JP6821331B2

JP6821331B2 - 記録素子基板、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置

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Inventors: 了木村; 真吾奥島; 亮葛西
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Description

本発明は、記録を行うための記録素子基板、これを有する液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置に関する。

液体吐出ヘッドは、液体を吐出するためのエネルギーを発生する記録素子を備える記録素子基板と、記録素子基板と液体吐出装置本体とを電気的に接続するための配線基板を備えている。記録素子基板は端子を備えており、この端子を介して配線基板と電気的に接続されている。液体吐出装置本体の制御回路から配線基板を介して入力される信号に基づいて記録素子が駆動されて液体が吐出されることで、画像が記録される。特許文献１には、記録素子基板の辺に沿って端子が配設された構成が開示されている。

ところで、主面の形状が長方形である記録素子基板に加え、特許文献２に記載されたような主面の形状が略平行四辺形である記録素子基板が提案されている。

米国特許第７４０７２６２号明細書特開２０１５−１７４３８５号公報

略平行四辺形の形状である面を備える記録素子基板のように、面を構成する辺の一端における角度が他端における角度よりも小さい場合、以下のような課題が生じる。すなわち、ウエハを切断する際や記録素子基板を搬送したり液体吐出ヘッドとして組み込んだりする際に、相対的に角度の小さい一端では、相対的に角度が大きい他端に比べて、一端を含む近傍において欠けやひびが発生する恐れが高い。そのため、角度の小さい一端の近傍に端子が設けられていると、この端子から延びる配線が断線するといった電気的な不具合が生じる可能性があり、記録素子基板の電気的信頼性が損なわれる恐れがある。また、特にその角度が鋭角である場合にその近傍において欠けやひびが発生する可能性が高まる。

そこで、本発明は、記録素子基板の面を構成する辺の一端における頂点の角度が、辺の他端における頂点の角度よりも小さい記録素子基板において、その電気的信頼性の低下を抑えることを目的とする。

本発明の記録素子基板は、辺と、前記辺の近傍に、前記辺に沿って配設された複数の端子と、を備える面であって、前記辺の一端に位置する第１の頂点における角度が、前記辺の他端に位置する第２の頂点における角度よりも小さい面と、前記端子に電気的に接続され、記録を行うための複数の記録素子と、前記複数の記録素子に対応する液体を吐出するための複数の吐出口が前記辺に沿う方向に配設された吐出口列と、を有する記録素子基板において、前記第１の頂点と前記複数の端子のうちの前記第１の頂点の最も近くに配設された第１の端子との距離は、前記第２の頂点と前記複数の端子のうちの前記第２の頂点の最も近くに配設された第２の端子との距離よりも大きく、平面視した際に、前記第１の端子および前記第２の端子は、前記吐出口列の配設方向において前記吐出口列の端部に位置する前記吐出口よりも前記吐出口列の内側に位置することを特徴とする。

本発明によると、記録素子基板の面を構成する辺の一端における頂点の角度が、辺の他端における頂点の角度よりも小さい記録素子基板において、その電気的信頼性の低下を抑えることが可能となる。

インクジェット記録装置を示す概略構成図である。インクジェット記録ヘッドを示す斜視図である。第１の実施形態のインクジェット記録ヘッドの吐出モジュールを示す斜視図である。第１の実施形態の記録素子基板を示す平面図である。記録素子基板の吐出口列に直交する方向における断面を示す斜視図である。第２の実施形態のインクジェット記録ヘッドの吐出モジュールを示す斜視図である。第２の実施形態の記録素子基板を示す平面図である。

以下、図面を用いて本発明の実施の形態の例を説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。本実施形態では、記録素子として発熱素子を用い、気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されているが、ピエゾ方式およびその他の各種液体吐出方式が採用された記録素子基板にも本発明を適用することができる。また、本発明は、例えば、バイオチップ作製、電子回路印刷、及び半導体ウエハの回路パターンを形成するためのレジストの塗布などの産業用記録装置の記録録素子基板としても用いることができる。

また、本実施形態は被記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ライン型ヘッドであるが、被記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行う、所謂シリアル型の液体吐出ヘッドにも本発明を適用できる。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えばブラックインク用の記録素子基板とカラーインク用の記録素子基板とがそれぞれ搭載された構成があげられる。

（インクジェット記録装置）
本実施形態を適用可能な液体吐出装置として、インクを吐出して記録を行うインクジェット記録装置１０００（以下、記録装置とも称す）について、その概略構成を示す図１を用いて説明する。記録装置１０００は、被記録媒体２を搬送する搬送部１と、被記録媒体の搬送方向と略直交して配置されるライン型の液体吐出ヘッド３と、を備え、複数の被記録媒体２を連続もしくは間欠に搬送しながら１パスで連続記録を行うライン型記録装置である。被記録媒体２はカット紙に限らず、連続したロール紙であってもよい。液体吐出ヘッド３は、ＣＭＹＫインクによる（シアン、マゼンタ、イエロー、ブラック）フルカラー印刷が可能である。また、液体吐出ヘッド３は、液体吐出ヘッド３に電力や吐出制御信号を伝送するための記録装置１０００の制御部と電気的に接続されている。

（液体吐出ヘッド）
図２（ａ）及び図２（ｂ）は本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。液体吐出ヘッド３は１つの記録素子基板１０でＣ／Ｍ／Ｙ／Ｋの４色のインクを吐出可能な記録素子基板１０を直線上に１５個配列（インラインに配置）されるライン型の液体吐出ヘッドである。

図２（ａ）に示すように、液体吐出ヘッド３は、記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０と、電気配線基板９０と、を備えている。また、電気配線基板９０は、信号入力端子９１及び電力供給端子９２を備えている。これらの信号入力端子９１及び電力供給端子９２は記録装置１０００の制御部と電気的に接続されており、これらの端子を介して吐出駆動信号や吐出に必要な電力が記録素子基板１０に供給される。

図２（ｂ）に示すように、液体吐出ヘッド３の両端部に設けられた液体接続部１３０は、記録装置１０００の液体供給系と接続される。これにより、ＣＭＹＫ４色のインクが記録装置１０００の供給系から液体吐出ヘッド３に供給され、また、液体吐出ヘッド３内を通ったインクが記録装置１０００の供給系へ回収される。このように各色のインクは、記録装置１０００の経路と液体吐出ヘッド３の経路を介して循環可能である。

（第１の実施形態）
次に、第１の実施形態に係る吐出モジュール２００について説明する。図３（ａ）に１つの吐出モジュール２００の斜視図を、図３（ｂ）にその分解図を示す。吐出モジュール２００は、記録素子基板１０と、フレキシブル配線基板４０と、これらを支持する支持部材３０、とを備えている。記録素子基板１０及びフレキシブル配線基板４０は支持部材３０の上に接着されている。支持部材３０は、記録素子基板１０を支持する支持体であるとともに、液体連通口３１を介して記録素子基板１０に液体を供給可能な流路部材でもある。
本実施形態の液体吐出ヘッド３は、複数の吐出モジュールが配列されて構成されている。

また、記録素子基板１０に設けられた端子１６と、フレキシブル配線基板４０に設けられた端子４１とは、ワイヤーボンディングによって電気接続される。これらの端子１６、４１と、ワイヤーとで構成される電気接続部は封止材１２０で覆われている。また、記録素子基板１０と接続される端子４１とは反対側に設けられているフレキシブル配線基板４０の端子４２は、電気配線基板９０の接続端子と電気接続される。

次に、本実施形態における記録素子基板１０の構成について説明する。図４は、記録素子基板１０を吐出口１３が設けられた側から見た平面図を示す。図５は、図４の記録素子基板１０の吐出口列に直交する方向における断面を示す斜視図である。

図５に示すように、記録素子基板１０はシリコン基体を含む基板１１と感光性の樹脂により形成される吐出口形成部材１２とが積層されており、基板１１の裏面には蓋部材２０が接合されている。吐出口形成部材１２には、吐出口１３が配列された４つの吐出口列が設けられている。また、記録素子基板１０を構成する基板１１の表面１１ａには、吐出口１３に対向して記録素子１５が設けられおり、４つの吐出口列に対応して４つの記録素子列が設けられている。基板１１の裏面には、吐出口列に沿って延在する液体供給路１８及び液体回収路１９を構成するための溝が設けられており、基板１１と蓋部材２０とによって液体供給路１８及び液体回収路１９が構成されている。

液体供給路１８内を流れる液体（インク）は、供給口１７ａを介して圧力室２３に供給され、記録素子１５が駆動されることで記録素子１５が液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生し、これにより供給された液体が吐出される。また、液体供給路１８内を流れる液体は、供給口１７ａ、圧力室２３、回収口１７ｂを経由して液体回収路１９へ流れる。この液体の流れによって、吐出を行っていない吐出口１３や圧力室２３において、吐出口１３からの蒸発によって生じる増粘インクや、泡や異物等を液体回収路１９へ回収することができる。また、吐出口１３や圧力室２３のインクの増粘を抑制することができる。液体回収路１９に回収された液体は、蓋部材２０の開口２１及び支持部材３０の液体連通口３１（図３（ｂ））を通り、液体接続部１３０（図２（ｂ））を介して記録装置１０００本体の供給経路へと回収される。このように、本実施形態は、記録素子１５を内部に備える圧力室２３と圧力室２３の外部である記録装置１０００本体との間で液体を循環可能な構成となっている。

また、記録素子基板１０の面１１ａは、辺１１０の近傍にこの辺１１０に沿って複数の端子１６が配設された電気接続領域１６ａを備えている。記録素子基板１０において、基板１１のうちの電気接続領域１６ａには吐出口形成部材１２は設けられていない。この端子１６は基板１１に設けられた配線を介して記録素子１５と電気的に接続されている。また、この端子１６はフレキシブル配線基板４０の端子４１と接続されており、このフレキシブル配線基板４０と電気配線基板９０とを介し、記録素子基板１０に設けられた記録素子１５と記録装置１０００本体に設けられた制御回路とが電気的に接続されている。記録素子１５はこの制御回路から入力される信号に基づいて駆動され、発熱して液体を吐出させる。

図４に示すように、吐出口１３が設けられた側から見て、記録素子基板１０の形状は略平行四辺形である。記録素子基板１０（基板１１）の面１１ａを構成する辺１１０の一端における第１の頂点１１１の角度θ１は９０°未満であり、辺１１０の他端における第２の頂点１１２の角度θ２は９０°よりも大きい。また、第１の頂点１１１の対角に位置する第４の頂点１１４の角度θ４は９０°未満であり、第２の頂点１１２の対角に位置する第３の頂点１１３の角度θ３は９０°よりも大きい。すなわち、第１の頂点１１１を含む角と第４の頂点１１４を含む角とは鋭角であり、第２の頂点１１２を含む角と第３の頂点１１３を含む角とは鈍角である。

ここで、第１の頂点１１１と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ１は、第２の頂点１１２と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ２よりも大きい。なお、第１の頂点１１１と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ１とは、第１の頂点１１１と複数の端子１６のうちの第１の頂点１１１の最も近くに配設された第１の端子１６１との距離でもある。また、第２の頂点１１２と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ２とは、第２の頂点１１２と複数の端子１６のうちの第２の頂点１１２の最も近くに配設された第２の端子１６２との距離でもある。このように、辺の一端と他端とで内角が異なる場合、その内角が相対的に小さい側の一端と電気接続領域１６ａとの距離を、内角が相対的に大きい側の他端と電気接続領域１６ａとの距離よりも大きくする。

これにより、辺１１０の両端のうちの、欠けが生じ易い側である第１の頂点１１１から電気接続領域１６ａまでの距離を確保できる。したがって、端子１６やこの端子から延びる配線を第１の頂点１１１の近傍に配置せずに済むため、仮に第１の頂点１１１やその近傍で記録素子基板１０に欠けやひびが生じても、端子１６から延びる配線が断線する恐れを低減することができる。これにより、記録素子基板１０の電気信頼性の低下を抑えることが可能となる。

端子１６の数が多く、電気接続領域１６ａの吐出口列方向の長さが長い場合に、記録素子基板１０の第１の頂点１１１及び第２の頂点１１２と電気接続領域１６ａとの最短距離が短くなってしまう。特に、このような場合において、上述のように第１の頂点１１１と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ１を、第２の頂点１１２と電気接続領域１６ｂとの最短距離Ｔ２よりも大きくすることが効果的である。

また、電気接続領域１６ａを、第２の頂点１１２の対角に位置する第３の頂点１１３を通り辺１１０に直交する仮想線Ｌ１よりも、第２の頂点１１２の側に位置するように設けることが好ましい。すなわち、第１の頂点１１１の最も近くに配置された第１の端子１６１を仮想線Ｌ１よりも矢印Ｘの側に位置させることが好ましい。これにより、第１の頂点１１１と電気接続領域１６ａとを離して配置することができるので、電気的信頼性をより向上させることができる。

なお、本実施形態では、記録素子基板１０（基板１１）の面１１ａは平行四辺形であるが、本発明はこれに限るものではない。記録素子基板１０の面１１ａを構成する辺の一端における頂点の角度が、辺の他端における頂点の角度よりも小さければよく、例えば、台形や多角形などの記録素子基板を用いた場合にも適用することができる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係る吐出モジュール２００について説明する。図６（ａ）に、１つの吐出モジュール２００の斜視図を、図６（ｂ）にその分解図を示す。本実施形態では、記録素子基板１０の吐出口列方向に沿った両辺部（記録素子基板１０の各長辺部）に複数の端子１６がそれぞれ配置され、それに電気接続されるフレキシブル配線基板４０も、１つの記録素子基板１０に対して２枚配置されている。これは記録素子基板１０に設けられる吐出口列数が２０列あり、第１の実施形態よりも大幅に増加しているためである。即ち、端子１６から、吐出口列に対応して設けられる記録素子１５までの最大距離を短く抑制して、記録素子基板１０内の配線部で生じる電圧低下や信号伝送遅れを低減することを目的としている。

次に、本実施形態における記録素子基板１０の構成について説明する。図７は、記録素子基板１０を吐出口１３が設けられる側から見た平面図を示す。記録素子基板１０の吐出口形成部材１２に、２０列の吐出口列が形成されている。上述の実施形態と同様に、吐出口１３が設けられた側から見て、記録素子基板１０の形状は略平行四辺形である。記録素子基板１０（基板１１）の面１１ａを構成する辺１１０の一端における第１の頂点１１１の角度θ１は９０°未満であり、辺１１０の他端における第２の頂点１１２の角度θ２は９０°よりも大きい。また、第１の頂点１１１の対角に位置する第４の頂点１１４の角度θ４は９０°未満であり、第２の頂点１１２の対角に位置する第３の頂点１１３の角度θ３は９０°よりも大きい。

上述したように本実施形態では、記録素子基板１０の面１１ａは、辺１１０の近傍に設けられた電気接続領域１６ａに加え、辺１１０に対向する辺１１５の近傍にも、この辺１１５に沿って複数の端子１６が配設された電気接続領域１６ｂを備えている。ここで、第１の頂点１１１と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ１は、第２の頂点１１２と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ２よりも大きい。また、第４の頂点１１４と電気接続領域１６ｂとの最短距離Ｔ４は、第３の頂点１１３と電気接続領域１６ｂとの最短距離Ｔ３よりも大きい。なお、最短距離Ｔ１とは、第１の頂点１１１と、電気接続領域１６ａに配設された複数の端子１６のうちの、第１の頂点１１１の最も近くに配設された第１の端子１６１と、の距離でもある。また、最短距離Ｔ２とは、第２の頂点１１２と、電気接続領域１６ａに配設された複数の端子１６のうちの、第２の頂点１１２の最も近くに配設された第２の端子１６２と、の距離でもある。また、最短距離Ｔ３とは、第３の頂点１１３と、別の電気接続領域１６ｂに配設された別の複数の端子１６のうちの、第３の頂点１１３の最も近くに配設された第３の端子１６３と、の距離でもある。また、最短距離Ｔ４とは、第４の頂点１１４と、別の電気接続領域１６ｂに配設された別の複数の端子１６のうちの、第４の頂点１１４の最も近くに配設された第４の端子１６４と、の距離でもある。

これにより、電気接続領域１６ａ、１６ｂが設けられた辺１１０と辺１１５の両端のうちの、欠けが生じ易い側である第１の頂点１１１及び第４の頂点１１４から電気接続領域までの距離を確保できる。したがって、端子１６や端子１６から延びる配線を第１の頂点１１１や第４の頂点１１４の近傍に配置せずに済む。そのため、仮に第１の頂点１１１及び第４の頂点１１４や、それらの近傍で記録素子基板１０に欠けやひびが生じても、端子１６から延びる配線が断線する恐れを低減することができる。これにより、記録素子基板１０の電気信頼性の低下を抑えることが可能となる。

また、上述の実施形態と同様に、電気接続領域１６ａを、第２の頂点１１２の対角に位置する第３の頂点１１３を通り辺１１０に直交する仮想線Ｌ１よりも、第２の頂点１１２の側に位置するように設けることが好ましい。すなわち、第１の頂点１１１の最も近くに配置された第１の端子１６１を仮想線Ｌ１よりも第２の頂点１１２の側に位置させることが好ましい。同様に、電気接続領域１６ｂを、第３の頂点１１３の対角に位置する第２の頂点１１２を通り辺１１５に直交する仮想線Ｌ１よりも、第３の頂点１１３の側に位置するように設けることが好ましい。すなわち、第４の頂点１１４の最も近くに配置された第４の端子１６４を仮想線Ｌ２よりも第３の頂点１１３の側に位置させることが好ましい。これにより、第１の頂点１１１と電気接続領域１６ａと、第４の頂点１１４と電気接続領域１６ｂと、を離して配置することができるので、電気的信頼性をより向上させることができる。

なお、複数の電気接続領域１６を有する場合、少なくとも一つの電気接続領域１６において、内角が相対的に小さい側の一端と電気接続領域１６との距離を、内角が相対的に大きい側の他端と電気接続領域１６との距離よりも大きくすればよい。

ところで、図６（ａ）に示すように、吐出モジュール２００において、端子１６はフレキシブル配線基板４０に設けられた端子４１と電気接続され、封止材１２０で覆われている。封止材１２０の硬化収縮や熱膨張の影響により記録素子基板は力を受ける。本実施形態のように、記録素子基板１０の対向する辺１１０、１１５に封止材１２０が配されることにより、封止材１２０の硬化収縮や熱膨張による位置ずれの影響が相殺されて軽減される。

なお、記録素子基板１０の形状が略平行四辺形であると、鋭角側である第１の頂点１１１の近傍では、辺１１０に直交する方向における記録素子基板１０と支持部材３０との接合面積が他の領域と比べて小さいためその接合強度が低い。第４の頂点１１４の近傍も同様である。そのため、互いに対向する辺１１０、１１５に封止材１２０が配されていても、これらの頂点の近傍に封止材１２０が配されていると、封止材１２０の収縮や膨脹に起因する力によって記録素子基板が回転する方向に位置ずれを生じる恐れがある。

ここで、上述のように本実施形態では、第１の頂点１１１と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ１は、第２の頂点１１２と電気接続領域１６ａとの最短距離Ｔ２よりも大きい。また、第４の頂点１１４と電気接続領域１６ｂとの最短距離Ｔ４は、第３の頂点１１３と電気接続領域１６ｂとの最短距離Ｔ３よりも大きい。これに対応して、第１の頂点１１１と、電気接続領域１６ａを覆う封止材１２０との最短距離は、第２の頂点１１２と、電気接続領域１６ａを覆う封止材１２０の最短距離よりも大きくなっている。また、第４の頂点１１４と、電気接続領域１６ｂを覆う封止材１２０との最短距離は、第３の頂点１１３と、電気接続領域１６ｂとの最短距離よりも大きくなっている。これにより、第１の頂点１１１や第４の頂点１１４と封止材１２０とが離れて配置されるので、封止材１２０の収縮や膨脹に伴う記録素子基板１０の位置ずれの発生を抑えることができる。

また、電気接続領域１６ａとこれを覆う封止材１２０とを仮想線Ｌ１よりも第２の頂点１１２の側に位置するように設け、電気接続領域１６ｂとこれを覆う封止材１２０とを仮想線Ｌ２よりも第３の頂点１１３の側に位置するように設けることが好ましい。これにより、封止材１２０の収縮や膨脹の影響を受ける領域が、記録素子基板１０のうちの、辺１１０、辺１１５、仮想線Ｌ１、仮想線Ｌ２で構成される長方形の領域に限定されるためである。

さらに、上述の最短距離Ｔ１と最短距離Ｔ４とを等しくし、最短距離Ｔ２と最短距離Ｔ３とを等しくすることがより好ましい。言い換えると、電気接続領域１６ａと電気接続領域１６ｂとを、記録素子基板１０の面１１ａの重心を中心とした点対称の位置に設けることがより好ましい。これにより、辺１１０の側と辺１１５の側とにおいて略対称に封止材１２０を配置することができるため、封止材１２０の収縮や膨脹の影響を辺１１０の側と辺１１５の側とで揃えることができ、記録素子基板１０の位置ずれの発生を一層抑えることができる。

１０記録素子基板
１１基板
１５記録素子
１６端子
１６ａ電気接続領域
１１０辺
１１１第１の頂点
１１２第２の頂点

Claims

辺と、前記辺の近傍に、前記辺に沿って配設された複数の端子と、を備える面であって、前記辺の一端に位置する第１の頂点における角度が、前記辺の他端に位置する第２の頂点における角度よりも小さい面と、前記端子に電気的に接続され、記録を行うための複数の記録素子と、前記複数の記録素子に対応する液体を吐出するための複数の吐出口が前記辺に沿う方向に配設された吐出口列と、を有する記録素子基板において、
前記第１の頂点と前記複数の端子のうちの前記第１の頂点の最も近くに配設された第１の端子との距離は、前記第２の頂点と前記複数の端子のうちの前記第２の頂点の最も近くに配設された第２の端子との距離よりも大きく、
平面視した際に、前記第１の端子および前記第２の端子は、前記吐出口列の配設方向において前記吐出口列の端部に位置する前記吐出口よりも前記吐出口列の内側に位置することを特徴とする記録素子基板。
前記吐出口列は前記面の側に設けられている、請求項１に記載の記録素子基板。
前記第１の頂点における角度は９０°未満である、請求項１または請求項２に記載の記録素子基板。
前記第２の頂点における角度は９０°よりも大きい、請求項１または請求項３に記載の記録素子基板。
前記面の形状は平行四辺形である、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の記録素子基板。
前記第１の端子は、前記面の前記第２の頂点の対角に位置する第３の頂点を通る仮想線であって、前記辺に直交する前記仮想線よりも、前記第２の頂点の側に位置する、請求項５に記載の記録素子基板。
前記面は、前記辺に対向する辺の近傍に、前記対向する辺に沿って配設された、前記複数の端子とは別の複数の端子と、前記第２の頂点の対角に位置する第３の頂点と、前記第１の頂点の対角に位置する第４の頂点と、を備え、
前記第４の頂点と前記別の複数の端子のうちの前記第４の頂点の最も近くに配設された第４の端子との距離は、前記第３の頂点と前記別の複数の端子のうちの前記第３の頂点の最も近くに配設された第３の端子との距離よりも大きい、請求項５または請求項６に記載の記録素子基板。
前記複数の端子が配設された領域と、前記別の複数の端子が配設された別の領域とは、前記面の重心を中心とした点対称の位置にある、請求項７に記載の記録素子基板。
前記記録素子は発熱素子である、請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の記録素子基板。
請求項１乃至請求項９のいずれか一項に記載の記録素子基板と、
前記端子に電気的に接続される配線を備える配線基板と、
を有する液体吐出ヘッド。
前記端子と前記配線とは、ワイヤーボンディングにより電気的に接続される、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
請求項７または請求項８に記載の記録素子基板と、
前記端子に電気的に接続される第１の配線を備える第１の配線基板と、
前記別の端子に電気的に接続される第２の配線を備える第２の配線基板と、
を有する液体吐出ヘッド。
前記複数の端子を覆う封止材と、前記別の複数の端子を覆う封止材と、を有する、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
前記記録素子基板は前記記録素子を内部に備える圧力室を備え、
前記記録素子は液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生し、
前記圧力室内の液体は当該圧力室の外部との間で循環される、請求項１０乃至請求項１３のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッド。
請求項１０乃至請求項１４のいずれか一項に記載の液体吐出ヘッドを用いて液体を吐出する液体吐出装置。