JP6907390B1 - 洗浄方法および洗浄機 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄機の消費電力を削減する。【解決手段】洗浄方法は、容積ポンプ１１により、ノズル１６から洗浄液の噴流５５を生成し、対象物１９の対象部位１９ａに噴流５５が衝突するように、ノズル１６を移動し、ノズル１９の現在位置を取得し、現在位置が対象部位１９ａに対応した目標領域５４ａに一致するか否かを判断し、現在位置が目標領域５４ａに一致する場合、第１圧力ｐ１の噴射圧力ｐを有する噴流５５を噴射し、現在位置が目標領域５４ａに一致しない場合、第１圧力ｐ１より低い噴射圧力ｐを有する噴流５５を噴射する。【選択図】図４

Description

本発明は、洗浄方法および洗浄機に関する。

複数のノズルの中から選択されたノズルから噴出するポンプ装置が知られている（例えば、特許第６２８５８８０号）。このポンプ装置は、容積ポンプと、回転速度可変の駆動装置と、選択装置と、吐出し配管と、ノズルと、駆動装置の回転速度を制御する制御部と、制御パラメータ及び吐出し圧力の目標値をノズルの各々に対応して記憶する記憶装置と、圧力センサと、を有する。制御部は、選択されたノズルに対応する制御パラメータを用いて、吐出し圧力が目標値に一致するように、吐出し圧力をフィードバックして駆動装置の回転速度を制御する。

従来のポンプ装置は、消費電力が大きい。
本発明は、洗浄機の消費電力を削減することを目的とする。

本発明の第１の側面は、
容積ポンプにより、ノズルから洗浄液の噴流を生成し、
対象物の対象部位に前記噴流が衝突するように、前記ノズルを移動し、
前記ノズルの現在位置を取得し、
前記現在位置が前記対象部位に対応した目標領域に一致するか否かを判断し、
前記現在位置が前記目標領域に一致する場合、第１圧力の噴射圧力を有する前記噴流を噴射し、
前記現在位置が前記目標領域に一致しない場合、前記第１圧力より低い噴射圧力を有する前記噴流を噴射する、
洗浄方法である。

本発明の第２の側面は、
洗浄液の噴流を噴射するノズルと、
前記ノズルを対象物に対して相対的に移動させる移動装置と、
前記ノズルに接続され、回転速度を変更できる容積ポンプと、
前記容積ポンプの噴射圧力を計測する圧力計と、
制御装置であって、
数値制御プログラムと、第１圧力と、前記第１圧力よりも低い第２圧力と、第１範囲と、第２範囲と、を格納する記憶装置と、
前記移動装置を前記数値制御プログラムに従って制御する数値制御部と、
前記ノズルの現在位置に基づき取得される目標位置までの残移動量が、前記目標位置を基準とする前記第１範囲に含まれるとき、又は、前記ノズルの出発位置からの移動量が前記第２範囲に含まれるときに、目標圧力を前記第１圧力とし、それ以外のときに前記目標圧力を前記第２圧力とする昇圧部と、
前記ノズルの噴射圧力と前記目標圧力との差分が０になるように、前記回転速度をフィードバック制御する、フィードバック制御部と、
を有する制御装置と、
を有する洗浄機である。

洗浄方法は、ジェット噴流によるバリ取りを含む。洗浄機は、例えば、ジェット噴流によるバリ取り機を含む。
ノズルは、洗浄液を噴射して、その噴流を対象物に衝突させる。ノズルは、例えば、直射ノズル、平射ノズル、ランスノズルである。特に、ノズルは、洗浄対象部位に噴流が直撃するように、数値制御される。ノズルは、対象部位からノズルオフセット距離だけ離間した目標位置を目標に移動を繰り返す。ここで、対象部位とは、例えば、雌ねじ、穴、フライス面、フライス加工エッジ、交差穴部、油穴、水穴である。例えば、フライス加工エッジの輪郭や、交差穴部の周囲のバリの位置は、その全体が対象位置である。エッジやバリの位置に沿ったノズルの軌跡は、その全体が目標位置である。目標位置の近傍の領域を目標領域という。目標領域の広さは、対象部位の代表的な長さに対応して定められてよい。目標領域は、対象部位の洗浄と相関の高い領域である。例えば、噴流が対象部位に差し掛かる領域や、噴流が対象部位の内部に完全に入り込む領域として設定される。目標領域は、ノズルの種類や噴射圧力に応じて設定されても良い。
洗浄液は、例えば、水系洗浄液、水系クーラントである。洗浄液は、例えば防錆剤、苛性アルカリ、防腐剤を溶解した水溶液である。

