JP6841500B2 - Hydrostatic support device - Google Patents

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JP6841500B2 JP2017027116A JP2017027116A JP6841500B2 JP 6841500 B2 JP6841500 B2 JP 6841500B2 JP 2017027116 A JP2017027116 A JP 2017027116A JP 2017027116 A JP2017027116 A JP 2017027116A JP 6841500 B2 JP6841500 B2 JP 6841500B2
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Description

本発明は、水を静圧媒体として用いて静圧支持状態を形成するようにした水静圧支持装置に関するものである。 The present invention relates to a hydrostatic support device in which water is used as a static pressure medium to form a static pressure support state.

水を静圧媒体として、軸受に用いることは、低コスト化を図ることができるとともに、油ミストが生じたり、油流出汚染が生じたりすることがないため、環境汚染を改善することができる。また、水は油よりも粘性が低いために、低抵抗及び低振動などの摺動特性を得ることができるばかりでなく、発熱の問題も少なくなる。このため、省エネルギーを達成できるだけではなく、高精度加工が可能になる。 Using water as a static pressure medium for bearings can reduce costs and can improve environmental pollution because oil mist and oil spill pollution do not occur. Further, since water has a lower viscosity than oil, not only can it obtain sliding characteristics such as low resistance and low vibration, but also the problem of heat generation is reduced. Therefore, not only energy saving can be achieved, but also high-precision machining becomes possible.

水を静圧媒体として用いた装置が、例えば、特許文献１〜３の従来技術に開示されている。 An apparatus using water as a static pressure medium is disclosed in, for example, the prior art of Patent Documents 1 to 3.

特開２００８−１４２７８２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-142782 特開２００８−１４９４３４号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-149434 特開２０１２−１７７３８５号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-177385

静圧媒体として水を用いる場合、摺動面や配管内の錆の問題を回避することができず、特に摺動面の錆は移動体の位置精度や移動抵抗などに大きな影響を与える。
このため、特許文献１〜３においては、摺動面を構成する部材として、セラミックを用いている。ところが、セラミックは、成形に手間がかかる。 When water is used as the static pressure medium, the problem of rust on the sliding surface and in the piping cannot be avoided, and in particular, rust on the sliding surface has a great influence on the position accuracy and movement resistance of the moving body.
Therefore, in Patent Documents 1 to 3, ceramic is used as a member constituting the sliding surface. However, ceramics are troublesome to mold.

また、静圧媒体として、水を用いると、バクテリアの増殖やスケールの発生などを抑えることが困難で、この場合も前記のような精度確保上の問題や、移動抵抗などの問題が生じる。 Further, when water is used as the static pressure medium, it is difficult to suppress the growth of bacteria and the generation of scale, and in this case as well, the above-mentioned problems in ensuring accuracy and movement resistance occur.

本発明の目的は、静圧媒体として、水を有効に使用できる水静圧支持装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a hydrostatic pressure support device capable of effectively using water as a hydrostatic medium.

上記の目的を達成するために、本発明の静圧軸受においては、静圧軸受に供される水よりなる静圧媒体の性状を難酸化性にするための性状調整手段を設けたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, the hydrostatic bearing of the present invention is characterized in that a property adjusting means for making the property of the static pressure medium made of water provided for the static pressure bearing resistant to oxidation is provided. And.

