JP6835354B2 - 感圧センサ - Google Patents
感圧センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6835354B2 JP6835354B2 JP2017051055A JP2017051055A JP6835354B2 JP 6835354 B2 JP6835354 B2 JP 6835354B2 JP 2017051055 A JP2017051055 A JP 2017051055A JP 2017051055 A JP2017051055 A JP 2017051055A JP 6835354 B2 JP6835354 B2 JP 6835354B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- intermediate electrode
- piezoelectric layer
- pressure
- sensitive sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 97
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 44
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 14
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical group [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 165
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 77
- 230000008859 change Effects 0.000 description 35
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 5
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 5
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 4
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- -1 and for example Substances 0.000 description 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- NSGXIBWMJZWTPY-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane Chemical compound FC(F)(F)CC(F)(F)F NSGXIBWMJZWTPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoroethene Chemical group FC=C(F)F MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPBWSPZHCJXUBL-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-1-fluoroethene Chemical group FC(Cl)=C FPBWSPZHCJXUBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000571 Nylon 11 Polymers 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 1
- 229920000144 PEDOT:PSS Polymers 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 229920000331 Polyhydroxybutyrate Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229920003233 aromatic nylon Polymers 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000017531 blood circulation Effects 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 239000013536 elastomeric material Substances 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005015 poly(hydroxybutyrate) Substances 0.000 description 1
- 229920000747 poly(lactic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004626 polylactic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GROMGGTZECPEKN-UHFFFAOYSA-N sodium metatitanate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Ti](=O)O[Ti](=O)O[Ti]([O-])=O GROMGGTZECPEKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N sodium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Na+].[O-][Nb](=O)=O UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- QAZLUNIWYYOJPC-UHFFFAOYSA-M sulfenamide Chemical class [Cl-].COC1=C(C)C=[N+]2C3=NC4=CC=C(OC)C=C4N3SCC2=C1C QAZLUNIWYYOJPC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Description
図1は、一対の中間電極を含む本発明の第一実施形態に係る感圧センサを示す断面図である。まず、当該実施形態に係る感圧センサの層構成を説明する。
図3は、本発明の第二実施形態に係る感圧センサを示す断面図である。第二実施形態に係る感圧センサ20は、第一実施形態における第二電極12の下方に、これに対向して、第三電極13を配置し、第二電極12と第三電極13の間に充填された第二圧電体層22を含む。第二圧電体層22の内部には、一対の中間電極、すなわち第三の中間電極33及び第四の中間電極34が配置されている。以下では第一実施形態と異なる点を説明し、同じ点については説明を省略する。
図5は、本発明の第三実施形態に係る感圧センサを示す断面図である。図1に示した第一実施形態は感圧センサの面方向に並んで配置された一対の中間電極31、32を有するものであったが、第三実施形態に係る感圧センサ30は、第一の中間電極31と第二の中間電極32に加えて、同じく圧電体層21の内部で、感圧センサの面方向に並んで配置された一対の中間電極、すなわち第三の中間電極35、第四の中間電極36をさらに有している。第三の中間電極35と第四の中間電極36はそれぞれ、圧電体層21を介して、第一電極11と第二電極12の双方に対向している。すなわち、第三実施形態では、圧電体層21の内部に、感圧センサの面方向に配置された二対の中間電極を有している。
図6は、本発明の第四実施形態に係る感圧センサを示す断面図である。第四実施形態に係る感圧センサ40は、第一実施形態における第一の中間電極31と第二の中間電極32それぞれの下方に、第三の中間電極37と第四中間電極38を配置している。以下では第一実施形態と異なる点を説明し、同じ点については説明を適宜省略する。
本発明の感圧センサでは、第一電極と第二電極間の電圧変化、及び/又は、一対の中間電極間の電圧変化を測定することで、感圧センサにかかるずり応力を検出することができる。さらに、本発明の感圧センサによると、ずり応力に加えて垂直応力も検出することができ、しかも、垂直応力が加えられた時の電圧変化の波形と、ずり応力が加えられた時の電圧変化の波形が異なるので、垂直応力とずり応力を識別して検出することができる。
まず、ポリエチレンテレフタレート基板上にアルミニウムを真空蒸着し、有効面積6mm2、厚み100nmの第二電極を形成した。次いで、第二電極の表面に、フッ化ビニリデン/三フッ化エチレン共重合体の溶液をスピンコート法(回転塗布法)で塗布して、有効面積6mm2、厚み1000nmの一次圧電体層を形成した。
実施例1で得た圧電素子において、圧電体層全体が上向きの方向で分極するように電圧を印加したものの、その後の下向きの分極を行なわなかった点以外は実施例1と同様にして、本比較例に係る感圧センサを製造した。この感圧センサについて実施例1と同様の手順で、垂直応力及びずり応力の検出を試みた。その結果を図8に示す。
実施例1で得た圧電素子を、中間電極を形成せずに、第一電極、第二電極、及び圧電体層の三層からなる層構成の圧電素子に変更し、この圧電素子において、圧電体層が第一電極から第二電極に向かう方向で分極するように電圧を印可した以外は、実施例1と同様にして、本比較例に係る感圧センサを製造した。
11 第一電極
12 第二電極
13 第三電極
21 圧電体層
22 第二圧電体層
31 第一の中間電極
32 第二の中間電極
33、33′、35、37 第三の中間電極
34、34′、36、38 第四の中間電極
41〜50、41′〜48′、61〜63 圧電体層中の分極の向き
71〜74 引出配線
Claims (9)
- 第一電極と、該第一電極に対向する第二電極とを有する大電極と、
該第一電極と該第二電極との間に配置された圧電体層と、
該圧電体層中に、少なくとも一対の中間電極を有する感圧センサであって、
該中間電極は、該第一電極と該第二電極間の異なる位置に第一の中間電極及び第二の中間電極を有し、
第一の中間電極と各大電極間の圧電体層の分極方向は、第一の中間電極から各大電極方向又は各大電極から第一の中間電極方向であり、
第二の中間電極と各大電極間の圧電体層の分極方向は、前記第一の中間電極と各大電極間の圧電体層の分極方向とは逆であり、
第一の中間電極と第二の中間電極は、逆極性の電荷を有することを特徴とする、感圧センサ。 - 第一電極と、該第一電極に対向する第二電極とを有する大電極と、
該第一電極と該第二電極との間に配置された圧電体層と、
該圧電体層中に、少なくとも二対の中間電極を有する感圧センサであって、
該中間電極は、該第一電極と該第二電極間の異なる位置に、第一の中間電極、第二の中間電極、第三の中間電極及び第四の中間電極を有し、
第一の中間電極と大電極又は第三の中間電極間の圧電体層の分極方向は、第一の中間電極から大電極又は第三の中間電極方向、あるいは、大電極又は第三の中間電極から第一の中間電極方向であり、
第二の中間電極と大電極又は第四の中間電極間の圧電体層の分極方向は、前記第一の中間電極と大電極又は第三の中間電極間の圧電体層の分極方向とは逆であり、
第三の中間電極に対向する電極であって第一の中間電極以外の電極と第三の中間電極間の圧電体層の分極方向は、第一の中間電極と第三の中間電極間の圧電体層の分極方向とは逆であり、
第四の中間電極に対向する電極であって第二の中間電極以外の電極と第四の中間電極間の圧電体層の分極方向は、第二の中間電極と第四の中間電極間の圧電体層の分極方向とは逆であり、
第一の中間電極と第四の中間電極は、同極性の電荷を有し、
第一の中間電極と第二および第三の中間電極は、逆極性の電荷を有することを特徴とする、感圧センサ。 - 各大電極と各中間電極に接続された引出配線をさらに有する、請求項1又は2の何れか一項に記載の感圧センサ。
- 圧電体層の材料が、有機系高分子材料である、請求項1〜3の何れか一項に記載の感圧センサ。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の感圧センサを内蔵又は設置されたインソール。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の感圧センサを内蔵又は設置されたシューズ。
- 請求項1に記載の感圧センサを製造する方法であって、
圧電体層が分極するように、各大電極間に電圧を印加する第一工程と、
第一工程による分極方向とは逆方向に分極するように、第一の中間電極と大電極間に電圧を印可する第二工程、及び
第一工程による分極方向とは逆方向に分極するように、第二工程とは異なる大電極と第二の中間電極間に電圧を印可する第三工程を含む、方法。 - 請求項1〜4の何れか一項に記載の感圧センサにかかる応力を検出する方法であって、
感圧センサにかかるずり応力を検出する工程を含む、方法。 - さらに、垂直応力も検出する、請求項8に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016076872 | 2016-03-18 | ||
JP2016076872 | 2016-03-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017173322A JP2017173322A (ja) | 2017-09-28 |
JP6835354B2 true JP6835354B2 (ja) | 2021-02-24 |
Family
ID=59971941
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017051055A Active JP6835354B2 (ja) | 2016-03-18 | 2017-03-16 | 感圧センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6835354B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI660989B (zh) * | 2018-01-24 | 2019-06-01 | 林大偉 | 水下井下壓力感測薄膜及其製備方法 |
CN110200633A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-09-06 | 北京中硕众联智能电子科技有限公司 | 精确检测步行时足底正应力和剪切力的传感器及检测方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2780594B2 (ja) * | 1993-03-19 | 1998-07-30 | 株式会社村田製作所 | 加速度センサ |
JPH09159690A (ja) * | 1995-12-05 | 1997-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 加速度センサ |
JP4578596B2 (ja) * | 1998-09-18 | 2010-11-10 | セイコーインスツル株式会社 | 振動子、圧電アクチュエータおよびこれらを用いた電子機器 |
JP2005156531A (ja) * | 2003-11-05 | 2005-06-16 | Sony Corp | 圧力センサおよび生体情報処理装置 |
JP5408687B2 (ja) * | 2008-03-17 | 2014-02-05 | 国立大学法人広島大学 | ずれ応力センサおよび分布型ずれ応力センサ |
JP5366446B2 (ja) * | 2008-06-05 | 2013-12-11 | 株式会社鷺宮製作所 | 圧電素子および圧電素子を用いた力センサならびに力センサを用いた流量計 |
WO2012033837A2 (en) * | 2010-09-08 | 2012-03-15 | Micropen Technologies Corporation | Pressure sensing or force generating device |
CN107742670B (zh) * | 2011-04-08 | 2020-06-23 | 株式会社村田制作所 | 操作设备 |
-
2017
- 2017-03-16 JP JP2017051055A patent/JP6835354B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017173322A (ja) | 2017-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10575780B2 (en) | Measuring of a physiological parameter using a wearable sensor | |
US11251356B2 (en) | Actuator and sensor device based on electroactive polymer | |
US10905334B2 (en) | Electroactive polymer sensors and sensing methods | |
US11008679B2 (en) | Woven textile fabric | |
CN103492832B (zh) | 位移传感器、位移检测装置以及操作设备 | |
JP6835354B2 (ja) | 感圧センサ | |
KR102590814B1 (ko) | 층상 센서 장치 및 이의 제조방법 | |
CN103296922A (zh) | 纳米压电发电机及其制造方法 | |
KR20160053079A (ko) | 압전성 섬유사, 이의 제조방법 및 이를 이용한 직물, 의류 제품 및 피복형 압전 센서 | |
CN101738275B (zh) | 三维柔性触觉传感器及其解耦方法 | |
US10374074B2 (en) | Flexible bimodal sensor | |
WO2018162333A1 (en) | Actuator, device and actuation method | |
US10401139B2 (en) | Self-biased sensing device and methods of fabricating and operating same | |
Sümer et al. | Piezoelectric polymer fiber arrays for tactile sensing applications | |
KR20080023398A (ko) | 실리콘 나노와이어를 이용한 힘 센서 및 그의 제조방법 | |
US20170330010A1 (en) | Nanostructure based super-capacitor for pressure and fingerprint sensor | |
US20140290390A1 (en) | Systems and methods for resistive microcracked pressure sensor | |
JP7079704B2 (ja) | 圧電センサ | |
JP6353162B2 (ja) | 変形可能な装置および方法 | |
Amjadi et al. | Sensitive and stable strain sensors based on the wavy structured electrodes | |
US11976980B2 (en) | Temperature sensor and device | |
KR101768811B1 (ko) | 다층 압전 소자 구조체 및 자왜 재료를 포함한 다층 압전 소자 구조체 | |
EP4120352A1 (en) | Flexible device and electronic device | |
JP7156324B2 (ja) | 変形検知センサ | |
Zhang | Advanced Manufacturing of Flexible Piezoelectric Arrays |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
AA64 | Notification of invalidation of claim of internal priority (with term) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A241764 Effective date: 20170411 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170403 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201014 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201027 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6835354 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |