JP6914477B2 - 流体圧シリンダ - Google Patents

Description

本発明は、圧力流体の供給及び排出に基づきピストンを変位させる流体圧シリンダに関する。

流体圧シリンダは、シリンダ孔を有するシリンダチューブと、シリンダ孔に移動可能に収容されるピストンと、ピストンに固定されるピストンロッドと、ピストンロッドの端部に連結されるエンドプレートとを備える（特許文献１参照）。この流体圧シリンダは、シリンダチューブのヘッド側シリンダ室に圧力流体が供給され、ロッド側シリンダ室から圧力流体が排出されることで、ピストン、ピストンロッド及びエンドプレートを進出させる。逆に、流体圧シリンダは、ロッド側シリンダ室に圧力流体が供給され、ヘッド側シリンダ室から圧力流体が排出されることで、ピストン、ピストンロッド及びエンドプレートを後退させる。

特開平９−３０３３１８号公報

ところで、この種の流体圧シリンダは、実際の使用時に電磁弁が接続されて電磁弁の動作下に、ロッド側シリンダ室又はヘッド側シリンダ室への圧力流体の供給／排出を切り換える。例えば、特許文献１に開示の流体圧シリンダは、電磁弁と、この電磁弁が接続される圧力流体の流路切換用のサブベースとが、シリンダチューブの表面（側面）に取り付けられる。

しかしながら、流体圧シリンダは、シリンダチューブの表面に電磁弁等が取り付けられることで、製品提供時の形態と比べて大型化した状態で使用されることになる。このため、ユーザは、流体圧シリンダの設置時に、他のデバイスとの関係でスペースを確保するのに苦慮する可能性がある。また、流体圧シリンダに電磁弁等を取り付ける作業に手間がかかるという不都合も生じる。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、簡単な構成によって、使用時における大幅な省スペース化と、使用性の向上とを図ることができる流体圧シリンダを提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明の一態様は、一組のシリンダ孔を有するボディと、前記一組のシリンダ孔の各々に移動可能に収容される一組のピストンと、前記一組のピストンの各々に固定される一組のピストンロッドと、前記一組のピストンロッドの端部に連結されるエンドプレートとを備える流体圧シリンダであって、前記ピストンは、収容される前記シリンダ孔をヘッド側シリンダ室とロッド側シリンダ室に区画し、前記ボディは、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室への圧力流体の供給と、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室からの前記圧力流体の排出を切り換える電磁弁を備え、前記電磁弁は、前記ボディの表面よりも内側に設置されると共に、前記一組のシリンダ孔の間に設けられ、前記電磁弁と前記一組のシリンダ孔は、前記一組のシリンダ孔が並ぶ方向に沿って見た前記ボディの側面視で、相互に重なり合っている。

上記の流体圧シリンダは、ヘッド側シリンダ室又はロッド側シリンダ室からの圧力流体の供給／排出を切り換える電磁弁を備えることで、流体圧シリンダの実際の使用時に、電磁弁を改めて装着する必要がなくなる。また、ボディの表面よりも内側に電磁弁が配置されるため、流体圧シリンダは、実際の使用時に、システム全体として大型化することがなく、ユーザは設置の設計等を良好に行うことができる。すなわち、流体圧シリンダは、簡単な構成によって、使用時における大幅な省スペース化と、使用性の向上とを図ることができる。

本発明の一実施形態に係る流体圧シリンダを示す斜視図である。 流体圧シリンダを基端方向から見た図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。 図２のＩＶ−ＩＶ線断面図である。 図２のＶ−Ｖ線断面図である。 図６Ａは、スプールが第１位置に配置された場合の圧力流体の流動を示す説明図である。図６Ｂは、スプールが第２位置に配置された場合の圧力流体の流動を示す説明図である。

以下、本発明について好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。

本発明の一実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、図１に示すように、６つの面（表面）を有する直方形状のボディ１２を備える。なお、以下の説明では、図１中の矢印表記に基づき、ボディ１２の軸（シリンダ軸）に沿う方向を矢印Ａ方向ともいい、ボディ１２の幅方向を矢印Ｂ方向ともいい、ボディ１２の厚み方向を矢印Ｃ方向ともいう。

ボディ１２の矢印Ｃ１側の面（以下、上面１４という）及び矢印Ｃ２側の面（以下、下面１６という）は、平面視で、長方形状に形成されている。また、ボディ１２は、流体圧シリンダ１０を適宜の取付対象に固定するための複数の固定用孔部１８を有する。固定用孔部１８は、ボディ１２の上面１４から下面１６にわたって貫通する４つの孔１８ａと、ボディ１２（後述するエンドプレート５０を含む）を軸方向に貫通する４つの孔１８ｂとを含む。固定用孔部１８は、ボディ１２を取付対象にねじ止めするための雌ネジ部を有していてもよい。

図２及び図３に示すように、ボディ１２は、シリンダ孔２０を内側に有するシリンダチューブ２２を一対（２つ：一組）備える。一対のシリンダチューブ２２は、矢印Ｂ方向（ボディ１２の平面視で長手方向）の一端側と他端側に設けられる。以下では、矢印Ｂ１側のシリンダチューブ２２を第１シリンダチューブ２２ａともいい、矢印Ｂ２側のシリンダチューブ２２を第２シリンダチューブ２２ｂともいう。第１シリンダチューブ２２ａの内部には、第１シリンダ孔２０ａが形成されており、第２シリンダチューブ２２ｂの内部には、第２シリンダ孔２０ｂが形成されている。

第１及び第２シリンダチューブ２２ａ、２２ｂは、第１及び第２シリンダ孔２０ａ、２０ｂの軸が矢印Ａ方向に延在する（相互に平行となる）ように並設される。第１及び第２シリンダ孔２０ａ、２０ｂには、ピストン２４（第１ピストン２４ａ、第２ピストン２４ｂ）と、ピストン２４に固定されるピストンロッド２６（第１ピストンロッド２６ａ、第２ピストンロッド２６ｂ）とが変位可能に収容される。第１シリンダチューブ２２ａの構造（第１ピストン２４ａ、第１ピストンロッド２６ａを含む）と、第２シリンダチューブ２２ｂの構造（第２ピストン２４ｂ、第２ピストンロッド２６ｂを含む）とは、基本的には同一に構成される。以下では、第１シリンダチューブ２２ａを代表的に説明し、第２シリンダチューブ２２ｂについては説明を省略する。

