信号線が電気的に接続される。

第１磁心部１２０は、回路基板Ｐに対して固定される固定磁心部１２１と、固定磁心部１２１に対して連続して設けられて回路基板Ｐに対して固定されていない可撓磁心部１２２と、可撓磁心部１２２に対して連続して設けられて回路基板Ｐに対して固定されていない可動磁心部１２３とを含む。このうち、可動磁心部１２３が、磁化／磁化消失によって移動する第１ビーム１２となる。

固定磁心部１２１および可動磁心部１２３は、略Ｌ字形状とされている。固定磁心部１２１と可動磁心部１２３との間に設けられる（第１磁心部１２０の長手方向中央付近に配置される）可撓磁心部１２２は、磁心部が折り曲げ加工されていて、第１磁心部１２０の可動磁心部１２３がその延在方向に対して交差する方向の外力を受けた場合には、撓むことが可能な形状となっている。そのため、可撓磁心部１２２は、回路基板Ｐに対して自由に動くことができる可動磁心部１２３が移動した場合でも、その移動に伴って固定磁心部１２１が移動することを規制する。なお、固定磁心部１２１、可撓磁心部１２２、および、可動磁心部１２３の形状は、図２に示すものに限定されず、適宜変更することができる。

第１磁心部１２０は、長手方向（固定磁心部１２１、可撓磁心部１２２、可動磁心部１２３の並ぶ方向）の長さが例えば１００μｍ〜１ｍｍ程度とされ、幅（図２において回路基板Ｐの表面に対して垂直な方向の長さ）が例えば５μｍ〜１００μｍ程度とされ、厚さ（図２において回路基板Ｐの表面に対して平行な方向の長さ）が例えば１μｍ〜１０μｍ程度とされる。

固定磁心部１２１の一部は、その周囲が絶縁体１３１で覆われる。また、絶縁体１３１よりも外側に、固定磁心部１２１の周囲を巻回するように、銅（Ｃｕ）等の導体による第１コイル部１１１が設けられる。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第１コイル部１１１は固定磁心部１２１の周囲を２周巻回しているが、第１コイル部１１１の巻回数は適宜変更することができる。第１コイル部１１１の両端部は導体パッド１１２となっていて、回路基板Ｐの回路等と接続可能とされている。絶縁体１３１の厚さ（内周面から外周面までの長さ）は、例えば１μｍ〜１０μｍ程度とされる。

第１接点１６は、可動磁心部１２３の一方側の端部（一端：可撓磁心部１２２側の端部である他端とは逆側の端部）に設けられる。第１接点１６の大きさは、例えば５μｍ角〜１００μｍ角程度とされる。

第１信号線１５は、固定磁心部１２１、可撓磁心部１２２、および、可動磁心部１２３に沿って延び、第１接点１６に対して電気的に接続するように設けられる。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００の場合は、第１信号線１５は、第１磁心部１２０の外側（第２駆動部ＳＰ２と対向する側とは逆側）に沿って設けられている。第１信号線１５の端部（第１接点１６側の端部とは逆側の端部）が導体パッド１５１となっていて、回路基板Ｐの回路等を接続可能とされている。なお、第１信号線１５と第１磁心部１２０との間、および、第１接点１６と第１磁心部１２０（可動磁心部１２３）との間には、絶縁体１３２が設けられて、第１信号線１５および第１接点１６と、第１磁心部１２０との間が電気的に絶縁されている。絶縁体１３２の厚さ（図２において回路基板Ｐの表面に対して平行な方向の長さ）は、例えば１μｍ〜１０μｍ程度とされる。なお、第１信号線１５は第１コイル部１１１が設けられる位置を避けて配置されているが、第１信号線１５の周囲を第１コイル部１１１が巻回するように配線してもよい。また、第１信号線１５の配置は適宜変更でき、例えば、第１磁心部１２０の内側（第２駆動部ＳＰ２と対向する側）に配線してもよい。

第１駆動部ＳＰ１では、第１コイル部１１１が、第１ビーム１２として機能する可動磁心部１２３を含む第１磁心部１２０の磁化／磁化消失を行う第１磁界印加部１１として機能する。

第２駆動部ＳＰ２は、第２ビーム２２を含む第２磁心部２２０、および、第２磁心部２２０に対して磁界を印加する第２磁界印加部２１を含む。また、第２ビーム２２の端部には第２接点２６が取り付けられると共に、第２接点２６に対して第２信号線２５が電気的に接続される。

第２磁心部２２０は、回路基板Ｐに対して固定される固定磁心部２２１と、固定磁心部２２１に対して連続して設けられる可撓磁心部２２２と、可撓磁心部２２２に対して連続して設けられて回路基板Ｐに対して固定されていない可動磁心部２２３とを含む。このうち、可動磁心部２２３が、磁化／磁化消失によって移動する第２ビーム２２となる。

固定磁心部２２１および可動磁心部２２３は、略Ｌ字型とされている。固定磁心部２２１と可動磁心部２２３との間に設けられる（第２磁心部２２０の長手方向中央付近に配置される）可撓磁心部２２２は、磁心部が折り曲げ加工されていて、第２磁心部２２０の可動磁心部２２３がその延在方向に対して交差する方向の外力を受けた場合には、撓むことが可能な形状となっている。そのため、可撓磁心部２２２は、回路基板Ｐに対して自由に動くことができる可動磁心部２２３が移動した場合でも、その移動に伴って固定磁心部２２１が移動することを規制する。なお、固定磁心部２２１、可撓磁心部２２２、および、可動磁心部２２３の形状は、図２に示すものに限定されず、適宜変更することができる。

第２磁心部２２０は、長手方向（固定磁心部２２１、可撓磁心部２２２、可動磁心部２２３の並ぶ方向）の長さが例えば１００μｍ〜１ｍｍ程度とされ、幅（図２において回路基板Ｐの表面に対して垂直な方向の長さ）が例えば５μｍ〜１００μｍ程度とされ、厚さ（図２において回路基板Ｐの表面に対して平行な方向の長さ）が例えば１μｍ〜１０μｍ程度とされる。

固定磁心部２２１の一部は、その周囲が絶縁体２３１で覆われる。また、絶縁体２３１よりも外側に、固定磁心部２２１の周囲を巻回するように、銅（Ｃｕ）等の導体による第２コイル部２１１が設けられる。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第２コイル部２１１は固定磁心部２２１の周囲を２周巻回しているが、第２コイル部２１１の巻回数は適宜変更することができる。第２コイル部２１１の両端部は導体パッド２１２となっていて、回路基板Ｐの回路等と接続可能とされている。絶縁体２３１の厚さ（内周面から外周面までの長さ）は、例えば１μｍ〜１０μｍ程度とされる。

第２接点２６は、可動磁心部２２３の一方の端部（一端：可撓磁心部２２２側端部である他端とは逆側の端部）に設けられる。第２接点２６の大きさは、例えば５μｍ角〜１００μｍ角程度とされる。

第２信号線２５は、固定磁心部２２１、可撓磁心部２２２、および、可動磁心部２２３に沿って延び、第２接点２６に対して電気的に接続するように設けられる。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００の場合は、第２信号線２５は、第２磁心部２２０の外側（第２駆動部ＳＰ２と対向する側とは逆側）に沿って設けられている。第２信号線２５の端部（第２接点２６側の端部とは逆側の端部）が導体パッド２５１となっていて、回路基板Ｐの回路等を接続可能とされている。なお、第２信号線２５と第２磁心部２２０との間、および、第２接点２６と第２磁心部２２０（可動磁心部２２３）との間には、絶縁体２３２が設けられて、第２信号線２５および第２接点２６と、第２磁心部２２０との間が電気的に絶縁されている。絶縁体２３２の厚さ（図２において回路基板Ｐの表面に対して平行な方向の長さ）は、例えば１μｍ〜１０μｍ程度とされる。なお、第２信号線２５は第２コイル部２１１が設けられる位置を避けて配置されているが、第２信号線２５の周囲を第２コイル部２１１が巻回するように配線してもよい。また、第２信号線２５の配置は適宜変更でき、例えば、第２磁心部２２０の内側（第１駆動部ＳＰ１と対向する側）に配線してもよい。

第２駆動部ＳＰ２では、第２コイル部２１１が第２ビーム２２として機能する可動磁心部２２３を含む第２磁心部２２０の磁化／磁化消失を行う第２磁界印加部２１として機能する。

図２に示すように、第１駆動部ＳＰ１の第１磁心部１２０の一端に取り付けられる第１接点１６と、第２駆動部ＳＰ２の第２磁心部２２０の一端に取り付けられる第２接点２６と、は、互いに対向するように配置される。

上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化されていない状態（磁化消失状態）では、第１接点１６と第２接点２６とが離間した状態とされている。したがって、第１信号線１５および第２信号線２５の間は切断されている。

