JP6921859B2 - センサ装置、特に圧力センサ - Google Patents
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Description
− 上記圧縮可能ボディの上記少なくとも1つの中間部分の断面減少部を画定するように構成された、上記少なくとも1つの第2通路の断面狭窄部、及び
−上記圧縮可能部材の上記少なくとも1つの中間部分の、全体的に曲がりくねった形状部(進展部、展開部 development)であって、特に、互いに対して実質的に角度をなしている(曲がっている angled)複数の延伸部(直線部 stretches)を備えた形状部。
当該2つの部材のために、化学的及び/又は構造的に互いに適合性のある材料を用いて(例えば、2で示されたタイプのボディは少なくとも一部がポリアミドPA又はポリフタルアミドPPAで作ることができ、16又は20又は21で示されたタイプの圧縮可能ボディは少なくとも一部がシリコーン又はシリコーンエラストマー又はシリコーンゴムで作ることができる)、且つ/又は、
上記2つの部材の少なくとも一方(例えばボディ2)の上に他方の部材(例えば圧縮可能ボディ16)を成形する前に、上記2つの部材の少なくとも一方の表面部分に統合され又は供給される接着促進剤(プライマ)を用いて、
得られる
鉛直方向又は軸方向の矢印によって表されるベクトルは、圧縮可能部材16(又は20)をキャビティ14の略軸方向に感応性部材5に向けて移動させ、変形させる傾向にある流体の推力を模式的に表しており、
ボディ2及び16(又は20)間の界面に対して半径方向である水平方向の矢印によって表されるベクトルは、上記化学的結合の力を模式的に表している。この化学的結合の力はボディ2及び16(又は20)の表面を互いに対して固定された状態に維持する傾向にあり、したがって、流体の推力下での感応性部材5方向への圧縮可能ボディの変形及び/又は押出に対抗する。
一側においては接着促進剤の層Prとボディ2の材料との間に、そして、
他側においては接着促進剤の層Prとボディ16(又は20)の材料との間に、
提供される。(表示をより明確にするために、層Prの厚さを意図的に厚くしている。)
Claims (15)
- 弾性変形可能な膜部(5a)を含むセンサボディ(5;5a,5b,5c)と、上記弾性変形可能な膜部(5a)の変形を検出するのに適した少なくとも1つの検出素子(6)とを有する感圧部(5,5a,6;5a,5b,5c,6)と、
圧力が検出される流体のための少なくとも1つの通路(15)を有する、上記感圧部(5,5a,6;5a,5b,5c,6)の収容又は支持構造(2,3)と
を備え、
上記収容又は支持構造(2,3)は、
少なくとも1つの貫通キャビティ(14)を有する収容又は支持ボディ(2)を備え、この収容又は支持ボディ(2)に対して、上記センサボディ(5;5a,5b,5c)は、その弾性変形可能な膜部(5a)が上記少なくとも1つの通路(15)から出ていく流体に曝されるように配置されており、そして、
上記流体の体積の変化を補償するように構成された圧縮可能ボディ(16)を備え、
上記収容又は支持ボディ(2)は、上記貫通キャビティ(14)の横断壁(22)を備えた第1ボディ部分(2c)を有し、上記横断壁(22)には上記流体のための通路(15)に属する少なくとも1つの第1通路(23a−23b)が画定されており、
少なくとも1つの第2通路(24;24a−24b)が上記横断壁(22)に画定されており、上記圧縮可能ボディ(16)は、上記収容又は支持ボディ(2)に対してオーバーモールド成形又は一体成形された部材であって、上記横断壁(22)の両側に対応する位置で延びる互いに対向する部分(20,21;20’,21)を有し、上記対向する部分は、上記少なくとも1つの第2通路(24;24a−24b)を通って延びている上記圧縮可能ボディ(16)の少なくとも1つの中間部分(16a)を介して互いに接続されており、
上記第1ボディ部分(2c)は、
上記圧縮可能ボディ(16)の上記少なくとも1つの中間部(16a)の断面減少部を画定するように構成された、上記少なくとも1つの第2通路(24;24a−24b)の断面狭窄部と、
全体的に曲がりくねっているか、又は、互いに対して実質的に角度をなしている複数の延伸部(stretches)を備えた、上記圧縮可能ボディ(16)の上記少なくとも1つの中間部(16a)の形状部と
のうちの少なくとも一方を決定する少なくとも1つのステップ又は突起又はレリーフ(25’,28)を画定するように形成されていることを特徴とする圧力センサ装置。 - 上記圧縮可能ボディ(16)は、
