JP6782001B2 - 電気検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気検査装置に関する。

プリント基板の製造現場では、複数のプローブ（電気接触子）を有する電気検査ヘッドをプリント基板に圧接し、プローブをプリント基板の測定点に接触させてプリント基板の電気的な特性を検査する電気検査装置が使用されている。従来の電気検査装置では、検査するプリント基板に反りやうねりがあると、電気検査ヘッドを圧接する際にプリント基板が位置ずれする場合がある。

そこで、例えば特開２０１０−２３７０６１公報には、プローブを案内する複数の貫通孔を有し、基板の一部の領域に圧接されるトレイ（板状体）を用いる電気検査装置が提案されている。前記公報には、基板の一部の領域を圧接することにより、基板全体を圧接する場合に比べて基板の位置ずれを抑制できると記載されている。

近年、プリント基板の配線密度がますます大きくなっており、前記公報に記載されるようにプリント基板の比較的小さい領域に板状体を圧接する場合でも、プリント基板の反りやうねりに起因する位置ずれにより、プローブがプリント基板の測定点から外れてプリント基板の特性を正確に検査できないことがある。

特開２０１０−２３７０６１公報

前記不都合に鑑みて、本発明は、プリント基板に比較的正確にプローブを当接させられる電気検査装置を提供することを課題とする。

前記課題を解決するためになされた発明は、複数のプローブを有する電気検査ヘッドを駆動するヘッド駆動機構と、プリント基板の位置情報を取得する画像処理デバイスとを備え、前記電気検査ヘッドをプリント基板の検査対象部に正対させ、プリント基板に対して法線方向から複数のプローブを接触させる電気検査装置であって、前記プリント基板の平面視で前記プリント基板の検査対象部の周囲に法線方向に圧接する矯正部材と、前記矯正部材を電気検査ヘッドから独立して検査対象部に正対するようプリント基板の平面方向に位置決めしてプリント基板の法線方向に移動させる矯正部材駆動機構とを備えることを特徴とする電気検査装置である。

１対の前記矯正部材がプリント基板を挟んで対向するよう配設されるとよい。

前記矯正部材でプリント基板を圧接するよう前記矯正部材駆動機構を制御した後、前記画像処理デバイスにより位置情報を取得して電気検査ヘッドを位置決めするコントローラーをさらに備えるとよい。

前記矯正部材が枠状であるとよい。

前記矯正部材の開口面積としては、電気検査ヘッドの当接面の面積の１．１倍以上１０倍以下が好ましい。

前記矯正部材が、圧接によりプリント基板に張力を付与する機構を有するとよい。

本発明の電気検査装置は、前記１対の矯正部材と、前記矯正部材駆動機構とを備えることによって、前記矯正部材によってプリント基板の検査対象部の周囲を圧接してから、電気検査ヘッドを位置決めしてプリント基板の検査対象部に圧接することができる。このように、当該電気検査装置は、電気検査ヘッドをプリント基板に圧接する前に、矯正部材でプリント基板を圧接することでプリント基板の反りやうねりを取り除くことができるので、プリント基板に電気検査ヘッドを圧接する際にはプリント基板が位置ずれしにくい。このため、当該電気検査装置は、プリント基板に比較的正確にプローブを当接させられる。

本発明の一実施形態の電気検査装置の構成を示す模式図である。 図１の電気検査装置の矯正部材の詳細を示す模式的断面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。

［電気検査装置］
図１に示す本発明の一実施形態に係る電気検査装置は、複数のプローブ１を有する１対の電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの検査対象部の表裏に正対させてプリント基板Ｐに法線方向に複数のプローブ１を接触させることにより、プリント基板Ｐの電気的特性を検査する装置である。当該電気検査装置は、可撓性を有し、反りやうねりが生じ得るプリント基板Ｐの電気的特性を検査するために用いることができる。

当該電気検査装置は、１対の電気検査ヘッド２を駆動するヘッド駆動機構３と、プリント基板Ｐの位置情報を取得する画像処理デバイス４と、平面視でプリント基板Ｐの検査対象部の周囲に法線方向に表裏からそれぞれ圧接する１対の矯正部材５と、１対の矯正部材５を電気検査ヘッド２から独立して検査対象部に正対するようプリント基板Ｐの平面方向に位置決めすると共にプリント基板Ｐの法線方向に矯正部材５を移動させる矯正部材駆動機構６と、画像処理デバイス４により取得した位置情報に基づいてヘッド駆動機構３及び矯正部材駆動機構６を制御するコントローラー７とを備える。

