JP6794976B2 - 移載設備、移載方法 - Google Patents
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Description
カセット搬送ユニットが搬送台車ユニットから移載したカセットは、カセット移載ユニットによってチャンバに搬入される前に、チャンバの上方に設けられる荷受台に載置される。同様に、カセット移載ユニットがチャンバから搬出したカセットは、カセット搬送ユニットによって搬送台車ユニットに移載される前に荷受台に載置される。
カセット移載ユニットは、カセットを上方から把持して昇降移動させることにより、荷受台に載置されたカセットをチャンバに搬入し、或いはチャンバから搬出したカセットを荷受台に搬入する。
上記構成では、第1移載機の載置面に載置されている物品が、第2移載機の昇降位置に位置決めされる。
上記構成では、第1移載機が第2移載機の昇降位置に位置決めされる。
上記構成では、鉤状の係止部を有する略箱型形状の物品が、第1移載機と第2移載機との間で移載される。
図1及び図2に示すように、移載設備10は、半導体製品或いは液晶表示素子製品の仕掛かり品である基板91に対して蒸着処理を行う蒸着装置80に付設される設備であり、板状体の基板91を収容したカセット90(「物品」の一例)を蒸着装置80のロードポート83に移載するものである。移載設備10においては、移載設備10に搬入されるカセット90が蒸着装置80のロードポート83に移載されるとともに、蒸着装置80のロードポート83から搬出されたカセット90が移載設備10の外部に搬出される。
移載設備10において搬送されるカセット90は、その一方側面或いは両側面が開口した略箱型形状の部材により形成され、その内部に複数の基板91を収容可能に構成されている。カセット90は、その上部に後述する移載機20に係止されるフランジ部92(「係止部」の一例)が複数形成されている。フランジ部92はカセット90の上面から突出して設けられる鉤状の部材により構成され、カセット90の上面の複数箇所に設けられる。
装置筐体81は、その内部空間においてカセット90を載置するためのロードポート83が設けられている。具体的には、ロードポート83は、カセット搬入口82の真下(後述する移載機20の真下であって、移載機20によって昇降するカセット90の昇降経路上)に設けられている。
図1に示すように、フォークユニット40は、カセット90を載置して水平方向に出退移動させるものである。フォークユニット40は、台車走行レール85に沿って走行する搬送台車86からカセット90を搬出し、搬出したカセット90を移載設備10に搬入する。また、フォークユニット40は、移載設備10からカセット90を搬出し、搬出したカセット90を搬送台車86に移載する。
フォークユニット40は、その上面にカセット90を載置するための載置面41aを有するフォーク41と、フォーク41を水平方向に出退移動させるための屈伸式アーム42と、屈伸式アーム42を旋回する旋回台43と、から主に構成されている。
フォーク41は、カセット90載置して移載可能な略長方形状の板で構成され、屈伸式アーム42を屈伸させることによって、搬送台車86或いは移載設備10(移載機20)に対して出退移動を行う。
屈伸式アーム42は、一対のアームを伸長させることにより、搬送台車86に対してカセット90の搬出又は搬入を行うための搬出入位置45、或いは移載機20がフォーク41に対してカセット90の搬出又は搬入を行うためのカセット搬出入位置11までフォーク41を水平移動させる。
図3に示すように、フローティングユニット50は、フォーク41を構成する枠体の内部に収納されている。フローティングユニット50は、カセット90を載置して支持するための支持部51を備えた可動部52が固定部53に対して水平方向に移動自在に受け止め支持される構造を有する。フローティングユニット50は、物品載置支持用の支持部51を備えた可動部52が、複数の転動部材54を保持具55にて回転自在に保持する状態で備えた転動式支持体56により、固定部53に対して、水平方向の全方位に移動自在に且つ平面視にて回転自在に受け止め支持されている。
転動式支持体56は、固定部53に上向き状態で備えさせた平坦状の固定部側接触面形成部材57aと、可動部52に下向き状態で備えさせた平坦状の可動部側接触面形成部材57bとの間に、複数の転動部材54を位置させた状態で、可動部52及び固定部53に対して水平方向の全方位に移動自在に設けられている。
フローティングユニット50は、可動部52を固定部53に対して水平方向に位置固定させる位置固定手段KFと、転動式支持体56を固定部53に対して水平方向における基準位置に復帰移動させる支持体復帰手段SFと、を有する。
位置固定手段KFは、電磁石58aによる磁気吸引力により可動部52の固定部に対する水平位置を固定する固定手段であり、固定部53側の電磁石58aと、可動部52側の強磁性体58bと、を磁力により接着させることにより、可動部52の平面視での位置を固定させる。
支持体復帰手段SFは、コイルバネ59の弾性付勢力を利用した弾性付勢式の復帰手段であり、円環状の転動式支持体56の径方向外方側に周方向に等間隔を空けて複数個の押し操作式のコイルバネ59を設け、コイルバネ59の径方向外方側を固定部53に位置固定状態で設けたバネ受け具59aによって受け止め、転動式支持体56を径方向内方側に向けて押し操作することによって、転動式支持体56を基準位置に復帰移動させる。
