JP6912088B2 - 液体温調装置 - Google Patents
液体温調装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6912088B2 JP6912088B2 JP2017183943A JP2017183943A JP6912088B2 JP 6912088 B2 JP6912088 B2 JP 6912088B2 JP 2017183943 A JP2017183943 A JP 2017183943A JP 2017183943 A JP2017183943 A JP 2017183943A JP 6912088 B2 JP6912088 B2 JP 6912088B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- flow rate
- flow path
- temperature
- cooler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 192
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 74
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 3
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 3
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 239000012267 brine Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical compound O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000016649 Copaifera officinalis Species 0.000 description 1
- 239000004859 Copal Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N trichlorofluoromethane Chemical compound FC(Cl)(Cl)Cl CYRMSUTZVYGINF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Control Of Temperature (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
次に上述の実施の形態にかかる液体温調装置1の変形例或いは参考例について図3を参照しつつ説明する。本実施の形態における構成部分のうちの上述の実施の形態の構成部分と同様のものについては、同一の符号を付して、説明を省略する。
10…冷却器
11…蒸発器
100…液体供給回路
101…メイン流路
101U…上流端部
101D…下流端部
111…ポンプ
112…第1流量調節弁
113…バイパス流路
113A…流入側端部
113B…流出側端部
114…第2流量調節弁
115…絞り部材
116…差圧センサ
117…供給側加熱器
118…リターン側加熱器
150…負荷
200…制御部
Claims (6)
- 上流端部と下流端部との間に設けられるポンプの駆動によって前記上流端部から前記下流端部に向けて液体を通流させ、前記下流端部から温度制御対象物側へ供給した液体を前記上流端部に流入させることが可能なメイン流路と、
前記メイン流路における前記上流端部と前記下流端部との間の部分に接続し、前記メイン流路を通流する液体を冷却する冷却器と、
前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側に設けられる第1流量調節弁と、
前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側であって、前記第1流量調節弁よりも上流側の部分から分岐し、前記メイン流路における前記ポンプの上流側で且つ前記冷却器との接続部分の上流側の部分に接続されるバイパス流路と、
前記バイパス流路に設けられる第2流量調節弁と、
前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側であって、前記バイパス流路の流入側端部との接続部分よりも上流側の部分に設けられ、その上流側を通流する液体の圧力をその下流側を通流する液体の圧力よりも低下させる絞り部材と、
前記絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧を検出する差圧センサと、
前記差圧センサが検出する前記絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧が記憶してある基準差圧となるように、前記第2流量調節弁の開度を調節する制御部と、を備えることを特徴とする液体温調装置。 - 前記メイン流路における前記冷却器との接続部分の上流側であって、前記バイパス流路の流出側端部との接続部分の下流側に、液体を加熱するリターン側加熱器をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の液体温調装置。
- 前記メイン流路における前記ポンプの下流側で且つ前記冷却器との接続部分の下流側であって、前記バイパス流路の流入側端部との接続部分よりも上流側に、液体を加熱する供給側加熱器をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体温調装置。
- 前記制御部は、前記第1流量調節弁が基準開度に設定され、前記第2流量調節弁が基準開度に設定され、且つ前記ポンプが基準回転数で駆動された際の前記絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧を前記基準差圧として記憶しており、前記第1流量調節弁の開度が調節された際に、前記絞り部材の上流側を通流する液体と下流側を通流する液体との差圧が前記基準差圧となるように前記第2流量調節弁を調節することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の液体温調装置。
- 前記冷却器によって−50℃以下に冷却された液体を通流させる請求項1乃至4のいずれかに記載の液体温調装置。
- 前記絞り部材は、オリフィス板又はベンチュリ管であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の液体温調装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017183943A JP6912088B2 (ja) | 2017-09-25 | 2017-09-25 | 液体温調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017183943A JP6912088B2 (ja) | 2017-09-25 | 2017-09-25 | 液体温調装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019060518A JP2019060518A (ja) | 2019-04-18 |
JP6912088B2 true JP6912088B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=66178198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017183943A Active JP6912088B2 (ja) | 2017-09-25 | 2017-09-25 | 液体温調装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6912088B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20210351021A1 (en) * | 2020-05-08 | 2021-11-11 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for processing a substrate |
JP7475043B2 (ja) | 2020-09-16 | 2024-04-26 | 伸和コントロールズ株式会社 | 温度制御システム及びその制御方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55152423A (en) * | 1979-05-18 | 1980-11-27 | Hitachi Ltd | Flow rate measuring device for liquefied gas |
JPH05136587A (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-01 | Hitachi Ltd | 水冷却装置 |
JP3079542U (ja) * | 2001-02-13 | 2001-08-24 | 伸和コントロールズ株式会社 | チラー用温調機構 |
JP4294508B2 (ja) * | 2004-02-06 | 2009-07-15 | 中国電力株式会社 | 冷却装置の運転方法 |
JP4910163B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2012-04-04 | Smc株式会社 | 恒温液循環装置及び該装置における温度制御方法 |
JP5969268B2 (ja) * | 2012-05-25 | 2016-08-17 | サンデンホールディングス株式会社 | 地中熱利用ヒートポンプ装置 |
-
2017
- 2017-09-25 JP JP2017183943A patent/JP6912088B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019060518A (ja) | 2019-04-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4688390A (en) | Refrigerant control for multiple heat exchangers | |
JP6681885B2 (ja) | 冷媒システム及び圧縮機用可変速駆動装置の冷却方法 | |
JP2008075920A (ja) | チラー装置 | |
US10429865B2 (en) | Temperature control apparatus | |
JP6912088B2 (ja) | 液体温調装置 | |
CN102741624A (zh) | 涡轮制冷机和制冷***及其控制方法 | |
JP2008075919A (ja) | チラー装置 | |
CN111033147B (zh) | 液体提供装置和液体调温*** | |
EP1601043A2 (en) | Method and apparatus for controlling cooling with coolant at a subambient pressure | |
WO2019087882A1 (ja) | 液体温調装置及びそれを用いた温調方法 | |
JP2009236483A (ja) | Co2冷媒を用いた給湯装置及びその運転方法 | |
JP6127099B2 (ja) | 温度調節システム | |
US20210270504A1 (en) | Refrigeration device and related operating method | |
JP4648877B2 (ja) | 温度制御装置における液排出方法および液排出装置 | |
US7237394B2 (en) | Charge management for 100% heat recovery units | |
JP2001311567A (ja) | 冷凍装置およびそれを用いた環境試験装置 | |
US6749016B2 (en) | Brine temperature control apparatus using a three-way proportional valve | |
JP4943117B2 (ja) | 加熱システム | |
JP4871800B2 (ja) | チラー装置 | |
JP4183430B2 (ja) | チラー装置 | |
JP6491465B2 (ja) | 冷却システム | |
US20110197609A1 (en) | heat transfer system and method | |
JP7315438B2 (ja) | 加熱システム、及びその制御方法 | |
JPH0599227A (ja) | 液温制御装置 | |
EP3531044B1 (en) | Cooling flow control system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210406 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210604 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210701 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6912088 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |