JP6921859B2 - センサ装置、特に圧力センサ - Google Patents

Description

本発明は圧力センサ装置に関し、特に、弾性変形可能な膜を有し、その膜の変形を検出する素子がその膜と連携している感圧部（感圧素子、圧力感応性素子 pressure-sensitive element)を備えたセンサ装置に関して開発されたものである。

請求項１の前段部分に記載された特徴を有する装置は、本願の出願人の名で出願されたWO2008/078184 A2から知られている。

上記文献は、感応性素子（sensitive component)が、ブラインドキャビティのあるセンサボディを有し、そのブラインドキャビティの底部が膜部によって形成されている圧力センサ装置を記載している。膜部は弾性変形可能であり、抵抗素子又はピエゾ抵抗素子などの検出素子がその膜部に連携（結合 associated)している。この装置は複数の部分からなるケーシングを有する。それらの部分の中でも、上記センサボディのための支持ボディがある。この支持ボディをキャビティが軸方向に貫通している。上記キャビティの入口端は上記ケーシングの液圧アタッチメント部（hydraulic attachment portion）に対応する位置にあり、この貫通キャビティの出口端は上記センサボディのキャビティ、つまり、上記膜部のキャビティに対向している。

特定の用途においては、上述のタイプの装置は非常に低い温度の条件で動作するため、圧力検出の対象である流体が凍り、そのためその体積が増大するという事態が起こる場合が時折ある。センサボディの膜部は、通常、比較的薄く繊細であることを考えると、凍結による流体体積の増加に続いての対応する検出素子の故障及び/又は損傷を防止し得る解決策を採用することが大切である。したがって、前述の先行文献は、１つ以上の圧縮可能な補償体、すなわち、流体の凍結時にそれに続く流体の体積増加を補償するのに適した素子を上記支持ボディと連携させることを提案している。

WO2008/078184 A2から知られている解決策は、「外部」補償部材即ち上記支持ボディの外側に取り付けられた補償部材又は「内部」補償部材即ち上記支持ボディの貫通キャビティに直接挿入された補償部材の使用を想定している。「外部」補償部材は上記支持ボディの外部、略上記センサボディのキャビティの箇所、即ち膜部の近傍に取り付けられ、「内部」補償部材はセンサボディの膜から所定距離のところで上記支持ボディの貫通キャビティ内に挿入されている。上記補償部材はそれぞれ、軸方向の貫通ダクトを有し、各貫通ダクトは、検出対象となっている流体のための通路の各部分を提供している。

上記文献はまた、内部補償部材と内部補償部材とを単一の圧縮可能ボディ（圧縮可能体）として形成する可能性を示唆している。この単一の圧縮可能ボディは、その性質上、しなやかで従順（曲げやすい、柔軟）であり、これにより、この単一の圧縮可能ボディを、その貫通キャビティ内の対応部分とこのキャビティの外側の他の部分とを介して、上記センサボディのキャビティ内に突出するように上記支持ボディに取り付けることができる。WO2008 / 078184 A2に記載された可能な変形実施形態によれば、上記単一体は、装置の上記支持ボディ上にオーバーモールド（被覆成形）された部分として構成されることもできる。これらの既知の解決策では、支持ボディの貫通キャビティは、上記単一体の固定を保証するために必要な、キャビティ自体の狭窄部または制限部を規定する中間の横断壁（transverse wall)を有している。

WO2008/078184 A2に従って製造された装置（ここでは内部補償部材と外部補償部材とが単一体として形成されている。）では、装置の入口にある加圧流体は、内部補償部材の下端及び／又は複数の壁に直接推力（スラスト）を及ぼす。圧縮可能ボディが比較的曲げやすいつまり柔軟な材料、例えばシリコーンで作られていれば、流体のこれら軸方向及び／又は径方向の推力は、時の経過に伴って、この柔軟な材料の少なくとも一部の、感応性素子（sensitive element)方向への変位（移動）、即ち、上記２つの補償部材を形成する圧縮可能ボディの少なくとも一部の一種の押出しを決定する。例えば、本願の出願人は次のことを見出した。つまり、センサが接続されているシステムにおける流体が高圧である（例えば、「ウオーターハンマー」として知られている現象の場合）（これは時折起こりうる。）等の特定の条件下においては、この高圧流体のスラストつまり推力は圧縮可能部材の圧縮限界を超える場合があり、圧縮可能部材の内部構造が、その流体の推力の結果として少なくとも一部において変位する点まで圧縮されて、その推力をセンサの構造の他の内部領域へと伝達することになる。

上述の内部補償体の少なくとも一部の変位又は押出しは、上記柔軟な材料を上記感応性素子に近い領域で変位させることになり、これによって、この柔軟な材料自体のスラストを直接膜部に及ぼすこととなり、その結果、装置の測定の信頼性の変化又は膜部自体の故障となる。動作温度即ち周囲温度及び／又は流体の温度が比較的高い場合、このような条件下で圧縮可能材料がそれ自体体積を増大させる傾向及び／又はその曲げ（たわみ）を増大させる傾向があると、上記の問題はより酷いものとなる。

上記先行技術文献に記載された種々の実施形態では、装置はさらに、圧力検出対象の流体の通路に沿って、１以上の毛細管通路、又は、いずれにしても、断面を小さくした通路を画定するように、作られている。これらの通路を設けるのは、上記流体が凍り始めるであろう１以上の領域に対して、上記流体のためのより広い断面の通路領域での凍結、即ち、上記感応性素子の膜部とは反対方向にある領域で凍結を生じさせる可能性を、予め、相対精度でもって、課すことを目的としている。これらの毛細管通路の設置は、例えば、その支持ボディに目的に合った形状の追加のインサートを結合しなければならないとの理由により、装置の製造を複雑にする。断面を小さくした通路の存在にも拘わらず、加圧流体は、いずれにしても、上記感応性素子の膜に直接推力を及ぼす。このため、対応する通路内での流体凍結の場合に、流体凍結に続く流体の体積増加が、膜に向かう軸方向の有意の（重大な）推力を決定し、結果的に損傷のリスクがある。

上記を考慮して、本発明は、上述のタイプの圧力センサ装置であって、測定の変動及び／又は感知膜部の損傷リスクを解消又は少なくともさらに低減する圧力センサ装置を提供することを目的としている。

上記文脈において、本発明の主な目的は、上述のタイプの圧力センサ装置であって、オーバーモールド成形又は一体成形（co-moulded)されかつ／又は２つの補償部材（compensation elements)を形成する圧縮可能ボディに加圧流体が及ぼす推力が、装置の検出信頼性に悪影響を及ぼすような、上記圧縮可能ボディを形成する柔軟な材料の如何なる変形及び／又は押出しも引き起こすことがない圧力センサ装置を提供することである。

本発明の副目的は、上述のタイプの圧力センサ装置であって、凍った流体が装置の検出信頼性に悪影響を及ぼすような変形又は損傷を引き起こさず、かつ／又は、その膜の故障を引き起こさない圧力センサ装置を提供することである。

本発明の別の副目的は、上述のタイプの圧力センサ装置であって、単純（簡単）で、迅速、かつ経済的に有利な方法で製造できる圧力センサ装置を提供することである。

本発明によれば、上記目的の１以上は、添付の特許請求の範囲に記載された特徴を有する圧力センサ装置によって達成される。特許請求の範囲は本発明に関してここに提供されている技術的教示の一体部分を形成する。

本発明に係る圧力センサ装置は、感圧素子を収容又は支持するボディを有し、このボディに、検出対象の流体の体積増加を補償するように設計された少なくとも１つの圧縮可能ボディが連携（結合 associated)している。

上記ボディは、以下では簡単のために「支持ボディ」としても定義されるが、貫通キャビティを有している。そして、上記ボディの少なくとも第１ボディ部分は、特に、上記貫通キャビティに対して横断する壁つまり横断壁に、デテント（移動止め）手段（detent means）を備えている。上記ボディ部分つまり上記横断壁には、少なくとも１つの第１通路が通っている。上記第１通路は、上記少なくとも１つの圧縮可能ボディによって少なくとも一部が画定されるダクトと合わせて、圧力が検出される流体（圧力検出対象流体）のための通路に属する。上記圧縮可能ボディは上記支持ボディに対してオーバーモールド成形又は一体成形された部材であり、好ましくは、上記貫通壁の両側で延びる互いに対向する部分を有する。これらの部分は、上記横断壁内に形成された少なくとも１つの第２通路を通って延びる上記圧縮可能ボディの少なくとも１つの制限部分（restricted portion)を介して、互いに接続されている。上記少なくとも１つの制限部分は好ましくは、単一の圧縮可能ボディによって形成されるより大きい寸法を有する補償部材に関して中間的な位置にある。

上記支持ボディの上記部分は好ましくは、少なくともステップ（段部 step)、又は突起、又はレリーフ（起伏 relief)を画定するような形状に形成されており、上記ステップ（段部 step)、又は突起、又はレリーフは以下のものの少なくとも１つを決定する。
− 上記圧縮可能ボディの上記少なくとも１つの中間部分の断面減少部を画定するように構成された、上記少なくとも１つの第２通路の断面狭窄部、及び
−上記圧縮可能部材の上記少なくとも１つの中間部分の、全体的に曲がりくねった形状部（進展部、展開部 development）であって、特に、互いに対して実質的に角度をなしている（曲がっている angled)複数の延伸部（直線部 stretches)を備えた形状部。

これらの特徴、即ち、上記圧縮可能ボディを止める且つ／又はその位置を保持するための適切な手段の画定は、オーバーモールド成形又は一体成形された圧縮可能ボディの押出又は移動（変位）に付随するリスクを回避することを可能とする。上記狭窄部は、上記圧縮可能ボディの上記２つの互いに対向する部分を結合する接続部の厚さの対応する制限を決定し、それによって、その材料の押出又は変位の効果を限定する。同じことが、全体として曲がりくねっているか相互に角度をなしている延伸部（直線部 stretches)を有する第２通路についても言える。上記ステップ（又は突起又は径方向又は横断方向のレリーフ）は同様に、上記圧縮可能ボディの中間部分が部分的に当接することになる少なくとも１つの表面の存在を決定し、これによって、圧縮可能ボディを構成する材料の押出にさらに対抗することができる。

加えて、このようにして、上記圧縮可能ボディは、上記支持ボディ上にオーバーモールド成形又はそれと一体成形され、所定位置に留められるのが都合がよい。この目的のために、請求項１２に記載した実施形態等の有利な実施形態では、上記横断壁が、上記圧縮可能ボディのそれぞれの中間部分が貫通している複数の第２通路を形成しており、成形処理にとって（材料の流れがより都合がよい）、上記横断壁に関して互いに反対の位置にある上記圧縮可能部材の２つの部分間の接続の質にとって、そして、上記支持ボディに対する位置の固定にとって、有利である。

単一の圧縮可能ボディの対応する中間部分を提供する材料のための少なくとも１つの第２通路は、好ましくは、圧力が検出される流体用に設計された上記横断壁の第１通路に対して周辺位置に形成される。しかし、上記少なくとも１つの第２通路は、何らかの別の位置、例えば、上記検出の対象である流体のための上記少なくとも１つの通路に対して中央の位置に形成することもできる。

請求項２に示すように、上記圧縮可能ボディは、上記横断壁の上流側で上記収容又は支持ボディの貫通キャビティ内に少なくとも部分的に設置された第１補償部材と、上記横断壁の下流側で上記感応性素子の膜部に近接した位置に設置された第２補償部材とを画定するようにオーバーモールドされていてもよい。ここで、上記第１及び／又は第２補償部材は各々流体用の少なくとも１つのダクトを画定するか、上記支持ボディの対応する部分と一緒になって、流体のための少なくとも１つのダクトを画定する。流体凍結の場合には、上記第１補償部材が、上記通路の主たる部分における流体の体積増加の補償を可能とする一方、上記第２補償部材が、最も重要な箇所即ち上記膜の近傍において補償を行う。保護は、請求項３で言及したタイプの実施形態におけるように、両方の補償部材が共に存在する場合が最大である。請求項３で言及したタイプでは、上記圧縮可能部材の上記２つの対向する部分が、単一の圧縮可能ボディとしてオーバーモールド成形された上記第１及び第２圧縮可能部材を提供する。

請求項４に記載された実施形態など、種々の実施形態では、上記支持ボディの第１ボディ部分は、上記横断壁の下流側にあり、貫通キャビティの内部へと延びて少なくとも部分的に上記ステップ（又は突起又はレリーフ）を画定する、上記貫通キャビティの少なくとも１つの突出壁又は片持ち壁を備える。この特徴は、上記ステップ（段部）の画定（定義 definition)を単純化するので、アンダーカット又は凹部の存在を防止し、これにより、特に支持ボディがプラスチック材料の成形体であるときは、支持ボディの製造を単純化できる。上記突出壁に替えて、又は上記突出壁に加えて、上記横断壁は上述したのと同じ理由で断面狭窄部を含んでいてもよい。

好ましくは、請求項５に示すように、上記支持ボディの上記第１ボディ部分は、上記少なくとも１つの第２通路の少なくとも１つの端領域に対応する位置に少なくとも１つのステップ又は突起又はレリーフを画定するように形成されている。これは、特に上記支持ボディが成形体である場合に、通路自体の作製を簡単にする。非常に有利なことには、上記支持ボディの第１ボディ部分は、上記第２通路の両端領域（互いに対向する端領域）に少なくとも２つのステップ（又は突起又はレリーフ）を画定するように形成されてもよい。このようにして、支持ボディの作製の単純さは同じままで、２つの補償部材を形成する材料の押出又は変位の効果に対してさらに対抗することができる。

特に支持ボディがプラスチック材料を成形することによって得られる場合、それぞれ底があり互いに対してずれてはいるが交わっていて主に横方向の開口（lateral openings)を画定するキャビティを介して各第２通路が得られるとき、支持ボディの作製の単純さは最高となる。これは例えば請求項７の実施形態の場合である。この種の実施形態は、単純（シンプル）であるのに加えて、上記圧縮可能部材の上記少なくとも１つの中間部分の、全体的に曲がりくねった展開部、特に互いに対して実質的に角度をなす複数の延伸部を備えている展開部を有効に画定することを可能とする。

請求項８に記載された実施形態など、種々の実施形態では、流体用の上記少なくとも１つの第１通路は少なくとも１つのそれぞれの入口と少なくとも１つのそれぞれの出口とを有する。これらの入口及び出口は、流体用の曲がりくねった経路を画定するように配置されている。上記曲がりくねった経路は、特に流体が凍っているときの、上記感応性素子の膜部への流体の直接推力つまりスラストを相当減らし、流体自体の凍結に由来して引き起こされる従来技術のリスクを減らすことができる。このタイプの実施形態では、請求項９に示されるように、上記第１通路の上記少なくとも１つの入口が上記第１補償部材のダクトの出口端と流体連通し、且つ／又は、上記第１通路の上記少なくとも１つの出口が上記第２補償部材のダクトの入口端と流体連通しているのが望ましい。

上記少なくとも１つの第１通路の上記少なくとも１つの入口及び上記少なくとも１つの出口は、好ましくは、それぞれの略平行な軸に従って延びている。この種の実施形態は、単純であることに加え、流体のための曲がりくねった経路を有効に画定することが可能である。この理由により、有利なことに、上記少なくとも１つの第１通路又は各第１通路は、互いに対してずれていて横方向に交わっている少なくとも２つの有底キャビティによって作ることができる。

概して、同様の利点が、請求項１０に記載のタイプの実施形態においても達成され得る。そこでは、上記少なくとも１つの第１通路は、１つの同一の出口に接続された少なくとも２つの入口、あるいは、少なくとも２つの出口に接続された１つの入口を有している。このようなケースについては、貫通キャビティの横断壁の上流の第１補償部材及び／又は上記横断壁の下流の第２補償部材は、請求項１１に示すように、１つ又は２つのそれぞれのキャビティを備えていてもよい。

請求項１３に記載された実施形態などの好ましい実施形態では、上記支持ボディの貫通キャビティは横断壁の下流に収容部を画定するように形成されており、この収容部に上記感応性素子の近くにある補償部材が部分的に収容される。このようにして、上記補償部材の位置決めの質が向上するので、流体の凍結及び膨張に続く上記補償部材の如何なる横方向の拡張も制限される。好ましくは、上記収容部の周面を画定する壁は、上記補償部材の保持機能を行う１以上のレリーフを有する。

請求項１４に記載の実施形態など、種々の実施形態では、上記支持ボディの貫通キャビティの周面は、１以上のレリーフを画定するように形成されている。上記レリーフは、有利なことに、上記第１圧縮可能部材及び／又は上記第２圧縮可能部材の保持機能を行うので、押出現象にさらに抗することができる。それら自体が圧縮可能ボディのためのデテント（移動止め）手段を提供する上記レリーフは、上記支持ボディの貫通キャビティを横切る壁が不在の場合にも有利に用いることができる。

請求項１５に記載の実施形態など、種々の実施形態では、上記圧力センサ装置は、上記支持ボディの少なくとも１つの表面部分と上記圧縮可能ボディの少なくとも１つの対応する表面部分との間に接着又は結合を生じさせる手段を備える。この手段は、それ自体が圧縮可能ボディのためのデテント（移動止め）又は保持機能を行うもので、レリーフ及び／又は上記支持ボディの貫通キャビティを横断する壁が不在の場合も有利に使用可能である。

本発明のさらなる目的、特徴、及び利点は、添付の図面を参照して提供される以下の詳細な説明から明らかになるであろう。添付の図面において、
本発明の一実施形態に係る圧力センサ装置の概略斜視図である。 図１の装置の概略縦断面図である。 図１の装置のボディの一部の概略縦断面図である。 図１の装置のボディの一部を一角度から見た斜視図である。 図１の装置のボディの一部を別の角度から見た斜視図である。 図１の装置のボディの一部を別の角度から見た斜視図であり、一部切断されている。 図１の装置の一部分の概略部分断面図である。 本発明の可能な実施形態に係る装置の変形可能なボディの概略部分斜視図である。 本発明の可能な実施形態に係る装置の変形可能なボディの概略部分斜視図である。 図８−９に示したタイプの変形可能なボディと連携する本発明に係る装置のボディの一部の断面図である。 図１０のD-D線断面図である。 図１０のC-C線断面図である。 図１０のB-B線断面図である。 本発明に係る装置の製造プロセスに使用可能な成形装置の一動作工程における概略分解斜視図である。 本発明に係る装置の製造プロセスに使用可能な上記成形装置の別の動作工程における概略分解斜視図である。 本発明に係る装置の製造プロセスに使用可能な上記成形装置の別の動作工程における概略分解斜視図である。 内部に本発明に係る装置のボディの一部がある、図１４−１６の成形装置の一部の概略断面図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図３と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図６と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図４と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図５と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図８と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図１０と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図１１と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図１２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図１３と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図１と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図３と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図４と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図５と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図６と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図６と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図３０と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図３と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図６と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図４と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図５と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図３７と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図３と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図６と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図４と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図５と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図８と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図９と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図１０と同様の図である。 図５０のE-E線断面図である。 図５０のD-D線断面図である。 図５０のC-C線断面図である。 図５０のB-B線断面図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる実施形態についての、図２と同様の図である。 本発明の更なる可能な実施形態に係る装置の概略縦断面図である。 本発明の更なる可能な実施形態に係る装置の概略縦断面図である。 本発明の更なる可能な実施形態に係る装置の一部の概略断面図である。 図６１の細部の拡大図である。 本発明の更なる可能な実施形態についての図６２と同様の図である。

本明細書における「実施形態」又は「一実施形態」への言及は、その実施形態に関連して記載される少なくとも１つの特別の形態、構造又は特徴が少なくとも１つの実施形態に含まれることを示すことを意図している。従って、本明細書の様々な箇所に存在し得る「実施形態において」、「一実施形態において」等の言葉使い（言い回し、語句）は、必ずしも全く同じ実施形態に言及しているとは限らず、代わって、異なる実施形態に言及していることもある。更に、本明細書の文脈で説明（定義）されている特別（特有）の形態、構造又は特徴は、あらゆる適切なやり方（方法）で、記載されているものとは異なっていてさえ良い１つ以上の実施形態において、結合されても良い。参照番号及び空間的言及（例えば、「より上の」、「より下の」、「上」、「下」等）は、図に示された例に言及しており、単に、便宜上使用されているものであり、従って、保護の範囲、若しくは実施形態の範囲、を限定するものではない。

図１及び２において、本発明の一実施形態に係る圧力センサ装置は全体として１で表されている。装置１は、感圧部（pressure-sensitive component）を収容及び／又は支持するように設計された収容又は支持構造を有する。上記構造は好ましくは、図示した例におけるように、ケーシングとして形成され、電気接続部と液圧（水圧、油圧 hydraulic)接続部とを有する。

例示したケースでは、上記収容又は支持構造（これは簡単のために「ケーシング」とも言う）は、２つの主要な部分を備える。これら２つの主要な部分とは、好ましくは液圧接続機能を行う、以下で「支持ボディ」としても定義される第１ボディ２と、好ましくは収容機能及び／又は閉鎖機能並びに電気接続機能を行う、以下で「閉鎖ボディ」としても定義される第２ボディ３である。種々の実施形態において、部分２及び３は、外部環境から上記感圧部を保護するケーシングを画定すること、そして、圧力を検出すべき流体のための少なくとも１つの通路を提供すること、そしておそらくは、基準圧力を利用可能としたり通気を可能としたりするために外部環境へ向かう１以上の更なる通路を提供することに貢献する。

ボディ２及び３は、中に感圧部が収容される空間を形成するように、好ましくは流体密の態様で、合体される。図２に見えるように、図示の実施形態では、上記感圧部は、膜部５ａ付きのセンサボディ５を有する。膜部５ａは、測定中の流体の圧力に応じて弾性変形可能である。以下において、簡単のために、膜部５ａは「膜」としても定義される。膜５ａは、センサボディ５に一体的に設けてもよいし、あるいは、例えば溶接又は接着によって（例えば図６０に例示したように）センサボディ５に結合される別部分として、形成されてもよい。

公知の技術に従い、感応性素子（sensitive component)５は、膜部５ａの変形を検出するように設計された少なくとも１つの素子と連携している。この検出素子（図２のみに６で示す）は、複数の抵抗器又はピエゾ抵抗素子を例えばブリッジ状に備えている。これら複数の抵抗器又はピエゾ抵抗素子は、好ましくは、膜５ａの、圧力が測定される流体に露出していない側に設けられる。他の実施形態（図示されず）では、検出素子６は電極及び／又は容量素子を備えており、例えば、２つの対向し合う電極を備え、それらの少なくとも１つが膜５ａの流体に露出していない側に配置される。

種々の実施形態において、センサボディ５はモノリシック（一体物）であり、好ましくは、周面と底面とを有し、底面が膜５ａ（より詳しくは、膜５ａの内側）に属すブラインドキャビティを画定するよう、セラミック材料（例えばアルミナ）でできている。種々の好ましい実施形態では、センサボディ５のブラインドキャビティは、より広い下部キャビティ部Ｃ'及びより狭い上部キャビティ部Ｃ''を画定すべく、断面が狭められ又は変更された中間部分を有する。この種の実施形態は、変形可能な膜５ａの面積の削減を可能とする限り特に有利であり、この場合、膜５ａは、より狭いキャビティ部C''の底部を提供し、何れの場合でも、高い圧力又は推力に耐えるために、変形を検出するための対応する素子６がそれに結合している。

種々の実施形態において、ケーシング２，３によって形成される空間内には、検出素子６によって生成される信号の制御及び／又は処置及び／又は処理のための電気／電子部品を含む回路が存在している。例示のケースでは、上記回路（図示せず）はセンサボディ５の上に直接設けられていて、センサボディ５の上面に上記の電気部品及び／又は電子部品が配置されている。この目的のために、膜５ａを取り囲むセンサボディ５の上面のエリアは比較的に広く、そのエリアに、センサボディ５の、どんな場合でも比較的に厚みのある部分が対応しており、こうして、そのエリアでは、センサボディ５の上面に直接、上記電気/電子部品を設けることができるのである。代替として、上記センサボディ５に結合（連結）され、固定され、又は接着されたボード（図示せず）に、上記回路又は電気／電子部品を設けてもよい。

このタイプの実施形態では、センサボディ５上に設けられた回路に複数のコンタクト１０が連結されている。これらのコンタクト１０は導電パッド又は回路自体の経路を、装置１のケーシング部３に結合されたそれぞれの端子１１（図２には１つのみが見える）に電気的に接続する。種々の実施形態において、コンタクト１０は弾性コンタクトであり、特に、本願出願人の名で出願されたWO 2009/153737に記載された具体的教示に従って作られている。WO 2009/153737の内容は、本明細書に組み込まれていると考えられる。端子１１は、好ましくはコンタクト１０の一部に電気的及び機械的に連結するように形成された、例えば、略L形状を有する第１部分を有する。ケーシング部３は管状部３ａを画定する。管状部３ａは、装置１の略軸方向に延びており、その中に端子１１のそれぞれの第２の部分が延びて、電気コネクタを提供する。

他の可能な実施形態においては、感知素子（検出素子）６によって生成された信号の制御、処置、及び／又は処理のための回路は装置の外側にある。即ち、その回路は、端子１１の下流に接続されている（例えば、この装置１が設置された車両に搭載された電子制御ユニットに一体化されている）。この場合、コンタクト１０は単に、感知素子６を端子１１に接続する機能を有する。更なる可能な実施形態によれば、上記回路は、例えばWO2008/078184 A2に記載されたように、対応する位置決め部材及び／又はスペーサを介してケーシング２，３内に設置されたそれ自体の回路板を有する。

支持ボディ（supporting body）２は液圧接続部２ａを有する。この液圧接続部２ａは、好ましくは、突出し、筒状構造を有して、圧力が検出される流体が通るラインと接続するように設計されている。優先的なこととして、液圧接続部２ａの外側には、外部シール部材１３が設けられている。この外部シール部材１３はここでは、環状例えばＯリング形状を有する。

支持ボディ２の反対側部分即ちその上面側においては、その外周部は、それ自体公知の方法で、ケーシング部３と連結（例えば溶接によって流体密の固定を介して連結）できるよう構成されている。液圧接続部２ａから貫通キャビティ１４が出ている。この貫通キャビティ１４は支持ボディ２を、好ましくは軸方向に貫通して、その上面まで伸びている。１以上の実施形態において、この貫通キャビティ１４は、少なくとも部分的に、圧力が検出される流体のための通路を画定する。この通路は、図２に１５で示されている。分かるように、上記通路１５の少なくとも一部は対応する圧縮可能ボディ即ち可変体積補償体によって画定される。この可変体積補償体は支持ボディ２に結合され、流体の体積変動、特に流体凍結の場合の体積変動を補償するように構成された１以上の弾性圧縮可能且つ／又は柔軟な（曲げやすい）（yielding) 材料で作られる。

好ましい実施形態において、１つの同一の圧縮可能ボディが複数の弾性圧縮可能な部材を確定するように形成されている。そのような圧縮可能ボディ又は弾性変形可能ボディの非限定的な例が、図２に全体として１６によって示されている。図示の例では、圧縮可能ボディ又は弾性変形可能ボディ１６は、流体の体積変動を補償するための２つの部材（２０，２１）を画定する。そして、これらの部材は、通路１５のそれぞれの部分（２０ａ，２１ａ）を画定する。

センサボディ５は、その膜部５ａが通路１５の出口で流体に露出つまり曝されるように、特に、通路１５の出口（これはここでは補償部材２１の軸方向ダクト２１ａによって画定される。）に対向するように、支持ボディ２上に搭載される。好ましい実施形態では、装置１は、さらに、内部シーリング部材１７を備えている。この内部シーリング部材１７は支持ボディ２とセンサボディ５との間に設置され、これらによって感知室（図示せず）を画定するようになっている。通路１５は上記感知室に入り込んでいるので、流体の圧力が膜部５ａに作用できる。

一実施形態では、例えば、例示されたものなどでは、支持ボディ２は、その上面に、中央の突出部２ｂを有する。この突出部２ｂは、図３，５−７にも見えており、貫通キャビティ１４の対応する部分がそこを通っている。内部シーリング部材１７は、好ましくは上記突出部２ｂ自体の対応する外側座部又は肩部の箇所で、上記突出部２ｂの周りに延びている。このようにして、内部シーリング部材１７は上記突出部２ｂとセンサボディ５、特にそのブラインドキャビティの周面との間のラジアルシールを提供し、上述の部材と共に上記感知室の境界を画定する。

好ましい実施形態、例えば、図２に示した実施形態などでは、圧縮可能ボディ１６は少なくとも２つの異なる補償部材２０，２１を画定する。ここで、これらの部材はそれぞれ、「内部」及び「外部」、又は「第１」及び「第２」としても定義される。上記用語「内部」及び「外部」は、図示された及び／又は優先される補償部材２０，２１の配列に言及しており、これらの補償部材２０，２１はそれぞれ、広範囲に又は少なくとも一部が、ボディ２の内側及び外側に位置している。なお、これらの用語は本明細書において単に便宜のために使用されている。

ボディ１６即ち圧縮可能ボディ２０，２１の各々は、優先的に、ポリマー又はエラストマー、好ましくは、シリコーン材料、例えばシリコーンエラストマー又は液体シリコーンゴム（LSR）又はフルオロ液状シリコーンゴム（FLSR）、好ましくは、二成分形材料又は二成分形シリコーン、特に、射出によりオーバーモールド成形又は一体成形されるようになっているタイプのものから作られている。

少なくとも一部が貫通キャビティ１４内に延びている内部補償部材２０は、好ましくは略円筒形状及び／又は円錐台形状、又は管形状若しくは環形状を有する。この部材２０は、通路１５の少なくとも１つの対応する部分を画定する。この目的のために、様々な実施形態において、部材２０は、２０ａで示すダクトのように、軸方向に延びる少なくとも1つのダクトを有する。一方、理解されるように、他の実施形態によれば、部材２０は、支持ボディ２の表面又は壁と共に流体のためのダクトを画定するような形状に形成されてもよい。

外部補償部材２１は、センサボディ５の膜５ａに対向する位置に設置され、少なくとも一部が貫通キャビティ１４の外側で、特に支持ボディ２の突出部２ｂの頂部の、膜５ａ自体に比較的近接した位置において、延びている。また、外部補償部材２１は好ましくは、通路１５の少なくとも１つの対応する部分を画定する。この目的のために、様々な実施形態において、この部材２１は貫通ダクト２１ａを備えている。貫通ダクト２１ａは軸方向に延びて、通路１５の終端延伸部（terminal stretch)を形成している（但し、WO2008/078184と同様、部分２ｂの突起又は終端管状インサートが部材２１によって囲まれて存在することは、本発明の範囲から除外されない）。

図２に示されるように、外部補償部材２１は、優先的に、センサボディ５のブラインドキャビティ内に位置しており、その周面の一部は上記ブラインドキャビティの周面の対応部分に比較的近接し、その上面は膜５ａの下面に比較的近接している。

異なる断面を持つ２つのキャビティ部Ｃ'及びＣ''を備えたセンサボディ５の優先的使用は、より広い下部キャビティ部Ｃ’とより制限された上部キャビティ部Ｃ''の提供を可能とする。より広い下部キャビティ部Ｃ’では、シーリング部材１７を介して内部ラジアルシールをより便利に得ることができる。一方、より制限された上部キャビティ部Ｃ''が入れることのできる流体はより少量なので、流体の凍結及び／又は膨張の際に受ける機械的ストレスが小さい。このようにして、上部キャビティ部Ｃ''に入れることのできる少量の流体の凍結は、部材２１によってより都合よく補償することができる。この目的のために、図２に例示されたタイプの実施形態では、流体によって占められる容積をさらに低減するよう外部補償部材２１が少なくとも部分的にボディ５のブラインドキャビティの上部キャビティ部Ｃ''内に延在するのが好ましい。

支持ボディ２は第１ボディ部分を有する。この第１ボディ部分は、貫通キャビティ１４の少なくとも１つの第１通路、特に、この貫通キャビティ自体の狭窄部を形成する通路を形成するような形状に形成されており、上記補償部材２０，２１がそれぞれ、上記第１ボディ部分の上流及び下流に位置している。２ｃによって全体が示される上記第１ボディ部分は、貫通キャビティ１４の横断壁２２を有する。横断壁２２は、センサボディ５に比較的近い位置にあり、具体的には、液圧接続部２ａの反対側にある貫通キャビティ１４の上端の近傍にある。様々な実施形態において、第１ボディ部分２ｃは、ボディ２の突出部２ｂの中間位置にある。好ましくは、部材２０の上端は横断壁２２の下側に接触している。一方、部材２１の下端は横断壁２２の上側に接触している。

図３でも分かるように、横断壁２２の中を少なくとも１つの第１通路が通っている。上記第１通路は、通路１５の対応部分を形成し、流体のための少なくとも１つの対応する入口２３ａと流体のための少なくとも１つの対応する出口２３ｂとを含んでいる。なお、用語「入口」及び「出口」は、それらが、例えば、感知膜の方へと圧力を伝達するために装置内で起こる流体の最少変位に言及する限りにおいて、便宜上使用されているのであって、実際の使用においては、事実、装置内部の流体は実質的に静止状態にある点に留意すべきである。

様々な好ましい実施形態において、上記少なくとも１つの入口２３ａ及び上記少なくとも１つの出口２３ｂは、測定中の流体が横断壁２２の領域で曲がりくねった経路を辿るように誘導されるような相対的な位置を有する。この目的のために、様々な好ましい実施形態において、上記少なくとも１つの入口２３ａ及び上記少なくとも１つの出口２３ｂは、互いに対してずらされている。

図２に示されたような実施形態など、様々な実施形態において、入口２３ａ及び出口２３ｂは、互いに略平行なそれぞれの軸に従って延びている。この目的のために、好ましい実施形態では、入口２３ａ及び出口２３ｂは実質的に、２つのキャビティによって形成されている。これら２つのキャビティはそれぞれ、横断壁２２の各側に形成された底壁を有し、それぞれ下向き及び上向きに開く。上記２つのキャビティは、好ましくは略円筒状又は少なくとも一部が湾曲したプロファイル（縦断輪郭）を有し、横方向（in a lateral direction）に交わる（つまり重なる）ように配置されている。これは、上記２つのキャビティが互いに流体連通し、これによって流体のための上記曲がりくねった経路を形成するためである。上記２つのキャビティは以下において、簡単のために、「ブラインドキャビティ」とも言う。

この種の実施形態は、支持ボディ２が成形プラスチック材料、特に射出成形材料、の一体物（a single piece)で作られているとき、特に有利であることがわかった（但し、支持ボディ２は、他の材料、例えば、工作機械を用いて打ち抜き又は機械加工された金属などで作られていてもよい）。この目的のために、ボディ２は好ましくは、ポリマー又はコポリマー又は熱可塑性材料、例えばポリアミドPA又はポリフタルアミドPPA又は両者の混合物又は組み合わせ（PA及びPPA）で作られる。支持ボディ２は、ポリマーから作られていても、好ましくは、実質的に剛であるような、且つ／又は装置に入れられている流体の圧力及び／又は膨張による機械的推力及び／又はストレスに耐えるような、厚み及び／又は形状を有する構造及び／又は部分を有する。

横断壁２２を通っている通路２３ａ−２３ｂが、反対方向に開口し且つ互いに交差している２つのブラインドキャビティによって得られるということが、アンダーカット部分又は凹部（凹み）の存在を防止し、したがってボディ２の成形及びそのための装置（設備）を非常に簡単にする。

これまでに例示したような実施形態などの様々な実施形態において、出口２３ｂは横断壁２２の略中心位置にある、即ち全体として貫通キャビティ１４と略同軸である。こうして、補償部材２１の貫通ダクト２１ａ（これは、ここでは、通路１５の終端延伸部を構成している）は、部材２１自体の略中心位置に形成することができ、感応性素子の膜５ａの中央エリアに直接対向することができる。一方、入口２３ａは出口２３ｂに対して偏心した位置にあり、このために、補償部材２０の軸方向ダクト２０ａはこの補償部材自体の軸に対して変位している。したがって、分かるように、図２に例示されたタイプの実施形態では、入口２３ａは補償部材２０の貫通ダクト２０ａの出口端と流体連通し、一方、出口２３ｂは補償部材２１の貫通ダクト２１ａの入口端と流体連通する。そして、これら２つのダクト２０ａ及び２１ａは互いに対してずれている。

装置１の動作において、測定中の流体は、支持ボディ２の貫通キャビティ１４が出ているところである液圧接続部２ａを通って装置１の内部に到達する。したがって、流体は補償部材２０のダクト２０ａ、横断壁２２に形成された通路２２ａ−２２ｂ、及び補償部材２１のダクト２１ａを占めている。

このようにして、流体は、ボディ２の突出部２ｂの頂部とシーリング部材１７とキャビティＣ'，Ｃ''の内面との間に形成された感知室を占める。上記感知室における流体の圧力は、感応性素子の膜５ａの曲がり又は弾性変形を決定するのであるが、曲がり又は弾性変形の程度は検出素子６によって検出される。上記検出素子６によって決定された電気信号は、それ自体公知の技術によって、流体の圧力を表している。

上記感知室、ダクト２０ａ，２１ａ及び通路２３ａ-２３ｂに入っている流体が凍った際には、流体自体の膨張又は体積増加が起こるが、これは主に部材２０，２１の変形によって、そして、部分的にシーリング部材１７の変形によって補償される。様々な実施形態において、中間壁２２の入口２３ａ及び出口２３ｂの相互にずれた位置によって定まる曲がりくねった通路の存在は、通路１５に入っている凍った流体の軸方向の体積増加が感応性素子５の膜５ａに有意の推力を及ぼすのを防止する。この目的のために、ダクト２１ａの長さは、好ましくはダクト２０ａの長さよりも短く、前者は特に後者の半分未満であることが考慮されるべきである。

したがって、軸方向の体積増加は、流体の通路１５の主な部分を構成している部材２０のダクト２０ａ及び入口２３ａに入っている流体についてより大きいものとなる。しかし、流体のこの部分での軸方向の体積増加は、入口２３ａを形成するブラインドキャビティの底によって上方で反撃される。出口２３ｂ及び部材２１のダクト２１ａは通路１５のより少ない部分を構成しているので、これらに入れられている流体の軸方向の体積増加はより制限される。このようにして、出口２３ｂ及びダクト２１ａ内の凍った流体（icy fluid)の体積増加によって定まる上向きの推力は適度（ほどほど）なもので、膜５ａの故障のリスクを決定するようなものではない。

様々な実施形態において、入口と出口のずらし配置（staggered arrangement)に拘わらず、通路２３ａ-２３ｂは、何れにせよ、図７に破線で示すように、これら入口と出口を提供する２つのキャビティの重なりによって定まる、最小であろうとも軸方向の延伸部（axial stretch)を有する。この軸方向延伸部の断面寸法はいずれにせよ非常に限定的で、上述した保護機能に余り影響しないようなもの、特に、ダクト２０ａ内の氷った流体柱が膜５ａの方へ移動すること又は押し出すことを許容しないようなものである。

本発明の好ましい実施形態では、補償部材２０，２１を形成する単一の変形可能ボディ１６は、支持ボディ２にオーバーモールド成形されたボディ又は支持ボディ２と一体成形されたボディである。もっと一般的に言えば、本発明によれば、ボディ１６とは、横断壁２２の対向する両側にそれぞれ延びる対向部分を有するオーバーモールド成形又は一体成形された部材であり、横断壁２２の箇所で上記対向部分（ここでは部材２０，２１で例示されている）が少なくとも１つの中間部部分を介して接続されて合体している。

本明細書及び請求の範囲において、特に異なる断りがなければ、汎称「オーバーモールド(overmoulding)」及びその派生語は、少なくとも２つの異なる成形技術、特に、厳密な意味でのオーバーモールド成形及び一体成形（co-molding)のことを指していると理解されねばならないことを指摘しておく。厳密な意味でのオーバーモールド成形では、先に得られた第１構成部分（例えば、支持ボディ２）が型の中に挿入された後、上記第１構成部分上に第２構成部分を提供するように設計された少なくとも１つの材料が溶融状態又は液状態で射出される。一方、一体成形においては、所定の型の中に、第１構成部分を形成するようにデザインされた少なくとも１つの材料が溶融状態又は液状態で最初に射出された後、（しばしば自動的な方法で）型の一部が異なる部分と交換される。そして、このようにして形成され、上記第１構成部分を収容したままの新しい型（この中に）の中に、少なくとも１つの材料が溶融状態又は液状態で射出されて上記第１構成部分の上に第２構成部分を形成する（あるいは、上記型の一部を交換する代わりに、上記型の異なる部分が成形インプレッション（moulding impression）の一部を形成するように、上記型の一部をひっくり返してもよい。）

実際には、最初のケースでは、第１構成部分は別に形成され、型に入れられ、その上に第２構成部分が成形される。このとき、恐らくは、上記第１構成部分の少なくとも一部に供給される接着促進剤（プライマ）が使用される。一方、二つ目のケースでは、両方の構成部分は、同一の成形装置の少なくとも一部分で、順次形成される。好ましくは、第１構成部分の成形後まもなく、特に、この第１構成部分が依然として熱い又は未だ室温に達していない数十秒後又は数秒後に、第２構成部分をオーバーモールドする。このようにして、好ましいことに、構造的若しくは化学的結合及び／又は第１構成部分と第２構成部分のより良好な接着も得られる。しかし、どちらの場合においても、１つの構成部分は他の構成部分の上に成形される。本明細書に例示されているのは、第１構成部分を第２構成部分（収容又は支持ボディ等）上にオーバーモールドするケースであるが、本発明は、問題の２つの構成部分を一体成形するケースにも同等に適用できる（収容又は支持ボディを、圧縮可能ボディの上にオーバーモールドする又は圧縮可能ボディと共に一体成形する場合を含む）。

部材２０，２１が単一のピース（piece)、特に単一のオーバーモールド補償部材、からなる（つまり、一体ものである）実施形態では、対応するボディ１６は少なくとも１つの中間部分を有しており、その中間部分が第１及び第２圧縮可能部材２０，２１を接続している。図２では、上記接続部の１つが１６ａで示されている。上記実施形態では、支持ボディ２の部分２ｃ、特に横断部分２２は、少なくとも１つの第２通路を画定するような形状に形成されており、圧縮可能ボディ１６の少なくとも１つの部分１６ａがこの第２通路の中を貫通している。好ましくは、上記少なくとも１つの第２通路が、貫通キャビティ１４の対応する断面の制限(restriction)を決める。

様々な実施形態において、ボディ２の横断壁２２はこうして、通路２３ａ-２３ｂに加えて、１以上の第２通路を備えている。上記第２通路の幾つかは、図３及び４−６において２４で示されており、好ましくは、流体のダクト部２３ａ-２３ｂに対して周辺の位置又は偏心した位置に配置されている。好ましくは、複数の第２通路２４が設けられ、中間壁２２の入口２３ａ及び出口２３ｂの周囲に配置されている。様々な実施形態において、第２通路２４は周（circumference）又は円周の弧に従って配置される。好ましくは、第２通路２４は、少なくとも一部が湾曲又は丸くなった、しかし、必ずしも円形ではない断面又は輪郭（profile)を有する。

本発明によれば、ボディ部分２ｃは、少なくとも１つのデテント手段、例えば、段部（ステップ）又は突起又は径方向又は横断方向のレリーフ（起伏、relief)などを画定するように形成されている。このデテント手段は、検出下にある流体の圧力の結果としての圧縮可能ボディ１６を形成する材料の変位又は押出現象に対抗するように設計されたものである。この目的のため、様々な実施形態において、ボディ部分２ｃは少なくとも１つの突出壁を備える。この壁は、横断壁２２の下流側に形成されており、貫通キャビティ１４の内側へ向かって延びている。好ましくは、上記突出壁は、例えば図３，５，６から分かるように、対応する第２通路２４つまり各第２通路２４に少なくとも一部が重なっている。図３，５，６において突出壁は２５で示されている。突出壁２５は、対応する第２通路２４又は各第２通路２４の狭窄部又は変更部を定めるために予め配置されている。これは、特に、圧縮可能ボディ１６の対応する中間部分１６ａの断面減少又は曲がりくねった経路を画定するようにするためである。この特徴は、特に図７において理解できよう。第２通路２４は主に圧縮可能ボディ１６の接続部１６ａの材料のそれぞれの部分１６ａ_１によって占められている。

第２通路２４に重なっている突出壁２５の存在は通路１６ａ自体の上側部分の狭窄部を決定する段部を提供する。この狭窄部は、接続部１６ａの材料の最小部分１６ａ_２が占めている。接続部１６ａの材料の部分１６ａ_３（これは圧縮可能部材２１の一種の底部を部分的に形成している）は、突出壁２５によって囲まれた領域を占めている。好ましくは、部分１６ａ_１と１６ａ_３とは径方向又は横方向に互いにずれている。

図８，９に部分的に示されているのは、補償部材２０及び２１を画定する変形可能ボディ１６の一例であり、ここでは接続部１６ａの材料の部分１６ａ_１と１６ａ_３とに焦点が当てられている。また、図１１−１３に示す断面図には上記部分１６ａ_１，１６ａ_２，１６ａ_３が見える。

本明細書の導入部で説明したように、上述のタイプの構成は、入口における流体の圧力による、単一ボディ１６を形成する材料の押出効果又は変位効果を有効に制限することを可能とする。この効果が得られるのは、ボディ１６を構成している材料の上向きの押出に対して突出壁２５が対抗するお陰であり、かつ、ボディ１６の材料の有効通路の部分（ここでは部分１６ａ_２によって表される）が最小であることによる。

様々な実施形態において、ボディ２の横断壁２２は貫通キャビティ１４の中間壁、即ち、貫通キャビティ１４の両端間の中間的位置、好ましくは、貫通キャビティ１４の感応性素子側端部に近接した位置にある壁である。このタイプの実施形態では、有利なことに、貫通キャビティ１４又はボディ部分２ｂは、横断壁２２を越えたところに、圧縮可能部材２１を収容する収容部分（この部分は例えば図３，５，６にはっきりと見えており、２６で示されている。）、特に中空の円筒部分を画定するように、形成することができる。示されているように、この収容部分２６は基本的に突出部２ｂの上に位置している。

図７を参照すると、部材２１の下部２１_１は上記収容部分２６内に位置している。一方、部材２１の上部２１_２は上記収容部分２６の外側即ち感圧（圧力感応性）素子のブラインドキャビティ内に位置している。

好ましいことに、動作状態では、少なくとも感応性素子のボディ５の上部キャビティ部Ｃ''に入れられている流体が凍結した際に、特に、如何なる径方向の変位も防止し、且つ／又は部材２１の上部２１_２をより良好に支持又は固定するために、部材２１の上記下部２１_１は周囲が部分２６によって拘束される。一方、補償部材２１の上部２１_２は、上記上部キャビティ部Ｃ''に少なくとも一部が収容された流体の凍結及び／又は膨張を補償するために、異なる角度（例えば径方向又は軸方向）で圧縮又は変形を受けることができる。

