JP6803780B2 - Base film - Google Patents

Base film Download PDF

Info

Publication number
JP6803780B2
JP6803780B2 JP2017059551A JP2017059551A JP6803780B2 JP 6803780 B2 JP6803780 B2 JP 6803780B2 JP 2017059551 A JP2017059551 A JP 2017059551A JP 2017059551 A JP2017059551 A JP 2017059551A JP 6803780 B2 JP6803780 B2 JP 6803780B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
resin
base material
layer
material layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017059551A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2018163950A (en
Inventor
貴司 権田
貴司 権田
田中 清文
清文 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Polymer Co Ltd filed Critical Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority to JP2017059551A priority Critical patent/JP6803780B2/en
Publication of JP2018163950A publication Critical patent/JP2018163950A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6803780B2 publication Critical patent/JP6803780B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

本発明は、フィルムキャパシタの誘電体となる基材フィルムに関するものである。 The present invention relates to a base film which is a dielectric material of a film capacitor.

ここ数年、地球環境問題等に起因してハイブリッド車(HEV)やプラグインハイブリッド車(PHEV)の電動機駆動併用車、あるいは電気自動車(EV)や燃料電池自動車(FCV)の電動機駆動車の市場が拡大して来ているが、これら電動機駆動併用車や電動機駆動車の市場拡大に伴い、これらの車に使用されるフィルムキャパシタの需要も急速に増大して来ている。 In recent years, due to global environmental problems, the market for electric motor-driven vehicles such as hybrid electric vehicles (HEV) and plug-in hybrid electric vehicles (PHEV), or electric motor-driven vehicles such as electric vehicles (EV) and fuel cell vehicles (FCV). However, with the expansion of the market for these electric motor-driven hybrid electric vehicles and electric motor-driven vehicles, the demand for film capacitors used in these vehicles is also increasing rapidly.

フィルムキャパシタは、樹脂製の基材フィルムを誘電体とするキャパシタであり、優れた周波数特性や温度安定性を得ることができる。このフィルムキャパシタの基材フィルムとしては、ポリプロピレン(PP)樹脂フィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂フィルムやポリエチレンナフタレート(PEN)樹脂フィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリフェニレンサルファイド(PPS)樹脂フィルム等の熱可塑性樹脂フィルム、あるいは非晶性の熱可塑性樹脂であるポリエーテルイミド(PEI)樹脂フィルムがあげられる。 The film capacitor is a capacitor using a resin base film as a dielectric, and can obtain excellent frequency characteristics and temperature stability. Examples of the base film of this film capacitor include polypropylene (PP) resin film, polyethylene resin film such as polyethylene terephthalate (PET) resin film and polyethylene naphthalate (PEN) resin film, and thermoplasticity such as polyphenylene sulfide (PPS) resin film. Examples thereof include a resin film and a polyetherimide (PEI) resin film which is an amorphous thermoplastic resin.

これらのフィルムの中では、ポリエーテルイミド樹脂フィルムが基材フィルムとして注目されている(特許文献1参照)。これは、フィルムキャパシタが電動機駆動併用車や電動機駆動車の用途に利用される場合、120℃の耐熱性が要求されるが、ガラス転移点温度(Tgとも言う)が200℃以上のポリエーテルイミド樹脂製の基材フィルムを使用すれば、優れた耐熱性、耐電圧特性や誘電特性等の電気的特性を得ることができるからである。 Among these films, a polyetherimide resin film is attracting attention as a base film (see Patent Document 1). This is because when a film capacitor is used in an electric motor-driven vehicle or an electric motor-driven vehicle, heat resistance of 120 ° C. is required, but a polyetherimide having a glass transition temperature (also called Tg) of 200 ° C. or higher is required. This is because if a resin-made base film is used, excellent electrical characteristics such as heat resistance, withstand voltage characteristics, and dielectric characteristics can be obtained.

ところで、フィルムキャパシタ用の基材フィルムは、一般的にフィルムの厚さが1〜10μmと非常に薄いので、ピンホール、クラック、ひび割れ等の損傷部が発生しやすくなる。このような損傷部が基材フィルムに生じると、基材フィルムの絶縁破壊電圧が低下し、耐電圧特性が失われてしまうこととなる。また、フィルムキャパシタの製造工程で基材フィルムに破断や裂けが生じ、トラブルを招くこととなる。さらに、フィルムキャパシタの製造に際しては、基材フィルムに金属を蒸着させ、電極を形成するが、この工程で金属の蒸着性に不具合が発生するおそれがある。 By the way, since the base film for a film capacitor generally has a very thin film thickness of 1 to 10 μm, damaged portions such as pinholes, cracks, and cracks are likely to occur. When such a damaged portion occurs in the base film, the dielectric breakdown voltage of the base film is lowered, and the withstand voltage characteristic is lost. In addition, the base film is broken or torn in the process of manufacturing the film capacitor, which causes troubles. Further, in the production of a film capacitor, a metal is vapor-deposited on a base film to form an electrode, but this step may cause a problem in the metal vapor deposition property.

係る点に鑑み、従来においては、ピンホール、クラック、ひび割れ等を防止し、しかも、滑り性を改良するため、共押出法による多層フィルムが開発され、提案されている(特許文献2)。 In view of this point, conventionally, in order to prevent pinholes, cracks, cracks, etc., and to improve slipperiness, a multilayer film by a coextrusion method has been developed and proposed (Patent Document 2).

特開2007‐300126号公報JP-A-2007-300126 特開2015‐066910号公報JP-A-2015-066910

しかしながら、多層フィルムは、ピンホール、クラック、ひび割れ等の発生防止には有効であるものの、製造設備が大掛かりとなり、しかも、設備の制御が煩雑化するので、得られるフィルムがコスト高になるという問題が新たに生じる。さらに、多層フィルムの成形中、あるいはフィルムキャパシタの製造中にフィルムが層間剥離してしまうおそれもある。 However, although the multilayer film is effective in preventing the occurrence of pinholes, cracks, cracks, etc., there is a problem that the manufacturing equipment becomes large and the control of the equipment becomes complicated, so that the obtained film becomes expensive. Is newly generated. Further, the film may be delaminated during molding of the multilayer film or during the production of the film capacitor.

本発明は上記に鑑みなされたもので、耐電圧特性等の低下を抑制し、大規模な製造設備や制御を省くことができ、しかも、フィルムの層間剥離を防ぐことのできる安価な基材フィルムを提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of the above, and is an inexpensive base film capable of suppressing deterioration of withstand voltage characteristics, omitting large-scale manufacturing equipment and control, and preventing delamination of the film. Is intended to provide.

本発明者は、上記課題を解決するため、鋭意研究した結果、ポリパラキシリレン系樹脂の優れた滑り性、ガスバリヤー性、耐熱性、耐薬品性等の特性、誘電特性や耐電圧特性等の優れた電気的特性、及び隙間浸透性と層間浸透性に着目し、本発明を完成させた。すなわち、本発明においては上記課題を解決するため、フィルムキャパシタの誘電体となるものであって、
熱可塑性樹脂含有の成形材料により成形される基材層と、この基材層に積層されるポリパラキシリレン系樹脂層と、このポリパラキシリレン系樹脂層に積層されるアルミニウム層とを含み、
基材層の厚さが、1.0〜10μmとされるとともに、基材層とポリパラキシリレン系樹脂層との積層厚の50%以上とされ、この基材層のポリパラキシリレン系樹脂層側の片面に、微細な複数の凹凸部が形成されており、この複数の凹凸部の算術平均粗さ(Ra)がJIS B0601−2001に準じて測定された場合に0.03〜0.50μmの範囲内であり、ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さが0.1〜5μmであることを特徴としている。
As a result of diligent research to solve the above problems, the present inventor has excellent slipperiness, gas barrier property, heat resistance, chemical resistance, etc., dielectric property, withstand voltage property, etc. of the polyparaxylylene resin. The present invention was completed by paying attention to the excellent electrical characteristics of the above, and the interstitial permeability and interlayer permeability. That is, in the present invention, in order to solve the above problems, it is a dielectric material of a film capacitor.
Includes a base material layer molded from a molding material containing a thermoplastic resin, a polyparaxylylene-based resin layer laminated on the base material layer, and an aluminum layer laminated on the polyparaxylylene-based resin layer. ,
The thickness of the base material layer is 1.0 to 10 μm, and 50% or more of the laminated thickness of the base material layer and the polyparaxylylene-based resin layer. A plurality of fine uneven portions are formed on one side of the resin layer side, and 0.03 to 0 when the arithmetic mean roughness (Ra) of the plurality of uneven portions is measured according to JIS B0601-2001. It is within the range of .50 μm, and the thickness of the polyparaxylylene-based resin layer is 0.1 to 5 μm.

なお、アルミニウム層の表面抵抗値が0.1〜10Ω/□の範囲であることが好ましい。The surface resistance value of the aluminum layer is preferably in the range of 0.1 to 10 Ω / □.

ここで、特許請求の範囲における基材層とポリパラキシリレン系樹脂層との間には、接着性に資するプライマー層を介在させることができる。基材層は、単層あるいは2層以上の複層でも良い。また、ポリパラキシリレン系樹脂層は、基材層の両面あるいは片面に積層することができる。 Here, a primer layer that contributes to adhesiveness can be interposed between the base material layer and the polyparaxylylene-based resin layer in the claims. The base material layer may be a single layer or a plurality of layers of two or more layers . Further, the polyparaxylylene-based resin layer can be laminated on both sides or one side of the base material layer.

本発明によれば、基材層に、隙間浸透性や層間浸透性に優れるポリパラキシリレン系樹脂層を積層形成することにより、基材層のピンホール、クラック、ひび割れ等の損傷部を補修するので、キャパシタ用の基材フィルムの耐電圧特性が低下するのを抑制することができる。 According to the present invention, a polyparaxylylene-based resin layer having excellent crevice permeability and interlayer permeability is laminated on the substrate layer to repair damaged portions such as pinholes, cracks, and cracks in the substrate layer. Therefore, it is possible to suppress the deterioration of the withstand voltage characteristic of the base film for the capacitor.

本発明によれば、基材フィルムの耐電圧特性等の低下を抑制し、大規模な製造設備や制御を省くことができる他、フィルムの層間剥離を防ぎ、基材フィルムを安価に提供することができるという効果がある。また、基材層の厚さが1.0〜10μmで、かつ基材層とポリパラキシリレン系樹脂層との積層厚の50%以上なので、基材層の引張強度の低下を抑制し、基材層を容易に製造することができる。また、基材層の特性を維持し、基材フィルムの機械的特性の低下を防止することができるとともに、フィルムキャパシタの製造中に基材フィルムに裂けや破断等が生じるのを防ぐことができ、フィルムキャパシタの特性低下の防止が期待できる。
また、基材層のポリパラキシリレン系樹脂層側の片面に、基材層の滑り性を向上させる微細な複数の凹凸部が形成され、この複数の凹凸部の算術平均粗さ(Ra)がJIS B0601−2001に準じて測定された場合に0.03〜0.50μmの範囲内なので、基材層の強度低下や成形時の破断を招くことなく、目的とする滑り性を得ることができる。また、ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さが0.1〜5μmの範囲なので、耐電圧の欠点防止効果に優れ、ポリパラキシリレン系樹脂層を薄膜に短時間で形成し、優れた生産性を得ることが可能になる。また、フィルムキャパシタの製造中にポリパラキシリレン系樹脂層にクラックが発生したり、剥離するおそれを排除することが可能になる。さらに、アルミニウム層の採用により、生産性の向上が期待できる。
According to the present invention, it is possible to suppress deterioration of the withstand voltage characteristics of the base film, omit large-scale manufacturing equipment and control , prevent delamination of the film, and provide the base film at low cost. It has the effect of being able to. Further, since the thickness of the base material layer is 1.0 to 10 μm and 50% or more of the laminated thickness of the base material layer and the polyparaxylylene resin layer, a decrease in the tensile strength of the base material layer is suppressed. The base material layer can be easily produced. In addition, it is possible to maintain the characteristics of the base material layer, prevent deterioration of the mechanical properties of the base material film, and prevent the base film from being torn or broken during the production of the film capacitor. , It can be expected to prevent deterioration of the characteristics of the film capacitor.
Further, on one side of the base material layer on the polyparaxylylene-based resin layer side, a plurality of fine uneven portions for improving the slipperiness of the base material layer are formed, and the arithmetic mean roughness (Ra) of the plurality of uneven portions is formed. Is within the range of 0.03 to 0.50 μm when measured according to JIS B0601-2001, so that the desired slipperiness can be obtained without causing a decrease in the strength of the base material layer or breakage during molding. it can. In addition, since the thickness of the polyparaxylylene-based resin layer is in the range of 0.1 to 5 μm, it is excellent in preventing defects in withstand voltage, and the polyparaxylylene-based resin layer is formed on a thin film in a short time, resulting in excellent production. It becomes possible to obtain sex. Further, it is possible to eliminate the possibility that the polyparaxylylene-based resin layer is cracked or peeled off during the production of the film capacitor. Furthermore, the adoption of an aluminum layer can be expected to improve productivity.

請求項2記載の発明によれば、アルミニウム層の表面抵抗値が0.1〜10Ω/□の範囲なので、自己修復性の低下を防ぎ、誘電正接悪化のおそれを排除することが可能になる。 According to the invention of claim 2, since the surface resistance value of the aluminum layer is in the range of 0.1 to 10 Ω / □, it is possible to prevent a decrease in self-healing property and eliminate the possibility of deterioration of dielectric loss tangent.

本発明に係る基材フィルムの実施形態を模式的に示す断面説明図である。It is sectional drawing which shows typically the embodiment of the base film which concerns on this invention. 本発明に係る基材フィルムの第2の実施形態を模式的に示す断面説明図である。It is sectional drawing which shows typically the 2nd Embodiment of the base film which concerns on this invention. 本発明に係る基材フィルムの第3の実施形態を模式的に示す断面説明図である。It is sectional drawing which shows typically the 3rd Embodiment of the base film which concerns on this invention.

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基材フィルム1は、図1に示すように、成形材料により成形される基材層2と、この基材層2に積層されて優れた保護特性を発揮するポリパラキシリレン系樹脂層3と、このポリパラキシリレン系樹脂層3に積層される金属層4とを3層構造に備え、120℃以上の耐熱性が要求されるフィルムキャパシタの誘電体として利用される。 Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the base film 1 in the present embodiment includes a base layer 2 molded from a molding material and this base material. A polyparaxylylene-based resin layer 3 laminated on the layer 2 and exhibiting excellent protective properties and a metal layer 4 laminated on the polyparaxylylene-based resin layer 3 are provided in a three-layer structure at 120 ° C. or higher. It is used as a dielectric material for film capacitors that require heat resistance.

成形材料は、少なくとも熱可塑性樹脂を含有し、基材層2を成形する。この成形材料の熱可塑性樹脂としては、例えばポリエチレン(PE)樹脂、ポリプロピレン(PP)樹脂、ポリスチレン(PS)樹脂、ポリメチルペンテン(PNP)樹脂、環状オレフィン(COP)樹脂、及び環状オレフィン・コポリマー(COC)樹脂等のポリオレフィン樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、ポリブチレンテレフタレート(PBT)樹脂、及びポリエチレンナレフタレート(PEN)樹脂等のポリエステル樹脂、ポリアミド6(PA6)樹脂、ポリアミド66(PA66)樹脂、ポリアミド46(PA46)樹脂、ポリアミド4T(PA4T)樹脂、ポリアミド6T(PA6T)樹脂、変性ポリアミド6T(変性PA6T)樹脂、ポリアミド9T(PA9T)樹脂、ポリアミド10T(PA10T)樹脂、及びポリアミド11T(PA11T)樹脂等のポリアミド樹脂、ポリサルホン(PSU)樹脂、ポリエーテルサルホン(PES)樹脂、及びポリフェニルサルホン(PPSU)樹脂等のポリサルホン樹脂、ポリフェニレンスルフィド(PPS)樹脂、ポリフェニレンスルフィドケトン樹脂、ポリフェニレンスルフィドスルホン樹脂、ポリフェニレンスルフィドケトンスルホン樹脂等のポリアリーレンサルファイド樹脂、ポリイミド(PI)樹脂、ポリエーテルイミド(PEI)樹脂、及びポリアミドイミド(PAI)樹脂等のポリイミド(PI)樹脂、ポリエーテルケトン(PEK)樹脂、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂、ポリエーテルエーテルケトンケトン(PEEKK)樹脂、ポリエーテルケトンエーテルケトンケトン(PEKEKK)樹脂等のポリアリールエーテルケトン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂(四フッ化エチレン樹脂ともいう)、ポリテトラフルオロエチレン‐パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体(PFA)樹脂(四フッ化エチレン‐パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体樹脂ともいう)、テトラフルオロエチレン‐ヘキサフルオロプロピレン共重合体(FEP)樹脂(四フッ化エチレン‐六フッ化プロピレン共重合体樹脂ともいう)、テトラフルオロエチレン‐エチレン共重合体(ETFE)樹脂(四フッ化エチレン‐エチレン共重合体樹脂ともいう)、ポリクロロトリフルオロエチレン(PCTFE)樹脂(三フッ化塩化エチレン樹脂ともいう)、ポリビニリデンフルオライド(PVDE)樹脂(フッ化ビニリデン樹脂ともいう)、フッ化ビニリデン・テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロピレン共重合体樹脂等のフッ素樹脂、ポリアセタール樹脂、液晶ポリマー(LCP)樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリアリレート(PAR)樹脂等があげられる。 The molding material contains at least a thermoplastic resin and molds the base material layer 2. Examples of the thermoplastic resin of this molding material include polyethylene (PE) resin, polypropylene (PP) resin, polystyrene (PS) resin, polymethylpentene (PNP) resin, cyclic olefin (COP) resin, and cyclic olefin copolymer (cyclic olefin copolymer). Polyetherketone resin such as COC) resin, polyethylene terephthalate (PET) resin, polybutylene terephthalate (PBT) resin, polyester resin such as polyethylene naleppelate (PEN) resin, polyamide 6 (PA6) resin, polyamide 66 (PA66) resin, Polyamide 46 (PA46) resin, polyamide 4T (PA4T) resin, polyamide 6T (PA6T) resin, modified polyamide 6T (modified PA6T) resin, polyamide 9T (PA9T) resin, polyamide 10T (PA10T) resin, and polyamide 11T (PA11T) Polyamide resin such as resin, polysalphon (PSU) resin, polyethersalphon (PES) resin, polysalphon resin such as polyphenylsulphon (PPSU) resin, polyphenylene sulfide (PPS) resin, polyphenylene sulfide ketone resin, polyphenylene sulfide sulfone Polyetherene sulfide resin such as resin, polyphenylene sulfide ketone sulfone resin, polyimide (PI) resin, polyetherimide (PEI) resin, and polyimide (PI) resin such as polyamideimide (PAI) resin, polyetherketone (PEK) resin. , Polyetheretherketone (PEEK) resin, polyetherketoneketone (PEKK) resin, polyetheretherketoneketone (PEEKK) resin, polyetherketone etherketoneketone (PEKEKK) resin, and other polyaryletherketone resins, polytetrafluoro Ethylene (PTFE) resin (also called tetrafluoroethylene resin), polytetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer (PFA) resin (also called tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether copolymer resin), tetra Fluoroethylene-hexafluoropropylene copolymer (FEP) resin (also called tetrafluoroethylene-hexfluoropropylene copolymer resin), tetrafluoroethylene-ethylene copolymer (ETFE) resin (tetrafluoroethylene-ethylene) Copolymer resin), polychlorotrifluoroethylene (PCTFE) resin (also called trifluorochloride ethylene resin), polybi Fluororesin such as nilidene fluoride (PVDE) resin (also called vinylidene fluoride resin), vinylidene fluoride, tetrafluoroethylene, hexafluoropyrene copolymer resin, polyacetal resin, liquid crystal polymer (LCP) resin, polycarbonate (PC) ) Resin, polyarylate (PAR) resin and the like.

これらの中では、120℃の耐熱性に優れるポリエーテルイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリメチルペンテン樹脂の採用が好ましい。これらの熱可塑性樹脂は、変性体、誘導体、及び他の化合物との共重合体をも使用することができる。また、単独で使用しても良いし、2種類以上を混合して使用することもできる。 Among these, it is preferable to use a polyetherimide resin, a polycarbonate resin, or a polymethylpentene resin having excellent heat resistance at 120 ° C. As these thermoplastic resins, modified products, derivatives, and copolymers with other compounds can also be used. Further, it may be used alone, or two or more types may be mixed and used.

成形材料には、熱可塑性樹脂の他、本発明の特性を損なわない範囲で、酸化防止剤、光安定剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、架橋剤、難燃剤、帯電防止剤、耐熱向上剤、着色剤、スリップ剤、ブロッキング防止剤、無機化合物、有機化合物等が選択的に添加される。 Molding materials include thermoplastic resins, antioxidants, light stabilizers, UV absorbers, plasticizers, lubricants, cross-linking agents, flame retardants, antistatic agents, and heat resistance improvement as long as the characteristics of the present invention are not impaired. Agents, colorants, slip agents, antiblocking agents, inorganic compounds, organic compounds and the like are selectively added.

基材層2は、成形材料により所定の成形法で薄い熱可塑性樹脂フィルムに成形され、冷却後の厚さが1.0〜10μmの範囲とされる。所定の成形法としては、特に限定されるものではないが、例えばTダイス成形法やインフレーション成形法等の溶融押出成形法、溶液流延法、カレンダ成形法等があげられる。これらの中では、作業性、成形安定性、薄肉フィルムの成形性、及びフィルム厚精度の観点から、Tダイス成形法が好適である。 The base material layer 2 is molded into a thin thermoplastic resin film by a predetermined molding method using a molding material, and the thickness after cooling is in the range of 1.0 to 10 μm. The predetermined molding method is not particularly limited, and examples thereof include a melt extrusion molding method such as a T-die molding method and an inflation molding method, a solution casting method, and a calendar molding method. Among these, the T-die molding method is preferable from the viewpoints of workability, molding stability, moldability of a thin film, and film thickness accuracy.

基材層2のフィルムは、無延伸フィルム、一軸延伸フィルム、あるいは二軸延伸フィルムのいずれの形態でも良い。また、基材層2の厚さは、1.0〜10μm、好ましくは2〜9.1μm、より好ましくは3〜6μmが良い。これは、基材層2の厚さが1μm未満の場合には、基材層2の引張強度が著しく低下し、基材層2の製造が困難になるからである。 The film of the base material layer 2 may be in any form of a non-stretched film, a uniaxially stretched film, or a biaxially stretched film. The thickness of the base material layer 2 is preferably 1.0 to 10 μm, preferably 2 to 9.1 μm, and more preferably 3 to 6 μm. This is because when the thickness of the base material layer 2 is less than 1 μm, the tensile strength of the base material layer 2 is significantly reduced, which makes it difficult to manufacture the base material layer 2.

基材層2の表裏両面のうち、少なくともいずれか一方の片面には、基材フィルム1や基材層2の滑り性を向上させるため、微細な複数の凹凸部が形成されることが好ましい。この微細な複数の凹凸部の形成方法としては、(1)微細な凹凸を備えたシリコーンゴムやフッ素ゴム等のゴムからなる圧着ロールと微細な凹凸を備えた金属ロールとの間に基材層2を挟持する方法、(2)一軸延伸、二軸延伸等の延伸処理により、樹脂の結晶形態を変化させる方法、(3)基材層2に微小なジルコニア、ガラス、ステンレス等の無機化合物、ポリカーボネート樹脂、ポリアミド樹脂、あるいは植物の種等の有機化合物を吹き付けて形成する方法、(4)微細な凹凸を備えた金型で基材層2をプレス成形する方法があげられる。 It is preferable that a plurality of fine uneven portions are formed on at least one of the front and back surfaces of the base material layer 2 in order to improve the slipperiness of the base film 1 and the base material layer 2. As a method for forming the plurality of fine irregularities, (1) a base material layer is formed between a pressure-bonding roll made of rubber such as silicone rubber or fluororubber having fine irregularities and a metal roll having fine irregularities. A method of sandwiching 2; (2) a method of changing the crystal morphology of the resin by stretching treatment such as uniaxial stretching or biaxial stretching, (3) an inorganic compound such as fine zirconia, glass, or stainless steel in the base material layer 2. Examples thereof include a method of spraying an organic compound such as a polycarbonate resin, a polyamide resin, or a plant seed, and (4) a method of press-molding the base material layer 2 with a mold having fine irregularities.

これらの方法の中では、設備の簡略化、凹凸部のサイズの精度、凹凸部の形成の均一化や容易化、凹凸部の連続形成を可能にする観点から、(1)又は(2)の方法が最適である。凹凸部は、必要に応じて規則的あるいは不規則に配列されたり、千鳥形等に配列形成される。また、凹凸部は、算術平均粗さ(Ra)で0.03〜0.50μm、好ましくは0.08〜0.30μmが好適である。これは、算術平均粗さ(Ra)が0.03μm未満の場合には、目的とする滑り性が得られないからである。これに対し、算術平均粗さ(Ra)が0.50μmを越える場合には、基材層2の強度が低下し、成形中に破断を招くおそれがあるからである。 Among these methods, from the viewpoints of simplifying the equipment, accuracy of the size of the uneven portion, making and facilitating the formation of the uneven portion, and continuously forming the uneven portion, the method (1) or (2) The method is optimal. The uneven portions are arranged regularly or irregularly as required, or are arranged in a staggered shape or the like. Further, the uneven portion preferably has an arithmetic average roughness (Ra) of 0.03 to 0.50 μm, preferably 0.08 to 0.30 μm. This is because when the arithmetic mean roughness (Ra) is less than 0.03 μm, the desired slipperiness cannot be obtained. On the other hand, when the arithmetic mean roughness (Ra) exceeds 0.50 μm, the strength of the base material layer 2 is lowered, which may cause breakage during molding.

このような微細な複数の凹凸を基材層2の表面に形成し、この基材層2の表面にポリパラキシリレン系樹脂層3を積層形成すれば、基材層2に生じたピンホール、クラック、ひび割れ等の損傷部を補修して耐電圧性の低下を防止することができる。 If a plurality of such fine irregularities are formed on the surface of the base material layer 2 and the polyparaxylylene-based resin layer 3 is laminated on the surface of the base material layer 2, pinholes generated in the base material layer 2 are formed. , Cracks, cracks and other damaged parts can be repaired to prevent deterioration of withstand voltage.

基材層2の表面は、ポリパラキシリレン系樹脂層3が積層接着されるが、このポリパラキシリレン系樹脂層3との接着性を強固なものとするため、図示しないプライマー層が必要に応じて形成される。このプライマー層に使用されるプライマーとしては、シランカップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤、イミダゾールシラン等のイミダゾール系カップリング剤等があげられる。 A polyparaxylylene-based resin layer 3 is laminated and adhered to the surface of the base material layer 2, but a primer layer (not shown) is required in order to strengthen the adhesiveness with the polyparaxylylene-based resin layer 3. Is formed according to. Examples of the primer used in this primer layer include a silane coupling agent, a titanate-based coupling agent, an aluminate-based coupling agent, and an imidazole-based coupling agent such as imidazole silane.

シランカップリング剤としては、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、p−スチリルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルトリエトキシシラン、3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N−2(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−2(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド、3−ウレイドプロピルトリアルコキシシラン、あるいは3−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等があげられる。 Examples of the silane coupling agent include vinyl trichlorosilane, vinyl trimethoxysilane, vinyl triethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, and 3-glycid. Xypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, p-styryltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldiethoxy. Silane, 3-methacryloxypropylmethyltriethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, N-2 (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2 (aminoethyl) -3-aminopropyltri Methoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3) 3-Dimethyl-butylidene) propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-chloropropyltriethoxysilane, 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, bis (triethoxysilyl) Examples thereof include propyl) tetrasulfide, 3-ureidopropyltrialkoxysilane, and 3-isocyanuppropyltriethoxysilane.

チタネート系カップリング剤としては、例えばイソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、イソプロピルトリ(N−アミノエチル−アミノエチル)チタネート、テトラタオクチルビス(ジ−トリデシルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2−ジアリルオキシメチル−1−ブチル)ビス(ジ−トリデシル)ホスファイトチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリドデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、イソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネートあるいはテトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート等が用いられる。 Examples of titanate-based coupling agents include isopropyltriisostearoyl titanate, isopropyltris (dioctylpyrophosphate) titanate, isopropyltri (N-aminoethyl-aminoethyl) titanate, and tetrataoctylbis (di-tridecylphosphite) titanate. , Tetra (2,2-diallyloxymethyl-1-butyl) bis (di-tridecyl) phosphite titanate, bis (dioctylpyrophosphate) ethylene titanate, isopropyltrioctanoyl titanate, isopropyldimethacrylic isostearoyl titanate, isopropyltridodecyl Benzylsulfonyl titanate, isopropylisostearoyl diacrylic titanate, isopropyltri (dioctyl phosphate) titanate, isopropyltricylphenyl titanate, tetraisopropylbis (dioctyl phosphate) titanate and the like are used.

アルミネート系カップリング剤としては、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート、あるいは特許第4913368号公報に記載のアルミニウム sec−ブチレート等が用いられる。また、イミダゾール系カップリング剤としては、例えば特公平07−068256号公報、特許第4372461号公報、あるいは特許第4627976号公報等に記載のイミダゾールシランが用いられる。 As the aluminate-based coupling agent, acetalkoxyaluminum diisopropyrate, aluminum sec-butyrate described in Japanese Patent No. 4913368, or the like is used. Further, as the imidazole-based coupling agent, for example, the imidazole silane described in Japanese Patent Publication No. 07-068256, Japanese Patent No. 4372461, Japanese Patent No. 4627976, etc. is used.

プライマー層は、例えばメタノール、エタノール、あるいはイソプロピルアルコール等のアルコール、0.1〜2.0%の酢酸水溶液、水とアルコールとの混合溶液、酢酸水溶液とアルコールとの混合溶液にプライマーを溶解させ、このプライマーを含む溶液を基材層2上にロールコート法、グラビアコート法、ナイフコート法、ディップコート法、カーテンフロート法、スプレーコート法、あるいはバーコート法等の方法により塗布した後、溶液を除去することで形成することができる。また、プライマーを加熱下又は減圧加熱下で気化させ、基材層2の表面に付着させることで形成することもできる。プライマーの濃度は、目的に応じて適宜調整されるが、一般的には0.01〜5.0質量%である。 The primer layer is prepared by dissolving the primer in an alcohol such as methanol, ethanol, or isopropyl alcohol, an aqueous acetic acid solution of 0.1 to 2.0%, a mixed solution of water and alcohol, or a mixed solution of an aqueous acetic acid solution and alcohol. A solution containing this primer is applied onto the base material layer 2 by a roll coating method, a gravure coating method, a knife coating method, a dip coating method, a curtain float method, a spray coating method, a bar coating method, or the like, and then the solution is applied. It can be formed by removing it. It can also be formed by vaporizing the primer under heating or heating under reduced pressure and adhering it to the surface of the base material layer 2. The concentration of the primer is appropriately adjusted according to the purpose, but is generally 0.01 to 5.0% by mass.

ポリパラキシリレン系樹脂層3は、ポリパラキシリレン樹脂(パリレンとも呼ばれる)等により、基材層2の表面に所定の方法で厚さ0.1μm以上の薄膜に積層接着されてバリア機能を発揮する。このポリパラキシリレン系樹脂層3の材質としては、例えばジパラキシリレン([2,2]パラシクロファンとも言う)を重合して得られるポリパラキシリレン樹脂、ジパラキシリレンのベンゼン環の水素1つを塩素の置換したモノクロロジパラキシリレンを重合して得られるポリモノクロロパラキシレン樹脂、ジパラキシリレンのベンゼン環の水素2つを塩素で置換したジクロロジパラキシレンを重合して得られるポリジクロロパラキシリレン樹脂、あるいはジパラキシリレンのα水素原子をフッ素で置換した化合物を重合したポリテトラフルオロパラキシリレン樹脂があげられる。 The polyparaxylylene-based resin layer 3 is laminated and adhered to the surface of the base material layer 2 with a thin film having a thickness of 0.1 μm or more by a predetermined method using a polyparaxylylene resin (also called parylene) or the like to provide a barrier function. Demonstrate. As the material of the polyparaxylene-based resin layer 3, for example, a polyparaxylene resin obtained by polymerizing diparaxylene (also referred to as [2,2] paracyclophane) and one hydrogen of the benzene ring of diparaxylene are chlorine. Polymonochloroparaxylene resin obtained by polymerizing the substituted monoclonal paraxylene resin, polydichloroparaxylene resin obtained by polymerizing dichlorodiparaxylene obtained by polymerizing two hydrogens in the benzene ring of diparaxylene with chlorine, or diparaxylene. Examples thereof include a polytetrafluoroparaxylene resin obtained by polymerizing a compound in which the α-hydrogen atom of benzene is replaced with fluorine.

ポリパラキシリレン樹脂の具体例としては、日本パリレン合同会社製の製品名:パリレンN、ポリモノクロロパラキシリレン樹脂の具体例としては、日本パリレン合同会社製の製品名:パリレンC、ポリジクロロパラキシリレン樹脂の具体例としては、日本パリレン合同会社製の製品名:パリレンD、ポリテトラフロロパラキシリレン樹脂の具体例としては、日本パリレン合同会社製の製品名:パリレンHTがあげられる。これらポリパラキシリレン系樹脂は、1種類を単独で使用しても良いし、2種類以上を混合して使用しても良い。 Specific examples of polyparaxylylene resin include product names manufactured by Japan Parylene GK: Parylene N, and specific examples of polymonochloroparaxylylene resin include product names manufactured by Japan Parylene GK: Parylene C and polydichloropara. Specific examples of the xylylene resin include product name: Parylene D manufactured by Japan Parylene GK, and specific examples of the polytetrafluoroparaxylylene resin include product name: Parylene HT manufactured by Japan Parylene LLC. One type of these polyparaxylylene-based resins may be used alone, or two or more types may be mixed and used.

ポリパラキシリレン系樹脂層3を薄膜に形成する方法は、特に限定されるものではなく、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマ重合法、化学気相蒸着法〔CVD(Chemical Vapor Deposition)とも言う〕等の方法が用いられる。この薄膜に形成する方法は、バッチ式でも連続方式でも良いが、作業性、生産性、及び品質の安定性を考慮すると、連続方式が好ましい。 The method for forming the polyparaxylylene-based resin layer 3 into a thin film is not particularly limited, and is a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, a plasma polymerization method, and a chemical vapor deposition method [also referred to as CVD (Chemical Vapor Deposition)]. Etc. are used. The method of forming this thin film may be a batch method or a continuous method, but a continuous method is preferable in consideration of workability, productivity, and quality stability.

ポリパラキシリレン系樹脂層3は、3工程を経て形成される。すなわち、第1工程はジパラシキレン、モノクロロジパラキシリレン、ジクロロジパラキシリレン、あるいはジパラキシリレンのα水素原子をフッ素で置換した化合物等のジパラキシリレン系化合物を100〜300℃、0.1〜100Paの環境下で気化させる工程、第2工程は気化させたガスを0.1〜100Pa減圧下で450〜750℃の温度で加熱して熱分解することにより、反応性モノマーであるジラジカルパラキシリレンモノマーを生成する工程、第3工程はジラジカルパラキシリレンモノマーを0.1〜100Pa減圧下、20〜100℃の雰囲気下で基材層2の表面上で重合させ、ポリパラキシリレン系樹脂製の薄膜を基材層2の面上に形成する工程である。 The polyparaxylylene-based resin layer 3 is formed through three steps. That is, in the first step, a diparaxylylene-based compound such as diparasicylene, monochlorologic paraxylylene, dichlorodiparaxylylene, or a compound in which the α hydrogen atom of diparaxylylene is replaced with fluorine is prepared in an environment of 100 to 300 ° C. and 0.1 to 100 Pa. In the vaporization step and the second step, the vaporized gas is heated at a temperature of 450 to 750 ° C. under a reduced pressure of 0.1 to 100 Pa and thermally decomposed to produce a diradical paraxylylene monomer which is a reactive monomer. In the third step, the diradical paraxylylene monomer was polymerized on the surface of the base material layer 2 under a reduced pressure of 0.1 to 100 Pa in an atmosphere of 20 to 100 ° C., and a thin film made of a polyparaxylylene resin was used as a base. This is a step of forming on the surface of the material layer 2.

ポリパラキシリレン系樹脂層3の完成後の厚さは、0.1〜5μm、好ましくは0.3〜4.6μm、より好ましくは1〜3μmが良い。これは、0.1μm未満の場合には、耐電圧の欠点防止効果がなく、逆に5μmを超える場合には、薄膜の形成に長時間を有し、生産性に問題が生じるからである。また、フィルムキャパシタの素巻き工程やプレス工程でポリパラキシリレン系樹脂層3にクラックが発生したり、剥離してしまうおそれがあるからである。さらに、5μmを超える場合には、ポリパラキシリレン系樹脂層3を薄膜に形成しても、厚さに基づく格別の効果を得ることができないからである。 The thickness of the polyparaxylylene-based resin layer 3 after completion is 0.1 to 5 μm, preferably 0.3 to 4.6 μm, and more preferably 1 to 3 μm. This is because if it is less than 0.1 μm, there is no effect of preventing defects in the withstand voltage, and conversely, if it exceeds 5 μm, it takes a long time to form a thin film, which causes a problem in productivity. Further, the polyparaxylylene-based resin layer 3 may be cracked or peeled off in the unwinding step or the pressing step of the film capacitor. Further, when it exceeds 5 μm, even if the polyparaxylylene-based resin layer 3 is formed into a thin film, a special effect based on the thickness cannot be obtained.

ポリパラキシリレン系樹脂層3が基材層2に積層された場合の積層厚は、1.1〜15μmが良い。これは、基材層2とポリパラキシリレン系樹脂層3との積層厚が15μmを越える場合には、体積当たりの静電容量が小さくなるという理由に基づく。 When the polyparaxylylene-based resin layer 3 is laminated on the base material layer 2, the laminated thickness is preferably 1.1 to 15 μm. This is based on the reason that when the laminated thickness of the base material layer 2 and the polyparaxylylene-based resin layer 3 exceeds 15 μm, the capacitance per volume becomes small.

基材層2の厚さは、1.0〜10μmであるが、同時に基材層2とポリパラキシリレン系樹脂層3との積層厚の50%以上、好ましくは65%以上、より好ましくは70%以上の範囲とされる。これは、基材層2の厚さが積層厚の50%未満の場合は、基材層2の特性が失われるとともに、フィルムキャパシタ用の基材フィルム1の機械的特性が低下し、フィルムキャパシタの製造中に基材フィルム1に裂けや破断が生じたりするという理由に基づく。また、誘電特性や耐電圧特性等の電気的特性が低下し、フィルムキャパシタの特性低下を招くという理由に基づく。 The thickness of the base material layer 2 is 1.0 to 10 μm, but at the same time, 50% or more, preferably 65% or more, more preferably 65% or more of the laminated thickness of the base material layer 2 and the polyparaxylylene-based resin layer 3. It is in the range of 70% or more. This is because when the thickness of the base material layer 2 is less than 50% of the laminated thickness, the characteristics of the base material layer 2 are lost and the mechanical properties of the base material film 1 for the film capacitor are deteriorated, so that the film capacitor This is based on the reason that the base film 1 is torn or broken during the production of. Further, it is based on the reason that the electrical characteristics such as the dielectric property and the withstand voltage characteristic are deteriorated, which leads to the deterioration of the characteristics of the film capacitor.

このようなポリパラキシリレン系樹脂層3は、優れた滑り性、ガスバリヤー性、350℃程度の耐熱性、耐薬品性、誘電特性、耐電圧特性、隙間浸透性、層間浸透性を有し、絶縁破壊電圧が高いので、十分な耐電圧特性を得ることができる。また、静摩擦係数や動摩擦係数の摩擦係数が低いので、滑り性の向上が期待できる。 Such a polyparaxylylene-based resin layer 3 has excellent slipperiness, gas barrier property, heat resistance of about 350 ° C., chemical resistance, dielectric property, withstand voltage property, gap permeability, and interlayer permeability. Since the dielectric breakdown voltage is high, sufficient withstand voltage characteristics can be obtained. Further, since the coefficient of static friction and the coefficient of dynamic friction are low, improvement in slipperiness can be expected.

金属層4は、ポリパラキシリレン系樹脂層3の表面に所定の方法で薄膜に積層接着される。この金属層4の金属としては、例えば亜鉛、鉛、銀、クロム、アルミニウム、銅、ニッケル、スズ、鉄、チタン等を使用することができる。これらの中では、フィルムキャパシタの特性や生産性等を考慮すると、亜鉛、アルミニウム、あるいは亜鉛とアルミニウムを含む合金が好ましく使用される。これらの金属は、一種類を単独で使用しても良いし、2種類以上を混合した混合物あるいは合金をも使用することができる。 The metal layer 4 is laminated and adhered to the surface of the polyparaxylylene-based resin layer 3 with a thin film by a predetermined method. As the metal of the metal layer 4, for example, zinc, lead, silver, chromium, aluminum, copper, nickel, tin, iron, titanium and the like can be used. Among these, zinc, aluminum, or an alloy containing zinc and aluminum is preferably used in consideration of the characteristics and productivity of the film capacitor. As these metals, one kind may be used alone, or a mixture or alloy in which two or more kinds are mixed may be used.

金属層4の形成方法としては、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法、メッキ法等が用いられる。これらの方法の中では、生産性に優れる真空蒸着法が好ましい。金属層4が蒸着される場合、蒸着方法として、オイル法やテープ等が使用される。金属層4の蒸着パターンとしては、特に限定されるものではないが、例えばTマージンパタン、ハニカムパターン、モザイクパターン等があげられる。 As a method for forming the metal layer 4, for example, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method and the like are used. Among these methods, the vacuum deposition method having excellent productivity is preferable. When the metal layer 4 is vapor-deposited, an oil method, tape, or the like is used as the vapor deposition method. The vapor deposition pattern of the metal layer 4 is not particularly limited, and examples thereof include a T-margin pattern, a honeycomb pattern, and a mosaic pattern.

金属層4の完成後の厚さは、1〜100nm、好ましくは5〜80nm、より好ましくは10〜50nmの範囲が良い。また、金属層4の表面抵抗値は、0.1〜10Ω/□、好ましくは2〜8Ω/□、さらに好ましくは3〜6Ω/□の範囲内が良い。これは、0.1Ω/□未満の場合には、セルフヒーリング性(自己修復性とも言う)が低下するので、好ましくないからである。逆に、10Ω/□を超える場合には、誘電正接が悪化するおそれがあるという理由に基づく。 The thickness of the metal layer 4 after completion is preferably in the range of 1 to 100 nm, preferably 5 to 80 nm, and more preferably 10 to 50 nm. The surface resistance value of the metal layer 4 is preferably in the range of 0.1 to 10 Ω / □, preferably 2 to 8 Ω / □, and more preferably 3 to 6 Ω / □. This is because if it is less than 0.1 Ω / □, the self-healing property (also referred to as self-healing property) is lowered, which is not preferable. On the contrary, if it exceeds 10Ω / □, the dielectric loss tangent may deteriorate.

上記構成において、フィルムキャパシタ用の基材フィルム1を製造する場合には、先ず、ポリエーテルイミド樹脂等の成形材料を用意して乾燥させ、この成形材料を押出成形機にセットして溶融混練するとともに、この溶融混練した成形材料を単軸押出成形機のTダイスから連続的に押し出し、ポリエーテルイミド製の基材層2を帯形のフィルムに下方に押出成形する。 In the above configuration, when producing the base film 1 for a film capacitor, first, a molding material such as a polyetherimide resin is prepared and dried, and this molding material is set in an extrusion molding machine and melt-kneaded. At the same time, the melt-kneaded molding material is continuously extruded from the T-die of the single-screw extruder, and the substrate layer 2 made of polyetherimide is extruded downward into a strip-shaped film.