第１シリンダ孔２０ａは、ボディ１２の矢印Ａ１側の面（以下、先端面２８という）及び矢印Ａ２側の面（以下、基端面３０という）を貫通している。第１シリンダチューブ２２ａは、第１シリンダ孔２０ａの基端側の内周面にヘッドカバー３２を備える。ヘッドカバー３２は、第１シリンダ孔２０ａの基端を気密に閉塞している。

また、第１シリンダチューブ２２ａは、第１シリンダ孔２０ａの先端側の内周面にロッドカバー３４を備える。ロッドカバー３４は、第１シリンダ孔２０ａの内周面に固定される円筒状に形成され、第１ピストンロッド２６ａを通す貫通孔３４ａを内側に備える。ロッドカバー３４は、第１シリンダ孔２０ａからの第１ピストン２４ａの離脱を規制すると共に、貫通孔３４ａを介して第１シリンダ孔２０ａから第１シリンダチューブ２２ａの外部（先端側）に第１ピストンロッド２６ａの一部を露出させる。このロッドカバー３４は、第１シリンダ孔２０ａの先端から挿入され、さらにロッドカバー３４の先端側に挿入される係止リング３６により離脱が防止される。

貫通孔３４ａを構成するロッドカバー３４の内周面には、シール部材３８が設けられている。シール部材３８は、第１ピストンロッド２６ａの外周面に気密に接触する。第１ピストンロッド２６ａは、シール部材３８により第１シリンダ孔２０ａ内の圧力流体の流出が規制されつつ、第１シリンダ孔２０ａ内を矢印Ａ方向に変位する。

第１ピストン２４ａは、第１シリンダ孔２０ａに配置された状態で、第１シリンダ孔２０ａを２つの空間に区画する。詳細には、第１ピストン２４ａの基端側にヘッド側シリンダ室４０が形成されると共に、第１ピストン２４ａの先端側にロッド側シリンダ室４２が形成される。

ヘッド側シリンダ室４０は、第１ピストン２４ａと、ヘッドカバー３２の先端面と、第１シリンダ孔２０ａを構成する第１シリンダチューブ２２ａの内周面とに囲われて構成される。ヘッド側シリンダ室４０の内周面の所定位置（矢印Ｃ２側且つヘッドカバー３２付近）には、圧力流体を流入又は流出するヘッド側開口４０ａが設けられている。ロッド側シリンダ室４２は、第１ピストン２４ａと、ロッドカバー３４の基端面と、第１シリンダチューブ２２ａの内周面とに囲われて構成される。ロッド側シリンダ室４２の内周面の所定位置（矢印Ｃ２側且つロッドカバー３４付近）には、圧力流体を流入又は流出するロッド側開口４２ａが設けられている。

第１ピストン２４ａは、第１シリンダチューブ２２ａの内周面を摺動可能且つヘッド側シリンダ室４０とロッド側シリンダ室４２を気密に遮断する。第１ピストン２４ａは、矢印Ａ方向に充分な厚みを有する円盤状に形成され、また第１ピストンロッド２６ａの基端部が挿入される連結孔４４を中央部に有する。

第１ピストン２４ａの外周面には、弾性材料からなる環状のピストンパッキン４６が装着される。ピストンパッキン４６は、第１シリンダチューブ２２ａの内周面を周方向に沿って接触することで、ヘッド側シリンダ室４０とロッド側シリンダ室４２との間を気密に分離する。

第１ピストンロッド２６ａは、中実の円柱体に構成され、第１シリンダ孔２０ａの軸（矢印Ａ方向）に沿って所定長さ（第１シリンダ孔２０ａの全長よりも長い寸法で）延在している。なお、第２ピストンロッド２６ｂの全長は、第１ピストンロッド２６ａの全長よりも多少短く形成されている。

第１ピストンロッド２６ａは、第１ピストンロッド２６ａの延在部分の直径に比べて小さな直径に形成された被取付部４８を基端部に有する。被取付部４８は、フランジ部４８ａを基端に備え、第１ピストン２４ａの連結孔４４に隙間なく挿入されて、第１ピストン２４ａの基端縁部にフランジ部４８ａが引っ掛かることで、第１ピストン２４ａと強固に固定される。

また、第１ピストンロッド２６ａの先端部は、ロッドカバー３４の貫通孔３４ａを通って第１シリンダチューブ２２ａよりも先端に突出し、この先端部にはエンドプレート５０が固定される。エンドプレート５０は、流体圧シリンダ１０の使用時に、図示しないプレートが取り付けられ、プレートに配置されるワークをピストン２４の動作下に変位させる。

エンドプレート５０は、流体圧シリンダ１０の正面視で、矢印Ｂ方向に長く矢印Ｃ方向に短い長方形に形成され、また矢印Ａ方向に所定の厚みを有するブロック状に形成されている。エンドプレート５０の端面（先端面、基端面）は、ボディ１２の先端面２８と同程度のサイズに形成されている。エンドプレート５０の四方の角付近には、上述した孔１８ａがそれぞれ設けられている。

エンドプレート５０の矢印Ｂ１側は、第１ピストンロッド２６ａの先端側を挿入した状態で、矢印Ｂ１側の側面から固定具５２を挿入することで第１ピストンロッド２６ａの外周面を押圧し、当該第１ピストンロッド２６ａと連結される。一方、エンドプレート５０の矢印Ｂ２側は、第２ピストンロッド２６ｂの先端とエンドプレート５０の基端面が接触した状態で、エンドプレート５０の先端から取付ネジ５４を挿入してねじ止めすることで、当該第２ピストンロッド２６ｂと連結される。

さらに、流体圧シリンダ１０は、ボディ１２の先端面２８の幅方向中央部に弾性体５６を備える。弾性体５６は、ボディ１２とエンドプレート５０の間に介在してエンドプレート５０の後退時のストーロークエンドを規定すると共に、エンドプレート５０の後退時に衝撃を緩衝する機能を有する。

図１に戻り、流体圧シリンダ１０は、ボディ１２の上部の幅方向中心部に中間突部５８を備える。中間突部５８の上面１４の矢印Ｂ２側には、一対のセンサ取付溝６０が形成されている。センサ取付溝６０は、例えば、中間突部５８の上面に対して断面略半円状に窪み、軸（矢印Ａ方向）に沿って直線状に延びている。各センサ取付溝６０には、ピストン２４の移動位置を検出する検出センサ６２がそれぞれ収納される。

