JP6824508B2 - 結露装置、フラックス回収装置、はんだ付け装置、水蒸気除去方法、フラックス回収方法及びはんだ処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、結露装置、フラックス回収装置、はんだ付け装置、水蒸気除去方法、フラックス回収方法及びはんだ処理方法に関する。

回路基板への電子部品のはんだ付けをする場合には、リフロー炉や噴流はんだ付け装置等のはんだ付け装置が使用されている。はんだ付けを行う際には回路基板のはんだ付け箇所にフラックスが塗布される。フラックスは、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、またはんだ付け工程における加熱処理時に金属表面が再酸化するのを防止する。フラックスは主に、ロジン、チキソ剤、活性剤等の固形成分が溶剤で溶解されてなる。フラックスを回路基板に塗布する場合、例えばリフロー炉を用いる場合は、フラックスとはんだ粉末を混合してペースト状にしたソルダペーストが用いられ、噴流はんだ付け装置を用いる場合は、フラクサーにより基板に直接フラックスが塗布される。

ソルダペーストとして、又はフラクサーによって塗布されたフラックスは、はんだ付け前の予備加熱部において、フラックス成分中の特に溶剤が気化してフラックスヒュームとなる。またはんだ付けを行う本加熱部においては、フラックス成分中の特にロジン等の固形成分が気化してフラックスヒュームとなり、装置内に浮遊する。これらフラックスヒュームは、装置内の比較的温度の低い部分、例えば回路基板を搬送するチェーンコンベア等に接すると冷やされて結露し、さらに温度が下がると粘着性のある固形物となる。この固形物が、装置内の各部に付着や堆積することで、はんだ付け装置は不具合を生じ得る。例えばチェーンコンベアに大量に付着した場合は、回路基板がコンベアから離れずコンベアのスプロケットに巻き込まれて回路基板が破損する。また、搬送中の回路基板上に付着すると、回路基板が汚損する。そのため、はんだ付け装置内の大気雰囲気や窒素等の不活性雰囲気と、フラックス成分との混合気体から、フラックス成分を分離し除去するフラックス回収装置が用いられる。

ここで、フラックス回収装置の一例が、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載されたフラックス回収装置は、混合気体に水を散水する第１の散水部と、混合気体からフラックス成分を分離する分離部と、を備える。また、分離部は、上側部に混合気体を導入する導入部と、上部に開口部を有し、下部に円錐部を有したフラックス成分の分離用の筒状体と、筒状体の開口部に係合された蓋部と、を備える。そして、蓋部は円盤状の本体部を有し、所定の長さを有した排気用の円筒部が本体部を貫く形態で設けられている。

このフラックス回収装置によれば、筒状体の接線方向から導入部へ混合気体が取り込まれると、混合気体は、水と混合された状態で旋回流となる。そして、混合気体に含まれるフラックスは、分離部内に供給された水によって冷却される。これにより、フラックスの殆どが液化、固形化を始めるとともに、フラックスは、散水された水分で被覆される。すなわち、フラックスは、水と混ざり、フラックスを含む水となり、混合気体から除去される。その後、円筒部から、フラックスが除去された気体が吸出される。このため、このフラックス回収装置は、混合気体からフラックスを分離することができる。
また、フラックスの分離に水が用いられるため、フラックスが除去された気体には、多く水蒸気が含まれる。分離の過程で発生した水蒸気が、はんだ処理部に流れこむと、はんだ処理部内の低温部で水蒸気が結露し水滴となる。この水滴が炉内に付着すると、錆が発生する原因となる。また、水滴が回路基板に付着すると、回路基板が吸湿する。吸湿した回路基板は、はんだ処理時の加熱によって吸湿した水分が蒸発する。この水分の蒸発に伴ってはんだ付け部位のはんだが飛散する現象が生じる場合がある。はんだ飛散が生じると、飛散したはんだにより端子間が電気的なショート状態を引き起こす、いわゆるはんだブリッジというはんだ付け不良の原因となる。さらに、吸湿した回路基板が経年変化によりはんだ付け部位の劣化や、マイグレーションを引き起こす要因ともなる。このように炉内に侵入した水蒸気によって回路基板の信頼性に係わる不具合が生じる場合がある。さらに、再利用できる水が減少してしまう。このため、このフラックス回収装置は、フラックスが除去された気体から水蒸気を除去する結露手段をさらに備える。特許文献１では、結露手段として、水冷コイル型結露手段と空冷多管型の結露手段とが開示されている。

水冷コイル型結露手段は、箱体であり、当該箱体の内部に熱伝導性が良好なコイル状のパイプを備えている。そして、水冷コイル型結露手段では、コイル状のパイプ内に水などの液体が流されることで、当該パイプの表面が冷却される。これにより、水蒸気を含む気体が、この結露手段の箱体内部を通過する際に、箱体内部のコイル状のパイプにより冷却されて結露する。そして、結露により、水蒸気を含む気体から水蒸気が除去されている。
また、空冷多管型の結露手段は、箱体であり、当該箱体の内部に１つ以上のパイプからなるパイプ群を備えている。そして、冷たい空気がパイプ群の内部を流れることで、当該パイプ群の表面が冷却される。これにより、水蒸気を含む気体が、この結露手段の箱体内部を通過する際に、箱体内部のパイプ群により冷却されて結露する。そして、結露により、水蒸気を含む気体から水蒸気が除去されている。
したがって、特許文献１に記載されたフラックス回収装置は、水冷コイル型結露手段又は空冷多管型の結露手段を用いることで、水蒸気を含む気体から乾燥した気体を生成することができる。このため、このフラックス回収装置は、はんだ処理部で生成されたフラックス成分を含む混合気体から、フラックスを回収し、乾燥した気体を再びはんだ処理部へと供給できる。

特許第５７６１４６７号公報

上述したように、特許文献１に記載されたフラックス回収装置は結露手段を備えることで、フラックスの回収時に生成される水蒸気を含む気体から水蒸気を除去している。結露手段が処理できる水蒸気を含む気体の量は、フラックス回収装置が処理できる混合気体の量と関係するため重要である。
しかし、上述した２つの結露手段では、箱体の内部のコイル状のパイプやパイプ群が主として水蒸気を含む気体を冷却している。このため、結露手段が単位時間当たりに処理できる水蒸気を含む気体の量を増加させるためには、コイル状のパイプの長さを延ばすことや、パイプ群を構成するパイプの数を増加させることが必要である。そのような場合には、結露手段自体が大型化してしまい、この結露手段を備えるフラックス回収装置やはんだ付け装置も大型化してしまうおそれがある。
そこで、本発明の目的は、上述した課題に鑑み、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる結露装置、フラックス回収装置、はんだ付け装置、水蒸気除去方法、フラックス回収方法及びはんだ処理方法を提供することである。