好ましくは、補償部材２１の上部２１_２は、下部キャビティ部Ｃ’の中にも一部が延びている。これは、シーリング部材１７によっても画定されるエリア内にある上記下部キャビティ部Ｃ’の一部に収容されている流体の凍結又は膨張も補償するためである。

好ましい実施形態では、支持ボディ２を通っている貫通孔は、圧縮可能部材２０を収納するためのエリア内においても中間の狭窄部又は制限部を有することが図３からわかるだろう。この中間狭窄部は図３においてのみ１４ａで示されている。このようにして、補償部材２０も、異なる直径の２つの延伸部、つまり、いずれにしても、異なる断面寸法を有する２つの延伸部を有し、好ましくは、補償部材２０の膜５ａ方向への押出又は変位に抗する少なくとも１つのステップつまり段部を有する。

この解決法は、部材２１が横断壁２２を越えたところに位置してはいるが部材２０に対して接続又は固定されているということと相俟って、流体が高圧の場合及び、流体の負圧が激しい場合又は変形可能ボディ１６を構成する材料が緩む場合に、変形可能ボディ１６を全体として位置決め及び／又は固定することを保証する。もちろん、狭窄１４ａは、膜５ａ方向への変形可能ボディ１６の材料の押出現象に対抗する目的に対して有用であることがわかった。

独立して発明性のある様々な実施形態において、即ち２２で示すタイプの横断壁がない場合であっても、ボディ２の貫通キャビティ１４は、上記少なくとも１つの圧縮可能部材の保持機能を遂行する１以上のレリーフを画定するように形成された周面を有する。

例えば図３，４，７を参照すると、２７で示されているのは貫通キャビティ１４の周面の突出環状レリーフであり、これらは、圧縮可能部材２０を収容しているダクト１４の部分及び／又は圧縮可能部材２１を部分的に収容している貫通キャビティ１４の部分即ち収容部分２６に設けることができる。特に図７から分かるように、レリーフ２７は好ましくは、余り目立った部分がなく（not very accentuated)、著しく裾広がりで尖った部分のない面（flared radiusing surfaces)を有している。これは、上記ボディ２をプラスチック材料の成形により形成するときに、ボディ２を製造用の金型から引き抜くのを邪魔するようなアンダーカットが存在しないようにするためである。レリーフ２７は、上述の通り、押出又は変位の現象に対抗する目的で、部材２０及び／又は部材２１の保持機能、つまり、これらの部材を構成する単一ボディ１６の保持機能を遂行する。

図１４−１７には、図１−１３を参照して説明したタイプの装置１のために、支持ボディ２に変形可能ボディ１６をオーバーモールドするのに使用可能な成形装置が概略的に示されている。

まず図１４を参照すると、この例では、成形装置は２つの型部分３０及び３１を備えている。これらの型部分３０及び３１はそれぞれ、先に得られた支持ボディ２を位置決めすると共に変形可能ボディ１６の内側及び外側輪郭（profiles)を画定するためのインプレッション３０ａ及び３１ａを画定する。具体的には、インプレッション３０ａはボディ１６の下面を画定するのに必要な中心ベース部３０ａ_１を含んでいる。この中心ベース部３０ａ_１から、部材２０の軸方向ダクト２０ａを画定するように形成された柱状部材３０ａ_２が突出している。一方、インプレッション３１ａは、圧縮可能部材２１の部分２１_２（図８，９参照）の外側輪郭を画定するのに必要な中心部３１ａ_１を含んでいる。この中心部３１ａ_１から、部材２１の軸方向ダクト２１ａを画定するように形成された柱状部材３１ａ_２が突出している。

図１５には、予め形成されたボディ２を配置した後の、型が未だ開いている状態にある成形装置が示されている。型を閉じて溶融状態の材料の射出（注入）を開始した後に、その材料が部分３０，３１とボディ２と間に形成された自由空間（ボディ２の通路２４を含む）を占有して、圧縮可能ボディ１６を得る。したがって、この種のアプリケーションでは、１つの同一の支持ボディ２が、圧縮可能ボディ１６の最終形状を画定するのに必要な一種の「型の一部」を構成することになる。オーバーモールドされた材料の必要な冷却・固化期間の後、型部分３０及び３１は図１６に概略的に示すように分離される。このときまでにボディ２にはボディ１６が形成されている。

ボディ２が内部に配置された、材料射出（注入）前の、閉鎖状態の金型が示されている図１７から、柱状部材３０ａ_２，３１ａ_２の位置が横方向にずれている様子、特に、溶融状態の材料が横断壁２２の入口２３ａ及び出口２３ｂに侵入するのを防止すべく、それぞれの自由端がこれらの入口２３ａ及び出口２３ｂをそれぞれ邪魔するように柱状部材３０ａ_２，３１ａ_２が配置されている様子が理解できよう。

図１８は、図２と同様の図において、変形実施形態を示している。これによれば、圧縮可能部材２０の軸方向ダクト２０ａはこの部材自身の軸方向の中心位置に、即ち、補償部材２１のキャビティ２１ａ及び横断壁２２内に形成された出口２３ｂと略同軸位置に、延びている。したがって、図１−１３に示された実施形態との実質的な相違点は、ダクト２０ａの断面寸法又は直径は先の場合よりも大きくて、このダクトが中央位置にあって何れの場合でも横断壁２２の入口２３ａに対向するようになっていることのみである。

図１９−２８はそれぞれ、図２，３，６，４，５，８と同様の図において、本発明に係る装置の更なる実施形態を示している。このケースでは、ボディ２の部分２ｃは、第２通路２４、又は各第２通路２４の下端領域に少なくとも１つの段部（ステップ）（又は径方向又は横方向の突起又はレリーフ）を画定するように形成されている。より具体的には、図示のケースにおいて、ボディ２の部分２ｃは、ある第２通路２４、又は各第２通路２４の対向端部領域に少なくとも２つのステップ又は突起又はレリーフを画定するように形成されている。

当該特徴は、特に図２０及び２１から理解できよう。これらの図では、横断壁２２が、それぞれの第２通路２４の下端に第２通路の内側に向かって突出するそれぞれのステップ（又は突起又はレリーフ）２８を画定するように形成されている様子が分かるであろう。

ステップ２８の突出の程度（寸法）及び突出壁２５によって定まるステップ又はレリーフの突出の程度（寸法）は、図２０の破線によって直覚的に強調表示されている（intuitively highlighted）ように、アンダーカットの存在を防止するように選ばれるのが都合がよい。これは、ボディ２が成形プラスチック材料の単一片からなるとき、ボディ２の製造を相当に簡単化し、成形装置の簡単化に関しても明らかな利点をもたらす。

図２４-２８でわかるように、ステップ２８及び突出壁２５が存在することによって、第２通路２４の２つの端部において、第２通路２４の断面の制限箇所が実際に２箇所存在することを決定することができ、これにより、圧縮可能ボディ１６の接続部１６ａを実質的に曲がりくねった形状部（development)、特に、互いに対してずれた（staggered)又は角度をなす複数の延伸部を備えたものとすることができる。

特に図２４及び２５から理解できるように、ステップ２８は、圧縮可能部材２０への接続領域においても部分１６ａの各々の縮小断面１６ａ_４を画定できる。これらの縮小断面１６ａ_４は好ましくは、突出壁２５によって定まる縮小断面１６ａ_２よりも大きい寸法を有する（図２６及び２８参照）が、圧縮可能ボディ１６を構成する材料の押出から生じるリスクをさらに低減することを可能とする。

図１９-２８の装置１の製造及び作用は既に上述したものと同様である。

図２９-３５は、図１-６と同様の図において、本発明に係る装置の更なる実施形態を示している。このケースでは、横断壁２２を通っている流体のための第１通路は２つの略平行な入口２３ａを有し、それぞれの入口２３ａが１つの同一の出口２３ｂと流体連通している。この出口２３ｂは上記２つの入口２３ａに対してずれている。

好ましくは、上記２つの入口２３ａは、２つのブラインドキャビティ（即ち、それぞれ底を有する。）によって形成されている。上記２つのブラインドキャビティは、横断壁２２の下側に形成され、下向きに開き、かつ、互いに略平行であり、好ましくは、この装置の軸及び／又は出口２３ｂの軸に対して対称である。出口２３ｂは横断壁２２の上側に画定された上向きに開いたブラインドキャビティによって形成されている。上記３つのキャビティは好ましくは、略円筒状又は断面が少なくとも一部において湾曲しており、非常に好ましくは、それらの軸は互いに略平行である。好ましくは、２つの入口２３ａの通路の断面の合計は出口２３ｂの断面と等しいか近い。

上記２つの入口２３ａは、出口２３ｂと流体連通するためにこの出口２３ｂと横方向に交わる（つまり重なる）ように配置されており、したがって実質的に曲がりくねった流体通路を画定する。このタイプの解決手段は、前述したように、凍結の場合に、流体の体積が軸方向に増大することに由来するリスクを減らすことが可能である。これらの実施形態では、上記入口及び出口のずれ配置は如何なる場合でも、貫通キャビティ１４のダクト部２３ａ-２３ｂに、２つの平行な軸方向延伸部（axial stretches)を存在させる。上記２つの軸方向延伸部の断面寸法は各々、先に説明した実施形態の場合の単一の軸方向延伸部よりも小さいのが有利である。これは特に、容積を小さくし、したがって、凍った流体による膜の方向への膨張及び／又は推力を小さくし、これにより、感応性素子の膜に対する保護機能を向上させるためである。

このタイプの実施形態では、内部圧縮可能部材２０は、図３０に示すように、２つの相互に平行な貫通ダクト２０ａを呈するように、形成することができる。これら貫通ダクト２０ａの出口端は上記２つの入口２３ａと流体連通している。一方、外部圧縮可能部材２１は先に述べたものと同様の構造を有することができ、したがって、対応の貫通ダクト２１ａの入口端は出口２３ｂと流体連通している。もちろん、内部圧縮可能部材２０は、２つの軸方向ダクト２０ａを備える代わりに、断面寸法を大きくした、つまり、何れの場合でも横断壁２２の両方の入口２３ａがその出口端に面するような寸法を有する単一の軸方向ダクト２０ａを備えることができる。そのようなケースが図３６に例示されている。この場合、ダクト２０ａのより大きな断面の存在にも拘わらず、凍った流体による推力は、ダクト２０ａ内の凍った流体の膜方向への膨張及び推力に抗する横断壁２２の通路のない下部によって、反撃され（打ち消され）る。

好ましくは、上記軸方向延伸部の断面寸法の合計は、先に述べた実施形態の場合における単一の軸方向延伸部の寸法以上である。好ましくは、上記２つの入口２３ａの通路の断面合計及び／又は対応するダクト２０ａの断面は、出口２３ｂ及び／又は対応するダクト２１ａの断面以上である。

その他については、図２９-３５及び３６の装置の製造及び操作（作用、動作）はそれぞれ、上述したものと同様である。

図３７−４１は、図２−６の図と同様の図において、本発明に係る装置の更なる実施形態を示している。このケースでは、横断壁２２を通っている流体用の第１通路は、１つの同一の入口２３ａと流体連通している２つの略平行な出口２３ｂを有しており、入口２３ａは上記２つの出口２３ｂに対してずれている。

好ましくは、上記２つの出口２３ｂは、２つのブラインドキャビティによって形成されている。上記２つのブラインドキャビティは、横断壁２２の上側に形成され、下向きに開き、かつ、互いに略平行である。入口２３ａは横断壁２２の下側に画定された上向きに開いたブラインドキャビティによって形成されている。また、このケースでは、上記３つのキャビティは好ましくは、略円筒状又は少なくとも一部において湾曲しており、非常に好ましくは、それらの軸は互いに略平行である。

上記２つの出口２３ｂは、入口２３ａと流体連通するためにこの入口２３ａと横方向に交わるように配置されており、実質的に曲がりくねった流体通路を画定する。

このタイプの実施形態では、外部圧縮可能部材２１は、図３７に示すように、２つの相互に平行な貫通ダクト２１ａを呈するように、形成することができる。これら貫通ダクト２１ａの入口端（inlet ends)は上記２つの出口２３ｂと流体連通している。一方、内部圧縮可能部材２０は先に述べたものと同様の構造を有することができ、したがって、対応の貫通ダクト２０ａの出口端（outlet end)は入口２３ａと流体連通している。もちろん、外部圧縮可能部材２１は、２つの軸方向ダクト２１ａを備える代わりに、断面寸法を大きくした、つまり、いずれにせよ横断壁２２の両方の出口２３ｂがその入口端に面するような寸法を有する単一の軸方向ダクト２１ａを備えることができる。そのようなケースが図４２に例示されている。そこでは、好ましいことに、軸方向ダクト２１ａの断面及び／又は高さは、凍った流体の線形膨張を制限して膜の損傷を防止するように予め定められている。

その他については、図２９-３５及び３６の装置の製造及び作用（操作、動作）はそれぞれ、上述したものと同様である。

図２９-３５及び図３７-４１の実施形態に関して、横断壁２２を通っている流体用第１通路は、少なくとも１つの出口２３ｂと流体連通している３つ以上の入口２３ａを有することが可能である（この場合も部材２０は入口２３ａの数に対応する数のダクトを持つことが可能である。）こと、あるいは、少なくとも１つの入口２３ａと流体連通している３つ以上の出口２３ｂを有することが可能である（この場合も部材２１は入口２３ａの数に対応する数のダクトを持つことが可能である。）ことは、理解できよう。

図４３-５４は、図２，３，６，４，５，８，９，１０−１３と同様の図において、本発明に係る装置の更なる実施形態を示している。

ボディ２の第１部分２ｃには突出環状壁（先に２５で示されたタイプのもの）はない。しかし、圧縮可能ボディ１６の接続部１６ａを受け入れるようになっている、横断壁２２の第２通路はいずれにせよ曲がりくねった経路を画定するような形状に形成されている。

このタイプの実施形態では、第２通路は、都合のよいことに、例えば図１−７に関して説明したように、横断壁２２の入口２３ａと出口２３ｂとを設けるために採用されたのと同じ技術を用いて得ることができる。

様々な実施形態では、特に図４４及び４５から理解され得るように、各第２通路は、互いにずれた２つのブラインドキャビティ２４ａ及び２４ｂ（即ち、それぞれ底を有する。）を含み、これら２つのブラインドキャビティ２４ａ及び２４ｂの軸は好ましくは互いに略平行である。上記２つのブラインドキャビティ２４ａ及び２４ｂは横断壁２２の両側（互いに対向する側）に形成されており、したがって、それぞれ、上向き及び下向きに開いている。上記２つのブラインドキャビティ（これらは必ずしも円筒状ではない。）は、直接接続されて合体するために横方向に交わる（重なる）よう配置されている。この実施形態も、アンダーカット又は凹部がないので、支持ボディ２を成形プラスチック材料の単一ピース（単一体）から作るときは有利であることが分かった。

このようにして得られた通路２４ａ−２４ｂは、曲がりくねった経路を備えた又は互いに対して角度を有する複数の延伸部を備えた、ボディ１６の対応する接続部１６ａの形状部（development)を決定する。

この特徴は図４８−５０から特に理解できるだろう。それらの図では、接続部１６ａが基本的に、略平行であるが中間エリア１６ａ_７で一つに結合された２つの軸方向延伸部１６ａ_５及び１６ａ_６を含んでいる（図４８−５０において、対応する断面平面はボディ１６の軸及びボディ２の軸に対してずれている）。通路２４ａ−２４ｂの構造及びボディ１６の対応する中間部分の構造は図５１−５４に示された断面においても理解できるであろう。

前述の通り、様々な実施形態において、上記横断壁２２の上記少なくとも１つの入口２３ａと上記少なくとも１つの出口２３ｂとを構成する有底キャビティは、互いにずれているが横方向に交差していて、それにより、主に横方向の連絡通路を画定する。これらの連絡通路は、測定中の流体が上記２つのキャビティの間を通ることを可能とする。好ましくは、上記横方向の通路は、上記ずれて配置つまり千鳥配置されたキャビティそれぞれの断面寸法に近いまたはそれより大きい断面寸法を有する。これは特に、流体通過のための適切な横断面を保証するため、例えば、上記千鳥配置（ずれ配置）されたキャビティの通路の部分及び／又は通路全体に関して如何なるチョーキング即ち詰まり（choking)を生じさせないような横断面を保証するためである。同様の検討は、接続部１６ａの材料を収容する通路が２４ａ及び２４ｂで示されたタイプの千鳥配置されたキャビティによって画定される場合にも当てはまる（これは、特に、これらの通路が２４ａ及び２４ｂで示されたタイプの千鳥配置されたキャビティによって画定される場合である）。

このタイプの実施形態も、圧縮可能ボディ１６を構成する材料の押出又は変位から生じる上記リスクをかなり低減することを可能とする。

本発明は、図５５に例示するように、補償部材２０，２１のダクト２０ａ，２１ａと略同軸の位置にある流体用通路２３を横断壁２２が含んでいる場合にも適用できる。図５５において、単一ボディ１６の接続部１６ａのための通路は両方の端領域にステップ、具体的には、突出壁２５によって画定される上ステップと、上記通路の下端にある横断方向つまり径方向の逃げ又は突起によって画定される下ステップとを有する。

一方、図５６，５７に例示するように、１つの補償部材例えば外部部材２１のみをボディ２にオーバーモールド成形することも可能である。この場合、オーバーモールド成形された材料の少なくとも一部分２０’が、ボディ２への固着を強化すべく、横断壁２２の、圧縮可能部材（ここでは部材２１）とは反対側で延びているのが望ましい。しかし、このために、先に２４又は２４ａ−２４ｂによって示された通路などの通路を想定しておくのが都合がよい。図５５のケースでは、横断壁２２は圧縮可能部材２０，２１の貫通ダクト２０ａ，２１ａと軸方向に並んだ通路を画定している。一方、図５７のケースでは、横断壁２２は、前述の実施形態のように、互いにずれている２つの有底キャビティ２３ａ，２３ｂによって画定された通路を有する。

前述の通り、突出壁２５の代わりに、横断壁２２の下流側における貫通キャビティ１４の断面の狭窄又は減少によって、対応するステップを画定してもよい。この種の実施形態が図５８に例示されているが、そこでは、前述の断面減少即ち対応のステップが２５’で示されている。突出壁２５に関して説明したように、このケースでも、ステップ２５’は第２通路２４に重なっており、アンダーカットがないようにするサイズを有する。図５５-５８の実施形態でも、少なくとも１つの第２通路２４の下端に、この第２通路自身の内側に向かって突出するステップ（又は突起又はレリーフ）２８がある。図５５-５８の実施形態等の様々な実施形態では、少なくとも１つの第１のステップ又はレリーフ２５，２５’が、第２通路２４の内側に向かって設けられた少なくとも１つの第２のステップ又はレリーフ２８に対してずれているか又は反対側にあり、且つ／又は、少なくとも１つの入口２３ａ及び少なくとも１つの出口２３ｂが互いにずれると共に互いに並行で、且つ横方向に交わっている。

図１-５８において、単一体で作られ且つ／又はブラインドキャビティを有し、その底が少なくとも１つの感知素子（検出素子 sensing element)と連携する膜部によって形成されたセンサボディを画定するような形状に形成された感応性素子（sensitive element)を用いた装置について本発明を例示した。本発明はいずれにしても、異なる構造の感応性素子を備えた装置においても使用することができる。例えば、センサボディが複数の部分からなり、且つ／又は、キャビティが、キャビティの一部分を画定する別部材として形成された膜部が結合されたセンサ本体によって画定される、装置においても使用することができる。

図５９は、感応性部材が２つの部分からなるボディを有し、別部材として形成されメインボディ５ｂにしっかりと固定された膜５ａを備えた実施形態を例示している。この例では、膜５ａはメインボディ５ｂの略平坦な端面（ここでは下面）に、適切な接着性材料の環状層５ｃを介して固定される。これ自体は公知の概念である。このようにして、メインボディ５ｂと、接着剤層５ｃと、膜５ａとの間に、周方向と二つの軸方向端部において境界が画定されたキャビティＣが形成される。好ましくは、センサのボディの部分５ｂはモノリシック（一体物）で且つ／又は略剛であり、部分５ａは少なくとも一部が柔軟である。代替の実施形態では、例えばWO 2010/134043に記載されているように、ボディ５ｂの下面が凹部を有し、この凹部がキャビティＣの一部を画定している。WO 2010/134043の教示事項は本明細書柱に組み込まれていると考えられる。このようなケースでは、膜はボディの部分５ｂに溶接されてもよいし、あるいは、例示のものよりも薄い接着剤層５ｃを用いてもよい。

キャビティＣは図示の例のように閉じられていてもよい。そして、この構成を有する感応性素子は、絶対的タイプ（この場合、閉鎖されたキャビティＣの中に、既知の正圧又は負圧若しくは真空が存在している。）の圧力センサの製造のために使用される。他の実施形態では、キャビティＣはボディ５ｂに形成された小さな孔を介して環境と流体連通していてもよい。

したがって、これらの構成においては、感応性素子のボディは、互いに接着、溶接又は固定された少なくとも２つのボディ部分５ａ，５ｂを含み、これらの間にキャビティＣが存在する。このタイプの感応性素子においては、（キャビティＣがボディ５ｂの小さなキャビティによって形成されようと、膜５ａを接着するための環状層５ｃの厚さによって形成されようと、）膜５ａと反対側のボディ部分５ｂの厚さが制御用及び／又は補正用及び／又は処理用の電気部品及び／又は電子部品を直接に搭載することを可能とするような厚さとなるように、キャビティＣの深さは概して控えめ（浅め）（modest)である。変形検出素子６の少なくとも一部は、膜５ａの内側と、したがって、流体から保護された位置において連携（結合）している。このケースでも、上記実施形態のように、弾性コンタクト１０を使用することができる。これらのコンタクト１０は、端子１１とボディ部分５ｂの上面に設けられた導電性パッド又は導電性経路との間に延びている。

このタイプの様々な実施形態において、感応性素子のための弾性支持及びボディ２の上面と膜５ａとの間の軸方向タイプのシールを提供するよう、支持ボディ２と膜５ａとの間（又は、膜５ａの直径が図示の例の場合よりも小さい場合には、ボディ２の上面とボディ５ｂの下面との間）に、シーリング部材１７が設置されている。様々な実施形態において、このシーリング部材１７は、外部補償部材２１が位置しているエリアを取り囲んでいる。

このタイプの様々な実施形態において、補償部材２１は一種のディスク又はプレートを構成しており、好ましくは、それの下面全体がボディ２の上面に載置されている。図５９から同様に分かるように、様々な実施形態において、シーリング部材１７は、支持ボディ２に対して、補償部材２１の高さを超える高さまで延びている。このようにして、支持ボディ２の上面と、感応性素子（ここでは膜５ａによって表されている）の下面と、シーリング部材１７とで、感知室を画定しており、その感知室の内部の膜５ａから離間して膜５ａに大体向かい合う位置に部材２１が配置されている。

このタイプの実施形態では、シーリング部材１７が少なくとも部分的に弾性補償部材又は圧縮可能補償部材として作用することは理解されよう。

また、図５９について例示したタイプの解決手段においても、流体用通路２３ａ-２３ｂ及び補償部材２０及び２１間の少なくとも１つの接続部１６ａの材料用通路２４に関して前述した特徴を実現できる。

例えば、このケースでも、支持ボディ２は、貫通キャビティ１４を横断する壁２２の存在によって識別される部分２ｃを有する。それは、図１−５９に示された実施形態の場合よりも厚く、ここでは、それはボディ２の上面の一部を画定している（しかし、それは、貫通キャビティ１４の中間位置に在り得る。）