センサ取付溝６０の下側（後述の膨出部８８）には、バー用孔部６４が形成されている（図２も参照）。このバー用孔部６４には、断面円形状で矢印Ａ方向に沿って直線状に（ピストンロッド２６と平行に）延在する棒体６６が移動自在に収容される。棒体６６は、弾性体５６（図３参照）を貫通して露出され、その先端部にはエンドプレート５０が連結され、その基端部には磁石６８が装着される。磁石６８は、検出センサ６２の検出体である。つまり、検出センサ６２は、棒体６６が軸方向に沿って移動した際に、磁石６８の磁気を検出することで、エンドプレート５０（つまり、ピストン２４）の軸方向の位置を検出する。

また、中間突部５８の上面１４の矢印Ｂ１側には、ポート群７０（供給ポート７２、排出ポート７４、２つのコントローラ用ポート７６、７８）、電磁弁収容空間８０が配置されている。供給ポート７２は、圧力流体をボディ１２の内部に供給し、排出ポート７４は、圧力流体をボディ１２から排出する。ボディ１２の平面視で、供給ポート７２と排出ポート７４は、ボディ１２の矢印Ｂ方向に沿って並んでいる。また、排出ポート７４は、２つのコントローラ用ポート７６、７８の間に位置し、これら３つのポート７４、７６、７８は、ボディ１２の矢印Ａ方向に沿って概ね並んでいる。

供給ポート７２には、流体圧シリンダ１０の使用時に図示しない継手が挿入及び固定される。継手は、圧力流体供給装置２００（図６Ａ参照）に接続され、圧力流体供給装置２００から供給される圧力流体を供給ポート７２に流入させる。排出ポート７４には、圧力流体の排出音を低減するサイレンサ７４ａが予め挿入されている。また、基端側のコントローラ用ポート７６には、ヘッド側スピードコントローラ７６ａが挿入され、先端側のコントローラ用ポート７８には、ロッド側スピードコントローラ７８ａが挿入される。

そして、本実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、図２〜図５に示すように、ポート群７０に重なる位置に中間ブロック部８２を有する。中間ブロック部８２は、ボディ１２の上面１４を構成する上壁８４（一端側壁部）と、ボディ１２の下面１６を構成する下壁８６（他端側壁部）との間で上下に連続している。中間ブロック部８２は、ボディ１２の幅方向中心線Ｏに対して第１シリンダチューブ２２ａ側（矢印Ｂ１側）に全体的に寄っている。また中間ブロック部８２の上壁８４側には、上述した検出センサ６２等の設置に応じてバー用孔部６４を形成するための膨出部８８が設けられている。

なお、ボディ１２において、第１シリンダチューブ２２ａと中間ブロック部８２の間、及び第２シリンダチューブ２２ｂと中間ブロック部８２の間には、肉抜き部９０（第１肉抜き部９０ａ、第２肉抜き部９０ｂ）が形成されている。例えば、肉抜き部９０は、ボディ１２の先端面２８から基端面３０にわたって貫通形成されている。第１肉抜き部９０ａは、中間ブロック部８２が、幅方向中心線Ｏからオフセットしていることで、第１シリンダチューブ２２ａとの間で幅狭に形成され、第２肉抜き部９０ｂは、第２シリンダチューブ２２ｂとの間で幅広に形成されている。

中間ブロック部８２の内部、ボディ１２の上壁８４及び下壁８６には、上述した第１及び第２シリンダチューブ２２ａ、２２ｂのヘッド側シリンダ室４０とロッド側シリンダ室４２とに圧力流体を供給／排出する機構部が設けられている。

具体的には、中間ブロック部８２、上壁８４、下壁８６には、圧力流体を流動させる流路９２が設けられている。さらに中間ブロック部８２の内部には、圧力流体が流動する流路９２を切り換える流路切換部９４が設けられている。流路切換部９４は、スプール９６と、スプール９６を移動可能に収容し流路９２が連通するスプール収容空間９８とを有する。図４及び図５に示すように、スプール収容空間９８は、ボディ１２の厚さ方向中間部に設けられている。なお、図４及び図５中では、図の理解の容易化のためスプール９６の図示を省略している。

また、電磁弁収容空間８０は、流路９２及びスプール収容空間９８の基端側において中間ブロック部８２自体が切り欠かれることで電磁弁１００を収容可能なサイズに形成されている。本実施形態において電磁弁収容空間８０は、ボディ１２の上面１４、下面１６及び基端面３０に対し開放されている。ボディ１２は、電磁弁収容空間８０を閉じた空間（電磁弁１００の一部又は全部を非露出とした状態）としていてもよい。

流路９２は、ポート群７０と、第１及び第２シリンダチューブ２２ａ、２２ｂのヘッド側シリンダ室４０、ロッド側シリンダ室４２との間で圧力流体を流動させる。この流路９２は、ポート群７０と、ヘッド側シリンダ室４０及びロッド側シリンダ室４２との間で圧力流体が流動する際に、スプール収容空間９８を経由するように構成されている。このため、ボディ１２の上面１４とスプール収容空間９８の間には、流路９２として、供給ポート７２とスプール収容空間９８の間を接続する供給路１０２、排出ポート７４とスプール収容空間９８の間を接続する排出路１０４が設けられている。

さらに、排出路１０４は、排出ポート７４に連通する合流路１０４ａと、コントローラ用ポート７６を介して合流路１０４ａとスプール収容空間９８の間を接続するヘッド側排出路１０４ｂと、コントローラ用ポート７８を介して合流路１０４ａとスプール収容空間９８の間を接続するロッド側排出路１０４ｃとを有している。

スプール収容空間９８とシリンダ孔２０の間の流路９２としては、ヘッド側連通路１０６とロッド側連通路１０８とが設けられる。ヘッド側連通路１０６は、スプール収容空間９８とヘッド側シリンダ室４０の間を連通しており、ロッド側連通路１０８は、スプール収容空間９８とロッド側シリンダ室４２の間を連通している。

ヘッド側連通路１０６は、中間ブロック部８２を厚さ方向（矢印Ｃ２側）に延在するヘッド側中間通路１０６ａと、ヘッド側中間通路１０６ａに連通し下壁８６内を幅方向に延在するヘッド側横通路１０６ｂと、第１及び第２シリンダ孔２０ａ、２０ｂに重なる下壁８６にてヘッド側横通路１０６ｂに連通して第１及び第２シリンダ孔２０ａ、２０ｂの軸方向に延在するヘッド側縦通路１０６ｃとを有する。また、ヘッド側中間通路１０６ａとヘッド側横通路１０６ｂは、下壁８６を軸方向に延在するヘッド側オフセット通路１０６ｄを介して連通している。ヘッド側縦通路１０６ｃの矢印Ａ２側の端部は、矢印Ｃ１側に屈曲して短く延在し、直上のヘッド側開口４０ａに連通している。

ロッド側連通路１０８は、中間ブロック部８２を厚さ方向に延在するロッド側中間通路１０８ａと、ロッド側中間通路１０８ａに連通し下壁８６を幅方向に延在するロッド側横通路１０８ｂとを有する。また、ロッド側中間通路１０８ａとロッド側横通路１０８ｂは、下壁８６を軸方向に延在するロッド側オフセット通路１０８ｃを介して連通している。ロッド側横通路１０８ｂの端部は、矢印Ｃ１側に屈曲して短く延在し、直上のロッド側開口４２ａに連通している。さらに、ロッド側横通路１０８ｂは、ヘッド側横通路１０６ｂ及びヘッド側縦通路１０６ｃよりも下側（矢印Ｃ２側）に設けられている。このように構成されることにより、ヘッド側連通路１０６とロッド側連通路１０８は相互に非連通となっている。

さらに、流路９２は、供給ポート７２（供給路１０２）と重なる位置のスプール収容空間９８の下側に、電磁弁収容空間８０に向けて圧力流体を流動させる分岐通路１１０（パイロット通路）を有する。分岐通路１１０は、矢印Ｃ２側に短く延在した後９０°屈曲して矢印Ａ２側に延在し、電磁弁収容空間８０に達している。そして、分岐通路１１０は、電磁弁収容空間８０に設けられた電磁弁１００の内部に連通している。

以上の流路９２は、ボディ１２の製造時に、ボディ１２の表面から内部に向かって孔を穿設することで形成される。このため、ボディ１２の内部には流路９２に連通しているものの、圧力流体が流動しない成形用通路１１２が存在する。ポート群７０以外でボディ１２の外面に開口する箇所の成形用通路１１２には、流路９２からボディ１２の外部への圧力流体の流出を防止する鋼球１１４（閉塞体）が挿入されている。

中間ブロック部８２のスプール収容空間９８は、矢印Ａ方向に延在する細長い空洞状に形成され、上述した流路９２が適宜の位置に接続されている。詳細には、スプール収容空間９８には、基端から先端に向かって順に、ヘッド側排出路１０４ｂ、ヘッド側連通路１０６（ヘッド側中間通路１０６ａ）、供給路１０２、ロッド側連通路１０８（ロッド側中間通路１０８ａ）、ロッド側排出路１０４ｃが連通している。スプール収容空間９８において各流路９２が接続される箇所は、大径の空洞に形成され、それ以外の箇所は小径に形成されている（つまり、スプール収容空間９８は複数の内側凸部１１８を有する）。また、スプール収容空間９８の先端側には、スプール９６の先端方向の移動を規制する規制部材１１６が収容されている。

スプール９６は、中実状の棒体に形成され、外周面から径方向外側に突出する環状凸部１２０を軸方向（矢印Ａ方向）に沿って複数有する。環状凸部１２０の外周面には、内側凸部１１８との間でスプール収容空間９８を気密に閉塞可能な閉塞リング１２０ａが設けられている（図６Ａ参照）。

スプール９６は、電磁弁収容空間８０に収容された電磁弁１００の動作下に、スプール収容空間９８の軸方向（矢印Ａ方向）に沿って変位する。具体的には、スプール９６は、電磁弁１００の非通電に伴い基端側の第１位置に位置し、電磁弁１００の通電に伴い先端側の第２位置に位置するように構成される。複数の環状凸部１２０は、第１位置と第２位置とで、スプール収容空間９８の内側凸部１１８に接触する対象を適宜変えることで、内側凸部１１８と協働してスプール収容空間９８内での圧力流体の流動を部分的に遮断する。

スプール９６が第１位置にある場合は、供給路１０２とロッド側中間通路１０８ａがスプール収容空間９８を介して互い連通する一方で、ヘッド側排出路１０４ｂとヘッド側中間通路１０６ａがスプール収容空間９８を介して連通する。この際、スプール収容空間９８のロッド側排出路１０４ｃの連通箇所よりも基端側の内側凸部１１８がスプール９６の環状凸部１２０に接触する。これにより、ロッド側排出路１０４ｃは、供給路１０２とロッド側中間通路１０８ａが連通する空間に対して気密に遮断される（図６Ａも参照）。

また供給路１０２と分岐通路１１０は、スプール９６の第１位置において相互に連通した状態を維持している。つまり、供給ポート７２から供給される圧力流体の一部は、供給路１０２、スプール収容空間９８を通って分岐通路１１０にも流入する。

一方、スプール９６が第２位置にあるとき、供給路１０２とヘッド側中間通路１０６ａがスプール収容空間９８を介して互い連通する一方で、ロッド側排出路１０４ｃとロッド側中間通路１０８ａがスプール収容空間９８を介して連通する。この際、スプール収容空間９８のヘッド側排出路１０４ｂの連通箇所よりも先端側の内側凸部１１８がスプール９６の環状凸部１２０に接触する。これによりヘッド側排出路１０４ｂは、供給路１０２とヘッド側中間通路１０６ａが連通する空間に対して気密に遮断される（図６Ｂも参照）。また第２位置でも、供給路１０２と分岐通路１１０は、スプール収容空間９８を挟んで、相互に連通した状態を維持している。

電磁弁１００は、中間ブロック部８２の基端面に固定されて電磁弁収容空間８０に収容され、上述したように、スプール収容空間９８内においてスプール９６を第１位置と第２位置とに移動させる。本実施形態において、電磁弁１００は、省電力化を図ることが可能なパイロット式電磁弁を適用している。なお、スプール９６を移動させる構成は、パイロット式電磁弁に限定されるものではなく、例えば、直動式の電磁弁によりスプール９６を移動させてもよい。

電磁弁１００を収容する電磁弁収容空間８０の幅は、流体圧シリンダ１０の大きさにもよるが、例えば、５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の範囲に設計されるとよい。電磁弁収容空間８０の矢印Ａ方向の長さは、電磁弁収容空間８０に設置した電磁弁１００がボディ１２の基端面３０からはみださないように設定される。すなわち、電磁弁１００は、電磁弁収容空間８０内にその全体が収容されることで、ボディ１２の表面（上面１４、下面１６、基端面３０）から突出しないように構成されている。

