JP6882625B2 - 真空バルブ - Google Patents
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Description
さらに好ましい実施形態では、前記軸シールを保持するシール保持部材を備え、前記シール保持部材のバルブボディ側の端部が、前記バルブボディの内周面から突出して前記侵入防止壁を形成している。
さらに好ましい実施形態では、前記バルブボディには、前記駆動軸が貫通すると共に前記軸シールが配置される貫通孔を有し、前記侵入防止壁は、前記バルブボディの内周面から突出するように前記貫通孔の周囲に設けられている。
本発明の好ましい実施形態による真空バルブは、吸気側の気体が排気側へ流れる流路から外れた空間に向かい、前記バルブプレートの排気側の一面と前記バルブボディの間の通路に沿って前記軸シール側に流れるパーティクルの侵入を防止するように前記侵入防止壁が設けられている。
−第1の実施の形態−
図1,2は、本発明に係る真空バルブの第1の実施の形態を説明する図である。図1は、真空バルブ1の外観斜視図である。真空バルブ1は、バルブプレート6が設けられたバルブ本体2と、バルブプレート6を開閉駆動するための駆動部7とを備えている。バルブボディ4にはバルブ開口40が形成されている。バルブ開口40の吸気側、すなわち、バルブボディ4の図示上面側には吸気口フランジ41が設けられている。一方、バルブ開口40の排気側、すなわち、バルブボディ4の図示裏面側には排気口フランジが設けられている。バルブプレート6は駆動部7に設けられたモータによって、破線矢印のように揺動駆動される。
図3は、本発明に係る真空バルブの第2の実施の形態を示す図である。上述した第1の実施の形態の真空バルブ1では、軸シール80を保持するシールケーシング8を備えている。一方、第2の実施の形態では、図3に示すようにバルブボディ4に軸シール80を直接設ける構造となっている。
図4は、本発明に係る真空バルブの第3の実施の形態を示す図である。第3の実施の形態では、第2の実施の形態の場合と同様に、バルブボディ4に軸シール80が直接設けられている。そして、バルブボディ4の内周面400にはリング状の突出部410が形成されている。さらに、バルブプレート6の支持部62には、突出部410と対向する円盤状の対向部620が形成されている。対向部620は、リング状の突出部410の360度全域に亘って対向している。そのため、バルブプレート6がどのような開閉位置にあっても、リング状の突出部410の上面は、全ての領域が常に対向部620によって覆われている。突出部410と対向部620とが対向している領域Bには、僅かな隙間しか形成されていない。
端面の全域に、駆動軸72に固定されたバルブプレート6の一部である対向部620が対
向している。そのため、駆動軸72の周囲360度にわたって、パーティクル100の侵
入防止効果を向上させることができる。
Claims (4)
- バルブプレートが収納されるバルブボディと、
前記バルブプレートを開閉駆動する駆動軸と、
前記駆動軸を真空封止する軸シールと、
前記バルブボディ内部に突出する突出部を有し、前記軸シールへのパーティクルの侵入 を防止する侵入防止壁とを備え、
前記バルブプレートと前記突出部の前記バルブプレート対向面とのギャップ寸法がパーティクルの平均的な大きさを考慮して、前記軸シールへの前記パーティクルの侵入を防止するために1mmとなるように、前記突出部の突出量が設定されている、真空バルブ。 - 請求項1に記載の真空バルブにおいて、
前記軸シールを保持するシール保持部材を備え、
前記シール保持部材のバルブボディ側の端部が、前記バルブボディの内周面から突出して前記侵入防止壁を形成している、真空バルブ。 - 請求項1に記載の真空バルブにおいて、
前記バルブボディは、前記駆動軸が貫通すると共に前記軸シールが配置される貫通孔を有し、
前記侵入防止壁は、前記バルブボディの内周面から突出するように前記貫通孔の周囲に設けられている、真空バルブ。 - 請求項1から3までのいずれか一項に記載された真空バルブにおいて、
吸気側の気体が排気側へ流れる流路から外れた空間に向かい、前記バルブプレートの排気側の一面と前記バルブボディの間の通路に沿って前記軸シール側に流れるパーティクルの侵入を防止するように前記侵入防止壁が設けられている、真空バルブ。
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