一方、第１コイル部１１１に対して電流を流すと、磁界が形成される。この磁界の影響を受けて第１磁心部１２０が磁化される。この結果、第１磁心部１２０の両端にＳ極／Ｎ極の磁極が現れる。同様に、第２コイル部２１１に対して電流を流すと、磁界が形成される。この磁界の影響を受けて第２磁心部２２０が磁化される。この結果、第２磁心部２２０の両端にＳ極／Ｎ極の磁極が現れる。

第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に流す電流の方向を制御することで、第１磁心部１２０のうち第１接点１６が取り付けられている側の端部（可動磁心部１２３側の端部）に現れる磁極の極性と、第２磁心部２２０のうち第２接点２６が取り付けられている側の端部（可動磁心部２２３側の端部）に現れる磁極の極性を互いに異ならせることができる。このように、第１磁心部１２０のうち可動磁心部１２３側の端部に現れる磁極の極性と、第２磁心部２２０のうち可動磁心部２２３側の端部に現れる磁極の極性とを互いに異ならせると、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化されている間は、これらが引き合うこととなる。

その結果、第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６と、第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６とのそれぞれの位置が変化する。第１接点１６および第２接点２６は、それぞれ水平方向（回路基板Ｐの表面に沿った方向）に沿って近接する方向に移動し、接触する。第１接点１６と第２接点２６とが接触すると、第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に接続される。

また、第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に流れる電流を止める（電源からの電流の供給を遮断する）と、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は磁化消失される。そのため、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は引き合わなくなり、第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６と、第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６とが離間し、第１接点１６および第２接点２６は、それぞれ元の位置に戻る。第１接点１６と第２接点２６とが離間すると、第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に切断される。

なお、上記の動作を実現するためには、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は、第１接点１６および第２接点２６が取り付けられている側の端部において、両者が磁化された際に自磁心とは異なる磁心により形成される磁界を受けて引き合う程度に近接配置する必要がある。磁化消失状態での第１接点１６と第２接点２６との距離は、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化した際の磁界の大きさ（磁束密度）に応じて設定される。

上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００は、例えば、公知の成膜プロセス（フォトリソグラフィ、スパッタリング、ＣＶＤ、めっき、ドライおよびウェットエッチング、スパッタリング）を適宜組み合わせて製造することができる。導体コイルを含む第１コイル部１１１および第２コイル部２１１についても、各部の積層（膜形成）とエッチングとを組み合わせて製造することができる。なお、導体コイルを含む第１コイル部１１１および第２コイル部２１１は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００のその他の部分について成膜プロセスを利用して形成した後に、導体材料を巻回させることで形成してもよい。このように、公知の成膜プロセスと他のプロセスとを組み合わせて磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００を製造してもよい。

上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、導体コイルを含む磁界印加部（第１磁界印加部１１および第２磁界印加部２１）により、第１磁心部１１０および第２磁心部２１０に対して印加する磁界を制御する。この結果、第１接点１６および第２接点２６が変位し、第１磁心部１１０に固定された第１接点１６と第２磁心部２１０に固定された第２接点２６との接続および切断が切り替えられる。したがって、従来のＭＥＭＳスイッチのように、外部のマグネットを移動させて磁性体を磁化させる機構等を設けなくても、第１接点１６および第２接点２６の接続および切断が制御可能となり、小型化が可能となる。

また、上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、磁界印加部（第１磁界印加部１１および第２磁界印加部２１）に対する電流の供給および遮断を利用して第１磁心部１１０および第２磁心部２１０に対して印加する磁界を制御する。したがって、外部のマグネット等を利用した磁性体の磁化／磁化消失と比較して、磁界の切り替えを速やかに行うことができる。したがって、スイッチング動作を素早く且つ精度よく行うことができる。そのため、高速スティッキングを実現することができる。また、徐々に磁界の大きさを変化させるのではなく、電流の供給および遮断により磁界を変化させる構成とすることで、接点同士が接触した状態となる所謂スティッキングを防ぐことができる。また、仮に、接点同士にスティッキングが発生した場合、両コイルに両接点が反発するような磁界が発生するように、直流、交流、高周波交流、パルス、などの電流を流すことによって、スティッキングを解消することができる。

