JP6924815B2 - Transport device - Google Patents
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Description
本発明は搬送装置に関し、具体的には、ウエハーまたは基板またはカセットを搬送する搬送装置に関する。 The present invention relates to a transport device, specifically, a transport device that transports a wafer, a substrate, or a cassette.
半導体製造工程においては、ウエハーまたは基板またはカセットなどの搬送物体が各種処理装置の間に搬送され、各種の工程を実行する。また、各処理装置の配置位置により、搬送物体が前の処理装置から搬出される方向は、搬送物体が次の処理装置に搬入される方向と一致しない場合がある。例えば、第１の処理装置から第２の処理装置に搬送するにあたって、搬送物体を第２の処理装置に搬入するときには、搬送物体を９０度回転させる必要があることもある。 In the semiconductor manufacturing process, a conveyed object such as a wafer, a substrate, or a cassette is conveyed between various processing devices, and various processes are executed. Further, depending on the arrangement position of each processing device, the direction in which the conveyed object is carried out from the previous processing device may not match the direction in which the conveyed object is carried into the next processing device. For example, when transporting a transported object from the first processing device to the second processing device, it may be necessary to rotate the transported object by 90 degrees when the transported object is carried into the second processing device.
上記例示においては、搬送物体を直線運送装置によって第１の処理装置から第２の処理装置の直前まで搬送した後、回転装置によって搬送物体を９０度回転させてから、第２の処理装置に搬送する。 In the above example, the transported object is transported from the first processing device to just before the second processing device by the linear transport device, and then the transported object is rotated by 90 degrees by the rotating device, and then transported to the second processing device. do.
しかし、このような搬送方法は、搬送に関する装置の設置スペースが大きく、効率が低い。したがって、特許文献１には、一種のロボットアームが提案されている。該ロボットアームは、床面に固定された基部と、基部に回動可能に配置されたリンク機構と、一端部がリンク機構の先端に第１の連結軸を介して連結されるアーム部と、該アーム部の他端部に第２の連結軸を介して連結されるハンド部と、リンク機構を基部に対して回転駆動するリンクモーターと、アーム部をリンク機構に対して回転駆動するアームモーターと、ハンド部をアーム部に対して回転駆動するハンドモーターと、を具える。該ロボットアームは、複数のモーターを介して、アーム部とリンク機構を回転させ、アーム部が届く範囲内で、ハンド部を所望の角度に回転させることができる。
However, such a transport method has a large installation space for a device related to transport, and its efficiency is low. Therefore,
しかしながら、このようなロボットアームは、複数のモーターが使用されているため、製造コストが高い。 However, such a robot arm has a high manufacturing cost because a plurality of motors are used.
したがって、本発明は、搬送物体を移動させると同時に回転させることができ、製造コストが低い搬送装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a transport device capable of moving and rotating a transport object at the same time and having a low manufacturing cost.
前記目的を達成するための手段として、本発明は、以下の搬送装置を提供する。 As a means for achieving the above object, the present invention provides the following transport device.