図示の例において、横断壁２２の中央エリアに少なくとも１つの流体用通路が画定されており、対応する入口部２３ａ及び出口部２３ｂ（これらは前述のいずれかの態様によって提供することが可能である）が補償部材２０，２１の貫通ダクト２０ａ，２１ａとそれぞれ流体連通している。追加的に又は代替的に、壁２２にはオーバーモールド成形された圧縮可能ボディ１６の接続部１６ａが占拠することになる通路２４が画定されている。これらの通路２４及び接続部１６ａも前述のいずれかの態様に従って得ることができる。

さらに、検出中の流体用として設計される第１通路及び圧縮可能ボディ１６の中間接続部を収容するよう設計される第２通路を提供するために提案された様々な特徴及び／又は解決法は、様々に組み合わせることができる。例えば、図１９−２８に示すようなステップ２８を含む壁２２の構造を、前述した実施形態の全てに使用してもよい。また、図４３−４５に示したような対向し且つずれている２つのブラインドキャビティ２４ａ，２４ｂによって第２通路が形成された壁２２の構造を、前述した実施形態の全てに使用してもよい。

図１４−１７の装置は図１−１３の実施形態と組み合わせて例示されたが、同じタイプの装置を、当業者には自明の適合化を施した上で、それ以外の前述の様々な実施形態に係る圧力センサ装置を製造するために使用してもよいことは明らかである。さらに、上記装置を厳密な意味でのオーバーモールド成形プロセスと組み合わせて説明したが、前述の通り、本発明は、当業者にはそれ自体自明の概念の技術と装置を用いての一体成形プロセスによっても実現できる。

以上の説明から、本発明の特徴及び利点がはっきりと現れる。

例として説明した装置に対して、当業者によって、本発明の範囲を逸脱することなく多くの変更がなされてもよいことは明らかである。既に述べた通り、上記更なる変更を実現する目的のために、異なる種々の実施形態に関して述べた特徴の１以上を適切な方法で組み合わせることができる。

補償部材２０及び／又は２１は略円筒若しくは円錐台形状又は管状若しくは環状形状を有するのが好ましいが、これは、補償部材２０，２１の少なくとも一方又は両方がプリズム形状又は多面体形状、例えば、略三角形，四角形、五角形、六角形等の断面を持ち恐らくは丸まった角を有する形状等を有し得る限りは、必須の特徴を構成しない。

上記部材２０，２１の一方又は両方のダクト２０ａ，２１ａは、（圧縮可能部材によって全体が画定される貫通ダクトによって形成される代わりに、）少なくとも一部がこの圧縮可能部材の表面輪郭と支持ボディ２の表面輪郭との間に画定されてもよい。例えば、圧縮可能部材２０及び／又は２１は、少なくとも１つの表面溝を有し、この表面溝が貫通キャビティ１４の内面と共に、対応するダクトの少なくとも一部を構成してもよい。あるいは逆に、貫通キャビティ１４の内面が少なくとも１つの表面溝を有し、この表面溝が圧縮可能部材２０及び／又は２１の表面と共に、対応するダクトを構成してもよい。あるいはまた、圧縮可能部材２０及び／又は２１と貫通キャビティ１４との両方が、互いに対向するそれぞれの溝を有するか、連結合体されてダクトの少なくとも一部及び／又は通路１５の少なくとも一部を形成してもよい。この種の実施形態を図６０に概略的に示す。この図は、図５９に示したものと同タイプの装置１を示しているが、以下に記載する特徴の１以上を、図１−５８を参照して説明したタイプの装置にも適用してもよい。

図６０に示したケースでは、装置１は補償部材２０，２１を画定する圧縮可能ボディを含んでいる。これの周面には、略軸方向に延びる１以上の凹部又は溝又はチャネル２０ａ’及び２１ａ’が設けられている。上記溝２０ａ’及び２１ａ’はボディ２の貫通キャビティ１４の対応する表面部分と共に、流体のための通路１５のそれぞれの部分を画定する。

このケースでは、壁２２は、流体のための入口２３ａ及び出口２３ｂを有する流体のための１以上の第１通路を形成する。入口２３ａ及び出口２３ｂはそれぞれ、溝２０ａ’の出口端及び溝２１ａ’の入口端と流体連通している。このケースにおいても、入口２３ａ及び出口２３ｂは、既に説明した理由により、互いに対してずれている。

横断壁２２も、１以上の対応する第２通路を画定している。これらの通路は、ボディ１６の少なくとも１つの中間部分１６ａを収容するためのものである。上記中間部分１６ａは２つの圧縮可能部材２０及び２１を接続する。好ましくは、このケースにおいても、前述した目的のために、通路２４はステップ又は突起又はレリーフを画定するような形状となっている。

既述の通り、図６０の実施形態に代替する実施形態においては、ボディ２の貫通キャビティ１４の内面に、例えば、図６０において２０ａ’及び２１ａ’によって表される溝の位置に対応する位置に、圧縮可能部材２０及び／又は２１の外面と共に流体用の通路の一部を画定するように、凹部又は溝又はチャネルが形成されている。

図６０はまた、様々な実施形態において、１以上の第１通路２３ａ-２３ｂが、壁２２の、１以上の通路２４に対して周辺の位置又は偏心した位置に形成されている様子を示している。

さらに、感応性素子５が、間にキャビティＣを画定する複数の部分５ａ，５ｂから構成されるボディを有する実施形態でも、貫通キャビティ１４（即ち、これを画定するボディ）は、横断壁２２の下流側に、上部圧縮可能部材２１の少なくとも一部のための収容部分２６を提供するような形状に形成されるのが都合よい。

同様に、図６０は、可能な実施形態において、メインボディ５ｂと対応する膜５ｂとの間に形成される感応性部材５のキャビティＣが、（一般に「絶対」圧センサと言われているタイプの圧力センサを示す図５９の場合などのように）必ずしも外部環境から分離されている必要は無いことを示している。

事実、図６０に例示されたケースでは、基準圧力（ここでは環境圧力）が得られるよう、そしてそれにより、一般に「相対」圧センサと言われるタイプの圧力センサを提供するよう、感応性素子５のボディ５ｂは、キャビティＣの内部を外部環境に連通するよう設計された通路５ｂ’を有する。例示のケースでは、通路５ｂ’はキャビティＣを収容構造２，３の内部の環境と連通させる。そして、この収容構造はケーシングボディ２，３の通路を介して外部に連通する。そのような通路は、他の様々な実施形態にもあるが、図６０のみに３ｂで示されている。さらに、例示のケースでは（図５９に例示された装置とは異なり）、ボディ５ｂはその下部が小さな凹部（図示せず）を形成するような形状になっており、従って図５９のケースよりも僅かに大きい容積を有するキャビティＣの存在を確定する。

もちろん、図６０を参照して記載された特徴の１以上は、圧縮可能部材２０又は圧縮可能部材２１の一方のみを、又は別部材として形成された２つの部材２０及び２１を含む装置の場合にも適用することができる。

独立して発明性のある様々な実施形態において、即ち２２によって示されたタイプの横断壁の非存在下で、圧力センサ装置は、ケーシングボディの少なくとも一部とオーバーモールド成形又は一体成形された圧縮可能ボディ（ボディ１６，又は２０又は２１等）２との間の構造的又は化学的結合の形成即ち改善された接着性に適した手段を備えるか、その手段を想定している。上記改善された接着性は、好ましくは、
当該２つの部材のために、化学的及び／又は構造的に互いに適合性のある材料を用いて（例えば、２で示されたタイプのボディは少なくとも一部がポリアミドＰＡ又はポリフタルアミドＰＰＡで作ることができ、１６又は２０又は２１で示されたタイプの圧縮可能ボディは少なくとも一部がシリコーン又はシリコーンエラストマー又はシリコーンゴムで作ることができる）、且つ／又は、
上記２つの部材の少なくとも一方（例えばボディ２）の上に他方の部材（例えば圧縮可能ボディ１６）を成形する前に、上記２つの部材の少なくとも一方の表面部分に統合され又は供給される接着促進剤（プライマ）を用いて、
得られる

それ自体発明性のある様々な実施形態において、支持ボディ２及び圧縮可能ボディ１６又は２０又は２１のうちの少なくとも一方の材料は、支持ボディ２及び圧縮可能ボディ１６又は２０又は２１のうちの他方の材料との接着又は化学的結合（例えば、共有結合又はイオン性又はイオン架橋結合）に有利に働くようにデザインされた促進剤を備え又は統合している。例えば、２で示された前述のタイプのボディは、少なくとも部分的に、ポリアミドＰＡ又はポリフタルアミドＰＰＡで作ることができ、１６又は２０又は２１で示されたタイプの圧縮可能ボディは少なくとも部分的に、シリコーン又はシリコーンエラストマー又は又はシリコーンゴムで作ることができる。このタイプの構成を図６１及び図６２に概略的に示す。図中、小さい円は前述の化学的又は構造的結合を表している。この例では、交わった円の対は共有結合を表し、反対の極性を持って向かい合っている円の対はイオン結合及び／又はイオン架橋（ion-bridge)結合を表す。図示の例では、貫通キャビティ１４の表面即ちボディ２とボディ１６とのインターフェース面（界面、接触面）がボディ１６（図６２の場合は、部材２０）との化学的結合を提供する。さらに図６２は加圧流体による圧縮可能ボディ１６又は２０への推力（スラスト）の場合に焦点を当てており、図中、
鉛直方向又は軸方向の矢印によって表されるベクトルは、圧縮可能部材１６（又は２０）をキャビティ１４の略軸方向に感応性部材５に向けて移動させ、変形させる傾向にある流体の推力を模式的に表しており、
ボディ２及び１６（又は２０）間の界面に対して半径方向である水平方向の矢印によって表されるベクトルは、上記化学的結合の力を模式的に表している。この化学的結合の力はボディ２及び１６（又は２０）の表面を互いに対して固定された状態に維持する傾向にあり、したがって、流体の推力下での感応性部材５方向への圧縮可能ボディの変形及び／又は押出に対抗する。

それ自体発明性のある他の実施形態では、支持ボディ２の材料と圧縮可能ボディ１６又は２０又は２１の材料との間に接着促進剤の材料又は物質がある。これは、薄い、好ましくは１μｍ〜２０μｍの中間層を形成している。この中間層は、上記２つの材料を接着させる、つまり、一側では支持ボディ２の材料（例えばＰＡ又はＰＰＡ）に対して、もう一方の側では圧縮可能ボディ１６又は２０又は２１の材料（例えば、シリコーン、シリコーンゴム、又はシリコーンエラストマー）に対して、化学的結合を生じさせるという目的を有する。このタイプの構成を図６３に概略的に示す。図中、この場合も交わった小円の対又は向かい合った小円の対によって模式的に表されている化学的又は構造的結合は、
一側においては接着促進剤の層Ｐｒとボディ２の材料との間に、そして、
他側においては接着促進剤の層Ｐｒとボディ１６（又は２０）の材料との間に、
提供される。（表示をより明確にするために、層Ｐｒの厚さを意図的に厚くしている。）

図６３に模式的に示されたタイプの構成において、上記化学的結合の力は、ボディ２の表面（特に、貫通キャビティ１４の表面）と対応する材料層Ｐｒの第１表面とを固着状態に維持すると共に、材料層Ｐｒの（上記第１表面と反対側の）第２表面とボディ１６（又は２０）の表面とを固着状態に維持する傾向にある。このようにして、上記化学的結合の力は、流体によって圧縮可能ボディ１６（又は２０）に及ぼされる軸方向の力又は剪断力に抗し、したがって、図６２に模式的に表すように、感応性部材５方向への圧縮可能ボディの変形及び／又は押出に抗する。

明らかに、図６１−６３を参照して上述した発明思想は、横断壁の表面及び／又は通路２４（突出壁２５又は２５’を含む）の表面及び／又は圧縮可能ボディ１６の接続部１６ａの表面及び／又は対応する圧縮可能部材２１の表面に関しても適用できる。

