JP6839916B2 - 内面検査システムおよびその光学系 - Google Patents
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- 軸に沿った第一の方向に一端を有し第一の方向の反対方向に他端を有した筒の内面を検査する内面検査システムであって、
前記筒の内面の前記軸の周方向に沿った環状の領域からの、前記他端から離れるにつれて前記筒の軸に近づく第二の方向に向かう光を、前記第一の方向に向かう光に偏向する、第一の光学部品と、
前記第一の光学部品を経由した光に基づいて前記環状の領域の画像を撮影するカメラと、
前記第一の光学部品から離れており、前記環状の領域の、前記第一の方向の反対方向に位置され、前記環状の領域に光を照射する第二の光学部品と、
を備え、
前記第一の光学部品と前記第二の光学部品との間の距離を調整可能であり、
前記第一の光学部品は、前記軸を中心として前記他端に近づくほど径が小さくなる第一の円錐面と、前記第一の円錐面の反対側に位置され前記軸を中心として前記他端から離れるほど径が小さくなる第二の円錐面と、を有した、
内面検査システム。 - 前記第一の光学部品が、前記第二の光学部品からの光が前記環状の領域で正反射された光を、前記軸に沿った第一の方向に向かう光に偏向するよう構成された、請求項1に記載の内面検査システム。
- 前記第二の光学部品は、前記第一の方向に向かう光を前記一端に近づくにつれて前記軸から離れる第三の方向に向かう光に偏向するよう構成された、請求項1に記載の内面検査システム。
- 一方から中心軸に斜めに近づく光を前記中心軸と平行な他方へ向かう光に偏向する第一の光学部品と、
前記第一の光学部品から離れており、前記一方から前記中心軸と平行に近づく光を前記中心軸から斜めに遠ざかるとともに検査対象領域へ向かう光に偏向する第二の光学部品と、
前記第二の光学部品、前記検査対象領域、及び前記第一の光学部品を経由した光に基づいて前記検査対象領域の環状の画像を撮影するカメラと、
を備え、
前記第一の光学部品と前記第二の光学部品との間の距離を調整可能であり、
前記第一の光学部品は、前記中心軸を中心として前記一方へ向かうほど径が小さくなる第一の円錐面と、前記第一の円錐面の反対側に位置され前記中心軸を中心として前記他方へ向かうほど径が小さくなる第二の円錐面と、を有した、
内面検査システム。 - 請求項1〜4のうちいずれか一つに記載の内面検査システムで用いられ、前記第一の光学部品及び前記第二の光学部品を有した、光学系。
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