また、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第１磁心部１２０の両方の端部の間に可撓性を有する可撓磁心部１２２を有している。このような構成とすることで、磁界印加部（第１磁界印加部１１）による磁界の印加によって第１接点１６が固定されている一端（可動磁心部１２３側）が変位した場合に、当該変位に伴って他端（固定磁心部１２１側）が変位することを防ぐことができる。したがって、磁界の印加によって第１磁心部１２０全体が変位する構造とは異なる構造を採用することができるため、例えば、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの配置等に係る設計の自由度を高めることができる。

また、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、磁界印加部による磁界の印加の有無により、第２磁心部２２０に固定された第２接点２６が変位する。すなわち、第１接点１６および第２接点２６の変位に伴って、第１接点１６と第２接点２６との接続および切断が切り替わる。このような構成とすることで、第１接点１６および第２接点２６それぞれの変位量が少なくても第１接点１６と第２接点２６との接続および切断を切り替えることができる。したがって、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０に印加する磁界の大きさを小さくした場合でも、第１接点１６と第２接点２６との接続および切断の切り替えを好適に行うことができる。さらに、第１接点１６および第２接点２６の両方が変位する構成とすることで、これらの接点が接触し元に戻るまでの各接点の移動距離が半分になるため、より高速なスイッチングを実現できる。

また、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００のように、第２磁心部２２０の両方の端部の間に可撓性を有する可撓磁心部２２２を有している場合。磁界印加部（第２磁界印加部２１）による磁界の印加によって第２接点２６が固定されている一端（可動磁心部２２３側）が変位した場合に、当該変位に伴って他端（固定磁心部２２１側）が変位することを防ぐことができる。したがって、磁界の印加によって第２磁心部２２０全体が変位する構造とは異なる構造を採用することができるため、例えば、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの配置等に係る設計の自由度を高めることができる。

また、上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第１接点１６および第２接点２６は、磁界印加部による磁界の印加が無い場合には離間し、磁界印加部による磁界の印加が有る場合に接触する態様とすることができる。このような構成とすることで、磁界の印加による第１接点１６および第２接点２６の接続を速やかに行うことができる。

なお、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの形状は適宜変更することができる。例えば、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第１接点１６および第２接点２６は、それぞれ水平方向（回路基板Ｐの表面に沿った方向）に沿って近接する方向に移動し、接触する。しかしながら、第１接点１６および第２接点２６の移動方向は適宜変更することができる。第１磁心部１２０および第２磁心部２２０の配置およびその形状によって、第１接点１６および第２接点２６の移動方向は変更される。

図３は、変形例に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００の斜視図である。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００は、第１駆動部ＳＰ１側の第１接点１６および第２駆動部ＳＰ２側の第２接点２６のそれぞれが上下方向（回路基板Ｐの表面に対して垂直な方向）に沿って移動して、第１接点１６および第２接点２６の接続および切断を切り替える。また、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００と比較すると、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００では、第１磁心部および第２磁心部には可撓磁心部に相当する構成が含まれていない。

磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００では、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は、それぞれＩ字形状とされていて、回路基板Ｐに対して離間した状態とされている。磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００のうち、第１磁心部１２０の周囲を巻回する第１コイル部１１１に対して連続する導体パッド１１２、第１信号線１５の導体パッド１５１、第２磁心部２２０の周囲を巻回する第２コイル部２１１に対して連続する導体パッド２１２、および、第２信号線２５の導体パッド２５１が回路基板Ｐに対して固定されている。第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は、それぞれ回路基板Ｐの表面に対して平行な面が主面となる平板状となっている。

第１磁心部１２０は、一対の絶縁体１３２により挟まされた状態とされている。また、第１磁心部１２０の主面のうち絶縁体１３２が取り付けられている側の一端の上面には第１信号線１５および第１接点１６が固定されている。第１磁心部１２０の上面には、絶縁体１３２を介して第１信号線１５および第１接点１６がこの順で積層されている。なお、第１磁心部１２０の下面側には、絶縁体１３２が設けられていなくてもよい。

第１磁心部１２０のうち第１接点１６が設けられる一端とは逆側の他端では、絶縁体１３１が第１磁心部１２０の周囲を覆った状態（または挟んだ状態）で、絶縁体１３１の表面に沿って第１コイル部１１１が第１磁心部１２０の周囲を巻回している。なお、第１磁心部１２０の一部が露出している場合、第１コイル部１１１と第１磁心部１２０とが接触しないように離間させておくことが好ましい。

一方、第２磁心部２２０の主面のうち下面の一端（第１磁心部１２０側の端部）には、絶縁体２３２を介して、第２信号線２５および第２接点２６が固定されている。第２磁心部２２０の下面には、絶縁体２３２、第２信号線２５および第２接点２６がこの順で積層されている。

第２磁心部２２０のうち第２接点２６が設けられる一端とは逆側の他端では、絶縁体２３１が第２磁心部２２０の周囲を覆った状態（または挟んだ状態）で、絶縁体２３１の表面に沿って第２コイル部２１１が第２磁心部２２０の周囲を巻回している。なお、第２磁心部２２０の一部が露出している場合、第２コイル部２１１と第２磁心部２２０とが接触しないように離間させておくことが好ましい。

第１駆動部ＳＰ１と第２駆動部ＳＰ２とは、第１接点１６と第２接点２６とが上下方向（回路基板Ｐの表面に対して垂直な方向）で重なるように配置されている。

なお、図３に示すように、上記の第１磁心部１２０と第２磁心部２２０の一方が、支持台上などに設けられていてもよい。この場合、支持台は、例えば、磁心部のうちコイル部（第１コイル部１１１または第２コイル部２１１）が巻回される端部側に配置することができる。ただし、支持台の配置や取付構造は特に限定されない。

上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００では、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化されていない状態（磁化消失状態）では、第１接点１６と第２接点２６とが離間した状態とされている。したがって、第１信号線１５および第２信号線２５の間は切断されている。

一方、第１コイル部１１１に対して電流を流すと、磁界が形成される。この磁界の影響を受けて第１磁心部１２０が磁化される。この結果、第１磁心部１２０の両端にＳ極／Ｎ極の磁極が現れる。同様に、第２コイル部２１１に対して電流を流すと、磁界が形成される。この磁界の影響を受けて第２磁心部２２０が磁化される。この結果、第２磁心部２２０の両端にＳ極／Ｎ極の磁極が現れる。

第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に流す電流の方向を制御することで、第１磁心部１２０のうち第１接点１６が取り付けられている側の端部に現れる磁極の極性と、第２磁心部２２０のうち第２接点２６が取り付けられている側の端部に現れる磁極の極性を互いに異ならせる。これにより、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化されている間は、これらが引き合うこととなる。

その結果、第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６と、第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６とのそれぞれの位置が変化する。第１接点１６および第２接点２６は、それぞれ上下方向（回路基板Ｐの表面に対して垂直な方向）に沿って近接する方向に移動し、接触する。第１接点１６と第２接点２６とが接触すると、第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に接続される。

また、第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に流れる電流を止める（電源からの電流の供給を遮断する）と、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は磁化消失される。そのため、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は引き合わなくなり、第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６と、第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６とが離間し、第１接点１６および第２接点２６は、それぞれ元の位置に戻る。第１接点１６と第２接点２６とが離間すると、第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に切断される。

このように、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００においても、導体コイルを含む磁界印加部（第１磁界印加部１１および第２磁界印加部２１）により、第１磁心部１１０および第２磁心部２１０に対して印加する磁界を制御する。この結果、第１接点１６および第２接点２６が変位し、第１磁心部１１０に固定された第１接点１６と第２磁心部２１０に固定された第２接点２６との接続および切断が切り替えられる。

なお、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００では、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０はどちらも可撓磁心部を有していないため、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が引き合う場合には、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０それぞれは変形することなく移動することになる。したがって、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０の変位に伴う応力を第１信号線１５、第１コイル部１１１、第２信号線２５、および、第２コイル部２１１等が受ける可能性がある。これに対して、第１信号線１５、第１コイル部１１１、第２信号線２５、および、第２コイル部２１１等の少なくとも形状を工夫することで、応力を緩和することが可能な領域等を設ける構成としてもよい。

磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００および磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ２００のように、本実施形態に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの形状は適宜変更することができる。

図４および図５は、本実施形態に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの変形例を模式的に示す図である。

図４では、磁界印加部により磁界を印加した場合に、第１接点および第２接点が互いに離間する構造を有する磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの例を示している。図４（Ａ）は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ３００の第１磁心部１２０および第２磁心部２２０に対して磁界を印加していない状態を示す図であり、図４（Ｂ）は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ３００の第１磁心部１２０および第２磁心部２２０に対して磁界を印加した状態を示す図である。

図４（Ａ）に示すように、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ３００では、第１磁界印加部となる第１コイル部１１１および第２磁界印加部となる第２コイル部２１１による磁界の印加がない状態において、第１接点１６と第２接点２６とを接触させておく。この状態で、第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に対して電流を流し、磁界を形成されて、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０を磁化させる。このとき、第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に流す電流の方向を制御することで、第１磁心部１２０のうち第１接点１６が取り付けられている側の端部（可動磁心部１２３側の端部）に現れる磁極の極性と、第２磁心部２２０のうち第２接点２６が取り付けられている側の端部（可動磁心部２２３側の端部）に現れる磁極の極性を同じとする。このように、第１磁心部１２０のうち可動磁心部１２３側の端部に現れる磁極の極性と、第２磁心部２２０のうち可動磁心部２２３側の端部に現れる磁極の極性とを同じとすることで、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化されている間は、これらが反発する。

その結果、図４（Ｂ）に示すように、第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６と、第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６とのそれぞれの位置が変化し、第１接点１６および第２接点２６は、互いに離間する方向に移動する。そのため、第１接点１６と第２接点２６とが離間し、第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に切断される。

また、第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に流れる電流を止める（電源からの電流の供給を遮断する）と、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は磁化消失されて、第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６と、第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６とは、それぞれ元の位置に戻る。元の位置では、図４（Ａ）に示すように、第１接点１６と第２接点２６とが接触し、第１信号線１５と第２信号線２５との間が電気的に接続される。

図４に示す磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ３００のように、第１接点１６および第２接点２６は、磁界印加部としての第１コイル部１１１および第２コイル部２１１による磁界の印加が有る場合には離間し、磁界の印加が無い場合に接触する態様としてもよい。

図５では、第２駆動部ＳＰ２が回路基板Ｐに対して固定された磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ４００を示している。

磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ４００では、第１駆動部ＳＰ１側の構造は、基本的に磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ３００と同様に、固定磁心部１２１、可撓磁心部１２２、および、可動磁心部１２３を含んで構成されている。ただし、第１信号線１５としての機能を第１磁心部１２０が有している。すなわち、第１磁心部１２０が導電性を有していて、第１磁心部１２０に対して第１接点１６が接続している。そのため、外部からの入力信号は第１磁心部１２０を経て第１接点１６に到達する。

一方、第２駆動部ＳＰ２は、回路基板Ｐに固定された棒状の第２磁心部２２０から構成されていて、可撓性を有する可撓磁心部を含んでいない。そのため、第２磁心部２２０は回路基板Ｐに対して固定された状態で、第２コイル部２１１に対して電流が流れて第２磁心部２２０に極性が現れた場合でも移動しない。また、第２駆動部ＳＰ２においても、第１駆動部ＳＰ１と同様に、第２信号線２５としての機能を第２磁心部２２０が有している。すなわち、第２磁心部２２０が導電性を有していて、第２磁心部２２０に対して第２接点２６が接続している。そのため、外部からの入力信号は第２磁心部２２０を経て第２接点２６に到達する。

図５に示す磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ４００においては、上記のように第２駆動部ＳＰ２が回路基板Ｐに対して固定されるが、第１駆動部ＳＰ１は、他の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチと同様に磁界の有無によって第１接点１６が変位する。したがって、他の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチと同様に、磁界の印加の有無に基づくスイッチングが可能となる。すなわち、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化されていない状態（磁化消失状態）では、第１接点１６と第２接点２６とが離間した状態とされている。したがって、第１信号線１５（第１磁心部１２０）および第２信号線２５（第２磁心部２２０）の間は切断されている。

一方、第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に対して電流を流し、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化され、且つ、第１磁心部１２０のうち可動磁心部１２３側の端部に現れる磁極の極性と、第２磁心部２２０のうち可動磁心部２２３側の端部に現れる磁極の極性とを互いに異なると、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０が磁化されている間は、これらが引き合う。この結果、第１接点１６が第２磁心部２２０側へ移動し、第１接点１６と第２接点２６とが接触すると、第１信号線１５（第１磁心部１２０）と第２信号線２５（第２磁心部２２０）との間が電気的に接続される。

また、第１コイル部１１１および第２コイル部２１１に流れる電流を止める（電源からの電流の供給を遮断する）と、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は磁化消失される。そのため、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０は引き合わなくなり、第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６は、第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６から離間し、元の位置に戻る。第１接点１６と第２接点２６とが離間すると、第１信号線１５（第１磁心部１２０）と第２信号線２５（第２磁心部２２０）との間が電気的に切断される。

図５に示す磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ５００のように、駆動部の一方（図５に示す例では第２駆動部ＳＰ２）の磁心部（第２磁心部２２０）が固定されていて、接点（第２接点２６）が変位できない場合であっても、他方の駆動部の磁心部（第１磁心部１２０）に固定された第１接点１６が変位可能であれば、第１信号線１５と第２信号線２５との接続／切断を切り替えることができる。