図示されていない変形例によれば、上記少なくとも１つの入口２３ａ及び上記少なくとも１つの出口２３ｂは、ジグザグ状通路（staggered passages)及び／又は曲がりくねった経路を画定するような形状に形成された通路を備えることができる。これらは図面で例示された部分とは異なる支持ボディ２の部分に形成される。この目的のために、ボディ２の部分２ｃ及び横断壁２２に関して好ましいものとして前述したことは、ボディ２の他の領域にも言及しているものとして理解されねばならない。

あり得る変形実施形態（図示せず）において、内部圧縮可能部材と外部圧縮可能部材との間の接続部を形成する材料を収容する通路は、流体のための１以上の通路に対して、支持ボディの貫通キャビティを横断する壁の略中央領域に形成される。

上記実施形態に関して概要説明した個々の特徴は、他の実施形態と組み合わせてもよい。例えば、モノリシックのセンサボディを有する感応性素子を備えた装置について図１−５８の例を参照して説明した特徴を組み合わせ、且つ／又は、適合化して、図５９−６０を参照して記載したタイプの複数の部分からなるセンサボディを有する感応性素子を備えた装置を得るようにしてもよい。

Claims (15)

1. 弾性変形可能な膜部（５ａ）を含むセンサボディ（５；５ａ，５ｂ，５ｃ）と、上記弾性変形可能な膜部（５ａ）の変形を検出するのに適した少なくとも１つの検出素子（６）とを有する感圧部（５，５ａ，６；５ａ，５ｂ，５ｃ，６）と、
   圧力が検出される流体のための少なくとも１つの通路（１５）を有する、上記感圧部（５，５ａ，６；５ａ，５ｂ，５ｃ，６）の収容又は支持構造（２，３）と
   を備え、
   上記収容又は支持構造（２，３）は、
   少なくとも１つの貫通キャビティ（１４）を有する収容又は支持ボディ（２）を備え、この収容又は支持ボディ（２）に対して、上記センサボディ（５；５ａ，５ｂ，５ｃ）は、その弾性変形可能な膜部（５ａ）が上記少なくとも１つの通路（１５）から出ていく流体に曝されるように配置されており、そして、
   上記流体の体積の変化を補償するように構成された圧縮可能ボディ（１６）を備え、
   上記収容又は支持ボディ（２）は、上記貫通キャビティ（１４）の横断壁（２２）を備えた第１ボディ部分（２ｃ）を有し、上記横断壁（２２）には上記流体のための通路（１５）に属する少なくとも１つの第１通路（２３ａ−２３ｂ）が画定されており、
   少なくとも１つの第２通路（２４；２４ａ−２４ｂ）が上記横断壁（２２）に画定されており、上記圧縮可能ボディ（１６）は、上記収容又は支持ボディ（２）に対してオーバーモールド成形又は一体成形された部材であって、上記横断壁（２２）の両側に対応する位置で延びる互いに対向する部分（２０，２１；２０’，２１）を有し、上記対向する部分は、上記少なくとも１つの第２通路（２４；２４ａ−２４ｂ）を通って延びている上記圧縮可能ボディ（１６）の少なくとも１つの中間部分（１６ａ）を介して互いに接続されており、
   上記第１ボディ部分（２ｃ）は、
   上記圧縮可能ボディ（１６）の上記少なくとも１つの中間部（１６ａ）の断面減少部を画定するように構成された、上記少なくとも１つの第２通路（２４；２４ａ−２４ｂ）の断面狭窄部と、
   全体的に曲がりくねっているか、又は、互いに対して実質的に角度をなしている複数の延伸部（stretches)を備えた、上記圧縮可能ボディ（１６）の上記少なくとも１つの中間部（１６ａ）の形状部と
   のうちの少なくとも一方を決定する少なくとも１つのステップ又は突起又はレリーフ（２５’，２８）を画定するように形成されていることを特徴とする圧力センサ装置。
2. 上記圧縮可能ボディ（１６）は、
   上記横断壁（２２）の上流側で上記収容又は支持ボディ（２）の貫通キャビティ（１４）内に、特に、それと接触して、少なくとも部分的に設置された第１圧縮可能部材（２０）であって、入口端と出口端とを有する、上記流体のための少なくとも１つのダクト（２０ａ；２０ａ’）を少なくとも部分的に画定する第１圧縮可能部材（２０）と、
   上記横断壁（２２）の下流側に、特に、それと接触して設置されており、上記センサボディ（５；５ａ，５ｂ，５ｃ）の上記弾性変形可能な膜部（５ａ）に対面する上面を有する第２圧縮可能部材（２１）であって、入口端と出口端とを有する、上記流体のための少なくとも１つのダクト（２１ａ；２１ａ’）を少なくとも部分的に画定する第２圧縮可能部材（２１）と
   のうちの少なくとも１つを画定する、請求項１に記載の装置。
3. 上記圧縮可能ボディ（１６）は単一のピースで上記第１圧縮可能部材（２０）及び上記第２圧縮可能部材（２１）を画定しており、これらの圧縮可能部材は少なくとも１つの中間部分（１６ａ）を介して互いに接続されている、請求項２に記載の装置。
4. 上記第１ボディ部分（２ｃ）は、
   上記横断壁（２２）の下流側にあり、上記貫通キャビティ（１４）の内部へと延びて少なくとも部分的に上記少なくとも１つのステップを画定する、上記貫通キャビティ（１４）の少なくとも１つの突出壁又は片持ち壁（２５）と、
   上記横断壁（２２）の下流側にあり、少なくとも部分的に上記少なくとも１つのステップ（２５’）を画定する、上記貫通キャビティ（１４）の少なくとも１つの断面狭窄部と
   のうちの少なくとも１つを備える、請求項１乃至３のいずれか１つに記載の装置。
5. 上記第１ボディ部分（２ｃ）は、
   上記少なくとも１つの第２通路（２４）の少なくとも１つの端領域において、少なくとも１つのステップ又は突起又はレリーフ（２５’，２８）を画定するように形成されている、且つ／又は
   上記少なくとも１つの第２通路（２４）の両端領域において、少なくとも２つのステップ又は突起又はレリーフ（２５’，２８）を画定するように形成されている、請求項１乃至４のいずれか１つに記載の装置。
6. 上記少なくとも１つの第２通路（２４ａ−２４ｂ）は、底を有する第１キャビティ（２４ａ）と底を有する第２キャビティ（２４ｂ）とを備え、これらのキャビティは上記横断壁（２２）の両側に画定され、横方向に互いに交わるように形成されている、請求項１乃至５のいずれか１つに記載の装置。
7. 上記流体のための通路（１５）は上記圧縮可能ボディ（１６）によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも１つのダクト（２０ａ，２１ａ；２０ａ’，２１ａ’）を備え、
   上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）は、上記圧縮可能ボディ（１６）によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも１つのダクト（２０ａ，２１ａ；２０ａ’，２１ａ’）と流体連通している、上記流体のための少なくとも１つの入口（２３ａ）及び上記流体のための少なくとも１つの出口（２３ｂ）を有し、
   上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の上記少なくとも１つの入口（２３ａ）及び上記少なくとも１つの出口（２３ｂ）は上記流体のための曲がりくねった経路を画定するように配置されており、上記少なくとも１つの入口（２３ａ）及び上記少なくとも１つの出口（２３ｂ）は、特に、横方向にずれた位置に配置されている、請求項２乃至６のいずれか１つに記載の装置。
8. 上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の上記少なくとも１つの入口（２３ａ）は、上記第１圧縮可能部材（２０）によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも１つのダクト（２０ａ）と流体連通しており、且つ／又は
   上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の上記少なくとも１つの出口（２３ｂ）は、上記第２圧縮可能部材（２１）によって少なくとも部分的に画定される上記少なくとも１つのダクト（２１ａ）の入口端と連通している、請求項２又は７に記載の装置。
9. 上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）は、少なくとも１つの入口（２３ａ）及び少なくとも１つの出口（２３ｂ）を有し、上記少なくとも１つの入口（２３ａ）及び少なくとも１つの出口（２３ｂ）は、それぞれ底を有する第１キャビティ及び第２キャビティを備え、これら第１キャビティ及び第２キャビティは上記横断壁（２２）の両側に画定され、横方向に互いに交わるように形成されている、請求項２乃至８のいずれか１つに記載の装置。
10. 上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の上記少なくとも１つの入口（２３ａ）は第１入口（２３ａ）及び第２入口（２３ａ）を備え、上記第１入口（２３ａ）及び上記第２入口（２３ａ）は互いにずれていると共に上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の１つの同一の出口（２３ｂ）と流体連通しており、該出口（２３ｂ）は上記第１入口（２３ａ）及び上記第２入口（２３ａ）に対してずれており、又は、
    上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の上記少なくとも１つの出口（２３ｂ）は第１出口（２３ｂ）及び第２出口（２３ｂ）を備え、上記第１出口（２３ｂ）及び上記第２出口（２３ｂ）は互いにずれていると共に上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の１つの同一の入口（２３ａ）と流体連通しており、該入口（２３ａ）は上記第１出口（２３ｂ）及び上記第２出口（２３ｂ）に対してずれている、請求項７乃至９のいずれか１つに記載の装置。
11. 上記第１圧縮可能部材（２０）の上記少なくとも１つのダクトは２つのダクト（２０ａ）を備え、これら２つのダクトの出口端は上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の第１入口（２３ａ）及び第２入口（２３ａ）とそれぞれ流体連通しており、又は、
    上記第２圧縮可能部材（２１）の上記少なくとも１つのダクトは２つのダクト（２１ａ）を備え、これら２つのダクトの入口端は上記少なくとも１つの第１通路（２３ａ-２３ｂ）の第１出口（２３ｂ）及び第２出口（２３ｂ）とそれぞれ流体連通している、請求項２又は１０に記載の装置。
12. 上記横断壁（２２）は、
    上記流体のための複数の上記第１通路（２１ａ’）と、
    上記圧縮可能ボディ（１６）のそれぞれの中間部分（１６ａ）が貫通している複数の上記第２通路（２４；２４ａ−２４ｂ）と
    のうちの少なくとも一方を画定している、請求項１乃至１１のいずれか１つに記載の装置。
13. 上記第２圧縮可能部材（２１）を備え、上記貫通キャビティ（１４）は、上記横断壁（２２）の下流に、上記第２圧縮可能部材（２１）が少なくとも部分的に収容される収容部分を画定するように形成されている、請求項２乃至１２のいずれか１つに記載の装置。
14. 上記貫通キャビティ（１４）は、上記少なくとも１つの圧縮可能部材を保持する機能を遂行する１以上のレリーフ（２７）を画定するように形成された周面を有する、請求項１乃至１３のいずれか１つに記載の装置。
15. 上記収容又は支持構造（２）の少なくとも一部と上記少なくとも１つの圧縮可能部材（２０，２１）の少なくとも一部との間に接着又は結合を生じさせる手段を備え、好ましくは、
    上記収容又は支持ボディ（２）と上記少なくとも１つの圧縮可能部材（２０，２１）とのうちの少なくとも一方の少なくとも１つの表面部の材料は、上記収容又は支持ボディ（２）と上記少なくとも１つの圧縮可能部材（２０，２１）とのうちの他方の少なくとも１つの表面部の材料と化学的及び／又は構造的に適合しており、且つ／又は
    上記収容又は支持ボディ（２）と上記少なくとも１つの圧縮可能部材（２０，２１）とのうちの少なくとも一方の少なくとも１つの表面部の材料は、上記収容又は支持ボディ（２）と上記少なくとも１つの圧縮可能部材（２０，２１）とのうちの他方の少なくとも１つの表面部の材料との上記接着又は結合を容易にするのに適したプライマを備えるか統合しており、且つ／又は
    上記収容又は支持ボディ（２）の材料と上記少なくとも１つの圧縮可能部材（２０，２１）の材料との間に上記接着又は結合を容易にするのに適したプライマの層が配置されている、請求項１乃至１４のいずれか１つに記載の装置。

Images