JP6837392B2 - Manual actuator - Google Patents
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Description
本発明は、半導体集積回路のハンドテストに用いて好適なマニュアルアクチュエータに関する。 The present invention relates to a manual actuator suitable for use in a hand test of a semiconductor integrated circuit.
ICパッケージ等の半導体集積回路をハンドテストする際には、多数のプローブが立設された検査ソケットに半導体集積回路を載置し、マニュアルアクチュエータにより半導体集積回路をプローブに押し付ける。下記特許文献1は、パッケージングされたICなどの半導体デバイスを検査するときに用いる検査用ソケットに関する。この検査用ソケットは、ソケット本体に装着される蓋本体に、半導体デバイスを押圧する押圧部材の位置を調整するための調整ねじが螺合した構成である。前記蓋本体と前記調整ねじの頭部との間には、前記調整ねじの軸部を被嵌してスリーブ部材が装着され、前記スリーブ部材が前記頭部に作用することにより、前記調整ねじの所定位置を超える移動が阻止される。 When hand-testing a semiconductor integrated circuit such as an IC package, the semiconductor integrated circuit is placed in an inspection socket in which a large number of probes are erected, and the semiconductor integrated circuit is pressed against the probe by a manual actuator. The following Patent Document 1 relates to an inspection socket used when inspecting a semiconductor device such as a packaged IC. This inspection socket has a configuration in which an adjusting screw for adjusting the position of a pressing member that presses a semiconductor device is screwed into a lid body mounted on the socket body. A sleeve member is mounted between the lid body and the head of the adjusting screw by fitting the shaft portion of the adjusting screw, and the sleeve member acts on the head of the adjusting screw. Movement beyond a predetermined position is blocked.
特許文献1の構成では、押圧部材の下限位置がスリーブ部材の高さによって決定されるため、下限位置を変更する場合には、高さの異なる別のスリーブ部材を準備する必要があり、煩雑であった。 In the configuration of Patent Document 1, since the lower limit position of the pressing member is determined by the height of the sleeve member, when changing the lower limit position, it is necessary to prepare another sleeve member having a different height, which is complicated. there were.
本発明はこうした状況を認識してなされたものであり、その目的は、押圧部材の位置調整が容易なマニュアルアクチュエータを提供することにある。 The present invention has been made in recognition of such a situation, and an object of the present invention is to provide a manual actuator in which the position of a pressing member can be easily adjusted.
本発明のある態様は、マニュアルアクチュエータであり、
押圧部材と、
前記押圧部材を押圧方向及びその反対方向に駆動するシャフトと、
前記シャフトを回転可能に保持する保持体と、
前記シャフトの反押圧部材側に設けられ、前記シャフトと共に前記保持体に対して回転可能なノブと、を備え、
前記保持体に対して前記シャフトを回転させることで前記押圧部材を駆動する構成であり、
前記ノブを前記シャフトに取り付けた状態で前記ノブに着脱可能な係合部品を有し、
前記ノブは、前記係合部品を着脱可能な複数の取付部を有し、
前記係合部品と係合して前記保持体に対する前記ノブの回転範囲を規制する規制部を有する。
One embodiment of the present invention is a manual actuator.
Pressing member and
A shaft that drives the pressing member in the pressing direction and the opposite direction,
A holder that rotatably holds the shaft and
A knob provided on the counter-pressing member side of the shaft and rotatable with respect to the holding body together with the shaft is provided.
The pressing member is driven by rotating the shaft with respect to the holding body.
It has an engaging part that can be attached to and detached from the knob with the knob attached to the shaft.
The knob has a plurality of mounting portions to which the engaging parts can be attached and detached.
It has a regulating portion that engages with the engaging component and regulates the rotation range of the knob with respect to the holding body.
前記係合部品の取付先を前記複数の取付部の中で変更すると、前記保持体に対する前記ノブ及び前記シャフトの回転範囲が変更され、前記押圧部材の駆動範囲が変更されてもよい。 When the mounting destination of the engaging component is changed in the plurality of mounting portions, the rotation range of the knob and the shaft with respect to the holding body may be changed, and the driving range of the pressing member may be changed.
前記シャフトが前記保持体に対して回転しても、前記押圧部材は前記保持体に対して回転しなくてもよい。 Even if the shaft rotates with respect to the holding body, the pressing member does not have to rotate with respect to the holding body.
本発明のもう1つの態様は、マニュアルアクチュエータであり、
押圧部材と、
前記押圧部材を回転可能に保持する保持体と、
前記押圧部材に設けられ、前記押圧部材と共に前記保持体に対して回転可能なノブと、を備え、
前記保持体に対して前記押圧部材を回転させることで、前記押圧部材を押圧方向及びその反対方向に駆動する構成であり、
前記ノブを前記押圧部材に取り付けた状態で前記ノブに着脱可能な係合部品を有し、
前記ノブは、前記係合部品を着脱可能な複数の取付部を有し、
前記係合部品と係合して前記保持体に対する前記ノブの回転範囲を規制する規制部を有する。
Another aspect of the present invention is a manual actuator.
Pressing member and
A holding body that rotatably holds the pressing member and
A knob provided on the pressing member and rotatable with respect to the holding body together with the pressing member is provided.
By rotating the pressing member with respect to the holding body, the pressing member is driven in the pressing direction and the opposite direction.
It has an engaging part that can be attached to and detached from the knob with the knob attached to the pressing member.
The knob has a plurality of mounting portions to which the engaging parts can be attached and detached.
It has a regulating portion that engages with the engaging component and regulates the rotation range of the knob with respect to the holding body.
前記係合部品は、前記ノブから前記保持体側に突出し、
前記規制部は、前記保持体に設けられてもよい。
The engaging part protrudes from the knob toward the holding body, and
The regulating portion may be provided on the holding body.
前記規制部は、前記係合部品が内部に延在する円弧状の溝の端部であってもよい。 The restricting portion may be an end portion of an arcuate groove in which the engaging component extends inward.
前記係合部品は、ネジであり、
前記取付部は、ネジ孔であって、円弧状に複数配列されてもよい。
The engaging part is a screw
The mounting portions are screw holes, and a plurality of mounting portions may be arranged in an arc shape.
なお、以上の構成要素の任意の組合せ、本発明の表現を方法やシステムなどの間で変換したものもまた、本発明の態様として有効である。 Any combination of the above components and a conversion of the expression of the present invention between methods, systems and the like are also effective as aspects of the present invention.
本発明によれば、押圧部材の位置調整が容易なマニュアルアクチュエータを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a manual actuator in which the position of the pressing member can be easily adjusted.
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態を詳述する。なお、各図面に示される同一または同等の構成要素、部材等には同一の符号を付し、適宜重複した説明は省略する。また、実施の形態は発明を限定するものではなく例示であり、実施の形態に記述されるすべての特徴やその組み合わせは必ずしも発明の本質的なものであるとは限らない。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The same or equivalent components, members, etc. shown in the drawings are designated by the same reference numerals, and redundant description will be omitted as appropriate. Moreover, the embodiment is not limited to the invention but is an example, and all the features and combinations thereof described in the embodiment are not necessarily essential to the invention.
図1〜図13を参照し、本発明の実施の形態に係るマニュアルアクチュエータ1について説明する。図1により、マニュアルアクチュエータ1の上下方向を定義する。図5及び図6に示すように、マニュアルアクチュエータ1は、ノブ10と、シャフト20と、保持体としてのクランプ30と、プレート40と、押圧部材としてのプレッシャーパッド50と、ホルダ(ベース)60と、を備える。
The manual actuator 1 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 13. The vertical direction of the manual actuator 1 is defined with reference to FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, the manual actuator 1 includes a
ノブ10は、例えば樹脂成形体であり、シャフト20と共にクランプ30に対して回転することでプレッシャーパッド50を上下動させる操作部材である。シャフト20はノブ10の上下に貫通する中空部19に下方から挿入されている。ノブ10は、上面及び外周面の一部が凹んだ凹部11を有する。凹部11の、上方に臨む面には、複数の(図示の例では5つの)取付部としての取付孔12が設けられる。複数の取付孔12は、それぞれ上下方向に延びる貫通したネジ孔であり、ノブ10の回転中心軸を中心として円弧状に略等間隔で配列される。係合部品としてのネジ15は、いずれかの取付孔12に螺着される。ネジ15の下端部は、ノブ10の下面から下方(クランプ30側)に突出し、クランプ30の溝32内に延在する。ネジ15の下端部がクランプ30の溝32の端部32a、32bに係合する(突き当たる)ことで、クランプ30に対するノブ10の回転範囲の両端がそれぞれ定められる(規制される)。
The
ノブ10の外周面には、ノブ10の軸周り方向における位置が互いに180度異なる2つのセット孔14(図6等)が設けられる。各セット孔14は、ノブ10の径方向に延びる貫通したネジ孔である。2つのセットネジ13は、それぞれセット孔14に螺合し、中空部19に挿入されたシャフト20の上側円柱部21の外周面に当接する。これにより、ノブ10を上方に引っ張ってもノブ10がシャフト20から抜けないようになっている。ノブ10の中空部19の、シャフト20の上側円柱部21の上面と対面する下面には、2つの穴17(図6に1つのみ現れる)が設けられる。2つのピン16は、ノブ10とシャフト20との位置合わせ用であり、上部がそれぞれ穴17内に圧入され、下部がそれぞれシャフト20の上面に設けられた複数の穴22のいずれかに挿入される。ピン16を挿入する穴22の選択については後述する。ノブ10は、下面及び外周面の一部が凹んだ凹部18を有する。凹部18は、フック37を図7においてシャフト38を中心に時計回り方向に回動させる際のスペースとなる。
Two set holes 14 (FIG. 6 and the like) are provided on the outer peripheral surface of the
シャフト20は、例えば金属体であり、ノブ10と共に回転することでプレッシャーパッド50を上下方向(押圧方向及びその反対方向)に駆動する。シャフト20は、上側円柱部21と、中間円柱部23と、下側円柱部25と、を有する。上側円柱部21の上面には、前述のピン16を挿入可能な穴22が設けられる。穴22は、シャフト20の回転中心軸を中心として一周にわたって円弧状に等間隔で多数配列される。中間円柱部23は、上側円柱部21よりも大径であり、外周面が、クランプ30のネジ孔31に螺合するネジとなっている。シャフト20をクランプ30に対して回転させると、中間円柱部23の外周面のネジとクランプ30のネジ孔31とのネジ係合により、シャフト20が上下動する。下側円柱部25は、ベアリング42及びプレート40の孔41を貫通して下方に延出する。下側円柱部25の外周面には、プレート40の孔41の直下となる上下方向位置に、Cリング49が嵌入される。
The
クランプ30は、例えば金属体であり、ネジ孔31にシャフト20を回転可能に保持する。クランプ30の上面には、溝32が設けられる。溝32内には、ノブ10の取付孔12に螺着されたネジ15が延在する。溝32は、ノブ10の回転中心軸を中心とした円弧状の溝である。溝32の端部32a、32bは、ネジ15が突き当たる(係合する)ことでノブ10の回転範囲の両側位置をそれぞれ規制する規制部である。クランプ30には、シャフト38により、係止部材としてのフック37が回動可能に連結される。フック37は、下端部がホルダ60と係合し、クランプ30をホルダ60に対して閉じた状態に係止する(クランプ30のホルダ60に対する回動を規制する)。フック37は、バネ36(図7)により、図7における反時計回り方向、すなわち下端部がホルダ60に近づいて係合する方向に付勢される。使用者は、バネ36の付勢に抗してフック37を図7における時計回り方向に回動させることで、クランプ30のホルダ60に対する係止を解除できる。なお、ノブ10の凹部18は、ノブ10を反時計回りに回転させた状態であってプレッシャーパッド50が検査対象基板75から上方に離れて接触しない高さにあるときに、フック37に臨み、フック37の図7における反時計回り方向への回動を許容する。このため、ホルダ60に対するクランプ30の開閉操作は、プレッシャーパッド50が検査対象基板75と接触しない高さにある状態で行われることになり、クランプ30を開閉する際に検査対象基板75に負荷が加わることが抑制される。シャフト38は、一対のEリング39により、クランプ30からの抜けが防止される。クランプ30は、シャフト58により、ホルダ60に対して回動可能に連結される。
The
プレート40及びプレッシャーパッド50は、2つのピン47によって互いに位置決めされ、4本のネジ57によって互いに固定される。プレート40の孔41の周囲の上面は、ベアリング42を介してシャフト20の中間円柱部23の下面と対面(係合)し、これにより、シャフト20の下方への移動と共にプレート40及びプレッシャーパッド50が下方に移動可能となる。プレート40の孔41の周囲の下面は、Cリング49と係合し、これにより、プレート40及びプレッシャーパッド50の下方への抜けが防止されると共に、シャフト20の上方への移動と共にプレート40及びプレッシャーパッド50が上方に移動可能となる。プレート40の下面に、プレッシャーパッド50がネジ止め固定される。
The
プレッシャーパッド50は、例えば樹脂成形体であり、基部51と、基部51から下方に突出する押圧部(柱状部)52と、を含む。押圧部52の下面は、ホルダ60の下面よりも下方に位置し、検査対象基板75(図12及び図13)の上面との接触部となる。プレート40、及びプレッシャーパッド50は、シャフト20の回転に伴う上下動に連動して、シャフト20と共に上下動するが、シャフト20と共に回転はしない。なお、押圧部52の下面が、ホルダ60の下面よりも上方に位置しても良い。
The
ホルダ60は、例えば金属体であり、シャフト58を介してクランプ30を回動可能に支持する。シャフト58は、一対のEリング59により、ホルダ60からの抜けが防止される。ねじりバネ56(図7)は、シャフト58に対して設けられ、ホルダ60に対してクランプ30を開く方向(図7の時計回り方向)に付勢する。フック37により、ホルダ60に対してクランプ30を、ねじりバネ56の付勢に抗して閉じた状態に係止できる。
The
以下、プレッシャーパッド50の高さ調整について説明する。プレッシャーパッド50の高さ(クランプ30に対する相対的な高さ)は、検査対象基板75の押圧深さに直結するものである。押圧深さは検査対象基板75の厚さや検査用のプローブ85(図12及び図13)のストロークによって異なるため、プレッシャーパッド50の高さは、使用態様に合わせて調整する必要がある。ネジ15をいずれの孔12に螺着させるか、及び、ピン16をいずれの穴22に挿入するかにより、クランプ30に対するシャフト20の上下方向の可動範囲、すなわちプレッシャーパッド50の高さ(上下方向の可動範囲)が定められる。具体的には、図3及び図4に示すようにノブ10以外の部品は組み立て、シャフト20を所望の上下方向位置(例えば所望の下限位置)となるようにクランプ30に螺合させておく。一方、ネジ15を所望の孔12(例えば中央の孔12)に螺着させ、かつピン16の上部をノブ10の穴17内に圧入しておく。そして、ネジ15が溝32の端部32aと係合するように、ノブ10をシャフト20に対して下降させ、ピン16の下部を穴22内に挿入する。その後、セットネジ13をセット孔14に螺合させる。
Hereinafter, the height adjustment of the
プレッシャーパッド50の高さの微調整が必要になった場合、ネジ15を螺着させる孔12を変更する。図11(A)から図11(B)に示すように、ネジ15を螺着させる孔12を、中央の孔12から、時計回り方向側の隣の孔12に変更すると、ノブ10の回転範囲が孔12の配置ピッチの分だけ反時計回り方向にずれ、そのずれに対応する分だけプレッシャーパッド50の高さが上方に調整される。プレッシャーパッド50の高さを下方に調整する場合には、ネジ15を螺着させる孔12を反時計回り方向の隣の孔12に変更すればよい。このように、マニュアルアクチュエータ1においては、プレッシャーパッド50の高さの微調整を、ノブ10をシャフト20から分離することなく行える。
When it becomes necessary to fine-tune the height of the
マニュアルアクチュエータ1を用いたハンドテストの際には、ノブ10は反時計回り方向の端部まで回転させておき、例えば図12に示すように、ホルダ60の下方にガイド70をネジ止め等により取り付け、ガイド70と相手側の支持体73とを位置合わせする。これによりプレッシャーパッド50の押圧部52が、検査治具80上にセットされた半導体集積回路等の検査対象基板75と対面する。その後、ノブ10を時計回り方向の端部まで回転させると、それに連動してプレッシャーパッド50が下降し、押圧部52の先端(下端)により検査対象基板75が下方に押圧される。これにより検査対象基板75は、検査治具80に多数貫通支持されたプローブ(コネクトピン)85を圧縮しながら下方に押し込まれる(図13(A)→図13(B))。
In the hand test using the manual actuator 1, the
本実施の形態によれば、ノブ10をシャフト20に取り付けたまま、ネジ15の螺着先となる孔12を複数の孔12の間で変更するだけでプレッシャーパッド50の高さ調整が可能なため、プレッシャーパッド50の高さ調整を容易かつ迅速に行うことができる。