本発明の搬送装置は、駆動手段と、主動アームと、受動アームと、搬送モジュールと、連動手段と、を備える搬送装置であって、前記駆動手段は、ベースと、前記ベースに対して回転可能になっていると共に、駆動力を出力する出力軸と、を有し、前記主動アームは、所定の高さ方向に沿って延伸し、前記駆動手段の前記出力軸に駆動されて該延伸方向を回転軸として回転する第１の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第１の回転軸に固定されて接続される第１のアーム本体と、を有し、前記受動アームは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第１のアーム本体に相対回転可能に接続される第２の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される第２のアーム本体と、を有し、前記搬送モジュールは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第２のアーム本体に相対回転可能に接続される第３の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される支持盤と、を有し、前記支持盤には、搬送物体が直線に沿って出入りできるルートを有し、前記連動手段は、前記第１のアーム本体に配置される第１の連動モジュールと、前記第２のアーム本体に配置される第２の連動モジュールと、を有し、前記第１の連動モジュールは、前記第１の回転軸と同軸するように配置される第１のプーリーと、前記第１の回転軸と相対回転する前記第１のプーリーに連動して前記第２の回転軸を回転駆動するように前記第２の回転軸及び前記第１のプーリーに取り付けられる第１の伝動部材と、を有し、前記第２の連動モジュールは、前記第２の回転軸と同軸するように配置される第２のプーリーと、前記第２の回転軸と相対回転する前記第２のプーリーに連動して前記第３の回転軸を回転駆動するように前記第３の回転軸及び前記第２のプーリーに取り付けられる第２の伝動部材と、を有し、前記第２の回転軸は、前記第１の回転軸の回転方向の逆方向へ回転し、前記第３の回転軸は、前記第２の回転軸の回転方向の逆方向へ回転する。 The transport device of the present invention is a transport device including a drive means, a driving arm, a passive arm, a transport module, and an interlocking means, and the drive means is rotatable with respect to the base and the base. The main arm extends along a predetermined height direction and is driven by the output shaft of the driving means to rotate the extending direction. It has a first rotation axis that rotates as a rotation axis, and a first arm body that extends along a direction orthogonal to the height direction and is fixedly connected to the first rotation axis. The passive arm extends along the height direction and extends along a direction orthogonal to the height direction with a second rotation axis rotatably connected to the first arm body. It has a second arm body fixed and connected to the second rotation shaft, and the transport module extends along the height direction so as to be rotatable relative to the second arm body. The support plate has a third rotation shaft to be connected and a support plate that extends along a direction orthogonal to the height direction and is fixed and connected to the second rotation shaft. The interlocking means has a route through which the conveyed object can enter and exit along a straight line, and the interlocking means includes a first interlocking module arranged in the first arm body and a second interlocking module arranged in the second arm body. The first interlocking module has an interlocking module, and the first interlocking module has a first pulley arranged so as to be coaxial with the first rotating shaft, and the first one that rotates relative to the first rotating shaft. The second interlocking module has a second rotating shaft and a first transmission member attached to the first pulley so as to rotationally drive the second rotating shaft in conjunction with the pulley. , The third rotation shaft is rotationally driven in conjunction with the second pulley arranged so as to be coaxial with the second rotation shaft and the second pulley that rotates relative to the second rotation shaft. As described above, the third rotation shaft and the second transmission member attached to the second pulley are provided, and the second rotation shaft rotates in the direction opposite to the rotation direction of the first rotation shaft. Then, the third rotation axis rotates in the direction opposite to the rotation direction of the second rotation axis.
上記構成によれば、本発明に係る搬送装置は、前記駆動手段が前記主動アームを回転駆動して、前記受動アームが前記主動アームの回転に連動して回転すると共に、前記搬送モジュールが前記受動アームの回転に連動して回転する。つまり、該搬送モジュールは、単一の動力源により、移動しながら搬送方向を変更することができる。また、搬送物体が該搬送モジュールにより支持されるので、該搬送モジュールと共に移動し、回転する。また、本発明は、前記駆動手段が単一の動力源しか有していないことにより、従来より製造コストが低くなる。 According to the above configuration, in the transfer device according to the present invention, the drive means rotationally drives the main arm, the passive arm rotates in conjunction with the rotation of the main arm, and the transfer module is the passive. It rotates in conjunction with the rotation of the arm. That is, the transport module can change the transport direction while moving by a single power source. Further, since the transport object is supported by the transport module, it moves and rotates together with the transport module. Further, in the present invention, since the driving means has only a single power source, the manufacturing cost is lower than before.
したがって、本発明は、上述の構成によって、搬送物体を移動させると同時に回転させることができ、製造コストが低い搬送装置を提供することができる。 Therefore, the present invention can provide a transport device having a low manufacturing cost because the transport object can be moved and rotated at the same time by the above configuration.
