JP6935134B2 - Adhesive tape sticking device - Google Patents
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Description
本発明は、環状フレーム等の被着体に粘着テープを貼着する粘着テープ貼着装置に関する。 The present invention relates to an adhesive tape attaching device for attaching an adhesive tape to an adherend such as an annular frame.
半導体ウェーハやパッケージ基板等、各種電子デバイスを備える板状の被加工物を、研削砥石で薄化する研削装置、切削ブレードで個々のチップに分割する分割装置、レーザービームの照射により個々のチップに分割するレーザー加工装置が知られている。 A grinding device that thins a plate-shaped workpiece equipped with various electronic devices such as semiconductor wafers and package substrates with a grinding wheel, a dividing device that divides into individual chips with a cutting blade, and individual chips by irradiating a laser beam. Laser processing devices that divide are known.
これらの加工装置では、板状の被加工物はチャックテーブルに保持されるが、チャックテーブルに触れる面に傷が付くのを防止するため、被加工物には粘着テープである保護テープやダイシングテープが貼着されるのが一般的である。 In these processing devices, the plate-shaped workpiece is held on the chuck table, but in order to prevent the surface that comes into contact with the chuck table from being scratched, the workpiece is an adhesive tape such as protective tape or dicing tape. Is generally attached.
こうした粘着テープは、剥離シートに仮接着された積層シートの状態で被加工物の大きさに合わせてカットされた後、剥離シートから剥がされて被加工物に貼着される。粘着テープを被加工物の大きさに合わせてカットするのには、彫刻刀やピナクルダイ（登録商標）等の切断刃が外周面に装着された打ち抜きローラと、打ち抜きローラと平行に対面するように配置された受圧ローラとからなる打ち抜きユニットが用いられる。 Such an adhesive tape is cut according to the size of the workpiece in the state of a laminated sheet temporarily adhered to the release sheet, then peeled off from the release sheet and attached to the workpiece. To cut the adhesive tape according to the size of the work piece, make sure that the punching roller with a cutting blade such as a chisel or Pinnacle Die (registered trademark) is mounted on the outer peripheral surface and faces the punching roller in parallel. A punching unit consisting of a pressure receiving roller arranged in is used.
切断刃の摩耗による切り残しや、粘着テープの滑りによる打ち抜き形状変化等の打ち抜き不良が発生しないよう、打ち抜きローラの切断刃と受圧ローラとの間隔は積層シートの厚さ未満の平行な隙間が設けられるよう精密に位置付けられている。 A parallel gap less than the thickness of the laminated sheet is provided between the cutting blade of the punching roller and the pressure receiving roller so that punching defects such as uncut parts due to wear of the cutting blade and changes in punching shape due to slipping of the adhesive tape do not occur. It is precisely positioned so that it can be used.
しかし、打ち抜きローラの切断刃と受圧ローラとの間隔が精密に位置付けられたとしても、切断刃の摩耗や積層シートを繰り出す繰り出しユニットのテンションの変動等により、積層シートが打ち抜きローラと受圧ローラとの間を滑って打ち抜きローラが空転状態となり、その結果、例えば楕円のような形状に粘着テープを打ち抜いてしまうという課題がある。 However, even if the distance between the cutting blade of the punching roller and the pressure receiving roller is precisely positioned, the laminated sheet may be separated from the punching roller and the pressure receiving roller due to wear of the cutting blade or fluctuation of the tension of the feeding unit for feeding the laminated sheet. There is a problem that the punching roller slips between them and becomes idle, and as a result, the adhesive tape is punched into a shape such as an ellipse.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、積層シートが打ち抜きローラと受圧ローラとの間を滑って打ち抜きローラが空転状態となるのを防止可能な粘着テープ貼着装置を提供することである。 The present invention has been made in view of these points, and an object of the present invention is to prevent the laminated sheet from slipping between the punching roller and the pressure receiving roller and causing the punching roller to slip. The purpose is to provide a tape application device.
本発明によると、基材の片面に粘着層を備える帯状の粘着テープが剥離シートに仮接着された積層シートを巻回する積層シートローラと、該積層シートローラから該積層シートを繰り出す繰り出しユニットと、該積層シートローラから繰り出された該積層シートの該粘着テープのみを所定形状に打ち抜く打ち抜きユニットと、打ち抜かれた該粘着テープを該剥離シートから剥離して被着体に貼着する貼着ユニットと、を備えた粘着テープ貼着装置であって、該打ち抜きユニットは、該積層シートの該粘着テープに向かって切り込む環状に形成された切断刃が外周に装着された打ち抜きローラと、該積層シートの該剥離シート側に該打ち抜きローラと対面して平行に設置され、該切断刃の押圧力を受け止める受圧ローラと、を含み、該打ち抜きローラは、該受圧ローラと協働して該積層シートを挟持するテープグリップ部を外周面に備えることを特徴とする粘着テープ貼着装置が提供される。 According to the present invention, a laminated sheet roller that winds a laminated sheet in which a band-shaped adhesive tape having an adhesive layer on one side of a base material is temporarily adhered to a release sheet, and a feeding unit that feeds out the laminated sheet from the laminated sheet roller. A punching unit for punching only the adhesive tape of the laminated sheet unwound from the laminated sheet roller into a predetermined shape, and a sticking unit for peeling the punched adhesive tape from the peeling sheet and sticking it to an adherend. The punching unit is a punching roller having an annularly formed cutting blade that cuts into the adhesive tape of the laminated sheet and is mounted on the outer periphery thereof, and the laminated sheet. Including a pressure receiving roller which is installed in parallel to the peeling sheet side facing the punching roller and receives the pressing force of the cutting blade, the punching roller cooperates with the pressure receiving roller to form the laminated sheet. Provided is an adhesive tape affixing device characterized in that a tape grip portion to be sandwiched is provided on an outer peripheral surface.
好ましくは、テープグリップ部は、受圧ローラに対して連続的に積層シートを押圧できるように打ち抜きローラの円周面の全周にわたって形成されている。好ましくは、テープグリップ部は、打ち抜きローラの回転軸に対して斜めに延在するように形成された複数の尾根及び谷の繰り返しから構成される。 Preferably, the tape grip portion is formed over the entire circumference of the circumferential surface of the punching roller so that the laminated sheet can be continuously pressed against the pressure receiving roller. Preferably, the tape grip portion is composed of a plurality of repeating ridges and valleys formed so as to extend diagonally with respect to the rotation axis of the punching roller.
本発明の粘着テープ貼着装置によると、積層シートが滑ってしまうのを防ぐため、打ち抜きローラにテープグリップ部を設けることで、積層シートが滑ることによる打ち抜きローラの空転を防ぎ、粘着テープを確実に所望の形状に打ち抜けるという効果を奏する。また、積層シートが滑ってしまうことで発生し易い切断刃の摩耗や曲がりを抑制することもできる。 According to the adhesive tape attaching device of the present invention, in order to prevent the laminated sheet from slipping, by providing a tape grip portion on the punching roller, it is possible to prevent the laminated sheet from slipping and the adhesive tape is secured. It has the effect of punching through to the desired shape. In addition, it is possible to suppress wear and bending of the cutting blade, which tends to occur when the laminated sheet slips.