基材層2を帯形のフィルムに押出成形したら、この基材層2を下方の一対の圧着ロール、冷却ロール、及びこれらの下流に位置する巻取管に順次巻架し、各圧着ロールと冷却ロールとに挟持させて冷却する。この際、各圧着ロールの周面にシリコーンゴム等のゴムを巻着し、冷却ロールの周面に凸柄模様を形成すれば、基材層2の表裏面に微細な複数の凹凸部を簡単に形成することができる。 After the base material layer 2 is extruded into a strip-shaped film, the base material layer 2 is sequentially wound on a pair of crimping rolls below, a cooling roll, and a take-up pipe located downstream of these, and is used with each crimping roll. It is sandwiched between cooling rolls and cooled. At this time, if rubber such as silicone rubber is wound around the peripheral surface of each crimping roll to form a convex pattern on the peripheral surface of the cooling roll, a plurality of fine uneven portions can be easily formed on the front and back surfaces of the base material layer 2. Can be formed into.

次いで、押出成形して冷却した基材層2の表面にポリパラキシリレン系樹脂を薄膜に積層してポリパラキシリレン系樹脂層3を積層形成した後、このポリパラキシリレン系樹脂層3上に金属層4を蒸着したり、スパッタリングして積層形成すれば、基材フィルム1を製造することができる。 Next, a polyparaxylylene-based resin is laminated on a thin film on the surface of the base material layer 2 that has been extruded and cooled to form the polyparaxylylene-based resin layer 3, and then the polyparaxylylene-based resin layer 3 is formed. The base film 1 can be manufactured by depositing the metal layer 4 on the metal layer 4 or by sputtering and forming the layers.

上記構成によれば、基材層2に、良好な誘電特性や耐電圧特性の他、隙間浸透性や層間浸透性に優れるポリパラキシリレン系樹脂層3を覆着して均一なピンホールフリーの優れたバリアを形成するので、例え基材層2にピンホール、クラック、ひび割れ等の損傷部が生じても、損傷部を適切に補修することができる。したがって、基材フィルム1の絶縁破壊電圧が低下し、耐電圧特性の喪失を招くことがない。また、フィルムキャパシタの製造工程で基材フィルム1に破断や裂けが生じるのを防止することができる。 According to the above configuration, the base material layer 2 is covered with a polyparaxylylene-based resin layer 3 having good dielectric properties and withstand voltage characteristics, as well as excellent gap permeability and interlayer permeability, and is uniformly pinhole-free. Since the excellent barrier is formed, even if a damaged portion such as a pinhole, a crack, or a crack occurs in the base material layer 2, the damaged portion can be appropriately repaired. Therefore, the dielectric breakdown voltage of the base film 1 does not decrease, and the withstand voltage characteristics are not lost. Further, it is possible to prevent the base film 1 from being broken or torn in the process of manufacturing the film capacitor.

また、フィルムキャパシタの製造時に金属の蒸着に不具合が発生するおそれを有効に排除することができる。また、ポリパラキシリレン系樹脂層3の形成に大規模な製造設備を何ら必要とせず、設備の制御が煩雑化することも全くないので、基材フィルム1のコスト低減が大いに期待できる。さらに、フィルムキャパシタの製造中に基材フィルム1が層間剥離してしまうおそれを有効に排除することが可能になる。 Further, it is possible to effectively eliminate the possibility that a defect occurs in the vapor deposition of the metal during the production of the film capacitor. Further, since no large-scale manufacturing equipment is required for forming the polyparaxylylene-based resin layer 3 and the control of the equipment is not complicated at all, the cost reduction of the base film 1 can be greatly expected. Further, it is possible to effectively eliminate the possibility that the base film 1 is delaminated during the production of the film capacitor.

次に、図2は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、基材フィルム1を、成形材料により薄いフィルムに成形される基材層2と、この基材層2の裏面に積層される薄膜のポリパラキシリレン系樹脂層3と、基材層2の表面に積層される薄膜の金属層4とから3層構造に積層形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。 Next, FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. In this case, the base film 1 is formed into a thin film by a molding material, and the base material layer 2 and the base material layer 2 The thin film polyparaxylylene-based resin layer 3 laminated on the back surface of the base film 2 and the thin film metal layer 4 laminated on the surface of the base material layer 2 are laminated in a three-layer structure. Since the other parts are the same as those in the above embodiment, the description thereof will be omitted.

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基材層2の表裏両面にポリパラキシリレン系樹脂層3と金属層4とをそれぞれ積層するので、これらポリパラキシリレン系樹脂層3と金属層4とにより、基材層2の損傷部を被覆して補修することができるのは明らかである。 In this embodiment as well, the same effects as those in the above embodiment can be expected, and since the polyparaxylylene-based resin layer 3 and the metal layer 4 are laminated on both the front and back surfaces of the base material layer 2, these polyparaxili It is clear that the lens-based resin layer 3 and the metal layer 4 can cover and repair the damaged portion of the base material layer 2.

次に、図3は本発明の第3の実施形態を示すもので、この場合には、基材フィルム1を、成形材料により薄いフィルムに成形される基材層2と、この基材層2の表裏両面にそれぞれ積層される薄膜のポリパラキシリレン系樹脂層3と、基材層2の表面側のポリパラキシリレン系樹脂層3に積層される薄膜の金属層4とから多層の4層構造に積層形成するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。 Next, FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. In this case, the base film 1 is formed into a thin film by a molding material, and the base material layer 2 and the base material layer 2 A thin-film polyparaxylylene-based resin layer 3 laminated on both the front and back surfaces of the above, and a thin-film metal layer 4 laminated on the surface-side polyparaxylylene-based resin layer 3 of the base material layer 2 to a multi-layer 4 It is made to be laminated in a layered structure. Since the other parts are the same as those in the above embodiment, the description thereof will be omitted.

本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、基材層2の表裏両面にポリパラキシリレン系樹脂層3をそれぞれ積層するので、一対のポリパラキシリレン系樹脂層3により、基材層2の損傷部を被覆して補修することができる。 In this embodiment as well, the same effects as those in the above embodiment can be expected, and since the polyparaxylylene-based resin layers 3 are laminated on both the front and back surfaces of the base material layer 2, a pair of polyparaxylylene-based resin layers are laminated. According to No. 3, the damaged portion of the base material layer 2 can be covered and repaired.

なお、上記実施形態では冷却した基材層2の表面にポリパラキシリレン系樹脂を積層形成したが、巻取後の基材層2にポリパラキシリレン系樹脂を積層形成しても良い。また、上記実施形態の基材層2の表裏両面、表面、又は裏面には、プライマーを含む溶液の濡れ性を向上させるため、コロナ処理、プラズマ処理、紫外線処理、火炎処理、グロー放電、イトロ処理等の表面処理を施しても良い。 In the above embodiment, the polyparaxylylene-based resin is laminated and formed on the surface of the cooled base material layer 2, but the polyparaxylylene-based resin may be laminated and formed on the base material layer 2 after winding. Further, in order to improve the wettability of the solution containing the primer, the front and back surfaces, the front surface, or the back surface of the base material layer 2 of the above embodiment are subjected to corona treatment, plasma treatment, ultraviolet treatment, flame treatment, glow discharge, and itro treatment. Such surface treatment may be applied.

また、上記実施形態では電動機駆動併用車や電動機駆動車の用途にフィルムキャパシタが利用される場合について説明したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、携帯機器に120℃以上の耐熱性が要求される場合もあり、この場合には、携帯機器のフィルムキャパシタに基材フィルムを使用しても良い。 Further, in the above embodiment, the case where the film capacitor is used for the purpose of the electric motor drive combined vehicle and the electric motor drive vehicle has been described, but the present invention is not limited to this. For example, a portable device may be required to have heat resistance of 120 ° C. or higher. In this case, a base film may be used for the film capacitor of the portable device.

以下、本発明に係る基材フィルムの実施例を比較例と共に説明する。
〔実施例1〕
先ず、基材層の成形材料としてポリエーテルイミド樹脂〔SABICイノベーティブプラスチック社製 品名:ULTEM1010−1000−NB(以下、「1010−1000」と略す)〕を用意し、この成形材料を150℃に加熱した除湿熱風乾燥機〔松井製作所社製 商品名:マルチジェット MJ3〕中に12時間放置して乾燥させ、この成形材料の含水率が300ppm以下であることを確認後、成形材料を幅900mmのTダイスを備えたφ40mmの単軸押出成形機にセットして溶融混練するとともに、この溶融混練した成形材料を単軸押出成形機のTダイスから連続的に押し出してポリエーテルイミド樹脂製のフィルムを帯形に押出成形し、長さ1000m、幅65cmの基材層を作製した。
Hereinafter, examples of the base film according to the present invention will be described together with comparative examples.
[Example 1]
First, a polyetherimide resin [Product name: ULTEM1010-1000-NB (hereinafter abbreviated as "1010-1000") manufactured by SABIC Innovative Plastics Co., Ltd.] is prepared as a molding material for the base material layer, and this molding material is heated to 150 ° C. Dehumidifying and drying in a hot air dryer [Matsui Seisakusho Co., Ltd. product name: Multijet MJ3] for 12 hours, and after confirming that the water content of this molding material is 300 ppm or less, the molding material is T with a width of 900 mm. It is set in a φ40 mm single-screw extruder equipped with a die and melt-kneaded, and the melt-kneaded molding material is continuously extruded from the T-die of the single-screw extruder to cover a film made of polyetherimide resin. It was extruded into a shape to prepare a base material layer having a length of 1000 m and a width of 65 cm.

単軸押出成形機のシリンダー温度は360〜380℃、Tダイスの温度は385℃、単軸押出成形機とTダイスとを連結する連結管の温度は380℃にそれぞれ調整した。また、単軸押出成形機に成形材料を投入する際、不活性ガスである窒素ガス18L/分を供給した。 The cylinder temperature of the single-screw extruder was adjusted to 360 to 380 ° C, the temperature of the T-die was adjusted to 385 ° C, and the temperature of the connecting pipe connecting the single-screw extruder and the T-die was adjusted to 380 ° C. Further, when the molding material was charged into the single-screw extrusion molding machine, 18 L / min of nitrogen gas, which is an inert gas, was supplied.

基材層を押出成形したら、この基材層を、算術平均粗さ(Ra)が0.44〜0.47μmのシリコーンゴムを備えた一対の圧着ロール、周面に算術平均粗さ(Ra)が1.28μmの凸柄模様を備えた205℃の冷却ロールである金属ロール、及びこれらの下流に位置する6インチの巻取管に順次巻架し、各圧着ロールと金属ロールとに挟持させて冷却した。圧着ロールと金属ロールとに基材層を挟持させることにより、基材層の表裏面に微細な凹凸部をそれぞれ複数形成した。基材層を冷却したら、この基材層のフィルム厚、及び表面粗さを求めて表1に記載した。表面粗さは、算術平均粗さ(Ra)により求めた。 After the base material layer was extruded, the base material layer was subjected to a pair of pressure-bonding rolls provided with silicone rubber having an arithmetic average roughness (Ra) of 0.44 to 0.47 μm, and the arithmetic average roughness (Ra) on the peripheral surface. Is a metal roll that is a cooling roll at 205 ° C. with a convex pattern of 1.28 μm, and a 6-inch take-up pipe located downstream of these, which is sequentially wound and sandwiched between each crimping roll and the metal roll. And cooled. By sandwiching the base material layer between the pressure-bonding roll and the metal roll, a plurality of fine uneven portions were formed on the front and back surfaces of the base material layer. After the base material layer was cooled, the film thickness and surface roughness of the base material layer were determined and shown in Table 1. The surface roughness was determined by the arithmetic mean roughness (Ra).

次いで、基材層の金属ロール面側にポリパラキシリレン系樹脂層を薄膜に積層形成し、この薄膜のポリパラキシリレン系樹脂層上にアルミニウムを真空蒸着法により表面抵抗値が5Ω/□となるように蒸着し、このアルミニウムを金属層として基材フィルムを製造した。ポリパラキシリレン系樹脂層は、ジパラキシリレンを180℃、10Paの条件下で気化させ、680℃、10Paの条件下で熱分解し、熱分解して得られたジラジカルパラキシリレンモノマーを35℃、10Paの条件下でポリエーテルイミド樹脂製の基材層の金属ロール面側に重合させることにより、薄膜に形成した。 Next, a polyparaxylylene-based resin layer was laminated and formed on the metal roll surface side of the base material layer, and aluminum was vapor-deposited on the polyparaxylylene-based resin layer of this thin film to have a surface resistance value of 5 Ω / □. A base film was produced using this aluminum as a metal layer. In the polyparaxylylene-based resin layer, diparaxylylene is vaporized under the conditions of 180 ° C. and 10 Pa, thermally decomposed under the conditions of 680 ° C. and 10 Pa, and the diradical paraxylylene monomer obtained by the thermal decomposition is produced at 35 ° C. It was formed into a thin film by polymerizing it on the metal roll surface side of a substrate layer made of a polyetherimide resin under the condition of 10 Pa.

フィルムキャパシタ用の基材フィルムが得られたら、ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さを評価し、基材フィルムの滑り性と耐電圧特性とをそれぞれ評価して表1に記載した。滑り性については、静摩擦係数(μs)と動摩擦係数(μk)により評価した。耐電圧特性については、絶縁破壊電圧により評価した。 When the base film for the film capacitor was obtained, the thickness of the polyparaxylylene-based resin layer was evaluated, and the slipperiness and withstand voltage characteristics of the base film were evaluated and shown in Table 1. The slipperiness was evaluated by the static friction coefficient (μs) and the dynamic friction coefficient (μk). The withstand voltage characteristics were evaluated by the dielectric breakdown voltage.

・熱可塑性樹脂製の基材層のフィルム厚
基材層のフィルム厚は、接触式の厚さ計〔Mahr社製:製品名:ミリマール 1240 コンパクトアンプにミリマール インダクティブ プローブ 1301を取り付けた装置〕を使用して測定した。測定に際しては、基材層のフィルムの押出方向と幅方向(押出方向の直角方向)が交わる所定位置の厚みを100箇所測定し、その平均値をフィルム厚とした。押出方向の測定箇所は、基材層の先端部から100mm間隔で100mm、200mm、300mm、400mm、500mmの位置とした。
-Film thickness of the base material layer made of thermoplastic resin For the film thickness of the base material layer, a contact-type thickness gauge [Mahr: Product name: Millimar 1240 compact amplifier with Millimar inductive probe 1301 attached] is used. And measured. In the measurement, the thickness at a predetermined position where the extrusion direction and the width direction (perpendicular direction of the extrusion direction) of the base material layer intersect was measured at 100 points, and the average value was taken as the film thickness. The measurement points in the extrusion direction were 100 mm, 200 mm, 300 mm, 400 mm, and 500 mm at 100 mm intervals from the tip of the base material layer.

これに対し、幅方向の測定箇所は、基材層の左端部から25mm、次いで30mm間隔で55mm、85mm、115mm、145mm、175mm、205mm、235mm、265mm、295mm、325mm、355mm、385mm、415mm、445mm、475mm、505mm、535mm、565mm、595mmの箇所とした。 On the other hand, the measurement points in the width direction are 25 mm from the left end of the base material layer, and then 55 mm, 85 mm, 115 mm, 145 mm, 175 mm, 205 mm, 235 mm, 265 mm, 295 mm, 325 mm, 355 mm, 385 mm, 415 mm at intervals of 30 mm. The locations were 445 mm, 475 mm, 505 mm, 535 mm, 565 mm, and 595 mm.

・熱可塑性樹脂製の基材層の表面粗さ
基材層の表面粗さは、算術平均粗さ(Ra)で評価した。この算術平均粗さ(Ra)は、JIS B0601−2001に準じ、基材層の押出方向について、金属ロール面側と圧着ロール面側とを測定した。
・ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さ
ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さは、基材フィルムの左端部から145mm、325mm、505mm箇所の断面を走査型電子顕微鏡で写真撮影し、その画像から求めた。ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さは、3箇所の平均値とした。
-Surface roughness of the base material layer made of thermoplastic resin The surface roughness of the base material layer was evaluated by the arithmetic mean roughness (Ra). The arithmetic mean roughness (Ra) was measured on the metal roll surface side and the crimping roll surface side in the extrusion direction of the base material layer according to JIS B0601-2001.
-Thickness of the polyparaxylylene-based resin layer The thickness of the polyparaxylylene-based resin layer is obtained by taking a photograph of the cross sections of 145 mm, 325 mm, and 505 mm from the left end of the base film with a scanning electron microscope. I asked for it. The thickness of the polyparaxylylene-based resin layer was taken as the average value of the three locations.

・基材フィルムの滑り性
基材フィルムの滑り性については、ポリパラキシリレン系樹脂層の薄膜面側と基材層のフィルム面側の滑り性により評価した。滑り性は、静的摩擦係数(μs)と動的摩擦係数(μk)とで評価した。これら静的摩擦係数と動的摩擦係数は、JIS K7125−1999に準拠して測定した。
-Slipperiness of the base film The slipperiness of the base film was evaluated by the slipperiness of the thin film surface side of the polyparaxylylene resin layer and the film surface side of the base material layer. The slipperiness was evaluated by a static friction coefficient (μs) and a dynamic friction coefficient (μk). These static friction coefficient and dynamic friction coefficient were measured according to JIS K7125-1999.

具体的には、表面性測定機 HEDON−14〔新東科学社製:製品名〕を使用し、23℃、50%RHの環境下で、試験速度:100mm/min、荷重:200g、接触面積:63.5mm×63.5mmの条件で測定した。そして、係る条件下で移動テーブル側に基材フィルムのポリパラキシリレン系樹脂層の薄膜面側、平面圧子側に基材層のフィルム面側を固定し、200gの荷重を作用させ、100mm/minの速度で静的摩擦係数と動的摩擦係数とを測定した。 Specifically, using the surface measuring machine HEDOON-14 [manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd .: product name], the test speed: 100 mm / min, load: 200 g, contact area in an environment of 23 ° C. and 50% RH. : Measured under the condition of 63.5 mm × 63.5 mm. Then, under such conditions, the thin film surface side of the polyparaxylylene resin layer of the substrate film and the film surface side of the substrate layer are fixed to the flat indenter side on the moving table side, and a load of 200 g is applied to 100 mm /. The static friction coefficient and the dynamic friction coefficient were measured at a speed of min.

・基材フィルムの耐電圧特性
基材フィルムの耐電圧特性ついては、絶縁破壊電圧で評価した。基材フィルムの絶縁破壊電圧は、JIS C2110−1994に準じ、気中法による短時間絶縁破壊試験で測定した。具体的には、23℃の環境下で実施し、電極の形状を円柱形(上部形状 直径:25mm、高さ:25mm、下部形状 直径:25mm、高さ:15mm)とし、ポリパラキシリレン系樹脂層の薄膜面側を上部電極面に向けて測定した。
-Withstand voltage characteristics of the base film The withstand voltage characteristics of the base film were evaluated by the dielectric breakdown voltage. The dielectric breakdown voltage of the base film was measured by a short-time dielectric breakdown test by the aerial method according to JIS C2110-1994. Specifically, it was carried out in an environment of 23 ° C., and the shape of the electrode was a cylinder (upper shape diameter: 25 mm, height: 25 mm, lower shape diameter: 25 mm, height: 15 mm), and a polyparaxylylene system. The measurement was performed with the thin film surface side of the resin layer facing the upper electrode surface.

測定に際しては、基材フィルムの押出方向と幅方向(押出方向の直角方向)が交わる所定位置の厚みを100箇所測定し、その平均値と最小値を求めた。押出方向の測定箇所は、基材フィルムの先端部から100mm間隔で100mm、200mm、300mm、400mm、500mmの位置とした。これに対し、幅方向の測定箇所は、基材のフィルムの左端部から25mm、次いで30mm間隔で55mm、85mm、115mm、145mm、175mm、205mm、235mm、265mm、295mm、325mm、355mm、385mm、415mm、445mm、475mm、505mm、535mm、565mm、595mmの箇所とした。 In the measurement, the thickness at a predetermined position where the extrusion direction and the width direction (perpendicular direction of the extrusion direction) of the base film intersect was measured at 100 points, and the average value and the minimum value were obtained. The measurement points in the extrusion direction were 100 mm, 200 mm, 300 mm, 400 mm, and 500 mm at 100 mm intervals from the tip of the base film. On the other hand, the measurement points in the width direction are 25 mm from the left end of the base film, and then 55 mm, 85 mm, 115 mm, 145 mm, 175 mm, 205 mm, 235 mm, 265 mm, 295 mm, 325 mm, 355 mm, 385 mm, 415 mm at intervals of 30 mm. The locations were 445 mm, 475 mm, 505 mm, 535 mm, 565 mm, and 595 mm.

・基材フィルムの耐折試験
耐折試験は、基材フィルムの長手方向について試験した。この耐折試験は、基材フィルムの長手方向に15cm、幅方向(長手方向の直角方向)に1cmに切り出し、試験片とした。この試験片をMIT耐折疲労試験機〔東洋精機製作所社製 製品名 型式:MIT−S〕にセットし、23℃で1時間耐折試験を実施し、クランプ付近を目視で観察した。クランプはR0.38を使用した。試験の結果、クラックの発生が認められなかった場合をO、クラックの発生が認められた場合を×とした。
-Folding resistance test of the base film The folding resistance test was conducted in the longitudinal direction of the base film. In this folding resistance test, the base film was cut into 15 cm in the longitudinal direction and 1 cm in the width direction (perpendicular direction) to prepare a test piece. This test piece was set in a MIT fold resistance fatigue tester [Product name model: MIT-S manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Co., Ltd.], a fold resistance test was carried out at 23 ° C. for 1 hour, and the vicinity of the clamp was visually observed. The clamp used was R0.38. As a result of the test, the case where no crack was observed was evaluated as O, and the case where crack was observed was evaluated as x.

〔実施例2〕
実施例1の成形材料を使用したが、この実施例2では、厚さ9.1μmのポリエーテルイミド樹脂製のフィルムを押出成形して基材層とした。また、実施例1では、冷却ロールとして周面に算術平均粗さ(Ra)が1.28μmの凸柄模様を備えた金属ロールを使用したが、実施例2では、冷却ロールとして周面に算術平均粗さ(Ra)が1.86μmの凸柄模様を備えた金属ロールを使用した。この金属ロール温度は、210℃に調整した。その他の部分については、実施例1と同様とした。基材層が得られたら、この基材層のフィルム厚、及び表面粗さを評価して表1に記載した。表面粗さは、算術平均粗さ(Ra)により求めた。
[Example 2]
The molding material of Example 1 was used, but in Example 2, a film made of a polyetherimide resin having a thickness of 9.1 μm was extruded to form a base material layer. Further, in Example 1, a metal roll having a convex pattern with an arithmetic mean roughness (Ra) of 1.28 μm was used as the cooling roll on the peripheral surface, but in Example 2, arithmetic was performed on the peripheral surface as the cooling roll. A metal roll having a convex pattern with an average roughness (Ra) of 1.86 μm was used. The metal roll temperature was adjusted to 210 ° C. Other parts were the same as in Example 1. Once the base material layer was obtained, the film thickness and surface roughness of this base material layer were evaluated and shown in Table 1. The surface roughness was determined by the arithmetic mean roughness (Ra).

次いで、基材層の圧着ロール面側にポリパラキシリレン樹脂を実施例1と同様の方法により形成してポリパラキシリレン系樹脂層を薄膜に積層形成し、このポリパラキシリレン系樹脂層上にアルミニウムを表面抵抗値が5Ω/□となるよう真空蒸着法で蒸着して金属層とし、フィルムキャパシタ用の基材フィルムを作製した。こうしてフィルムキャパシタ用の基材フィルムを作製したら、この基材フィルムのポリパラキシリレン系樹脂層の厚さ、滑り性、及び耐電圧特性を評価して表1に記載した。 Next, a polyparaxylylene resin was formed on the pressure-bonding roll surface side of the base material layer by the same method as in Example 1, and the polyparaxylylene-based resin layer was laminated and formed on a thin film, and this polyparaxylylene-based resin layer was formed. Aluminum was vapor-deposited on top by a vacuum vapor deposition method so that the surface resistance value was 5 Ω / □ to form a metal layer, and a base film for a film capacitor was prepared. After producing the base film for the film capacitor in this way, the thickness, slipperiness, and withstand voltage characteristics of the polyparaxylylene-based resin layer of the base film were evaluated and shown in Table 1.

〔実施例3〕
先ず、成形材料としてポリカーボネート樹脂〔住友スタイロン ポリカーボネート社製、品名:SDポリカ PCX−12398(以下、「PCX−12398」と略す〕を用意し、この成形材料を120℃に加熱した除湿熱風乾燥機〔松井製作所社製 商品名:マルチジェット MJ3〕中に12時間放置して乾燥させ、この成形材料の含水率が300ppm以下であることを確認後、成形材料を幅900mmのTダイスを備えたφ40mmの単軸押出成形機にセットして溶融混練するとともに、この溶融混練した成形材料を単軸押出成形機のTダイスから連続的に押し出してポリカーボネート樹脂製のフィルムを帯形に押出成形し、長さ1000m、幅65cmの基材層を作製した。
[Example 3]
First, a polycarbonate resin [manufactured by Sumitomo Stylon Polycarbonate Co., Ltd., product name: SD Polyca PCX-12398 (hereinafter abbreviated as "PCX-12398") was prepared as a molding material, and the molding material was heated to 120 ° C. Made by Matsui Seisakusho Co., Ltd. Product name: Multijet MJ3] left for 12 hours to dry, and after confirming that the water content of this molding material is 300 ppm or less, the molding material is made of φ40 mm equipped with a T-die with a width of 900 mm. It is set in a single-screw extruder and melt-kneaded, and the melt-kneaded molding material is continuously extruded from the T-die of the single-screw extruder to extrude a polycarbonate resin film into a strip shape and length. A base material layer having a width of 1000 m and a width of 65 cm was prepared.

単軸押出成形機のシリンダー温度は270〜290℃、Tダイスの温度は290℃、単軸押出成形機とTダイスとを連結する連結管の温度は290℃に調整した。また、単軸押出成形機に成形材料を投入する際、不活性ガスである窒素ガス18L/分を供給した。 The cylinder temperature of the single-screw extruder was adjusted to 270 to 290 ° C, the temperature of the T-die was adjusted to 290 ° C, and the temperature of the connecting pipe connecting the single-screw extruder and the T-die was adjusted to 290 ° C. Further, when the molding material was charged into the single-screw extrusion molding machine, 18 L / min of nitrogen gas, which is an inert gas, was supplied.

この際、基材層を、算術平均粗さ(Ra)が0.44〜0.47μmのシリコーンゴムを備えた一対の圧着ロール、周面に算術平均粗さ(Ra)が1.86μmの凸柄模様を備えた140℃の冷却ロールである金属ロール、及びこれらの下流に位置する6インチの巻取管に順次巻架し、各圧着ロールと金属ロールとに挟持させた。圧着ロールと金属ロールとに基材層を挟持させることにより、基材層の表裏面に微細な複数の凹凸部を形成した。基材層を冷却したら、この基材層のフィルム厚、及び表面粗さを評価して表1に記載した。表面粗さは算術平均粗さ(Ra)により求めた。 At this time, the base material layer is a pair of pressure-bonding rolls provided with silicone rubber having an arithmetic average roughness (Ra) of 0.44 to 0.47 μm, and a convex surface having an arithmetic average roughness (Ra) of 1.86 μm. A metal roll, which is a cooling roll at 140 ° C. having a pattern, and a 6-inch take-up pipe located downstream of the metal roll were sequentially wound around the metal roll, and sandwiched between each crimping roll and the metal roll. By sandwiching the base material layer between the pressure-bonding roll and the metal roll, a plurality of fine uneven portions were formed on the front and back surfaces of the base material layer. After cooling the base material layer, the film thickness and surface roughness of the base material layer were evaluated and shown in Table 1. The surface roughness was determined by the arithmetic mean roughness (Ra).

次いで、ポリカーボネート樹脂製の基材層の金属ロール面側にポリモノクロロパラキシリレン樹脂を薄膜に形成してポリモノクロロパラキシリレン系樹脂層を積層形成し、このポリモノクロロパラキシリレン系樹脂層上にアルミニウムを表面抵抗値が5Ω/□となるよう真空蒸着法で蒸着して金属層とし、フィルムキャパシタ用の基材フィルムを作製した。 Next, a polymonochromeloparaxylylene resin was formed into a thin film on the metal roll surface side of the base material layer made of polycarbonate resin to form a laminated polymonochromeloparaxylylene resin layer, and the polymonochromeloparaxylylene resin layer was formed on the polymonochromeloparaxylylene resin layer. Aluminum was vapor-deposited by a vacuum vapor deposition method so that the surface resistance value was 5 Ω / □ to form a metal layer, and a base film for a film capacitor was prepared.

ポリモノクロロパラキシリレン系樹脂層は、実施例1で使用したジパラキシリレンをポリモノクロロパラキシリレン樹脂に変更し、実施例1と同様の方法により形成した。基材フィルムが得られたら、ポリモノクロロパラキシリレン系樹脂層の厚さ、滑り性、及び耐電圧特性を実施例1と同様の方法により評価し、結果を表1に記載した。 The polymonochloroparaxylylene-based resin layer was formed by changing the diparaxylylene used in Example 1 to a polymonochloroparaxylylene resin by the same method as in Example 1. Once the base film was obtained, the thickness, slipperiness, and withstand voltage characteristics of the polymonochloroparaxylylene-based resin layer were evaluated by the same method as in Example 1, and the results are shown in Table 1.

〔実施例4〕
先ず、成形材料としてポリメチルペンテン樹脂〔三井化学社製、品名:TPX MX002(以下、「MX‐002」と略す〕を用意し、この成形材料を120℃に加熱した除湿乾燥機〔松井製作所製 商品名:マルチジェット MJ3〕中に12時間放置して乾燥させ、この成形材料の含水率が300ppm以下であることを確認後、成形材料を幅900mmのTダイスを備えたφ40mmの単軸押出成形機にセットして溶融混練するとともに、この溶融混練した成形材料を単軸押出成形機のTダイスから連続的に押し出してポリメチルペンテン樹脂製のフィルムを帯形に押出成形し、長さ1000m、幅65cmの基材層を作製した。この際、基材層の圧着ロール面側にコロナ放電処理を施した。
[Example 4]
First, a polymethylpentene resin [manufactured by Mitsui Chemicals, Inc., product name: TPX MX002 (hereinafter abbreviated as "MX-002") was prepared as a molding material, and this molding material was heated to 120 ° C. a dehumidifying dryer [manufactured by Matsui Seisakusho]. Product name: Multijet MJ3] left for 12 hours to dry, and after confirming that the water content of this molding material is 300 ppm or less, the molding material is uniaxially extruded with a diameter of 40 mm equipped with a T-die with a width of 900 mm. It is set in a machine and melt-kneaded, and the melt-kneaded molding material is continuously extruded from the T-die of the single-screw extrusion molding machine to extrude a film made of polymethylpentene resin into a strip shape, and the length is 1000 m. A base material layer having a width of 65 cm was prepared. At this time, a corona discharge treatment was applied to the pressure-bonding roll surface side of the base material layer.

単軸押出成形機のシリンダー温度は280〜290℃、Tダイスの温度は290℃、単軸押出成形機とTダイスの温度は290℃に調整した。また、単軸押出成形機に成形材料を投入する際、不活性ガスである窒素ガス18L/分を供給した。 The cylinder temperature of the uniaxial extruder was adjusted to 280 to 290 ° C., the temperature of the T die was adjusted to 290 ° C., and the temperature of the uniaxial extruder and the T die was adjusted to 290 ° C. Further, when the molding material was charged into the single-screw extrusion molding machine, 18 L / min of nitrogen gas, which is an inert gas, was supplied.

この際、基材層を、算術平均粗さ(Ra)が0.44〜0.47μmのシリコーンゴムを備えた一対の圧着ロール、周面に算術平均粗さ(Ra)が1.86μmの凸柄模様を備えた80℃の冷却ロールである金属ロール、及びこれらの下流に位置する6インチの巻取管に順次巻架し、各圧着ロールと金属ロールとに狭持させた。 At this time, the base material layer is a pair of pressure-bonding rolls provided with silicone rubber having an arithmetic average roughness (Ra) of 0.44 to 0.47 μm, and a convex surface having an arithmetic average roughness (Ra) of 1.86 μm. A metal roll, which is a cooling roll at 80 ° C. with a handle pattern, and a 6-inch take-up pipe located downstream of the metal roll were sequentially wound around the metal roll, and the crimping roll and the metal roll were narrowed to each other.

圧着ロールと金属ロールとに基材層を狭持させることにより、基材層の表裏面に微細な凹凸部をそれぞれ複数形成した。また、基材層の圧着ロール面側に、コロナ放電処理装置により、コロナ放電処理を施した。基材層が得られたら、この基材層のフィルム厚、及び表面粗さを評価して表1に記載した。表面粗さは、算術平均粗さ(Ra)により求めた。 By narrowing the base material layer between the pressure-bonding roll and the metal roll, a plurality of fine uneven portions were formed on the front and back surfaces of the base material layer. Further, the pressure-bonding roll surface side of the base material layer was subjected to corona discharge treatment by a corona discharge treatment device. Once the base material layer was obtained, the film thickness and surface roughness of this base material layer were evaluated and shown in Table 1. The surface roughness was determined by the arithmetic mean roughness (Ra).

続いて、コロナ放電処理を施した基材層の圧着ロール面側に、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン〔信越化学工業社製、製品名:KBM−503〕を水とエタノールの1:1の混合溶液に1質量%の濃度で溶解させた溶液をグラビアコート法により塗布し、水とエタノールの混合溶液を乾燥させ、除去することにより、プライマー層を形成した。 Subsequently, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane [manufactured by Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd., product name: KBM-503] was added to the pressure-bonding roll surface side of the base material layer subjected to the corona discharge treatment in a ratio of 1: 1 of water and ethanol. A primer layer was formed by applying a solution dissolved in a mixed solution at a concentration of 1% by mass by a gravure coating method, drying and removing the mixed solution of water and ethanol.

次いで、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシランを塗布したプライマー層面にポリテトラフルオロパラキシリレン樹脂を形成してポリパラキシリレン系樹脂層を薄膜に積層形成し、このポリパラキシリレン系樹脂層上にアルミニウムを表面抵抗値が6Ω/□となるよう真空蒸着法で蒸着して金属層とし、フィルムキャパシタ用の基材フィルムを作製した。 Next, a polytetrafluoroparaxylylene resin was formed on the primer layer surface coated with 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane to form a laminated polyparaxylylene resin layer on a thin film, and the polyparaxylylene resin layer was formed on the polyparaxylylene resin layer. Aluminum was vapor-deposited by a vacuum vapor deposition method so that the surface resistance value was 6Ω / □ to form a metal layer, and a base film for a film capacitor was prepared.

ポリパラキシリレン系樹脂層は、実施例1で使用したジパラキシリレンをジパラキシリレンのα水素原子をフッ素で置換した化合物に変更し、実施例1と同様の方法により形成した。フィルムキャパシタ用の基材フィルムが得られたら、ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さ、滑り性、及び耐電圧特性を実施例1と同様の方法により評価し、結果を表1に記載した。 The polyparaxylylene-based resin layer was formed by changing the diparaxylylene used in Example 1 to a compound in which the α-hydrogen atom of diparaxylylene was replaced with fluorine, and by the same method as in Example 1. Once the base film for the film capacitor was obtained, the thickness, slipperiness, and withstand voltage characteristics of the polyparaxylylene-based resin layer were evaluated by the same method as in Example 1, and the results are shown in Table 1.

Figure 0006803780
Figure 0006803780

〔比較例1〕
実施例1で作製したポリエーテルイミド樹脂製のフィルムを基材層とし、ポリパラキシリレン系樹脂層を積層形成することなく、フィルムキャパシタ用の基材フィルムを作製した。フィルムキャパシタ用の基材フィルムが得られたら、滑り性、及び耐電圧特性を実施例1と同様の方法により評価し、結果を表2に記載した。
[Comparative Example 1]
Using the polyesterimide resin film prepared in Example 1 as a base material layer, a base film for a film capacitor was prepared without laminating and forming a polyparaxylylene-based resin layer. Once the base film for the film capacitor was obtained, the slipperiness and withstand voltage characteristics were evaluated by the same method as in Example 1, and the results are shown in Table 2.

〔比較例2〕
実施例3で作製したポリカーボネート樹脂製の基材層を用い、この基材層の金属ロール面側にポリモノクロロパラキシリレン樹脂製のポリパラキシリレン系樹脂層を実施例1と同様の方法で薄膜に積層形成し、フィルムキャパシタ用の基材フィルムを作製した。基材フィルムが得られたら、ポリパラキシリレン系樹脂層の薄膜の厚さ、滑り性、及び耐電圧特性を実施例1と同様の方法により評価し、結果を表2に記載した。
[Comparative Example 2]
Using the base material layer made of polycarbonate resin produced in Example 3, a polyparaxylylene resin layer made of polymonochloroparaxylylene resin was placed on the metal roll surface side of this base material layer in the same manner as in Example 1. A base film for a film capacitor was prepared by laminating and forming on a thin film. Once the base film was obtained, the thickness, slipperiness, and withstand voltage characteristics of the thin film of the polyparaxylylene-based resin layer were evaluated by the same method as in Example 1, and the results are shown in Table 2.

Figure 0006803780
Figure 0006803780

〔結 果〕
各実施例のフィルムキャパシタ用の基材フィルムは、静摩擦係数と動摩擦係数が共に1未満であり、優れた滑り性を示した。これに対し、比較例1の基材フィルムは、静摩擦係数が2以上、動摩擦係数が1.5以上であり、実施例と比較して滑り性が大きく劣るのが確認された。また、各実施例の基材フィルムの絶縁破壊電圧は、平均値で300V/μm以上、最小値で260V/μm以上であり、優れた耐電圧特性を示した。これに対し、比較例1の基材フィルムの絶縁破壊電圧は、平均値で262V/μm、最小値で152V/μmであり、不十分な耐電圧特性であった。
[Result]
The base film for the film capacitor of each example had both a static friction coefficient and a dynamic friction coefficient of less than 1, and showed excellent slipperiness. On the other hand, it was confirmed that the base film of Comparative Example 1 had a static friction coefficient of 2 or more and a dynamic friction coefficient of 1.5 or more, and was significantly inferior in slipperiness as compared with the examples. The dielectric breakdown voltage of the base film of each example was 300 V / μm or more on average and 260 V / μm or more on the minimum value, showing excellent withstand voltage characteristics. On the other hand, the dielectric breakdown voltage of the base film of Comparative Example 1 was 262 V / μm on average and 152 V / μm on the minimum, which were insufficient withstand voltage characteristics.

比較例2の基材フィルムは、耐折試験を実施したところ、実施例の基材フィルムには認められなかったポリモノクロロパラキシリレン樹脂の薄膜にクラックが認められた。 When the base film of Comparative Example 2 was subjected to a folding resistance test, cracks were found in the thin film of the polymonochloroparaxylylene resin, which was not found in the base film of the example.

以上の結果から、熱可塑性樹脂製の基材層に薄膜のポリパラキシリレン系樹脂層を積層形成すれば、基材層の耐電圧特性と滑り性の両特性を同時に改良し、向上させることができるのを確認した。 Based on the above results, if a thin-film polyparaxylylene-based resin layer is laminated on a thermoplastic resin base material layer, both the withstand voltage characteristics and the slipperiness characteristics of the base material layer can be improved and improved at the same time. I confirmed that I could do it.

本発明に係る基材フィルムは、電気、電子、フィルムキャパシタ、自動車、携帯機器、情報機器の製造分野で使用される。 The base film according to the present invention is used in the fields of manufacturing electric, electronic, film capacitors, automobiles, portable devices, and information devices.

1 基材フィルム
2 基材層
3 ポリパラキシリレン系樹脂層
4 金属層
1 Base film 2 Base layer 3 Polyparaxylylene resin layer 4 Metal layer

Claims (2)

フィルムキャパシタの誘電体となる基材フィルムであって、
熱可塑性樹脂含有の成形材料により成形される基材層と、この基材層に積層されるポリパラキシリレン系樹脂層と、このポリパラキシリレン系樹脂層に積層されるアルミニウム層とを含み、
基材層の厚さが、1.0〜10μmとされるとともに、基材層とポリパラキシリレン系樹脂層との積層厚の50%以上とされ、この基材層のポリパラキシリレン系樹脂層側の片面に、微細な複数の凹凸部が形成されており、この複数の凹凸部の算術平均粗さ(Ra)がJIS B0601−2001に準じて測定された場合に0.03〜0.50μmの範囲内であり、ポリパラキシリレン系樹脂層の厚さが0.1〜5μmであることを特徴とする基材フィルム。
A base film that serves as a dielectric for film capacitors.
Includes a base material layer molded from a molding material containing a thermoplastic resin, a polyparaxylylene-based resin layer laminated on the base material layer, and an aluminum layer laminated on the polyparaxylylene-based resin layer. ,
The thickness of the base material layer is 1.0 to 10 μm, and 50% or more of the laminated thickness of the base material layer and the polyparaxylylene-based resin layer. A plurality of fine uneven portions are formed on one side of the resin layer side, and 0.03 to 0 when the arithmetic average roughness (Ra) of the plurality of uneven portions is measured according to JIS B0601-2001. A base film having a thickness in the range of .50 μm and a thickness of a polyparaxylylene-based resin layer of 0.1 to 5 μm.
アルミニウム層の表面抵抗値が0.1〜10Ω/□の範囲である請求項1記載の基材フィルム。 The base film according to claim 1, wherein the surface resistance value of the aluminum layer is in the range of 0.1 to 10 Ω / □.
JP2017059551A 2017-03-24 2017-03-24 Base film Active JP6803780B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017059551A JP6803780B2 (en) 2017-03-24 2017-03-24 Base film

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017059551A JP6803780B2 (en) 2017-03-24 2017-03-24 Base film

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018163950A JP2018163950A (en) 2018-10-18
JP6803780B2 true JP6803780B2 (en) 2020-12-23

Family

ID=63861134

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017059551A Active JP6803780B2 (en) 2017-03-24 2017-03-24 Base film

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6803780B2 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7122374B2 (en) * 2017-10-09 2022-08-19 ヒタチ・エナジー・スウィツァーランド・アクチェンゲゼルシャフト Dielectric film and power capacitor with dielectric film
CN115151989A (en) 2020-03-27 2022-10-04 东丽株式会社 Film for thin film capacitor, metal layer laminated film for thin film capacitor, and thin film capacitor
JP7287553B2 (en) 2021-09-17 2023-06-06 東レ株式会社 Films for film capacitors, metal laminates, film capacitors, power control units, electric vehicles, and electric aircraft

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018163950A (en) 2018-10-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7173202B2 (en) Polypropylene film, metal film laminated film, film capacitor, and manufacturing method thereof
JP7336986B2 (en) Laminate with layer of thermoplastic engineering plastic and method for producing same
JP6803780B2 (en) Base film
TWI609093B (en) Conductive film and electronic device having conductive film
JP7434751B2 (en) Polypropylene film, metal film laminate film and film capacitor using the same
CN111051400A (en) Polypropylene film, metal film laminated film and film capacitor
JPWO2017159103A1 (en) Biaxially oriented polypropylene film, metal film laminated film, and film capacitor
JP2021154735A (en) Film for film capacitor, metal layer laminated film for film capacitor, and film capacitor
JP5521360B2 (en) Method for producing gas barrier film
WO2021166993A1 (en) Polypropylene film, metal membrane layered film, and film capacitor
JP5343461B2 (en) Polypropylene film for capacitors and capacitors
JP7318187B2 (en) Polypropylene film, metal film laminated film and film capacitor
JP5686718B2 (en) Film capacitor film
WO2021193844A1 (en) Film for film capacitor, metal layer laminated film for film capacitor, and film capacitor
JP5407901B2 (en) Water repellent release film for manufacturing flexible flat cable (FFC)
JP6599792B2 (en) Manufacturing method of resin film for film capacitor
JP5794043B2 (en) Biaxially oriented polyarylene sulfide composite film for mold release
JP2015066910A (en) Film for film capacitor, and method for producing the film
JP7287553B2 (en) Films for film capacitors, metal laminates, film capacitors, power control units, electric vehicles, and electric aircraft
JP6992919B2 (en) Polypropylene film, metal film laminated film and film capacitors
JP7243905B2 (en) Laminates, packaging materials, and packages
JP7347699B1 (en) Polyolefin films, laminates, packaging materials, and packaging bodies
JP2024049031A (en) Heat-shrinkable film and manufacturing method of the same
JP2024090003A (en) Optical film and method for producing same
JP2023044671A (en) Film for film capacitor, metal laminate, film capacitor, power control unit, electrically-driven vehicle, and electrically-driven aircraft

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20191015

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200701

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200714

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200813

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20201110

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20201201

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6803780

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250