以下、本発明に係る搬送装置の一実施形態について、図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of the transport device according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図１と図２に示されているように、本実施形態は、駆動手段１と、主動アーム２と、受動アーム３と、搬送モジュール４と、連動手段５と、を備える。
As shown in FIGS. 1 and 2, the present embodiment includes a driving means 1, a
駆動手段１は、ベース１３と、ベース１３に配置されるベルト１２と、ベース１３に配置されるモーター１１と、ベース１３に対して回転可能になっていると共に、モーター１１の駆動力を出力する出力軸１１１と、を有する。
The drive means 1 is rotatable with respect to the
主動アーム２は、ベース１３に相対回転可能に配置されると共に、所定の高さ方向Ｄ１に沿って延伸し、駆動手段１の出力軸１１１に駆動されて該延伸方向を回転軸として回転する第１の回転軸２１と、高さ方向Ｄ１と直交する方向に沿って延伸し、第１の回転軸２１に固定されて接続される第１のアーム本体２２と、を有する。本実施形態において、ベルト１２は、出力軸１１１の回転に連動して第１の回転軸２１を回転駆動するように第１の回転軸２１及び出力軸１１１に取り付けられる。
The
受動アーム３は、高さ方向Ｄ１に沿って延伸し、第１のアーム本体２２に相対回転可能に接続される第２の回転軸３１と、高さ方向Ｄ１と直交する方向に沿って延伸し、第２の回転軸３１に固定されて接続される第２のアーム本体３２と、を有する。
The
搬送モジュール４は、高さ方向Ｄ１に沿って延伸し、第２のアーム本体３２に相対回転可能に接続される第３の回転軸４１と、高さ方向Ｄ１と直交する方向に沿って延伸し、第２の回転軸３１に固定されて接続される支持盤４２と、を有する。該支持盤４２は、搬送物体が直線に沿って出入りできるルートＰを有し、搬送物体は、例えば、基板または複数の基板を収容するカセットである。また、本実施形態において、支持盤４２は、長さ方向がルートＰに平行する長方形の支持盤本体４２１と、支持盤本体４２１の四角に配置されると共に、ルートＰの方向に平行するように延伸する４つの係止ブロック４２２と、を有する。
The
連動手段５は、第１のアーム本体２２に配置される第１の連動モジュール５１と、第２のアーム本体３２に配置される第２の連動モジュール５２と、を有する。
The interlocking means 5 has a
第１の連動モジュール５１は、第１の回転軸２１と同軸するように配置される第１のプーリー５１１と、第１の回転軸２１と相対回転する第１のプーリー５１１に連動して第２の回転軸３１を回転駆動するように第２の回転軸３１及び第１のプーリー５１１に取り付けられる第１の伝動部材５１２と、を有する。第２の回転軸３１は、第１の回転軸２１の回転方向の逆方向へ回転する。
The
また、本実施形態において、第１のプーリー５１１と第２の回転軸３１は、それぞれ第１のアーム本体２２の延伸した両端部に配置されており、第１のプーリー５１１は、ベース１３に固定接続されており、第１の伝動部材５１２は、第２の回転軸３１及び第１のプーリー５１１にそれぞれ掛けられた第１の伝動ベルト５１２ａから構成されている。
Further, in the present embodiment, the
主動アーム２が駆動手段１の出力軸１１１に駆動されて、第１の回転軸２１が回転すると共に、第１の回転軸２１に固定された第１のアーム本体２２が回転するとき、第１のプーリー５１１は、ベース１３に固定されて回転しないため、第１の伝動ベルト５１２ａは、第２の回転軸３１を第１の回転軸２１の回転方向の逆方向へ回転させる。例えば、第１の回転軸２１が時計回りに回転するとき、第１のプーリー５１１が回転しないので、第１のプーリー５１１は、第１の回転軸２１に対して、反時計回りに回転する。そのため、第１の伝動ベルト５１２ａは、第２の回転軸３１を反時計回りに回転させる。また、他の実施形態において、第１の伝動部材５１２は、複数のギアから構成されてもよい。
When the
第２の連動モジュール５２は、第２の回転軸３１と同軸するように配置される第２のプーリー５２１と、第２の回転軸３１と相対回転する第２のプーリー５２１に連動して第３の回転軸４１を回転駆動するように第３の回転軸４１及び第２のプーリー５２１に取り付けられる第２の伝動部材５２２と、を有する。第３の回転軸４１は、第２の回転軸３１の回転方向の逆方向へ回転する。
The
また、本実施形態において、第２のプーリー５２１と第３の回転軸４１は、それぞれ第２のアーム本体３２の延伸した両端部に配置されており、第２のプーリー５２１は、第１のアーム本体２２に固定接続されており、第２の伝動部材５２２は、第３の回転軸４１及び第２のプーリー５２１にそれぞれ掛けられた第２の伝動ベルト５２２ａから構成されている。