移載機20は、蒸着装置80のロードポート83の上方に設けられ、平面視において蒸着装置80のロードポート83と重なる位置に配置される。移載機20は、カセット搬出入位置11まで搬送されたカセット90をフォーク41から搬出し、又は、カセット搬出入位置11まで移動したフォーク41に対してカセット90を搬入する。移載機20は、蒸着装置80の上方において、カセット90の上部を係止して鉛直方向に昇降移動させることによりカセット90を搬送する。移載機20は、カセット90を昇降移動させるための昇降機構21と、カセット90の上部を係止するための係止機構24と、から主に構成されている。
第1昇降部22は、係止機構24を吊下げて支持する支持枠22Aと、支持枠22Aを昇降させるためのボールねじ22Bと、ボールねじ22Bのねじ軸22dを回動する第1モータ22Cと、から主に構成されている。
支持枠22Aは、正面視逆U字状に形成される枠材であり、その両端に設けられる一対の脚部22aにおいてねじ軸22dを回動可能に支持し、一対の脚部22aに架設される支持部22bにおいて係止機構24を吊下げた状態で支持する。ボールねじ22Bは、ねじ軸22dが支持枠22Aに支持されるとともに、ナット22eが第2昇降部23に支持される。第1モータ22Cは、支持枠22Aの両端上部に設けられる。
第1昇降部22は、第1モータ22Cの駆動によりねじ軸22dを回動させることで、第2昇降部23に支持されるナット22eに対してねじ軸22dを昇降させる。これにより、ねじ軸22dを回動可能に支持する支持枠22Aが昇降し、その昇降により係止機構24(カセット90)が昇降移動する。第1昇降部22は、ねじ軸22dの回動により係止機構24(カセット90)を昇降移動させることから、蒸着装置80のロードポート83に対するカセット90の細かな位置合わせを容易に行うことができる。
第2昇降部23は、ボールねじ22Bのナット22eを昇降可能にガイドするガイド体23Aと、ナット22eを昇降移動させる駆動ベルト23Bと、駆動ベルト23Bを回動させるための第2モータ23Cと、から主に構成されている。
ガイド体23Aは、一対の長尺状の部材により構成される。駆動ベルト23Bは、ガイド体23Aの上端部と下端部との間に回動可能に架け渡される。第2モータ23Cはガイド体23Aの下端部に設けられる。
第2昇降部23は、第2モータ23Cを駆動させて駆動ベルト23Bを回動させることによりボールねじ22Bのナット22eを昇降移動させる。これにより、ナット22eを支持する支持枠22A(ねじ軸22d)が昇降し、その昇降により係止機構24(カセット90)が昇降移動する。第2昇降部23は、鉛直方向に延設される長尺状の一対のガイド体23Aの間でガイド枠23Aを昇降移動させることで、蒸着装置80のロードポート83に対するカセット90の大まかな位置合わせを行う。
このように、昇降機構21は、第2昇降部23によりカセット90を蒸着装置80のロードポート83に対して大まかな位置まで下降させ、続いて第1昇降部22によりカセット90を蒸着装置80のロードポート83に対して接近する位置まで下降させることで、蒸着装置80のロードポート83に対するカセット90の位置合わせを行うことができる。
図4に示すように、搬送台車86によりカセット90が所定の位置まで搬送されると、フォークユニット40は、屈伸式アーム42を伸長してフォーク41を搬送台車86に対して水平移動させることにより搬送台車86上のカセット90をフォーク41上に載置して支持する。カセット90がフォーク41上に載置されると、フローティングユニット50が作動し(可動部52が固定部53に対して水平方向に移動不能となり)、カセット90がフォーク41上で移動不能な状態となる。
図5及び図6に示すように、フローティングユニット50が作動すると、フォークユニット40は、カセット90をフォーク41に載置した状態で屈伸式アーム42を屈曲させるとともにフォーク41を旋回させる。さらに、フォークユニット40は、屈伸式アーム42を伸長してフォーク41を移載設備10のカセット搬出入位置11まで水平移動させる。これにより、カセット90がカセット搬出入位置11まで搬送される。
プッシャー25は、一対のアーム部25Bを互いに伸縮移動させることにより、カセット90を四方に移動させる。そして、プッシャー25は、カセット90を、移載機20の係止部24A(係止機構24)がカセット90のフランジ部92を係止可能な位置(カセット搬出入位置11)まで移動させる。すなわち、プッシャー25は、カセット90を四方に移動させることで移載機20の昇降位置に対するカセット90の位置決めを行う。プッシャー25によるカセット90の位置決めが完了すると、フローティングユニット50が作動し(可動部52が固定部53に対して水平方向に移動不能となり)、カセット90がフォーク41上で移動不能な状態となる。これにより、カセット90がカセット搬出入位置11で保持される。
フローティングユニット50の作動が解除されると、フォークユニット40は屈伸式アーム42を屈曲させてフォーク41をカセット搬出入位置11から離れた位置まで水平移動させる。また、プッシャー25は、アーム部25Bをカセット90から離れる方向(カセット90の昇降経路を避ける方向)に収縮移動させる。
フォーク41及びアーム部25Bがカセット搬出入位置11から離れた位置まで移動すると、移載機20の第2昇降部23が駆動し、カセット90を係止した係止機構24が蒸着装置80のロードポート83に向けて下降する。具体的には、第2モータ23Cが駆動することで駆動ベルト23Bが作動し、駆動ベルト23Bが作動することでボールねじ22Bのナット22eがガイド体23Aに沿って下降する。そして、ナット22eを支持する支持枠22A(ねじ軸22d)が下降し、その下降により係止機構24(カセット90)が所定位置まで下降する。
図8に示すように、係止機構24が所定位置まで下降すると、第2昇降部23の駆動が停止し、第1昇降部22が駆動する。これにより、係止機構24に係止されるカセット90が蒸着装置80のロードポート83に移載される。具体的には、第2モータ23Cの駆動が停止することで、第1モータ22Cが駆動してボールねじ22Bのねじ軸22dが回動する。これにより、ねじ軸22dを支持する支持枠22Aが下降し、その昇降により係止機構24(カセット90)が下降する。
係止機構24に係止されるカセット90がカセット搬出入位置11まで上昇すると、フォークユニット40はフォーク41をカセット搬出入位置11まで水平移動させる。この時、ローラ篏合部41bが位置決めガイドローラ26に篏合される。
本実施の形態においては、移載機20の係止部24Aがカセット90の上部の鉤状のフランジ部92を係止した状態で、移載機20がカセット90を昇降移動させているが、これに限定されるものではなく、例えば、移載機20がカセット90の側面を把持した状態でカセット90を昇降移動させても構わない。
本実施の形態においては、移載機20が第1昇降部22と第2昇降部23とによる二段階の昇降移動によってカセット90を昇降させているが、これに限定されるものではなく、第1昇降部22又は第2昇降部23のいずれか一方のみ、すなわち、一段階の昇降移動によってカセット90を昇降させても構わない。また、第1昇降部22は、ボールねじ22Bを用いてカセット90の昇降を行うが、これに限定されるものではなく、係止機構24に取り付けた昇降ベルトを巻き取り及び巻き出すことでカセット90の昇降を行っても構わない。
本実施の形態においては、フローティングユニット50が、フォーク41の幅方向の両端部に、フォーク41の長手方向に沿って複数個並べた状態で載置面41a上に配置されているが、カセット90をフォーク41上で充分に支持することが可能であれば、フローティングユニット50の配置位置、個数は限定されない。
本実施の形態においては、支持体復帰手段SFを弾性付勢式の復帰手段により構成しているが、磁石式の復帰手段により構成しても構わない。
本実施の形態においては、プッシャー25は、カセット90の角部90Aに当接することでカセット90の位置を規制しているが、これに限定されるものではなく、カセット90の側面であって、当接時にカセット90の位置を規制可能であれば、カセット90の側面の中央部を当接するように構成しても構わない。また、2体のプッシャー25によりカセット90の位置規制を行っているが、これに限定されるものではく、1体、或いは3体以上のプッシャー25により位置規制を行っても構わない。
本実施の形態においては、移載機20の昇降位置に対するフォークユニット40のフォーク41の位置決めをローラである位置決めガイドローラ26により行っているが、これに限定されるものではなく、フォーク41をカセット搬出入位置11で保持可能な構成であれば、例えば、フォーク41のローラ篏合部41bが篏合可能な凸状の部材により構成しても構わない。
20 移載機(第2移載機)
25 プッシャー(位置規制装置)
40 フォークユニット(第1移載機)
41a 載置面
50 フローティングユニット
51 支持部
52 可動部
53 固定部
90 カセット
Claims (3)
- 物品を載置して水平方向に出退移動させる第1移載機と、物品の上部を支持して鉛直方向に昇降移動させる第2移載機と、の間で物品の移載を行う移載設備であって、
前記第1移載機の載置面に載置されている物品の側面に当接して前記載置面における前記物品の位置規制を行う位置規制装置を備え、
前記第1移載機は、その載置面上にフローティングユニットを備え、
前記フローティングユニットは、物品載置支持用の支持部を備えた可動部が固定部に対して水平方向に移動自在に受け止め支持される構造であり、
前記物品は前記物品載置支持用の支持部に支持され、
前記可動部を前記固定部に対して水平方向に移動可能とし、且つ前記位置規制装置により前記物品の位置規制を行うことにより、前記第2移載機の昇降位置に対する物品の位置決めが前記載置面上で行われること
を特徴とする移載設備。 - 前記第2移載機の昇降位置に対する前記第1移載機の位置決めを行う位置決め手段を備えること
を特徴とする請求項1に記載の移載設備。 - 前記物品は、その上部に前記第2移載機に係止される係止部が形成される略箱型形状のものであり、且つ前記係止部が鉤状に形成されているものであること
を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の移載設備。
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