上記横断壁(22)の上流側で上記収容又は支持ボディ(2)の貫通キャビティ(14)内に、特に、それと接触して、少なくとも部分的に設置された第1圧縮可能部材(20)であって、入口端と出口端とを有する、上記流体のための少なくとも1つのダクト(20a;20a’)を少なくとも部分的に画定する第1圧縮可能部材(20)と、
上記横断壁(22)の下流側に、特に、それと接触して設置されており、上記センサボディ(5;5a,5b,5c)の上記弾性変形可能な膜部(5a)に対面する上面を有する第2圧縮可能部材(21)であって、入口端と出口端とを有する、上記流体のための少なくとも1つのダクト(21a;21a’)を少なくとも部分的に画定する第2圧縮可能部材(21)と
のうちの少なくとも1つを画定する、請求項1に記載の装置。 - 上記圧縮可能ボディ(16)は単一のピースで上記第1圧縮可能部材(20)及び上記第2圧縮可能部材(21)を画定しており、これらの圧縮可能部材は少なくとも1つの中間部分(16a)を介して互いに接続されている、請求項2に記載の装置。
- 上記第1ボディ部分(2c)は、
上記横断壁(22)の下流側にあり、上記貫通キャビティ(14)の内部へと延びて少なくとも部分的に上記少なくとも1つのステップを画定する、上記貫通キャビティ(14)の少なくとも1つの突出壁又は片持ち壁(25)と、
上記横断壁(22)の下流側にあり、少なくとも部分的に上記少なくとも1つのステップ(25’)を画定する、上記貫通キャビティ(14)の少なくとも1つの断面狭窄部と
のうちの少なくとも1つを備える、請求項1乃至3のいずれか1つに記載の装置。 - 上記第1ボディ部分(2c)は、
上記少なくとも1つの第2通路(24)の少なくとも1つの端領域において、少なくとも1つのステップ又は突起又はレリーフ(25’,28)を画定するように形成されている、且つ/又は
上記少なくとも1つの第2通路(24)の両端領域において、少なくとも2つのステップ又は突起又はレリーフ(25’,28)を画定するように形成されている、請求項1乃至4のいずれか1つに記載の装置。 - 上記少なくとも1つの第2通路(24a−24b)は、底を有する第1キャビティ(24a)と底を有する第2キャビティ(24b)とを備え、これらのキャビティは上記横断壁(22)の両側に画定され、横方向に互いに交わるように形成されている、請求項1乃至5のいずれか1つに記載の装置。
- 上記流体のための通路(15)は上記圧縮可能ボディ(16)によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも1つのダクト(20a,21a;20a’,21a’)を備え、
上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)は、上記圧縮可能ボディ(16)によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも1つのダクト(20a,21a;20a’,21a’)と流体連通している、上記流体のための少なくとも1つの入口(23a)及び上記流体のための少なくとも1つの出口(23b)を有し、
上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の上記少なくとも1つの入口(23a)及び上記少なくとも1つの出口(23b)は上記流体のための曲がりくねった経路を画定するように配置されており、上記少なくとも1つの入口(23a)及び上記少なくとも1つの出口(23b)は、特に、横方向にずれた位置に配置されている、請求項2乃至6のいずれか1つに記載の装置。 - 上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の上記少なくとも1つの入口(23a)は、上記第1圧縮可能部材(20)によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも1つのダクト(20a)と流体連通しており、且つ/又は
上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の上記少なくとも1つの出口(23b)は、上記第2圧縮可能部材(21)によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも1つのダクト(21a)の入口端と連通している、請求項2又は7に記載の装置。 - 上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)は、少なくとも1つの入口(23a)及び少なくとも1つの出口(23b)を有し、上記少なくとも1つの入口(23a)及び少なくとも1つの出口(23b)は、それぞれ底を有する第1キャビティ及び第2キャビティを備え、これら第1キャビティ及び第2キャビティは上記横断壁(22)の両側に画定され、横方向に互いに交わるように形成されている、請求項2乃至8のいずれか1つに記載の装置。
- 上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の上記少なくとも1つの入口(23a)は第1入口(23a)及び第2入口(23a)を備え、上記第1入口(23a)及び上記第2入口(23a)は互いにずれていると共に上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の1つの同一の出口(23b)と流体連通しており、該出口(23b)は上記第1入口(23a)及び上記第2入口(23a)に対してずれており、又は、
上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の上記少なくとも1つの出口(23b)は第1出口(23b)及び第2出口(23b)を備え、上記第1出口(23b)及び上記第2出口(23b)は互いにずれていると共に上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の1つの同一の入口(23a)と流体連通しており、該入口(23a)は上記第1出口(23b)及び上記第2出口(23b)に対してずれている、請求項7乃至9のいずれか1つに記載の装置。 - 上記第1圧縮可能部材(20)の上記少なくとも1つのダクトは2つのダクト(20a)を備え、これら2つのダクトの出口端は上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の第1入口(23a)及び第2入口(23a)とそれぞれ流体連通しており、又は、
上記第2圧縮可能部材(21)の上記少なくとも1つのダクトは2つのダクト(21a)を備え、これら2つのダクトの入口端は上記少なくとも1つの第1通路(23a-23b)の第1出口(23b)及び第2出口(23b)とそれぞれ流体連通している、請求項2又は10に記載の装置。 - 上記横断壁(22)は、
上記流体のための複数の上記第1通路(21a’)と、
上記圧縮可能ボディ(16)のそれぞれの中間部分(16a)が貫通している複数の上記第2通路(24;24a−24b)と
のうちの少なくとも一方を画定している、請求項1乃至11のいずれか1つに記載の装置。 - 上記第2圧縮可能部材(21)を備え、上記貫通キャビティ(14)は、上記横断壁(22)の下流に、上記第2圧縮可能部材(21)が少なくとも部分的に収容される収容部分を画定するように形成されている、請求項2乃至12のいずれか1つに記載の装置。
- 上記貫通キャビティ(14)は、上記少なくとも1つの圧縮可能部材を保持する機能を遂行する1以上のレリーフ(27)を画定するように形成された周面を有する、請求項1乃至13のいずれか1つに記載の装置。
- 上記収容又は支持構造(2)の少なくとも一部と上記少なくとも1つの圧縮可能部材(20,21)の少なくとも一部との間に接着又は結合を生じさせる手段を備え、好ましくは、
上記収容又は支持ボディ(2)と上記少なくとも1つの圧縮可能部材(20,21)とのうちの少なくとも一方の少なくとも1つの表面部の材料は、上記収容又は支持ボディ(2)と上記少なくとも1つの圧縮可能部材(20,21)とのうちの他方の少なくとも1つの表面部の材料と化学的及び/又は構造的に適合しており、且つ/又は
上記収容又は支持ボディ(2)と上記少なくとも1つの圧縮可能部材(20,21)とのうちの少なくとも一方の少なくとも1つの表面部の材料は、上記収容又は支持ボディ(2)と上記少なくとも1つの圧縮可能部材(20,21)とのうちの他方の少なくとも1つの表面部の材料との上記接着又は結合を容易にするのに適したプライマを備えるか統合しており、且つ/又は
上記収容又は支持ボディ(2)の材料と上記少なくとも1つの圧縮可能部材(20,21)の材料との間に上記接着又は結合を容易にするのに適したプライマの層が配置されている、請求項1乃至14のいずれか1つに記載の装置。
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