容積ポンプは、例えば、ピストンポンプである。容積ポンプは、望ましくは、ＰＭ同期モータによって駆動される。
容積ポンプの場合、理論上、ポンプの回転速度は、圧力の平方根に比例する。容積ポンプは、計測された圧力を回転速度に変換できる。ポンプの圧力は、例えば、計測された圧力から算出された理論回転速度と、目標圧力から算出された目標回転速度との差分が０になるように、制御される。

好ましくは、第１範囲は、３次元空間で球状の範囲として与えられる。第１範囲は、多角形でも良い。第１範囲は、例えば、ＸＹＺ方向に辺を持つ直方体で与えられてよい。第１範囲が直方体で与えられる場合、その各軸方向の広さは、移動装置の各軸の加速度（又は時定数）と、圧力の加速度（又は時定数）によって定められてよい。
現在位置と第１範囲を比較するときは、例えば、第１範囲は、目標位置を座標原点として与えられる。このときは、第１範囲は、目標位置からの距離（例えば、目標位置から２０ｍｍの範囲）や、目標位置の座標からの一定の範囲（例えば、目標位置からＸ方向に−３５ｍｍ〜＋３５ｍｍ、Ｙ方向に−３５ｍｍ〜＋３５ｍｍ、Ｚ方向に−３０ｍｍ〜＋３０ｍｍ）、として与えられて良い。第１範囲は、移動指令毎に演算される。

好ましくは、第２範囲は、３次元空間で球状の範囲として与えられる。第２範囲は、多角形でも良い。第２範囲は、例えば、ＸＹＺ方向に辺を持つ直方体で与えられてよい。第２範囲は、圧力を保持すべき代表的な範囲として与えられる。
なお、第２範囲の広さは、０でも良い。その場合、目標位置から移動を始めたときに、目標圧力を第２圧力とする。
現在位置と第２範囲を比較するときは、例えば、第２範囲は、出発位置を座標原点として与えられる。このときは、第２範囲は、目標位置からの距離（例えば、目標位置から３ｍｍの範囲）や、目標位置の座標からの一定の範囲（例えば、目標位置からＸ方向に−２ｍｍ〜＋２ｍｍ、Ｙ方向に−２ｍｍ〜＋２ｍｍ、Ｚ方向に−１ｍｍ〜＋１ｍｍ）、として与えられて良い。第２範囲は、移動指令毎に演算される。

移動を開始したときに、既に現在位置又は残移動量が第１範囲に入っているときには、目標圧力を第１圧力としても良い。
第１範囲および第２範囲は、各軸の加速度（又は時定数）と、フィードバック制御における応答遅れ、対象部位の代表的なサイズから決定されてよい。応答遅れは、例えば、一次遅れとむだ時間系でモデル化できる。

補間移動は、例えば、直線補間移動、円弧補間移動、ヘリカル補間移動である。補間移動では、ノズルは、指定された送り速度で、指定された軌跡に沿って移動する。補間移動の際には、その経路が目標位置（目標経路）となる。
補間移動以外の移動は、例えば、早送りである。早送りでは、ノズルは、出発位置から目標位置まで、到着が最速になるように移動する。補間移動以外の移動では、その経路は目標位置でない。
移動装置は、例えば、固定コラムとテーブル移動による移動装置、３軸コラム移動の移動装置、垂直多関節ロボット、パラレルリンクロボットである。
数値制御プログラムは、例えば、Ｇコードプログラムや、ロボット言語によるプログラムである。

望ましくは、第１圧力は、数値制御プログラムによって入力される。例えば、第１圧力は、Ｇコードプログラムにマクロ変数として埋めこまれる。数値制御部がマクロ変数を読み込んだときに、その値を記憶装置に格納される。
第１圧力は、ノズル毎に定められて、その値を記憶装置に格納されても良い。