According to the present embodiment, the height of the
以上、実施の形態を例に本発明を説明したが、実施の形態の各構成要素や各処理プロセスには請求項に記載の範囲で種々の変形が可能であることは当業者に理解されるところである。以下、変形例について触れる。 Although the present invention has been described above by taking the embodiment as an example, it will be understood by those skilled in the art that various modifications can be made to each component and each processing process of the embodiment within the scope of the claims. By the way. Hereinafter, a modified example will be touched.
ノブ10の回転範囲を規制するための係合部品は、ネジ15に替えて、ピン(棒)であってもよい。この場合、孔12はネジ孔でない貫通孔とし、ネジ15に替わるピンを孔12に例えば軽圧入等により挿入してもよい。ノブ10の回転範囲を規制する規制部は、溝32の端部32a、32bに限定されず、突起等であってもよい。孔12は、ノブ10の外周面に開口して径方向に延びてもよく、当該孔に螺着又は挿入されるネジ又はピンがノブ10の外周面から外側に突出し、当該突出部がフック37に当たることでノブ10の回転を規制してもよい。
The engaging component for regulating the rotation range of the
実施の形態では、プレッシャーパッド50単体を押圧部材と説明したが、シャフト20、プレート40、及びプレッシャーパッド50を組み合わせたユニットを押圧部材としてもよい。検査対象基板75を押し込んでいく過程で押圧部材の検査対象基板75との接触部がシャフト20と共に回転する構成であってもよく、この場合、シャフト20の下端部で検査対象基板75を押圧してもよい(シャフト20を押圧部材としてもよい)。孔12の数は、プレッシャーパッド50の高さ調整の必要量に応じて2つ以上の任意の数とすればよい。
In the embodiment, the
1 マニュアルアクチュエータ、10 ノブ、11 凹部、12 取付孔(取付部)、13 セットネジ、14 セット孔、15 ネジ(係合部品)、16 ピン、17 穴、18 凹部、20 シャフト、21 上側円柱部、22 穴、23 中間円柱部、25 下側円柱部、30 クランプ(保持体)、31 ネジ孔、32 溝、32a,32b 端部(規制部)、36 バネ、37 フック(係止部材)、38 シャフト、39 Eリング、40 プレート、41 孔、42 ベアリング、47 ピン、49 Cリング、50 プレッシャーパッド(押圧部材)、51 基部、52 押圧部(柱状部)、56 ねじりバネ、57 ネジ、58 シャフト、59 Eリング、60 ホルダ(ベース)、70 ガイド、75 検査対象基板(半導体集積回路)、80 検査治具、85 プローブ(コネクトピン) 1 Manual actuator, 10 knobs, 11 recesses, 12 mounting holes (mounting part), 13 set screws, 14 set holes, 15 screws (engagement parts), 16 pins, 17 holes, 18 recesses, 20 shafts, 21 upper cylindrical parts , 22 holes, 23 intermediate cylinders, 25 lower cylinders, 30 clamps (holding bodies), 31 screw holes, 32 grooves, 32a, 32b ends (regulators), 36 springs, 37 hooks (locking members), 38 shaft, 39 E-ring, 40 plate, 41 hole, 42 bearing, 47 pin, 49 C ring, 50 pressure pad (pressing member), 51 base, 52 pressing part (cylindrical part), 56 torsion spring, 57 screw, 58 Shaft, 59 E-ring, 60 holder (base), 70 guide, 75 Inspected substrate (semiconductor integrated circuit), 80 inspection jig, 85 probe (connect pin)
Claims (7)
前記押圧部材を押圧方向及びその反対方向に駆動するシャフトと、
前記シャフトを回転可能に保持する保持体と、
前記シャフトの反押圧部材側に設けられ、前記シャフトと共に前記保持体に対して回転可能なノブと、を備え、
前記保持体に対して前記シャフトを回転させることで前記押圧部材を駆動する構成であり、
前記ノブを前記シャフトに取り付けた状態で前記ノブに着脱可能な係合部品を有し、
前記ノブは、前記係合部品を着脱可能な複数の取付部を有し、
前記係合部品と係合して前記保持体に対する前記ノブの回転範囲を規制する規制部を有する、マニュアルアクチュエータ。 Pressing member and
A shaft that drives the pressing member in the pressing direction and the opposite direction,
A holder that rotatably holds the shaft and
A knob provided on the counter-pressing member side of the shaft and rotatable with respect to the holding body together with the shaft is provided.
The pressing member is driven by rotating the shaft with respect to the holding body.
It has an engaging part that can be attached to and detached from the knob with the knob attached to the shaft.
The knob has a plurality of mounting portions to which the engaging parts can be attached and detached.
A manual actuator having a regulating portion that engages with the engaging component and regulates the rotation range of the knob with respect to the holding body.
前記押圧部材を回転可能に保持する保持体と、
前記押圧部材に設けられ、前記押圧部材と共に前記保持体に対して回転可能なノブと、を備え、
前記保持体に対して前記押圧部材を回転させることで、前記押圧部材を押圧方向及びその反対方向に駆動する構成であり、
前記ノブを前記押圧部材に取り付けた状態で前記ノブに着脱可能な係合部品を有し、
前記ノブは、前記係合部品を着脱可能な複数の取付部を有し、
前記係合部品と係合して前記保持体に対する前記ノブの回転範囲を規制する規制部を有する、マニュアルアクチュエータ。 Pressing member and
A holding body that rotatably holds the pressing member and
A knob provided on the pressing member and rotatable with respect to the holding body together with the pressing member is provided.
By rotating the pressing member with respect to the holding body, the pressing member is driven in the pressing direction and the opposite direction.
It has an engaging part that can be attached to and detached from the knob with the knob attached to the pressing member.
The knob has a plurality of mounting portions to which the engaging parts can be attached and detached.
A manual actuator having a regulating portion that engages with the engaging component and regulates the rotation range of the knob with respect to the holding body.
前記規制部は、前記保持体に設けられる、請求項1から4のいずれか一項に記載のマニュアルアクチュエータ。 The engaging part protrudes from the knob toward the holding body, and
The manual actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the regulating unit is provided on the holding body.
前記取付部は、ネジ孔であって、円弧状に複数配列される、請求項1から6のいずれか一項に記載のマニュアルアクチュエータ。 The engaging part is a screw
The manual actuator according to any one of claims 1 to 6, wherein the mounting portion is a screw hole and a plurality of screw holes are arranged in an arc shape.
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