JP6846142B2 - 電子線照射装置およびその使用方法 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、腐食を十分に抑え得る電子線照射装置を提供することを目的とする。
上記冷媒路に導かれる冷媒の温度を、当該冷媒路近傍の表面に堆積した硝酸塩の周囲において当該硝酸塩の潮解が抑制される相対湿度となるように調整する冷媒温度調整器を備え、
上記冷媒が水である。
出射窓が、上記真空ノズルに設けられたものであり、
冷媒路が、上記真空ノズルに形成されたものである。
予め、冷媒路近傍の表面に堆積した硝酸塩の周囲において当該硝酸塩の潮解が抑制される相対湿度となる、冷媒路に導かれる冷媒の温度を算出し、
この算出された温度に、冷媒路に導かれる冷媒の温度を冷媒温度調整器で調整した上で、当該冷媒を冷媒路に導くことである。
以下、上記電子線照射装置1における冷媒路およびその近傍の構成について図2に基づき詳細に説明する。
次に、上記電子線照射装置1の使用方法について説明する。
(1)真空ノズル3において、外殻39および内殻38の材質をステンレス、熱伝導部35の材質を銅とした。また出射窓5の材質をチタンとした。冷媒には純水を用いた。
そして、電子線照射装置1により432時間にわたる電子線Eの照射を続けた後、真空ノズル3の先端部側面を撮影した。この撮影により得られた写真を図5に示す。電子線Eの照射が432時間の長時間であっても、図5に示すように、真空ノズル3の先端部に殆ど腐食が見られなかった。
[比較例]
そして、電子線照射装置により91時間にわたる電子線Eの照射を続けた後、真空ノズル3の先端部側面を撮影した。この撮影により得られた写真を図6に示す。電子線Eの照射が91時間の短時間にもかかわらず、図6に示すように、真空ノズル3の先端部に顕著な腐食が見られた。
G 硝酸ガス
N 硝酸塩
1 電子線照射装置
2 真空チャンバ
3 真空ノズル
5 出射窓
6 冷媒循環器
7 冷媒温度調整器
20 電子線発生器
38 内殻
39 外殻
35 熱伝導部
41 冷媒路
42 冷媒供給側
43 冷媒回収側
Claims (4)
- 内部に電子線発生器が配置された真空チャンバと、上記電子線発生器からの電子線を通過させて外部に出射する出射窓とを備え、この出射窓の冷却のための冷媒を導く冷媒路が形成された電子線照射装置であって、
上記冷媒路に導かれる冷媒の温度を、当該冷媒路近傍の表面に堆積した硝酸塩の周囲において当該硝酸塩の潮解が抑制される相対湿度となるように調整する冷媒温度調整器を備え、
上記冷媒が水であることを特徴とする電子線照射装置。 - 真空チャンバに連通して接続された真空ノズルを備え、
出射窓が、上記真空ノズルに設けられたものであり、
冷媒路が、上記真空ノズルに形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載の電子線照射装置。 - 冷媒温度調整器で調整される冷媒の温度が、冷媒路近傍の表面に堆積した硝酸塩の周囲において相対湿度が30%以下となるものであることを特徴とする請求項1または2に記載の電子線照射装置。
- 請求項1または2に記載の電子線照射装置の使用方法であって、
予め、冷媒路近傍の表面に堆積した硝酸塩の周囲において当該硝酸塩の潮解が抑制される相対湿度となる、冷媒路に導かれる冷媒の温度を算出し、
この算出された温度に、冷媒路に導かれる冷媒の温度を冷媒温度調整器で調整した上で、当該冷媒を冷媒路に導くことを特徴とする電子線照射装置の使用方法。
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