また、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ４００のように、第１磁心部１２０が第１信号線１５としての機能を有していてもよい。同様に、第２磁心部２２０が第２信号線２５としての機能を有していてもよい。

なお、第１磁心部１２０が、第１接点１６としての機能を有していてもよい。同様に、第２磁心部２２０が、第２接点２６としての機能を有していてもよい。この場合、第１接点１６として機能する第１磁心部１２０と、第２接点２６として機能する第２磁心部２２０と、が接触することで第１信号線１５と第２信号線とが電気的に接続し、第１磁心部１２０と第２磁心部２２０とが離間すると、第１信号線１５と第２信号線とが電気的に切断されることになる。

上記で説明した変形例のほかにも、本実施形態に係る磁気作動型ＭＥＭＳスイッチの形状は適宜変更することができる。

例えば、磁界印加部として機能する第１コイル部１１１および第２コイル部２１１の巻回方向は適宜変更することができる。コイル部の巻回方法が互いに異なっていても、コイル部に流す電流の方向を制御することで、磁心部の端部に現れる極性を制御することができる。

また、磁心部（第１磁心部１２０または第２磁心部２２０）に対して取り付けるコイル部の数を複数としてもよい。また、１つのコイル部（例えば、第１コイル部１１１）によって、２つの磁心部（第１磁心部１２０および第２磁心部２２０）の両方に対して磁界を印加する構成としてもよい。例えば、図２に示す磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第１磁心部１２０のうち第１コイル部１１１が巻回される端部（固定磁心部１２１の端部）と、第２磁心部２２０のうち固定磁心部２２１の端部とが近接配置されている。このような場合、第１コイル部１１１に電流を流すことで第１磁心部１２０を磁化すると、第１磁心部１２０が作る磁界によって第２磁心部２２０を磁化させることもできる。したがって、１つのコイル（第１コイル部１１１）によって２つの磁心部（第１磁心部１２０および第２磁心部２２０）を磁化させることもできる。ただし、このような方法は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ１００のように、磁化した場合に第１接点１６および第２接点２６を引き合わせるＭＥＭＳスイッチにおいて適用が可能な構成である。

また、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０の周囲に設けられる絶縁体の形状や配置は適宜変更することができる。また、第１信号線１５、第１接点１６、第２信号線２５、および、第２接点２６の形状および配置についても適宜変更することができる。

また、上記の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチでは、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０にそれぞれ１つの接点を設けて、これらの接点の接続および切断を切り替える構成について説明したが、第１磁心部１２０および第２磁心部２２０に複数組の接点（一対の接点の組を複数）を設けて、各組の接点の接続および切断を切り替える構成としてもよい。このような場合、複数組の接点のそれぞれは、互いに異なる信号線の接触および切断を切り替える構成としてもよいし、同一の信号線の接触および切断を切り替える構成としてもよい。

図６は、変形例に係る構成として、３つの駆動部としての第１駆動部ＳＰ１、第２駆動部ＳＰ２、および第３駆動部ＳＰ３が回路基板Ｐに対して固定された磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ５００を示している。

第１駆動部ＳＰ１、第２駆動部ＳＰ２、第３駆動部ＳＰ３は、いずれも磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ４００の第１駆動部ＳＰ１と同様の構造を有している。ただし、第２駆動部ＳＰ２は、両側に２つの接点、すなわち、第２接点２６，２６’を有している。したがって、第１駆動部ＳＰ１の第１接点１６と第２駆動部ＳＰ２の第２接点２６とが対向し、第２駆動部ＳＰ２の第２接点２６’と第３駆動部ＳＰ３の第３接点３６とが対向している。第２接点２６、２６’は可動磁心部２２３を介して互いに電気的に接続されることになる。

このような磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ５００では、第１駆動部ＳＰ１、第２駆動部ＳＰ２、第３駆動部ＳＰ３のそれぞれに巻回されている第１コイル部１１１、第２コイル部２１１、第３コイル部３１１のそれぞれに流す電流の有無および電流の向きを制御することで、第１駆動部ＳＰ１、第２駆動部ＳＰ２、第３駆動部ＳＰ３に対する磁界の印加（すなわち、各駆動部の接点の変位）を制御することができる。それにより、例えば、第２駆動部ＳＰ２の第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６，２６’のみを移動させて、第２接点２６と第１駆動部ＳＰ１の第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６との接触、および、第２接点２６’と第３駆動部ＳＰ３の第３磁心部３２０に取り付けられた第３接点３６との接触、を交互に切り替える構成とすることができる。

