JP6949289B1 - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態1にかかるレーザ装置101の構成を示す模式図である。図1には、3軸直交座標系のx軸、y軸およびz軸が図示されている。
sinα+sinβ=mλ/d (1)
図7は、実施の形態2にかかるレーザ装置102の構成を示す模式図である。実施の形態2では、上記の実施の形態1と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1とは異なる構成について主に説明する。
図8は、実施の形態3にかかるレーザ装置103の構成を示す模式図である。実施の形態3では、上記の実施の形態1または2と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1または2とは異なる構成について主に説明する。
図10は、実施の形態4にかかるレーザ装置104の構成を示す模式図である。レーザ装置104は、複数の第一レーザ素子と複数の第二レーザ素子とを有する。実施の形態4では、上記の実施の形態1から3と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1から3とは異なる構成について主に説明する。
図11は、実施の形態5にかかるレーザ装置105の一部を示す第一の図である。図12は、実施の形態5にかかるレーザ装置105の一部を示す第二の図である。実施の形態5にかかるレーザ装置105は、xy面内において第一ビーム51と第二ビーム52との相対位置を変更可能とする。実施の形態5では、上記の実施の形態1から4と同一の構成要素には同一の符号を付し、実施の形態1から4とは異なる構成について主に説明する。図11および図12には、xy面における第一ビーム51、第二ビーム52、部分反射鏡60および集光レンズ95を示す。集光レンズ95には、部分反射鏡60を透過した第一ビーム51および第二ビーム52が入射する。
Claims (11)
- 一または複数のビームである第一ビーム群を出射させ、かつ前記第一ビーム群を共振させる第一外部共振器の一端を構成する第一レーザ素子と、
一または複数のビームである第二ビーム群を出射させ、かつ前記第二ビーム群を共振させる第二外部共振器の一端を構成する第二レーザ素子と、
前記第一ビーム群の各ビームと前記第二ビーム群の各ビームとで入射角の正負が互いに逆となるように前記第一ビーム群と前記第二ビーム群とが入射し、収束させた前記第一ビーム群である第一ビームと、収束させた前記第二ビーム群である第二ビームとが出射する回折光学素子と、
前記第一外部共振器の他端および前記第二外部共振器の他端を構成し、前記第一ビームの一部および前記第二ビームの一部を反射し、かつ前記第一ビームの残部および前記第二ビームの残部を透過させる部分反射素子と、
前記回折光学素子から出射した前記第二ビームを前記部分反射素子の方へ偏向させるビーム偏向素子と、
を備えることを特徴とするレーザ装置。 - 前記第一ビームは、前記第一ビーム群のプラス一次回折光であって、
前記第二ビームは、前記第二ビーム群のマイナス一次回折光であることを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。 - 前記部分反射素子のうち前記第一ビームおよび前記第二ビームを反射する反射面は、単一平面であることを特徴とする請求項1または2に記載のレーザ装置。
- 前記第一ビームおよび前記第二ビームに対する前記部分反射素子の反射率は、前記第一ビーム群および前記第二ビーム群に対する前記回折光学素子の反射率の5倍以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載のレーザ装置。
- 前記回折光学素子から前記部分反射素子へ進行する前記第一ビームの径と前記回折光学素子から前記部分反射素子へ進行する前記第二ビームの径とを縮小させ、かつ、前記回折光学素子から前記部分反射素子へ進行する前記第一ビームの主光線と前記回折光学素子から前記部分反射素子へ進行する前記第二ビームの主光線との距離を縮小させる縮小光学系をさらに備えることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載のレーザ装置。
- 前記第一ビーム群の各ビームと前記第二ビーム群の各ビームとを、ビームの主光線を中心に回転させるビーム回転素子をさらに備えることを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載のレーザ装置。
- 複数の前記第一レーザ素子と、
複数の前記第二レーザ素子と、を備え、
前記回折光学素子は、複数の前記第一レーザ素子の各々からの前記第一ビーム群を前記第一ビームへ収束させ、かつ複数の前記第二レーザ素子の各々からの前記第二ビーム群を前記第二ビームへ収束させることを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載のレーザ装置。 - 前記第一ビームの主光線と前記第二ビームの主光線とを含む面内において前記第一ビームと前記第二ビームとの相対位置を変更する位置変更手段をさらに備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか1つに記載のレーザ装置。
- 前記位置変更手段は、前記第二レーザ素子に対し前記第一レーザ素子を相対移動させる機構であることを特徴とする請求項8に記載のレーザ装置。
- 前記位置変更手段は、前記ビーム偏向素子を回転させる機構であることを特徴とする請求項8に記載のレーザ装置。
- 前記第一ビームの光路と前記第二ビームの光路との間に設けられた遮蔽部品を備えることを特徴とする請求項1から10のいずれか1つに記載のレーザ装置。
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