当該電気検査装置は、各構成要素を支持する不図示のフレームや、プリント基板Ｐの周縁部を保持する部材等をさらに備えることができる。

＜プリント基板＞
当該電気検査装置により電気的特性を検査するプリント基板Ｐとしては、典型的には、可撓性を有するシート状の基材の上に複数の機能部が形成され、最終的に各機能部を含む部分を切り出して複数の電子部品を得るものが想定される。

このようなプリント基板Ｐは、個々の機能部又は少数の機能部を含む比較的小さい領域が１対の電気検査ヘッド２によって検査される検査対象部とされる。換言すると、プリント基板Ｐは、複数の検査対象部を有する。このため、プリント基板Ｐは、電気検査ヘッド２が場所を変えて繰り返し圧接されて、各検査対象部の電気的特性が順番に検査される。

＜電気検査ヘッド＞
１対の電気検査ヘッド２は、プリント基板Ｐに対向し、それぞれプローブ１を案内する複数のガイド孔を有するガイドプレート８を有する。電気検査ヘッド２において、複数のプローブ１は、ガイド孔に挿入され、ガイドプレート８に垂直、かつそれぞれの先端がガイドプレート８から突出するよう保持される。

複数のプローブ１は、プリント基板Ｐの導電パターンの複数の測定点に当接するよう配置される。なお、プリント基板Ｐの導電パターンは表裏で異なり得るため、１対の電気検査ヘッド２における複数のプローブ１の配置は互いに異なってもよい。

＜ヘッド駆動機構＞
ヘッド駆動機構３は、電気検査ヘッド２の３次元の位置決めを行うことができるものであればよく、さらにプリント基板Ｐの法線方向の軸を中心に電気検査ヘッド２の回転位置決めを行うことができるものが好ましい。

ヘッド駆動機構３としては、多関節ロボットを用いてもよいが、コスト及び占有スペースが比較的小さい直交座標型駆動システムを採用することが好ましい。この直交座標型駆動システムとしては、プリント基板Ｐの平面方向に２軸の位置決めが可能な直交座標型ロボットと、この直交座標型ロボットの末端に配設される昇降デバイスと、この昇降デバイスにより昇降可能に保持され、電気検査ヘッド２を回転位置決め可能に保持する回転位置決めデバイスとを備える構成とすることができる。

ヘッド駆動機構３は、１対の電気検査ヘッド２を独立して駆動する１対の機構であってもよく、１対の電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐを挟んで鏡写しに駆動する単一の機構であってもよい。

＜画像処理デバイス＞
画像処理デバイス４は、ディジタル画像を撮影するカメラと、このカメラが撮影したディジタル画像を処理する処理部とを備える公知のデバイスを用いることができる。

この画像処理デバイス４の処理部は、後述するコントローラー７と一体に構成されてもよい。つまり、画像処理デバイス４の処理部は、コントローラー７を構成するコンピューターによって処理されるプログラムの一部であってもよい。

画像処理デバイス４のカメラは、独立して保持されてもよいが、ヘッド駆動機構３によって電気検査ヘッド２と共に少なくともプリント基板Ｐの平面方向に移動可能に保持されるとよい。画像処理デバイス４のカメラを電気検査ヘッド２と共に移動させることにより画像処理の範囲を限定し、必要とされるカメラの画素数及び処理部の演算能力が比較的小さくなるので、当該電気検査装置を比較的安価にできると共に、プリント基板Ｐの検査サイクルを短縮することができる。

画像処理デバイス４のカメラによる撮影範囲の面積の下限としては、電気検査ヘッド２の当接面（ガイドプレート８）の面積の１．１倍が好ましく、１．２倍がより好ましい。一方、画像処理デバイス４のカメラによる撮影範囲の面積の上限としては、電気検査ヘッド２の当接面の面積の１０倍が好ましく、５倍がより好ましい。画像処理デバイス４のカメラによる撮影範囲の面積が前記下限に満たない場合、測定対象部の位置情報を取得することができないおそれがある。逆に、画像処理デバイス４のカメラによる撮影範囲の面積が前記上限を超える場合、画像処理の演算負荷が不必要に増大するおそれがある。