電磁弁１００は、中間ブロック部８２の基端面に直接連結される第１ハウジング１２２と、この第１ハウジング１２２に直接連結される第２ハウジング１２４とを有する。

第１ハウジング１２２内には、圧力流体が流動する第１ハウジング流路１２６と、スプール収容空間９８に連通するピストン収容空間１２８と、ピストン収容空間１２８の基端側に設けられる手動操作子空間１３０とが形成されている。

ピストン収容空間１２８には、パイロットピストン１３２が移動可能に配置される。パイロットピストン１３２は、スプール９６の基端に連結され、またピストン収容空間１２８を構成する内周面に気密に接触するピストンパッキン（不図示）を外周面に有する。すなわち、ピストン収容空間１２８は、パイロットピストン１３２の収容に伴い、先端側（スプール９６側）の第１圧力室１３４と、基端側の第２圧力室１３６とに区画される。また、パイロットピストン１３２及びピストン収容空間１２８の直径は、スプール９６（環状凸部１２０）の直径よりも充分に大きく設定されている。このため、ピストン収容空間１２８に流入した圧力流体は、スプール収容空間９８において圧力流体がスプール９６にかける圧力よりも大きな圧力をパイロットピストン１３２に付与する。

一方、第２ハウジング１２４内には、第２ハウジング流路１３８が形成されると共に、電力ポート１４０、基板１４２、コイル１４４、可動弁部１４６等が設けられている。電力ポート１４０は、電磁弁収容空間８０の上面１４側に位置し、またボディ１２の上面１４から突出しないように配置されている。基板１４２は、電力ポート１４０を介して図示しない電源に電気的に接続され、設定されたタイミングでコイル１４４への通電及び非通電を切り換える機能を有する。

第１ハウジング流路１２６は、分岐通路１１０に連通する主通路１２６ａと、主通路１２６ａからピストン収容空間１２８の第１圧力室１３４に連通する第１通路１２６ｂと、主通路１２６ａから手動操作子空間１３０を介して第２ハウジング流路１３８に連通する第２通路１２６ｃと、第２ハウジング流路１３８から手動操作子空間１３０を介してピストン収容空間１２８の第２圧力室１３６に連通する第３通路１２６ｄと、主通路１２６ａから第１ハウジング１２２の外部（電磁弁収容空間８０）に連通する排出通路１２６ｅと、を有する。

一方、第２ハウジング流路１３８は、上記の第２通路１２６ｃと第３通路１２６ｄを結んでいる。第２ハウジング流路１３８の途中位置には、可動弁部１４６が進退可能に配置されている。可動弁部１４６は、例えば、コイル１４４の電磁作用下に変位する弁本体と、弁本体の周囲を支持すると共に第２ハウジング１２４に連結されるダイヤフラムとを含み（共に不図示）、コイル１４４の通電状態と非通電状態に応じて第３通路１２６ｄへの圧力流体の流入と流入停止とを切り換える。

パイロットピストン１３２は、コイル１４４の非通電状態で、ピストン収容空間１２８の基端側に配置されることで、スプール９６を第１位置に位置させる。この際、第１圧力室１３４には、分岐通路１１０、主通路１２６ａ、第１通路１２６ｂを介して、ボディ１２から圧力流体が供給されることで、第１圧力室１３４が大きな圧力を有するようになり、パイロットピストン１３２の基端位置が維持される。また、第２通路１２６ｃは、第２ハウジング１２４のコイル１４４の非通電状態で可動弁部１４６により連通が遮断されることで、圧力流体の流入を遮断する。分岐通路１１０から供給された圧力流体の一部は、主通路１２６ａから排出通路１２６ｅを通して外部に排気される。

電磁弁１００は、コイル１４４の通電状態で第２ハウジング流路１３８の連通を遮断していた可動弁部１４６が変位して第２ハウジング流路１３８を連通させる。この結果、圧力流体は、主通路１２６ａ、第２通路１２６ｃ、第２ハウジング流路１３８、第３通路１２６ｄを介して第２圧力室１３６に導かれる。圧力流体が流入した第２圧力室１３６は、大きな圧力をパイロットピストン１３２に付与することで、パイロットピストン１３２を先端側に移動させる。これによりパイロットピストン１３２は、コイル１４４の通電状態で、スプール９６を第２位置に位置させる。

また、第１ハウジング１２２の手動操作子空間１３０は、第１ハウジング１２２を矢印Ｃ方向に延在して上部で開放しており、その内部に手動操作子１４８が配置される。手動操作子１４８は、第１ハウジング１２２の手動操作子空間１３０に設けられたネジ構造に螺合することで、第１ハウジング１２２の上下に変位することが可能である。すなわち、ユーザは、手動操作子空間１３０の上部に露出される頭部１４８ａを手動で操作することで手動操作子１４８の上下位置が変動し、第２通路１２６ｃと第３通路１２６ｄの連通状態と非連通状態が切り換えられる。これにより、電磁弁１００は、パイロットピストン１３２の基端位置と先端位置とを手動で切り換えることができる。

本実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、基本的には以上のように構成され、以下その作用効果について説明する。

流体圧シリンダ１０は、上述したように、ボディ１２の内部に電磁弁１００を備えた状態で製品提供され、使用者によって取付対象に設置される。図１に示すように、流体圧シリンダ１０のボディ１２は、エンドプレート５０の外縁に比べて矢印Ｂ方向及び矢印Ｃ方向に大きく突出している部分がない。つまり、流体圧シリンダ１０は、電磁弁１００を内部に備えていても、ボディ１２の表面が大型化していないので、取付対象のスペースが少なくても容易に（取付対象の設計変更等をせずに）取り付けることができる。

図６Ａ及び図６Ｂに示すように、流体圧シリンダ１０の供給ポート７２には、圧力流体供給装置２００に繋がる継手が挿入及び固定される。圧力流体供給装置２００は、圧力流体を適宜の供給圧（供給量）で、流体圧シリンダ１０の供給ポート７２に供給する。また、電磁弁１００の電力ポート１４０には、ユーザにより図示しない電源の電源コネクタが接続される。これにより電磁弁１００は、基板１４２の制御下に、コイル１４４への通電又は非通電が切り換え可能となる。

上述したように、流体圧シリンダ１０は、供給路１０２、スプール収容空間９８及び分岐通路１１０を介して、供給ポート７２に流入した圧力流体の一部を電磁弁１００に供給する。電磁弁１００は、コイル１４４の非通電時に、分岐通路１１０から供給された圧力流体を利用して、パイロットピストン１３２を基端方向（基端位置）に押圧するように作用させる。これにより、パイロットピストン１３２に連結されたスプール９６が第１位置に配置される。

