JP6803204B2 - 光学素子の汚れ検出方法及び装置 - Google Patents
光学素子の汚れ検出方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6803204B2 JP6803204B2 JP2016219361A JP2016219361A JP6803204B2 JP 6803204 B2 JP6803204 B2 JP 6803204B2 JP 2016219361 A JP2016219361 A JP 2016219361A JP 2016219361 A JP2016219361 A JP 2016219361A JP 6803204 B2 JP6803204 B2 JP 6803204B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- photodetector
- sensor
- detection
- value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Description
5 保護ガラス
7 光検出センサ
7A,7B 第1,第2の光検出センサ
9 汚れ検出装置
11 レーザ加工ヘッド
13 ガラスホルダ
15 交換指示装置
27 第1設定値メモリ
29 第2設定値メモリ
31 比較手段
33 判別手段
35 表示手段
Claims (6)
- レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出方法であって、
前記光学素子の外周面に沿って配置された少なくとも1つの光検出センサを用い、
前記光検出センサにおける検出値が設定値以下の低レベルの状態にあるときに、位相差が160°〜200°の範囲以外において前記光検出センサの検出値が前記設定値以上である場合には、前記光学素子の交換は不要であると検出する
光学素子の汚れ検出方法。 - レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出方法であって、
前記光学素子の外周面に沿って配置された複数の光検出センサを用い、
前記複数の光検出センサのうちのいずれかの光検出センサの検出値が設定値以下の低レベルの状態にあるときに、位相差が160°〜200°の範囲以外の他の光検出センサにおける検出値が前記設定値以上である場合には、光学素子の交換は不要であると検出する
光学素子の汚れ検出方法。 - レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出装置であって、
前記光学素子の外周面に沿って、160°〜200°の位相差以外に配置された第1,第2の光検出センサと、
前記第1,第2の光検出センサの検出値と予め設定した設定値とを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較の結果、前記第1,第2の光検出センサのうちの一方の光検出センサの検出値が前記設定値以下であり、前記第1,第2の光検出センサのうちの他方の光検出センサの検出値が前記設定値以上である場合には、前記光学素子の交換は不要であると判別する判別手段と、
を備える光学素子の汚れ検出装置。 - レーザ加工ヘッドに備えた光学素子の汚れ検出装置であって、
前記光学素子の外周面に沿って配置された光検出センサを備え、
前記光検出センサは前記光学素子の外周面に沿って相対的に移動自在に構成されている
光学素子の汚れ検出装置。 - 前記光学素子の外周面に沿って配置された1つの光検出センサを用い、前記光学素子は回転自在とされており、
前記光学素子が第1の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が設定値以下の低レベルの状態であり、前記光学素子が第2の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が前記設定値以上であるとき、前記第1の回転位置と前記第2の回転位置との位相差が160°〜200°の範囲以外であれば、前記光学素子の交換は不要であると検出する
請求項1に記載の光学素子の汚れ検出方法。 - 前記光学素子の外周面に沿って配置された1つの光検出センサを用い、前記光検出センサは前記光学素子の外周面に沿って回転自在とされており、
前記光検出センサが第1の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が設定値以下の低レベルの状態であり、前記光検出センサが第2の回転位置であるときに前記光検出センサにおける検出値が前記設定値以上であるとき、前記第1の回転位置と前記第2の回転位置との位相差が160°〜200°の範囲以外であれば、前記光学素子の交換は不要であると検出する
請求項1に記載の光学素子の汚れ検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016219361A JP6803204B2 (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学素子の汚れ検出方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016219361A JP6803204B2 (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学素子の汚れ検出方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018075610A JP2018075610A (ja) | 2018-05-17 |
JP6803204B2 true JP6803204B2 (ja) | 2020-12-23 |
Family
ID=62149638
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016219361A Active JP6803204B2 (ja) | 2016-11-10 | 2016-11-10 | 光学素子の汚れ検出方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6803204B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7316500B2 (ja) * | 2019-06-03 | 2023-07-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工ヘッド及びそれを備えたレーザ加工装置 |
JP2023059618A (ja) * | 2021-10-15 | 2023-04-27 | 株式会社アマダ | 保護ガラス汚れ検知装置及び保護ガラス汚れ検知方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19839930C1 (de) * | 1998-09-02 | 1999-09-09 | Jurca Optoelektronik Gmbh | Verfahren zur Überwachung der Funktionalität des transparenten Schutzelementes einer transparenten Laseroptik sowie Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens |
ATE332209T1 (de) * | 2003-06-20 | 2006-07-15 | Trumpf Laser Gmbh & Co Kg | Verfahren und laserbearbeitungskopf mit einer einrichtung zur überwachung eines optischen elements eines bearbeitungskopfes einer maschine zur thermischen bearbeitung eines werkstücks |
JP6757018B2 (ja) * | 2016-04-26 | 2020-09-16 | 株式会社Nishihara | 保護ガラスの汚れ検出装置とそれを備えるレーザ加工機及び保護ガラスの汚れ検出方法 |
-
2016
- 2016-11-10 JP JP2016219361A patent/JP6803204B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018075610A (ja) | 2018-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6675420B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
US8094036B2 (en) | Monitoring device for a laser machining device | |
JP6689812B2 (ja) | 光センサを有する座標測定装置とそれに対応する方法 | |
EP0956498B1 (en) | Method and apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining | |
JP4262285B2 (ja) | 形状測定装置,形状測定方法 | |
JP2018105847A5 (ja) | ||
CN110325319B (zh) | 在激光材料加工时监测激光加工头中的射束引导光学器件的方法和设备 | |
WO2017002186A1 (ja) | 工具形状測定装置 | |
JP6803204B2 (ja) | 光学素子の汚れ検出方法及び装置 | |
US20140240719A1 (en) | Real-time measurement of relative position data and/or of geometrical dimensions of a moving body using optical measuring means | |
NO310257B1 (no) | Fremgangsmåte for å detektere forurensninger i smeltet harpiks | |
TW200918882A (en) | Edge detection device and defect inspection apparatus | |
JP6288280B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
CN109834385A (zh) | 在激光加工中警告保护窗口的污染的激光加工装置 | |
WO1999059762A1 (en) | A method and an apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining | |
JP6982450B2 (ja) | 保護ガラス汚れ検知システム及び方法 | |
JP4734398B2 (ja) | 形状測定装置,形状測定方法 | |
EP0100399A2 (en) | Method and apparatus for identifying material | |
JP5223478B2 (ja) | 散乱特性評価装置 | |
JP2001147379A (ja) | プリズム破損防止機構を備える全反射吸収スペクトル測定装置 | |
JP2009168634A (ja) | 形状測定方法,形状測定装置 | |
JPS5933855B2 (ja) | 表面検査方法 | |
JP2020175436A (ja) | スパッタ検出装置、レーザ加工装置およびスパッタの検出方法 | |
WO2014162380A1 (ja) | 外界センサ | |
JP2012218116A (ja) | 測定用工具を合わせるための工具ホルダ、測定装置、及びその測定装置の校正方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190814 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200825 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201130 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6803204 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |