JP6863510B1 - 超純水製造装置の制御方法 - Google Patents
超純水製造装置の制御方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6863510B1 JP6863510B1 JP2020114072A JP2020114072A JP6863510B1 JP 6863510 B1 JP6863510 B1 JP 6863510B1 JP 2020114072 A JP2020114072 A JP 2020114072A JP 2020114072 A JP2020114072 A JP 2020114072A JP 6863510 B1 JP6863510 B1 JP 6863510B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- electrodeionizer
- chamber
- primary pure
- ultrapure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 56
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 318
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 19
- 238000010612 desalination reaction Methods 0.000 claims description 17
- 238000011033 desalting Methods 0.000 claims description 17
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 15
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 12
- 239000003011 anion exchange membrane Substances 0.000 claims description 6
- 238000005341 cation exchange Methods 0.000 claims description 5
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract 1
- 238000009296 electrodeionization Methods 0.000 description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 15
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 8
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 7
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 7
- 238000002242 deionisation method Methods 0.000 description 6
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 6
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 6
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 6
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 5
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 5
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 5
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 3
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 3
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 2
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011043 electrofiltration Methods 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- -1 ions is the lowest Chemical class 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005374 membrane filtration Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001471 micro-filtration Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000008400 supply water Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/008—Control or steering systems not provided for elsewhere in subclass C02F
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
- B01D61/025—Reverse osmosis; Hyperfiltration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
- B01D61/12—Controlling or regulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/42—Electrodialysis; Electro-osmosis ; Electro-ultrafiltration; Membrane capacitive deionization
- B01D61/44—Ion-selective electrodialysis
- B01D61/46—Apparatus therefor
- B01D61/48—Apparatus therefor having one or more compartments filled with ion-exchange material, e.g. electrodeionisation
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/42—Electrodialysis; Electro-osmosis ; Electro-ultrafiltration; Membrane capacitive deionization
- B01D61/44—Ion-selective electrodialysis
- B01D61/54—Controlling or regulating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/58—Multistep processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
- C02F1/441—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by reverse osmosis
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/46—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods
- C02F1/469—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods by electrochemical separation, e.g. by electro-osmosis, electrodialysis, electrophoresis
- C02F1/4693—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods by electrochemical separation, e.g. by electro-osmosis, electrodialysis, electrophoresis electrodialysis
- C02F1/4695—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods by electrochemical separation, e.g. by electro-osmosis, electrodialysis, electrophoresis electrodialysis electrodeionisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F9/00—Multistage treatment of water, waste water or sewage
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2311/00—Details relating to membrane separation process operations and control
- B01D2311/26—Further operations combined with membrane separation processes
- B01D2311/2692—Sterilization
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/14—Ultrafiltration; Microfiltration
- B01D61/145—Ultrafiltration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/42—Electrodialysis; Electro-osmosis ; Electro-ultrafiltration; Membrane capacitive deionization
- B01D61/422—Electrodialysis
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/28—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption
- C02F1/283—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption using coal, charred products, or inorganic mixtures containing them
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
- C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
- C02F1/444—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by ultrafiltration or microfiltration
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/46—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods
- C02F1/469—Treatment of water, waste water, or sewage by electrochemical methods by electrochemical separation, e.g. by electro-osmosis, electrodialysis, electrophoresis
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
- C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
- C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
- C02F2209/05—Conductivity or salinity
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
- C02F2209/40—Liquid flow rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