また、例えば、第１駆動部ＳＰ１の第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６および第３駆動部ＳＰ３の第３磁心部３２０に取り付けられた第３接点３６を移動させる構成とし、第２駆動部ＳＰ２の第２磁心部２２０に取り付けられた第２接点２６，２６’を移動させない構成とした場合、例えば、第２接点２６と第１駆動部ＳＰ１の第１磁心部１２０に取り付けられた第１接点１６とが接触し、同時に、第２接点２６’と第３駆動部ＳＰ３の第３磁心部３２０に取り付けられた第３接点３６とが接触した状態とすることで、可動磁心部２２３を介して電気的に接続された第２接点２６、２６’を介して、第１接点１６と第３接点３６とを電気的に接続する構成とすることもできる。

このように、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチを構成する駆動部および接点の数はその構造に応じて適宜変更することができる。また、接点間の接続／切断をどのように制御するかについても、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチを使用して行うスイッチングの構成に応じて適宜変更することができる。

図７に示す磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ６００は、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ５００と比較して、第２接点２６’および第３接点３６の厚みが変更されていて、対向した両者が当接している。この場合、第２接点２６’および第３接点３６は、磁界印加部としての第２コイル部２１１および第３コイル部３１１に対して電流が流れていない状態、すなわち、第２コイル部２１１および第３コイル部３１１による磁界の印加が無い場合には接触し、所定の方向の磁界の印加が有る場合には離間可能な構成とされている。このような構成を有する磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ６００では、３つの駆動部のコイル部に流れる電流の有無およびその向きを制御することで、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ５００とは異なるスイッチングが可能となる。

１１…第１磁界印加部、１２…第１ビーム、１５…第１信号線、１６…第１接点、２１…第２磁界印加部、２２…第２ビーム、２５…第２信号線、２６…第２接点、１００，２００，３００，４００，５００，６００…磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ、１１１…第１コイル部、１２０…第１磁心部、１２２，２２２…可撓磁心部、２１１…第２コイル部、２２０…第２磁心部。

Claims (8)

1. 第１磁心部と、
   前記第１磁心部に設けられた第１信号線と、
   前記第１磁心部の一端に対して固定されて、前記第１信号線に対して電気的に接続された第１接点と、
   第２磁心部と、
   前記第２磁心部に設けられた第２信号線と、
   前記第２磁心部の一端に対して固定されて、前記第２信号線に対して電気的に接続された第２接点と、
   導体コイルを含み、当該導体コイルに電流を流すことで前記第１磁心部および前記第２磁心部に対して磁界を印加する磁界印加部と、
   を備え、
   前記磁界印加部による磁界の印加の有無により、前記第１接点が変位し、
   前記第１接点の変位に伴って、前記第１接点と前記第２接点との接続および切断が切り替わる、磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。
2. 前記第１磁心部は、前記第１接点が固定される前記一端と、前記一端とは逆の他端との間に、前記一端がその延在方向に対して交差する方向の外力に対して可撓性を有する可撓磁心部を有している、請求項１に記載の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。
3. 前記磁界印加部による磁界の印加の有無により、前記第２接点が変位し、
   前記第１接点および前記第２接点の変位に伴って、前記第１接点と前記第２接点との接続および切断が切り替わる、請求項１または２に記載の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。
4. 前記第２磁心部は、前記第２接点が固定される前記一端と、前記一端とは逆の他端との間に、前記一端がその延在方向に対して交差する方向の外力に対して可撓性を有する可撓磁心部を有している、請求項３に記載の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。
5. 前記第１接点および前記第２接点は、前記磁界印加部による磁界の印加が無い場合には離間し、前記磁界印加部による磁界の印加が有る場合に電気的に接続する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。
6. 前記第１接点および前記第２接点は、前記磁界印加部による磁界の印加が有る場合には離間し、前記磁界印加部による磁界の印加が無い場合に電気的に接続する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。
7. 前記第１磁心部が、前記第１信号線、または、前記第１信号線および前記第１接点としての機能を有している、請求項１〜６のいずれか一項に記載の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。
8. 前記第２磁心部が、前記第２信号線、または、前記第２信号線および前記第２接点としての機能を有している、請求項１〜７のいずれか一項に記載の磁気作動型ＭＥＭＳスイッチ。

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