望ましくは、第２圧力は、短時間で第１圧力に到達できる圧力である。ここで、短時間とは、例えば対象物が複数の洗浄個所を含む場合に、任意の２つの洗浄個所間をノズルが移動するための所要時間よりも短い時間である。
例えば、第２圧力を定義する関数は、記憶装置に格納される。
第２圧力は、アイドリング回転速度でポンプが回転する場合に吐出される圧力であってもよい。
第２圧力を演算する関数は、移動距離を引数としても良く、移動装置の加速度と圧力の加速度を引数としても良い。第２圧力は、移動装置の数値制御と並行計算されて良い。
第２圧力は、数値制御プログラムによって入力されても良い。例えば、第２圧力は、Ｇコードプログラムにマクロ変数として埋めこまれる。数値制御部がマクロ変数を読み込んだときに、その値を記憶装置に格納される。また、第２圧力は、あらかじめ設定された圧力が格納されていても良い。複数の第２圧力が設定され、どの値を利用するかを数値制御プログラムによって指示されても良い。

噴射停止指令により、第２圧力より低い第３圧力を目標に噴射圧力を降下させても良い。
例えば、第３圧力は、０ＭＰａ、ポンプをアイドリング運転したときに得られるアイドリング圧力である。例えば、ノズルが大きく退避し、噴流が対象物に衝突しない時間において、噴射圧力を第３圧力にまで降下させる。
洗浄機は、降圧部を有して良い。望ましくは、噴射停止指令により、降圧部は、フィードバック制御を停止する。望ましくは、噴射停止指令により、降圧部は、定められた圧力（第３圧力）に相当する回転速度でポンプを回転する。噴射停止時のポンプ回転速度は、アイドリング回転速度で良い。噴射停止時のポンプ回転速度は０でも良い。降圧部は、アイドリング圧力でポンプを運転して良い。

噴射圧力を上昇するときに、噴射圧力が第１閾値以上の場合に、噴射圧力をＰＩＤ制御しても良い。なお、噴射圧力が第１閾値を超える場合に、噴射圧力をＰＩＤ制御しても良い。
噴射圧力を降下するときに、噴射圧力が第２閾値以上の場合に、噴射圧力をＰＩＤ制御しても良い。なお、噴射圧力が第２閾値を超える場合に、噴射圧力をＰＩＤ制御しても良い。

噴射開始指令、噴射停止指令は、数値制御プログラムに組み込まれる。Ｇコードプログラムにおいては、噴射開始指令、噴射停止指令は、例えば、Ｍコードとして定義される。

本発明によれば、洗浄機の消費電力を削減できる。

実施形態の洗浄機の一部を切断した斜視図 実施形態の洗浄機のブロックダイヤグラム 実施形態のフィードバック制御のブロックダイヤグラム 実施形態の洗浄状態を示す斜視図 図４の洗浄中における、軌跡に沿った移動距離に対する噴射圧力と、洗浄対象部位と、を示すグラフ 実施形態の洗浄方法のフローチャート

図１に示すように、洗浄機１０は、ポンプ１１と、移動装置１４と、タレット１５と、ノズル１６と、制御装置２０とを有する。洗浄機１０は、対象物１９を洗浄する。
ポンプ１１は、例えば、ピストンポンプである。ポンプ１１は、ＰＭ同期モータで駆動される。ポンプ１１は、タンク（不図示）から洗浄液をくみ上げ、ノズル１６へ送る。
移動装置１４は、例えば、コラムトラバース型である。移動装置１４は、先端部にタレット１５を有する。複数のノズル１６は、タレット１５に設置されて良い。タレット１５は、複数のノズル１６から、噴射するノズル１６を選択して下方に割り出す。好ましくは、下方に割り出されたノズル１６は、上下方向に延びる回転軸１７を中心に回転できる。下方に割り出されたノズル１６は、ポンプ１１と接続され、洗浄液を噴射する。移動装置１４は、例えば、ノズル１６を、左右方向、上下方向、前後方向へ自在に移動させる。

図２に示すように、制御装置２０は、例えば、Ｇコードプログラムされる数値制御装置である。制御装置２０は、記憶装置３５と、演算装置２１と、を有する。

記憶装置３５は、例えば、不揮発性メモリーである。記憶装置３５は、洗浄プログラム３６と、第１範囲３７と、第２範囲３８と、第１圧力ｐ_１と、第２圧力ｐ_２と、ＰＩＤ制御パラメータ４２と、を格納する。記憶装置３５は、第１閾値（不図示）と、第２閾値（不図示）と、アイドリング回転速度ｒ_３と、を記憶しても良い。第１圧力ｐ_１は、第２圧力ｐ_２よりも高い。第２圧力ｐ_２は、ポンプ１１のアイドリング回転速度に相当する圧力としても良い。
第１閾値は、第１圧力ｐ_１の近傍で、かつ、前記第１圧力ｐ_１よりも小さい。第２閾値は、第２圧力ｐ_２の近傍で、かつ、前記第２圧力ｐ_２より大きい。
アイドリング回転速度ｒ_３は、０ｍｉｎ^−１であって良い。

洗浄プログラム３６は、Ｇコードプログラムであり、第１圧力ｐ_１の指定をマクロ変数として含む。例えば、次のようなＭコードを含む。
Ｍ２１ 噴射開始指令
Ｍ２２ 噴射停止指令
Ｍ３０ エンドオブブロック（プログラム終了）

演算装置２１は、数値制御部２３と、圧力調整部２５と、を有する。
演算装置２１は、主メモリーを有する。数値制御部２３は、洗浄プログラム３６に基づいて移動装置１４を制御し、ノズル１６を移動させる。数値制御部２３は、移動装置１４から現在位置を読み取り、現在位置から目標位置までの残移動量と、移動開始位置から現在位置までの移動量を演算する。残移動量と移動量は、主メモリーに記憶される。

演算装置２１は、噴射開始指令Ｍ２１を読み込むと、噴射中であることを主メモリーに記憶する。例えば、演算装置２１は、二値変数である噴射パラメータに１を代入する。演算装置２１は、噴射停止指令Ｍ２２を読み込むと、噴射中である記憶を消去する。例えば、演算装置２１は、噴射パラメータに０を代入する。演算装置２１は、エンドオブブロックＭ３０を読み込むと、プログラム運転を終了する。

圧力調整部２５は、昇圧部２６と、降圧部２７と、フィードバック制御部２８とを有する。
昇圧部２６は、噴射開始指令Ｍ２１を読み込むと、ポンプ１１を回転させる。昇圧部２６は、残移動量と第１範囲３７とを読み取り、比較する。昇圧部２６は、移動量と第２範囲３８とを読み取り、比較する。比較の結果、目標圧力ｐ_０を設定する。
降圧部２７は、噴射停止指令Ｍ２２を読み込んだときに、アイドリング回転速度ｒ_３でポンプ１１を回転させる。このとき、降圧部２７は、ポンプ１１を停止しても良い。望ましくは、降圧部２７は、フィードバック制御を停止させる。

図３に示すように、フィードバック制御部２８は、第１回転速度変換部２８ａと、ＰＩ制御部２８ｂと、第２回転速度変換部２８ｄと、を有する。制御対象２８ｃは、ポンプ１１と、ノズル１６と、配管１３と、圧力計１２を有する。第１回転速度変換部２８ａと、第２回転速度変換部２８ｄは、同一の構成を有する。第１、第２回転速度変換部２８ａ、２８ｄの伝達関数は、例えば、定数Ｋで与えられる。定数Ｋは、例えば、ポンプ１１の回転速度と圧力との関数として与えられる。ＰＩ制御部２８ｂと制御対象２８ｃの伝達関数は、それぞれＧ１，Ｇ２である。

第１回転速度変換部２８ａは、目標圧力ｐ_０を入力され、目標回転速度ｒ_０を出力する。ＰＩ制御部２８ｂは、目標回転速度ｒ_０と回転速度ｒとの差分ｅを入力され、操作量Ｋ_ｐを出力する。操作量Ｋ_ｐと回転速度ｒの和を回転速度指令値ｒ_１として、ポンプ１１に入力する。ポンプ１１は、回転速度指令値ｒ_１に従って回転する。ノズル１６は、洗浄液を噴出する。圧力計１２は、配管１３内の噴射圧力ｐを測定し、出力する。第２回転速度変換部２８ｄは、噴射圧力ｐを入力され、回転速度ｒを出力し、フィードバックする。

噴射圧力ｐが第１圧力ｐ_１に向かって上昇するときに、フィードバック制御部２８は、噴射圧力ｐが第１閾値以下の場合に、噴射圧力ｐをＰ制御する。そして、噴射圧力ｐが第１閾値を超える場合に、フィードバック制御部２８は、噴射圧力ｐをＰＩ制御する。
噴射圧力ｐが第２圧力ｐ_２に向かって降下するときに、フィードバック制御部２８は、噴射圧力ｐが第２閾値以上の場合に、噴射圧力ｐをＰ制御する。そして、噴射圧力ｐが第２閾値未満の場合に、フィードバック制御部２８は、噴射圧力ｐをＰＩ制御する。

図４〜図６に従って、洗浄方法を説明する。
図４に示すように、対象物１９は、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃを有する。対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃは、例えば、雌ねじである。なお、対象物１９は、任意の数の対象部位を有してよい。
数値制御部２３は、移動装置１４を数値制御して、噴流５５が対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃに衝突するように、ノズル１６を移動させる。ノズル１６は、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃの開口部とノズルオフセット距離５３だけ離れた位置に、次々と位置決めされて、洗浄プログラム３６に規定された軌跡５１に沿って移動する。噴流５５は、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃの開口部に垂直に衝突し、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃを洗浄する。

ここで、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃを洗浄している時のノズル１６の位置をそれぞれ目標位置５１ａ、５１ｂ、５１ｃとする。目標位置５１ａ、５１ｂ、５１ｃの近傍の領域を、それぞれ目標領域５４ａ、５４ｂ、５４ｃとする。目標領域５４ａ、５４ｂ、５４ｃは、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃのサイズによって定められる。例えば、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃがＭ６雌ねじであるときに、目標領域５４ａ、５４ｂ、５４ｃは、目標位置５１ａ、５１ｂ、５１ｃを中心とした直径６ｍｍの球である閉領域である。ノズル１６の移動に伴って、ノズル１６が目標領域５４ａ、５４ｂ、５４ｃに位置するときに、噴流５５の噴射圧力ｐを高くし、その中間位置では噴射圧力ｐを下げる。

図５は、軌跡５１の移動距離に対する圧力のグラフ５９と、グラフ５９に対応する対象物１９の平面図５７を示す。平面図５７においては、軌跡５１を直線に引き伸ばして表示した。図５に示すように、ノズル１６の位置に応じて、噴射圧力ｐが刻々と変動する。
ノズル１６が目標領域５４ａ内に位置するとき、噴射圧力ｐは、第１圧力ｐ_１となる。このとき、噴流５５は対象部位１９ａに直撃する。そして、ノズル１６が目標領域５４ａを離れたときに、噴射圧力ｐは、第１圧力ｐ_１よりも低い圧力になる。ノズル１６が目標領域５４ｂに近付くにつれて、噴射圧力ｐが第１圧力ｐ_１に向かって上昇する。そして、ノズル１６が目標領域５４ｂ内に位置するとき、噴射圧力ｐは、第１圧力ｐ_１となる。以後、同様に、ノズル１６の位置によって、噴射圧力ｐを変動させる。これにより、噴流５５が対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃに衝突するときには、噴射圧力ｐが第１圧力ｐ_１になるため、適切に対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃが洗浄される。
具体的には、ノズル１６を数値制御部２３が移動させるのと並行して、バックグラウンドで圧力調整部２５が、数値制御部２３が演算した移動距離及び残移動量に基づいて、制御対象２８ｃを制御する。

数値制御部２３は、洗浄プログラム３６をブロック毎に読み込み、実行する。昇圧部２６は、数値制御部２３が洗浄プログラム３６を実行する間に、図６に示す演算を、バックグラウンド処理で常に並行処理する。そして、噴射中において、フィードバック制御部２８は、目標圧力ｐ_０を目標として、常に、噴射圧力ｐをフィードバック制御する。