Further, in the present embodiment, the
受動アーム３が第１の伝動ベルト５１２ａに連動されて、第２の回転軸３１が第１のアーム本体２２に対して相対回転すると共に、第２の回転軸３１に固定された第２のアーム本体３２が回転するとき、第２のプーリー５２１は、第１のアーム本体２２に固定されて第１のアーム本体２２に対して不動になるため、第２の伝動ベルト５２２ａは、第３の回転軸４１を第２の回転軸３１の回転方向の逆方向へ回転させる。例えば、第２の回転軸３１が反時計回りに回転するとき、第２のプーリー５２１が回転しないので、第２のプーリー５２１は、第２の回転軸３１に対して、時計回りに回転する。そのため、第２の伝動ベルト５２２ａは、第３の回転軸４１を時計回りに回転させる。即ち、第３の回転軸４１は、第１の回転軸２１と同じ方向へ回転し、第２の回転軸３１は、第１の回転軸２１及び第３の回転軸４１の回転方向の逆方向へ回転する。また、他の実施形態において、第２の伝動部材５２２は、複数のギアから構成されてもよい。
The
ここで、説明の便宜のため、以下のように各数値を定義する。 Here, for convenience of explanation, each numerical value is defined as follows.
第１の回転軸２１の軸心Ｘ１と第２の回転軸３１の軸心Ｘ２を通る直線を、第１の軸線Ｌ１とする。また、第２の回転軸３１の軸心Ｘ２と第３の回転軸４１の軸心Ｘ３を通る直線を、第２の軸線Ｌ２とする。そして第３の回転軸４１の軸心Ｘ３を通ると共に、支持盤４２のルートＰに平行する直線を、第３の軸線Ｌ３とする。
The straight line passing through the axis X1 of the first
第１のプーリー５１１の外周面の半径をｗｒ１とし、第２のプーリー５２１の外周面の半径をｗｒ２とする。第２の回転軸３１の第１の伝動ベルト５１２ａに接続されている部位の半径を、ｓｒ２とし、第３の回転軸４１の第２の伝動ベルト５２２ａに接続されている部位の半径を、ｓｒ３とする。
The radius of the outer peripheral surface of the
時計回りに回転した角度を正の数値とし、反時計回りに回転した角度を負の数値とする。また、本実施形態のスタート位置においては、図２に示されるように第１の軸線Ｌ１と第２の軸線Ｌ２と第３の軸線Ｌ３が共に所定の参照軸線ＬＢを画成する。主動アーム２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度（即ち、第１の軸線Ｌ１の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）を、θ１とし、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）を、θ２とし、更に、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）を、θ３とする。また、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度を、Ａ１とし、第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度を、Ａ２とする。
The angle rotated clockwise is a positive value, and the angle rotated counterclockwise is a negative value. Further, at the start position of the present embodiment, as shown in FIG. 2, the first axis L1, the second axis L2, and the third axis L3 all define a predetermined reference axis LB. The relative rotation angle of the driving
以上のように定義すると、本実施形態において各数値は、以下の条件を満たす。
Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２
θ２＝Ａ１＋θ１
Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３
θ３＝Ａ２＋θ２＝（−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３）＋（Ａ１＋θ１）
＝Ａ１×（１−ｗｒ２／ｓｒ３）＋θ１
＝（−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２）×（１−ｗｒ２／ｓｒ３）＋θ１
＝θ１×（１−ｗｒ１／ｓｒ２＋ｗｒ１ｗｒ２／ｓｒ２ｓｒ３）
When defined as described above, each numerical value satisfies the following conditions in the present embodiment.
A1 = −θ1 × wr1 / sr2
θ2 = A1 + θ1
A2 = -A1 x wr2 / sr3
θ3 = A2 + θ2 = (−A1 × wr2 / sr3) + (A1 + θ1)
= A1 × (1-wr2 / sr3) + θ1
= (−θ1 × wr1 / sr2) × (1-wr2 / sr3) + θ1
= Θ1 × (1-wr1 / sr2 + wr1wr2 / sr2sr3)
また、本実施形態において、第１の回転軸２１の軸心Ｘ１から第２の回転軸３１の軸心Ｘ２までの距離（即ち、主動アーム２の長さ）は、第２の回転軸３１の軸心Ｘ２から第３の回転軸４１の軸心Ｘ３までの距離（即ち、受動アーム３の長さ）と同じであり、更に、第１のプーリー５１１の外周面の半径ｗｒ１と第２の回転軸３１の第１の伝動部材５１２に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率は、２：１であり、第２のプーリー５２１の外周面の半径ｗｒ２と第３の回転軸４１の第２の伝動部材５２２に接続されている部位の半径ｓｒ３との比率は、３：４である。つまり、ｗｒ１：ｓｒ２＝２：１、ｗｒ２：ｓｒ３＝３：４（即ち、ｗｒ１／ｓｒ２＝２、ｗｒ２／ｓｒ３＝３／４）となる。
Further, in the present embodiment, the distance from the axis X1 of the first
図２に示されているように、本実施形態がスタート位置に位置するときには、第１の軸線Ｌ１と第２の軸線Ｌ２と第３の軸線Ｌ３が参照軸線ＬＢにある。つまり、主動アーム２と受動アーム３と搬送モジュール４は直線に並んでおり、支持盤４２のルートＰと参照軸線ＬＢとの角度は０度である。
As shown in FIG. 2, when the present embodiment is located at the start position, the first axis L1, the second axis L2, and the third axis L3 are on the reference axis LB. That is, the
図３に示されているように、主動アーム２が駆動されて時計回りに３０度回転すると（つまり、θ１＝３０）、受動アーム３が連動されて、主動アーム２に対して反時計回りに６０度回転し、参照軸線ＬＢに対して反時計回りに３０度回転する。同時に、搬送モジュール４が連動されて、受動アーム３に対して時計回りに４５度回転し、参照軸線ＬＢに対して時計回りに１５度回転する。具体的には、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度Ａ１（即ち、受動アーム３の主動アーム２に対する相対回転角度）は、Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２＝−３０×２＝−６０である（即ち、反時計回りに６０度回転する）。また、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ２（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ２＝Ａ１＋θ１＝−６０＋３０＝−３０である（即ち、反時計回りに３０度回転する）。第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度Ａ２（即ち、搬送モジュール４の受動アーム３に対する相対回転角度）は、Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３＝−（−６０）×３／４＝４５である（即ち、時計回りに４５度回転する）。また、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ３（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ３＝Ａ２＋θ２＝４５＋（−３０）＝１５である（即ち、時計回りに１５度回転する）。
As shown in FIG. 3, when the
図４に示されているように、主動アーム２が駆動されて時計回りに１６０度回転すると（つまり、θ１＝１６０）、受動アーム３が連動されて、主動アーム２に対して反時計回りに３２０度回転し、参照軸線ＬＢに対して反時計回りに１６０度回転する。同時に、搬送モジュール４が連動されて、受動アーム３に対して時計回りに２４０度回転し、参照軸線ＬＢに対して時計回りに８０度回転する。具体的には、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度Ａ１（即ち、受動アーム３の主動アーム２に対する相対回転角度）は、Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２＝−１６０×２＝−３２０である（即ち、反時計回りに３２０度回転する）。また、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ２（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ２＝Ａ１＋θ１＝−３２０＋１６０＝−１６０である（即ち、反時計回りに１６０度回転する）。第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度Ａ２（即ち、搬送モジュール４の受動アーム３に対する相対回転角度）は、Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３＝−（−３２０）×３／４＝２４０である（即ち、時計回りに２４０度回転する）。また、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ３（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ３＝Ａ２＋θ２＝２４０＋（−１６０）＝８０である（即ち、時計回りに８０度回転する）。
