JP6859278B2 - X-ray inspection equipment - Google Patents
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Description
本発明は、Ｘ線検査装置に関する。 The present invention relates to an X-ray inspection apparatus.
Ｘ線検査装置では、被検査物に対し照射したＸ線の漏洩を低減するよう構成された遮蔽空間に対して被検査物を搬入及び搬出する搬送部を備えるが、この遮蔽空間から被検査物の出入りする部分、すなわち搬送部からＸ線が漏洩することを抑制しなければならない。 The X-ray inspection apparatus includes a transport unit for carrying in and out the inspected object into a shielded space configured to reduce leakage of X-rays irradiated to the inspected object. The inspected object is carried out from this shielded space. It is necessary to prevent X-rays from leaking from the part where X-rays enter and exit, that is, the transport part.
このため、例えば搬送部にトンネル状の延長カバー部を設けることにより遮蔽空間から漏洩するＸ線を減衰させている。 Therefore, for example, by providing a tunnel-shaped extension cover portion in the transport portion, X-rays leaking from the shielding space are attenuated.
さらに効果をあげるために、延長カバー部の出入口に鉛入カーテンを設けることがある。鉛入カーテンは、樹脂に鉛を練り込んだ可撓性のある素材で、縦に細長い複数の短冊状に形成されて、搬送される被検査物がカーテンを押し退けるなどし、通過が可能となる。 In order to further improve the effect, a lead-filled curtain may be provided at the entrance / exit of the extension cover portion. A lead-filled curtain is a flexible material in which lead is kneaded into resin. It is formed in the shape of multiple strips that are elongated vertically, and the object to be transported pushes the curtain away, allowing it to pass through. ..
ところが、鉛入カーテンは、被検査物が縦長で重心位置の高いボトルなどである場合、カーテンの接触抵抗で倒れてしまうことがある。 However, when the object to be inspected is a vertically long bottle having a high center of gravity, the lead-containing curtain may fall down due to the contact resistance of the curtain.
このような不具合に対して、カーテン構造を観音開き扉にした特許文献１のＸ線検査装置が提案されている。
For such a defect, an X-ray inspection apparatus of
このＸ線検査装置は、縦長な被検査物、例えばボトルなどの直立搬送に好適に対応できる。しかし、被検査物に対して、観音開き扉が当たることから、扉の重みや扉の閉鎖復帰力で被検査物を搬送路上で位置ズレさせたり、回転させたりする場合が考えられる。 This X-ray inspection apparatus can be suitably used for upright transportation of a vertically long object to be inspected, for example, a bottle. However, since the double door hits the object to be inspected, it is conceivable that the object to be inspected may be displaced or rotated on the transport path due to the weight of the door or the closing / returning force of the door.
上記した各不具合は、被検査物に対してカーテンや扉などの漏洩防止部材が接触することから起こるものである。このことから、接触を回避するために、被検査物の出入口に、被検査物の形状に合わせてくり抜いた形状の通過穴を形成したＸ線検査装置が提案された。 Each of the above-mentioned defects is caused by the leakage prevention member such as a curtain or a door coming into contact with the object to be inspected. Therefore, in order to avoid contact, an X-ray inspection apparatus has been proposed in which a passing hole having a hollow shape matching the shape of the object to be inspected is formed at the entrance / exit of the object to be inspected.
このようなＸ線検査装置によれば、被検査物と漏洩防止部材との接触が起こらないので、被検査物が搬送路上でズレたり、回転したりして倒れる不具合が起きず、検査精度を向上させることができる。 According to such an X-ray inspection device, contact between the inspected object and the leakage prevention member does not occur, so that the inspected object does not shift or rotate on the transport path and fall down, and the inspection accuracy is improved. Can be improved.
しかしながら、このようなＸ線検査装置にあっては、通過穴の形状に合わない被検査物が搬送されてきた場合、被検査物と通過穴の隙間からＸ線が漏洩して、装置外へ漏洩するＸ線量が規制値を超えるおそれがある。 However, in such an X-ray inspection device, when an object to be inspected that does not match the shape of the passing hole is conveyed, X-rays leak from the gap between the object to be inspected and the passing hole and go out of the device. The leaked X-ray dose may exceed the regulation value.
そこで、本発明は、通過部の形状に合わない被検査物が搬入されても、不要なＸ線の漏洩を抑制することができるＸ線検査装置を提供することを目的としている。 Therefore, an object of the present invention is to provide an X-ray inspection apparatus capable of suppressing unnecessary X-ray leakage even if an object to be inspected that does not match the shape of the passing portion is carried in.
本発明のＸ線検査装置は、搬送手段によりＸ線の遮蔽空間内に搬入される被検査物にＸ線を照射して得られるＸ線透過画像により検査を行なうＸ線検査装置であって、前記遮蔽空間の入口及び出口に設けられ、前記被検査物の外形に合わせた形状の通過部を有する遮蔽ゲートと、前記被検査物と前記通過部の内縁との隙間の量を示す隙間情報を取得する隙間情報取得部と、前記隙間情報に基づいて前記隙間の量を算出し、該隙間の量が所定量を超えていると判定された場合、Ｘ線照射量を所定量未満に制御する制御部と、を備えるものである。 The X-ray inspection apparatus of the present invention is an X-ray inspection apparatus that inspects an object to be inspected carried into an X-ray shielded space by means of transport using an X-ray transmission image obtained by irradiating the object to be inspected with X-rays. provided at the entrance and exit of the shielded space, and shielding gate having a passing portion of shape corresponding to the outer shape of the inspection object, gap information indicating the amount of clearance between the inner edge of the object to be inspected and the passing portion The amount of the gap is calculated based on the gap information acquisition unit and the gap information, and when it is determined that the amount of the gap exceeds the predetermined amount, the X-ray irradiation amount is controlled to be less than the predetermined amount. It is provided with a control unit for the operation.
この構成により、被検査物と通過部の内縁との隙間の量が所定量を超えている否かが判定され、隙間の量が所定量を超えている場合、Ｘ線照射量が所定量未満に制御される。このため、通過部の形状に合わない被検査物が搬入されても、不要なＸ線の漏洩を抑制することができる。 With this configuration, it is determined whether or not the amount of the gap between the object to be inspected and the inner edge of the passing portion exceeds the predetermined amount, and if the amount of the gap exceeds the predetermined amount, the X-ray irradiation amount is less than the predetermined amount. Is controlled by. Therefore, even if an object to be inspected that does not match the shape of the passing portion is carried in, unnecessary X-ray leakage can be suppressed.
また、本発明のＸ線検査装置において、前記遮蔽ゲートは、前記被検査物の外形に合わせて前記通過部の形状が変更可能に構成されるものである。 Further, in the X-ray inspection apparatus of the present invention, the shielding gate is configured so that the shape of the passing portion can be changed according to the outer shape of the object to be inspected.
この構成により、被検査物の外形に合わせて通過部の形状が変更され、変更された通過部の内縁と被検査物との隙間の量が所定量を超えているか否かが判定される。このため、多種類の被検査物について被検査物の形状が通過部の形状に適合しているか否かを判定することができる。 With this configuration, the shape of the passing portion is changed according to the outer shape of the object to be inspected, and it is determined whether or not the amount of the gap between the changed inner edge of the passing portion and the object to be inspected exceeds a predetermined amount. Therefore, it is possible to determine whether or not the shape of the object to be inspected conforms to the shape of the passing portion for many types of objects to be inspected.
また、本発明のＸ線検査装置において、前記隙間情報取得部は、前記通過部全体を撮影するように配置されるカメラにより構成され、前記制御部は、前記カメラの撮影した画像に基づいて前記隙間の量を算出するものである。 Further, in the X-ray inspection apparatus of the present invention, the gap information acquisition unit is composed of a camera arranged so as to photograph the entire passing unit, and the control unit is based on an image captured by the camera. It calculates the amount of gaps.
この構成により、カメラにより撮影された画像により被検査物と通過部の内縁との隙間の量が算出されて隙間の量が所定量を超えているか否かが判定される。このため、被検査物の形状が通過部の形状に適合しているか否かを判定することができる。 With this configuration, the amount of the gap between the object to be inspected and the inner edge of the passing portion is calculated from the image taken by the camera, and it is determined whether or not the amount of the gap exceeds a predetermined amount. Therefore, it is possible to determine whether or not the shape of the object to be inspected matches the shape of the passing portion.
また、本発明のＸ線検査装置において、前記制御部は、前記カメラの取付位置に応じて前記カメラの撮影した画像を補正するものである。 Further, in the X-ray inspection apparatus of the present invention, the control unit corrects the image taken by the camera according to the mounting position of the camera.
この構成により、カメラの取付位置に応じてカメラの撮影した画像が補正されて被検査物と通過部の内縁との隙間の量が算出される。このため、被検査物の形状が通過部の形状に適合しているか否かを精度良く判定することができる。 With this configuration, the image taken by the camera is corrected according to the mounting position of the camera, and the amount of the gap between the object to be inspected and the inner edge of the passing portion is calculated. Therefore, it is possible to accurately determine whether or not the shape of the object to be inspected matches the shape of the passing portion.
また、本発明のＸ線検査装置において、前記隙間情報取得部は、前記通過部の少なくとも一部を撮影する複数のカメラから構成され、前記制御部は、前記複数のカメラの撮影した複数の画像に基づいて前記隙間の量を算出するものである。 Further, in the X-ray inspection apparatus of the present invention, the gap information acquisition unit is composed of a plurality of cameras that capture at least a part of the passing portion, and the control unit is a plurality of images captured by the plurality of cameras. The amount of the gap is calculated based on the above.
この構成により、複数のカメラにより撮影された画像により被検査物と通過部の内縁との隙間の量が算出されて隙間の量が所定量を超えているか否かが判定される。このため、被検査物の形状が通過部の形状に適合しているか否かを精度良く判定することができる。 With this configuration, the amount of the gap between the object to be inspected and the inner edge of the passing portion is calculated from the images taken by a plurality of cameras, and it is determined whether or not the amount of the gap exceeds a predetermined amount. Therefore, it is possible to accurately determine whether or not the shape of the object to be inspected matches the shape of the passing portion.
また、本発明のＸ線検査装置において、前記制御部は、前記隙間の量が所定量を超えていると判定された場合、エラー情報を出力するものである。 Further, in the X-ray inspection apparatus of the present invention, the control unit outputs error information when it is determined that the amount of the gap exceeds a predetermined amount.
この構成により、被検査物と通過部の内縁との隙間の量が所定量を超えていると判定された場合、エラー情報が出力される。このため、通過部の形状に合わない被検査物が検査されたことを出力してユーザに対処させることができる。 With this configuration, when it is determined that the amount of the gap between the object to be inspected and the inner edge of the passing portion exceeds a predetermined amount, error information is output. Therefore, it is possible to output that the inspected object that does not match the shape of the passing portion has been inspected and have the user deal with it.
