JP6884625B2

JP6884625B2 - X-ray inspection equipment

Info

Publication number: JP6884625B2
Application number: JP2017077178A
Authority: JP
Inventors: 雅実長野; 弘典大門; 隆一井上
Original assignee: Toshiba IT and Control Systems Corp
Current assignee: Toshiba IT and Control Systems Corp
Priority date: 2017-04-07
Filing date: 2017-04-07
Publication date: 2021-06-09
Anticipated expiration: 2037-04-07
Also published as: JP2018179657A

Description

本発明の実施形態は、Ｘ線検出器を移動（以下、シフトという）することにより、Ｘ線検出器の受光範囲には収まらない照射対象物（以下、ワークという）を一枚の画像として得ることができるＸ線検査装置に関する。 In the embodiment of the present invention, by moving the X-ray detector (hereinafter referred to as shift), an irradiation object (hereinafter referred to as a work) that does not fall within the light receiving range of the X-ray detector is obtained as one image. With respect to an X-ray inspection device capable.

Ｘ線検査装置は、Ｘ線の照射源と、ワークを載せるテーブルと、ワークを透過したＸ線を受光するＸ線検出器とから構成される。照射源から発したＸ線は、円錐状に広がってワークに達し、ワークを通過した後もさらに広がってＸ線検出器に達する。そのため、テーブルやその上に載せたワークを透過するＸ線の照射面積に比較して、Ｘ線検出器の受光面積は大きくなる。しかし、受光面積の大きなＸ線検出器は使用する受光素子数も多く、検出器自体も大型化することから、より小型のＸ線検出器を使用することが望まれていた。 The X-ray inspection apparatus includes an X-ray irradiation source, a table on which the work is placed, and an X-ray detector that receives X-rays that have passed through the work. The X-rays emitted from the irradiation source spread in a conical shape to reach the work, and even after passing through the work, further spread to reach the X-ray detector. Therefore, the light receiving area of the X-ray detector is larger than the irradiation area of the X-rays transmitted through the table and the work placed on the table. However, since an X-ray detector having a large light receiving area uses a large number of light receiving elements and the detector itself becomes large, it has been desired to use a smaller X-ray detector.

このような要望に従い、従来から特許文献１〜３に示すように、小型のＸ線検出器を水平方向にシフトすることで、複数枚の透視画像を撮影し、その後、画像を繋ぎ合わせることで、ワーク全体が映し出された一枚の画像を得るＸ線検査装置が知られている。すなわち、この従来技術では、Ｘ線検出器を平行移動、または、Ｘ線焦点を軸に旋回移動し、複数個所で収集したＸ線透視画像を合成することにより、Ｘ線検出器の入力面を疑似的に広げてＣＴ画像を撮影することができる。 In response to such a request, as conventionally shown in Patent Documents 1 to 3, a small X-ray detector is shifted in the horizontal direction to take a plurality of fluoroscopic images, and then the images are stitched together. , An X-ray inspection device that obtains a single image in which the entire work is projected is known. That is, in this conventional technique, the input surface of the X-ray detector is moved by translating the X-ray detector or rotating around the X-ray focus and synthesizing the X-ray fluoroscopic images collected at a plurality of locations. A CT image can be taken by spreading it in a pseudo manner.

特許第４５６９７６３号公報Japanese Patent No. 4569763 特許第４７８８２７２号公報Japanese Patent No. 4788272 特許第５１３８２７９号公報Japanese Patent No. 5138279

このような従来技術では、別々に撮影された二枚の画像について、ワークの重複部分をパターンマッチングにより比較することで一致点を探し、その一致点を重ね合わせるように二枚の画像を繋ぎ合わせて、ワーク全体が表示された一枚の画像を得ていた。 In such a conventional technique, for two images taken separately, a matching point is searched for by comparing overlapping parts of the workpieces by pattern matching, and the two images are joined so as to overlap the matching points. I got a single image showing the whole work.

しかし、一般に、ワークの形状は、凹凸や曲線部分、さらにはＸ線の透過率の相違による濃淡の違いなどがある複雑なものであることから、パターンマッチングの処理を行うに当たって、高性能のコンピュータが要求されるとともに、長い処理時間が必要となる問題があった。また、テーブル上のワークを交換して新たな照射を行う度に、そのワークのためのパターンマッチングが必要となることから、大量かつ多品種のワークについて迅速に全体画像を得ることが困難であった。 However, in general, the shape of a work is complicated due to unevenness, curved parts, and differences in shading due to differences in X-ray transmittance. Therefore, a high-performance computer is used for pattern matching processing. However, there is a problem that a long processing time is required. In addition, it is difficult to quickly obtain an entire image of a large number of works of various types because pattern matching for the work is required every time the work on the table is replaced and new irradiation is performed. It was.

このように、従来技術では、複数個所で収集したＸ線透視画像の合成にパターンマッチングを使用する場合、パターンマッチングの計算時間分、ＣＴ画像撮影時間が伸びてしまう、また、合成に使用する画像の再サンプリングが必要となる場合、撮影時間が伸びるだけでなく、補間誤差が入ってしまうという問題があった。 As described above, in the prior art, when pattern matching is used for synthesizing X-ray fluoroscopic images collected at a plurality of places, the CT image shooting time is extended by the calculation time of pattern matching, and the image used for synthesizing When it is necessary to resample the image, there is a problem that not only the shooting time is extended but also an interpolation error is introduced.

本実施形態は、上記のような従来技術の問題点を解決するために提案されたものである。本実施形態の目的は、Ｘ線検出器をシフトして複数枚の画像を撮影した場合であっても、ワークの全体画像を簡単かつ迅速に得ることのできるＸ線検査装置を提供することにある。 This embodiment has been proposed to solve the above-mentioned problems of the prior art. An object of the present embodiment is to provide an X-ray inspection apparatus capable of easily and quickly obtaining an entire image of a work even when a plurality of images are taken by shifting the X-ray detector. is there.

本実施形態のＸ線検査装置は、次のような構成を有することを特徴とする。
（１）Ｘ線の照射源と、被照射物を載せるテーブルと、前記被照射物を透過したＸ線を受光してその透過画像を検出するＸ線検出器と、を備える。
（２）前記Ｘ線検出器を第１のシフト位置と第２のシフト位置との間で移動させるシフト機構。
（３）前記シフト機構による前記Ｘ線検出器の移動を制御する制御部。
（４）前記第１のシフト位置において撮影した前記テーブル上に載せた移動位置検出用治具の第１の画像と、前記第２のシフト位置において撮影した前記治具の第２の画像とのパターンマッチングを行うマッチング処理部。
（５）前記マッチング処理部において検出した前記第１の画像における前記治具の位置と第２の画像における前記治具の位置に基づいて、前記Ｘ線検出器の前記第１のシフト位置と前記第２のシフト位置間の移動量を補正する移動量演算部。
（６）前記移動量演算部により補正された移動量を記憶する記憶部。
（７）前記制御部は、前記記憶部に記憶されている前記補正された移動量に基づいて、前記Ｘ線検出器を第１のシフト位置から補正された第２のシフト位置に移動させ、前記被照射物を前記第１のシフト位置と前記補正された第２のシフト位置でそれぞれ撮影し、それぞれのシフト位置で撮影した画像を合成することにより、前記被照射物のパターンマッチングを行うことなく前記被照射物の全体画像を作成する。
The X-ray inspection apparatus of the present embodiment is characterized by having the following configuration.
(1) comprises an X-ray radiation source, a table for placing an object to be irradiated, and the X-ray detector for detecting the transmitted image by receiving X-rays transmitted through the irradiated object, the.
(2) the shift mechanism for moving between the X-ray detector a first shift position and a second shift position.
(3) control unit for controlling the movement of the X-ray detector according to said shift mechanism.
(4) a first images of the first movement position detection jig and mounted on said table taken in the shift position, and a second image of the jig taken at the second shift position Matching processing unit that performs pattern matching.
(5) based on the position of the jig on the jig position and a second image in the first image detected in the matching processing section, the said first shift position of the X-ray detector A movement amount calculation unit that corrects the movement amount between the second shift positions.
(6) A storage unit that stores the movement amount corrected by the movement amount calculation unit.
(7) wherein, prior SL on the basis of the corrected movement amount stored in the storage unit, is moved to the second shift position is correct the X-ray detector from the first shift position , The irradiated object is photographed at the first shift position and the corrected second shift position, and the images captured at the respective shift positions are combined to perform pattern matching of the irradiated object. to create an overall image of the irradiated object without.

以下のような実施形態も、本発明の一態様である。
（１）Ｘ線検出器がＸ線管の光軸と直交する方向を基準として、水平方向及び垂直方向に移動する。
（２）移動量演算部が、Ｘ線検出器によって撮影された画像の画素を基準として移動量を補正する。 The following embodiments are also aspects of the present invention.
(1) The X-ray detector moves in the horizontal and vertical directions with reference to the direction orthogonal to the optical axis of the X-ray tube.
(2) The movement amount calculation unit corrects the movement amount with reference to the pixels of the image captured by the X-ray detector.

第１実施形態の全体構成を示す平面図。The plan view which shows the whole structure of 1st Embodiment. 第１実施形態で使用する治具の一例を示す斜視図。The perspective view which shows an example of the jig used in 1st Embodiment. 第１実施形態で使用する治具の他の例を示す斜視図。The perspective view which shows the other example of the jig used in 1st Embodiment. 第１実施形態において、第１のシフト位置と第２のシフト位置で撮影した画像からＸ線検出器の移動量を求める方法を示す模式図。FIG. 6 is a schematic diagram showing a method of obtaining the movement amount of the X-ray detector from the images taken at the first shift position and the second shift position in the first embodiment.

［１．第１実施形態］
［１−１．実施形態の構成］
以下、第１実施形態を、図面に従って具体的に説明する。本実施形態のＸ線検査装置は、図１の平面図に示すように、放射線源であるＸ線管１と、ワークを載せるテーブル２と、Ｘ線管１から放射されたＸ線ビームを受光するＸ線検出器３を、所定の間隔を保って配置したものである。 [1. First Embodiment]
[1-1. Configuration of Embodiment]
Hereinafter, the first embodiment will be specifically described with reference to the drawings. As shown in the plan view of FIG. 1, the X-ray inspection apparatus of the present embodiment receives the X-ray tube 1 which is a radiation source, the table 2 on which the work is placed, and the X-ray beam emitted from the X-ray tube 1. The X-ray detectors 3 to be used are arranged at predetermined intervals.

Ｘ線管１は、その焦点から水平方向に円錐状のＸ線ビームを発するもので、Ｘ線ビームはテーブル２上に載置されたワークを透過して、Ｘ線検出器３に達する。Ｘ線検出器３は、Ｘ線ビームを２次元の空間分解能をもって検出し、透過像をディスプレイやフィルム上に表示するデータを出力する。テーブル２は、図示しない回転テーブルやＸＹ駆動機構によって、垂直方向の軸を中心として回転し、あるいはＸ線管１の接離する方向及びＸ線検出器３の移動方向と平行な方向に移動する。 The X-ray tube 1 emits a conical X-ray beam in the horizontal direction from its focal point, and the X-ray beam passes through a work placed on the table 2 and reaches the X-ray detector 3. The X-ray detector 3 detects an X-ray beam with two-dimensional spatial resolution, and outputs data for displaying a transmitted image on a display or a film. The table 2 is rotated about a vertical axis by a rotary table or an XY drive mechanism (not shown), or moves in a direction parallel to the moving direction of the X-ray tube 1 and the moving direction of the X-ray detector 3. ..

Ｘ線検査装置は、Ｘ線検出器３を第１と第２のシフト位置に停止させて、各位置においてワークを撮影する。そのため、Ｘ線検出器３は、移動のための駆動源としてシフト機構４と、シフト機構４によるＸ線検出器３の移動方向及び移動量を制御する制御部５が接続される。 The X-ray inspection apparatus stops the X-ray detector 3 at the first and second shift positions, and photographs the workpiece at each position. Therefore, the X-ray detector 3 is connected to the shift mechanism 4 as a drive source for movement and the control unit 5 that controls the movement direction and movement amount of the X-ray detector 3 by the shift mechanism 4.

制御部５は、Ｘ線検出器３をＸ線管１の光軸と直交する方向、すなわちＸ線検査装置の据え付け面を基準として、水平方向及び垂直方向に移動させる。水平方向の移動を横移動、垂直方向の移動を縦移動という。具体的には、移動量の検出時において、制御部５は、第１と第２のシフト位置において、Ｘ線検出器３の受光面の一部分が少なくともシフト位置検出用の治具９（以下、治具９という）の投影面積に相当する分だけ重なり合うように、Ｘ線検出器３を横移動させる。ワークの撮影時において、制御部５は、第１のシフト位置を起点として、後述するシフト位置演算部７が演算した移動量に基づいて決定された第２のシフト位置に向かって、Ｘ線検出器３を横移動及び縦移動させる。 The control unit 5 moves the X-ray detector 3 in the direction orthogonal to the optical axis of the X-ray tube 1, that is, in the horizontal direction and the vertical direction with reference to the installation surface of the X-ray inspection device. Horizontal movement is called horizontal movement, and vertical movement is called vertical movement. Specifically, at the time of detecting the movement amount, in the control unit 5, at least a part of the light receiving surface of the X-ray detector 3 at the first and second shift positions is a jig 9 for detecting the shift position (hereinafter, hereinafter, The X-ray detector 3 is moved laterally so as to overlap with each other by the amount corresponding to the projected area of the jig 9). At the time of photographing the work, the control unit 5 detects X-rays starting from the first shift position toward the second shift position determined based on the movement amount calculated by the shift position calculation unit 7 described later. The vessel 3 is moved horizontally and vertically.

Ｘ線検出器３は、第１と第２のシフト位置で撮影した２つの画像中から、治具９の画像を注出し、両画像の一致点を特定するマッチング処理部６を備えている。マッチング処理部６には、シフト位置演算部７が接続されている。シフト位置演算部７は、マッチング処理により２つの画像が一致した場合に、第１と第２の画像内における治具９の位置に基づいて、Ｘ線検出器３の第１と第２のシフト位置間の横移動量及び縦移動量を演算する。本実施形態では、縦横の移動量はＸ線検出器３の解像度に基づく画素単位で決定され、縦移動量が０画素、横移動量が整数画素、すなわち、所望の移動量（ｍｍ）／検出器の移動ピッチ（ｍｍ）となるように、移動量が演算される。 The X-ray detector 3 includes a matching processing unit 6 that ejects an image of the jig 9 from two images taken at the first and second shift positions and identifies a coincidence point between the two images. A shift position calculation unit 7 is connected to the matching processing unit 6. The shift position calculation unit 7 shifts the first and second shifts of the X-ray detector 3 based on the positions of the jigs 9 in the first and second images when the two images match by the matching process. Calculate the amount of horizontal movement and the amount of vertical movement between positions. In the present embodiment, the vertical and horizontal movement amount is determined in pixel units based on the resolution of the X-ray detector 3, the vertical movement amount is 0 pixel, and the horizontal movement amount is an integer pixel, that is, a desired movement amount (mm) / detection. The amount of movement is calculated so as to be the movement pitch (mm) of the vessel.

シフト位置演算部７には、演算結果を格納する記憶部８が接続されている。この記憶部８はメモリやハードディスクなどの記憶装置によって構成される。記憶部８に記録された縦移動量及び横移動量は、制御部５が読み出すことができる。また、記憶部８には、移動量検出時において制御部５に出力する第１及び第２のシフト位置の座標が記録される。 A storage unit 8 for storing the calculation result is connected to the shift position calculation unit 7. The storage unit 8 is composed of a storage device such as a memory or a hard disk. The vertical movement amount and the horizontal movement amount recorded in the storage unit 8 can be read out by the control unit 5. Further, the storage unit 8 records the coordinates of the first and second shift positions output to the control unit 5 when the movement amount is detected.

治具９は、直線あるいは円弧などのように単純な形状で且つ比較的画素数が少なく、パターンマッチング処理が容易且つ迅速に行える形状である。図２は治具９の一例であって、この治具９は、平板状の底板９１と、その表面に固定された円柱９２と、円柱９２に設けられた複数個の円形穴９３を有する。図３は治具９の他の例であって、平板状の底板９１の上に、支柱９４によって支持された三角板９５を固定したものである。治具９は、Ｘ線が半透過して、治具９の各部の輪郭が明瞭に撮影されるようにアルミ製のものが好ましい。 The jig 9 has a simple shape such as a straight line or an arc, has a relatively small number of pixels, and has a shape that allows easy and quick pattern matching processing. FIG. 2 is an example of a jig 9, which has a flat bottom plate 91, a cylinder 92 fixed to the surface thereof, and a plurality of circular holes 93 provided in the cylinder 92. FIG. 3 is another example of the jig 9, in which a triangular plate 95 supported by a support column 94 is fixed on a flat plate-shaped bottom plate 91. The jig 9 is preferably made of aluminum so that X-rays can be semi-transmitted and the outline of each part of the jig 9 is clearly photographed.

［１−２．実施形態の作用］
本実施形態において、受光面積が小さいＸ線検出器３を第１のシフト位置と第２のシフト位置の２カ所で撮影を行い、その画像を合成して１枚の全体画像を得るには次のようにする。 [1-2. Action of embodiment]
In the present embodiment, the X-ray detector 3 having a small light receiving area is photographed at two locations, the first shift position and the second shift position, and the images are combined to obtain one whole image. To do.

（１）移動量の検出
移動量の検出にあたっては、予めテーブル上に治具９をセットする。治具９をセットする位置は、第１と第２のシフト位置におけるＸ線検出器３の受光面が重なった部分であって、Ｘ線検出器３がどちらのシフト位置に停止した場合であっても、治具９の投影画像が受光面に映し出される位置とする。 (1) Detection of movement amount In detecting the movement amount, the jig 9 is set on the table in advance. The position where the jig 9 is set is the portion where the light receiving surfaces of the X-ray detector 3 overlap at the first and second shift positions, and the X-ray detector 3 stops at which shift position. However, the position is such that the projected image of the jig 9 is projected on the light receiving surface.

治具９をセットした後は、Ｘ線検出器３を第１のシフト位置に停止させた状態においてＸ線管１からＸ線を放射して、治具９の第１の画像の撮影を行う。Ｘ線検出器３のシフト位置への移動は、制御部５が記憶部８から第１のシフト位置の座標を取り出し、それに基づいてシフト機構４を横方向及び縦方向に移動させることにより行う。移動量の検出時におけるＸ線検出器３の第２のシフト位置への移動も同様である。 After setting the jig 9, X-rays are emitted from the X-ray tube 1 in a state where the X-ray detector 3 is stopped at the first shift position, and the first image of the jig 9 is taken. .. The movement of the X-ray detector 3 to the shift position is performed by the control unit 5 taking out the coordinates of the first shift position from the storage unit 8 and moving the shift mechanism 4 in the horizontal direction and the vertical direction based on the coordinates. The same applies to the movement of the X-ray detector 3 to the second shift position when the movement amount is detected.

撮影された第１の画像は、Ｘ線検出器３からマッチング処理部６に出力され、マッチング処理のために保存される。次いで、Ｘ線検出器３を第２のシフト位置に移動させ、治具９の第２の画像の撮影を行い、撮影された第２の画像をマッチング処理部６に出力する。この第１のシフト位置から第２のシフト位置に対する移動は、制御部５がシフト機構４に対して移動量を出力することにより行う。 The captured first image is output from the X-ray detector 3 to the matching processing unit 6 and saved for the matching processing. Next, the X-ray detector 3 is moved to the second shift position, the second image of the jig 9 is photographed, and the photographed second image is output to the matching processing unit 6. The movement from the first shift position to the second shift position is performed by the control unit 5 outputting the movement amount to the shift mechanism 4.

第１と第２の画像が入力されたマッチング処理部６においては、各画像内に投影されている治具９の画像を抽出して、２つの治具９の画像を重ね合わせることにより、各位置のＸ線透視画像に映っている治具９の位置から、Ｘ線検出器３の移動量を求める。 In the matching processing unit 6 in which the first and second images are input, the images of the jig 9 projected in each image are extracted, and the images of the two jigs 9 are superimposed on each other. The amount of movement of the X-ray detector 3 is obtained from the position of the jig 9 shown in the X-ray fluoroscopic image of the position.

図４は、第１と第２の画像に基づいてＸ線検出器３の移動量を求める方法を示すものである。（ａ）は第１のシフト位置で撮影した第１の画像、（ｂ）は第２のシフト位置で撮影した第２の画像である。これらの画像中の異なる位置には、治具９の画像が表示されている。シフト位置演算部７は、各画像内における治具９の縦方向及び横方向の移動量に基づいて、Ｘ線検出器３の移動量を求める。すなわち、撮影された画像の画素単位を基準として、Ｘ線検出器３の移動量が、縦は０、横は整数画素（所望の検出器移動量ｍｍ／検出器の移動ピッチｍｍ）となるように、Ｘ線検出器３の移動量を演算する。シフト位置演算部７によって求められたＸ線検出器３の移動量は、記憶部８に格納される。 FIG. 4 shows a method of obtaining the movement amount of the X-ray detector 3 based on the first and second images. (A) is a first image taken at the first shift position, and (b) is a second image taken at the second shift position. Images of the jig 9 are displayed at different positions in these images. The shift position calculation unit 7 obtains the movement amount of the X-ray detector 3 based on the movement amount of the jig 9 in the vertical direction and the horizontal direction in each image. That is, the movement amount of the X-ray detector 3 is 0 in the vertical direction and an integer pixel in the horizontal direction (desired movement amount of the detector mm / movement pitch of the detector mm) based on the pixel unit of the captured image. The movement amount of the X-ray detector 3 is calculated. The amount of movement of the X-ray detector 3 obtained by the shift position calculation unit 7 is stored in the storage unit 8.

（２）ワークの撮影
検査対象物であるワークを撮影するには、シフト機構４によりＸ線検出器３を第１のシフト位置に停止させて、第１の画像を撮影する。次に、制御部５が、シフト位置演算部７によって求められた移動量を記憶部８から読み出して、その移動量に基づいてシフト機構４を制御し、Ｘ線検出器３を第２のシフト位置に移動させる。 (2) Taking a picture of the work In order to take a picture of the work to be inspected, the shift mechanism 4 stops the X-ray detector 3 at the first shift position and takes a first image. Next, the control unit 5 reads the movement amount obtained by the shift position calculation unit 7 from the storage unit 8, controls the shift mechanism 4 based on the movement amount, and shifts the X-ray detector 3 to the second shift. Move to position.

この第２のシフト位置は、移動量の検出時にＸ線検出器３を停止させた第２のシフト位置とは異なり、治具のパターンマッチングによって補正されたシフト位置である。そのため、第１のシフト位置において撮影されたワークの第１の画像と、補正後の第２のシフト位置において撮影されたワークの第２の画像とは、パターンマッチングをすることなく、記憶部８に記憶されているＸ線検出器３の移動量を考慮してつなぎ合わせることにより、ワークの全体形状を表示した１枚の合成画像を得ることができる。 This second shift position is a shift position corrected by pattern matching of the jig, unlike the second shift position in which the X-ray detector 3 is stopped when the movement amount is detected. Therefore, the first image of the work taken at the first shift position and the second image of the work taken at the corrected second shift position do not perform pattern matching, and the storage unit 8 By connecting the X-ray detectors 3 stored in the above in consideration of the movement amount of the X-ray detector 3, one composite image showing the entire shape of the work can be obtained.

［１−３．実施形態の効果］
本実施形態は、次のような効果を有する。
（１）Ｘ線検出器の移動量を、撮影した画像全体のパターンマッチングを使用せずに、また、再サンプリングを行わずにＸ線透視画像の合成が可能となる。その結果、ＣＴ画像の撮影時間を短縮でき、補間誤差のないＸ線透視画像でＣＴ画像撮影を行うことができる。
（２）第１のシフト位置と第２のシフト位置の移動量を検出するにあたり、単純な形状でパターンマッチング処理が正確かつ短時間に実施可能な治具を使用することにより、パターンマッチングに要するリソースが少なくて済む。
（３）パターンマッチングはＸ線検出器３の移動量の検出時にのみ行えばよいので、ワークを撮影するごとにパターンマッチングを行っていた従来技術に比較して、画像の合成に必要とする時間が大幅に短縮される。
［２．他の実施形態］
本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。具体的には、次のような他の実施形態も包含する。 [1-3. Effect of embodiment]
This embodiment has the following effects.
(1) It is possible to synthesize an X-ray fluoroscopic image without using pattern matching of the entire captured image and without resampling the amount of movement of the X-ray detector. As a result, the imaging time of the CT image can be shortened, and the CT image can be captured with the X-ray fluoroscopic image without interpolation error.
(2) In detecting the amount of movement of the first shift position and the second shift position, pattern matching is required by using a jig that has a simple shape and can perform pattern matching processing accurately and in a short time. It requires less resources.
(3) Since pattern matching only needs to be performed when the movement amount of the X-ray detector 3 is detected, the time required for image composition is compared with the conventional technique in which pattern matching is performed every time a workpiece is photographed. Is greatly shortened.
[2. Other embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and at the implementation stage, the components can be modified and embodied within a range that does not deviate from the gist thereof. In addition, various inventions can be formed by an appropriate combination of the plurality of components disclosed in the above-described embodiment. For example, some components may be removed from all the components shown in the embodiments. In addition, components across different embodiments may be combined as appropriate. Specifically, it also includes other embodiments such as the following.

（１）Ｘ線検出器３は、図示の実施形態のように平行移動するものに限定されるものではなく、Ｘ線の焦点を軸に旋回移動して複数個所でワークを撮影するものであっても良い。
（２）Ｘ線検出器３がＸ線管の光軸と直交する方向を基準として、水平方向又は垂直方向のいずれか一方にのみ移動するものでも良い。
（３）Ｘ線検出器３がＸ線焦点を軸に旋回移動するものでも良い。
（４）図３に示すような三角形の治具９を使った場合は、2か所で撮影した3角形の画像のつなぎ目が縦・横共に無いように移動量を調整することで、パターンマッチング処理を容易に行うことが可能となる。特に、マッチング処理をコンピュータで行う代わりに、作業員の目視によって行うことも可能であり、そのような場合には三角形の治具の使用は有利である。
（５）第１、第２のシフト位置の２か所に限らず、第３、第４…とシフト位置を増やして
もよい。
（６）図示のようなＸ線の光軸が検査装置の据え付け面と平行になる装置に限らず、Ｘ線管１、テーブル２及びＸ線検出器３を垂直方向に感覚を保って配置した検査装置にも本発明を適用できる。 (1) The X-ray detector 3 is not limited to the one that moves in parallel as in the illustrated embodiment, but moves in a swirling manner around the focal point of the X-ray to photograph the workpiece at a plurality of places. You may.
(2) The X-ray detector 3 may move only in either the horizontal direction or the vertical direction with reference to the direction orthogonal to the optical axis of the X-ray tube.
(3) The X-ray detector 3 may rotate around the X-ray focus.
(4) When the triangular jig 9 as shown in FIG. 3 is used, pattern matching is performed by adjusting the amount of movement so that the joints of the triangular images taken at two locations are not vertically or horizontally. The processing can be easily performed. In particular, instead of performing the matching process on a computer, it is possible to perform the matching process visually by an operator, and in such a case, it is advantageous to use a triangular jig.
(5) Not limited to the two positions of the first and second shift positions, the shift positions may be increased to the third, fourth, and so on.
(6) Not limited to the device in which the X-ray optical axis is parallel to the installation surface of the inspection device as shown in the figure, the X-ray tube 1, the table 2 and the X-ray detector 3 are arranged in the vertical direction while maintaining a sense. The present invention can also be applied to an inspection device.