As shown in FIG. 4, when the
図５に示されているように、主動アーム２が駆動されて時計回りに１８０度回転すると（つまり、θ１＝１８０）、受動アーム３が連動されて、主動アーム２に対して反時計回りに３６０度回転し、参照軸線ＬＢに対して反時計回りに１８０度回転する。同時に、搬送モジュール４が連動されて、受動アーム３に対して時計回りに２７０度回転し、参照軸線ＬＢに対して時計回りに９０度回転する。具体的には、第２の軸線Ｌ２の第１の軸線Ｌ１に対する相対回転角度Ａ１（即ち、受動アーム３の主動アーム２に対する相対回転角度）は、Ａ１＝−θ１×ｗｒ１／ｓｒ２＝−１８０×２＝−３６０である（即ち、反時計回りに３６０度回転する）。また、受動アーム３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ２（即ち、第２の軸線Ｌ２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ２＝Ａ１＋θ１＝−３６０＋１８０＝−１８０である（即ち、反時計回りに１８０度回転する）。第３の軸線Ｌ３の第２の軸線Ｌ２に対する相対回転角度Ａ２（即ち、搬送モジュール４の受動アーム３に対する相対回転角度）は、Ａ２＝−Ａ１×ｗｒ２／ｓｒ３＝−（−３６０）×３／４＝２７０である（即ち、時計回りに２７０度回転する）。また、支持盤４２の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度θ３（即ち、第３の軸線Ｌ３の参照軸線ＬＢに対する相対回転角度）は、θ３＝Ａ２＋θ２＝２７０＋（−１８０）＝９０である（即ち、時計回りに９０度回転する）。
As shown in FIG. 5, when the
図２〜図５に示されているように、本実施形態は、１つのモーター１１が出力軸１１１を介して第１の回転軸２１を駆動して回転させることによって、搬送モジュール４の支持盤４２を移動させると同時に回転させることができる。また、本実施形態において、主動アーム２を１８０度回転させたとき、支持盤４２のスタート位置から移動された距離は、主動アーム２の長さと受動アーム３の長さとを加算した長さの２倍であり、且つ、支持盤４２のスタート位置に対する回転角度は、９０度である。そのため、支持盤４２のルートＰが９０度回転することで、支持盤４２により支持されている搬送物体は、移動しながら搬送方向を変更する。
As shown in FIGS. 2 to 5, in the present embodiment, one
また、本実施形態において、主動アーム２の長さが、受動アーム３の長さと同じであり、且つ、第１のプーリー５１１の外周面の半径ｗｒ１と第２の回転軸３１の第１の伝動部材５１２に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率が、２：１であることにより、第３の回転軸４１の軸心Ｘ３は、参照軸線ＬＢに沿って移動する。つまり、支持盤４２は、参照軸線ＬＢに沿って直線移動する。
Further, in the present embodiment, the length of the
第１のプーリー５１１の外周面の半径ｗｒ１と第２の回転軸３１の第１の伝動部材５１２に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率（即ち、ｗｒ１／ｓｒ２）、及び第２のプーリー５２１の外周面の半径ｗｒ２と第３の回転軸４１の第２の伝動部材５２２に接続されている部位の半径ｓｒ３との比率（即ち、ｗｒ２／ｓｒ３）は、使用者の需求によって調整することができる。つまり、主動アーム２の回転角度と受動アーム３の回転角度との比率を所望の比率に設定するために、適切なｗｒ１／ｓｒ２の比率を決定し、受動アーム３の回転角度と搬送モジュール４の回転角度との比率を所望の比率に設定するために、適切なｗｒ２／ｓｒ３の比率を決定することができる。また、上述した比率は、本実施形態における比率に限定されない。
The ratio of the radius wr1 of the outer peripheral surface of the
以上のような構成とされた実施形態によれば、本発明に係る搬送装置は、駆動手段１が主動アーム２を回転駆動することで、受動アーム３が主動アーム２の回転に連動して回転すると共に、搬送モジュール４が受動アーム３の回転に連動して回転する。つまり、該搬送モジュール４は、単一の動力源により、移動すると同時に回転することができる。また、本実施形態は、１つのモーター１１のみが使用されていることにより、従来より、製造コストが低い。
According to the embodiment having the above-described configuration, in the transport device according to the present invention, the driving means 1 rotates and drives the
以上、本発明の好ましい実施形態及び変化例を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。 Although preferred embodiments and variations of the present invention have been described above, the present invention is not limited thereto, and all modifications and equivalents are made as various configurations included in the spirit and scope of the broadest interpretation. It shall include the composition.
本発明に係る搬送装置は、搬送物体を移動させると同時に回転させることができ、製造コストが低いので、基板またはカセットを搬送する搬送装置に対する様々な応用が可能である。 Since the transport device according to the present invention can move and rotate the transport object at the same time and has a low manufacturing cost, it can be applied to various transport devices for transporting a substrate or a cassette.
１ 駆動手段
１１ モーター
１１１ 出力軸
１２ ベルト
１３ ベース
２ 主動アーム
２１ 第１の回転軸
２２ 第１のアーム本体
３ 受動アーム
３１ 第２の回転軸
３２ 第２のアーム本体
４ 搬送モジュール
４１ 第３の回転軸
４２ 支持盤
４２１ 支持盤本体
４２２ 係止ブロック
５ 連動手段
５１ 第１の連動モジュール
５１１ 第１のプーリー
５１２ 第１の伝動部材
５１２ａ 第１の伝動ベルト
５２ 第２の連動モジュール
５２１ 第２のプーリー
５２２ 第２の伝動部材
５２２ａ 第２の伝動ベルト
Ｌ１ 第１の軸線
Ｌ２ 第２の軸線
Ｌ３ 第３の軸線
ＬＢ 参照軸線
Ｘ１ 第１の回転軸の軸心
Ｘ２ 第２の回転軸の軸心
Ｘ３ 第３の回転軸の軸心
Ｐ ルート
Ｄ１ 高さ方向
Ａ１ 第２の軸線の第１の軸線に対する相対回転角度
Ａ２ 第３の軸線の第２の軸線に対する相対回転角度
θ１ 主動アームの参照軸線に対する相対回転角度
θ２ 受動アームの参照軸線に対する相対回転角度
θ３ 支持盤の参照軸線に対する相対回転角度
1 Drive means 11
Claims (3)
前記駆動手段は、ベースと、前記ベースに対して回転可能になっていると共に、駆動力を出力する出力軸と、を有し、
前記主動アームは、所定の高さ方向に沿って延伸し、前記駆動手段の前記出力軸に駆動されて該延伸方向を回転軸として回転する第１の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第１の回転軸に固定されて接続される第１のアーム本体と、を有し、
前記受動アームは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第１のアーム本体に相対回転可能に接続される第２の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される第２のアーム本体と、を有し、
前記搬送モジュールは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第２のアーム本体に相対回転可能に接続される第３の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第２の回転軸に固定されて接続される支持盤と、を有し、
前記支持盤には、搬送物体が直線に沿って出入りできるルートを有し、
前記連動手段は、前記第１のアーム本体に配置される第１の連動モジュールと、前記第２のアーム本体に配置される第２の連動モジュールと、を有し、
前記第１の連動モジュールは、前記第１の回転軸と同軸するように配置される第１のプーリーと、前記第１の回転軸と相対回転する前記第１のプーリーに連動して前記第２の回転軸を回転駆動するように前記第２の回転軸及び前記第１のプーリーに取り付けられる第１の伝動部材と、を有し、
前記第２の連動モジュールは、前記第２の回転軸と同軸するように配置される第２のプーリーと、前記第２の回転軸と相対回転する前記第２のプーリーに連動して前記第３の回転軸を回転駆動するように前記第３の回転軸及び前記第２のプーリーに取り付けられる第２の伝動部材と、を有し、
前記第２の回転軸は、前記第１の回転軸の回転方向の逆方向へ回転し、
前記第３の回転軸は、前記第２の回転軸の回転方向の逆方向へ回転し、
前記主動アームは、前記ベースに相対回転可能に配置されており、
前記第１のプーリーは、前記ベースに固定接続されており、
前記第２のプーリーは、前記第１のアーム本体に固定接続されており、
前記第１のプーリーの外周面の半径をｗｒ１とし、
前記第２のプーリーの外周面の半径をｗｒ２とし、
前記第２の回転軸の前記第１の伝動部材に接続されている部位の半径をｓｒ２とし、
前記第３の回転軸の前記第２の伝動部材に接続されている部位の半径をｓｒ３とした場合、
前記第１のプーリーの外周面の半径ｗｒ１と前記第２の回転軸の前記第１の伝動部材に接続されている部位の半径ｓｒ２との比率が、下記式１により示される通りに、且つ、
前記第２のプーリーの外周面の半径ｗｒ２と前記第３の回転軸の前記第２の伝動部材に接続されている部位の半径ｓｒ３との比率が、下記式２により示される通りになるよう構成されている
式１： ｗｒ１：ｓｒ２＝２：１
式２： ｗｒ２：ｓｒ３＝３：４
ことを特徴とする搬送装置。 A transport device including a drive means, a driving arm, a passive arm, a transport module, and an interlocking means.