そして、スプール９６が第１位置にある状態では、図６Ａに示すように、供給路１０２とロッド側中間通路１０８ａがスプール収容空間９８を介して相互に連通する。このため、供給ポート７２に供給された圧力流体は、供給路１０２、スプール収容空間９８、ロッド側中間通路１０８ａ、ロッド側横通路１０８ｂを順に通り、ロッド側開口４２ａから第１及び第２シリンダ孔２０ａ、２０ｂのロッド側シリンダ室４２に供給される。

ロッド側シリンダ室４２に供給された圧力流体は、第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂが基端方向に向かうように押圧力を付与する。すなわち、流体圧シリンダ１０は、第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂ、第１及び第２ピストンロッド２６ａ、２６ｂを基端方向に押圧することで、エンドプレート５０を後退位置（ボディ１２に近接する位置）に配置する。

ここで、エンドプレート５０が後退位置よりも先端側に進出していた（ヘッド側シリンダ室４０に圧力流体が流入していた）場合、第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂの基端方向の移動に伴い、ヘッド側シリンダ室４０から圧力流体が排出される。スプール９６が第１位置にあるとき、ヘッド側排出路１０４ｂと、ヘッド側中間通路１０６ａは、スプール収容空間９８を介して相互に連通している。このため、ヘッド側シリンダ室４０の圧力流体は、ヘッド側縦通路１０６ｃ、ヘッド側横通路１０６ｂ、ヘッド側中間通路１０６ａ、スプール収容空間９８、ヘッド側排出路１０４ｂ、コントローラ用ポート７６、合流路１０４ａを流動する。そして圧力流体は、排出ポート７４から外部（大気）に放出される。

圧力流体は、排出時に、コントローラ用ポート７６においてユーザにより適宜の開度に設定されたヘッド側スピードコントローラ７６ａを通ることで、その排出量が調整される。その結果、ヘッド側シリンダ室４０から排出される圧力流体の量、換言すれば第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂが基端方向に移動する速度が調整される。

一方、電磁弁１００は、コイル１４４の通電時に、分岐通路１１０から供給された圧力流体を利用して、パイロットピストン１３２を先端方向（ピストン収容空間１２８の先端位置）に押圧するように作用させる。これにより、パイロットピストン１３２に連結されたスプール９６が第２位置に配置される。

そして、スプール９６が第２位置にある状態では、図６Ｂに示すように、供給路１０２とヘッド側中間通路１０６ａがスプール収容空間９８を介して相互に連通する。このため、供給ポート７２に供給された圧力流体は、供給路１０２、スプール収容空間９８、ヘッド側中間通路１０６ａ、ヘッド側横通路１０６ｂ、ヘッド側縦通路１０６ｃを順に通り、ヘッド側開口４０ａから第１及び第２シリンダ孔２０ａ、２０ｂのヘッド側シリンダ室４０に供給される。

ヘッド側シリンダ室４０に供給された圧力流体は、第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂが先端方向に向かうように押圧力を付与する。すなわち、流体圧シリンダ１０は、第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂ、第１及び第２ピストンロッド２６ａ、２６ｂを先端方向に押圧することで、エンドプレート５０を最も突出した進出位置（ボディ１２から離間する位置）に配置する。

ここで、エンドプレート５０が進出位置よりも基端側に後退していた（ロッド側シリンダ室４２に圧力流体が流入していた）場合、第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂの先端方向の移動に伴い、ロッド側シリンダ室４２から圧力流体が排出される。スプール９６が第２位置にあるとき、ロッド側排出路１０４ｃと、ロッド側中間通路１０８ａは、スプール収容空間９８を介して相互に連通している。このため、ロッド側シリンダ室４２の圧力流体は、ロッド側開口４２ａ、ロッド側横通路１０８ｂ、ロッド側中間通路１０８ａ、スプール収容空間９８、ロッド側排出路１０４ｃ、コントローラ用ポート７８、合流路１０４ａ、排出ポート７４を流動する。そして圧力流体は、排出ポート７４から外部（大気）に放出される。

圧力流体は、排出時に、コントローラ用ポート７８においてユーザにより適宜の開度に設定されたロッド側スピードコントローラ７８ａを通ることで、その排出量が調整される。これにより、ロッド側シリンダ室４２から排出される圧力流体の量、還元すれば第１及び第２ピストン２４ａ、２４ｂが先端方向に移動する速度が調整される。

従って、流体圧シリンダ１０は、供給ポート７２に圧力流体を供給しつつ電磁弁１００を動作させることで、ボディ１２の先端に設けられたエンドプレート５０を所望の速度で進退させることができる。

上述の実施形態から把握し得る技術的思想及び効果について、以下に記載する。

流体圧シリンダ１０は、ヘッド側シリンダ室４０又はロッド側シリンダ室４２からの圧力流体の供給・排出を切り換える電磁弁１００を備えることで、流体圧シリンダ１０の実際の使用時に、電磁弁１００を改めて装着する必要がなくなる。また、ボディ１２の表面よりも内側に電磁弁１００が配置されるため、流体圧シリンダ１０は、使用時にシステム全体として大型化することがなく、ユーザは設置の設計等を良好に行うことができる。すなわち、流体圧シリンダ１０は、簡単な構成によって、使用時における大幅な省スペース化と、使用性の向上とを図ることができる。

また、電磁弁１００は、一組（一対）のシリンダ孔２０の間に設けられている。これによりボディ１２は、一対のシリンダ孔２０が並ぶ方向の余裕分に電磁弁１００を配置することができる。従って、ボディ１２は、電磁弁１００を有する場合でも大型化することがなく、省スペース化を一層促すことが可能となる。

また、ボディ１２の幅方向中間部には、ボディ１２の厚さ方向の一端側壁部（上壁８４）と他端側壁部（下壁８６）の間を連結し、電磁弁１００が設置される中間ブロック部８２が設けられ、中間ブロック部８２とシリンダ孔２０の間には、ボディ１２を切り欠いた肉抜き部９０が設けられる。流体圧シリンダ１０は、中間ブロック部８２に電磁弁１００を備えることで、電磁弁１００の動作下に圧力流体を一対のシリンダ孔２０に均等的に流動させることが可能となる。さらに流体圧シリンダ１０は、中間ブロック部８２の周囲に肉抜き部９０を備えるため、軽量化を図ることができる。

