JP6947299B2 - 振動装置及び駆動装置 - Google Patents
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Description
本発明は、振動装置及び駆動装置に関する。
従来、監視装置として用いられるカメラ等のイメージングデバイスにおいては、その視野を常に明瞭にすることが求められている。特に、車載用途等の屋外で使用されるカメラにおいては、雨滴などの水滴を除去するための機構が種々提案されている。下記の特許文献1には、カメラ本体の前方に配置される、透光性部分を有する振動装置が開示されている。上記透光性部分を含む板状体を振動させることにより、水滴を移動させ、かつ霧化する。この振動装置では、高次の共振モードを利用して、板状体の中央部以外の部分に振動の腹が位置するようにしている。ここで、振動に際し、水の板状体に対する表面張力は、振動の腹の部分と振動の節の部分とにおいて異なる。上記各位置における表面張力の差が駆動力となり、水滴が振動の腹に向かい移動し、その後さらに水滴を霧化することにより、視野を確保する。
しかしながら、特許文献1に記載された振動装置では、上記各位置における表面張力の差を駆動力としているため、水滴の移動のし易さは振動の腹からの距離に依存する。そのため、板状体の中央部など、振動の腹から遠い部分の水滴が残ることがあった。
他方、水滴を確実に除去するために振幅を大きくする場合には、駆動電圧を大きくする必要があり、効率が低くなるという問題があった。
本発明の目的は、水滴を確実に移動させることができる、振動装置及び駆動装置を提供することにある。
本発明に係る振動装置は、振動子を有する振動素子と、前記振動素子を振動させる駆動装置とを備え、前記振動素子が透光体を有し、前記振動子が前記駆動装置に電気的に接続されており、前記駆動装置が、前記振動素子を共振状態とするように、前記振動子に電気信号を印加する第1の回路と、前記振動素子から出力された帰還信号に応じた電気信号を前記振動子に印加する第2の回路と、前記第1の回路と前記振動子との接続及び前記第2の回路と前記振動子との接続を、一定のタイミングにおいて切り替えるスイッチとを有する。
本発明に係る駆動装置は、振動子を有する振動素子を振動させる駆動装置であって、前記振動素子を共振状態とするように、前記振動子に電気信号を印加する第1の回路と、前記振動素子から出力された帰還信号に応じた電気信号を前記振動子に印加する第2の回路と、前記第1の回路と前記振動子との接続及び前記第2の回路と前記振動子との接続を、一定のタイミングにおいて切り替えるスイッチとを備える。
本発明によれば、水滴を確実に移動させることができる、振動装置及び駆動装置を提供することができる。
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
図1は、第1の実施形態に係る振動装置の部分切欠き斜視図である。
図1に示す振動装置1は、振動により水滴や異物を移動させ、撮像素子の視野内から水滴や異物を除去する振動装置である。振動装置1は、振動素子2と、振動素子2を保持するケース部材9と、駆動装置12とを有する。振動素子2は駆動装置12に電気的に接続されている。
図2は、第1の実施形態に係る振動装置を有するイメージングデバイスの正面断面図である。
振動素子2及びケース部材9により囲まれた内部空間内に、一点鎖線で示す撮像素子10Aが配置されている。それによって、本発明の一実施形態に係る光学検出装置としてのイメージングデバイス10が構成されている。イメージングデバイス10は振動装置1及び撮像素子10Aを有する。撮像素子10Aとしては、例えば、可視領域から遠赤外領域のいずれかの波長の光を受光する、CMOS、CCD、ボロメーターやサーモパイルなどを挙げることができる。イメージングデバイス10としては、例えば、カメラ、RadarやLIDARデバイスなどを挙げることができる。
なお、上記内部空間内には、撮像素子10A以外の、エネルギー線を光学的に検出する光学検出素子が配置されていてもよい。検出するエネルギー線としては、例えば、電磁波や赤外線などの活性エネルギー線であってもよい。光学検出素子の検出領域は、後述する透光体部に含まれる。図2に示すイメージングデバイス10においては、撮像素子10Aの視野が透光体部に含まれる。
図3は、第1の実施形態における振動素子の斜視図である。
振動素子2は略円板状である。より具体的には、振動素子2は、中央部に開口部3cを有する略円板状の振動体3を有する。振動体3は、対向し合う第1の主面3a及び第2の主面3bを有する。第1の主面3aは振動装置1における外側の主面であり、第2の主面3bは上記内部空間側の主面である。開口部3cの第1の主面3aにおける外周縁から、第1の主面3aに垂直な方向に、延長部3dが延びている。なお、延長部3dは設けられていなくともよい。
図2に戻り、振動体3の延長部3d上に、開口部3cを覆うように透光体4が設けられている。透光体4は透光性材料からなる。透光性材料としては、例えば、透光性のプラスチック、ガラスまたは透光性のセラミックスなどを用いることができる。なお、本明細書における透光性とは、少なくとも上記光学検出素子が検出する波長のエネルギー線や光が透過する透光性をいう。
本実施形態においては、平面視における振動体3及び透光体4の形状は円形であるが、これに限定されず、略楕円形であってもよく、あるいは矩形や多角形などであってもよい。透光体4は円板状であるが、ドーム状などであってもよい。
振動体3の第2の主面3b上には、圧電振動子5A及び圧電振動子5Bが、開口部3cを隔てて対向し合うように設けられている。振動素子2における圧電振動子5A及び圧電振動子5Bが、駆動装置12に接続されている。
圧電振動子5Aは矩形板状の圧電体6を有する。圧電体6は、例えば、Pb(Zr,Ti)O3や(K,Na)NbO3などの適宜の圧電セラミックスまたはLiTaO3やLiNbO3などの適宜の圧電単結晶からなる。なお、圧電体6の形状は上記に限定されない。
圧電振動子5Aは、圧電体6の一方主面上に設けられている第1の電極7a及び帰還電極7cを有する。第1の電極7a及び帰還電極7cは分割して設けられている。圧電振動子5Aは、圧電体6の他方主面上に、第1の電極7aに対向するように設けられている第2の電極7bを有する。本実施形態では、第1の電極7a及び帰還電極7cは駆動装置12に電気的に接続されている。第2の電極7bはグラウンド電位に接続される。
圧電振動子5Bも圧電振動子5Aと同様に構成されている。圧電振動子5Aは、第2の電極7b側において振動体3に接合されており、圧電振動子5Bは、第1の電極及び帰還電極側において振動体3に接合されている。これにより、圧電振動子5A及び圧電振動子5Bは振動体3に対して互いに反対方向に振動し、かつ振動体3を振動させる。
振動装置1は、駆動装置12を有することにより、透光体4に付着した水滴などを撮像素子の視野外に、上述した表面張力の差に依存せず、より確実に移動させることができる。この詳細を以下において説明する。
図4は、第1の実施形態における駆動装置の模式的回路図である。なお、図4においては、1つの圧電振動子との接続の形態を示すが、駆動装置は他の圧電振動子とも同様に接続されている。
駆動装置12は、振動素子2を共振状態とするように、圧電振動子5Aに電気信号を印加する第1の回路13を有する。第1の回路13と圧電振動子5Aとが電気的に接続された状態において、自励振回路が構成される。駆動装置12は、圧電振動子5Aから出力された帰還信号に応じた電気信号を圧電振動子5Aに印加する第2の回路14を有する。第2の回路14は、第1の回路13による振動素子2の振動の状態を変化させるように、圧電振動子5Aに電気信号を印加する。
さらに、駆動装置12は、第1の回路13と圧電振動子5Aとの接続及び第2の回路14と圧電振動子5Aとの接続を一定のタイミングにおいて切り替えるスイッチ15を有する。より具体的には、スイッチ15はタイミング生成回路を有し、圧電振動子5Aと接続する回路を第1の回路13から第2の回路14に切り替えるタイミング及びスイッチング幅を制御する。スイッチング幅とは、本明細書においては、上記接続を第2の回路14に切り替えた後、第2の回路14から第1の回路13に戻すまでの時間をいう。
駆動装置12は、図2及び図3に示した圧電振動子5Bにも、圧電振動子5Aと同様に電気信号を印加する。
図5は、第1の実施形態における圧電振動子に印加する電気信号を模式的に示す図である。図5において、実線は第1の回路が圧電振動子に印加する電気信号を示し、破線は第2の回路が圧電振動子に印加する電気信号を示す。
第1の回路13は圧電振動子5Aに交流信号を印加する。これにより、振動素子2を共振状態とし、振動させる。本実施形態においては、スイッチ15により一定のタイミングで、圧電振動子5Aに接続している回路を第1の回路13から第2の回路14に切り替える。
本明細書においては、第1の回路13による電気信号の半波長分の電気信号を半波と記載することがある。なお、上記半波長分とは半周期分を意味する。第2の回路14は帰還信号を増幅して、図5の矢印Aで示すように、半波を圧電振動子5Aに印加する。第2の回路14による電気信号の強度は特に限定されないが、本実施形態では、第1の回路13による電気信号の強度の2倍である。
第2の回路14から圧電振動子5Aに半波が印加された後、スイッチ15によって、圧電振動子5Aに接続している回路を第2の回路14から第1の回路13に切り替える。なお、図5中の矢印Aで示すときにおいては、圧電振動子5Aには、破線で示す第2の回路14の電気信号のみが印加されることを指摘しておく。圧電振動子5Bにも、圧電振動子5Aと同様に、電気信号が印加される。
図6は、第1の実施形態における振動素子の振動モードを説明するための、振動素子の模式的正面断面図である。図7は、第1の実施形態における振動素子の振動モードを説明するための、振動素子の模式的斜視図である。図6及び図7においては、実線により振動素子の初期の状態を示し、一点鎖線により振動素子が振動している状態を示す。図7において、破線で囲まれた部分が振動の節である。
図6及び図7に示すように、本実施形態の振動素子2は、第1の回路13によって、シーソーモードにより振動する。本明細書においてシーソーモードとは、振動素子の径方向に延びる振動の節のラインを回転軸として振動する振動モードをいう。振動の節が振動素子2の中心に位置することにより、振動の腹が振動素子2の中心以外の部分に位置する。なお、本実施形態における振動モードは、径方向に延びる1本の振動の節のラインに加えて、周回方向に延びる1本の振動の節のラインを有するシーソーモードである。
径方向に延びる振動の節のラインを回転軸とした回転振動により、水滴などに、図6中における左右の方向に加速度が加わる。定在振動であれば、一方の方向に加速度が加わった後、反対の方向に同じ加速度が加わることが繰り返されるため、水滴などは一定の位置の範囲において往復する。この場合、水滴などは上記一定の位置の範囲からは移動しない。なお、振幅が大きい場合には、振動の腹の部分と振動の節の部分とにおける、水滴などの振動素子2に対する表面張力の差が大きくなる。この場合には、表面張力の差を駆動力として、水滴などは振動の腹に向かい移動し得る。しかしながら、上述したように、一部の水滴などは残ることがある。残った水滴などは、一定の位置の範囲において往復し続けることとなる。
図4に戻り、本実施形態の振動装置1及び駆動装置12の特徴は、第1の回路13及び第2の回路14を有し、かつ第1の回路13及び第2の回路14のうち各圧電振動子と接続する回路を、一定のタイミングにおいて切り替えるスイッチ15を有することにある。本実施形態では、一定のタイミングにおいて、帰還信号が増幅された半波が各圧電振動子に印加される。このように、帰還信号に応じて、振動を一方向において増幅させる電気信号を各圧電振動子に印加することにより、振動素子2の振動の方向に偏りを生じさせることができる。それによって、水滴などを一定の方向に、より確実に移動させることができる。従って、上述した水滴などの往復運動を生じ難くすることができ、撮像素子の視野外に、水滴などをより確実に移動させることができる。
本実施形態では、振動の腹の部分と振動の節の部分とにおける表面張力の差に依存せず、振動の方向に偏りを生じさせることによって、水滴などをより確実に移動させることができる。このように、上記各位置における表面張力の差が大きくなる程の振幅とする必要がないため、水滴を効率的に移動させることができる。
図5に示す本実施形態のように、第1の回路13による電気信号の位相と同じ位相となるように、第2の回路14により各圧電振動子に電気信号を印加することが好ましい。加えて、第1の回路13による電気信号の強度よりも高い強度の電気信号を、第2の回路14により各圧電振動子に印加することが好ましい。それによって、振動素子2の振動の方向に偏りを効果的に生じさせることができる。
なお、第2の回路14による電気信号の位相は、第1の回路13による電気信号の位相と必ずしも同じではなくともよい。第1の回路13による振動素子2の振動の状態が変化するように、第2の回路14による電気信号が各圧電振動子に印加されればよい。第2の回路14による電気信号の強度は、第1の回路13による電気信号の強度よりも必ずしも高くなくともよい。