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る粘着テープ貼着装置２の全体構成図が示されている。粘着テープ貼着装置２は、水平方向に往復動可能な保持テーブル４を備えており、粘着テープ貼着時には保持テーブル４上に環状フレーム６とウェーハ１１の表面を保護する保護テープ１３側が保持される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. With reference to FIG. 1, an overall configuration diagram of the adhesive tape attaching device 2 according to the embodiment of the present invention is shown. The adhesive tape attaching device 2 includes a holding table 4 that can reciprocate in the horizontal direction, and when the adhesive tape is attached, the annular frame 6 and the
８は基材１５の片面に粘着層１７を備える帯状の粘着テープ１９が剥離シート２１に仮接着された積層シートであり、軸１２回りに積層シート８が巻回されて積層シートローラ１０を構成している。
積層シートローラ１０に巻回された積層シート８は、フィードロール１４と押圧ロール１６とからなる繰り出しユニット１８により、積層シートローラ１０から矢印Ａ方向に繰り出されて、打ち抜きユニット２４に搬送される。
The laminated
打ち抜きユニット２４は、積層シート８の粘着テープ１９に向かって切り込む環状に形成された切断刃４０が外周面に装着された打ち抜きローラ２０と、積層シート８の剥離シート２１側に打ち抜きローラ２０と対面して平行に配置され、切断刃４０の押圧力を受け止める受圧ローラ２２とから構成される。
The
打ち抜きローラ２０は、ローラ表面の大部分を占める円周面２０ａと平坦面２０ｂを有しており、円周面２０ａの全周に渡り環状の切断刃４０が装着されている。
The
２６は上下方向に移動可能に構成された押圧ローラ２８と、先端が楔状に形成されたピールプレート３０とから構成される貼着ユニットであり、貼着ユニット２６のピールプレート３０を通過した積層シート８は、打ち抜きローラ２０により所定の大きさに打ち抜かれた円形の粘着テープ１９が貼着された剥離シート２１と、打ち抜かれた部分が円形の穴となった廃棄粘着テープ１９とに分離され、廃棄粘着テープ１９は廃棄テープローラ３２の軸３４回りに巻き取られる。
一方、ピールプレート３０の楔形状に沿って折り返された円形の粘着テープ１９が貼着された剥離シート２１は、矢印Ｃ方向に搬送されて剥離シートローラ３６の軸３８回りに巻き取られる。
On the other hand, the
剥離シート２１に貼着されている円形の粘着テープ１９は押圧ローラ２８により環状フレーム６に押し付けられ、保持テーブル４を矢印Ｘ１方向に環状フレーム６を横断する位置まで移動することにより、円形の粘着テープ１９がウェーハ１１の裏面及び環状フレーム６に貼着される。
The circular
図２を参照すると、本発明実施形態の打ち抜きローラ２０の正面図が示されている。打ち抜きローラ２０の円周面２０ａには円形の切断刃４０が装着されている。切断刃４０の外周には一対の外周テープグリップ部４２ａ，４２ｂが形成されており、円形の切断刃４０の内周には内周テープグリップ部４８が形成されている。
With reference to FIG. 2, a front view of the
図１に示されるように、打ち抜きローラ２０は円周面２０ａと、平坦面２０ｂとを有している。上述したように、円周面２０ａの全周には円形の切断刃４０が装着されているが、平坦部２０ｂを設けたことにより、打ち抜きローラ２０の平坦部２０ｂを受圧ローラ２２に対面させて打ち抜きローラ２０の回転を停止することにより、積層シート８の粘着テープ１９を打ち抜かずに積層シート８を通過させることができる。
As shown in FIG. 1, the
外周テープグリップ部４２ａは、打ち抜きローラ２０の回転軸に対して斜め方向に延在する複数の尾根４４及び谷４６とから構成される。複数の尾根４４で受圧ローラ２２と協働して積層シート８の粘着テープ１９をグリップする。
The outer peripheral
同様に、外周テープグリップ部４２ｂも、打ち抜きローラ２０の回転軸に対して斜め方向に延在する複数の尾根４４と谷４６とから構成される。受圧ローラ２２と協働して複数の尾根４４で積層シート８の粘着テープ１９をグリップする。
Similarly, the outer peripheral
図２に示されているように、環状の切断刃４０の外周に形成された一方の外周テープグリップ部４２ａと他方の外周テープグリップ部４２ｂとは尾根４４及び谷４６が互いに逆方向に傾斜している。
As shown in FIG. 2, the
このように外周テープグリップ部４２ａ，４２ｂが回転軸に対して斜め方向に延在すると、受圧ローラに対して切断刃が対面する際、常に積層シートにグリップすることが出来る。
When the outer peripheral
また外周テープグリップ部４２ａ，４２ｂが互いに逆方向に傾斜していることにより、積層シート８に偏った力をかけることなく積層シート８の粘着テープ１９を一様にグリップすることができる。
Further, since the outer peripheral
打ち抜きローラ２０は、ＳＵＳ（ステンレス鋼板）等の金属から形成されたローラ本体の表面にピナクルダイ（登録商標）等の切断刃４０がマグネットにより装着されている。同様に、外周テープグリップ部４２ａ，４２ｂも金属製のローラ本体にマグネットにより装着されている。マグネットによる装着に替えて、切断刃４０及び外周テープグリップ部４０ａ，４２ｂをねじ止めで固定するようにしてもよい。
The
打ち抜かれる領域の外周の外周グリップ部４２ａ，４２ｂは粘着テープ１９を強くグリップするため、上述したようなＳＵＳ等の金属から形成するのが好ましい。一方、打ち抜かれる領域の内周である内周グリップ部４８は、粘着テープ１９が変形したりするのを防ぐため強いグリップはしたくないので、本実施形態では内周グリップ部４８をスポンジゴムから構成した。
Since the outer
図３を参照すると、打ち抜きユニット２４の要部断面図が示されている。打ちぬきローラ２０及び受圧ローラ２２とも中実な金属から形成されているため、図３に示す断面図では打ち抜きローラ２０及び受圧ローラ２２にハッチングが必要であるが、図面の明瞭化のためにハッチングを省略した。
With reference to FIG. 3, a cross-sectional view of a main part of the punching
互いに平行に配置された打ち抜きローラ２０と受圧ローラ２２との間の間隙は積層シート８の厚さ未満の間隙となるように精密に位置付けられ固定されている。例えば、基材１５と粘着層１７とからなる粘着テープ１９の厚さが１００μｍ、剥離シート２１の厚さが３０μｍで積層シート８の厚さが１３０μｍの場合には、打ち抜きローラ２０と受圧ローラ２２との間隙は１１０μｍ程度に精密に維持されている。
The gap between the punching
外周グリップ部４２ａはベース４３に尾根４４及び谷４６が一体的に形成されており、ベース４３が打ち抜きローラ２０本体にマグネットで装着されている。一方、内周テープグリップ部４８を構成するスポンジゴムは打ち抜きローラ２０の本体に接着されている。
The outer
環状の切断刃４０は同じく環状のベース４１と一体的に形成されており、ベース４１はマグネットにより打ち抜きローラ２０の本体に装着されている。切断刃４０の刃先は積層シート８の粘着テープ１９を完全に切断し剥離シート２１に部分的に陥入する高さに位置付けられている。
The
本実施形態では、切断刃４０の高さは打ち抜きローラ２０の表面から０．５６ｍｍに設定され、外周テープグリップ部４２ａ，４２ｂの尾根４４は切断刃４０より２０μｍ低くなるように設定されている。
In the present embodiment, the height of the
しかし、内周グリップ部４８が弾性の高いスポンジゴムから形成されている場合には、内周グリップ部４８を切断刃４０より高くなるように設定してもよい。更に、本実施形態では内周グリップ部４８をスポンジゴムから形成しているが、内周グリップ部は積層シート８の粘着テープ１９を強くグリップする必要がないので、内周グリップ部４８を省略してもよい。
However, when the inner
上述した本実施形態によると、打ち抜きローラ２０に受圧ローラ２２と協働して積層シート８の粘着テープ１９を強くグリップする外周グリップ部４２ａ，４２ｂを設けたので、積層シート８の粘着テープ１９が滑ってしまうことを防止でき、剥離シート２１に貼着されている粘着テープ１９を確実に所望の形状に打ち抜くことができる。また、粘着テープ１９が滑ってしまうことで発生し易い切断刃４０の刃の摩耗や曲がりを抑制することができる。
According to the present embodiment described above, since the outer
２ 粘着テープ貼着装置
４ 保持テーブル
６ 環状フレーム
８ 積層シート
１０ 積層シートローラ
１８ 繰り出しユニット
１９ 粘着テープ
２０ 打ち抜きローラ
２１ 剥離シート
２２ 受圧ローラ
２４ 打ち抜きユニット
２６ 貼着ユニット
２８ 押圧ローラ
３０ ピールプレート
３２ 廃棄テープローラ
３６ 剥離シートローラ
４０ 切断刃
４２ａ，４２ｂ 外周テープグリップ部
４４ 尾根
４６ 谷
４８ 内周テープグリップ部
2 Adhesive tape sticking device 4 Holding table 6
Claims (3)
該打ち抜きユニットは、
該積層シートの該粘着テープに向かって切り込む環状に形成された切断刃が外周に装着された打ち抜きローラと、
該積層シートの該剥離シート側に該打ち抜きローラと対面して平行に設置され、該切断刃の押圧力を受け止める受圧ローラと、を含み、
該打ち抜きローラは、該受圧ローラと協働して該積層シートを挟持するテープグリップ部を外周面に備えることを特徴とする粘着テープ貼着装置。 A laminated sheet roller that winds a laminated sheet in which a band-shaped adhesive tape having an adhesive layer on one side of a base material is temporarily adhered to a release sheet, a feeding unit that feeds out the laminated sheet from the laminated sheet roller, and the laminated sheet roller. The laminated sheet provided with a punching unit for punching only the adhesive tape of the laminated sheet into a predetermined shape, and a sticking unit for peeling the punched adhesive tape from the peeling sheet and sticking it to an adherend. Adhesive tape sticking device
The punching unit is
A punching roller having an annularly formed cutting blade that cuts toward the adhesive tape of the laminated sheet is mounted on the outer periphery.
A pressure receiving roller, which is installed on the release sheet side of the laminated sheet in parallel facing the punching roller and receives the pressing force of the cutting blade, is included.
The punching roller is an adhesive tape sticking device characterized in that a tape grip portion for sandwiching the laminated sheet is provided on an outer peripheral surface in cooperation with the pressure receiving roller.
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