（形態１）
形態１に係る結露装置は、１又は２以上の内管と、前記１又は２以上の内管の外側に位置する外管と、前記１又は２以上の内管と前記外管との間に第１冷却媒体が通過する第１流路と、を有する、外側冷却部、を備える。
形態１に係る結露装置では、外側冷却部の内管の内側に、水蒸気を含む気体を流通させる場合、水蒸気を含む気体は、外側冷却部の内管と接触する。これにより、水蒸気を含む気体は、外側冷却部の内管により冷却される。したがって、この結露装置は、水蒸気を結露させることができ、水蒸気を含む気体から水蒸気を除去することができる。特に、形態１に係る結露装置が、多くの内管を備える場合、水蒸気を含む気体をより速く冷却でき、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態２）
形態２に係る結露装置は、形態１記載の結露装置において、前記１又は２以上の内管のうち少なくとも１つの内管の内側に位置し、前記外側冷却部と接触する、吸熱部材、をさらに備える。
形態２に係る結露装置では、水蒸気を含む気体は、外側冷却部及び吸熱部材により冷却される。このため、形態２に係る結露装置は、特許文献１の結露手段と比較して、水蒸気を含む気体を冷却する部分の表面積が増加する。したがって、この結露装置は、気体との接触面積の増加に伴い、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態３）
形態３に係る結露装置は、形態１又は形態２に記載の結露装置において、前記１又は２以上の内管の内側に位置し且つ第２冷却媒体が通過する第２流路を有する内側冷却部、をさらに備える。
形態３に係る結露装置では、水蒸気を含む気体は、外側冷却部の内管及び内側冷却部により冷却される。このため、形態３に係る結露装置は、特許文献１の結露手段と比較して、水蒸気を含む気体を冷却する部分の表面積が増加する。したがって、この結露装置は、気体との接触面積の増加に伴い、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態４）
形態４に係る結露装置は、形態３に記載の結露装置において、前記１又は２以上の内管の内側であり且つ前記内側冷却部の外側に位置し、前記内側冷却部と接触する、吸熱部材、をさらに備える。
形態４に係る結露装置では、水蒸気を含む気体は、外側冷却部の内管、内側冷却部及び吸熱部材により冷却される。すなわち、この結露装置は、形態３に係る結露装置よりも、水蒸気を含む気体を冷却する部分の表面積が増加する。したがって、この結露装置は、気体との接触面積の増加に伴い、より速く水蒸気を含む気体を冷却することができる。

（形態５）
形態５に係る結露装置は、形態４に記載の結露装置において、前記吸熱部材は、複数のフィンを有する。
形態５に係る結露装置は、複数のフィンにより、フィンが１つのときよりも、水蒸気を含む気体と接触するフィンの接触面積を増加することができる。すなわち、この結露装置は、接触面積の増加に伴い、より速く水蒸気を含む気体を冷却することができる。

（形態６）
形態６に係る結露装置は、形態４又は形態５に記載の結露装置において、前記内側冷却部は、直管形状を有し、前記外側冷却部の前記内管は、前記内側冷却部の前記直管形状の軸線方向に延び、前記吸熱部材は、前記軸線と交わる方向に延びる薄板形状からなる第１フィンを有する。
流れる気体のうち、外側冷却部の内管、内側冷却部及び吸熱部材の近傍を流れる気体は、外側冷却部の内管、内側冷却部及び吸熱部材から離れた位置を流れる気体よりも、冷却される。このため、水蒸気を含む気体が外側冷却部の内管の内部で対流しない場合、水蒸気を含む気体の流れる位置によって、排出される気体に温度の差ができてしまう場合がある。この場合、冷却されていない気体は、水蒸気を多く含んだまま、結露装置を通過するおそれがある。
しかし、形態６に係る結露装置によれば、第１フィンが、軸線と交わる方向に延びる方向に配置されている。すなわち、第１フィンは、水蒸気を含む気体の流れを遮る方向に配置されている。このため、水蒸気を含む気体が第１フィンに衝突することで、外側冷却部の内管の内部に気体の対流が生じる。これにより、この結露装置は、水蒸気を含む気体を均一に冷却することができる。すなわち、この結露装置は、気体が水蒸気を多く含んだまま結露装置を通過することを抑止できる。

（形態７）
形態７に係る結露装置は、形態６に記載の結露装置において前記第１フィンは、薄板円盤形状に対して、弓型形状の切欠きが形成された形状を有し、前記吸熱部材は、前記第１フィンと同一の形状を有し、前記第１フィンと間隔を空けて隣接し、前記第１フィンよりも下流側に位置する、第２フィンを、さらに備え、前記第１フィンの前記切欠きの前記弓型形状を形成する弦の延びる方向と、前記第２フィンの切欠きの弓型形状を形成する弦の延びる方向と、が異なる。
２つの同一形状を有するフィンが間を空けて平行に配置され、フィンの板面に対向する方向から気体が送風される場合、２つのフィンの間には、風が流れにくく、２枚のフィンの間の気体が停滞し得る。このため、結露装置において、２つのフィンが、平行に配置される場合、２つのフィンの間において、気体が停滞し、当該気体ばかりが冷却されてしまい、他の気体が冷却されにくい場合がある。しかし、形態７に係る結露装置によれば、第１フィン及び第２フィンには、それぞれ弓型形状の切欠きが形成され、第１フィンの弓型形状を形成する弦の延びる方向と、第２フィンの弓型形状を形成する弦の延びる方向と、が異なる。このため、第１フィンの切欠きの形成された部分を通過した気体が直進した場合、この気体の少なくとも一部が、第２フィンと衝突することとなる。これにより、第１フィンと第２フィンとの間に気体の対流が生じる。すなわち、第１フィンと第２フィンとの間の気体の停滞が抑止される。したがって、この結露装置は、第１フィン及び第２フィンの近傍の気体の温度を均等にすることができる。