上述したように、本実施形態では、振動体3の延長部3d上に透光体4が設けられている。それによって、シーソーモードなどにより振動した際の、透光体4の回転力を大きくすることができる。もっとも、振動体3自体が透光体であってもよい。
図2に示すように、振動素子2はケース部材9及びシール部材8により、振動の節において支持されている。より具体的には、ケース部材9は第1のケース部9a及び第2のケース部9bを有する。第1のケース部9aは、略リング状の底部19aと、底部19aの内周縁から延びている内壁19bとを有する。内壁19bは、底部19aのリング状の面に直交する方向に延びている。内壁19bの先端にリング状のシール部材8が設けられている。シール部材8は、特に限定されないが、本実施形態ではシーリングゴムである。
第2のケース部9bは第1のケース部9aの底部19a上に設けられている。第2のケース部9bは、上記内壁19bに対向する外壁19cと、外壁19cに接続されており、リング状であり、かつ上記底部19aに対向する天板部19dを有する。本実施形態では、外壁19cは段差部を有する。第2のケース部9bは、天板部19dの内周縁から上記底部19a側に延びるリブ19eを有する。リブ19eとシール部材8とは対向している。振動素子2は、第2のケース部9bのリブ19e及びシール部材8によって挟まれることにより支持されている。なお、ケース部材9の構成は上記に限定されない。ケース部材9は、振動素子2を線接触により支持していてもよく、点接触により支持していてもよい。
図7に示したように、振動素子2は平面視において円形であり、かつシーソーモードにより振動する。そのため、振動素子2の振動の節の一部は略リング状となる。上記リブ19e及び上記シール部材8は、振動素子2の振動の節に沿い延びるように設けられている。本実施形態では、振動の節が略リング状という単純な形状となるため、ケース部材9は、振動素子2における振動の節を容易に支持することができる。従って、振動装置1の密閉性を効果的に、かつより一層確実に高めることができる。
本実施形態のように、ケース部材9は、第2のケース部9bのリブ19e以外の部分において振動素子2に接しないように、空隙部Bを有することが好ましい。それによって、振動素子2の振動をより一層阻害し難い。
振動装置1のケース部材9には、円筒形の凹部9xが4つ設けられている。より具体的には、凹部9xは、第1のケース部9aの底部19aを貫通しており、かつ第2のケース部9b内に至っている。例えば、凹部9xを螺子穴として、螺子などにより振動装置1を外部に固定することができ、あるいは他のケース部材に接続することもできる。なお、凹部9xの形状及び個数は上記に限定されない。ケース部材9には凹部9xは設けられていなくともよい。
図8は、第1の実施形態の変形例における圧電振動子の平面図である。
本変形例の圧電振動子25はリング状の圧電体26を有する。圧電振動子25は、中心線Sを介して隣り合う第1の領域C及び第2の領域Dを有する。圧電体26の分極軸方向は、どの領域においても同じ方向である。圧電体26の一方主面上においては、第1の領域Cに第1の電極27aが設けられており、第2の領域Dに第2の電極27bが設けられている。圧電体26の他方主面上においては、第1の領域Cに第2の電極27bが設けられており、第2の領域Dに第1の電極27aが設けられている。これにより、第1の領域C及び第2の領域Dは互いに逆位相で振動する。
上記他方主面上には帰還電極27cも設けられている。帰還電極27cと第2の電極27bとが接触しないように、第2の電極27bには切欠き部が設けられている。もっとも、上記切欠き部は必ずしも設けられていなくともよく、帰還電極27cと圧電振動子25における他の電極とが接触していなければよい。
なお、圧電体26は、第1の領域C及び第2の領域Dにおいて、互いに逆方向の分極軸方向であってもよい。この場合には、第1の領域C及び第2の領域Dに同位相の交流信号が印加されるように電極が設けられていればよい。例えば、一方主面上における第1の領域C及び第2の領域Dに第2の電極27bが設けられており、他方主面上における第1の領域C及び第2の領域Dに第1の電極27aが設けられていてもよい。
図9は、第2の実施形態における圧電振動子に印加する電気信号を模式的に示す図である。図9において、実線は第1の回路が圧電振動子に印加する電気信号を示し、破線は第2の回路が圧電振動子に印加する電気信号を示す。