本発明は、通過部の形状に合わない被検査物が搬入されても、不要なＸ線の漏洩を抑制することができるＸ線検査装置を提供することができる。 The present invention can provide an X-ray inspection apparatus capable of suppressing unnecessary X-ray leakage even if an object to be inspected that does not match the shape of the passing portion is carried in.
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るＸ線検査装置について詳細に説明する。 Hereinafter, the X-ray inspection apparatus according to the embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本実施形態に係るＸ線検査装置は、例えば、瓶やペットボトルに入った飲料品などのように、直立搬送される縦長な所謂背が高い被検査物にＸ線を照射し、異物検出など種々の検査を行なう場合に用いて好適なものである。 The X-ray inspection apparatus according to the present embodiment irradiates a vertically long, so-called tall object to be inspected, which is transported upright, such as a beverage in a bottle or a PET bottle, with X-rays to detect foreign matter. It is suitable for use when performing various inspections.
図１において、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１は、箱型の筐体２を有する。筐体２は、例えば四本の脚部３で設置面上に支持される。この筐体２は、内部から有害な量のＸ線が外部に漏洩しないように放射線防護材料を用いて形成されている。具体的には、鉛等の遮蔽材が内貼りされてなる。
In FIG. 1, the
筐体２は、両側面に、被検査物Ｗを通過させる入口４及び出口５を有している。なお、本実施形態においては、図示の筐体２の右側を入口４とし、左側を出口５として説明する。そして、入口４から出口５の間の内方が遮蔽空間となっている。また、筐体２には、正面に検査結果の確認や各種情報の表示、入力操作等が可能なタッチパネル形式の表示画面であるタッチパネル式表示部８を有する。
The
筐体２には、搬送手段１０が貫通して配置される。本実施形態ではこの搬送手段１０を、入口４側に入口搬送部１１、出口５側に出口搬送部１２、これら入口搬送部１１と出口搬送部１２との間となり筐体２内に配置される筐体内搬送部１５で構成する。
The transport means 10 is arranged through the
入口搬送部１１、出口搬送部１２及び筐体内搬送部１５は、複数のローラ１３ａ、１３ｂと、これらのローラ１３ａ、１３ｂ間に掛け回された無端状の搬送ベルト１４を有している。
The
これら各搬送部１１、１２、１５は、装置本体に取り付けられたモータ等の駆動手段によりローラ１３ａ、１３ｂのいずれかが駆動され、これにより搬送ベルト１４が周回移動し、上側の搬送ベルト１４に載った被検査物Ｗを移送する。
In each of these
入口搬送部１１により入口４に搬送された被検査物Ｗは、筐体２の内部に配置される筐体内搬送部１５に移載される。筐体２内において、Ｘ線の照射された被検査物Ｗは、筐体内搬送部１５から出口搬送部１２に移載されてＸ線検査を終了する。Ｘ線検査装置１の後段には、例えば被検査物Ｗの良否を仕分ける選別装置が配置される。
The inspected object W transported to the inlet 4 by the
なお、入口搬送部１１、出口搬送部１２及び筐体内搬送部１５には、被検査物Ｗの倒れを防止するとともに、被検査物Ｗを一列に案内する一対のガイドバー１６が備えられている。また、上記搬送部１１、１２、１５は１つであってもよく、外部の駆動手段により駆動されるものであってもよい。
The
筐体２の入口４と出口５とには、四角枠状の枠体１７、１８が筐体２外に突出して設けられ、それぞれの枠体１７、１８は、入口４と出口５とを包囲するように形成される。なお、この枠体１７、１８の筐体２外面に対する突出長さは、後述する遮蔽ゲート１９を取り付けるためのガイドレール２１やインターロック機構２２を組み付けるための若干量であって、従来のトンネル状の延長カバーのような長大なものではなく、筐体２の入口４及び出口５に対して額縁状の厚みを有するようなものに設定される。
Square frame-shaped
図２及び図３に示すように、枠体１７、１８は、筐体２とは反対側となる外側の枠体開口部１７ｂに、遮蔽ゲート１９が設けられる。これら枠体１７、１８及び遮蔽ゲート１９は、入口４及び出口５の少なくとも一方に設けられ、Ｘ線の漏洩を低減するように配置される。なお、図２及び図３は、入口４側の枠体１７近傍の構成を示している。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
入口搬送部１１、出口搬送部１２及び筐体内搬送部１５は、枠体１７、１８の内側における下縁１７ａに沿って配置される。それぞれの枠体１７、１８は、入口４及び出口５を介して筐体２の内方に通じる。従って、枠体１７、１８は、内方が遮蔽空間となり、筐体２内と連続して入口４と出口５との間でトンネル状の遮蔽空間を形成している。
The
ここで遮蔽空間は、Ｘ線発生装置によるＸ線の照射が行なわれ被検査物Ｗが検査される位置を含み、このＸ線照射位置への被検査物Ｗの搬入搬出が行なわれる空間である。また、枠体１７、１８は、筐体２と同様に内部から有害な量のＸ線が外部に漏洩しないように放射線防護材料を用いて形成されている。
Here, the shielded space includes a position where X-ray irradiation is performed by the X-ray generator and the inspected object W is inspected, and the inspected object W is carried in and out of the X-ray irradiation position. .. Further, the
本実施形態では、枠体１７、１８及び遮蔽ゲート１９は、入口４及び出口５の双方に設けられる。そして、本実施形態では、遮蔽ゲート１９は、筐体２の外側面に付設された枠体１７、１８の外側に設けられる。
In the present embodiment, the
遮蔽ゲート１９は、枠体開口部１７ｂよりもやや内側となる枠体１７、１８の内方、すなわち枠体開口部１７ｂよりもやや奥方の位置や、筐体２内部での遮蔽空間内におけるいずれかの位置に設けられる構成としてもよい。
The shielding
遮蔽ゲート１９は、例えばＳＵＳ等のステンレス鋼板や、Ｘ線を遮蔽する素材、或いはＸ線を遮蔽する素材を含んだ材質部材よりなる板状部材で形成される。遮蔽ゲート１９は、被検査物Ｗが通過する通過部２０を有する。通過部２０とは、被検査物Ｗが通過する開口部又は孔である。
The shielding
通過部２０は、被検査物Ｗの外形に合わせて形成される。具体的には、四角形の遮蔽ゲート１９に、被検査物Ｗの輪郭に合わせた通過部２０を、下縁部１９ｃの一部を開放して、略コ字状に形成する。下縁部１９ｃを開放形状とするのは、搬送手段１０の搬送ベルト１４に載置されて移送される被検査物Ｗを干渉させないためである。
The passing
枠体１７には、枠体開口部１７ｂを挟んで左右一対のガイドレール２１、２１が垂直に互いに平行となって取り付けられる。ガイドレール２１、２１は、略Ｚ字形状に形成され、一側縁の固定縁部２１ａを枠体開口部１７ｂに沿って固定することで、枠体１７との間に、遮蔽ゲート１９の左右側縁１９ａを差し入れする挿入スリット２１ｂが互いに向き合うように形成される。
A pair of left and right guide rails 21 and 21 are attached to the
ガイドレール２１、２１は、遮蔽ゲート１９の左右側縁１９ａをガイドすることにより、遮蔽ゲート１９を枠体開口部１７ｂに対して下降を案内して搬送ベルト１４直上に配置可能とする。これにより、遮蔽ゲート１９は、遮蔽空間の外部にＸ線が漏洩するのを抑制する。この場合、遮蔽ゲート１９は、ガイドレール２１、２１に上方より差し込むことで自重によりセットできる。
By guiding the left and right side edges 19a of the shielding
遮蔽ゲート１９は、作業者が上縁部１９ｂを把持してガイドレール２１、２１へ差し込み、また、引き上げることで抜き去る。従って、遮蔽ゲート１９は、遮蔽空間に出し入れ自在に設けられる。
The shielding
本実施形態では、遮蔽ゲート１９は、上下方向で差し替え可能となっている。この他、遮蔽ゲート１９は、筐体２に対して正背面方向、すなわち枠体開口部１７ｂに向かって左右方向の横スライド可能に設けることも可能である。
In the present embodiment, the shielding
それぞれのガイドレール２１、２１の下方には、インターロック機構２２が設けられる。また、遮蔽ゲート１９の下縁部１９ｃの左右端となる隅部分には、インターロック機構２２の穴部２２ａに挿入される突片２３が垂設される。
An
インターロック機構２２は、突片２３が穴部２２ａに進入すると、遮蔽ゲート１９が遮蔽空間に挿入され、正しく配置されたこと、すなわちＸ線の漏洩が防げる状態であることを検出する。これにより、装置本体の制御部４０（図５参照）が、Ｘ線発生器３０（図５参照）の制限を解除してＸ線照射を可能な状態とする。
When the projecting
本実施形態では、インターロック機構２２は、ガイドレール２１、２１の下端に位置しており、遮蔽ゲート１９の下縁を支えることで、遮蔽ゲート１９の挿入検知と同時に、遮蔽ゲート１９を遮蔽位置で支持する支持部ともなる。遮蔽位置に支持された遮蔽ゲート１９は、下縁部１９ｃが搬送手段１０の上側の搬送ベルト１４（図１参照）に近接した非接触位置に配置される。
In the present embodiment, the
筐体２内の遮蔽空間の上部には、隙間情報取得部としてのカメラ７が設けられている。カメラ７は、遮蔽ゲート１９の通過部２０全体を撮影できるように設置されている。
A
カメラ７は、筐体２内部での遮蔽空間内におけるいずれかの位置や、筐体２の外方の入口搬送部１１、出口搬送部１２のいずれかの位置に設けられる構成としてもよい。
The
Ｘ線検査装置１は、複数種の被検査物Ｗのそれぞれに合わせた異なる形状の通過部２０を有する複数の遮蔽ゲート１９を揃えておくことができる。例えば図４に示すように、形状の異なる４種類の被検査物Ｗの形状に合わせて、４種類の通過部２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄが形成された４種類の遮蔽ゲート１９を予め用意することができる。
The
Ｘ線検査時には、検査対象となる被検査物Ｗの外形に応じた遮蔽ゲート１９を選んで、枠体１７のガイドレール２１、２１に差し入れる。図４においては図１に示す被検査物Ｗの形状に対応した形状の通過部２０Ｃが形成された遮蔽ゲート１９を選択し、図４に示すように差し入れる。
At the time of X-ray inspection, a shielding
図５において、Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を発生するＸ線発生器３０と、Ｘ線を検出するＸ線検出器３１と、制御部４０とを備えている。これらのＸ線発生器３０、Ｘ線検出器３１、制御部４０は筐体２（図１参照）の内部に収納されている。
In FIG. 5, the
Ｘ線発生器３０およびＸ線検出器３１は、筐体内搬送部１５上の被検査物Ｗが搬送される搬送路を挟むように、筐体内搬送部１５の幅方向に対向して配置されている。すなわち、筐体内搬送部１５を幅方向に挟んで対向するように、Ｘ線発生器３０とＸ線検出器３１とが配置されている。
The
Ｘ線発生器３０は、その内部に設けられた図示しないＸ線管の陰極からの電子ビームを陽極のターゲットに照射させてＸ線を生成し、生成したＸ線を図示しないスリットにより略三角形状のスクリーン状に成形するようになっている。また、Ｘ線発生器３０は、スクリーン状のＸ線照射野に成形したＸ線を、筐体内搬送部１５上の搬送路を幅方向に横切るようにして、Ｘ線検出器３１に向けて照射するようになっている。
The
したがって、Ｘ線発生器３０から発生するＸ線は、Ｘ線発生器３０を点光源として放射状に広がる。このため、筐体内搬送部１５の搬送ベルト１４の上面である搬送面１４Ａの近傍ではＸ線が搬送面１４Ａと概ね平行に照射されるが、搬送面１４Ａから離れた位置ほどＸ線が大きな角度で斜めに照射される。
Therefore, the X-rays generated from the
Ｘ線検出器３１は、複数の検出素子３１Ａをライン状に整列したＸ線ラインセンサからなる。Ｘ線検出器３１の検出素子３１Ａは、図示しないフォトダイオードと、このフォトダイオード上に設けられた図示しないシンチレータとからなり、Ｘ線をシンチレータにより光に変換し、この光をフォトダイオードにより検出している。
The
Ｘ線検出器３１の複数の検出素子３１Ａは、筐体内搬送部１５の上面に対して垂直にｎ個配置されている。Ｘ線検出器３１の下端部の検出素子３１Ａから出力されるデータは、Ｘ線透過画像の下端部の１画素目の画像に対応する。
N of the plurality of
同様に、Ｘ線検出器３１の下端部からｎ個目の検出素子３１Ａから出力されるデータは、Ｘ線透過画像の下端部からｎ画素目の画像に対応する。なお、図５には、ガイドバー１６の位置が破線で示されているが、ガイドバー１６はＸ線発生器３０のＸ線照射野に入り込まないように構成される。
Similarly, the data output from the
このように構成されたＸ線検出器３１は、被検査物ＷがＸ線発生器３０とＸ線検出器３１の間を通過することで、被検査物Ｗを透過するＸ線の量（検出レベル）に応じたＸ線透過画像を出力する。Ｘ線検出器３１は、図示しないＡ／Ｄ変換部を備えており、このＡ／Ｄ変換部によりフォトダイオードからの輝度値データをデジタルデータに変換するようになっている。
In the
なお、Ａ／Ｄ変換部から出力されるデータは、輝度値により明暗で表されるＸ線透過画像（明暗画像）であってもよいし、輝度値を所望の濃度となるように変換した濃度値により濃淡で表されるＸ線透過画像（濃淡画像）であってもよい。本実施形態では、Ｘ線検出器３１のＡ／Ｄ変換部から出力されるＸ線透過画像は、検出レベルを明暗で表した明暗画像である。
The data output from the A / D conversion unit may be an X-ray transmission image (bright and dark image) represented by light and dark according to the brightness value, or the density obtained by converting the brightness value to a desired density. It may be an X-ray transmission image (shade image) represented by light and shade depending on the value. In the present embodiment, the X-ray transmission image output from the A / D conversion unit of the
本実施形態において、Ｘ線発生器３０は、Ｘ線照射野が筐体内搬送部１５の上方となるように、設置作業により予め調整されている。より詳しくは、Ｘ線発生器３０は、筐体内搬送部１５の搬送面１４Ａと同一面に位置するように調整されている。また、Ｘ線検出器３１の下端部が筐体内搬送部１５の上面とほぼ同じ高さになるように、Ｘ線検出器３１の位置が設置作業により予め調整されている。
In the present embodiment, the
制御部４０は、ＣＰＵおよび制御プログラムの記憶領域または作業領域としてのメモリなどを有しており、検査モードおよびメンテナンスモードを含む各動作モードにおいて、Ｘ線検査装置１の全体を制御するようになっている。
The
Ｘ線検査装置１の動作モードには、被検査物Ｗの検査を行なう通常の検査モードと、Ｘ線検査装置１の各種の調整や状態確認等のメンテナンスを行なうメンテナンスモードとが含まれる。
The operation mode of the
制御部４０は、カメラ７と接続されている。制御部４０は、カメラ７の撮影した画像に基づいて被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間を特定する。
The
制御部４０は、タッチパネル式表示部８と接続されている。制御部４０は、タッチパネル式表示部８に検査結果等の画像を表示させる。
The
タッチパネル式表示部８は、被検査物Ｗの良否判定結果を「ＯＫ」や「ＮＧ」等の文字または記号で表示するようになっている。また、タッチパネル式表示部８は、総検査数、良品数、ＮＧ総数等の統計値を表示するようになっている。
The touch panel
タッチパネル式表示部８は、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力も行なえるようになっている。タッチパネル式表示部８は、ユーザが操作する複数のキーやスイッチ等を表示し、制御部４０への各種パラメータ等の設定入力や動作モードの選択を行なわせるものである。
The touch panel
制御部４０は、Ｘ線画像記憶部４２、画像処理部４３、判定部４４を備えている。
Ｘ線画像記憶部４２は、Ｘ線検出器３１から受け取ったＸ線透過画像を一時的に記憶するようになっている。すなわち、Ｘ線画像記憶部４２は、Ｘ線透過画像のバッファメモリとして機能する。
The
The X-ray
画像処理部４３は、Ｘ線画像記憶部４２から読み出したＸ線透過画像に対して各種の画像処理アルゴリズム等を適用して画像処理を施すようになっている。ここで、画像処理アルゴリズムは、複数の画像処理フィルタを組み合わせたものからなる。
The
判定部４４は、画像処理部４３により画像処理されたＸ線透過画像に対して、被検査物Ｗと異物との判別を行なって異物の混入の有無を判定する異物判定を行なうようになっている。
The
制御部４０は、検査モードを開始するとき、タッチパネル式表示部８により被検査物Ｗの種類を入力させる。ユーザは、被検査物Ｗの種類に対応した遮蔽ゲート１９を枠体１７、１８に差し入れる。なお、遮蔽ゲート１９に対応する被検査物Ｗの種類の情報を読み取り可能に付加し、この情報をＸ線検査装置１において読み取り、被検査物Ｗの種類を特定するようにしてもよい。
When the inspection mode is started, the
本実施形態において、制御部４０は、カメラ７により撮影した通過部２０の画像に基づいて、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間を特定し、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えると判定した場合、被検査物Ｗの形状が通過部２０の形状に適合していないとしてＸ線照射量を所定量未満に制御し、エラー情報をタッチパネル式表示部８に出力させる。なお、Ｘ線照射量を所定量未満に制御するのではなく、Ｘ線照射量を「０」にして検査を中止するようにしてもよい。
In the present embodiment, the
このため、制御部４０は、隙間検査部４５を備える。隙間検査部４５は、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間を特定し、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えるか否かを判定する。
Therefore, the
隙間検査部４５は、カメラ７により撮影した被検査物Ｗが通過部２０を通過するときの画像に基づいて、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間を解析する。隙間検査部４５は、例えば、被検査物Ｗが通過部２０を通過するときの画像から被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の面積を算出し、その面積が予め設定された所定値を超えている場合、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えていると判定する。
The
隙間検査部４５は、カメラ７と通過部２０との位置関係に基づいて、カメラ７により撮影した被検査物Ｗが通過部２０を通過するときの画像を補正し、補正した画像から被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量を算出するとよい。隙間検査部４５は、例えば、遠近法による台形歪みの補正などを行なうとよい。また、隙間検査部４５は、カメラ７により撮影したときの被検査物Ｗの位置が通過部２０とズレていたときの被検査物Ｗの大きさを補正するようにしてもよい。
The
隙間検査部４５は、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の全体の面積に基づいて判定してもよいし、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の予め設定された部分の面積に基づいて判定してもよい。
The
制御部４０は、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えていると隙間検査部４５が判定した場合、タッチパネル式表示部８にエラー情報を表示させる。
When the
制御部４０は、被検査物Ｗの形状が通過部２０の形状に適合していないことを示すエラーメッセージや、被検査物Ｗの寸法情報、被検査物Ｗに適合する通過部２０の遮蔽ゲート１９の識別情報などをエラー情報としてタッチパネル式表示部８に表示させる。
The
なお、制御部４０は、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えていると隙間検査部４５が判定した場合、Ｘ線検査装置１が配置されている検査ラインの管理装置や管理システムの制御装置にエラー情報を出力するようにしてもよい。
When the
隙間検査部４５は、被検査物Ｗが通過部２０を通過するときの画像から、被検査物Ｗと通過部２０の間の水平方向の距離や垂直方向の距離の最大値が所定の値を超える場合に被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えていると判定するようにしてもよい。
From the image when the object W to be inspected passes through the passing
このように、被検査物Ｗが通過部２０を通過するときの画像から被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量を算出し、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えている場合に被検査物Ｗの形状が通過部２０の形状に適合していないと判定しているため、通過部２０の形状に合わない被検査物Ｗが検査されたことを検出することができる。
In this way, the amount of the gap between the inspected object W and the inner edge of the passing
また、被検査物Ｗの形状が通過部２０の形状に適合していない場合Ｘ線照射量を所定量未満に制御しているため、被検査物Ｗと通過部２０の隙間から漏洩するＸ線の量を抑制し、Ｘ線漏洩に関する安全を確保することができる。
Further, when the shape of the object to be inspected W does not match the shape of the passing
また、被検査物Ｗの形状が通過部２０の形状に適合していない場合検査を中止させるようにすれば、Ｘ線の照射を止めて、被検査物Ｗと通過部２０の隙間から漏洩するＸ線の量を抑制し、Ｘ線漏洩に関する安全を確保することができる。
Further, if the inspection is stopped when the shape of the object W to be inspected does not match the shape of the passing
また、被検査物Ｗの形状が通過部２０の形状に適合していない場合タッチパネル式表示部８にエラー情報を表示させているため、通過部２０の形状に適合しない被検査物Ｗの検査を止めさせたり、被検査物Ｗに適合した通過部２０の遮蔽ゲート１９に交換させたりすることができる。
Further, when the shape of the inspected object W does not match the shape of the passing
また、被検査物Ｗの寸法情報や、被検査物Ｗに適合する通過部２０の遮蔽ゲート１９の識別情報などを表示させるようにすれば、遮蔽ゲート１９の交換を効率よく行なわせることができる。
Further, if the dimensional information of the object W to be inspected and the identification information of the shielding
以上のように構成された本実施形態に係るＸ線検査装置による形状検査処理について、図６を参照して説明する。 The shape inspection process by the X-ray inspection apparatus according to the present embodiment configured as described above will be described with reference to FIG.
ステップＳ１において、隙間検査部４５は、カメラ７から被検査物Ｗが通過部２０を通過するときの画像を取得する。
In step S1, the
ステップＳ２において、隙間検査部４５は、被検査物Ｗが通過部２０を通過するときの画像に基づいて、被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間を解析する。
In step S2, the
ステップＳ３において、隙間検査部４５は、解析された被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えている否かを判定する。被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えていないと判定した場合、隙間検査部４５は、処理を終了する。
In step S3, the
ステップＳ３において被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間の量が所定量を超えていると判定した場合、ステップＳ４において、制御部４０は、タッチパネル式表示部８にエラー情報を表示させ、被検査物Ｗの形状が不適合であることを報知し、処理を終了する。
When it is determined in step S3 that the amount of the gap between the object W to be inspected and the inner edge of the passing
本実施形態においては、カメラ７により通過部２０の全体を撮影した画像により特定した被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間に基づいて判定したが、通過部２０の一部を撮影した画像における被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間に基づいて判定するようにしてもよい。
In the present embodiment, the determination is made based on the gap between the object W to be inspected and the inner edge of the passing
例えば、被検査物Ｗの両側面における隙間（水平方向の隙間）を２つのカメラにより撮影し、その画像により特定した被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間に基づいて判定したり、被検査物Ｗの上部の所定範囲をカメラにより撮影し、その画像により特定した被検査物Ｗと通過部２０の内縁との隙間に基づいて判定したりするようにしてもよい。また、被検査物Ｗの両側面の画像と上部の所定範囲の画像の組合せで判定するようにしてもよい。
For example, the gaps (horizontal gaps) on both sides of the object W to be inspected are photographed by two cameras, and the determination is made based on the gap between the object W to be inspected and the inner edge of the passing
また、被検査物Ｗの両側面における隙間を撮影した画像と、被検査物Ｗの上部の所定範囲を撮影した画像と、を合成した画像により特定した被検査物Ｗと通過部２０の内縁との全体の隙間に基づいて判定するようにしてもよい。
Further, the inspected object W and the inner edge of the passing
本実施形態においては、通過部２０が形成された遮蔽ゲート１９を被検査物Ｗに合わせて交換する場合を示したが、図７に示すように、移動可能な複数の遮蔽材により遮蔽ゲートを形成するようにしてもよい。
In the present embodiment, the case where the shielding
図７において、枠体５０は、枠体開口部５１が設けられ、枠体開口部５１には、移動可能な複数の遮蔽材５２ａ、５２ｂ、５３、５４ａ、５４ｂが設けられる。なお、図７は、入口４側の枠体５０近傍の構成を示している。同様の枠体を出口５側にも設けてもよい。
In FIG. 7, the
第１遮蔽材５２ａ、５２ｂは、枠体５０の枠体開口部５１の右縁と左縁をそれぞれ覆い、それぞれ左右方向に移動する。第１遮蔽材５２ａ、５２ｂのサイズは同一であり、両者で枠体開口部５１の全体を覆える程度に設定されている。
The
一対の第１遮蔽材５２ａ、５２ｂは、搬送手段１０の幅方向の中央位置と各外側の位置との間を、特に図中に矢印ＡＨ１、ＡＨ２で示すように任意に移動する。
The pair of
このような構成により、一対の第１遮蔽材５２ａ、５２ｂを左右方向に移動させれば、一対の第１遮蔽材５２ａ、５２ｂの隙間である通過部５５の幅を、筐体２内に搬入しようとする被検査物Ｗの幅に合せて設定することができる。
With such a configuration, if the pair of
第２遮蔽材５３は、枠体５０の枠体開口部５１の上縁を覆い、上下方向に移動する。第２遮蔽材５３は、枠体開口部５１に関して第１遮蔽材５２ａ、５２ｂの外側にある。すなわち、第１遮蔽材５２ａ、５２ｂと第２遮蔽材５３の各表面は互いに平行であり、第２遮蔽材５３は、第１遮蔽材５２ａ、５２ｂの枠体開口部５１の外側の表面に接している。そして、第２遮蔽材５３は、上限位置と下限位置との間を、特に図中に矢印ＡＶで示すように上下方向に移動する。
The
このような構成により、第２遮蔽材５３を上下方向に移動させて任意の位置に設定すれば、第２遮蔽材５３と搬送手段１０の上面との隙間である通過部５５の高さを、筐体２内に搬入しようとする被検査物Ｗの高さに合せて設定することができる。
With such a configuration, if the
第３遮蔽材５４ａ、５４ｂは、通過部５５に傾斜した角部を設定するために斜め方向に移動可能となっている。第３遮蔽材５４ａ、５４ｂは、枠体開口部５１に関して第２遮蔽材５３の外側にある。すなわち、第２遮蔽材５３と第３遮蔽材５４ａ、５４ｂの各表面は互いに平行であり、第３遮蔽材５４ａ、５４ｂは、第２遮蔽材５３の枠体開口部５１の外側の表面に接している。
The
また、一対の第３遮蔽材５４ａ、５４ｂは、第１遮蔽材５２ａ、５２ｂの移動方向を水平方向とし、第２遮蔽材５３の移動方向を垂直方向とすると、水平方向と垂直方向の中間角度である２つの４５度方向、図中矢印ＡＤ１、ＡＤ２で示す方向にそれぞれ移動可能とされている。
Further, when the moving direction of the
第３遮蔽材５４ａ、５４ｂが矩形の板状であり、その移動方向が第３遮蔽材５４ａ、５４ｂの一組の対辺と平行であり、他組の対辺と垂直である点は、第１及び第２の遮蔽材と同様である。従って、通過部５５の幅の中央は、搬送手段１０の幅方向の中央と一致することになる。
The points that the
以上説明した遮蔽ゲートを構成する各遮蔽材は、不図示の直動型のアクチュエータによって上述したように往復して移動するよう構成されている。各アクチュエータは、その基部が、枠体５０の枠体開口部５１の左右両縁部及び上縁部に取り付けられており、その移動部が、各遮蔽材５２ａ、５２ｂ、５３、５４ａ、５４ｂに取り付けられている。
Each of the shielding materials constituting the shielding gate described above is configured to reciprocate and move as described above by a linear acting actuator (not shown). The base of each actuator is attached to the left and right edges and the upper edge of the frame opening 51 of the
各アクチュエータは、制御部４０により制御される。制御部４０のメモリには、被検査物Ｗの種類に応じた各アクチュエータの制御量が記憶されている。制御部４０は、タッチパネル式表示部８の操作により入力された被検査物Ｗの種類により各アクチュエータの制御量を読み出して各アクチュエータを制御する。このようにして、通過部５５を被検査物Ｗに適合した大きさに制御する。
Each actuator is controlled by the
また、各遮蔽材５２ａ、５２ｂ、５３、５４ａ、５４ｂには、案内ボス及びこれに係合する案内ピン等の案内構造５６が設けられており、アクチュエータによる移動の際に動作が安定するように構成されている。
Further, each of the shielding
隙間検査部４５は、上述の遮蔽ゲート１９を使った場合と同様に、被検査物Ｗが通過部５５を通過するときの画像から被検査物Ｗと通過部５５の内縁との隙間の量を算出し、被検査物Ｗと通過部５５の内縁との隙間の量が所定量を超えている場合、被検査物Ｗの形状が通過部５５の形状に適合していないと判定する。
Similar to the case where the shielding
なお、遮蔽材５２ａ、５２ｂ、５３、５４ａ、５４ｂの移動はアクチュエータで行なうこととしたが、手動でもよい。このような場合、通過部５５の寸法は、タッチパネル式表示部８の操作により入力させるようにすればよい。
Although the
本発明の実施形態を開示したが、当業者によっては本発明の範囲を逸脱することなく変更が加えられうることは明白である。すべてのこのような修正及び等価物が次の請求項に含まれることが意図されている。 Although embodiments of the present invention have been disclosed, it will be apparent to those skilled in the art that modifications may be made without departing from the scope of the invention. All such modifications and equivalents are intended to be included in the following claims.
１ Ｘ線検査装置
７ カメラ（隙間情報取得部）
８ タッチパネル式表示部
１９ 遮蔽ゲート
２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄ 通過部
３０ Ｘ線発生器
３１ Ｘ線検出器
４０ 制御部
４２ Ｘ線画像記憶部
４３ 画像処理部
４５ 隙間検査部
５２ａ、５２ｂ 第１遮蔽材
５３ 第２遮蔽材
５４ａ、５４ｂ 第３遮蔽材
５５ 通過部
1
8 Touch
Claims (6)
前記遮蔽空間の入口及び出口に設けられ、前記被検査物の外形に合わせた形状の通過部（２０）を有する遮蔽ゲート（１９）と、
前記被検査物と前記通過部の内縁との隙間の量を示す隙間情報を取得する隙間情報取得部（７）と、
前記隙間情報に基づいて前記隙間の量を算出し、該隙間の量が所定量を超えていると判定された場合、Ｘ線照射量を所定量未満に制御する制御部（４０）と、を備えるＸ線検査装置。 An X-ray inspection device that inspects an object to be inspected (W) carried into an X-ray shielding space by a transport means (10) using an X-ray transmission image obtained by irradiating the object to be inspected (W) with X-rays.
Provided at the entrance and exit of the shielded space, the a shielding gate having a passing portion of shape corresponding to the outer shape of the object (20) (19),
A gap information acquisition unit (7) for acquiring gap information indicating the amount of the gap between the object to be inspected and the inner edge of the passing portion, and
A control unit (40) that calculates the amount of the gap based on the gap information and controls the X-ray irradiation amount to less than the predetermined amount when it is determined that the amount of the gap exceeds the predetermined amount. Equipped with X-ray inspection equipment.
前記制御部は、前記カメラの撮影した画像に基づいて前記隙間の量を算出する請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。 The gap information acquisition unit is composed of a camera (7) arranged so as to photograph the entire passing unit.
The X-ray inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the control unit calculates the amount of the gap based on an image taken by the camera.
前記制御部は、前記複数のカメラの撮影した複数の画像に基づいて前記隙間の量を算出する請求項１または請求項２に記載のＸ線検査装置。 The gap information acquisition unit is composed of a plurality of cameras that capture at least a part of the passing unit.
The X-ray inspection apparatus according to claim 1 or 2, wherein the control unit calculates the amount of the gap based on a plurality of images taken by the plurality of cameras.
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