The driving means has a base and an output shaft that is rotatable with respect to the base and outputs a driving force.
The driving arm extends along a predetermined height direction, is driven by the output shaft of the driving means, and rotates about the extending direction as a rotation axis, and is orthogonal to the height direction. It has a first arm body that extends along the direction and is fixed and connected to the first axis of rotation.
The passive arm extends along the height direction and extends along a direction orthogonal to the height direction with a second rotation axis rotatably connected to the first arm body. It has a second arm body fixed to and connected to the second rotation shaft, and has.
The transport module extends along the height direction and extends along a direction orthogonal to the height direction with a third rotation axis rotatably connected to the second arm body. It has a support plate fixed to and connected to the second rotation shaft, and has.
The support board has a route through which the conveyed object can enter and exit along a straight line.
The interlocking means includes a first interlocking module arranged in the first arm body and a second interlocking module arranged in the second arm body.
The first interlocking module is interlocked with a first pulley arranged so as to be coaxial with the first rotation shaft and the first pulley that rotates relative to the first rotation shaft. The second rotating shaft and the first transmission member attached to the first pulley so as to rotationally drive the rotating shaft of the above.
The second interlocking module is interlocked with a second pulley arranged so as to be coaxial with the second rotation shaft and the second pulley that rotates relative to the second rotation shaft. The third rotating shaft and the second transmission member attached to the second pulley so as to rotationally drive the rotating shaft of the above.
The second rotation axis rotates in the direction opposite to the rotation direction of the first rotation axis.
The third rotation axis rotates in the direction opposite to the rotation direction of the second rotation axis .
The driving arm is arranged so as to be rotatable relative to the base.
The first pulley is fixedly connected to the base and is connected to the base.
The second pulley is fixedly connected to the first arm body.
The radius of the outer peripheral surface of the first pulley is wr1.
The radius of the outer peripheral surface of the second pulley is wr2.
The radius of the portion of the second rotating shaft connected to the first transmission member is sr2.
When the radius of the portion of the third rotating shaft connected to the second transmission member is sr3,
The ratio of the ratio wr1 of the outer peripheral surface of the first pulley to the radius sr2 of the portion of the second rotating shaft connected to the first transmission member is as shown by the following equation 1 and
The ratio of the radius wr2 of the outer peripheral surface of the second pulley to the radius sr3 of the portion of the third rotating shaft connected to the second transmission member is configured to be as shown by the following equation 2. Has been
Equation 1: wr1: sr2 = 2: 1
Equation 2: wr2: sr3 = 3: 4
A transport device characterized by this.
前記支持盤の前記参照軸線に対する相対回転角度をθ３とした場合、
θ３が、下記式３となるように構成される
式３： θ３＝θ１×（１−ｗｒ１／ｓｒ２＋ｗｒ１ｗｒ２／ｓｒ２ｓｒ３）
ことを特徴とする請求項１に搬送装置。 The relative rotation angle and θ1 with respect to a predetermined reference axis of the front Stories the driving arms,
When the relative rotation angle of the support plate with respect to the reference axis is θ3,
.theta.3 is a compound represented by the following formula 3 so as configured formula 3: θ3 = θ1 × (1 -wr1 / sr2 + wr1wr2 / sr2sr3)
The transfer device according to claim 1.
ことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。 The distance from the axis of the first rotation axis to the axis of the second rotation axis is the same as the distance from the axis of the second rotation axis to the axis of the third rotation axis. The transport device according to claim 2, wherein the transport device is characterized by this.
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