本実施形態は、駆動装置12の第2の回路14により、振動を減衰させる電気信号を各圧電振動子に印加する点が、第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の振動装置は第1の実施形態の振動装置1と同様の構成を有する。
図9に示すように、第2の回路14は、第1の回路13による電気信号に対して反転した位相の半波を各圧電振動子に印加する。これにより、振動素子2の振動に急激な制動をかけることができる。それによって、表面張力の差に依存せず、水滴などを一定の方向に、より確実に移動させることができる。従って、水滴などの往復運動を生じ難くすることができ、撮像素子の視野外に、水滴などをより確実に移動させることができる。
本実施形態においては、第2の回路14による電気信号の強度は、第1の回路13による電気信号の強度の2倍である。このように、第2の回路14による電気信号を、第1の回路13による電気信号の強度よりも大きい強度であり、かつ第1の回路13による電気信号に対して反転した位相の半波とすることが好ましい。それによって、振動素子2の振動に効果的に制動をかけることができる。
図10は、第3の実施形態における振動素子の変位の電気信号及び圧電振動子に印加する電気信号を模式的に示す図である。図10においては、実線は振動素子の変位の電気信号を示し、破線は第2の回路が圧電振動子に印加する電気信号を示す。なお、振動素子の変位の電気信号は、上記帰還信号または上記帰還信号が増幅された電気信号である。
本実施形態は、駆動装置12の第2の回路14が印加する電気信号が第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の振動装置は第1の実施形態の振動装置1と同様の構成を有する。
図10に示すように、第2の回路14は、振動素子2の変位の電気信号に対して位相が反転した電気信号を各圧電振動子に印加する。このとき、第2の回路14から各圧電振動子に複数波長分の電気信号が印加される。より具体的には、電気信号の強度が徐々に低くなるように、第2の回路14から各圧電振動子に電気信号を印加する。
一般的に、振動素子を振動させるための電気信号を停止した場合には、図11に示す参考例のように、振動素子は振動の振幅が緩やかに小さくなっていく残響振動の状態となり、しかる後静止する。
これに対して、図10及び図12に示すように、本実施形態では反転残響信号が第2の回路14により各圧電振動子に印加される。本明細書において、反転残響信号とは、振動素子における残響振動の電気信号に対して位相が反転しており、かつ残響振動の電気信号の強度に対応した電気信号をいう。駆動装置12において、各圧電振動子に接続されている回路を第1の回路13から第2の回路14に切り替えた後の、振動素子2の振動に応じて、第2の回路14から圧電振動子に電気信号を印加する。これにより、第2の回路14から各圧電振動子に残響反転信号を印加する。それによって、振動素子2に、より一層急激な制動をかけることができる。従って、表面張力の差に依存せず、水滴などの往復運動をより一層生じ難くすることができ、撮像素子の視野外に、水滴などをより一層確実に移動させることができる。
各圧電振動子に接続される回路を第2の回路14に切り替えた後、スイッチ15は設定されたスイッチング幅に従い、上記接続を第1の回路13に切り替える。このように、振動と急激な制動とを繰り返すことによって、水滴などをより一層効果的に移動させることができる。
図13は、第3の実施形態における振動素子の斜視図である。
本実施形態の振動装置は、振動素子32の構成及び用いる振動モードが第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の振動装置は第1の実施形態の振動装置1と同様の構成を有する。
振動素子32は、開口部3cを隔てて対向し合う圧電振動子35C及び圧電振動子35Dを有する。圧電振動子35C及び圧電振動子35Dは、圧電振動子5A及び圧電振動子5Bと共に、振動体3の第2の主面3b上に設けられている。圧電振動子35Cと圧電振動子35Dとを結ぶ直線は、圧電振動子5Aと圧電振動子5Bとを結ぶ直線に直交する。圧電振動子35C及び圧電振動子35Dは、圧電振動子5A及び圧電振動子5Bと同様に構成されている。
振動素子32においては、周回方向に隣り合う圧電振動子の振動の位相が90°異なる。第1の実施形態と同様に、対向し合う圧電振動子5A及び圧電振動子5Bの振動の位相は180°異なる。対向し合う圧電振動子35C及び圧電振動子35Dの振動の位相も180°異なる。これにより、振動素子32は旋回モードによって振動する。なお、本明細書において旋回モードとは、振動素子の径方向に延びる振動の節のラインを回転軸として振動すると同時に、振動素子の中心を軸として上記回転軸が一定の周期で回転する振動モードである。
本実施形態においては、振動素子32が旋回モードにより振動するため、振動の節が略リング状の部分を有する。よって、第1の実施形態と同様に、振動素子32における振動の節を容易に支持することができ、振動装置の密閉性を効果的に、かつより一層確実に高めることができる。
加えて、本実施形態の振動装置も第1の実施形態の駆動装置12を有するため、振動素子32の振動の方向に偏りを生じさせることができる。それによって、表面張力の差に依存せず、撮像素子の視野外に、水滴などをより確実に移動させることができる。
以下において、図14〜図16を参照して、第4〜第6の実施形態を説明する。第4〜第6の実施形態の振動装置も第1の実施形態と同様の駆動装置12を有するため、撮像素子の視野外に、水滴などをより確実に移動させることができる。
図14は、第4の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。
本実施形態における振動素子42は、対向し合う第1の振動体43A及び第2の振動体43Bを有する。第1の振動体43Aは、第1の実施形態における振動体3と同様の構成を有し、第1の振動体43Aの延長部3d上に透光体4が設けられている。第2の振動体43Bは、延長部が設けられていない点以外においては、第1の振動体43Aと同様の構成を有する。本実施形態の振動素子42は、シーソーモードまたは旋回モードにより振動する。
振動素子42は、第1の振動体43Aと第2の振動体43Bとの間に配置されており、第1の振動体43A及び第2の振動体43Bを連結している、支持体43cを有する。より具体的には、支持体43cは、第1の振動体43Aの外周縁と第2の振動体43Bの外周縁とを、周回方向全体において連結している。支持体43cの形状は略円筒形である。支持体43cは、外側面及び内側面と、外側面から径方向外側に突出しているヒンジ部43dとを有する。本実施形態の振動装置は、ヒンジ部43dにおいて支持される。なお、支持体43cの形状は上記に限定されない。
第2の振動体43Bの、振動装置における外側に位置する主面上に、第1の実施形態と同様の圧電振動子5A及び圧電振動子5Bが設けられている。なお、圧電振動子5A及び圧電振動子5Bは第2の振動体43Bの第1の振動体43A側の主面上に設けられていてもよい。振動素子42は、図8に示したリング状の圧電振動子25を有していてもよい。なお、本実施形態において、シーソーモードまたは旋回モードにおける振動の節は、第1の振動体43Aではなく、ヒンジ部43dに位置する。
図15は、第5の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。なお、図15及び後述する図16及び図17においては、圧電振動子を省略している。
本実施形態の振動装置はレンズモジュール58を含む。レンズモジュール58は、レンズ58a及びレンズ58aを保持しているレンズホルダ58bとを有する。振動素子52の透光体54はドームカバーである。振動体53はリング状であり、上記延長部を有しない。
振動素子52はケース部材59により支持されている。本実施形態のケース部材59は、振動体53の第1の主面3aを支持するリブ及び第2の主面3bを支持するリブを有する。本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、ケース部材59は振動素子52を振動の節において支持している。
本実施形態の振動装置は底板57を有し、底板57上にケース部材59及びレンズホルダ58bが設けられている。レンズモジュール58は、振動素子52、ケース部材59及び底板57により囲まれた内部空間内に配置されている。
図16は、第6の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。
本実施形態は、振動体53の内周縁がレンズホルダ58bに接合されており、ドームカバーを有しない点において、第5の実施形態と異なる。本実施形態の振動装置51は、透光体としてのレンズ58aに付着した水滴などを振動によって、表面張力の差に依存せず、より確実に移動させることができる。
図示していないが、本実施形態においても、第5の実施形態と同様のケース部材59などが設けられていてもよい。
図17は、本発明の第7の実施形態に係るイメージングデバイスの正面断面図である。
イメージングデバイス60は、第6の実施形態の振動装置51と、撮像素子60Aとを有する。イメージングデバイス60は底板67を有し、底板67上にレンズホルダ58bが設けられている。底板67、レンズホルダ58b及びレンズ58aにより囲まれた内部空間内に撮像素子60Aが配置されている。なお、本実施形態においても、第5の実施形態と同様のケース部材59などが設けられていてもよい。
イメージングデバイス60においては、振動装置51を有することにより、表面張力の差に依存せず、撮像素子60Aの視野外に、水滴などをより確実に移動させることができる。
ここで、第1〜第7の実施形態において振動子は圧電振動子であるが、振動子は例えば、電磁アクチュエータなどの電磁誘導素子であってもよい。振動子が電磁アクチュエータである例を以下において説明する。
図18は、第8の実施形態に係る振動装置の正面断面図である。
本実施形態は、振動子が電磁アクチュエータ75である点において、第1の実施形態と異なる。電磁アクチュエータ75は、ソレノイドコイル76及び磁石77を有する。本実施形態の駆動装置においては、第1の回路及び第2の回路はソレノイドコイル76に接続されている。ケース部材79の形状も第1の実施形態と異なる。上記の点以外においては、本実施形態の振動装置及び駆動装置は第1の実施形態の振動装置1及び駆動装置12と同様の構成を有する。
電磁アクチュエータ75の磁石77は、振動体3の第2の主面3b上に設けられている。ここで、本実施形態のケース部材79は、内側面から径方向内側に延び、ソレノイドコイル76を支持している支持部79aを有する。上記の点以外においては、ケース部材79は第5の実施形態のケース部材59と同様の構成を有する。ソレノイドコイル76は、磁石77に対向するように配置されている。振動素子72の変位に対応する帰還信号を生成し、出力するために、圧電素子を振動体3に接合してもよい。あるいは、上記帰還信号を生成し、出力するために、電磁アクチュエータの一部または全部を利用してもよい。
図18中の矢印E及び矢印Fで示すように、振動素子72はシーソーモードにより振動する。本実施形態においても、第1の回路とソレノイドコイル76との接続及び第2の回路とソレノイドコイル76との接続を一定のタイミングにおいて切り替える。それによって、電磁アクチュエータ75により振動素子72が振動する場合においても、振動の方向に偏りを生じさせることができる。これにより、表面張力の差に依存せず、撮像素子の視野外に、水滴などをより確実に移動させることができる。
電磁アクチュエータ75の配置は上記に限定されない。例えば、図19に示す第8の実施形態の変形例では、振動体83は、振動装置の内部空間側に延びる延長部83dを有する。磁石77は、延長部83dにおける外側面上に配置されている。ソレノイドコイル76は、磁石77に対向するように、ケース部材79の支持部79aにより支持されている。このような場合においても、表面張力の差に依存せず、水滴などをより確実に移動させることができる。
1…振動装置
2…振動素子
3…振動体
3a…第1の主面
3b…第2の主面
3c…開口部
3d…延長部
4…透光体
5A,5B…圧電振動子
6…圧電体
7a…第1の電極
7b…第2の電極
7c…帰還電極
8…シール部材
9…ケース部材
9a…第1のケース部
9b…第2のケース部
9x…凹部
10…イメージングデバイス
10A…撮像素子
12…駆動装置
13…第1の回路
14…第2の回路
15…スイッチ
19a…底部
19b…内壁
19c…外壁
19d…天板部
19e…リブ
25…圧電振動子
26…圧電体
27a…第1の電極
27b…第2の電極
27c…帰還電極
32…振動素子
35C,35D…圧電振動子
42…振動素子
43A…第1の振動体
43B…第2の振動体
43c…支持体
43d…ヒンジ部
51…振動装置
52…振動素子
53…振動体
54…透光体
57…底板
58…レンズモジュール
58a…レンズ
58b…レンズホルダ
59…ケース部材
60…イメージングデバイス
60A…撮像素子
67…底板
72…振動素子
75…電磁アクチュエータ
76…ソレノイドコイル
77…磁石
79…ケース部材
79a…支持部
83…振動体
83d…延長部
2…振動素子
3…振動体
3a…第1の主面
3b…第2の主面
3c…開口部
3d…延長部
4…透光体
5A,5B…圧電振動子
6…圧電体
7a…第1の電極
7b…第2の電極
7c…帰還電極
8…シール部材
9…ケース部材
9a…第1のケース部
9b…第2のケース部
9x…凹部
10…イメージングデバイス
10A…撮像素子
12…駆動装置
13…第1の回路
14…第2の回路
15…スイッチ
19a…底部
19b…内壁
19c…外壁
19d…天板部
19e…リブ
25…圧電振動子
26…圧電体
27a…第1の電極
27b…第2の電極
27c…帰還電極
32…振動素子
35C,35D…圧電振動子
42…振動素子
43A…第1の振動体
43B…第2の振動体
43c…支持体
43d…ヒンジ部
51…振動装置
52…振動素子
53…振動体
54…透光体
57…底板
58…レンズモジュール
58a…レンズ
58b…レンズホルダ
59…ケース部材
60…イメージングデバイス
60A…撮像素子
67…底板
72…振動素子
75…電磁アクチュエータ
76…ソレノイドコイル
77…磁石
79…ケース部材
79a…支持部
83…振動体
83d…延長部
Claims (13)
- 振動子を有する振動素子と、
前記振動素子を振動させる駆動装置と、
を備え、
前記振動素子が透光体を有し、前記振動子が前記駆動装置に電気的に接続されており、
前記駆動装置が、前記振動素子を共振状態とするように、前記振動子に電気信号を印加する第1の回路と、前記振動素子から出力された帰還信号に応じた電気信号を前記振動子に印加する第2の回路と、前記第1の回路と前記振動子との接続及び前記第2の回路と前記振動子との接続を、一定のタイミングにおいて切り替えるスイッチと、を有する、振動装置。 - 前記第2の回路が、前記帰還信号に応じて、前記振動素子の振動を増幅させる電気信号を前記振動子に印加する、請求項1に記載の振動装置。
- 前記第2の回路が、前記帰還信号に応じて、前記振動素子の振動を減衰させる電気信号を前記振動子に印加する、請求項1または2に記載の振動装置。
- 前記第1の回路による電気信号の波長の半波長分の電気信号を、前記第2の回路から前記振動子に一定のタイミングにおいて印加する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動装置。
- 前記振動素子の振動の波長の複数波長分の電気信号を、前記第2の回路から前記振動子に一定のタイミングにおいて印加する、請求項3に記載の振動装置。
- 前記振動子に接続されている回路を前記第2の回路に切り替えた後の、前記振動素子の振動に応じて、前記第2の回路から前記振動子に電気信号を印加する、請求項5に記載の振動装置。
- 前記振動子が圧電振動子である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の振動装置。
- 前記振動子が電磁誘導素子である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の振動装置。
- 前記駆動装置により、前記振動素子がシーソーモードにより振動する、請求項1〜8のいずれか1項に記載の振動装置。
- 前記駆動装置により、前記振動素子が旋回モードにより振動する、請求項1〜8のいずれか1項に記載の振動装置。
- 前記振動素子が略円板状である、請求項1〜10のいずれか1項に記載の振動装置。
- 前記振動素子の振動の節において前記振動素子を保持しているケース部材をさらに備える、請求項1〜11のいずれか1項に記載の振動装置。
- 振動子を有する振動素子を振動させる駆動装置であって、
前記振動素子を共振状態とするように、前記振動子に電気信号を印加する第1の回路と、
前記振動素子から出力された帰還信号に応じた電気信号を前記振動子に印加する第2の回路と、
前記第1の回路と前記振動子との接続及び前記第2の回路と前記振動子との接続を、一定のタイミングにおいて切り替えるスイッチと、
を備える、駆動装置。
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