図６に示すように、ステップＳ１において、圧力調整部２５は、噴射パラメータの数値を取得し、噴射中か否かを判断する。ｙｅｓの場合はステップＳ２へ、ｎｏの場合は、ステップＳ１０へ進む。
ステップＳ２において、圧力調整部２５は、数値制御部２３が実行中の移動ブロックが補間移動か否かを判断する。例えば、早送りであればｎｏであり、直線補間移動や円弧補間移動であればｙｅｓである。ｙｅｓの場合はステップＳ７へ、ｎｏの場合はステップＳ３へ進む。
ステップＳ３において、昇圧部２６は、移動量を取得する。
ステップＳ４において、昇圧部２６は、残移動量を取得する。ステップＳ４は、ステップＳ３と同時に実行されても良い。

ステップＳ５において、昇圧部２６は、残移動量が第１範囲３７に含まれるか否かを判断する。ｙｅｓの場合はステップＳ７へ、ｎｏの場合はステップＳ６へ進む。
ステップＳ６において、昇圧部２６は、移動量が第２範囲３８に含まれるか否かを判断する。ｙｅｓの場合はステップＳ７へ、ｎｏの場合はステップＳ８へ進む。
ステップＳ７において、目標圧力ｐ_０に第１圧力ｐ_１を代入する。
ステップＳ８において、目標圧力ｐ_０に第２圧力ｐ_２を代入する。

ステップＳ１０において、好ましくは、降圧部２７は、ポンプ１１をアイドリング回転速度ｒ_３で回転する。このとき、フィードバック制御部２８は停止する。
ステップＳ９において、圧力調整部２５は、プログラムが終了したか否かを判断する。ｙｅｓの場合は終了し、ｎｏの場合はステップＳ１へ戻る。

本実施形態の洗浄方法によれば、対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃに噴流５５が衝突するときに噴射圧力ｐが高くなり、対象物１９のそれ以外の部位に噴流５５が衝突するときに噴射圧力ｐが低くなる。ここで、ポンプ１１は容積ポンプであるため、噴射圧力ｐが小さくなると、駆動電力が小さくなる。対象部位１９ａ、１９ｂ、１９ｃに噴流５５が衝突しないときに噴射圧力ｐを下げることにより、ポンプ１１の消費電力量を削減できる。

対象部位に第１圧力の噴流が衝突し、それ以外の部位には、第１圧力よりも低い圧力の噴流が衝突する。そのため、対象物の表面が噴流によって損傷しやすい場合にも、表面の損傷を抑制できる。

本発明は前述した実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であり、特許請求の範囲に記載された技術思想に含まれる技術的事項の全てが本発明の対象となる。前記実施形態は、好適な例を示したものであるが、当業者ならば、本明細書に開示の内容から、各種の代替例、修正例、変形例あるいは改良例を実現することができ、これらは添付の特許請求の範囲に記載された技術的範囲に含まれる。

１０ 洗浄機
１１ ポンプ（容積ポンプ）
１２ 圧力計
１４ 移動装置
１６ ノズル
１９ 対象物
１９ａ、１９ｂ、１９ｃ 対象部位
ｐ 噴射圧力
ｐ_０ 目標圧力
ｐ_１ 第１圧力
ｐ_２ 第２圧力
ｒ 回転速度

Claims (13)

1. 容積ポンプにより、ノズルから洗浄液の噴流を生成し、
   対象物の複数の対象部位に前記噴流が衝突するように、前記ノズルを移動し、
   前記ノズルの現在位置を取得し、
   前記現在位置に基づき、目標位置までの前記ノズルの残移動量を取得し、
   前記現在位置が前記対象部位に対応した目標領域に一致するか否かを判断し、
   前記現在位置が前記目標領域に一致する場合、第１圧力の噴射圧力を有する前記噴流を噴射し、
   前記現在位置が前記目標領域に一致しない場合、前記第１圧力より低い第２圧力であって、前記複数の対象部位のうち２つの対象部位の間を前記ノズルが移動する所要時間以内に前記第１圧力に到達できる第２圧力の噴射圧力を有する前記噴流を噴射し、
   前記残移動量が前記目標位置を基準とする第１範囲に含まれるときに、前記第１圧力を目標に前記噴射圧力を上昇させ、
   前記残移動量が前記第１範囲に含まれないときに、前記第２圧力を目標に前記噴射圧力を降下させる、
   洗浄方法。
2. 前記現在位置に基づき、出発位置からの前記ノズルの移動量を取得し、
   前記残移動量が前記第１範囲に含まれず、かつ、前記移動量が前記出発位置を基準とする第２範囲に含まれないときに、前記第２圧力を目標に前記噴射圧力を降下させる、
   請求項１に記載の洗浄方法。
3. 前記ノズルが一定の送り速度で前記目標位置に沿って移動するときは、前記ノズルは前記第１圧力で前記噴流を噴射する、
   請求項１に記載の洗浄方法。
4. 前記ノズルが一定の送り速度で前記目標位置に沿って移動するときは、前記ノズルは前記第１圧力で前記噴流を噴射する、
   請求項２に記載の洗浄方法。
5. 前記残移動量が前記第１範囲に含まれるとき、又は、前記残移動量が前記第１範囲に含まれず、かつ、前記移動量が前記第２範囲に含まれるときに、目標圧力を前記第１圧力とし、
   それ以外のときに、前記目標圧力を前記第２圧力とし、
   前記噴射圧力と前記目標圧力との差が０になるように、前記噴射圧力をフィードバック制御する、
   請求項２又は４に記載の洗浄方法。
6. 噴射開始指令により、前記フィードバック制御を開始し、
   噴射停止指令により、前記フィードバック制御を停止し、前記容積ポンプの回転を停止又はアイドリング回転速度にする、
   請求項５に記載の洗浄方法。
7. 前記ノズルが一定の送り速度で前記目標位置に沿って移動する間、前記目標圧力を前記第１圧力とする、
   請求項６に記載の洗浄方法。
8. 前記第２圧力は、前記第１圧力に対する関数で与えられる、
   請求項１〜７のいずれかに記載の洗浄方法。
9. 前記噴射圧力が前記第１圧力に向かって上昇するときに、
   前記噴射圧力が、前記第１圧力の近傍でかつ前記第１圧力よりも小さい第１閾値以下の場合に、前記噴射圧力をＰ制御し、
   前記噴射圧力が前記第１閾値を超える場合に、前記噴射圧力をＰＩ制御する、
   請求項１〜８のいずれかに記載の洗浄方法。
10. 前記噴射圧力が前記第２圧力に向かって降下するときに、
    前記噴射圧力が、前記第２圧力の近傍でかつ前記第２圧力より大きい第２閾値以上の場合に、前記噴射圧力をＰ制御し、
    前記噴射圧力が前記第２閾値未満の場合に、前記噴射圧力をＰＩ制御する、
    請求項１〜９のいずれかに記載の洗浄方法。
11. 洗浄液の噴流を噴射するノズルと、
    前記ノズルを対象物の複数の対象部位に対して相対的に移動させる移動装置と、
    前記ノズルに接続され、回転速度を変更できる容積ポンプと、
    前記容積ポンプの噴射圧力を計測する圧力計と、
    制御装置であって、
    数値制御プログラムと、第１圧力と、前記第１圧力よりも低い第２圧力であって、前記複数の対象部位のうち２つの対象部位の間を前記ノズルが移動する所要時間以内に前記第１圧力に到達できる第２圧力と、第１範囲と、を格納する記憶装置と、
    前記移動装置を前記数値制御プログラムに従って制御する数値制御部と、
    前記ノズルの現在位置に基づき取得される目標位置までの残移動量が、前記目標位置を基準とする前記第１範囲に含まれるときに、目標圧力を前記第１圧力とし、それ以外のときに前記目標圧力を前記第２圧力とする昇圧部と、
    前記ノズルの噴射圧力と前記目標圧力との差分が０になるように、前記回転速度をフィードバック制御する、フィードバック制御部と、
    を有する制御装置と、
    を有する洗浄機。
12. 前記記憶装置は、第２範囲を格納し、
    前記昇圧部は、前記ノズルの出発位置からの移動量が前記第２範囲に含まれるときに、前記目標圧力を前記第１圧力とする、
    請求項１１に記載の洗浄機。
13. 前記数値制御プログラムは、噴射開始指令及び噴射停止指令を有し、
    前記制御装置は、前記噴射停止指令を受けたときに、前記フィードバック制御部によるフィードバック制御を停止させ、前記回転速度を０とする降圧部を有し、
    前記フィードバック制御部は、前記噴射開始指令を受けたときに前記フィードバック制御を実行する、
    請求項１１又は１２に記載の洗浄機。

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