また、中間ブロック部８２、一端側壁部（上壁８４）及び他端側壁部（下壁８６）には、圧力流体を流動させる流路９２が設けられ、中間ブロック部８２には、圧力流体が流動する流路９２を切り換える流路切換部９４が設けられる。これにより、流体圧シリンダ１０は、ヘッド側シリンダ室４０、ロッド側シリンダ室４２への圧力流体の選択的な供給と、ヘッド側シリンダ室４０、ロッド側シリンダ室４２からの圧力流体の選択的な排出とを簡単に切り換えることができる。

また、流路切換部９４は、電磁弁１００の動作下に変位するスプール９６と、スプール９６を移動可能に収容し流路９２が連通するスプール収容空間９８と、を含み、スプール収容空間９８は、ボディ１２の厚さ方向中間部に設けられている。これにより、流体圧シリンダ１０は、電磁弁１００によるスプール９６の移動に基づき、圧力流体が流動する流路９２を円滑に切り換えることが可能となる。特に、ボディ１２の厚さ方向中間部にスプール収容空間９８を備えるので、ボディ１２に設置した電磁弁１００が表面からが突出してボディ１２が大型化することを抑制することができる。

また、流路９２は、スプール収容空間９８に圧力流体を供給する供給路１０２と、スプール収容空間９８から圧力流体を排出する排出路１０４と、スプール収容空間９８とヘッド側シリンダ室４０の間を連通するヘッド側連通路１０６と、スプール収容空間９８とロッド側シリンダ室４２の間を連通するロッド側連通路１０８と、を含む。これにより、流体圧シリンダ１０は、スプール収容空間９８を経由して、供給路１０２からヘッド側シリンダ室４０、ロッド側シリンダ室４２に圧力流体を流動させ、またヘッド側シリンダ室４０、ロッド側シリンダ室４２から排出路１０４に圧力流体を流動させる。そして、スプール収容空間９８では、スプール９６の移動によって流路９２を適切に切り換えることができる。

また、供給路１０２は、一端側壁部（上壁８４）に設けられた供給ポート７２に連通し、排出路１０４は、一端側壁部（上壁８４）に設けられた排出ポート７４に連通し、且つ排出ポート７４とスプール収容空間９８の間に、スプール収容空間９８を通してヘッド側連通路１０６に連通可能なヘッド側排出路１０４ｂと、スプール収容空間９８を通してロッド側連通路１０８に連通可能なロッド側排出路１０４ｃとを備え、ヘッド側排出路１０４ｂの途中位置には、上壁８４から露出され、圧力流体の排出量を調整可能なヘッド側スピードコントローラ７６ａが設けられ、ロッド側排出路１０４ｃの途中位置には、上壁８４から露出され、圧力流体の排出量を調整するロッド側スピードコントローラ７８ａが設けられる。流体圧シリンダ１０は、ヘッド側スピードコントローラ７６ａ及びロッド側スピードコントローラ７８ａを排出路１０４に備えることで、ユーザにより圧力流体の排出速度を調整させることができる。これにより流体圧シリンダ１０は、ピストン２４の移動速度を良好に設定することができる。

また、一端側壁部（上壁８４）には、供給ポート７２、排出ポート７４、ヘッド側スピードコントローラ７６ａ及びロッド側スピードコントローラ７８ａの収容ポートからなるポート群７０が設けられると共に、ポート群７０の近傍位置にピストン２４の移動位置を検出する検出センサ６２が設けられ、中間ブロック部８２は、ポート群７０と厚さ方向に重なる位置にあってボディ１２の幅方向中心線Ｏから一組のシリンダ孔２０のうちの一のシリンダ孔２０（第１シリンダ孔２０ａ）側にオフセットしている。中間ブロック部８２がボディ１２の幅方向中心線Ｏから第１シリンダ孔２０ａ側にオフセットしていることにより、ボディ１２の上面１４では、ポート群７０及び検出センサ６２等の主要な構造を、幅方向中心線Ｏを基準に均等に配置することができる。従って、流体圧シリンダ１０は、ボディ１２の表面を対称的な形状とすることができ、取り付け等の設計を容易化することができる。

また、ヘッド側連通路１０６は、中間ブロック部８２を厚さ方向に延在するヘッド側中間通路１０６ａと、前記ヘッド側中間通路１０６ａに連通し他端側壁部（下壁８６）を幅方向に延在するヘッド側横通路１０６ｂと、一組のシリンダ孔２０に重なる下壁８６にてヘッド側横通路１０６ｂに連通してシリンダ孔２０の軸方向に延在するヘッド側縦通路１０６ｃとを有し、ロッド側連通路１０８は、中間ブロック部８２を厚さ方向に延在するロッド側中間通路１０８ａと、且つロッド側中間通路１０８ａに連通し下壁８６を幅方向に延在するロッド側横通路１０８ｂとを有する。流体圧シリンダ１０は、ヘッド側中間通路１０６ａ、ヘッド側横通路１０６ｂ、ヘッド側縦通路１０６ｃを有することで、ヘッド側シリンダ室４０への圧力流体の供給、ヘッド側シリンダ室４０からの圧力流体の排出を円滑に行うことができる。同様に、流体圧シリンダ１０は、ロッド側中間通路１０８ａ、ロッド側横通路１０８ｂを有することで、ロッド側シリンダ室４２への圧力流体の供給、ロッド側シリンダ室４２からの圧力流体の排出を円滑に行うことができる。

また、中間ブロック部８２は、エンドプレート５０の設置位置の反対側に、スプール収容空間９８に連通すると共に電磁弁１００を収容する電磁弁収容空間８０を有し、電磁弁収容空間８０は、一端側壁部（上壁８４）から露出している。これにより、流体圧シリンダ１０は、電磁弁収容空間８０から電磁弁１００を露出させる。そのため、電磁弁１００の電力ポート１４０への接続と、電磁弁１００の手動操作子１４８へのアクセスとを良好に実行させることができる。

また、流路９２は、スプール収容空間９８と電磁弁収容空間８０を連通する分岐通路１１０を含み、分岐通路１１０は、スプール９６の位置によらずに供給路１０２と常に連通している。これにより、流体圧シリンダ１０は、供給ポート７２からスプール収容空間９８に流動した圧力流体を、分岐通路１１０にも流動させることができる。

また、電磁弁１００は、分岐通路１１０から供給される圧力流体を内部に流入して、圧力流体に基づきスプール９６を変位させるパイロット式電磁弁である。このようにパイロット式電磁弁を適用することにより、流体圧シリンダ１０は、電磁弁１００の駆動を省電力化しつつ、スプール９６の移動を安定的に行うことができる。

なお、本発明は、上述の実施形態に限定されず、発明の要旨に沿って種々の改変が可能である。例えば、流体圧シリンダ１０のシリンダチューブ２２の数は、２つ（第１及び第２シリンダチューブ２２ａ、２２ｂ）に限定されず、３つ以上でもよく、流路９２はシリンダ孔２０の数に応じて適切に構成されればよい。

１０…流体圧シリンダ １２…ボディ
１４…上面 １６…下面
２０…シリンダ孔 ２２…シリンダチューブ
２４…ピストン ２６…ピストンロッド
２８…先端面 ３０…基端面
４０…ヘッド側シリンダ室 ４２…ロッド側シリンダ室
５０…エンドプレート ６０…センサ取付溝
６２…検出センサ ７０…ポート群
７２…供給ポート ７４…排出ポート
７６ａ…ヘッド側スピードコントローラ ７８ａ…ロッド側スピードコントローラ
８０…電磁弁収容空間 ８２…中間ブロック部
８４…上壁 ８６…下壁
９０…肉抜き部 ９２…流路
９４…流路切換部 ９６…スプール
９８…スプール収容空間 １００…電磁弁
１０２…供給路 １０４…排出路
１０６…ヘッド側連通路 １０８…ロッド側連通路
１１０…分岐通路

Claims (11)

1. 一組のシリンダ孔を有するボディと、
   前記一組のシリンダ孔の各々に移動可能に収容される一組のピストンと、
   前記一組のピストンの各々に固定される一組のピストンロッドと、
   前記一組のピストンロッドの端部に連結されるエンドプレートとを備える流体圧シリンダであって、
   前記ピストンは、収容される前記シリンダ孔をヘッド側シリンダ室とロッド側シリンダ室に区画し、
   前記ボディは、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室への圧力流体の供給と、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室からの前記圧力流体の排出を切り換える電磁弁を備え、
   前記電磁弁は、前記ボディの表面よりも内側に設置されると共に、前記一組のシリンダ孔の間に設けられ、
   前記電磁弁と前記一組のシリンダ孔は、前記一組のシリンダ孔が並ぶ方向に沿って見た前記ボディの側面視で、相互に重なり合っている
   流体圧シリンダ。
2. 請求項１記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記ボディの幅方向中間部には、前記ボディの厚さ方向の一端側壁部と他端側壁部の間を連結し、前記電磁弁が設置される中間ブロック部が設けられ、
   前記中間ブロック部と前記シリンダ孔の間には、前記ボディを切り欠いた肉抜き部が設けられる
   流体圧シリンダ。
3. 請求項２記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記中間ブロック部、前記一端側壁部及び前記他端側壁部には、前記圧力流体を流動させる流路が設けられ、
   前記中間ブロック部には、前記圧力流体が流動する流路を切り換える流路切換部が設けられる
   流体圧シリンダ。
4. 請求項３記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記流路切換部は、前記電磁弁の動作下に変位するスプールと、前記スプールを移動可能に収容し前記流路が連通するスプール収容空間と、を含み、
   前記スプール収容空間は、前記ボディの厚さ方向中間部に設けられている
   流体圧シリンダ。
5. 請求項４記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記流路は、前記スプール収容空間に前記圧力流体を供給する供給路と、
   前記スプール収容空間から前記圧力流体を排出する排出路と、
   前記スプール収容空間と前記ヘッド側シリンダ室の間を連通するヘッド側連通路と、
   前記スプール収容空間と前記ロッド側シリンダ室の間を連通するロッド側連通路と、を含む
   流体圧シリンダ。
6. 請求項５記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記供給路は、前記一端側壁部に設けられた供給ポートに連通し、
   前記排出路は、前記一端側壁部に設けられた排出ポートに連通し、且つ前記排出ポートと前記スプール収容空間の間に、前記スプール収容空間を通して前記ヘッド側連通路に連通可能なヘッド側排出路と、前記スプール収容空間を通して前記ロッド側連通路に連通可能なロッド側排出路とを備え、
   前記ヘッド側排出路の途中位置には、前記一端側壁部から露出され、前記圧力流体の排出量を調整可能なヘッド側スピードコントローラが設けられ、
   前記ロッド側排出路の途中位置には、前記一端側壁部から露出され、前記圧力流体の排出量を調整するロッド側スピードコントローラが設けられる
   流体圧シリンダ。
7. 請求項６記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記一端側壁部には、前記供給ポート、前記排出ポート、前記ヘッド側スピードコントローラ及び前記ロッド側スピードコントローラの収容ポートからなるポート群が設けられると共に、前記ポート群の近傍位置に前記ピストンの移動位置を検出する検出センサが設けられ、
   前記中間ブロック部は、前記ポート群と厚さ方向に重なる位置にあって前記ボディの幅方向中心線から前記一組のシリンダ孔のうちの一のシリンダ孔側にオフセットしている
   流体圧シリンダ。
8. 請求項５〜７のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記ヘッド側連通路は、前記中間ブロック部を前記厚さ方向に延在するヘッド側中間通路と、前記ヘッド側中間通路に連通し前記他端側壁部を幅方向に延在するヘッド側横通路と、前記一組のシリンダ孔に重なる前記他端側壁部にて前記ヘッド側横通路に連通して前記シリンダ孔の軸方向に延在するヘッド側縦通路とを有し、
   前記ロッド側連通路は、前記中間ブロック部を前記厚さ方向に延在するロッド側中間通路と、且つ前記ロッド側中間通路に連通し前記他端側壁部を幅方向に延在するロッド側横通路とを有する
   流体圧シリンダ。
9. 請求項５〜８のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記中間ブロック部は、前記エンドプレートの設置位置の反対側に、前記スプール収容空間に連通すると共に前記電磁弁を収容する電磁弁収容空間を有し、
   前記電磁弁収容空間は、前記一端側壁部から露出している
   流体圧シリンダ。
10. 請求項９記載の流体圧シリンダにおいて、
    前記流路は、前記スプール収容空間と前記電磁弁収容空間を連通する分岐通路を含み、
    前記分岐通路は、前記スプールの位置によらずに前記供給路と常に連通している
    流体圧シリンダ。
11. 請求項１０記載の流体圧シリンダにおいて、
    前記電磁弁は、前記分岐通路から供給される前記圧力流体を内部に流入して、前記圧力流体に基づき前記スプールを変位させるパイロット式電磁弁である
    流体圧シリンダ。
    

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