- C02F2209/42—Liquid level
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F2301/00—General aspects of water treatment
- C02F2301/08—Multistage treatments, e.g. repetition of the same process step under different conditions
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A20/00—Water conservation; Efficient water supply; Efficient water use
- Y02A20/124—Water desalination
- Y02A20/131—Reverse-osmosis
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Urology & Nephrology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Description
(超純水製造装置)
本発明は、電気脱イオン装置を備えた一次純水装置を有する超純水製造装置において、この電気脱イオン装置の制御に特徴を有するものである。したがって、本実施形態の超純水製造装置の制御方法を適用可能な超純水製造装置としては、一次純水装置に電気脱イオン装置を備えていればよく、例えば、図1に示す超純水製造装置を好適に適用することができる。以下、図1に示す超純水製造装置に基づいて、同一の構成には同一の符号を付して説明する。
上述の超純水製造装置の制御方法について以下説明する。
図2に示すように給水W1を、給水ポンプ8を介して電気脱イオン装置9に供給する。このとき、レベルスイッチ21によりサブタンク11の水位を計測し、この水位データに基づき制御装置28は、この水位がほぼ一定の値(あらかじめ定めておいた基準値に対して所定の範囲であってもよい)より少なければ、給水W1の電気脱イオン装置9の送り流量を増やす一方、多ければ送り流量を減らすように給水ポンプ8をインバータ制御する。そして、この給水W1の水量に応じて、制御装置28により、コントロール弁23及びコントロール弁26を制御して、電気脱イオン装置9の脱塩水(一次純水)W2と濃縮水W5の流量を制御すればよい。例えば、濃縮水W5の水量を一定として、回収率が変動するように脱塩水(一次純水)W2の量を調整すればよい。
(超純水製造装置)
第二の実施形態は、基本的には前述した第一の実施形態と同じ構成を有するので、同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
上述の超純水製造装置の制御方法について以下説明する。
図7に示すように給水W1を、給水ポンプ8を介して電気脱イオン装置9に供給する。このとき、レベルスイッチ21によりサブタンク11の水位を計測し、この水位データの基づき制御装置28は、この水位があらかじめ定めて置いた基準値(所定の範囲であってもよい)より少なければ、給水W1の電気脱イオン装置9の送り流量を増やす一方、多ければ送り流量を減らすように給水ポンプ8をインバータ制御する。このとき、比抵抗計28の水質情報と給水ポンプ8の給水量とから、給水W1の負荷(水質×流量)を計算し、この給水W1の負荷と電気脱イオン装置9の脱塩水(一次純水)W2の流量に応じて、制御装置28により電気脱イオン装置9の運転電流値を設定し。これに基づき直流電源器9Aを制御することにより、所定の水質の脱塩水(一次純水)W2を得ることができる。なお、第二の実施形態においては、第一の実施形態の制御を複合させてもよい。
(電流値変動に対する脱塩水水質の挙動確認試験)
試験装置
図8に示す電気脱イオン装置の制御用の試験装置を用意した。この試験装置51は、超純水(UPW)流路52と、電気脱イオン装置53と、脱塩水(一次純水)流路54と、濃縮水流路55とを有する。そして、超純水(UPW)流路52には、炭酸イオン(HCO3 −)源である炭酸ナトリウム溶液タンク56を薬液ポンプ56Aを介して接続するとともに、導電率計57Aが設けられている。また、脱塩水流路54には、流量計58Aが設けられているとともに比抵抗計59が接続されている。さらに、濃縮水流路55には、流量計58Bが設けられているとともに導電率計57Bが接続されている。なお、電気脱イオン装置53としては、図3及び図4に示す構成のものを採用した。
(給水の水量変動に対する脱塩水水質の挙動確認試験)
試験装置
図9に示す電気脱イオン装置の制御用の試験装置を用意した。この試験装置61は図8に示す装置において、炭酸ナトリウム溶液タンク56と薬液ポンプ56Aの代わりに、シリカ(SiO2)源としてケイ酸ナトリウム(NaSiO3)溶液タンク62を、薬液ポンプ62Aを介して超純水流路52に接続するとともに、ホウ素源として水酸化ホウ素(B(OH)3)と炭酸ナトリウムの混合液タンク63を薬液ポンプ63Aを介して超純水流路52に接続した構成を有する。
超純水(UPW)にケイ酸ナトリウム溶液タンク62及び混合液タンク63からケイ酸ナトリウム溶液と水酸化ホウ素及び炭酸ナトリウムの混合溶液とを、それぞれシリカ濃度1000μg/L、ホウ素濃度100μg/L、炭酸濃度10mg/Lとなるように添加したものを給水W1とした。
給水W1を電気脱イオン装置53に通水量0.3m3/hで供給し、電流値4.0A、回収率80%で約20時間運転した。この電気脱イオン装置53の脱塩水(脱塩水W2)のシリカ濃度は1.2μg/Lでホウ素濃度0.13μg/Lであり、いずれも99.8%以上の高い除去率であった。
続いて給水W1を電気脱イオン装置53に通水量0.24m3/hで供給し、電流値4.0A、回収率80%で約20時間運転した。この電気脱イオン装置53の脱塩水(脱塩水W2)のシリカ濃度は0.79μg/Lでホウ素濃度0.11μg/Lであり、いずれも約99.9%の高い除去率であった。
さらに運転条件1と同じ条件で電気脱イオン装置53を約20時間運転した。この電気脱イオン装置53の脱塩水(脱塩水W2)のシリカ濃度は1.6μg/Lでホウ素濃度0.15μg/Lであり、いずれも約99.8%以上の高い除去率であった。
(給水の負荷変動に対する脱塩水水質の挙動確認試験)
実施例2と同じ試験装置を用いて以下の試験を行った。
超純水にケイ酸ナトリウム溶液タンク62及び混合液タンク63からケイ酸ナトリウム溶液と水酸化ホウ素と炭酸ナトリウムの混合溶液を、それぞれシリカ濃度1000μg/L、ホウ素濃度100μg/L、炭酸濃度10mg/Lとなるように添加したものを1倍の給水W1とした。
給水W1を電気脱イオン装置53に通水量0.3m3/hで供給し、電流値4.0A、回収率80%で約20時間運転した。この電気脱イオン装置53の脱塩水(脱塩水W2)のシリカ濃度は1.6μg/Lでホウ素濃度0.15μg/Lであり、いずれも99.8%以上の高い除去率であった。
続いて給水W1を20倍(0.05倍の濃度)に希釈して、電気脱イオン装置53に通水量0.3m3/hで供給し、電流値4.0A、回収率80%で約20時間運転した。この電気脱イオン装置53の脱塩水(脱塩水W2)のシリカ濃度は0.38μg/Lでホウ素濃度0.12μg/Lであり、いずれも約99.9%の高い除去率であった。
さらに運転条件1と同じ条件で電気脱イオン装置53を約20時間運転した。この電気脱イオン装置53の脱塩水(脱塩水W2)のシリカ濃度は1.8μg/Lでホウ素濃度0.17μg/Lであり、いずれも約99.8%以上の高い除去率であった。
2 前処理装置
3 一次純水製造装置
4 二次純水製造装置(サブシステム)
5 逆浸透膜装置
6 脱気膜装置
7 紫外線酸化装置
8 給水ポンプ
9 電気脱イオン装置
9A 直流電源器
11 サブタンク
12 紫外線酸化装置
13 非再生型混床式イオン交換装置
14 限外濾過(UF)膜
15 ユースポイント
21 レベルスイッチ(水位計測手段)
29 比抵抗計(水質計測手段)
31 陽極(電極)
32 陰極(電極)
33 アニオン交換膜
34 カチオン交換膜
35 濃縮室
36 脱塩室
W 原水
W1 前処理水(給水)
W2 一次純水(脱塩水)
W3 超純水(二次純水)
W4 被濃縮水
W5 濃縮水
Claims (3)
- 逆浸透膜と電気脱イオン装置と前記電気脱イオン装置の前段に設けられた給水ポンプとを有する一次純水システムと、前記電気脱イオン装置の後段に配置された水位計測手段が付設された貯水タンクと、前記一次純水システムで製造された一次純水をさらに処理するサブシステムとを備えた超純水製造装置の制御方法であって、
前記水位計測手段で計測される貯水タンクの水位を略一定に保持するように前記電気脱イオン装置に供給する給水の水量を制御し、
前記電気脱イオン装置に供給される給水の水量及び比抵抗値から前記給水の負荷を算出し、
前記給水の負荷と、前記一次純水の流量と、から前記電気脱イオン装置の運転電流値を設定する、
超純水製造装置の制御方法。 - 前記電気脱イオン装置が、陰極及び陽極と、該陰極及び陽極の間に配置されたカチオン交換膜及びアニオン交換膜と、これらカチオン交換膜及びアニオン交換膜により区画形成された脱塩室及び濃縮室とを備え、前記脱塩室及び前記濃縮室にイオン交換体が充填されていて、前記濃縮室に濃縮水を通水する濃縮水通水手段と前記脱塩室に給水を通水して脱塩水を取り出す手段とを有するものであり、 前記濃縮水通水手段が、前記脱塩室の脱塩水取り出し口に近い側から該濃縮室内に被濃縮水を導入すると共に、脱塩室の給水入口に近い側から濃縮水を流出するものである、請求項1に記載の超純水製造装置の制御方法。
- 前記濃縮水通水手段が、前記脱塩室を通水した脱塩水を被濃縮水として前記脱塩室の脱塩水取り出し口に近い側から該濃縮室内に導入すると共に、脱塩室の給水入口に近い側から流出するものである、請求項2に記載の超純水製造装置の制御方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2020/029184 WO2021131130A1 (ja) | 2019-12-25 | 2020-07-30 | 超純水製造装置の制御方法 |
CN202080090296.4A CN114867692A (zh) | 2019-12-25 | 2020-07-30 | 超纯水制造装置的控制方法 |
US17/788,736 US20230331586A1 (en) | 2019-12-25 | 2020-07-30 | Control method for ultrapure water producing apparatus |
KR1020227018338A KR20220114538A (ko) | 2019-12-25 | 2020-07-30 | 초순수 제조 장치의 제어 방법 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019234518 | 2019-12-25 | ||
JP2019234518 | 2019-12-25 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6863510B1 true JP6863510B1 (ja) | 2021-04-21 |
JP2021102206A JP2021102206A (ja) | 2021-07-15 |
Family
ID=75520940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020114072A Active JP6863510B1 (ja) | 2019-12-25 | 2020-07-01 | 超純水製造装置の制御方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230331586A1 (ja) |
JP (1) | JP6863510B1 (ja) |
KR (1) | KR20220114538A (ja) |
CN (1) | CN114867692A (ja) |
WO (1) | WO2021131130A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7347556B2 (ja) * | 2022-02-02 | 2023-09-20 | 栗田工業株式会社 | 純水製造装置及び純水製造装置の運転方法 |
JP7380730B2 (ja) * | 2022-03-16 | 2023-11-15 | 栗田工業株式会社 | 電気脱イオン装置の運転方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3273718B2 (ja) * | 1995-08-22 | 2002-04-15 | オルガノ株式会社 | 電気脱イオン法による被処理水の処理方法及びその方法に使用する装置 |
JP4978592B2 (ja) * | 2008-09-01 | 2012-07-18 | 三浦工業株式会社 | 純水製造装置 |
JP5785000B2 (ja) * | 2011-06-21 | 2015-09-24 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 純水装置の運転方法及び純水装置 |
JP6056587B2 (ja) * | 2013-03-22 | 2017-01-11 | 三浦工業株式会社 | 水処理装置 |
JP6155742B2 (ja) * | 2013-03-25 | 2017-07-05 | 三浦工業株式会社 | 水処理装置 |
JP6107296B2 (ja) * | 2013-03-26 | 2017-04-05 | 三浦工業株式会社 | 純水製造装置 |
JP6119886B1 (ja) * | 2016-01-28 | 2017-04-26 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置および超純水製造装置の運転方法 |
JP6777480B2 (ja) * | 2016-09-15 | 2020-10-28 | オルガノ株式会社 | 電気式脱イオン水製造装置およびその運転方法 |
JP6842976B2 (ja) * | 2017-04-06 | 2021-03-17 | オルガノ株式会社 | 純水製造装置 |
KR102521139B1 (ko) * | 2017-06-23 | 2023-04-12 | 쿠리타 고교 가부시키가이샤 | 전기 탈이온 장치의 제어 방법 및 설계 방법 |
-
2020
- 2020-07-01 JP JP2020114072A patent/JP6863510B1/ja active Active
- 2020-07-30 US US17/788,736 patent/US20230331586A1/en active Pending
- 2020-07-30 KR KR1020227018338A patent/KR20220114538A/ko unknown
- 2020-07-30 WO PCT/JP2020/029184 patent/WO2021131130A1/ja active Application Filing
- 2020-07-30 CN CN202080090296.4A patent/CN114867692A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021102206A (ja) | 2021-07-15 |
KR20220114538A (ko) | 2022-08-17 |
US20230331586A1 (en) | 2023-10-19 |
CN114867692A (zh) | 2022-08-05 |
WO2021131130A1 (ja) | 2021-07-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6733646B2 (en) | Method and apparatus for electrodeionization of water | |
KR102602540B1 (ko) | 초순수 제조 장치 및 초순수 제조 장치의 운전 방법 | |
JP2006297392A (ja) | 極性逆転および二重逆転による電気消イオン装置ならびにそれらの使用法 | |
KR20100053571A (ko) | 순수 제조장치 및 순수 제조방법 | |
EP1642867A1 (en) | Electric type deionized water production apparatus operating method, electric type deionized water production system, and electric type deionized water production apparatus | |
JPH0957271A (ja) | 電気脱イオン法による被処理水の処理方法及びその方法に使用する装置 | |
JP6863510B1 (ja) | 超純水製造装置の制御方法 | |
JP2008259961A (ja) | 電気脱イオン装置及びその運転方法 | |
WO2009051612A1 (en) | Electroregeneration apparatus and water treatment method | |
WO2023149415A1 (ja) | 純水製造装置及び純水製造装置の運転方法 | |
JP2002086152A (ja) | 電気脱イオン装置の運転方法、電気脱イオン装置及び電気脱イオンシステム | |
JP3952127B2 (ja) | 電気脱イオン化処理方法 | |
JP7192519B2 (ja) | ホウ素超高純度除去型超純水製造装置及びホウ素超高純度除去超純水の製造方法 | |
JP2003001259A (ja) | 超純水製造装置 | |
JP4853610B2 (ja) | 硫酸イオンを含むメッキ液の再生装置及び硫酸イオン除去方法 | |
JP2006051423A (ja) | 電気脱イオンシステム、電気脱イオン方法及び純水製造装置 | |
JP3901107B2 (ja) | 電気脱イオン装置及びその運転方法 | |
JP7176586B2 (ja) | 電気脱イオン装置の制御方法 | |
JP7205576B1 (ja) | 純水製造システムの運転方法 | |
JP4915843B2 (ja) | 電気軟化装置、軟化装置及び軟水製造方法 | |
JP4300828B2 (ja) | 電気脱イオン装置及びその運転方法 | |
JP7477009B1 (ja) | 電気脱イオン装置の運転方法 | |
JP7103467B1 (ja) | 電気脱イオンシステム及び電気脱イオンシステムの制御方法 | |
KR20210070359A (ko) | 고 회수 전기투석 방법 | |
WO2023199676A1 (ja) | 脱イオン水製造システムの運転方法及び脱イオン水製造システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200901 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210302 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210315 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6863510 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |