JP6821809B2 - 単結晶シリコンから構成される半導体ウェハおよび単結晶シリコンから構成される半導体ウェハの製造方法 - Google Patents
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Description
無欠陥領域および比較的高い密度のBMD(バルク微小欠陥)を有する内側領域を有する半導体ウェハは、たとえば、US2010/0 105 191 A1の主題である。この周知の半導体ウェハを製造するために、シリコンの単結晶がCZ法によって成長され、さらに処理されて半導体ウェハを製造する。単結晶を引き出すとき、中性領域Nが形成されるように、引出し速度Vおよび単結晶と融解物との間の界面における軸方向温度勾配Gを調節することに注意する。中性領域Nにおいて、格子間シリコン原子(シリコン格子)の密度および空孔は、密度閾値より低く、Lpit(large pit:最大ピット)およびCOP(crystal originated particle:結晶由来粒子)などの欠陥が形成されるよりも高い。シリコン格子が空孔よりも優位にある中性領域は、Ni領域とも呼ばれる。空孔がシリコン格子よりも優位にある中性領域は、Nv領域とも呼ばれる。単結晶シリコンから構成される半導体ウェハを製造するためのUS2010/0 105 191A1に記載されるプロセスは、酸化雰囲気中の半導体ウェハのRTA(rapid themral anneal:迅速熱間アニール)処理に続いて、RTA処理の間に形成される酸化物層の除去、およびその後の窒化雰囲気中のRTA処理を含む。
表面、裏面、中間部および周縁部を有する単結晶シリコンから構成される半導体ウェハであって、
中間部から周縁部まで延在するNv領域と、
表面から20μm以上の深さまで、半導体ウェハの内部へ延在する無欠陥領域と、を備え、プラチナ拡散およびDLTSによって決定される無欠陥領域の空孔の密度は、1×1013空孔/cm3以下であり、半導体ウェハはさらに、
4.5×1017atoms/cm3以上、5.5×1017atoms/cm3以下の酸素濃度と、
無欠陥領域に隣接し、かつ熱処理によって6.0×109/cm3以上のピーク密度を有するBMDへ変化可能である核を有する、半導体ウェハの内部の領域と、を備え、熱処理は、4時間にわたって800℃の温度まで、および16時間にわたって1000℃の温度まで、半導体ウェハを加熱することを含む、半導体ウェハによって実現される。
CZ法によってシリコンの単結晶を成長させることと、
単結晶からの単結晶シリコンから構成される少なくとも1つの半導体ウェハの分割と、を含み、半導体ウェハは、4.5×1017atoms/cm3以上、5.5×1017atoms/cm3以下の酸素濃度を有し、全体的にNv領域からなり、上記方法はさらに、
アルゴンおよび酸素を含む雰囲気中での、20s以上、40s以下の期間にわたる、1285℃以上、1295℃以下の第1の温度範囲の温度での、単結晶シリコンから構成される半導体ウェハの第1のRTA処理と、
半導体ウェハの表面からの酸化物層の化学的除去と、
アルゴンおよびアンモニアを含む雰囲気中での、15s以上、30s以下の期間にわたる、1160℃以上、1185℃以下の第2の温度範囲の温度、および不活性雰囲気中での、20s以上、40s以下の期間にわたる、1150℃以上、1175℃以下の第3の温度範囲での温度での、単結晶シリコンから構成される半導体ウェハの第2のRTA処理と、を含む方法によって、さらに達成される。
第2のRTA処理の過程の間、半導体ウェハは、75℃/sの速度で600℃から1175℃のターゲット温度までの温度範囲で加熱され、20sにわたってターゲット温度で保持された。RTA炉の雰囲気は、この期間の終わりまで、13.5:10のAr:NH3の体積比を有するアルゴンとアンモニアとの混合物から構成された。その後、アルゴン雰囲気まで変化した。半導体ウェハは、まず600℃まで冷却され、40sにわたってこの温度で保持され、RTA炉は、この期間の間、窒素でフラッシュされた。半導体ウェハは、その後、アルゴン雰囲気中で1160℃のターゲット温度まで加熱され、30s間このターゲット温度で保持され、次に迅速に冷却された。600℃〜750℃の温度範囲において温度は75℃/sの速度で上昇し、50〜75℃/sの速度で750℃超から1100℃までの温度範囲、および75℃/sの速度で1100℃超から1160℃のターゲット温度までの温度範囲に上昇した。1160℃のターゲット温度から1100℃超の温度までの温度範囲において温度は25℃/sの速度で低下し、35℃/sの速度で1100℃から900℃超の温度までの温度範囲、および30℃/sの速度で900℃から600℃までの温度範囲に低下した。
Claims (8)
- 表面、裏面、中央部および周縁部を有する単結晶シリコンから構成される半導体ウェハであって、
前記中央部から前記周縁部まで延在するNv領域と、
前記表面から20μm以上の深さまで、前記半導体ウェハの内部へ延在する無欠陥領域と、を備え、プラチナ拡散およびDLTSによって決定される前記無欠陥領域の空孔の密度は、1×1013空孔/cm3以下であり、前記半導体ウェハはさらに、
4.5×1017atoms/cm3以上、5.5×1017atoms/cm3以下の酸素濃度と、
前記無欠陥領域に隣接し、かつ熱処理によって5.5×109/cm3以上のピーク密度を有するBMDへ変化可能である核を有する、前記半導体ウェハの前記内部の領域と、を備え、前記熱処理は、4時間にわたって800℃の温度まで、および16時間にわたって1000℃の温度まで、前記半導体ウェハを加熱することを含み、
前記半導体ウェハの前記中央部から前記周縁部まで、前記半導体ウェハの前記表面から9μm〜340μmの距離を有するBMDの密度の比D BMDmax /D BMDmin が1.4以下であるという条件を満たし、D BMDmax はBMDの最大密度であり、D BMDmin はBMDの最小密度である、半導体ウェハ。 - BMDの前記ピーク密度は、前記半導体ウェハの前記表面から100μm以下の距離にある、請求項1に記載の半導体ウェハ。
- 前記半導体ウェハの前記中央部から前記周縁部まで、前記半導体ウェハの前記表面から9μm〜340μmの距離を有するBMDのサイズの比SBMDlarge/S BMDsmallが1.3以下であるという条件を満たし、S BMDlarge はBMDの最大値であり、S BMDsmall はBMDの最小値である、請求項1に記載の半導体ウェハ。
- 単結晶シリコンから構成される半導体ウェハの製造方法であって、この順番で、
CZ法によってシリコンの単結晶を成長させることと、
単結晶シリコンから構成される少なくとも1つの半導体ウェハを前記単結晶から分離と、を含み、前記半導体ウェハは、4.5×1017atoms/cm3以上、5.5×1017atoms/cm3以下の酸素濃度を有し、全体的にNv領域からなり、前記方法はさらに、
アルゴンおよび酸素を含む雰囲気中での、20s以上、40s以下の期間にわたる、1285℃以上、1295℃以下の第1の温度範囲の温度での、単結晶シリコンから構成される前記半導体ウェハの第1のRTA処理と、
前記半導体ウェハの表面からの酸化物層の化学的除去を含む、前記半導体ウェハの化学的処理と、
アルゴンおよびアンモニアを含む雰囲気中での、15s以上、30秒以下の期間にわたる、1160℃以上、1185℃以下の第2の温度範囲の温度、および不活性雰囲気中での、20s以上、40s以下の期間にわたる、1150℃以上、1175℃以下の第3の温度範囲の温度での、単結晶シリコンから構成される前記半導体ウェハの第2のRTA処理と、を含む、方法。 - 前記単結晶の成長は、アルゴンおよび水素を含む雰囲気中で実行される、請求項4に記載の方法。
- 前記単結晶は、0.5mm/min以上の引出し速度で成長し、前記単結晶は、少なくとも300mmの直径を有する、請求項4または請求項5に記載の方法。
- 前記第3の温度範囲における前記RTA処理は、アルゴンの雰囲気中で実行される、請求項4〜請求項6のいずれか1項に記載の方法。
- 単結晶シリコンから構成される前記半導体ウェハの熱処理は、前記第3の温度範囲における前記RTA処理の後に実行され、前記半導体ウェハの800℃の温度までの加熱は、4時間にわたって実行され、前記半導体ウェハの1000℃の温度までの加熱は、16時間にわたって実行される、請求項4〜請求項7のいずれか1項に記載の方法。
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