JP6777893B2 - UV transmissive glass - Google Patents

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Description

本発明は、紫外線透過ガラス及びその製造方法に関する。 The present invention relates to ultraviolet transmissive glass and a method for producing the same.

現在、深紫外域（例えば、波長域２００〜３５０ｎｍ）を発光波長とする発光ダイオード（ＬＥＤ）、レーザーダイオード（ＬＤ）の開発が盛んに行われている。 Currently, light emitting diodes (LEDs) and laser diodes (LDs) whose emission wavelength is in the deep ultraviolet region (for example, a wavelength region of 200 to 350 nm) are being actively developed.

更に、短波長域（例えば、波長域２５０ｎｍ以下、特に波長域２００ｎｍ以下）の紫外光は、例えばＤＶＤへの書き込み用の光源として検討されている。 Further, ultraviolet light in a short wavelength region (for example, a wavelength region of 250 nm or less, particularly a wavelength region of 200 nm or less) is being studied as a light source for writing to, for example, a DVD.

上記の通り、深紫外域の紫外光を用いた光源やデバイスの開発が盛んに行われており、これに伴い、深紫外域、特に波長域２００ｎｍ付近の紫外光を透過する紫外線透過ガラスが必要になる。 As mentioned above, the development of light sources and devices using ultraviolet light in the deep ultraviolet region is being actively carried out, and along with this, ultraviolet transmissive glass that transmits ultraviolet light in the deep ultraviolet region, especially in the wavelength region of around 200 nm is required. become.

しかし、従来の紫外線透過ガラスは、主に波長２５０〜３５０ｎｍの紫外光を透過するものの、波長２００ｎｍの紫外光を透過しなかった（特許文献１、２参照）。 However, the conventional ultraviolet transmissive glass mainly transmits ultraviolet light having a wavelength of 250 to 350 nm, but does not transmit ultraviolet light having a wavelength of 200 nm (see Patent Documents 1 and 2).

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その技術的課題は、深紫外域の紫外光の透過率が高い紫外線透過ガラスを創案することである。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and a technical object thereof is to create an ultraviolet transmissive glass having a high transmittance of ultraviolet light in the deep ultraviolet region.

特開平３−２１８９４０号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 3-218940 特開２０１３−２３０９５２号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-230952

本発明者等は、種々の実験を繰り返した結果、深紫外域の紫外光の透過率を所定範囲まで高めることにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として提案するものである。すなわち、本発明の紫外線透過ガラスは、厚み０．７ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率が１０％以上であることを特徴とする。ここで、「波長２００ｎｍにおける透過率」は、市販の分光光度計（例えば、日立製作所製ＵＶ―３１００）で測定可能である。 As a result of repeating various experiments, the present inventors have found that the above technical problems can be solved by increasing the transmittance of ultraviolet light in the deep ultraviolet region to a predetermined range, and propose the present invention. is there. That is, the ultraviolet transmissive glass of the present invention is characterized by having a thickness of 0.7 mm and a transmittance of 10% or more at a wavelength of 200 nm. Here, the "transmittance at a wavelength of 200 nm" can be measured with a commercially available spectrophotometer (for example, UV-3100 manufactured by Hitachi, Ltd.).

第二に、本発明の紫外線透過ガラスは、厚み０．７ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率をＴ２５０とし、厚み０．７ｍｍ、波長３００ｎｍにおける透過率をＴ３００とした場合、Ｔ２５０／Ｔ３００の値が０．３以上であることが好ましい。波長域が約２７０ｎｍの紫外光は、殺菌用途に用いられる。これまでは、殺菌用途に水銀ランプが使用されてきたが、環境的影響から代替光源の使用が要望されており、発光波長が紫外域のＬＥＤが有望視されている。そこで、Ｔ２５０／Ｔ３００の値を０．３以上に規制すれば、上記用途に好適に適用可能になる。 Secondly, ultraviolet transmitting glass of the present invention, the thickness 0.7 mm, the transmittance at a wavelength of 250nm and T 250, when the thickness 0.7 mm, the transmittance at a wavelength of 300nm was T 300, the T 250 / T 300 The value is preferably 0.3 or more. Ultraviolet light having a wavelength range of about 270 nm is used for sterilization applications. Until now, mercury lamps have been used for sterilization applications, but due to environmental impact, the use of alternative light sources has been requested, and LEDs with emission wavelengths in the ultraviolet region are promising. Therefore, if the value of T 250 / T 300 is regulated to 0.3 or more, it can be suitably applied to the above-mentioned applications.

第三に、本発明の紫外線透過ガラスは、歪点が４３０℃以上であることが好ましい。ここで、「歪点」は、ＡＳＴＭ Ｃ３３６の方法に基づいて測定した値を指す。 Third, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has a strain point of 430 ° C. or higher. Here, the "distortion point" refers to a value measured based on the method of ASTM C336.

光源やデバイスの生産性を高めるために、紫外線透過ガラス上に各種機能膜を高温で成膜することが想定される。この場合、紫外線透過ガラスには、耐熱性が求められる。しかし、従来の紫外線透過ガラスは、歪点が低いため、ＴＦＴ等の製造に使用されるガラス板と比較して、耐熱性が低かった。そこで、歪点を４３０℃以上、特に５００℃以上に規制すると、各種機能膜を高温で成膜することが可能になる。 In order to increase the productivity of light sources and devices, it is assumed that various functional films are formed on ultraviolet transmissive glass at high temperature. In this case, the ultraviolet transmissive glass is required to have heat resistance. However, since the conventional ultraviolet transmissive glass has a low strain point, the heat resistance is low as compared with the glass plate used for manufacturing a TFT or the like. Therefore, if the strain point is regulated to 430 ° C. or higher, particularly 500 ° C. or higher, various functional films can be formed at a high temperature.

第四に、本発明の紫外線透過ガラスは、３０〜３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数が３０×１０−７〜１００×１０−７／℃であることが好ましい。ここで、「３０〜３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数」は、ディラトメーターで測定した値を指す。 Fourth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has an average coefficient of linear thermal expansion of 30 × 10 -7 to 100 × 10 -7 / ° C. in the temperature range of 30 to 380 ° C. Here, the "average coefficient of linear thermal expansion in the temperature range of 30 to 380 ° C." refers to a value measured by a dilatometer.

第五に、本発明の紫外線透過ガラスは、軟化点が１０００℃以下であることが好ましい。「軟化点」は、ＡＳＴＭ Ｃ３３８の方法に基づいて測定した値を指す。 Fifth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has a softening point of 1000 ° C. or lower. “Softening point” refers to a value measured based on the method of ASTM C338.

第六に、本発明の紫外線透過ガラスは、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２ ５０〜８０％、Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３ １〜４５％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ ０〜２５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ ０〜２５％を含有することが好ましい。ここで、「Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３」は、Ａｌ２Ｏ３とＢ２Ｏ３の合量である。「Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ」は、Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏの合量である。「ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ」は、ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯの合量である。 Sixth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention has a glass composition of SiO 2 50 to 80%, Al 2 O 3 + B 2 O 3 1 to 45%, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O 0 to 25 by mass. %, It is preferable to contain MgO + CaO + SrO + BaO 0 to 25%. Here, "Al 2 O 3 + B 2 O 3 " is the total amount of Al 2 O 3 and B 2 O 3 . "Li 2 O + Na 2 O + K 2 O" is the total amount of Li 2 O, Na 2 O and K 2 O. "MgO + CaO + SrO + BaO" is the total amount of MgO, CaO, SrO and BaO.

第七に、本発明の紫外線透過ガラスは、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２ ５０〜８０％、Ａｌ２Ｏ３ １〜２０％、Ｂ２Ｏ３ ３〜２５％、ＭｇＯ ０〜１０％、ＣａＯ ０〜１５％、ＳｒＯ ０〜７％、ＢａＯ ０〜７％、Ｎａ２Ｏ ０〜１５％、Ｋ２Ｏ ０〜１０％を含有することが好ましい。 Seventh, the ultraviolet transmissive glass of the present invention has a glass composition of SiO 2 50 to 80%, Al 2 O 3 1 to 20%, B 2 O 3 3 to 25%, MgO 0 to 10% in terms of glass composition. , CaO 0 to 15%, SrO 0 to 7%, BaO 0 to 7%, Na 2 O 0 to 15%, and K 2 O 0 to 10%.

第八に、本発明の紫外線透過ガラスは、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２ ５５〜７０％、Ａｌ２Ｏ３ ３〜１５％、Ｂ２Ｏ３ ５〜２０％、ＭｇＯ ０〜５％、ＣａＯ ０〜１０％、ＳｒＯ ０〜５％、ＢａＯ ０〜５％、Ｎａ２Ｏ ５〜１５％、Ｋ２Ｏ ０〜１０％を含有することが好ましい。 Eighth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention has a glass composition of SiO 2 55 to 70%, Al 2 O 3 3 to 15%, B 2 O 3 5 to 20%, MgO 0 to 5% in mass%. , CaO 0 to 10%, SrO 0 to 5%, BaO 0 to 5%, Na 2 O 5 to 15%, and K 2 O 0 to 10%.

第九に、本発明の紫外線透過ガラスは、Ｆｅ２Ｏ３＋ＴｉＯ２の含有量が１００ｐｐｍ以下（０．０１質量％以下）であることが好ましい。ここで、「Ｆｅ２Ｏ３＋ＴｉＯ２」は、Ｆｅ２Ｏ３とＴｉＯ２の合量である。「Ｆｅ２Ｏ３」は、三価の酸化鉄と二価の酸化鉄の双方を含み、二価の酸化鉄は三価の酸化鉄に換算した上で取り扱うものとする。 Ninth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has a Fe 2 O 3 + TiO 2 content of 100 ppm or less (0.01 mass% or less). Here, "Fe 2 O 3 + TiO 2 " is the total amount of Fe 2 O 3 and TiO 2 . "Fe 2 O 3 " contains both trivalent iron oxide and divalent iron oxide, and the divalent iron oxide is treated after being converted into trivalent iron oxide.

第十に、本発明の紫外線透過ガラスは、Ｓｂ２Ｏ３の含有量が１０００ｐｐｍ以下（０．１質量％以下）であることが好ましい。 Tenth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has a Sb 2 O 3 content of 1000 ppm or less (0.1% by mass or less).

第十一に、本発明の紫外線透過ガラスは、ＳｎＯ２の含有量が２０００ｐｐｍ以下（０．２質量％以下）であることが好ましい。 Eleventh, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has a SnO 2 content of 2000 ppm or less (0.2% by mass or less).

第十二に、本発明の紫外線透過ガラスは、Ｆ２＋Ｃｌ２＋ＳＯ３の含有量が１０〜１００００ｐｐｍ（０．００１〜１質量％）であることが好ましい。ここで、「Ｆ２＋Ｃｌ２＋ＳＯ３」は、Ｆ２、Ｃｌ２及びＳＯ３の合量である。 Twelvely, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has a content of F 2 + Cl 2 + SO 3 of 10 to 10000 ppm (0.001 to 1% by mass). Here, "F 2 + Cl 2 + SO 3 " is the total amount of F 2 , Cl 2 and SO 3 .

第十三に、本発明の紫外線透過ガラスは、液相粘度が１０４．０ｄＰａ・ｓ以上であることが好ましい。ここで、「液相粘度」は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値を指す。「液相温度」は、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れて、温度勾配炉中に２４時間保持した後、結晶が析出する温度を顕微鏡観察にて測定した値を指す。 Thirteenth, ultraviolet transmitting glass of the present invention, it is preferable liquidus viscosity of 10 4.0 dPa · s or more. Here, the "liquid phase viscosity" refers to a value obtained by measuring the viscosity of glass at the liquid phase temperature by the platinum ball pulling method. "Liquid phase temperature" is the temperature at which crystals precipitate after passing through a standard sieve of 30 mesh (500 μm), placing the glass powder remaining in 50 mesh (300 μm) in a platinum boat, and holding it in a temperature gradient furnace for 24 hours. Refers to the value measured by microscopic observation.

第十四に、本発明の紫外線透過ガラスは、平板形状であり、そのサイズが１００ｍｍ×１００ｍｍ以上であることが好ましい。 Fourteenth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention has a flat plate shape, and its size is preferably 100 mm × 100 mm or more.

第十五に、本発明の紫外線透過ガラスは、平板形状であり、その板厚が２．０ｍｍ以下であることが好ましい。 Fifteenth, the ultraviolet transmissive glass of the present invention preferably has a flat plate shape and a plate thickness of 2.0 mm or less.

第十六に、本発明の紫外線透過ガラスは、平板形状であり、その表面の表面粗さＲａが１０ｎｍ以下であることが好ましい。ここで、「表面の表面粗さＲａ」は、触針式表面粗さ計又は原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）により測定可能である。 Sixteenth, it is preferable that the ultraviolet transmissive glass of the present invention has a flat plate shape and its surface roughness Ra is 10 nm or less. Here, the "surface roughness Ra" can be measured by a stylus type surface roughness meter or an atomic force microscope (AFM).

第十七に、本発明の紫外線透過ガラスの製造方法は、上記の紫外線透過ガラスの製造方法であって、ガラス原料の一部に金属シリコンを用いることが好ましい。 Seventeenth, the method for producing an ultraviolet transmissive glass of the present invention is the above-mentioned method for producing an ultraviolet transmissive glass, and it is preferable to use metallic silicon as a part of the glass raw material.

第十八に、本発明の紫外線透過ガラスの製造方法は、上記の紫外線透過ガラスの製造方法であって、ガラス原料の一部にフッ化アルミニウムを用いることが好ましい。 Eighteenth, the method for producing ultraviolet-transmitting glass of the present invention is the above-mentioned method for producing ultraviolet-transmitting glass, and it is preferable to use aluminum fluoride as a part of the glass raw material.

第十九に、本発明の紫外線透過ガラスの製造方法は、上記の紫外線透過ガラスの製造方法であって、ガラス原料の一部に金属シリコン及びフッ化アルミニウムを用いることが好ましい。 Nineteenth, the method for producing an ultraviolet transmissive glass of the present invention is the above-mentioned method for producing an ultraviolet transmissive glass, and it is preferable to use metallic silicon and aluminum fluoride as a part of the glass raw material.

第二十に、本発明の紫外線透過ガラスの製造方法は、オーバーフローダウンドロー法で平板形状に成形することが好ましい。 Twenty, the method for producing an ultraviolet transmissive glass of the present invention is preferably formed into a flat plate shape by an overflow down draw method.

波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.１の透過率曲線である。It is a transmittance curve of the sample No. 1 at a wavelength of 200 to 400 nm. 波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.２の透過率曲線である。It is a transmittance curve of the sample No. 2 at a wavelength of 200 to 400 nm. 波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.３の透過率曲線である。It is a transmittance curve of the sample No. 3 at a wavelength of 200 to 400 nm. 波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.４の透過率曲線である。It is a transmittance curve of the sample No. 4 at a wavelength of 200 to 400 nm. 波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.５の透過率曲線である。It is a transmittance curve of the sample No. 5 at a wavelength of 200 to 400 nm.

本発明の紫外線透過ガラスにおいて、厚み０．７ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率は１０％以上であり、好ましくは２０％以上、３０％以上、４０％以上、５０％以上、６０％以上、７０％以上、８０％以上である。厚み０．７ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率が低過ぎると、紫外光が透過し難くなり、光源やデバイスとして機能できなくなる。 In the ultraviolet transmissive glass of the present invention, the transmittance at a thickness of 0.7 mm and a wavelength of 200 nm is 10% or more, preferably 20% or more, 30% or more, 40% or more, 50% or more, 60% or more, 70% or more. , 80% or more. If the transmittance at a thickness of 0.7 mm and a wavelength of 200 nm is too low, it becomes difficult for ultraviolet light to pass through, and the light source or device cannot function.

本発明の紫外線透過ガラスにおいて、厚み０．７ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率は５０％以上であり、好ましくは６０％以上、７０％以上、特に８０％以上である。厚み０．７ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率が低過ぎると、紫外光が透過し難くなり、光源やデバイスとして機能できなくなる。 In the ultraviolet transmissive glass of the present invention, the transmittance at a thickness of 0.7 mm and a wavelength of 250 nm is 50% or more, preferably 60% or more, 70% or more, and particularly 80% or more. If the transmittance at a thickness of 0.7 mm and a wavelength of 250 nm is too low, it becomes difficult for ultraviolet light to pass through, and it becomes impossible to function as a light source or a device.

厚み０．７ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率をＴ２５０とし、厚み０．７ｍｍ、波長３００ｎｍにおける透過率をＴ３００としたときに、Ｔ２５０／Ｔ３００の値は、好ましくは０．３以上、０．４以上、０．５以上、０．６以上、０．７以上、０．８以上、０．８５以上、特に０．９以上である。Ｔ２５０／Ｔ３００の値が小さ過ぎると、紫外光が透過し難くなり、光源やデバイスとして機能できなくなる。 Thickness 0.7 mm, the transmittance at a wavelength of 250nm and T 250, thickness 0.7 mm, the transmittance at a wavelength of 300nm when the T 300, the value of T 250 / T 300 is preferably 0.3 or more, 0 0.4 or more, 0.5 or more, 0.6 or more, 0.7 or more, 0.8 or more, 0.85 or more, especially 0.9 or more. If the value of T 250 / T 300 is too small, it becomes difficult for ultraviolet light to pass through, and it cannot function as a light source or a device.

本発明の紫外線透過ガラスにおいて、歪点は、好ましくは４３０℃以上、４６０℃以上、４８０℃以上、５００℃以上、５２０℃以上、５３０℃以上、５５０℃以上、６００℃以上、特に６３０℃以上である。歪点が低過ぎると、高温の成膜工程でガラスが変形し易くなる。 In the ultraviolet transmissive glass of the present invention, the strain point is preferably 430 ° C or higher, 460 ° C or higher, 480 ° C or higher, 500 ° C or higher, 520 ° C or higher, 530 ° C or higher, 550 ° C or higher, 600 ° C or higher, particularly 630 ° C or higher. Is. If the strain point is too low, the glass is likely to be deformed in the high temperature film forming process.

軟化点は、好ましくは１０００℃以下、９５０℃以下、９００℃以下、８５０℃以下、特に８００℃以下である。軟化点が高過ぎると、ガラス溶融窯への負荷が大きくなり、ガラスの製造コストが高騰し易くなる。 The softening point is preferably 1000 ° C. or lower, 950 ° C. or lower, 900 ° C. or lower, 850 ° C. or lower, particularly 800 ° C. or lower. If the softening point is too high, the load on the glass melting kiln becomes large, and the manufacturing cost of glass tends to rise.

１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、好ましくは１５８０℃以下、１５５０℃以下、１５２０℃以下、１５００℃以下、１４８０℃以下、特に１４７０℃以下である。１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度が高過ぎると、溶融性が低下して、ガラスの製造コストが高騰し易くなる。ここで、「１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度」は、白金球引き上げ法で測定可能である。なお、１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、溶融温度に相当し、この温度が低い程、溶融性が向上する。 The temperature at 10 2.5 dPa · s is preferably 1580 ° C. or lower, 1550 ° C. or lower, 1520 ° C. or lower, 1500 ° C. or lower, 1480 ° C. or lower, and particularly 1470 ° C. or lower. If the temperature at 10 2.5 dPa · s is too high, the meltability is lowered and the manufacturing cost of glass is likely to rise. Here, the "temperature at 10 2.5 dPa · s" can be measured by the platinum ball pulling method. The temperature at 10 2.5 dPa · s corresponds to the melting temperature, and the lower the temperature, the better the meltability.

３０〜３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数は、好ましくは３０×１０−７／℃以上、５０×１０−７／℃以上、６０×１０−７／℃以上、特に７０×１０−７／℃以上であり、また１０５×１０−７／℃以下、１００×１０−７／℃以下、９５×１０−７／℃以下、特に９０×１０−７／℃以下である。平均線熱膨張係数が低過ぎると、各種部材、特にガラスフリットの熱膨張係数に整合させ難くなる。結果として、ガラスフリットの低融点化が困難になるため、デバイスの工程温度の上昇を招き、デバイスの性能が劣化し易くなる。一方、平均線熱膨張係数が高過ぎると、熱衝撃により、ガラスが破損し易くなる。 The average coefficient of linear thermal expansion in the temperature range of 30 to 380 ° C is preferably 30 × 10-7 / ° C or higher, 50 × 10-7 / ° C or higher, 60 × 10-7 / ° C or higher, especially 70 × 10-7. It is 105 × 10-7 / ° C or less, 100 × 10-7 / ° C or less, 95 × 10-7 / ° C or less, and particularly 90 × 10-7 / ° C or less. If the average coefficient of linear thermal expansion is too low, it becomes difficult to match the coefficient of thermal expansion of various members, especially glass frit. As a result, it becomes difficult to lower the melting point of the glass frit, which causes an increase in the process temperature of the device and the performance of the device is likely to deteriorate. On the other hand, if the average coefficient of linear thermal expansion is too high, the glass is liable to break due to thermal shock.

液相温度は、好ましくは１１５０℃未満、１１２０℃以下、１１００℃以下、１０８０℃以下、１０５０℃以下、１０３０℃以下、９８０℃以下、９６０℃以下、９５０℃以下、特に９４０℃以下である。液相粘度は、好ましくは１０４．０ｄＰａ・ｓ以上、１０４．３ｄＰａ・ｓ以上、１０４．５ｄＰａ・ｓ以上、１０４．８ｄＰａ・ｓ以上、１０５．１ｄＰａ・ｓ以上、１０５．３ｄＰａ・ｓ以上、特に１０５．５ｄＰａ・ｓ以上である。このようにすれば、耐失透性が向上し、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法で成形し易くなるため、薄型のガラス板を作製し易くなると共に、表面を研磨しなくても、板厚ばらつきを低減することができる。結果として、ガラス板の製造コストを低廉化することができる。 The liquidus temperature is preferably less than 1150 ° C., 1120 ° C. or lower, 1100 ° C. or lower, 1080 ° C. or lower, 1050 ° C. or lower, 1030 ° C. or lower, 980 ° C. or lower, 960 ° C. or lower, 950 ° C. or lower, particularly 940 ° C. or lower. The liquidus viscosity is preferably 10 4.0 dPa · s or more, 10 4.3 dPa · s or more, 10 4.5 dPa · s or more, 10 4.8 dPa · s or more, and 10 5.1 dPa · s. or more, 10 5.3 dPa · s or more, particularly 10 5.5 dPa · s or more. By doing so, the devitrification resistance is improved and it becomes easy to mold by the down draw method, particularly the overflow down draw method, so that it becomes easy to produce a thin glass plate and the plate does not need to be polished. The thickness variation can be reduced. As a result, the manufacturing cost of the glass plate can be reduced.

ヤング率は、好ましくは５５ＧＰａ以上、６０ＧＰａ以上、６５ＧＰａ以上、特に７０ＧＰａ以上である。ヤング率が低過ぎると、デバイスの製造工程における搬送ラインでガラス板が剛性を維持し難くなり、ガラス板の変形、反り、破損が発生し易くなる。 The Young's modulus is preferably 55 GPa or more, 60 GPa or more, 65 GPa or more, and particularly 70 GPa or more. If the Young's modulus is too low, it becomes difficult for the glass plate to maintain rigidity in the transport line in the device manufacturing process, and the glass plate is likely to be deformed, warped, or broken.

本発明の紫外線透過ガラスは、ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２ ５０〜８０％、Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３ １〜４５％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ ０〜２５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ ０〜２５％であることが好ましい。上記のように各成分の含有量を限定した理由を以下に示す。なお、各成分の含有量の説明において、％表示は、特に断りがある場合を除き、質量％を表す。 The ultraviolet transmissive glass of the present invention has a glass composition of SiO 2 50 to 80%, Al 2 O 3 + B 2 O 3 1 to 45%, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O 0 to 25%, MgO + CaO + SrO + BaO 0. It is preferably ~ 25%. The reasons for limiting the content of each component as described above are shown below. In addition, in the description of the content of each component,% notation represents mass% unless otherwise specified.

ＳｉＯ２は、ガラスの骨格を形成する主成分である。ＳｉＯ２の含有量は、好ましくは５０〜８０％、５５〜７５％、５８〜７０％、特に６０〜６８％である。ＳｉＯ２の含有量が少な過ぎると、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。一方、ＳｉＯ２の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなり、溶融性が低下し易くなることに加えて、クリストバライト等の失透結晶が析出し易くなって、液相温度が上昇し易くなる。 SiO 2 is a main component forming the skeleton of glass. The content of SiO 2 is preferably 50 to 80%, 55 to 75%, 58 to 70%, and particularly 60 to 68%. If the content of SiO 2 is too small, Young's modulus and acid resistance tend to decrease. On the other hand, if the content of SiO 2 is too large, the high-temperature viscosity becomes high and the meltability tends to decrease, and in addition, devitrified crystals such as cristobalite tend to precipitate and the liquidus temperature tends to rise. Become.

Ａｌ２Ｏ３とＢ２Ｏ３は、耐失透性を高める成分である。Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３の含有量は、好ましくは１〜４０％、５〜３５％、１０〜３０％、特に１５〜２５％である。Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、ガラスが失透し易くなる。一方、Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ガラス組成の成分バランスが損なわれて、逆にガラスが失透し易くなる。 Al 2 O 3 and B 2 O 3 are components that enhance devitrification resistance. The content of Al 2 O 3 + B 2 O 3 is preferably 1 to 40%, 5 to 35%, 10 to 30%, and particularly 15 to 25%. If the content of Al 2 O 3 + B 2 O 3 is too small, the glass tends to be devitrified. On the other hand, if the content of Al 2 O 3 + B 2 O 3 is too large, the component balance of the glass composition is impaired, and conversely, the glass tends to be devitrified.

Ａｌ２Ｏ３は、ヤング率を高める成分であると共に、分相、失透を抑制する成分である。Ａｌ２Ｏ３の含有量は、好ましくは１〜２０％、３〜１８％、特に５〜１６％である。Ａｌ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、ヤング率が低下し易くなり、またガラスが分相、失透し易くなる。一方、Ａｌ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、高温粘度が高くなり、溶融性が低下し易くなる。 Al 2 O 3 is a component that enhances Young's modulus and suppresses phase separation and devitrification. The content of Al 2 O 3 is preferably 1 to 20%, 3 to 18%, and particularly 5 to 16%. If the content of Al 2 O 3 is too small, the Young's modulus tends to decrease, and the glass tends to undergo phase separation and devitrification. On the other hand, if the content of Al 2 O 3 is too large, the high-temperature viscosity becomes high and the meltability tends to decrease.

Ｂ２Ｏ３は、溶融性、耐失透性を高める成分であり、また傷の付き易さを改善して、強度を高める成分である。Ｂ２Ｏ３の含有量は、好ましくは３〜２５％、５〜２２％、７〜１９％、特に９〜１６％である。Ｂ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、溶融性、耐失透性が低下し易くなり、またフッ酸系の薬液に対する耐性が低下し易くなる。一方、Ｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。 B 2 O 3 is a component that enhances meltability and devitrification resistance, and is a component that improves the susceptibility to scratches and enhances strength. The content of B 2 O 3 is preferably 3 to 25%, 5 to 22%, 7 to 19%, and particularly 9 to 16%. If the content of B 2 O 3 is too small, the meltability and devitrification resistance tend to decrease, and the resistance to hydrofluoric acid-based chemicals tends to decrease. On the other hand, if the content of B 2 O 3 is too large, Young's modulus and acid resistance tend to decrease.

Ｌｉ２Ｏ、Ｎａ２Ｏ及びＫ２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量は、好ましくは０〜２５％、１〜２０％、４〜１５％、特に７〜１３％である。Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏの含有量が少な過ぎると、溶融性が低下し易くなる。一方、Ｎａ２Ｏの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。 Li 2 O, Na 2 O and K 2 O are components that lower the high-temperature viscosity, significantly increase the meltability, and contribute to the initial melting of the glass raw material. The content of Li 2 O + Na 2 O + K 2 O is preferably 0 to 25%, 1 to 20%, 4 to 15%, and particularly 7 to 13%. If the content of Li 2 O + Na 2 O + K 2 O is too small, the meltability tends to decrease. On the other hand, if the content of Na 2 O is too large, the coefficient of thermal expansion may become unreasonably high.

Ｌｉ２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。Ｌｉ２Ｏの含有量は、好ましくは０〜５％、０〜３％、０〜１％、特に０〜０．１％である。Ｌｉ２Ｏの含有量が少な過ぎると、溶融性が低下し易くなることに加えて、熱膨張係数が不当に低くなる虞がある。一方、Ｌｉ２Ｏの含有量が多過ぎると、ガラスが分相し易くなる。 Li 2 O is a component that lowers the high-temperature viscosity, remarkably enhances the meltability, and contributes to the initial melting of the glass raw material. The content of Li 2 O is preferably 0 to 5%, 0 to 3%, 0 to 1%, and particularly 0 to 0.1%. If the content of Li 2 O is too small, the meltability tends to decrease and the coefficient of thermal expansion may become unreasonably low. On the other hand, if the content of Li 2 O is too large, the glass tends to be phase-separated.

Ｎａ２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。また熱膨張係数を調整するための成分である。Ｎａ２Ｏの含有量は、好ましくは０〜２５％、１〜２０％、３〜１８％、５〜１５％、特に７〜１３％である。Ｎａ２Ｏの含有量が少な過ぎると、溶融性が低下し易くなることに加えて、熱膨張係数が不当に低くなる虞がある。一方、Ｎａ２Ｏの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。 Na 2 O is a component that lowers the high-temperature viscosity, remarkably enhances the meltability, and contributes to the initial melting of the glass raw material. It is also a component for adjusting the coefficient of thermal expansion. The content of Na 2 O is preferably 0 to 25%, 1 to 20%, 3 to 18%, 5 to 15%, and particularly 7 to 13%. If the content of Na 2 O is too small, the meltability tends to decrease and the coefficient of thermal expansion may become unreasonably low. On the other hand, if the content of Na 2 O is too large, the coefficient of thermal expansion may become unreasonably high.

Ｋ２Ｏは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高めると共に、ガラス原料の初期の溶融に寄与する成分である。また熱膨張係数を調整するための成分である。Ｋ２Ｏの含有量は、好ましくは０〜１５％、０．１〜１０％、特に１〜５％である。Ｋ２Ｏの含有量が多過ぎると、熱膨張係数が不当に高くなる虞がある。 K 2 O is a component that lowers the high-temperature viscosity, significantly enhances the meltability, and contributes to the initial melting of the glass raw material. It is also a component for adjusting the coefficient of thermal expansion. The K 2 O content is preferably 0 to 15% 0.1% to 10%, especially 1-5%. If the content of K 2 O is too high, the coefficient of thermal expansion may become unreasonably high.

ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｒＯ及びＢａＯは、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分である。ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量は、好ましくは０〜２５％、０〜１５％、０．１〜１２％、１〜５％である。ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。 MgO, CaO, SrO and BaO are components that lower the high-temperature viscosity and increase the meltability. The content of MgO + CaO + SrO + BaO is preferably 0 to 25%, 0 to 15%, 0.1 to 12%, and 1 to 5%. If the content of MgO + CaO + SrO + BaO is too large, the glass tends to be devitrified.

ＭｇＯは、高温粘性を下げて、溶融性を高める成分であり、アルカリ土類金属酸化物の中では、ヤング率を顕著に高める成分である。ＭｇＯの含有量は、好ましくは０〜１０％、０〜８％、０〜５％、特に０〜１％である。ＭｇＯの含有量が多過ぎると、耐失透性が低下し易くなる。 MgO is a component that lowers high-temperature viscosity and enhances meltability, and is a component that remarkably increases Young's modulus among alkaline earth metal oxides. The content of MgO is preferably 0 to 10%, 0 to 8%, 0 to 5%, and particularly 0 to 1%. If the content of MgO is too large, the devitrification resistance tends to decrease.

ＣａＯは、高温粘性を下げて、溶融性を顕著に高める成分である。またアルカリ土類金属酸化物の中では、導入原料が比較的安価であるため、原料コストを低廉化する成分である。ＣａＯの含有量は、好ましくは０〜１５％、０．５〜１０％、特に１〜５％である。ＣａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。なお、ＣａＯの含有量が少な過ぎると、上記効果を享受し難くなる。 CaO is a component that lowers high-temperature viscosity and remarkably increases meltability. Further, among alkaline earth metal oxides, since the introduced raw material is relatively inexpensive, it is a component that reduces the raw material cost. The CaO content is preferably 0 to 15%, 0.5 to 10%, and particularly 1 to 5%. If the CaO content is too high, the glass tends to be devitrified. If the CaO content is too small, it becomes difficult to enjoy the above effects.

ＳｒＯは、耐失透性を高める成分である。ＳｒＯの含有量は、好ましくは０〜７％、０〜５％、０〜３％、特に０〜１％未満である。ＳｒＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。 SrO is a component that enhances devitrification resistance. The content of SrO is preferably 0 to 7%, 0 to 5%, 0 to 3%, particularly less than 0 to 1%. If the content of SrO is too high, the glass tends to be devitrified.

ＢａＯは、耐失透性を高める成分である。ＢａＯの含有量は、好ましくは０〜７％、０〜５％、０〜３％、０〜１％未満である。ＢａＯの含有量が多過ぎると、ガラスが失透し易くなる。 BaO is a component that enhances devitrification resistance. The content of BaO is preferably 0 to 7%, 0 to 5%, 0 to 3%, and less than 0 to 1%. If the content of BaO is too high, the glass tends to be devitrified.

上記成分以外にも、任意成分として、他の成分を導入してもよい。なお、上記成分以外の他の成分の含有量は、本発明の効果を的確に享受する観点から、合量で１０％以下、５％以下、特に３％以下が好ましい。 In addition to the above components, other components may be introduced as optional components. The content of the components other than the above components is preferably 10% or less, 5% or less, particularly 3% or less in total, from the viewpoint of accurately enjoying the effects of the present invention.

ＺｎＯは、溶融性を高める成分であるが、ガラス組成中に多量に含有させると、ガラスが失透し易くなる。よって、ＺｎＯの含有量は、好ましくは０〜５％、０〜３％、０〜１％、０〜１％未満、特に０〜０．１％である。 ZnO is a component that enhances meltability, but if it is contained in a large amount in the glass composition, the glass tends to be devitrified. Therefore, the ZnO content is preferably 0 to 5%, 0 to 3%, 0 to 1%, less than 0 to 1%, and particularly 0 to 0.1%.

ＺｒＯ２は、耐酸性を高める成分であるが、ガラス組成中に多量に含有させると、ガラスが失透し易くなる。よって、ＺｒＯ２の含有量は、好ましくは０〜５％、０〜３％、０〜１％、０〜０．５％、特に０．００１〜０．２％である。 ZrO 2 is a component that enhances acid resistance, but if it is contained in a large amount in the glass composition, the glass tends to be devitrified. Therefore, the content of ZrO 2 is preferably 0 to 5%, 0 to 3%, 0 to 1%, 0 to 0.5%, and particularly 0.001 to 0.2%.

Ｆｅ２Ｏ３とＴｉＯ２は、深紫外域での透過率を低下させる成分である。Ｆｅ２Ｏ３＋ＴｉＯ２の含有量は、好ましくは１００ｐｐｍ以下、８０ｐｐｍ以下、６０ｐｐｍ以下、０．１〜４０ｐｐｍ以下、特に１〜２０ｐｐｍである。Ｆｅ２Ｏ３＋ＴｉＯ２の含有量が多過ぎると、ガラスが着色して、深紫外域での透過率が低下し易くなる。なお、Ｆｅ２Ｏ３＋ＴｉＯ２の含有量が少な過ぎると、高純度のガラス原料を使用しなければならず、バッチコストの高騰を招く。 Fe 2 O 3 and TiO 2 are components that reduce the transmittance in the deep ultraviolet region. The content of Fe 2 O 3 + TiO 2 is preferably 100 ppm or less, 80 ppm or less, 60 ppm or less, 0.1 to 40 ppm or less, and particularly 1 to 20 ppm. If the content of Fe 2 O 3 + TiO 2 is too large, the glass is colored and the transmittance in the deep ultraviolet region tends to decrease. If the content of Fe 2 O 3 + TiO 2 is too small, a high-purity glass raw material must be used, which leads to an increase in batch cost.

Ｆｅ２Ｏ３は、深紫外域での透過率を低下させる成分である。Ｆｅ２Ｏ３の含有量は、好ましくは１００ｐｐｍ以下、８０ｐｐｍ以下、６０ｐｐｍ以下、４０ｐｐｍ以下、２０ｐｐｍ以下、１０ｐｐｍ以下、特に１〜８ｐｐｍである。Ｆｅ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、ガラスが着色して、深紫外域での透過率が低下し易くなる。なお、Ｆｅ２Ｏ３の含有量が少な過ぎると、高純度のガラス原料を使用しなければならず、バッチコストの高騰を招く。 Fe 2 O 3 is a component that lowers the transmittance in the deep ultraviolet region. The content of Fe 2 O 3 is preferably 100 ppm or less, 80 ppm or less, 60 ppm or less, 40 ppm or less, 20 ppm or less, 10 ppm or less, and particularly 1 to 8 ppm. If the content of Fe 2 O 3 is too large, the glass is colored and the transmittance in the deep ultraviolet region tends to decrease. If the content of Fe 2 O 3 is too small, a high-purity glass raw material must be used, which leads to an increase in batch cost.

酸化鉄中のＦｅイオンは、Ｆｅ２＋又はＦｅ３＋の状態で存在する。Ｆｅ２＋の割合が少な過ぎると、深紫外線での透過率が低下し易くなる。よって、酸化鉄中のＦｅ２＋／（Ｆｅ２＋＋Ｆｅ３＋）の質量割合は、好ましくは０．１以上、０．２以上、０．３以上、０．４以上、特に０．５以上である。 Fe ions in iron oxide exist in the state of Fe 2+ or Fe 3+ . If the proportion of Fe 2+ is too small, the transmittance in deep ultraviolet rays tends to decrease. Therefore, the mass ratio of Fe 2+ / (Fe 2+ + Fe 3+ ) in iron oxide is preferably 0.1 or more, 0.2 or more, 0.3 or more, 0.4 or more, and particularly 0.5 or more.

ＴｉＯ２は、深紫外域での透過率を低下させる成分である。ＴｉＯ２の含有量は、好ましくは１００ｐｐｍ以下、８０ｐｐｍ以下、６０ｐｐｍ以下、４０ｐｐｍ以下、２０ｐｐｍ以下、１０ｐｐｍ以下、特に０．５〜５ｐｐｍである。ＴｉＯ２の含有量が多過ぎると、ガラスが着色して、深紫外域での透過率が低下し易くなる。なお、ＴｉＯ２の含有量が少な過ぎると、高純度のガラス原料を使用しなければならず、バッチコストの高騰を招く。 TiO 2 is a component that reduces the transmittance in the deep ultraviolet region. The content of TiO 2 is preferably 100 ppm or less, 80 ppm or less, 60 ppm or less, 40 ppm or less, 20 ppm or less, 10 ppm or less, and particularly 0.5 to 5 ppm. If the content of TiO 2 is too high, the glass is colored and the transmittance in the deep ultraviolet region tends to decrease. If the content of TiO 2 is too small, a high-purity glass raw material must be used, which leads to an increase in batch cost.

Ｓｂ２Ｏ３は、清澄剤として作用する成分である。Ｓｂ２Ｏ３の含有量は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下、８００ｐｐｍ以下、６００ｐｐｍ以下、４００ｐｐｍ以下、２００ｐｐｍ以下、１００ｐｐｍ以下、特に５０ｐｐｍ未満である。Ｓｂ２Ｏ３の含有量が多過ぎると、深紫外域での透過率が低下し易くなる。 Sb 2 O 3 is a component that acts as a fining agent. The content of Sb 2 O 3 is preferably 1000 ppm or less, 800 ppm or less, 600 ppm or less, 400 ppm or less, 200 ppm or less, 100 ppm or less, and particularly less than 50 ppm. If the content of Sb 2 O 3 is too large, the transmittance in the deep ultraviolet region tends to decrease.

ＳｎＯ２は、清澄剤として作用する成分である。ＳｎＯ２の含有量は、好ましくは２０００ｐｐｍ以下、１７００ｐｐｍ以下、１４００ｐｐｍ以下、１１００ｐｐｍ以下、８００ｐｐｍ以下、５００ｐｐｍ以下、２００ｐｐｍ以下、特に１００ｐｐｍ以下である。ＳｎＯ２の含有量が多過ぎると、深紫外域での透過率が低下し易くなる。 SnO 2 is a component that acts as a fining agent. The content of SnO 2 is preferably 2000 ppm or less, 1700 ppm or less, 1400 ppm or less, 1100 ppm or less, 800 ppm or less, 500 ppm or less, 200 ppm or less, and particularly 100 ppm or less. If the content of SnO 2 is too large, the transmittance in the deep ultraviolet region tends to decrease.

Ｆ２、Ｃｌ２及びＳＯ３は、清澄剤として作用する成分である。Ｆ２＋Ｃｌ２＋ＳＯ３の含有量は１０〜１００００ｐｐｍであることが好ましい。Ｆ２＋Ｃｌ２＋ＳＯ３の好適な下限範囲は１０ｐｐｍ以上、２０ｐｐｍ以上、５０ｐｐｍ以上、１００ｐｐｍ以上、３００ｐｐｍ以上、特に５００ｐｐｍ以上であり、好適な上限範囲は３０００ｐｐｍ以下、２０００ｐｐｍ以下、１０００ｐｐｍ以下、特に８００ｐｐｍ以下である。また、Ｆ２、Ｃｌ２、ＳＯ３の各々の好適な下限範囲は１０ｐｐｍ以上、２０ｐｐｍ以上、５０ｐｐｍ以上、１００ｐｐｍ以上、３００ｐｐｍ以上、特に５００ｐｐｍ以上であり、好適な上限範囲は３０００ｐｐｍ以下、２０００ｐｐｍ以下、１０００ｐｐｍ以下、特に８００ｐｐｍ以下である。これらの成分の含有量が少な過ぎると、清澄効果を発揮し難くなる。一方、これらの成分の含有量が多過ぎると、清澄ガスがガラス中に泡として残存する虞がある。 F 2 , Cl 2 and SO 3 are components that act as fining agents. The content of F 2 + Cl 2 + SO 3 is preferably 10 to 10000 ppm. Suitable lower limit range of F 2 + Cl 2 + SO 3 is 10 ppm or more, 20 ppm or more, 50 ppm or more, 100 ppm or more, 300 ppm or more, especially 500 ppm or more, and suitable upper limit range is 3000 ppm or less, 2000 ppm or less, 1000 ppm or less, especially 800 ppm or less. Is. Further, suitable lower limit ranges of F 2 , Cl 2 and SO 3 are 10 ppm or more, 20 ppm or more, 50 ppm or more, 100 ppm or more, 300 ppm or more, particularly 500 ppm or more, and suitable upper limit ranges are 3000 ppm or less and 2000 ppm or less. It is 1000 ppm or less, particularly 800 ppm or less. If the content of these components is too small, it becomes difficult to exert the clarification effect. On the other hand, if the content of these components is too large, the clear gas may remain in the glass as bubbles.

本発明の紫外線透過ガラスは、平板形状であり、そのサイズが１００ｍｍ×１００ｍｍ以上、２００ｍｍ×２００ｍｍ以上、４００ｍｍ×４００ｍｍ以上、１０００ｍｍ×１０００ｍｍ以上、特に２０００ｍｍ×２０００ｍｍ以上が好ましい。サイズが大きい程、デバイスの製造工程において、一枚のガラス板から多数のデバイスを採取し得るため、デバイスの製造コストを低廉化し易くなる。 The ultraviolet transmissive glass of the present invention has a flat plate shape, and its size is preferably 100 mm × 100 mm or more, 200 mm × 200 mm or more, 400 mm × 400 mm or more, 1000 mm × 1000 mm or more, and particularly preferably 2000 mm × 2000 mm or more. The larger the size, the more devices can be collected from one glass plate in the device manufacturing process, so that the manufacturing cost of the devices can be easily reduced.

本発明の紫外線透過ガラスは、平板形状であり、その板厚は２．０ｍｍ以下、１．５ｍｍ以下、１．０ｍｍ以下、特に０．５ｍｍ以下が好ましい。板厚が大き過ぎると、ガラス板の質量が大きくなり、ガラス板を扱い難くなると共に、深紫外域での透過率が低下し易くなる。一方、板厚が小さ過ぎると、デバイスの製造工程における搬送ラインでガラス板が剛性を維持し難くなり、ガラス板の変形、反り、破損が発生し易くなる。 The ultraviolet transmissive glass of the present invention has a flat plate shape, and the plate thickness thereof is preferably 2.0 mm or less, 1.5 mm or less, 1.0 mm or less, and particularly preferably 0.5 mm or less. If the plate thickness is too large, the mass of the glass plate becomes large, the glass plate becomes difficult to handle, and the transmittance in the deep ultraviolet region tends to decrease. On the other hand, if the plate thickness is too small, it becomes difficult for the glass plate to maintain rigidity in the transport line in the device manufacturing process, and the glass plate is likely to be deformed, warped, or damaged.

本発明の紫外線透過ガラスは、平板形状であり、その表面の表面粗さＲａは１０ｎｍ以下、９ｎｍ以下、８ｎｍ以下、７ｎｍ以下、６ｎｍ以下、５ｎｍ以下、４ｎｍ以下、３ｎｍ以下、２ｎｍ以下、特に１ｎｍ以下が好ましい。表面の表面粗さＲａが大き過ぎると、深紫外線での透過率が減少する傾向がある。 The ultraviolet transmissive glass of the present invention has a flat plate shape, and its surface roughness Ra is 10 nm or less, 9 nm or less, 8 nm or less, 7 nm or less, 6 nm or less, 5 nm or less, 4 nm or less, 3 nm or less, 2 nm or less, and particularly 1 nm. The following is preferable. If the surface roughness Ra of the surface is too large, the transmittance in deep ultraviolet rays tends to decrease.

本発明の紫外線透過ガラスは、例えば、各種ガラス原料を調合して、ガラスバッチを得た上で、このガラスバッチを溶融し、得られた溶融ガラスを清澄、均質化し、所定形状に成形することで作製することができる。 In the ultraviolet transmissive glass of the present invention, for example, various glass raw materials are mixed to obtain a glass batch, and then the glass batch is melted, and the obtained molten glass is clarified and homogenized and molded into a predetermined shape. Can be produced in.

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法において、ガラス原料の一部として、還元剤を用いることが好ましい。このようにすれば、ガラス中に含まれるＦｅ３＋が還元されて、深紫外線での透過率が向上する。還元剤として、木粉、カーボン粉末、金属アルミニウム、金属シリコン、フッ化アルミニウム等の材料が使用可能であるが、その中でも金属シリコン、フッ化アルミニウムが好ましい。 In the method for producing ultraviolet transmissive glass of the present invention, it is preferable to use a reducing agent as a part of the glass raw material. By doing so, Fe 3+ contained in the glass is reduced, and the transmittance in deep ultraviolet rays is improved. As the reducing agent, materials such as wood powder, carbon powder, metallic aluminum, metallic silicon, and aluminum fluoride can be used, and among them, metallic silicon and aluminum fluoride are preferable.

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法において、ガラス原料の一部として、金属シリコンを用いることが好ましく、その添加量は、ガラスバッチの全質量に対して０．００１〜３質量％、０．００５〜２質量％、０．０１〜１質量％、特に０．０３〜０．１質量％が好ましい。金属シリコンの添加量が少な過ぎると、ガラス中に含まれるＦｅ３＋が還元されず、深紫外線での透過率が低下し易くなる。一方、金属シリコンの添加量が多過ぎると、ガラスが茶色に着色する傾向がある。 In the method for producing ultraviolet transmissive glass of the present invention, it is preferable to use metallic silicon as a part of the glass raw material, and the amount of the metal silicon added is 0.001 to 3% by mass, 0.005, based on the total mass of the glass batch. ~ 2% by mass, 0.01 to 1% by mass, particularly 0.03 to 0.1% by mass is preferable. If the amount of metallic silicon added is too small, Fe 3+ contained in the glass is not reduced, and the transmittance in deep ultraviolet rays tends to decrease. On the other hand, if the amount of metallic silicon added is too large, the glass tends to be colored brown.

ガラス原料の一部として、フッ化アルミニウム（ＡｌＦ３）を用いることも好ましく、その添加量は、ガラスバッチの全質量に対して、Ｆ２換算で０．０１〜５質量％、０．０５〜４質量％、０．１〜３質量％、０．２〜２質量％、０．３〜１質量％が好ましい。一方、フッ化アルミニウムの添加量が多過ぎると、Ｆ２ガスがガラス中に泡として残存する虞がある。フッ化アルミニウムの添加量が少な過ぎると、ガラス中に含まれるＦｅ３＋が還元されず、深紫外線での透過率が低下し易くなる。 As part of the glass raw material, it is also preferable to use aluminum fluoride (AlF 3), the addition amount thereof is, relative to the total weight of the glass batch, 0.01 to 5 mass% in F 2 conversion, 0.05 It is preferably 4% by mass, 0.1 to 3% by mass, 0.2 to 2% by mass, and 0.3 to 1% by mass. On the other hand, if the amount of aluminum fluoride added is too large, the F 2 gas may remain as bubbles in the glass. If the amount of aluminum fluoride added is too small, Fe 3+ contained in the glass is not reduced, and the transmittance in deep ultraviolet rays tends to decrease.

本発明の紫外線透過ガラスの製造方法において、ダウンドロー法、特にオーバーフローダウンドロー法で平板形状に成形することが好ましい。オーバーフローダウンドロー法は、耐熱性の樋状構造物の両側から溶融ガラスを溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下頂端で合流させながら、下方に延伸成形してガラス板を成形する方法である。オーバーフローダウンドロー法では、ガラス板の表面となるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形される。このため、薄型のガラス板を作製し易くなると共に、表面を研磨しなくても、板厚ばらつきを低減することができる。結果として、ガラス板の製造コストを低廉化することができる。なお、樋状構造物の構造や材質は、所望の寸法や表面精度を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行う際に、力を印加する方法も特に限定されない。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。 In the method for producing an ultraviolet transmissive glass of the present invention, it is preferable to form a flat plate shape by a downdraw method, particularly an overflow downdraw method. In the overflow down draw method, molten glass is overflowed from both sides of a heat-resistant gutter-shaped structure, and the overflowed molten glass is merged at the lower apex of the gutter-shaped structure and stretched downward to form a glass plate. How to do it. In the overflow down draw method, the surface of the glass plate, which should be the surface, does not come into contact with the gutter-shaped refractory and is formed in a free surface state. Therefore, it becomes easy to manufacture a thin glass plate, and it is possible to reduce the variation in plate thickness without polishing the surface. As a result, the manufacturing cost of the glass plate can be reduced. The structure and material of the gutter-shaped structure are not particularly limited as long as they can achieve desired dimensions and surface accuracy. Further, the method of applying a force when performing downward stretching molding is not particularly limited. For example, a method of rotating and stretching a heat-resistant roll having a sufficiently large width in contact with the glass may be adopted, or a plurality of pairs of heat-resistant rolls may be contacted only in the vicinity of the end face of the glass. You may adopt the method of letting and stretching.

成形方法として、オーバーフローダウンドロー法以外にも、例えば、スロットダウン法、リドロー法、フロート法等を採択することもできる。 As the molding method, for example, a slot down method, a redraw method, a float method and the like can be adopted in addition to the overflow down draw method.

以下、本発明を実施例に基づいて説明する。なお、以下の実施例は単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。 Hereinafter, the present invention will be described based on examples. The following examples are merely examples. The present invention is not limited to the following examples.

表１は、本発明の実施例（試料Ｎｏ．１〜３）と比較例（試料Ｎｏ．４、５）を示している。 Table 1 shows Examples (Samples Nos. 1 to 3) and Comparative Examples (Samples Nos. 4 and 5) of the present invention.

まず表中のガラス組成になるように、ガラス原料を調合したガラスバッチを白金坩堝に入れ、１５５０℃で４時間溶融した。得られた溶融ガラスについて、白金スターラーを用いて攪拌し、均質化を行った。次いで、溶融ガラスをカーボン板上に流し出し、平板形状に成形した後、徐冷点より２０℃程度高い温度から室温まで３℃／分の速度で徐冷した。 First, a glass batch prepared with a glass raw material was placed in a platinum crucible so as to have the glass composition shown in the table, and melted at 1550 ° C. for 4 hours. The obtained molten glass was stirred with a platinum stirrer to homogenize it. Next, the molten glass was poured onto a carbon plate, formed into a flat plate shape, and then slowly cooled from a temperature about 20 ° C. higher than the slow cooling point to room temperature at a rate of 3 ° C./min.

試料Ｎｏ．１の作製に際し、シリコン源として、金属シリコンをガラスバッチの全質量に対して０．０５質量％添加すると共に、アルミニウム源として、フッ化アルミニウムをガラスバッチの全質量に対して０．７６質量％添加した。試料Ｎｏ．２の作製に際し、シリコン源として、金属シリコンをガラスバッチの全質量に対して０．０５質量％添加すると共に、アルミニウム源として、フッ化アルミニウムをガラスバッチの全質量に対して０．７６質量％添加した。試料Ｎｏ．３の作製に際し、シリコン源として、金属シリコンをガラスバッチの全質量に対して０．０５質量％添加すると共に、アルミニウム源として、フッ化アルミニウムをガラスバッチの全質量に対して０．８９質量％添加した。試料Ｎｏ．４、５の作製に際し、金属シリコンとフッ化アルミニウムを添加しなかった。 Sample No. In the production of 1, 0.05% by mass of metallic silicon was added as a silicon source to the total mass of the glass batch, and 0.76% by mass of aluminum fluoride was added as an aluminum source to the total mass of the glass batch. Added. Sample No. In the production of 2, 0.05% by mass of metallic silicon was added as a silicon source to the total mass of the glass batch, and 0.76% by mass of aluminum fluoride was added as an aluminum source to the total mass of the glass batch. Added. Sample No. In the production of 3, 0.05% by mass of metallic silicon was added as a silicon source to the total mass of the glass batch, and 0.89% by mass of aluminum fluoride was added as an aluminum source to the total mass of the glass batch. Added. Sample No. Metallic silicon and aluminum fluoride were not added in the preparation of 4 and 5.

得られた各試料について、３０〜３８０℃の温度範囲における平均熱膨張係数α、密度ρ、歪点Ｐｓ、徐冷点Ｔａ、軟化点Ｔｓ、高温粘度１０４．０ｄＰａ・ｓにおける温度、高温粘度１０３．０ｄＰａ・ｓにおける温度、高温粘度１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度、液相温度ＴＬ、液相粘度η、ヤング率Ｅ及び各波長における透過率Ｔを評価した。 For each sample obtained, the average thermal expansion coefficient α in the temperature range of 30 to 380 ° C., the density [rho, strain point Ps, the annealing point Ta, the softening point Ts, the temperature in the high temperature viscosity 10 4.0 dPa · s, the high-temperature The temperature at a viscosity of 10 3.0 dPa · s, the temperature at a high temperature viscosity of 10 2.5 dPa · s, the liquid phase temperature TL, the liquid phase viscosity η, the Young's ratio E, and the transmittance T at each wavelength were evaluated.

密度ρは、周知のアルキメデス法によって測定した値である。 The density ρ is a value measured by the well-known Archimedes method.

３０〜３８０℃の温度範囲における平均線熱膨張係数αは、ディラトメーターで測定した値である。 The average coefficient of linear thermal expansion α in the temperature range of 30 to 380 ° C. is a value measured by a dilatometer.

歪点Ｐｓ、徐冷点Ｔａは、ＡＳＴＭ Ｃ３３６の方法に基づいて測定した値である。軟化点Ｔｓは、ＡＳＴＭ Ｃ３３８の方法に基づいて測定した値である。 The strain point Ps and the slow cooling point Ta are values measured based on the method of ASTM C336. The softening point Ts is a value measured based on the method of ASTM C338.

高温粘度１０４．０ｄＰａ・ｓ、１０３．０ｄＰａ・ｓ、１０２．５ｄＰａ・ｓにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。 The temperature at a high temperature viscosity of 10 4.0 dPa · s, 10 3.0 dPa · s, and 10 2.5 dPa · s is a value measured by the platinum ball pulling method.

液相温度ＴＬは、標準篩３０メッシュ（５００μｍ）を通過し、５０メッシュ（３００μｍ）に残るガラス粉末を白金ボートに入れて、温度勾配炉中に２４時間保持した後、結晶が析出する温度を顕微鏡観察にて測定した値である。液相粘度ηは、液相温度ＴＬにおけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。 The liquidus temperature TL is the temperature at which crystals precipitate after passing through a standard sieve of 30 mesh (500 μm) and placing the glass powder remaining in 50 mesh (300 μm) in a platinum boat and holding it in a temperature gradient furnace for 24 hours. It is a value measured by microscopic observation. The liquidus viscosity η is a value obtained by measuring the viscosity of glass at the liquidus temperature TL by the platinum ball pulling method.

ヤング率Ｅは、共振法により測定した値を指す。 Young's modulus E refers to a value measured by the resonance method.

透過率は、ダブルビーム型分光光度計を用いて、厚み方向の分光透過率を測定した値である。測定試料として、試料Ｎｏ．１、２、４、５については、板厚０．７ｍｍ、両面を光学研磨面（鏡面）に研磨したものを使用した。試料Ｎｏ．３については、板厚１．０ｍｍ、両面を光学研磨面（鏡面）に研磨したものを使用した。なお、ＡＦＭにより、これらの測定試料の表面の表面粗さＲａを測定したところ、測定領域１０μｍ×１０μｍで０．５〜１．０ｎｍであった。 The transmittance is a value obtained by measuring the spectral transmittance in the thickness direction using a double beam spectrophotometer. As a measurement sample, sample No. For 1, 2, 4, and 5, those having a plate thickness of 0.7 mm and having both sides polished to an optically polished surface (mirror surface) were used. Sample No. As for No. 3, a plate having a thickness of 1.0 mm and having both sides polished to an optically polished surface (mirror surface) was used. When the surface roughness Ra of the surface of these measurement samples was measured by AFM, it was 0.5 to 1.0 nm in the measurement region of 10 μm × 10 μm.

図１は、波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.１の透過率曲線である。図２は、波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.２の透過率曲線である。図３は、波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.３の透過率曲線である。図４は、波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.４の透過率曲線である。図５は、波長２００〜４００ｎｍにおける試料Ｎｏ.５の透過率曲線である。 FIG. 1 is a transmittance curve of sample No. 1 at a wavelength of 200 to 400 nm. FIG. 2 is a transmittance curve of Sample No. 2 at a wavelength of 200 to 400 nm. FIG. 3 is a transmittance curve of Sample No. 3 at a wavelength of 200 to 400 nm. FIG. 4 is a transmittance curve of Sample No. 4 at a wavelength of 200 to 400 nm. FIG. 5 is a transmittance curve of Sample No. 5 at a wavelength of 200 to 400 nm.

表１、図１〜５から明らかなように、試料Ｎｏ．１〜３は、波長２００ｎｍにおける紫外線透過率が高かった。一方、試料Ｎｏ．４、５は、波長２００ｎｍにおける紫外線の透過は認められなかった。 As is clear from Table 1, FIGS. 1 to 5, the sample No. Nos. 1 to 3 had high ultraviolet transmittance at a wavelength of 200 nm. On the other hand, sample No. No transmission of ultraviolet rays at a wavelength of 200 nm was observed in 4 and 5.

なお、上記では、本発明の説明の便宜上、溶融ガラスを流し出して平板形状に成形したが、工業的規模で生産する場合には、オーバーフローダウンドロー法等で平板形状に成形し、両表面が未研磨の状態で使用に供することが好ましい。 In the above, for convenience of explanation of the present invention, molten glass is poured out and formed into a flat plate shape, but in the case of industrial scale production, it is formed into a flat plate shape by an overflow down draw method or the like, and both surfaces are formed. It is preferable to use it in an unpolished state.

Claims (5)

ガラス組成中にＢ２Ｏ３を３〜２５質量％、Ｆｅ２Ｏ３を１〜８質量ｐｐｍ、且つＴｉＯ２を０．５〜５質量ｐｐｍ含み、厚み０．７ｍｍ、波長２００ｎｍにおける透過率が３０％以上であることを特徴とする紫外線透過ガラス。 The glass composition contains 3 to 25 mass% of B 2 O 3 , 1 to 8 mass ppm of Fe 2 O 3 , and 0.5 to 5 mass ppm of TiO 2 , and has a thickness of 0.7 mm and a transmittance at a wavelength of 200 nm. Ultraviolet light transmitting glass characterized by being 30% or more. 厚み０．７ｍｍ、波長２５０ｎｍにおける透過率をＴ２５０とし、厚み０．７ｍｍ、波長３００ｎｍにおける透過率をＴ３００とした場合、Ｔ２５０／Ｔ３００の値が０．３以上であることを特徴とする請求項１に記載の紫外線透過ガラス。 Thickness 0.7 mm, the transmittance at a wavelength of 250nm and T 250, when the thickness 0.7 mm, the transmittance at a wavelength of 300nm was T 300, and wherein the value of T 250 / T 300 is not less than 0.3 The ultraviolet transmissive glass according to claim 1. ガラス組成として、質量％で、ＳｉＯ２ ５０〜８０％、Ａｌ２Ｏ３＋Ｂ２Ｏ３ ３〜４５％、Ｂ２Ｏ３ ３〜２５％、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ ０〜２５％、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ ０〜２５％、Ｆｅ２Ｏ３を１〜８質量ｐｐｍ、ＴｉＯ２ ０．５〜５質量ｐｐｍを含有することを特徴とする請求項１又は２に記載の紫外線透過ガラス。 As the glass composition, in terms of mass%, SiO 2 50 to 80%, Al 2 O 3 + B 2 O 3 3 to 45%, B 2 O 3 3 to 25%, Li 2 O + Na 2 O + K 2 O 0 to 25%, MgO + CaO + SrO + BaO The ultraviolet transmissive glass according to claim 1 or 2, which contains 0 to 25%, Fe 2 O 3 in an amount of 1 to 8 mass ppm, and TiO 2 in an amount of 0.5 to 5 mass ppm. 平板形状であり、その板厚が２．０ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の紫外線透過ガラス。 The ultraviolet transmissive glass according to any one of claims 1 to 3, which has a flat plate shape and has a plate thickness of 2.0 mm or less. 平板形状であり、その表面の表面粗さＲａが１０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の紫外線透過ガラス。 The ultraviolet transmissive glass according to any one of claims 1 to 4, which has a flat plate shape and has a surface roughness Ra of 10 nm or less.
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