JP6806149B2 - 気化装置および流体を気化させる方法 - Google Patents
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Description
本開示は、1つ以上の気泡ポンプを利用して流体を1つ以上の流体供給部から別個の気化構造体へ輸送する流体気化構造体に関する。
図11〜図12を参照して、流体供給部12、複数の気泡ポンプ14および気化装置16を有する流体気化装置10Aが示されている。装置10Aは、気泡ポンプ14が流体を所望どおりに流体供給部12から直接に気化装置16上へと輸送するように構成されている。
12,52,72 流体供給部
14,54 気泡ポンプ
16,56 気化装置
18,58 プリント配線基板
20 カバー基板
22 供給入口
30,74 入口
32 底部基板
34 流れ配列抵抗ヒーター
36 出口
38 流路
Claims (11)
- 気化装置であって、
気化可能な流体を有する流体供給部と、
前記流体供給部からの流体を受け取るための前記流体供給部に流体連通している入口と、流体流路と、前記流体流路内に位置し且つ電圧パルスが印加される抵抗ヒーターと、出口と、を有する気泡ポンプであって、前記流体供給部から前記気泡ポンプの前記出口へと流体を圧送するように作動する気泡ポンプと、
前記気泡ポンプの前記出口の隣に位置する流体気化ヒーターであって、前記気泡ポンプの前記出口からの流体を受け取るため、および受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるための、被加熱流体接触面を有する流体気化ヒーターと、を備え、
前記気泡ポンプと前記流体気化ヒーターとは、共通の基板上に作製されている
気化装置。 - 気化装置であって、
気化可能な流体を有する流体供給部と、
前記流体供給部からの流体を受け取るための前記流体供給部に流体連通している入口と、流体流路と、前記流体流路内に位置し且つ電圧パルスが印加される抵抗ヒーターと、出口と、を有する気泡ポンプであって、前記流体供給部から前記気泡ポンプの前記出口へと流体を圧送するように作動する気泡ポンプと、
前記気泡ポンプの前記出口の隣に位置する流体気化ヒーターであって、前記気泡ポンプの前記出口からの流体を受け取るため、および受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるための、被加熱流体接触面を有する流体気化ヒーターと、を備え、
前記気泡ポンプと前記流体気化ヒーターとは、異なる基板上に作製されている
気化装置。 - 前記流体供給部は、前記気泡ポンプの上に鉛直に位置している
請求項1または2に記載の気化装置。 - 気化装置であって、
気化可能な流体を有する流体供給部と、
前記流体供給部からの流体を受け取るための前記流体供給部に流体連通している入口と、流体流路と、前記流体流路内に位置し且つ電圧パルスが印加される抵抗ヒーターと、出口と、を有する気泡ポンプであって、前記流体供給部から前記気泡ポンプの前記出口へと流体を圧送するように作動する気泡ポンプと、
前記気泡ポンプの前記出口の隣に位置する流体気化ヒーターであって、前記気泡ポンプの前記出口からの流体を受け取るため、および受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるための、被加熱流体接触面を有する流体気化ヒーターと、を備え、
前記流体供給部、前記気泡ポンプおよび前記流体気化ヒーターは、プリント配線基板上に組み込まれている
気化装置。 - 前記流体供給部は、前記プリント配線基板の前記流体気化ヒーターとは反対側の端部に位置する入口を有する
請求項4に記載の気化装置。 - 気化装置であって、
気化可能な流体を有する流体供給部と、
前記流体供給部から出口へと流体を圧送するように作動する気泡ポンプと、
前記気泡ポンプの前記出口の隣に位置して前記気泡ポンプからの流体を受け取る流体気化ヒーターと、を備え、
前記流体気化ヒーターは、受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるように作動し、
前記気泡ポンプと前記流体気化ヒーターとは、同じ基板上に作製されている
気化装置。 - 気化装置であって、
気化可能な流体を有する流体供給部と、
前記流体供給部から出口へと流体を圧送するように作動する気泡ポンプと、
前記気泡ポンプの前記出口の隣に位置して前記気泡ポンプからの流体を受け取る流体気化ヒーターと、を備え、
前記流体気化ヒーターは、受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるように作動し、
前記気泡ポンプと前記流体気化ヒーターとが異なる基板上に作製されている
気化装置。 - 前記流体供給部は、前記気泡ポンプの上に鉛直に位置している
請求項6または7に記載の気化装置。 - 気化装置であって、
気化可能な流体を有する流体供給部と、
前記流体供給部から出口へと流体を圧送するように作動する気泡ポンプと、
前記気泡ポンプの前記出口の隣に位置して前記気泡ポンプからの流体を受け取る流体気化ヒーターと、を備え、
前記流体気化ヒーターは、受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるように作動し、
前記流体供給部、前記気泡ポンプおよび前記流体気化ヒーターは、プリント配線基板上に組み込まれている
気化装置。 - 前記流体供給部は、前記プリント配線基板の前記流体気化ヒーターとは反対側の端部に位置する入口を有する
請求項9に記載の気化装置。 - 流体を気化させる方法であって、
気化可能な流体を有する流体供給部を提供するステップと、
前記流体供給部に流体連通している気泡ポンプを提供し、前記流体供給部から前記気泡ポンプの出口へと流体を圧送するように前記気泡ポンプを作動させるステップと、
前記気泡ポンプからの流体を受け取るために前記気泡ポンプの前記出口の隣に前記気泡ポンプと同じ基板上に作製された流体気化ヒーターを提供し、前記流体気化ヒーターを作動させて、受け取った流体を加熱しかつ前記加熱により気化させるステップと、を含む
方法。
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