JP6838807B2 - 超音波式気体センサ装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施例1について、図1を用いて説明する。
本発明の実施例2について説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
本発明の実施例3について、図4を用いて説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
図5を用いて本発明の実施例4について説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
図2を用いて、本発明の実施例5について説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
図3を用いて、本発明の実施例6について説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
図7を用いて、本発明の実施例7を説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
図8を用いて、本発明の実施例8について説明する。本実施例は、超音波通路内の反射部を一箇所とした例である。超音波センサ3a及び3bは同一の支持基板2に同一方向で水平に取り付けることが可能であり、製造工数の簡略化が図れる。また、超音波センサ3a、3bは同一の支持基板に配置しているため、エンジン振動によるノイズ波形がほぼ同一となる。前述のように差動構造の信号処理回路を備えることにより、ノイズ影響を低減することができる。
図9を用いて、本発明の実施例9について説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。本実施例は、流路10内に放出される超音波を気体の流れ11に並行に導波する超音波通路を備えた構成である。
図10と図11を用いて、本発明の実施例10について説明する。なお、実施例1と同様の構成については説明を省略する。
18a…接着剤、19…信号処理回路、20a〜20d…電極パッド、21…接着部、22…検出器、23…絞り部、25…不要音波
Claims (12)
- 超音波を発生させる第1の超音波センサと、
第1の超音波センサから発生する超音波を受信する第2の超音波センサと、
前記第1の超音波センサが配置される第1の超音波通路と、
前記第2の超音波センサが配置される第2の超音波通路と、を備え、
前記第1及び第2の超音波通路は、超音波の進行方向を変える反射部を備え、
前記第1の超音波通路は、第1の超音波センサから発生した超音波の進行方向を上流側に変更した後に下流側に変更するように反射部を複数有している超音波式流量センサ。 - 前記第1の超音波センサと前記第2の超音波センサは同一の支持基板に設けられる請求項1に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第1の超音波センサと前記第2の超音波センサは同一の方向を向いて設けられる請求項2に記載の超音波式流量センサ。
- 前記支持基板は、前記第1の超音波センサが実装される箇所と、前記第2の超音波センサが実装される箇所との間にスリットが形成される請求項3に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第2の超音波通路は、第1の超音波センサから発生した超音波の進行方向を、上流側から下流側に変更した後、第2の超音波センサへ導くように複数の反射部が形成されている請求項1乃至4の何れか1項に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第一の超音波通路と前記第二の超音波通路が設けられ、前記回路基板を保持するハウジングを備え、
前記ハウジングの先端側には、前記第1の超音波通路から放出された超音波の進行方向を、前記第2の超音波通路の開口部に変更する反射部が設けられる請求項5に記載の超音波式流量センサ。 - 前記第1の超音波センサと前記第2の超音波センサとにより相互に超音波を送受信する請求項5または6に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第1の超音波通路の開口方向と、前記第2の超音波通路の開口方向の少なくとも一方は、流路に対して垂直に開口している請求項1乃至7の何れか1項に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第1と第2の超音波通路の開口部の断面が流路方向に横長である請求項8に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第1と第2の超音波センサを流路の外側に配置し、前記第1と第2の超音波通路を流路の外側から内側まで延設した請求項1乃至9の何れか1項に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第1と第2の超音波通路に絞り部を設けた請求項1乃至10の何れか1項に記載の超音波式流量センサ。
- 前記第1と第2の超音波センサ素子から得られた信号の差動信号に基づいて、超音波伝播時間を検出する請求項7に記載の超音波式流量センサ。
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