JP6805200B2 - 移動制御装置、移動制御方法および移動制御プログラム - Google Patents
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Description
本発明は、前記課題に鑑みてなされたもので、誤差の再現性を高める技術の提供を目的とする。
(1)移動制御装置の構成:
(2)X線検査処理:
(3)他の実施形態:
図1は本発明の一実施形態にかかる移動制御装置を含む検査装置の概略ブロック図である。検査装置は、X線撮影機構部10と制御部20とを備えている。X線撮影機構部10は、X線発生器11とX線検出器12と平面移動機構13とを備えている。X線撮影機構部10は、平面移動機構13上の基板PとX線発生器11とX線検出器12とが所定の相対位置関係となった状態で、X線発生器11によって基板PにX線を照射させる。
図4は、X線検査処理を示すフローチャートである。検査装置は、半田バンプSの検査を行うために図4に示すX線検査処理を実行する。X線検査処理が開始されると、CPU27は、第1移動制御部27aの機能により、ベクトルの成分を取得する(ステップS100)。すなわち、中継座標から見た目標座標に延びるベクトルのX方向およびY方向の成分ΔXおよびΔYは既定値であり、メモリ26等に記録されている。CPU27は、メモリ26等を参照して当該ベクトルの成分ΔXおよびΔYを取得する。なお、図3に示す例であれば、ΔXおよびΔYは負の同一値である。
Xk=FODα×sinα×cosθk
Yk=FODα×sinα×sinθk
とし、目標座標Dk(Xk,Yk)を取得する。
X'k=Xk−ΔX
Y'k=Yk−ΔY
とし、中継座標Rk(X'k,Y'k)を取得する。
以上の実施形態は本発明を実施するための一例であり、移動対象を中継座標に移動させた後に目標座標に移動させる限りにおいて、他にも種々の実施形態を採用可能である。例えば、移動制御装置は、図1に示すX線検査装置以外の装置に備えられていても良い。移動制御装置は、移動対象をX軸に平行なX方向とX軸に垂直なY方向とに移動させる平面移動機構を制御することができればよい。従って、上述の実施形態のように、平面移動機構に対して撮影機構制御部を介して間接的に接続されたCPU等によって構成されても良いし、平面移動機構に直接的に接続されたコントローラー等によって構成されても良く、種々の構成を採用可能である。
Claims (4)
- X線画像の再構成画像による検査対象を移動対象とし、前記移動対象をX軸に平行なX方向と前記X軸に垂直なY方向とに移動させる平面移動機構を制御する移動制御装置であって、
中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記X方向および前記Y方向の成分が非0の既定値であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第1移動制御部と、
前記移動対象を前記中継座標から前記目標座標まで前記ベクトルに沿って移動させる第2移動制御部と、を備え、
前記目標座標は同一の前記検査対象を複数の撮影位置のそれぞれで撮影する際に前記検査対象が配置される複数個の座標であり、複数の前記目標座標のそれぞれに対応する前記中継座標が存在し、
複数の前記目標座標の全てにおいて前記ベクトルが同一であり、かつ、全ての前記ベクトルにおいて前記X方向の成分が同一であり、全ての前記ベクトルにおいて前記Y方向の成分が同一であり、
前記平面移動機構において、前記X方向への移動機構の部品間にはバックラッシュが設けられており、前記ベクトルにおける前記X方向の成分である既定値は、バックラッシュの量よりも一桁以上大きく、
前記平面移動機構において、前記Y方向への移動機構の部品間にはバックラッシュが設けられており、前記ベクトルにおける前記Y方向の成分である既定値は、バックラッシュの量よりも一桁以上大きい、
移動制御装置。 - 前記平面移動機構は、
前記X方向に移動するXテーブルと、
前記Xテーブルにおける前記Y方向の一方の端部に対して前記X方向に向けた力を作用させ、他方の端部に対して力を作用させない状態で前記Xテーブルを前記X方向に移動させるX方向駆動部と、
前記Y方向に移動するYテーブルと、
前記Yテーブルにおける前記X方向の一方の端部に対して前記Y方向に向けた力を作用させ、他方の端部に対して力を作用させない状態で前記Yテーブルを前記Y方向に移動させるY方向駆動部と、を備える、
請求項1に記載の移動制御装置。 - X線画像の再構成画像による検査対象を移動対象とし、前記移動対象をX軸に平行なX方向と前記X軸に垂直なY方向とに移動させる平面移動機構を制御する移動制御方法であって、
中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記X方向および前記Y方向の成分が非0の既定値であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第1移動制御工程と、
前記移動対象を前記中継座標から前記目標座標まで前記ベクトルに沿って移動させる第2移動制御工程と、を含み、
前記目標座標は同一の前記検査対象を複数の撮影位置のそれぞれで撮影する際に前記検査対象が配置される複数個の座標であり、複数の前記目標座標のそれぞれに対応する前記中継座標が存在し、
複数の前記目標座標の全てにおいて前記ベクトルが同一であり、かつ、全ての前記ベクトルにおいて前記X方向の成分が同一であり、全ての前記ベクトルにおいて前記Y方向の成分が同一であり、
前記平面移動機構において、前記X方向への移動機構の部品間にはバックラッシュが設けられており、前記ベクトルにおける前記X方向の成分である既定値は、バックラッシュの量よりも一桁以上大きく、
前記平面移動機構において、前記Y方向への移動機構の部品間にはバックラッシュが設けられており、前記ベクトルにおける前記Y方向の成分である既定値は、バックラッシュの量よりも一桁以上大きい、
移動制御方法。 - X線画像の再構成画像による検査対象を移動対象とし、前記移動対象をX軸に平行なX方向と前記X軸に垂直なY方向とに移動させる平面移動機構を制御するコンピュータを、
中継座標から目標座標まで延びるベクトルにおける前記X方向および前記Y方向の成分が非0の既定値であるように設定された前記中継座標に前記移動対象を移動させる第1移動制御部、
前記移動対象を前記中継座標から前記目標座標まで前記ベクトルに沿って移動させる第2移動制御部、として機能させ、
前記目標座標は同一の前記検査対象を複数の撮影位置のそれぞれで撮影する際に前記検査対象が配置される複数個の座標であり、複数の前記目標座標のそれぞれに対応する前記中継座標が存在し、
複数の前記目標座標の全てにおいて前記ベクトルが同一であり、かつ、全ての前記ベクトルにおいて前記X方向の成分が同一であり、全ての前記ベクトルにおいて前記Y方向の成分が同一であり、
前記平面移動機構において、前記X方向への移動機構の部品間にはバックラッシュが設けられており、前記ベクトルにおける前記X方向の成分である既定値は、バックラッシュの量よりも一桁以上大きく、
前記平面移動機構において、前記Y方向への移動機構の部品間にはバックラッシュが設けられており、前記ベクトルにおける前記Y方向の成分である既定値は、バックラッシュの量よりも一桁以上大きい、
移動制御プログラム。
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