画像処理デバイス４による位置情報の取得は、カメラが撮影したディジタル画像の中から、公知の画像処理技術によりディジタル画像におけるプリント基板Ｐの検査対象部の特徴点の座標を特定することによって、カメラとプリント基板Ｐの検査対象部との相対位置、ひいてはプリント基板Ｐの検査対象部の絶対位置を特定する。

画像処理デバイス４のカメラによってプリント基板Ｐのディジタル画像を撮影する際、カメラのプリント基板Ｐの法線方向の位置（プリント基板Ｐからの離間距離）を一定にすることによって、カメラとプリント基板Ｐの検査対象部との平面方向の相対位置の絶対量を比較的容易に算出することができる。

画像処理において抽出する特徴点は、プリント基板Ｐの導電パターンの中で予め設定される特徴的な形状の部分であってもよく、プロント基板Ｐに画像処理専用に設けられるマーキングであってもよい。

＜矯正部材＞
１対の矯正部材５は、プリント基板Ｐを挟んで対向し、プリント基板Ｐの電気検査ヘッド２を圧接すべき検査対象部の周囲に表裏から法線方向に圧接することでプリント基板Ｐを挟持し、これによって検査対象部の反りやうねりを取り除く。

このため、矯正部材５のプリント基板Ｐに対する当接面は、プリント基板Ｐと平行な平面状とされる。

矯正部材５のプリント基板Ｐに対する当接面の材質としては、プリント基板Ｐを傷つけないように柔軟性を有する樹脂等が好適に用いられる。

矯正部材５のプリント基板Ｐに当接する部分の平面形状としては、少なくともプリント基板Ｐの検査対象部を挟み込む少なくとも２点に当接するものであればよいが、典型的には、検査対象部を略取り囲み、内側に電気検査ヘッド２を挿入可能な枠状とされる。矯正部材５を枠状とすれば、プリント基板Ｐ検査対象部の周囲を全周に亘って挟持することができるので、反りやうねりの向きに拘わらず、プリント基板Ｐの反りやうねりを比較的確実に除去することができる。

矯正部材５を枠状とする場合、その開口面積の下限としては、電気検査ヘッド２の当接面（ガイドプレート８）の面積の１．１倍が好ましく、１．２倍がより好ましい。一方、矯正部材５の開口面積の上限としては、電気検査ヘッド２の当接面の面積の１０倍が好ましく、５倍がより好ましい。矯正部材５の開口面積が前記下限に満たない場合、矯正部材５が電気検査ヘッド２に干渉して電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐに対して正確に位置決めして圧接することができないおそれがある。逆に、矯正部材５の開口面積が前記上限を超える場合、平面視で矯正部材５の開口内のプリント基板Ｐに反りやうねりが残存して、電気検査ヘッド２の圧接時にプリント基板Ｐが位置ずれすることよりプリント基板Ｐの電気的特性を正確に検査できないおそれがある。

なお、具体的な開口面積はプリント基板Ｐの平面状態に応じて決定するとよい。具体的には、プリント基板Ｐの反りやうねりが比較的大きいの場合、矯正部材５の開口面積は小さいことが好ましい。逆にプリント基板Ｐの反りやうねりが比較的小さい場合、矯正部材５の開口内に複数の測定対象部が含まれるようにして、１回の矯正部材５の位置決めにより複数回の電気検査を行うことで、プリント基板Ｐ全体の電気検査に要する時間を短縮することができる。

矯正部材５は、単にプリント基板Ｐに圧接されるだけの可動部を有しないものであってもよいが、圧接によってプリント基板Ｐに張力を付与する機構（張力付与機構）を有するとよい。

当該電気検査装置は、矯正部材５が張力付与機構を有することによって、より確実にプリント基板Ｐの反りやうねりを除去することができる。

この張力付与機構を有する矯正部材５の構成としては、一例として、図２に示すように、後述する矯正部材駆動機構６に保持される矯正部材本体９と、この矯正部材本体９にプリント基板Ｐの法線方向に対して傾斜する方向にスライド可能に取り付けられる圧接体１０と、この圧接体１０をプリント基板Ｐに向かって矯正部材本体９よりも突出させる圧縮バネ１１とを備えるものとすることができる。つまり、張力付与機構としては、楔又は直動カムを用いてプリント基板Ｐへの圧接力をプリント基板Ｐに平面方向に作用する張力に変換する機構を採用することができる。

図２の張力付与機構は、方形枠状の矯正部材本体９の四辺にそれぞれプリント基板Ｐに対する当接面を有する圧接体１０がスライド可能に配設されている。各圧接体１０は、圧縮バネ１１の弾性力に抗してプリント基板Ｐと反対側に押込まれると、対向する圧接体１０から遠ざかるよう設けられる。

張力付与機構を有する場合、矯正部材５のプリント基板Ｐに対する当接面は、プリント基板Ｐが平面方向に横滑りし難いようプリント基板Ｐに対する摩擦力が大きくなるゴム等から形成されることが好ましい。

また、張力付与機構は、プリント基板Ｐに対する当接面がプリント基板Ｐの表面を擦過して傷つけることを防止するため、圧接体１０の間隔の過度の増大を防止できるよう矯正部材駆動機構６との間にバネを配設したり、圧接体１０を弾性変形可能な材料で形成したりしてもよい。

対向する圧接体１０の間隔のプリント基板Ｐに当接する前の間隔を基準とする変化率（最大間隔と最小間隔との差を最小間隔で除した値）の下限としては、０．０５％が好ましく、０．１％がより好ましい。一方、対向する圧接体１０の間隔の変化率の上限としては、２％が好ましく、１％がより好ましい。対向する圧接体１０の間隔の変化率が前記下限に満たない場合、プリント基板Ｐの反りやうねりを除去する効果を十分に促進できないおそれがある。逆に、対向する圧接体１０の間隔の変化率が前記上限を超える場合、圧接体１０によりプリント基板Ｐの表面の擦過を防止することが困難となるおそれがある。

＜矯正部材駆動機構＞
矯正部材駆動機構６は、矯正部材５の３次元の位置決めを行うことができるものであればよい。さらに、矯正部材駆動機構６は、矯正部材５の開口を小さくしてプリント基板Ｐの反りやうねりを取り除く効果を向上するためにプリント基板Ｐの法線方向の軸を中心に矯正部材５の回転位置決めを行うことができるよう構成されてもよい。

矯正部材駆動機構６としては、多関節ロボットを用いてもよいが、コスト及び占有スペースが比較的小さい直交座標型駆動システムを採用することが好ましい。この直交座標型駆動システムとしては、プリント基板Ｐの平面方向に２軸の位置決めが可能な直交座標型ロボットと、この直交座標型ロボットの末端に配設される昇降デバイスと、この昇降デバイスにより昇降可能に保持され、矯正部材５を回転位置決め可能に保持する回転位置決めデバイスとを備える構成とすることができる。

ヘッド駆動機構３及び矯正部材駆動機構６は、ヘッド駆動機構３が電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐから離間させた状態で、電気検査ヘッド２及び矯正部材５を互いに干渉することなくプリント基板Ｐの平面方向に移動できるよう構成されることが好ましい。

ヘッド駆動機構３及び矯正部材駆動機構６として直交座標型駆動システムを採用する場合、ヘッド駆動機構３のプリント基板Ｐの平面方向の移動を案内する直動ガイドと矯正部材駆動機構６のプリント基板Ｐの平面方向の移動を案内する直動ガイドとをプリント基板Ｐの法線方向に並べて配設するとよく、矯正部材駆動機構６の直動ガイドがヘッド駆動機構３の直動ガイドよりもプリント基板Ｐ側に配設されることが好ましい。

矯正部材駆動機構６は、１対の矯正部材５を独立して駆動する１対の機構であってもよく、１対の矯正部材５をプリント基板Ｐを挟んで鏡写しに駆動する単一の機構であってもよいが、１対の機構とする場合も、同一の制御信号に基づいて動作し、１対の矯正部材５を常に正対し合うように移動させることが好ましい。

＜コントローラー＞
コントローラー７は、１対の矯正部材５をプリント基板Ｐの両面に圧接させるよう矯正部材駆動機構６を制御した後、画像処理デバイス４により位置情報を取得して１対の電気検査ヘッド２を位置決めする。

当該電気検査装置は、コントローラー７を備えることにより、プリント基板Ｐの反りやうねりを除去してから電気検査ヘッド２を圧接する動作を行う際にオペレーターが操作する必要がないので、より正確かつ迅速にプリント基板Ｐの測定対象部に電気検査ヘッド２を圧接することができる。

コントローラー７としては、例えばプログラマブルロジックコントローラー、パーソナルコンピューター等が用いられる。

また、コントローラー７は、画像処理デバイス４の使用を必要とせず、かつオペレーターの介入を必要とせずに１対の矯正部材５でプリント基板Ｐを挟持できるよう、プリント基板Ｐにおける複数の検査対象部の基準となる位置情報を記憶することが好ましい。このように、矯正部材５の位置決めをコントローラー７に予め記憶されるプリント基板Ｐの導電パターンのレイアウト情報に基づいて行うことで、処理時間の短縮及びコントローラー７の演算負荷の低減が可能となる。

＜電気検査方法＞
当該電気検査装置を用いてプリント基板Ｐの電気的特性を検査する方法は、１対の矯正部材５でプリント基板Ｐの検査対象部の周囲に圧接する工程（圧接工程）と、この圧接工程後に画像処理デバイス４によりプリント基板Ｐの検査対象部の位置情報を取得する工程（位置情報取得工程）と、この位置情報取得工程で取得した位置情報に基づいて１対の電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの検査対象部に圧接する工程（ヘッド圧接工程）と、このヘッド圧接工程で圧接した電気検査ヘッド２のプローブ１を介してプリント基板Ｐの電気的特性を測定する工程（測定工程）とを備える方法とすることができる。

また、当該電気検査装置を用いる検査方法は、測定工程後に１対の電気検査ヘッド２及び矯正部材５をプリント基板Ｐから離間させる工程（離間工程）を備える。この離間工程により、当該電気検査装置は、前記圧接工程から測定工程までを再度行うことが可能となる。つまり、当該電気検査装置を用いる検査方法は、圧接工程から離間工程までの各工程を繰り返し行うことで、１枚のプリント基板Ｐの複数の測定対象部に順次電気検査ヘッド２を当接させてその電気的特性を検査する。

当該電気検査装置において、圧接工程、位置情報取得工程、ヘッド圧接工程、測定工程及び離間工程は、コントローラー７のプログラムによって自動的に行われることが好ましい。

（圧接工程）
圧接工程では、先ず、１対の矯正部材５をプリント基板Ｐの平面方向に移動することにより検査対象部に正対させ、続いて、１対の矯正部材５をプリント基板Ｐの法線方向に圧接することで、１対の矯正部材５でプリント基板Ｐの検査対象部の周囲を挟持する。

この圧接工程における矯正部材５のプリント基板Ｐの平面方向の位置決めは、プリント基板Ｐにおける複数の検査対象部の設計上の配置に基づいて予測される検査対象部の位置に対して行うとよい。

（位置情報取得工程）
位置情報取得工程では、画像処理デバイス４のカメラにより、矯正部材５の平面視で開口内のプリント基板Ｐの画像を撮影して、検査すべき検査対象部の位置情報を取得する。

このため、この位置情報取得工程では、電気検査ヘッド２を矯正部材５の開口に正対しない位置に配置して矯正部材５の開口内のプリント基板Ｐの測定対象部を確認可能とした上で、画像処理デバイス４のカメラによりプリント基板Ｐの画像を撮影するとよい。

（ヘッド圧接工程）
ヘッド圧接工程では、先ず、位置情報取得工程において取得した位置情報に基づいて１対の電気検査ヘッド２を検査対象部に正対するようプリント基板Ｐの平面方向に移動し、続いて、１対の電気検査ヘッド２をプリント基板Ｐの法線方向に移動して１対の矯正部材５の開口内にそれぞれ挿入することでプリント基板Ｐの表裏に圧接する。

（測定工程）
測定工程では、例えば複数のプローブ１間に電圧を印可して電流値を測定する等の方法により、プリント基板Ｐの回路の各部の電気的特性をそれぞれ測定する。

（離間工程）
離間工程では、１対の電気検査ヘッド２及び１対の矯正部材５をプリント基板Ｐから離間させ、１対の電気検査ヘッド２及び１対の矯正部材５を独立してプリント基板Ｐの平面方向に移動可能な状態とする。

＜利点＞
当該電気検査装置は、１対の矯正部材５をプリント基板Ｐに圧接することで、プリント基板Ｐの測定対象部の反りやうねりを除去することができ、反りやうねりを除去した状態で電気検査ヘッド２を圧接するので、この電気検査ヘッド２の圧接時にプリント基板Ｐの位置ずれが生じない。つまり、当該電気検査装置では、画像処理デバイス４により位置情報を取得した後にプリント基板Ｐが位置ずれしない。このため、当該電気検査装置は、電気検査ヘッド２の複数のプローブ１をプリント基板Ｐの測定対象部に存在する測定点に比較的正確に当接させられる。従って、当該電気検査装置は、プリント基板Ｐの電気的特性を比較的確実に測定することができる。

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。

当該電気検査装置は、検査するプリント基板が片面にのみ導電パターンを有する片面基板である場合、プリント基板が載置される定盤と、この定盤にプリント基板を押しつけるよう圧接される１つの矯正部材とを有する構成としてもよい。

当該電気検査装置は、画像処理デバイスをプリント基板の両側にそれぞれ備え、各画像処理デバイスにより取得した位置情報に基づいて１対の電気検査ヘッドを互いに独立して位置決めしてもよい。なお、１対の矯正部材については、プリント基板を介して正確に対向するよう、単一の位置情報に基づいて制御されることが好ましい。

当該電気検査装置における矯正部材のプリント基板に張力を付与する機構としては、楔又は直動カムを用いる機構に限られず、例えばゴム等の弾性変形によってプリント基板に圧接される部分が外側に移動するもの、例えばリンク機構や歯車機構等を用いてプリント基板への圧接力を平面方向に変換するもの、例えばエアシリンダ等の動力源を用いてプリント基板に張力を付与するものなどを採用してもよい。

当該電気検査装置は、プリント基板を挟持する１対の矯正部材をプリント基板の平面方向に位置決めするために画像処理デバイスにより位置情報を取得してもよい。この場合、１対の矯正部材でプリント基板を挟持した後、電気検査ヘッドをプリント基板の平面方向に位置決めするために、改めて画像処理デバイスにより位置情報を取得するよう構成される。

当該電気検査装置は、プリント基板の一方の面の電気的特性のみを検査するものであってもよい。つまり、当該電気検査装置は、電気検査ヘッドを１つだけ備えるものであってもよい。

当該電気検査装置は、コントローラーを有しないものであってもよく、圧接工程、位置情報取得工程及びヘッド圧接工程の一部をオペレーターの操作に基づいて行うものであってもよい。

本発明に係る電気検査装置は、可撓性を有し、反りやうねりを生じ得るフレキシブルプリント基板の電気検査に好適に利用することができる。

１ プローブ
２ 電気検査ヘッド
３ ヘッド駆動機構
４ 画像処理デバイス
５ 矯正部材
６ 矯正部材駆動機構
７ コントローラー
８ ガイドプレート
９ 矯正部材本体
１０ 圧接体
１１ 圧縮バネ
Ｐ プリント基板

Claims (7)

1. 複数のプローブを有する電気検査ヘッドを駆動するヘッド駆動機構と、プリント基板の位置情報を取得する画像処理デバイスとを備え、
   前記電気検査ヘッドを前記プリント基板の検査対象部に正対させ、前記プリント基板に対して法線方向から複数のプローブを接触させる電気検査装置であって、
   前記プリント基板の平面視で前記プリント基板の検査対象部の周囲に当接する当接面を有し、この当接面によって前記プリント基板に法線方向に圧力をかけて押す矯正部材と、
   前記矯正部材を前記電気検査ヘッドから独立して前記検査対象部に正対するよう前記プリント基板の平面方向に位置決めして前記プリント基板の法線方向に移動させる矯正部材駆動機構と
   を備え、
   前記矯正部材が、前記法線方向に圧力をかけて押す動作により、前記当接面が前記プリント基板の面に平行な方向にスライドし、前記プリント基板に張力を付与する機構を有することを特徴とする電気検査装置。
2. 前記矯正部材が、前記プリント基板の法線方向に対して傾斜する方向にスライド可能な圧接体を備える請求項１に記載の電気検査装置。
3. 前記矯正部材が、
   前記圧接体が配設される矯正部材本体と、
   前記圧接体を前記プリント基板に向かって前記矯正部材本体から突出させる圧縮バネと
   をさらに備える請求項２に記載の電気検査装置。
4. １対の前記矯正部材がプリント基板を挟んで対向するよう配設される請求項１、請求項２又は請求項３に記載の電気検査装置。
5. 前記矯正部材でプリント基板を圧力をかけて押すよう前記矯正部材駆動機構を制御した後、前記画像処理デバイスにより位置情報を取得して電気検査ヘッドを位置決めするコントローラーをさらに備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の電気検査装置。
6. 前記矯正部材が枠状である請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の電気検査装置。
7. 前記矯正部材の開口面積が電気検査ヘッドの当接面の面積の１．１倍以上１０倍以下である請求項６に記載の電気検査装置。
   

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