JP6920035B2 - 調芯方法および調芯装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 29
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 11
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 30
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 20
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 15
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 14
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000005338 frosted glass Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
発光素子から出射したレーザー光が、レンズを通ってスクリーン上に投影されるように発光素子、レンズ、およびスクリーンを配置する配置工程と、
発光素子の光軸方向に、発光素子またはレンズを移動させると共に、発光素子とレンズとの間の相対距離を測定する測定工程と、
相対距離に対応して、スクリーンの上に投影されたレーザー光の投影像を取得する撮像工程と、
投影像の形状および強度を解析して、スクリーン上でコリメータ光が得られる相対距離を特定する解析工程と、を含むことを特徴とする調芯方法である。
発光素子を固定する第1ステージと、レンズを固定する第2ステージと、スクリーンとが、発光素子から出射したレーザー光が、レンズを通ってスクリーン上で投影像となるように配置され、
更に、撮像装置は、第1ステージまたは第2ステージを測定開始から終了までステージを停止させずに移動させ、発光素子とレンズとの相対距離を変えながら投影像を取得し、
投影像の形状および強度を解析して、スクリーン上でコリメータ光が得られる相対距離を特定することを特徴とする調芯装置である。
図1は、全体が100で表される、本発明の実施の形態1にかかる調芯装置の構成の概略図である。調芯装置100は、レーザー光源ASSY(以下、単に「レーザー光源」という。)3に対してレンズ7を調芯して固定することを目的とする装置であり、調芯した状態でレーザー光源3にレンズ7が接着剤で接合されて半導体レーザーモジュールが作製される。
図6は、全体が200で表される、本発明の実施の形態2にかかる調芯装置の構成の概略図である。図6中、図1と同一符号は、同一または相当箇所を示す。調芯装置200では、調芯装置100がスクリーン11に投影された投影像を撮影するのに対し、レーザー光源3からレンズ7を介して出力されるレーザー光50を直接パワーメータ40に投影し、その強度をパワーメータ40により取得して、最適な調芯位置を決定して調芯する。調芯装置200の他の構成は、実施の形態1にかかる調芯装置100と同一である。
Claims (9)
- 発光素子から出射したレーザー光がレンズを通ってコリメートされるレーザーモジュールの調芯方法であって、
該発光素子から出射した該レーザー光が、該レンズを通ってスクリーン上に投影されるように該発光素子、該レンズ、および該スクリーンを配置する配置工程と、
該発光素子の光軸方向に、該発光素子または該レンズを移動させると共に、該発光素子と該レンズとの間の相対距離を移動量信号に基づいて測定する測定工程であって、上記発光素子を固定した第1ステージ、または上記レンズを固定した第2ステージのいずれか一方を、測定開始から終了までステージを停止させずに移動させる工程と、
該相対距離に対応して、該スクリーンの上に投影された該レーザー光の投影像を取得する撮像工程と、
該投影像の形状および強度を解析して、該スクリーン上でコリメータ光が得られる該相対距離を特定する解析工程と、を含むことを特徴とする調芯方法。 - 発光素子から出射したレーザー光がレンズを通ってコリメートされるレーザーモジュールの調芯方法であって、
該発光素子から出射した該レーザー光が、該レンズを通ってパワーメータ上に投影されるように該発光素子、該レンズ、および該パワーメータを配置する配置工程と、
該発光素子の光軸方向に、該発光素子または該レンズを移動させると共に、該発光素子と該レンズとの間の相対距離を移動量信号に基づいて測定する測定工程であって、上記発光素子を固定した第1ステージ、または上記レンズを固定した第2ステージのいずれか一方を、測定開始から終了までステージを停止させずに移動させる工程と、
該相対距離に対応して、該パワーメータの上に投影された該レーザー光の投影像を取得する撮像工程と、
該投影像の形状および強度を解析して、該パワーメータ上でコリメータ光が得られる該相対距離を特定する解析工程と、を含むことを特徴とする調芯方法。 - 上記撮像工程は、上記投影像を所定の間隔で取得する工程である請求項1または2に記載の調芯方法。
- 上記所定の間隔は、上記発光素子および/または上記レンズの特性に応じて選択される請求項3に記載の調芯方法。
- 上記解析工程は、2次元方向への広がりが最も小さく、かつコントラストが最も大きい上記投影像を選択し、該投影像に対応する上記相対距離を特定する工程である請求項1〜4のいずれかに記載の調芯方法。
- 上記測定工程の前に、上記発光素子または上記レンズを、上記光軸方向に第1速度で移動させて、上記撮像工程を行う上記相対距離の範囲を絞り込む工程を含み、
上記測定工程は、該第1速度より遅い第2速度で該発光素子または該レンズを移動させる工程であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の調芯方法。 - 上記配置工程は、上記発光素子の光軸と上記レンズの光軸とをあわせるパッシブアライメント工程である請求項1〜6のいずれかに記載の調芯方法。
- 発光素子から出射したレーザー光がレンズを通ってコリメートされるレーザーモジュールの調芯装置であって、
該発光素子を固定する第1ステージと、該レンズを固定する第2ステージと、スクリーンとが、該発光素子から出射したレーザー光が、該レンズを通って該スクリーン上で投影像となるように配置され、
前記第1ステージと前記第2ステージとの相対距離を移動量信号に基づいて測定する移動量検出装置を備え、
更に、撮像装置は、該第1ステージまたは該第2ステージを動かした状態で、該発光素子と該レンズとの相対距離を変えながら該投影像を取得し、
該投影像の形状および強度を解析して、該スクリーン上でコリメータ光が得られる該相対距離を特定することを特徴とする調芯装置。 - 発光素子から出射したレーザー光がレンズを通ってコリメートされるレーザーモジュールの調芯装置であって、
該発光素子を固定する第1ステージと、該レンズを固定する第2ステージと、パワーメータとが、該発光素子から出射したレーザー光が、該レンズを通って該パワーメータ上で投影像となるように配置され、
前記第1ステージと前記第2ステージとの相対距離を移動量信号に基づいて測定する移動量検出装置を備え、
該パワーメータは、該第1ステージまたは該第2ステージを動かした状態で、該発光素子と該レンズとの相対距離を変えながら該投影像を取得し、
該投影像の形状および強度を解析して、該パワーメータ上でコリメータ光が得られる該相対距離を特定することを特徴とする調芯装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016166688A JP6920035B2 (ja) | 2016-08-29 | 2016-08-29 | 調芯方法および調芯装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016166688A JP6920035B2 (ja) | 2016-08-29 | 2016-08-29 | 調芯方法および調芯装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018037438A JP2018037438A (ja) | 2018-03-08 |
JP6920035B2 true JP6920035B2 (ja) | 2021-08-18 |
Family
ID=61565978
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016166688A Active JP6920035B2 (ja) | 2016-08-29 | 2016-08-29 | 調芯方法および調芯装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6920035B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112379570B (zh) * | 2020-11-25 | 2022-05-03 | 东莞埃科思科技有限公司 | 一种投影机装调方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08297229A (ja) * | 1995-04-26 | 1996-11-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光モジュール光軸調整装置 |
US5963577A (en) * | 1997-04-11 | 1999-10-05 | Blue Sky Research | Multiple element laser diode assembly incorporating a cylindrical microlens |
JP2003107308A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Fujitsu Quantum Devices Ltd | 発光素子と集光系光学部品の位置決め方法とその位置決め装置 |
JP2006337923A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Sony Corp | 光源、製造方法、光学装置、画像生成装置、および画像表示装置 |
JP5943657B2 (ja) * | 2012-03-15 | 2016-07-05 | 株式会社日立情報通信エンジニアリング | 光学部品の高精度調芯方法及び高精度調芯装置 |
JP5868335B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2016-02-24 | 三菱電機株式会社 | 調芯方法 |
JP6136315B2 (ja) * | 2013-02-04 | 2017-05-31 | 住友電気工業株式会社 | 光送信モジュールの製造方法 |
-
2016
- 2016-08-29 JP JP2016166688A patent/JP6920035B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018037438A (ja) | 2018-03-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Request for written amendment filed |
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