（形態８）
形態８に係るフラックス回収装置は、フラックス成分を含む混合気体からフラックスを回収するフラックス回収装置であって、水を用いて前記混合気体からフラックスを分離し、水蒸気を含んだ気体とフラックスを含んだ水とを排出する、分離部と、前記分離部が排出する前記気体から水蒸気を除去する、形態１から７のいずれか１つに記載の結露装置と、を備える。
形態８に係るフラックス回収装置は、形態１から７のいずれか１つに記載の結露装置を備えるため、形態１と同様に、この結露装置は、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。このため、このフラックス回収装置は、結露装置の気体の処理量の増加により、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態９）
形態９に係るフラックス回収装置は、形態８に記載のフラックス回収装置において、前記分離部が排出した前記フラックスを含んだ水が供給され、前記フラックスを含んだ水から、フラックスを分離し、フラックスを回収する、浄化装置と、前記浄化装置でフラックスが分離されて浄化された水を前記浄化装置から前記結露装置へと供給する配管と、をさらに備え、前記第１冷却媒体及び前記第２冷却媒体の少なくとも一方は、前記浄化装置から供給された水である。
形態９に係るフラックス回収装置は、浄化装置で浄化された水を、第１冷却媒体及び第２冷却媒体の少なくとも一方として用いる。このため、フラックス回収装置は、浄化装置に加えて、第１冷却媒体及び第２冷却媒体に用いる冷却媒体を供給するための、別の設備を備える必要がない。

（形態１０）
形態１０に係るフラックス回収装置は、形態９に記載のフラックス回収装置において、前記浄化装置で浄化された水を前記分離部へ供給するポンプと、前記浄化装置で浄化された水を冷却するチラーユニットと、前記結露装置において水蒸気が除去された前記気体を、前記結露装置から送風する送風機と、をさらに備える。
形態１０に係るフラックス回収装置は、浄化装置で浄化された水を、分離部が混合気体からフラックスの分離に用いる水として使用することできる。また、チラーユニットが、フラックスの分離に用いられる水や、第１冷却媒体及び第２冷却媒体に用いられる水を冷却することができる。

（形態１１）
形態１１に係るフラックス回収装置は、形態８から１０のいずれか１つに記載のフラックス回収装置において、互いに接続されている複数の前記結露装置を、備える。
形態１１に係るフラックス回収装置は、互いに接続されている複数の結露装置を備えるため、フラックス回収装置が１つの結露装置を備える場合と比較して、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態１２）
形態１２に係るはんだ付け装置は、はんだ処理部と、前記はんだ処理部で発生するフラックスを含む混合気体からフラックスを回収する、形態８から１１のいずれか１つに記載のフラックス回収装置と、を備える。
形態１２に係るはんだ付け装置は、形態８から１１のいずれか１つに記載のフラックス回収装置を備えるために、このはんだ付け装置が備えるフラックス回収装置は、形態８と同様に、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。このため、このはんだ付け装置も、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態１３）
形態１３に係る水蒸気除去方法は、１又は２以上の内管と、前記１又は２以上の内管の外側に位置する外管と、を有する外側冷却部の、前記１又は２以上の内管と前記外管との間の第１流路を、第１冷却媒体が通過する工程と、前記１又は２以上の内管の内部で、前記１又は２以上の内管の内部を流れる気体に含まれる水蒸気が結露することで、当該気体に含まれる水蒸気が除去される工程と、を有する。
形態１３に係る水蒸気除去方法によれば、水蒸気を含む気体が、外側冷却部の内管と接触することで、外側冷却部の内管は、水蒸気を含む気体を冷却できる。したがって、この水蒸気除去方法は、水蒸気を結露させることができ、水蒸気を含む気体から水蒸気を除去することができる。特に、形態１３に係る外側冷却部が、多くの内管を備える場合、水蒸気を含む気体をより速く冷却でき、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態１４）
形態１４に係る水蒸気除去方法は、形態１３に記載の方法において、前記１又は２以上の内管の内側に位置する、内側冷却部が、有する第２流路を、第２冷却媒体が通過する工程と、前記外側冷却部の前記１又は２以上の内管の内側であり且つ前記内側冷却部の外側に位置し、前記外側冷却部及び前記内側冷却部の少なくとも一方と接触する、吸熱部材が、前記内管の内部を流れる気体を冷却する工程と、をさらに有する。
形態１４に係る水蒸気除去方法によれば、外側冷却部の内管、内側冷却部及び吸熱部材は、それぞれ水蒸気を含む気体を冷却できる。すなわち、この水蒸気除去方法は、形態１３に係る水蒸気除去方法よりも、水蒸気を含む気体を冷却している部分の表面積が増加する。したがって、この結露装置は、接触面積の増加に伴い、より速く水蒸気を含む気体を冷却することができる。

（形態１５）
形態１５に係るフラックス回収方法は、水を用いてフラックスを含む混合気体からフラックスを分離し、水蒸気を含んだ気体とフラックスを含んだ水とを生成する工程と、前記フラックスを含んだ水から、フラックスを分離し、フラックスを回収する工程と、生成された前記水蒸気を含んだ気体から、形態１３又は形態１４に記載の水蒸気除去方法により、水蒸気を除去する工程と、を有する。
形態１５に係るフラックス回収方法は、形態１３に記載の水蒸気除去方法により、水蒸気を除去する工程を有する。このため、形態１５に係るフラックス回収方法に用いる装置を従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（形態１６）
形態１６に係るはんだ処理方法は、はんだ処理部において、はんだ処理をする工程と、前記はんだ処理により生成されたフラックスを含む混合気体から、形態１５に記載のフラックス回収方法により、フラックスを回収する工程と、前記フラックス回収方法により生成された前記水蒸気が除去された気体を前記はんだ処理部に供給する工程と、を有する。
形態１６に係るはんだ処理方法は、形態１５に記載のフラックス回収方法により、フラックスを回収する工程を有する。このため、形態１６に係るはんだ処理方法に用いる装置を従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

本発明によれば、従来よりも大型化することなく、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

本発明の第１実施形態に係る結露装置を備えるはんだ付け装置の構造図である。 図１に示した結露装置の構成を示す正面図である。 図２に示した結露装置の平面図である。 図３に示した結露装置のＡ−Ｏ−Ｂ断面図である。 図２に示した結露装置のＣ−Ｃ断面図である。 図２に示した結露装置のＤ−Ｄ断面図である。 本発明の第２実施形態に係る結露装置の構造図である。 図７に示した結露装置のＥ−Ｅ断面図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。以下で説明する図面において、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

［第１実施形態］
（全体構成）
図１は、本発明の第１実施形態に係る結露装置を備えるはんだ付け装置の構造図である。図１を参照すると、はんだ付け装置１００は、はんだ処理部１２０及びフラックス回収装置２００を備える。はんだ付け装置１００は、一例として、基板に電子部品をはんだ付けする装置である。
以下、はんだ付け装置１００の各構成要素について分説する。
はんだ処理部１２０は、一例として、回路基板に電子部品をはんだ付けする処理や、回路基板を予熱する処理等の、はんだ付けに関する処理を行う。はんだ処理部１２０では、はんだ付けを円滑に行うために、フラックスが塗布された回路基板が用いられている。このため、はんだ付け処理や回路基板の予熱により、フラックスが気化して、はんだ処理部１２０の内部を浮遊する。すなわち、はんだ処理部１２０の内部は、フラックス成分を含む混合気体によって満たされる。なお、本明細書において、混合気体とは、はんだ処理時に発生する気体状となったフラックスと、はんだ処理部１２０内に最初から存在した気体とが混在した気体をいう。
フラックス回収装置２００は、フラックス成分を含む混合気体からフラックスを回収する装置である。フラックス回収装置２００は、はんだ処理部１２０と接続されている。そして、フラックス回収装置２００は、はんだ処理部１２０の内部の混合気体から、フラックスを回収し、フラックスが回収された気体をはんだ処理部１２０に供給することができる。フラックス回収装置２００は、一例として、分離部４００、浄化装置６００、ポンプ２２０、給水タンク２８０、チラーユニット３００、３つの結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃ、送風機３４０及び配管３６０を備える。なお、図１では、図面の簡略化のため、液体が流通する配管は、点線として示され、気体が流通する配管は、一点鎖線として示されている。

分離部４００は、はんだ処理部１２０と流体連通しており、はんだ処理部１２０から混合気体を吸入することができる。また、分離部４００は、既知の方法により、吸入した混合気体からフラックスを分離する機能を有する。より具体的には、分離部４００は、混合気体に水を混合する。これにより、混合気体に含まれるフラックスは水によって冷却される。冷却されたフラックスは、液化又は固形化する。これにより、混合気体に含まれていたフラックスが分離され、混合気体からフラックスが除去される。また、液化又は固形化したフラックスは、フラックスの分離に用いられた水に被覆され、分離部４００から排出される。

結露装置７００ａ、結露装置７００ｂ及び結露装置７００ｃは、一例として、同一の構成を有する。結露装置７００ａは分離部４００と流体連通されており、結露装置７００ｂは結露装置７００ａと流体連通されており、結露装置７００ｃは結露装置７００ｂと流体連通されている。すなわち、３つの結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃは、互いに接続されている。分離部４００でフラックスが除去された気体が結露装置７００ａに供給されると、フラックスが除去された気体は、３つの結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃを順に通り、結露装置７００ｃから排出される。結露装置７００ｃは、送風機３４０と流体連通されており、結露装置７００ｃから排出された気体は、送風機３４０へと供給される。

分離部４００は、上述したように水を用いて混合気体からフラックスを分離する。このため、分離部４００でフラックスが除去された気体には、水蒸気が多く含まれる。結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃは、水蒸気を含む気体から水蒸気を除去する機能を有する。また、３つの結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃは、一例として、重力方向に延びて配置されている。すなわち、後述する内側冷却部７４０の軸線Ｌは、重力方向に延びる（図４参照）。なお、結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃの詳細な構成については後述する。
送風機３４０は、水蒸気が除去された気体を結露装置７００ｃから吸引し、この水蒸気が除去された気体をはんだ処理部１２０に送風する機能を有する。

浄化装置６００は、分離部４００に流体連通している。このため、浄化装置６００には、分離部４００が排出したフラックスを含む水が供給される。また、浄化装置６００は、一例として、浄化槽６２０及びオゾン発生器６４０を有する。浄化装置６００は、供給されたフラックスを含む水を、浄化槽６２０に収容する。また、浄化槽６２０には、オゾン発生器６４０がオゾンの気泡を供給している。これにより、浄化装置６００は、オゾンを用いて、フラックスを分解する。その後、浄化装置６００は、フラックスの分解物を含む水に、フィルターを通過させる。これにより、分解物はフィルターに吸着されるので、浄化装置６００は、フラックスを含む水からフラックスを分離し、浄化することができる。

また、浄化装置６００は、ポンプ２２０を介して、分離部４００と流体連通している。これにより、ポンプ２２０は、浄化装置６００で浄化された水を分離部４００に供給できる。
配管３６０は、浄化装置６００を、３つの結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃと接続する。これにより、配管３６０は、浄化装置６００でフラックスが分離されて浄化された水を、浄化装置６００から結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃへと供給できる。
チラーユニット３００は、浄化装置６００に取り付けられている。チラーユニット３００は、浄化装置６００で浄化された水を冷却して、再び浄化装置６００に戻すことができる。このため、浄化装置６００に収容されている浄化された水の温度は、一例として、５度程度となる。
給水タンク２８０は、水の循環において不足した水を浄化槽６２０に供給する。

（結露装置）
次に、図２から図６を参照して、結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃのより詳細な構成について説明する。結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃは同一の構成を有するため、結露装置７００ａ，７００ｂ，７００ｃを結露装置７００として表して説明する。図２は、図１に示した結露装置７００の構成を示す正面図である。図３は、図２に示した結露装置７００の平面図である。図４は、図３に示した結露装置７００のＡ−Ｏ−Ｂ断面図である。図５は、図２に示した結露装置７００のＣ−Ｃ断面図である。また、図６は、図２に示した結露装置７００のＤ−Ｄ断面図である。
図２を参照すると、結露装置７００は、外側冷却部７２０、内側冷却部７４０、吸熱部材７６０、気体流入口７０２及び気体流出口７０４を有する。結露装置７００は、図２及び図３からわかるように、一例として、筒形状を有している。

