JP6843069B2 - チャンバ洗浄終点に対するインシトゥエッチング速度の決定 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- 終点検出の方法であって、
汚れていないチャンバ環境で第1のプラズマ洗浄処理を実行することと、
前記第1のプラズマ洗浄処理中に2以上の時間間隔で第1のエッチング速度を決定することと、
前記2以上の時間間隔によって定義された第1の傾きを決定することであって、前記第1の傾きが前記第1のエッチング速度を時間の関数として定義する、決定することと、
汚れたチャンバ環境で第2のプラズマ洗浄処理を実行することと、
前記第2のプラズマ洗浄処理中に2以上の時間間隔で第2のエッチング速度を決定することと、
前記2以上の時間間隔によって定義された第2の傾きを決定することであって、前記第2の傾きが前記第2のエッチング速度を時間の関数として定義する、決定することと、
洗浄終点時間を決定するために前記第1の傾きと前記第2の傾きとを比較することと
を含む方法。 - 前記汚れていないチャンバ環境には材料が堆積していない、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のプラズマ洗浄処理及び前記第2のプラズマ洗浄処理が、フッ素系化学物質、塩素系化学物質、酸素系化学物質、又はこれらの組み合わせ及び混合物を利用する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1のプラズマ洗浄処理に対する前記2以上の間隔と前記第2のプラズマ洗浄処理に対する前記2以上の間隔とが同一である、請求項1に記載の方法。
- 前記2以上の時間間隔が、終点時間範囲を定義する、請求項1に記載の方法。
- 前記終点時間範囲が、前記第1の傾きと前記第2の傾きとを比較することによって決定される、請求項5に記載の方法。
- 前記第1の傾きと前記第2の傾きとが等しい点で前記終点時間範囲内に前記洗浄終点時間を決定すること
を更に含む、請求項6に記載の方法。 - 前記洗浄終点時間を決定した後に、総洗浄時間の5%未満の量の洗浄時間を前記洗浄終点時間に加えることを更に含む、請求項1に記載の方法。
- 終点検出の方法であって、
汚れていないチャンバ環境で第1のプラズマ洗浄処理を実行することと、
前記第1のプラズマ洗浄処理中に2以上の時間間隔で第1のエッチング速度を決定することと、
前記2以上の時間間隔によって定義された第1の傾きを決定することであって、前記第1の傾きが前記第1のエッチング速度を時間の関数として定義する、決定することと、
汚れたチャンバ環境で第2のプラズマ洗浄処理を実行することと、
前記第2のプラズマ洗浄処理中に2以上の時間間隔で第2のエッチング速度を決定することと、
前記2以上の時間間隔によって定義された第2の傾きを決定することであって、前記第2の傾きが前記第2のエッチング速度を時間の関数として定義する、決定することと、
前記2以上の時間間隔によって定義された終点時間範囲を決定することと、
前記第1の傾きと前記第2の傾きとが等しい点で洗浄終点時間を決定するために、前記終点時間範囲内の前記第1の傾きと前記第2の傾きとを比較することと
を含む方法。 - 前記第1のプラズマ洗浄処理に対する前記2以上の間隔と前記第2のプラズマ洗浄処理に対する前記2以上の間隔とが同一である、請求項9に記載の方法。
- 終点検出の方法であって、
汚れていないチャンバ環境で第1の洗浄処理を実行することと、
前記第1の洗浄処理に対する第1のエッチング速度を決定することと、
前記汚れていないチャンバ環境で第2の洗浄処理を実行することと、
前記第2の洗浄処理に対する第2のエッチング速度を決定することであって、前記第1のエッチング速度及び前記第2のエッチング速度が第1の傾きを定義する、決定することと、
汚れたチャンバ環境で第3の洗浄処理を実行することと、
前記第3の洗浄処理の第3のエッチング速度を決定することと、
前記汚れたチャンバ環境で第4の洗浄処理を実行することと、
前記第4の洗浄処理の第4のエッチング速度を決定することであって、前記第3のエッチング速度及び前記第4のエッチング速度が、第2の傾きを前記第1の傾きの2%以内に定義する、決定することと、
前記第1の傾きと前記第2の傾きとが等しい洗浄終点時間を決定することと
を含む方法。 - 前記第1の傾きが、熱的に不安定な曲線の傾きである、請求項11に記載の方法。
- 前記第1の洗浄処理、前記第2の洗浄処理、前記第3の洗浄処理、及び前記第4の洗浄処理が、フッ素系化学物質、塩素系化学物質、酸素系化学物質、又はこれらの組み合わせ及び混合物を利用する、請求項11に記載の方法。
- 前記第1の傾きと前記第2の傾きとが等しい間隔にわたって前記第1の傾きと前記第2の傾きとを比較することによって、終点時間範囲を決定すること
を更に含む、請求項11に記載の方法。 - 前記洗浄終点時間を決定した後に、総洗浄時間の5%未満の量の洗浄時間を前記洗浄終点時間に加えることを更に含む、請求項11に記載の方法。
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