１…Ｘ線管
２…テーブル
３…Ｘ線検出器
４…シフト機構
５…制御部
６…マッチング処理部
７…シフト位置演算部
８…記憶部
９…治具 1 ... X-ray tube 2 ... Table 3 ... X-ray detector 4 ... Shift mechanism 5 ... Control unit 6 ... Matching processing unit 7 ... Shift position calculation unit 8 ... Storage unit 9 ... Jig

Claims

Ｘ線の照射源と、被照射物を載せるテーブルと、前記被照射物を透過したＸ線を受光してその透過画像を検出するＸ線検出器と、を備えたＸ線検査装置であって、
前記Ｘ線検出器を第１のシフト位置と第２のシフト位置との間で移動させるシフト機構と、
前記シフト機構による前記Ｘ線検出器の移動を制御する制御部と、
前記第１のシフト位置において撮影した前記テーブル上に載せた移動位置検出用治具の第１の画像と、前記第２のシフト位置において撮影した前記治具の第２の画像とのパターンマッチングを行うマッチング処理部と、
前記マッチング処理部において検出した前記第１の画像における前記治具の位置と第２の画像における前記治具の位置に基づいて、前記Ｘ線検出器の前記第１のシフト位置と前記第２のシフト位置間の移動量を補正する移動量演算部と、
前記移動量演算部により補正された移動量を記憶する記憶部と、を備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶されている前記補正された移動量に基づいて、前記Ｘ線検出器を第１のシフト位置から補正された第２のシフト位置に移動させ、前記被照射物を前記第１のシフト位置と前記補正された第２のシフト位置でそれぞれ撮影し、それぞれのシフト位置で撮影した画像を合成することにより、前記被照射物のパターンマッチングを行うことなく前記被照射物の全体画像を作成することを特徴とするＸ線検査装置。 And X-ray radiation source, an X-ray examination apparatus which includes a table for placing an object to be irradiated, and the X-ray detector for detecting the transmitted image by receiving X-rays transmitted through the irradiated object, the ,
A shift mechanism that moves the X-ray detector between the first shift position and the second shift position, and
A control unit for controlling the movement of the X-ray detector according to said shift mechanism,
Pattern matching with the second image of the jig taken in the first and images of the second shift position of the first movement position detection jig and mounted on said table taken in the shift position Matching processing unit that performs
Based on the position of the jig on the jig position and a second image in the first image detected in the matching processing unit, the X-ray detector of the first shift position and the second A movement amount calculation unit that corrects the movement amount between shift positions, and
And a storage unit for storing the movement amount corrected by the movement-distance calculation section,
Wherein, prior SL on the basis of the corrected movement amount stored in the storage unit, is moved to the second shift position is correct the X-ray detector from the first shift position, the object The irradiated object is photographed at the first shift position and the corrected second shift position, and the images captured at the respective shift positions are combined to perform the pattern matching of the irradiated object without performing pattern matching. X-ray examination apparatus characterized that you create an overall image of the irradiated object.

前記Ｘ線検出器が、Ｘ線の光軸と直角な方向を基準として、縦移動及び横移動することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。 The X-ray inspection apparatus according to claim 1, wherein the X-ray detector moves vertically and horizontally with respect to a direction perpendicular to the optical axis of the X-ray.

前記移動量演算部が、前記Ｘ線検出器によって撮影された画像の画素を基準として移動量を補正することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。
The X-ray inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the movement amount calculation unit corrects the movement amount with reference to pixels of an image captured by the X-ray detector.