図４を参照すると、外側冷却部７２０は、内管７２２と、内管７２２の外側に位置する外管７２４と、内管７２２と外管７２４との間に第１冷却媒体が通過する第１流路７２６と、第１冷却媒体入口７２８と、第１冷却媒体出口７３０と、を有する。一例として、第１冷却媒体入口７２８は、第１冷却媒体出口７３０よりも重力方向下側に位置している。なお、浄化装置６００から供給された水は、第１冷却媒体入口７２８から第１流路７２６へと供給され、第１冷却媒体出口７３０から排出される。その後、排出された水は、浄化装置６００へと戻される。したがって、浄化装置６００から供給された水は、第１冷却媒体として用いられる。また、外側冷却部７２０の内管７２２は、一例として、軸線Ｌの延びる方向に延びる。
内側冷却部７４０は、外側冷却部７２０の内管７２２の内側に位置し、第２冷却媒体が通過する第２流路７４２と、第２冷却媒体入口７４４と、第２冷却媒体出口７４６と、を有する。また、内側冷却部７４０は、一例として、軸線Ｌを中心軸とする直管形状を有する。また、一例として、第２冷却媒体入口７４４は、第２冷却媒体出口７４６よりも重力方向下側に位置している。なお、浄化装置６００から供給された水は、第２冷却媒体入口７４４から第２流路７４２へと供給され、第２冷却媒体出口７４６から排出される。その後、排出された水は、浄化装置６００へと戻される。したがって、浄化装置６００から供給された水は、第２冷却媒体として用いられる。

吸熱部材７６０は、外側冷却部７２０の内管７２２の内側であり且つ内側冷却部７４０の外側に位置し、内側冷却部７４０と接触する。吸熱部材７６０は、一例として、第１フィン７６２及び第２フィン７６８を有する。第１フィン７６２は、内側冷却部７４０の軸線Ｌと交わる方向に延びる薄板形状からなる。また、第１フィン７６２は、薄板円盤形状７６４に対して、中心に関して対称となる２つの弓型形状の切欠き７６６が形成された形状を有する（図５参照）。第１フィン７６２の薄板円盤形状７６４の外形は、一例として、外側冷却部７２０の内管７２２の値に０．９を乗じて得た値よりも大きい。なお、第１フィン７６２の切欠き７６６の弓型形状を形成する２つの弦７６７ａ，７６７ｂは、２つの切欠き７６６が中心に関して対称に形成されているため、同じ方向に延びる。他方、第２フィン７６８は、第１フィン７６２と間隔を空けて隣接し、第１フィン７６２よりも下流側に位置する（図４参照）。また、第２フィン７６８は、第１フィン７６２と同一の形状を有する（図６参照）。すなわち、第２フィン７６８は、薄板円盤形状７７０に対して、中心に関して対称となる２つの弓型形状の切欠き７７２が形成された形状を有する。
また、結露装置７００では、一例として、第１フィン７６２の弦７６７の延びる方向と、第２フィン７６８の切欠き７７２の弓型形状を形成する弦７７４の延びる方向とが異なる（図２、図５及び図６参照）。より詳細には、弦７６７の延びる方向と、弦７７４の延びる方向とは９０度異なる。

また、吸熱部材７６０は、一例として、複数のフィン７８０を有している（図４参照）。第１フィン７６２及び第２フィン７６８は、フィン７８０の一例である。なお、第１フィン７６２は、一例として、フィン７８０の中で最も上流側に位置している。さらに、吸熱部材７６０が有するフィン７８０は、一例として、全て同じ形状を有する。すなわち、フィン７８０は、薄板円盤形状に対して、中心に関して対称となる２つの弓型形状の切欠きが形成された形状を有する。そして、上流側から数えて奇数番目に位置するフィン７８０の切欠きを形成する弦の延びる方向は、第１フィン７６２の弦７６７が延びる方向と等しい。すなわち、上流側から数えて奇数番目に位置するフィン７８０は、全て同じ方向を向いている。他方、上流側から数えて偶数番目に位置するフィン７８０の切欠きを形成する弦の延びる方向は、第２フィン７６８の弦７７４が延びる方向と等しい。すなわち、上流側から数えて偶数番目に位置するフィン７８０は、全て同じ方向を向いている。なお、フィン７８０は、一例として、アルミ、銅、鉄、その他熱伝導性の高い金属等から形成される。また、本明細書では、第１地点を流れた気体が、第１地点を流れた後に第２地点を流れる場合において、第１地点は第２地点の上流側と定義され、第２地点は第１地点の下流側と定義される。

気体流入口７０２は、水蒸気を含む気体を外側冷却部７２０の内管７２２に導入する。
気体流出口７０４は、水蒸気が除去された気体を外側冷却部７２０の内管７２２から排出する。気体流入口７０２は、一例として、気体流出口７０４よりも重力方向上側に位置しているが、気体流入口７０２が気体流出口７０４よりも重力方向下側に位置してもよい。

＜動作＞
次にはんだ付け装置１００の動作について説明する。
まず、はんだ付け装置１００は、はんだ処理部１２０において、はんだ処理をする（図１参照）。この際、フラックスが塗布された回路基板が用いられるため、フラックスが気化して、はんだ処理部１２０の内部は、フラックス成分を含む混合気体によって満たされる。
次に、分離部４００は、はんだ処理部１２０から混合気体を吸入する。そして、分離部４００は、水を用いてフラックスを含む混合気体からフラックスを分離し、水蒸気を含んだ気体とフラックスを含んだ水とを生成する。その後、フラックスを含んだ水は、分離部４００から浄化装置６００へと運ばれ、浄化装置６００が、フラックスを分離し、フラックスを回収する。他方、水蒸気を含んだ気体は、結露装置７００ａへと運ばれ、気体流入口７０２から外側冷却部７２０の内管７２２の内部へと侵入する（図４参照）。

このとき、結露装置７００ａでは、第１冷却媒体である水が、外側冷却部７２０の第１流路７２６を通過しており、第２冷却媒体である水が、内側冷却部７４０の第２流路７４２を通過している。このため、外側冷却部７２０及び内側冷却部７４０の表面温度は、水蒸気を含んだ気体から水を結露させることができる温度まで低下している。また、吸熱部材７６０は、内側冷却部７４０と接触するため、吸熱部材７６０の表面温度も、水蒸気を含んだ気体から水を結露させることができる温度まで低下している。このため、外側冷却部７２０、内側冷却部７４０及び吸熱部材７６０は、外側冷却部７２０の内管７２２の内部を流れる気体を冷却する。そして、内管７２２の内部において、気体に含まれる水蒸気が結露する。これにより、気体に含まれる水蒸気が除去される。

その後、結露装置７００ａで水蒸気を除去された気体は、結露装置７００ｂ及び結露装置７００ｃを通過する。このとき、結露装置７００ａで水蒸気を除去された気体は、結露装置７００ａを通過したときと同様に、結露装置７００ｂ及び結露装置７００ｃにより、さらに水蒸気が除去される。そして、結露装置７００ｃを通過して水蒸気が除去された気体は、送風機３４０に吸引される。その後、送風機３４０は、水蒸気が除去された気体をはんだ処理部１２０に送風する。

＜作用・効果＞
次に、本実施形態に係る結露装置７００、はんだ付け装置１００及びフラックス回収装置２００の作用・効果について、以下に説明する。

（第１の効果）
結露装置７００は、上述したように、外側冷却部７２０、内側冷却部７４０、及び吸熱部材７６０により、外側冷却部７２０の内管７２２の内部を流れる気体を冷却することができる。これにより、結露装置７００は、特許文献１に記載の結露装置と比較して、水蒸気を含む気体を冷却する部分の表面積が増加している。したがって、結露装置７００は、特許文献１に記載の結露装置と同じ流量の気体から水蒸気を除去する場合に、特許文献１に記載の結露装置よりも小型にできる。また、結露装置７００は、特許文献１に記載の結露装置と同じ大きさにした場合、より多くの気体から水蒸気を除去できる。

（第２の効果）
結露装置７００では、吸熱部材７６０は、複数のフィン７８０を有する。このため、結露装置７００は、吸熱部材７６０の接触面積をフィン７８０が１枚のときよりも増加させることができる。したがって、結露装置７００は、接触面積の増加に伴い、より速く水蒸気を含む気体を冷却することができる。

（第３の効果）
外側冷却部７２０の内管７２２、内側冷却部７４０及び吸熱部材７６０の近傍を流れる気体は、外側冷却部７２０の内管７２２、内側冷却部７４０及び吸熱部材７６０から離れた位置を流れる気体よりも、冷却される。このため、仮に、水蒸気を含む気体が外側冷却部７２０の内管７２２の内部で対流しないと考えた場合、水蒸気を含む気体の流れる位置によって、排出される気体に温度の差ができてしまう場合がある。この場合、冷却されていない気体は、水蒸気を多く含んだまま、結露装置７００を通過するおそれがある。
しかし、結露装置７００では、第１フィン７６２は、内側冷却部７４０の軸線Ｌと交わる方向に延びて配置されている。すなわち、第１フィン７６２は、水蒸気を含む気体の流れを遮る方向に配置されている。このため、水蒸気を含む気体が第１フィン７６２に衝突することで、外側冷却部７２０の内管７２２の内部に気体の対流が生じる。これにより、結露装置７００は、水蒸気を含む気体を均一に冷却することができる。すなわち、結露装置７００は、気体が水蒸気を多く含んだまま結露装置７００を通過することを抑止できる。

（第４の効果）
結露装置７００において、仮に、第１フィン７６２の弦７６７が延びる方向と第２フィン７６８の弦７７４が延びる方向とを等しくして、第１フィン７６２及び第２フィン７６８が配置されたとする。この場合、第１フィン７６２の切欠き７６６が形成された部分を通過した気体が直進すると、第２フィン７６８の切欠き７７２が形成された部分を通過してしまう。このため、第１フィン７６２と第２フィン７６８との間には、風が流れにくく、第１フィン７６２と第２フィン７６８との間の気体が停滞し得る。このため、第１フィン７６２と第２フィン７６８との間において、気体が停滞し、当該気体ばかりが冷却されてしまい、他の気体が冷却されにくい場合がある。
しかし、結露装置７００によれば、第１フィン７６２の弦７６７の延びる方向と、第２フィン７６８の弦７７４の延びる方向とが異なる（図２、図５及び図６参照）。このため、第１フィン７６２の切欠き７６６の形成された部分を通過した気体が直進した場合、この気体が、第２フィン７６８と衝突することとなる。これにより、第１フィン７６２と第２フィン７６８との間に気体の対流が生じる。すなわち、第１フィン７６２と第２フィン７６８との間の気体の停滞が抑止される。したがって、結露装置７００は、第１フィン７６２及び第２フィン７６８の近傍の気体の温度を均等にすることができる。

＜変形例＞
次に、本実施形態に係る結露装置７００及びフラックス回収装置２００の変形例について、以下に説明する。

（第１の変形例）
結露装置７００では、吸熱部材７６０は、内側冷却部７４０と接触していた。しかし、吸熱部材７６０は、外側冷却部７２０及び内側冷却部７４０の少なくとも一方と接触すればよい。吸熱部材７６０が外側冷却部７２０又は内側冷却部７４０によって冷却されることができれば、吸熱部材７６０は、外側冷却部７２０の内管７２２を通過する気体を冷却することができるからである。

（第２の変形例）
また、結露装置７００では、内側冷却部７４０は、直管形状を有していた。しかし、内側冷却部７４０は、球形状、立方体形状等の形状を有していてもよい。内側冷却部７４０が如何なる形状を有していても、内側冷却部７４０は、外側冷却部７２０の内管７２２を通過する気体や、吸熱部材７６０を冷却することができるからである。

（第３の変形例）
また、結露装置７００では、吸熱部材７６０は複数のフィン７８０を有したが、吸熱部材７６０は１つのフィン７８０のみを有してよい。さらに、吸熱部材７６０は、薄板円盤形状に対して、１つ又は３つ以上の弓型形状の切欠きが形成されたフィン７８０を有してもよく、その他のあらゆる形状を有するフィン７８０を備えてもよい。吸熱部材７６０は、有するフィン７８０の形状や枚数に関わらず、外側冷却部７２０の内管７２２を通過する気体と接触することさえできれば、通過する気体を冷却することができるからである。

（第４の変形例）
第１冷却媒体及び第２冷却媒体として、浄化装置６００から供給された水が用いられた。しかし、結露装置７００は、第１冷却媒体又は第２冷却媒体として、外側冷却部７２０の内管７２２を通過する気体を冷却して、内管７２２の内部で結露を発生させることができれば、如何なる低温の液体を使用してもよい。

［第２実施形態］
（結露装置）
図７は、本発明の第２実施形態に係る結露装置の構造図である。図８は、図７に示した結露装置のＥ−Ｅ断面図である。
図７を参照すると、結露装置８００は、外側冷却部８２０、気体流入口８０２、気体流出口８０４、分流チャンバ８０６及び合流チャンバ８０８を有する。結露装置８００は、図７及び図８からわかるように、一例として、筒形状を有している。なお、本実施形態に係る結露装置８００は、一例として、第１実施形態に係る結露装置７００と置き換えて、フラックス回収装置２００及びはんだ付け装置１００で用いられている。
図７を参照すると、外側冷却部８２０は、複数の内管８２２と、内管８２２の外側に位置する外管８２４と、内管８２２と外管８２４との間に第１冷却媒体が通過する第１流路８２６と、第１冷却媒体入口８２８と、第１冷却媒体出口８３０と、を有する。一例として、第１冷却媒体入口８２８は、第１冷却媒体出口８３０よりも重力方向下側に位置している。なお、浄化装置６００から供給された水は、第１冷却媒体入口８２８から第１流路８２６へと供給され、第１冷却媒体出口８３０から排出される。その後、排出された水は、浄化装置６００へと戻される。したがって、浄化装置６００から供給された水は、第１冷却媒体として用いられる。

気体流入口８０２は、分流チャンバ８０６を介して、各内管入口８１０と流体連通している。このため、気体流入口８０２に供給された水蒸気を含む気体は、分流チャンバ８０６で枝分かれして、各内管入口８１０を介して、各内管８２２へと供給される。
気体流出口８０４は、合流チャンバ８０８を介して、各内管出口８１２と流体連通している。このため、各気体流出口８０４から排出された水蒸気が除去された気体は、合流チャンバ８０８で合流して、気体流出口８０４から排出される。

＜作用・効果＞
次に、本実施形態に係る結露装置８００の作用・効果について、以下に説明する。
（第１の効果）
結露装置８００は、外側冷却部８２０により、複数の内管８２２の内部を流れる気体を冷却することができる。特に、結露装置８００は、複数の内管８２２を有するため、内管８２２が１本のときよりも、水蒸気を含む気体をより速く冷却できる。

＜変形例＞
次に、本実施形態に係る結露装置８００の変形例について、以下に説明する。

（第１の変形例）
結露装置８００は、複数の内管８２２を備えていた。しかし、結露装置８００は、複数の内管８２２の代わりに、１つの内管８２２を備えてもよい。この場合でも、結露装置８００は、外側冷却部８２０の１つの内管８２２により、１つの内管８２２の内部を流れる気体を冷却することができるからである。すなわち、結露装置８００は、１又は２以上の内管８２２を備えているならば、気体から水蒸気を除去できる。

（第２の変形例）
結露装置８００は、第１実施形態の結露装置７００のように、複数の内管８２２のうち少なくとも１つの内側に位置する内側冷却部を備えてもよい。この場合には、結露装置８００は、外側冷却部８２０及び内側冷却部により、この内管８２２の内部を流れる気体を冷却することができるからである。

（第３の変形例）
結露装置８００は、複数の内管８２２のうち少なくとも１つの内側に、この内管８２２と接触する吸熱部材を備えてもよい。この場合には、結露装置８００は、外側冷却部８２０及び吸熱部材により、この内管８２２の内部を流れる気体を冷却することができるからである。

以上、本発明の実施形態とそれに係る各変形例について説明したが、上述した各例は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではないことは言うまでもない。本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で、適宜変更、改良することができ、本発明にその等価物は含まれる。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲及び明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、又は省略が可能である。

１００：はんだ付け装置
１２０：はんだ処理部
２００：フラックス回収装置
２２０：ポンプ
２８０：給水タンク
３００：チラーユニット
３４０：送風機
３６０：配管
４００：分離部
６００：浄化装置
６２０：浄化槽
６４０：オゾン発生器
７００，７００ａ，７００ｂ，７００ｃ，８００：結露装置
７０２，８０２：気体流入口
７０４，８０４：気体流出口
８０６：分流チャンバ
８０８：合流チャンバ
７２０，８２０：外側冷却部
７２２，８２２：内管
７２４，８２４：外管
７２６，８２６：第１流路
７４０：内側冷却部
７４２：第２流路
７６０：吸熱部材
７６２：第１フィン
７６８：第２フィン
７８０：フィン

Claims (22)

1. フラックス成分を含む混合気体からフラックスを回収するフラックス回収装置であって、
   水を用いて前記混合気体からフラックスを分離し、水蒸気を含んだ気体とフラックスを含んだ水とを排出する、分離部と、
   前記分離部が排出する気体から水蒸気を除去するための結露装置であって、２以上の内管と、前記２以上の内管の外側に位置する外管と、前記２以上の内管と前記外管との間に、第１冷却媒体が通過する第１流路と、を有する、外側冷却部、を備え、前記２以上の内管の形状は円筒である、結露装置と、
   を備える、
   フラックス回収装置。（但し、前記内管から排出された気体から、水、油等のドレンを分離するための円錐形陣傘を有する分離器を備えるフラックス回収装置を除く。）
2. 請求項１に記載のフラックス回収装置において、
   前記結露装置は、
   水蒸気を含む気体を前記内管に導入するための気体流入口と、
   水蒸気が除去された気体を前記内管から排出するための気体流出口と、
   を備え、
   前記外管の形状は円筒であり、
   前記気体流入口が前記気体流出口よりも重力方向下側に位置している、
   フラックス回収装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載のフラックス回収装置において、
   前記外側冷却部は、第１冷却媒体入口と、第１冷却媒体出口とを有し、
   前記第１冷却媒体入口は、前記第１冷却媒体出口よりも重力方向下側に位置し、
   前記第１冷却媒体が、前記第１冷却媒体入口から前記第１流路へと供給され、前記第１冷却媒体出口から排出されるように構成されている、
   フラックス回収装置。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載のフラックス回収装置において、
   前記結露装置は、前記２以上の内管のうち少なくとも１つの内管の内側に位置し、前記外側冷却部と接触する、吸熱部材、をさらに備える、
   フラックス回収装置。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載のフラックス回収装置において、
   前記結露装置は、前記２以上の内管の内側に位置し且つ第２冷却媒体が通過する第２流路を有する内側冷却部、をさらに備える、
   フラックス回収装置。
6. 請求項５に記載のフラックス回収装置において、
   前記結露装置は、前記２以上の内管の内側であり且つ前記内側冷却部の外側に位置し、前記内側冷却部と接触する、吸熱部材、をさらに備える、
   フラックス回収装置。
7. 請求項６に記載のフラックス回収装置において、
   前記吸熱部材は、複数のフィンを有する、
   フラックス回収装置。
8. 請求項６又は請求項７に記載のフラックス回収装置において、
   前記内側冷却部は、直管形状を有し、
   前記外側冷却部の前記内管は、前記内側冷却部の前記直管形状の軸線方向に延び、
   前記吸熱部材は、前記軸線と交わる方向に延びる薄板形状からなる第１フィンを有する、
   フラックス回収装置。
9. 請求項８に記載のフラックス回収装置において、
   前記第１フィンは、薄板円盤形状に対して、弓型形状の切欠きが形成された形状を有し、
   前記吸熱部材は、前記第１フィンと同一の形状を有し、前記第１フィンと間隔を空けて隣接し、前記第１フィンよりも下流側に位置する、第２フィンを、さらに備え、
   前記第１フィンの前記切欠きの前記弓型形状を形成する弦の延びる方向と、前記第２フィンの切欠きの弓型形状を形成する弦の延びる方向と、が異なる、
   フラックス回収装置。
10. 請求項１から９のいずれか１項に記載のフラックス回収装置において、
    前記分離部が排出した前記フラックスを含んだ水が供給され、前記フラックスを含んだ水から、フラックスを分離し、フラックスを回収する、浄化装置と、
    前記浄化装置でフラックスが分離されて浄化された水を前記浄化装置から前記結露装置へと供給する配管と、をさらに備える、
    フラックス回収装置。
11. 請求項５に従属する請求項１０に記載のフラックス回収装置において、
    前記第１冷却媒体及び前記第２冷却媒体の少なくとも一方は、前記浄化装置から供給された水である、
    フラックス回収装置。
12. 請求項１０又は請求項１１に記載のフラックス回収装置において、
    前記浄化装置で浄化された水を前記分離部へ供給するポンプと、
    前記浄化装置で浄化された水を冷却するチラーユニットと、
    前記結露装置において水蒸気が除去された前記気体を、前記結露装置から送風する送風機と、
    をさらに備える、
    フラックス回収装置。
13. 請求項１から１２のいずれか１項に記載のフラックス回収装置において、
    互いに接続されている複数の前記結露装置を、備える、
    フラックス回収装置。
14. はんだ処理部と、
    前記はんだ処理部で発生するフラックスを含む混合気体からフラックスを回収する、請求項１から１３のいずれか１項に記載のフラックス回収装置と、
    を備える、
    はんだ付け装置。
15. ２以上の内管と、前記２以上の内管の外側に位置する外管と、を有する外側冷却部の、前記２以上の内管と前記外管との間の第１流路を、第１冷却媒体が通過する工程と、
    前記２以上の内管の内部で、前記２以上の内管の内部を流れる気体に含まれる水蒸気が結露することで、当該気体に含まれる水蒸気が除去される工程と、
    を有し、
    前記２以上の内管の形状は円筒である、
    水蒸気除去方法。（但し、前記気体が、円錐形陣傘に当たり、水、油等のドレンが分離される工程を有する水蒸気除去方法を除く。）
16. 請求項１５に記載の方法において、
    水蒸気を含む気体が気体流入口により前記内管に導入され、その後水蒸気が除去された当該気体が気体流出口により前記内管から排出される工程を有し、
    前記外管の形状は円筒である、
    前記気体流入口が前記気体流出口よりも重力方向下側に位置している、
    水蒸気除去方法。
17. 請求項１５又は請求項１６に記載の方法において、
    前記外側冷却部は、第１冷却媒体入口と、第１冷却媒体出口とを有し、
    前記第１冷却媒体入口は、前記第１冷却媒体出口よりも重力方向下側に位置し、
    前記第１冷却媒体が、前記第１冷却媒体入口から第１流路へと供給される工程と、
    前記第１冷却媒体が、前記第１冷却媒体出口から排出される工程と、をさらに有する、
    水蒸気除去方法。
18. 請求項１５から１７のいずれか１項に記載の方法において、
    前記２以上の内管の内側に位置する、内側冷却部が、有する第２流路を、第２冷却媒体が通過する工程と、
    前記外側冷却部の前記２以上の内管の内側であり且つ前記内側冷却部の外側に位置し、前記外側冷却部及び前記内側冷却部の少なくとも一方と接触する、吸熱部材が、前記内管の内部を流れる気体を冷却する工程と、
    をさらに有する、
    水蒸気除去方法。
19. 水を用いてフラックスを含む混合気体からフラックスを分離し、水蒸気を含んだ気体とフラックスを含んだ水とを生成する工程と、
    前記フラックスを含んだ水から、フラックスを分離し、フラックスを回収する工程と、
    生成された前記水蒸気を含んだ気体から、請求項１５から１８のいずれか１項に記載の水蒸気除去方法により、水蒸気を除去する工程と、
    を有する、
    フラックス回収方法。
20. はんだ処理部において、はんだ処理をする工程と、
    前記はんだ処理により生成されたフラックスを含む混合気体から、請求項１９に記載のフラックス回収方法により、フラックスを回収する工程と、
    前記フラックス回収方法により生成された前記水蒸気が除去された気体を前記はんだ処理部に供給する工程と、
    を有する、
    はんだ処理方法。
21. １又は２以上の内管と、前記１又は２以上の内管の外側に位置する外管と、前記１又は２以上の内管と前記外管との間に第１冷却媒体が通過する第１流路と、を有する、外側冷却部と、
    前記１又は２以上の内管の内側に位置し且つ第２冷却媒体が通過する第２流路を有する内側冷却部と、を備える、
    結露装置。
22. １又は２以上の内管と、前記１又は２以上の内管の外側に位置する外管と、を有する外側冷却部の、前記１又は２以上の内管と前記外管との間の第１流路を、第１冷却媒体が通過する工程と、
    前記１又は２以上の内管の内部で、前記１又は２以上の内管の内部を流れる気体に含まれる水蒸気が結露することで、当該気体に含まれる水蒸気が除去される工程と、
    前記１又は２以上の内管の内側に位置する、内側冷却部が、有する第２流路を、第２冷却媒体が通過する工程と、
    を有する、
    水蒸気除去方法。

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