本発明によれば、静圧媒体としての低粘性の水により、回転軸などの摺動体を低抵抗で受承できて、高効率で高精度な静圧支持を実現できる。また、静圧媒体が難酸化性であるため、静圧軸受などを構成する部材として、鋳鉄や低膨張合金などのように、加工が容易で、高精度を確保できる部材を用いることができる。静圧媒体が難酸化性であるため、静圧軸受を構成する部材の酸化を抑制でき、さらに、バクテリアの増殖を抑制できるとともに、スケールの生成を抑制できる。従って、静圧軸受などにおいて酸化による錆を抑制できるとともに、潤滑水の粘性が高くなったり、スケールのつまりなどによる摺動部の摺動特性が低下したりすることを回避することが可能になる。 According to the present invention, low-viscosity water as a static pressure medium can accept a sliding body such as a rotating shaft with low resistance, and can realize highly efficient and highly accurate static pressure support. Further, since the hydrostatic medium has a low oxidation resistance, a member such as cast iron or a low expansion alloy that is easy to process and can ensure high accuracy can be used as a member constituting the hydrostatic bearing or the like. Since the hydrostatic medium is resistant to oxidation, oxidation of the members constituting the hydrostatic bearing can be suppressed, bacterial growth can be suppressed, and scale formation can be suppressed. Therefore, it is possible to suppress rust due to oxidation in static pressure bearings and the like, and it is possible to avoid an increase in the viscosity of the lubricating water and a decrease in the sliding characteristics of the sliding portion due to clogging of the scale. ..

実施形態の水静圧支持装置を示す模式図。The schematic diagram which shows the hydrostatic pressure support device of embodiment. ペーハー調整装置を示す模式図。The schematic diagram which shows the pH adjustment device. 脱気装置を示す模式図。The schematic diagram which shows the deaeration device. 水素混入装置を示す模式図。The schematic diagram which shows the hydrogen mixing apparatus.

以下に、本発明を具体化した水静圧支持装置の実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、モータ１１はモータ軸である回転軸１２を回転可能に支持する静圧軸受１３を有している。この回転軸１２及び静圧軸受１３には切削加工により所要形状が付与されるとともに、メッキが施された鋳鉄や低膨張合金が用いられている。 Hereinafter, embodiments of a hydrostatic support device embodying the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the motor 11 has a static pressure bearing 13 that rotatably supports a rotating shaft 12 which is a motor shaft. The rotating shaft 12 and the hydrostatic bearing 13 are given a required shape by cutting, and plated cast iron or a low expansion alloy is used.

潤滑水タンク２１には、静圧媒体としての潤滑水１００が貯留されている。この潤滑水１００には、純水化された水が用いられる。この潤滑水１００は、ポンプ２２により送給配管２３を介して静圧軸受１３に供給されて、その静圧軸受１３と回転軸１２との間の潤滑に供せられる。静圧軸受１３からの戻りの潤滑水１００はドレン配管２４を介して潤滑水タンク２１に回収される。従って、潤滑水１００は、潤滑水タンク２１と静圧軸受１３の部分との間において循環される。 The lubricating water tank 21 stores the lubricating water 100 as a static pressure medium. Pure water is used as the lubricating water 100. The lubricating water 100 is supplied to the static pressure bearing 13 by the pump 22 via the feed pipe 23, and is used for lubrication between the static pressure bearing 13 and the rotating shaft 12. The lubricating water 100 returning from the hydrostatic bearing 13 is collected in the lubricating water tank 21 via the drain pipe 24. Therefore, the lubricating water 100 is circulated between the lubricating water tank 21 and the portion of the hydrostatic bearing 13.

性状調整手段を構成する性状調整ユニット３１の内部に設けられた水が通る内部配管３２には、上流側から順に、純水化装置３３，ペーハー調整装置３４，脱気装置３５及び水素混入装置３６が接続されている。前記水素混入装置３６は、供給配管３７を介して前記潤滑水タンク２１の入口側に接続されている。前記純水化装置３３は、流量調整バルブ５１を有する回収配管３８を介して潤滑水タンク２１の出口側に接続されている。回収配管３８には、切換バルブ３９が接続され、その切換バルブ３９には水源４０が水源配管４１を介して接続されている。水源４０は、例えば水道水の供給源である。切換バルブ３９の切換えにより、回収配管３８が潤滑水タンク２１側または水源４０側に切換えられる。 The internal piping 32 through which water passes inside the property adjusting unit 31 constituting the property adjusting means is, in order from the upstream side, a dewatering device 33, a pH adjusting device 34, a degassing device 35, and a hydrogen mixing device 36. Is connected. The hydrogen mixing device 36 is connected to the inlet side of the lubricating water tank 21 via a supply pipe 37. The purifying device 33 is connected to the outlet side of the lubricating water tank 21 via a recovery pipe 38 having a flow rate adjusting valve 51. A switching valve 39 is connected to the recovery pipe 38, and a water source 40 is connected to the switching valve 39 via the water source pipe 41. The water source 40 is, for example, a source of tap water. By switching the switching valve 39, the recovery pipe 38 is switched to the lubricating water tank 21 side or the water source 40 side.

そして、水素混入装置３６からの潤滑水１００が供給配管３７を介して潤滑水タンク２１に供給される。また、切換バルブ３９の一方の切換え状態において、潤滑水タンク２１からの潤滑水１００が流量調整バルブ５１によって流量が調整されながら回収配管３８を介して純水化装置３３に回収される。なお、前記流量調整は、流量が過大にならないように絞られる。さらに、切換バルブ３９の他方の切換え状態において、水源４０からの原水が純水化装置３３に導入される。 Then, the lubricating water 100 from the hydrogen mixing device 36 is supplied to the lubricating water tank 21 via the supply pipe 37. Further, in one of the switching states of the switching valve 39, the lubricating water 100 from the lubricating water tank 21 is recovered to the purifying device 33 via the recovery pipe 38 while the flow rate is adjusted by the flow rate adjusting valve 51. The flow rate adjustment is narrowed down so that the flow rate does not become excessive. Further, in the other switching state of the switching valve 39, the raw water from the water source 40 is introduced into the purifying device 33.

前記純水化装置３３は、濾過膜（図示しない）を備え、回収配管３８を介して導入される潤滑水タンク２１からの潤滑水１００または水源４０からの原水が純水に近付くように濾過して前記ペーハー調整装置３４の前処理段階として水を純水化処理する。前記濾過膜としては、例えば、ＲＯ膜（逆浸透膜）が用いられる。また、純水化装置３３として、イオン交換樹脂を用いたイオン交換器が用いられてもよい。 The pure water purification device 33 is provided with a filtration membrane (not shown) and filters the lubricating water 100 from the lubricating water tank 21 introduced through the recovery pipe 38 or the raw water from the water source 40 so as to approach pure water. As a pretreatment step of the pH adjusting device 34, water is purified. As the filtration membrane, for example, an RO membrane (reverse osmosis membrane) is used. Further, as the deionizing device 33, an ion exchanger using an ion exchange resin may be used.

図１及び図２に示すように、ペーハー調整装置３４は、純水化装置３３から内部配管３２を介して導入された純水化水のペーハーを調整してその純水化水に難酸化性を付与し、その純水化水をアルカリ性にする。すなわち、ペーハー調整装置３４は、図２に示すように、純水化水を貯留する調整タンク４５と、その調整タンク４５内の純水化水にペーハー調整液を注入して調整液を難酸化性にするための注入器４３とを有している。ペーハー調整液としては、アルカリ性の溶液が用いられ、例えば、炭酸カリウムが用いられる。 As shown in FIGS. 1 and 2, the pH adjusting device 34 adjusts the pH of the purified water introduced from the purifying device 33 via the internal pipe 32, and the pH of the purified water is hardly oxidized. To make the purified water alkaline. That is, as shown in FIG. 2, the pH adjusting device 34 injects the pH adjusting liquid into the adjusting tank 45 for storing the purified water and the purified water in the adjusting tank 45 to make the adjusting liquid difficult to oxidize. It has an injector 43 for sex. As the pH adjusting solution, an alkaline solution is used, and for example, potassium carbonate is used.

図１及び図３に示すように、脱気装置３５は、水素混入装置３６における水素混入の前段階処理として気体分を除去して水に対して難酸化性を付与するためのものであって、ペーハー調整装置３４から内部配管３２を介して導入された調整済み水を脱気処理する。 As shown in FIGS. 1 and 3, the degassing device 35 is for removing gas components and imparting resistance to water to water as a pre-stage treatment for hydrogen mixing in the hydrogen mixing device 36. , The adjusted water introduced from the hydrogen regulator 34 via the internal pipe 32 is degassed.

この脱気装置３５には、図３に示すように、内部配管３２に一部に、気体を透過させるが、液体の透過を阻止する合成樹脂よりなる筒状の脱気膜４４が設けられている。この脱気膜４４を包囲するように真空チャンバー５２が設けられている。そして、脱気膜４４の内側を通過する前記調整済み水から気体分が脱気膜４４を介して真空チャンバー５２内に移動されて、調整済み水が脱気される。この脱気は、水素混入装置３６における処理の前段階処理である。なお、真空チャンバー５２内の気圧は、図示しない真空ポンプにより真空に近い状態に維持される。 As shown in FIG. 3, the degassing device 35 is provided with a tubular degassing film 44 made of a synthetic resin that partially permeates the gas but blocks the permeation of the liquid in the internal pipe 32. There is. A vacuum chamber 52 is provided so as to surround the degassing membrane 44. Then, the gas component from the adjusted water passing through the inside of the degassing membrane 44 is moved into the vacuum chamber 52 via the degassing membrane 44, and the adjusted water is degassed. This degassing is a pre-stage treatment of the treatment in the hydrogen mixing apparatus 36. The air pressure in the vacuum chamber 52 is maintained in a state close to vacuum by a vacuum pump (not shown).

図１及び図４に示すように、水素混入装置３６は、脱気装置３５から内部配管３２を介して導入された気体除去済水内に水素を混入させて、空気が混入されることを抑制して、その気体除去済水に難酸化性を付与する。すなわち、この水素混入装置３６は、図４に示すように、前記気体除去済水が一時的に貯留される混入タンク４６と、水素ガスを充填した水素ボンベ４７と、水素ボンベ４７と混入タンク４６との間に接続され、開閉バルブ４８を有するガス配管４９とを備えている。そして、開閉バルブ４８が開放された状態で、水素ボンベ４７からの水素ガスが混入タンク４６内の気体除去済水内に混入される。 As shown in FIGS. 1 and 4, the hydrogen mixing device 36 mixes hydrogen into the degassed water introduced from the degassing device 35 via the internal pipe 32 to suppress the mixing of air. Then, the degassed water is imparted with resistance to oxidation. That is, as shown in FIG. 4, the hydrogen mixing device 36 includes a mixing tank 46 in which the degassed water is temporarily stored, a hydrogen cylinder 47 filled with hydrogen gas, and a hydrogen cylinder 47 and a mixing tank 46. It is provided with a gas pipe 49 which is connected to and has an on-off valve 48. Then, with the on-off valve 48 open, the hydrogen gas from the hydrogen cylinder 47 is mixed into the gas-removed water in the mixing tank 46.

次に、以上のように構成された本実施形態の水静圧支持装置の作用について説明する。
潤滑水タンク２１から回収された潤滑水１００及び水源４０からの原水は、純水化装置３３において濾過されて、純水化された後に、ペーハー調整装置３４においてペーハー調整される。そして、そのペーハー調整された水は、脱気装置３５において脱気される。その脱気された気体除去済水には、水素混入装置３６において水素が混入される。 Next, the operation of the hydrostatic support device of the present embodiment configured as described above will be described.
The lubricating water 100 recovered from the lubricating water tank 21 and the raw water from the water source 40 are filtered by the purifying device 33, purified, and then pH-adjusted by the pH adjusting device 34. Then, the pH-adjusted water is degassed in the degassing device 35. Hydrogen is mixed in the degassed degassed water in the hydrogen mixing device 36.

そして、水素が混入された水は、潤滑水タンク２１に送られて、その潤滑水タンク２１において一時的に貯留され、さらに、その潤滑水タンク２１から潤滑水１００として静圧軸受１３に供給され、その静圧軸受１３の部分において潤滑に供される。静圧軸受１３からドレン配管２４を介して戻されたドレン水は、潤滑水タンク２１内に戻される。従って、潤滑水１００は、潤滑水タンク２１と静圧軸受１３の部分との間において循環される。 Then, the water mixed with hydrogen is sent to the lubricating water tank 21, temporarily stored in the lubricating water tank 21, and further supplied from the lubricating water tank 21 to the static pressure bearing 13 as the lubricating water 100. , The part of the hydrostatic bearing 13 is lubricated. The drain water returned from the hydrostatic bearing 13 via the drain pipe 24 is returned to the lubricating water tank 21. Therefore, the lubricating water 100 is circulated between the lubricating water tank 21 and the portion of the hydrostatic bearing 13.

また、潤滑水タンク２１内の潤滑水１００の一部は、流量調整バルブ５１を介して性状調整ユニット３１に戻される。従って、性状調整ユニット３１に戻された潤滑水１００は純水化され、前記のようにペーハー調整され、脱気され、水素が混入されて、潤滑水タンク２１に戻される。以上のように、潤滑水タンク２１内の潤滑水１００は潤滑水タンク２１と性状調整ユニット３１との間において循環される。このため、潤滑水１００が潤滑水タンク２１と静圧軸受１３の部分との間の循環にともなって劣化したとしても、潤滑水タンク２１と性状調整ユニット３１との間の循環において再生される。また、潤滑水１００の量が減少した場合は、水源４０から性状調整ユニット３１内に水が補充されて、前記と同様にして純水化、ペーハー調整、脱気、水素混入されて潤滑水１００が生成され、潤滑水タンク２１内に貯留される。 Further, a part of the lubricating water 100 in the lubricating water tank 21 is returned to the property adjusting unit 31 via the flow rate adjusting valve 51. Therefore, the lubricating water 100 returned to the property adjusting unit 31 is purified, pH-adjusted as described above, degassed, hydrogen is mixed, and returned to the lubricating water tank 21. As described above, the lubricating water 100 in the lubricating water tank 21 is circulated between the lubricating water tank 21 and the property adjusting unit 31. Therefore, even if the lubricating water 100 deteriorates due to the circulation between the lubricating water tank 21 and the static pressure bearing 13, it is regenerated in the circulation between the lubricating water tank 21 and the property adjusting unit 31. When the amount of the lubricating water 100 decreases, water is replenished from the water source 40 into the property adjusting unit 31, and the lubricating water 100 is purified, adjusted with water, degassed, and mixed with hydrogen in the same manner as described above. Is generated and stored in the lubricating water tank 21.

従って、本実施形態においては、以下の効果がある。
（１）水によって静圧軸受１３の静圧媒体が構成されるため、低粘性の水により、回転軸１２を低抵抗で受承できて、高効率で高精度な静圧支持を実現できる。 Therefore, in this embodiment, there are the following effects.
(1) Since the static pressure medium of the static pressure bearing 13 is formed by water, the rotating shaft 12 can be received with low resistance by low-viscosity water, and high-efficiency and highly accurate static pressure support can be realized.

（２）性状調整ユニット３１内において、ペーハー調整装置３４により、潤滑水１００のペーハーが難酸化性のアルカリ性に調整されるため、静圧軸受１３において、静圧軸受１３を構成する部材や配管などの酸化を抑制でき、さらにバクテリアの増殖を抑制できるとともに、スケールの生成を抑制できる。従って、静圧軸受１３や回転軸１２などの酸化による錆を抑制できるとともに、潤滑水１００の粘性が高くなったり、スケールのつまりなどによる摺動部の摺動特性が低下したりすることを回避することが可能になる。また、前記部材の酸化を抑制できるため、静圧軸受１３などを構成する部材として、鋳鉄や低膨張合金などのように、加工が容易で、高精度を確保できる部材を用いることができる。従って、静圧軸受１３を有する工作機械などにおいて、ワークに対する高精度加工を実現できる。また、静圧軸受１３の部材などの酸化を抑制できるため、静圧軸受１３の部材などの耐久性を向上できる。 (2) In the property adjusting unit 31, the pH adjusting device 34 adjusts the pH of the lubricating water 100 to be alkaline, which is resistant to oxidation. Therefore, in the static pressure bearing 13, the members and pipes constituting the static pressure bearing 13 and the like. Oxidation can be suppressed, bacterial growth can be suppressed, and scale formation can be suppressed. Therefore, it is possible to suppress rust due to oxidation of the hydrostatic bearing 13 and the rotating shaft 12, and it is possible to prevent the viscosity of the lubricating water 100 from increasing and the sliding characteristics of the sliding portion from being deteriorated due to clogging of the scale. It becomes possible to do. Further, since the oxidation of the member can be suppressed, a member such as cast iron or a low expansion alloy that is easy to process and can ensure high accuracy can be used as a member constituting the static pressure bearing 13 or the like. Therefore, in a machine tool or the like having a hydrostatic bearing 13, high-precision machining of a work can be realized. Further, since the oxidation of the members of the hydrostatic bearing 13 can be suppressed, the durability of the members of the hydrostatic bearing 13 can be improved.

（３）ペーハー調整装置３４の上流側の前処理段階において、純水化装置３３により水の純水化が行われるため、ペーハー調整装置３４によるペーハー調整が効果的に行われる。 (3) Since water is purified by the deionizing device 33 in the pretreatment stage on the upstream side of the pH adjusting device 34, the pH adjusting device 34 effectively adjusts the pH.

（４）性状調整ユニット３１内において、脱気装置３５により、潤滑水１００が脱気されて、難酸化性が付与されるため、静圧軸受１３において、静圧軸受１３を構成する部材の酸化を抑制できる。また、脱気により、前記と同様に、バクテリアの増殖を抑制できるとともに、スケールの生成を抑制できる。従って、静圧軸受１３などの酸化による錆を抑制できるとともに、潤滑水１００の粘性が高くなったり、スケールのつまりなどによって摺動部の摺動特性が低下したりすることを回避することが可能になる。 (4) In the property adjusting unit 31, the lubricating water 100 is degassed by the degassing device 35 to impart oxidation resistance. Therefore, in the static pressure bearing 13, the members constituting the static pressure bearing 13 are oxidized. Can be suppressed. Further, by degassing, the growth of bacteria can be suppressed and the generation of scale can be suppressed in the same manner as described above. Therefore, it is possible to suppress rust due to oxidation of the hydrostatic bearing 13 and the like, and it is possible to prevent the viscosity of the lubricating water 100 from increasing and the sliding characteristics of the sliding portion from being deteriorated due to clogging of the scale or the like. become.

（５）性状調整ユニット３１内において、水素混入装置３６により、潤滑水１００に水素が混入されて難酸化性が付与されるため、静圧軸受１３などの部分における部材の酸化を抑制できる。従って、静圧軸受１３などを構成する部材として、鋳鉄などのように、加工が容易で、高精度を確保できる部材を用いることができる。また、静圧軸受１３を有する工作機械などにおいて、ワークに対する高精度加工を実現できる。さらに、静圧軸受１３などの部材の酸化を抑制できるため、静圧軸受１３などの部材の耐久性を向上できる。 (5) In the property adjusting unit 31, hydrogen is mixed into the lubricating water 100 by the hydrogen mixing device 36 to impart low oxidation resistance, so that oxidation of members in parts such as the hydrostatic bearing 13 can be suppressed. Therefore, as a member constituting the hydrostatic bearing 13 or the like, a member such as cast iron that is easy to process and can ensure high accuracy can be used. Further, in a machine tool or the like having a hydrostatic bearing 13, high-precision machining of a work can be realized. Further, since the oxidation of the member such as the hydrostatic bearing 13 can be suppressed, the durability of the member such as the hydrostatic bearing 13 can be improved.

（６）水素混入装置３６の上流側において、脱気装置３５により脱気が行われるため、水素混入装置３６における水素混入が円滑に行われる。また、脱気装置３５により脱気が行われるため、静圧軸受１３内において、その静圧軸受１３を構成する部材の摺動によって潤滑水１００に対してせん断力が働いても、潤滑水１００から空気が分離することを防止できる。従って、前記部材の摺動によって潤滑水１００に乱流が生じることを防止でき、このため、静圧軸受部分の振動を抑制できて、高精度加工を達成できる。 (6) Since degassing is performed by the degassing device 35 on the upstream side of the hydrogen mixing device 36, hydrogen mixing in the hydrogen mixing device 36 is smoothly performed. Further, since degassing is performed by the degassing device 35, even if a shearing force acts on the lubricating water 100 due to the sliding of the members constituting the static pressure bearing 13, the lubricating water 100 It is possible to prevent the air from separating from the bearing. Therefore, it is possible to prevent the lubricating water 100 from being turbulent due to the sliding of the member, and therefore, it is possible to suppress the vibration of the hydrostatic bearing portion and achieve high-precision machining.

（変更例）
本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、以下のような態様で具体化することも可能である。 (Change example)
The present invention is not limited to the above embodiment, and can be embodied in the following aspects.

・性状調整ユニット３１において、純水化装置３３及び水素混入装置３６のうちの少なくともひとつの装置を省略すること。
・静圧軸受１３において、潤滑水１００と接する部分に電気防錆電極を設けること。この電気防錆電極は、陽極に潤滑水１００が接するようにする。この陽極は、イオン化しにくい白金などの金属を用いることが好ましい。 -In the property adjusting unit 31, at least one of the deionizing device 33 and the hydrogen mixing device 36 shall be omitted.
-In the static pressure bearing 13, an electric rust preventive electrode shall be provided at a portion in contact with the lubricating water 100. This electric rust preventive electrode makes the lubricating water 100 come into contact with the anode. It is preferable to use a metal such as platinum which is difficult to ionize for this anode.

１３…静圧軸受、３１…性状調整ユニット、３３…純水化装置、３４…ペーハー調整装置、３５…脱気装置、３６…水素混入装置。 13 ... Static pressure bearing, 31 ... Property adjustment unit, 33 ... Pure water purification device, 34 ... pH adjustment device, 35 ... Degassing device, 36 ... Hydrogen mixing device.

Claims (3)

静圧軸受に供される水よりなる静圧媒体の性状を難酸化性にするための性状調整手段を設けた水静圧支持装置において、
前記性状調整手段は、静圧媒体をペーハー調整するためのペーハー調整装置と、前記静圧媒体に対して水素を混入させるための水素混入装置を備えた水静圧支持装置。 In a hydrostatic support device provided with property adjusting means for making the properties of a hydrostatic medium made of water provided for a hydrostatic bearing resistant to oxidation.
The property adjusting means is a hydrostatic support device including a pH adjusting device for adjusting the pH of the static pressure medium and a hydrogen mixing device for mixing hydrogen into the static pressure medium. 前記ペーハー調整装置の上流側に、静圧媒体を純水化するための純水化装置を設けた請求項１に記載の水静圧支持装置。 The hydrostatic support device according to claim 1 , wherein a water purification device for purifying the static pressure medium is provided on the upstream side of the pH adjusting device. 前記水素混入装置の上流側に、静圧媒体から脱気するための脱気装置を設けた請求項１または２に記載の水静圧支持装置。 The hydrostatic support device according to claim 1 or 2 , wherein a degassing device for degassing from the static pressure medium is provided on the upstream side of the hydrogen mixing device.
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