JP6774905B2 - Liquefied gas supply backup system and liquefied gas reserve supply method - Google Patents

Liquefied gas supply backup system and liquefied gas reserve supply method Download PDF

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Description

本発明は、液化ガス供給における液化ガス供給予備システムおよび液化ガス予備供給方法に関する。液化ガスとしては、例えば、液体窒素、液体酸素（例えば超高純度酸素）、液化天然ガス（例えば高純度メタン）などが挙げられる。 The present invention relates to a liquefied gas supply reserve system and a liquefied gas reserve supply method in liquefied gas supply. Examples of the liquefied gas include liquid nitrogen, liquid oxygen (for example, ultra-high purity oxygen), and liquefied natural gas (for example, high-purity methane).

ガスを連続的または断続的に製造し、製造したガスを供給する設備では、バックアップ装置を併設することが多い。製造設備が停止した場合にも連続的にガスを供給するためである。
例えば、空気分離装置で製造した窒素ガスを使用先に連続的に供給する場合、電源の喪失により供給が停止した場合に対応するため、空気分離装置にバックアップ装置を敷設することが行われている（特許文献１）。 Equipment that continuously or intermittently produces gas and supplies the produced gas is often equipped with a backup device. This is because the gas is continuously supplied even when the manufacturing facility is stopped.
For example, when the nitrogen gas produced by the air separation device is continuously supplied to the user, a backup device is installed in the air separation device in order to deal with the case where the supply is stopped due to the loss of the power supply. (Patent Document 1).

通常時に高純度の窒素ガスを供給している場合には、バックアップ装置起動時にも高純度の窒素ガスを供給することが求められる。高純度のバックアップ用の窒素を製造するためには、貯蔵された液体窒素をポンプで昇圧し、大気式蒸発器などで蒸発させた後、化学吸着剤によって不純物を除去する必要がある。 When high-purity nitrogen gas is normally supplied, it is required to supply high-purity nitrogen gas even when the backup device is started. In order to produce high-purity backup nitrogen, it is necessary to pressurize the stored liquid nitrogen with a pump, evaporate it with an atmospheric evaporator, and then remove impurities with a chemical adsorbent.

化学吸着剤による不純物除去のためには、化学吸着剤に導入されるガスが一定温度以上でなければならない。温暖な環境下では大気式蒸発器を用いれば化学吸着に必要な温度以上に蒸発したガスが加温される。しかし寒冷地においては大気から十分な熱量が得られず、大気式蒸発器で蒸発させたガスは化学吸着に必要な温度以下のまま下流の化学吸着剤に導入されてしまう。 In order to remove impurities by the chemisorbent, the gas introduced into the chemisorbent must have a certain temperature or higher. In a warm environment, if an atmospheric evaporator is used, the gas evaporated above the temperature required for chemisorption is heated. However, in cold regions, a sufficient amount of heat cannot be obtained from the atmosphere, and the gas vaporized by the atmospheric evaporator is introduced into the downstream chemisorbent while keeping the temperature below the temperature required for chemisorption.

そこで、蒸発器で蒸発させたガスをさらに電気ヒータを用いて必要な温度まで加熱することが行われている。電源喪失時には電気ヒータの電源は非常用電源（例えばディーゼル発電機）から供給される。また、非常用電源は上記ポンプの電源としても使用される。 Therefore, the gas evaporated by the evaporator is further heated to a required temperature by using an electric heater. When the power is lost, the power of the electric heater is supplied from an emergency power source (for example, a diesel generator). The emergency power supply is also used as a power supply for the pump.

従来の技術においては、大気式蒸発器によって到達可能な温度から化学吸着に必要な温度までの加熱に必要な熱量のすべてを電気ヒータによって供給していた。そのため電力消費量が大きく、また電源供給の設備も大きくする必要があった。 In the conventional technique, an electric heater supplies all of the heat required for heating from the temperature reachable by the atmospheric evaporator to the temperature required for chemisorption. Therefore, the power consumption is large, and it is necessary to increase the power supply equipment.

比較的少ない電力消費量により、液化ガスを蒸発させ所望の温度にまで加温する方法として、加温部に液化天然ガスを燃焼させて得られる燃焼熱を供給する方法が提案されている（特許文献２）。しかしこの方法では製品として製造された液化ガス（液化天然ガス）の一部を燃焼により消費してしまうという問題点がある。 As a method of evaporating liquefied gas and heating it to a desired temperature with relatively low power consumption, a method of supplying combustion heat obtained by burning liquefied natural gas to a heating portion has been proposed (patented). Document 2). However, this method has a problem that a part of the liquefied gas (liquefied natural gas) produced as a product is consumed by combustion.

液化ガスを蒸発・加温する別の方法として、ディーゼル発電機の排熱と液化ガスの寒冷を利用する方法も提案されている（特許文献３）。しかしこの方法は構成が複雑であり、起動手順も煩雑で起動に時間がかかることから、定常運転には適しているものの、電源を喪失するといった緊急時に適時に対応することは困難である。 As another method for evaporating and heating the liquefied gas, a method using the exhaust heat of the diesel generator and the coldness of the liquefied gas has also been proposed (Patent Document 3). However, this method has a complicated configuration, the starting procedure is complicated, and it takes a long time to start. Therefore, although it is suitable for steady operation, it is difficult to respond in a timely manner in an emergency such as loss of power.

特開平７−２１８１２１号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-218121 特開２００３−７４７９３号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-74793 特開昭５１−１０１２１９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 51-101219

本発明は、上記欠点を除き、少ない消費電力で、液化ガスの供給を連続的に実施する液化ガス供給予備システム及び液化ガス予備供給方法を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide a liquefied gas supply backup system and a liquefied gas reserve supply method that continuously supplies liquefied gas with low power consumption, excluding the above drawbacks.

（発明１）
本発明に係る液化ガス供給予備システムは、
液化ガスを貯蔵する貯槽と、
前記液化ガスを前記貯槽から下流へ送る液化ガスポンプと、
前記液化ガスポンプから送られた前記液化ガスを、周辺環境温度より低い第1の温度のガスへ状態遷移させる蒸発器と、
前記第1の温度のガスを、熱媒体で前記第1の温度より高い第２の温度へ昇温させる熱交換部と、
前記熱交換部より下流において前記ガスをメイン配管へ送る予備ガス供給配管と、
前記メイン配管または前記予備ガス供給配管の内圧を測定する圧力計と、
前記液化ガスポンプに電力を供給する発電機と、
前記圧力計で測定された圧力が閾値以下になった場合に、前記発電機を稼働するように制御する発電機制御部と、を備える。 (Invention 1)
The liquefied gas supply standby system according to the present invention is
A storage tank for storing liquefied gas and
A liquefied gas pump that sends the liquefied gas downstream from the storage tank,
An evaporator that transitions the state of the liquefied gas sent from the liquefied gas pump to a gas having a first temperature lower than the ambient temperature.
A heat exchange unit that raises the temperature of the gas at the first temperature to a second temperature higher than the first temperature with a heat medium.
A spare gas supply pipe that sends the gas to the main pipe downstream from the heat exchange unit,
A pressure gauge that measures the internal pressure of the main pipe or the reserve gas supply pipe,
A generator that supplies electric power to the liquefied gas pump,
It includes a generator control unit that controls the generator to operate when the pressure measured by the pressure gauge becomes equal to or less than a threshold value.

本発明に係る液化ガス供給予備システムでは、例えば電源の喪失やメイン配管で供給する液化ガスの貯蔵量不足等の理由により、メイン配管で供給するガスの圧力が低下した場合にも、液化ガスの供給を連続的に実施することができる。
すなわち、圧力計の測定値が閾値以下になると、発電機が稼働して液化ガスポンプに電力が供給され、かつ熱交換部に熱媒体が供給されることで、従来の蒸発器および電気ヒータによる昇温から蒸発器および熱交換器による昇温となり、従来に比べて発電機からの電力供給量を低減することができる。 In the liquefied gas supply backup system according to the present invention, even when the pressure of the gas supplied by the main pipe decreases due to, for example, loss of power supply or insufficient storage amount of the liquefied gas supplied by the main pipe, the liquefied gas can be used. The supply can be carried out continuously.
That is, when the measured value of the pressure gauge becomes equal to or less than the threshold value, the generator operates to supply electric power to the liquefied gas pump, and the heat medium is supplied to the heat exchange section, so that the power is raised by the conventional evaporator and electric heater. The temperature is raised from the temperature by the evaporator and the heat exchanger, and the amount of power supplied from the generator can be reduced as compared with the conventional case.

本発明において、周辺環境温度は、例えば、大気式蒸発器で液化ガスがガス化されたガス中の不純物を除去する化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度より低い温度であってもよく、１０℃以下、５℃以下、０℃以下、−５℃以下のいずれかであってもよい。
上記発明において、「第２の温度」が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度であることが好ましく、不純物除去処理温度（T）より２℃以上高いことがより好ましく、不純物除去処理温度（T）より４℃以上高いことがさらに好ましい。加温部から不純物除去部までの配管の距離、配管の断熱性能に応じて、「第２の温度」を設定することが好ましい。 In the present invention, the ambient environmental temperature may be, for example, a temperature lower than the impurity removal treatment temperature in the chemical adsorption type impurity removing device that removes impurities in the gas in which the liquefied gas is vaporized by the atmospheric evaporator. It may be any of 10 ° C. or lower, 5 ° C. or lower, 0 ° C. or lower, and −5 ° C. or lower.
In the above invention, the "second temperature" is preferably a temperature higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device, and more preferably 2 ° C. or more higher than the impurity removal treatment temperature (T). It is more preferable that the temperature is 4 ° C. or higher higher than the impurity removal treatment temperature (T). It is preferable to set the "second temperature" according to the distance of the pipe from the heating part to the impurity removing part and the heat insulating performance of the pipe.

本発明の一実施形態において、前記熱交換部の後段に配置され、かつ前記熱交換部で生じた前記第２の温度のガスを、電気ヒータで前記第２の温度より高い第３の温度へ昇温させる加温部をさらに備え、
前記発電機が、前記電気ヒータおよび／または前記液化ガスポンプに電力を供給する構成であってもよい。
上記構成の場合に、「第３の温度」が、化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度であることが好ましく、不純物除去処理温度（T）より２℃以上高いことがより好ましく、不純物除去処理温度（T）より４℃以上高いことがさらに好ましい。加温部から不純物除去部までの配管の距離、配管の断熱性能に応じて、「第３の温度」を設定することが好ましい。
この構成によれば、圧力計の測定値が閾値以下になると、発電機が稼働して液化ガスポンプおよび/または電気ヒータに電力が供給され、かつ熱交換部に熱媒体が供給されることで、従来２要素（装置）による昇温であった構成から３つの要素（装置）による昇温ができるようになり、発電機からの電力供給量を低減することができる。 In one embodiment of the present invention, the gas of the second temperature, which is arranged after the heat exchange unit and is generated in the heat exchange unit, is brought to a third temperature higher than the second temperature by an electric heater. Further equipped with a heating part to raise the temperature,
The generator may be configured to supply power to the electric heater and / or the liquefied gas pump.
In the case of the above configuration, the "third temperature" is preferably a temperature higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device, and is 2 ° C. or more higher than the impurity removal treatment temperature (T). Is more preferable, and it is further preferable that the temperature is 4 ° C. or higher higher than the impurity removal treatment temperature (T). It is preferable to set the "third temperature" according to the distance of the pipe from the heating part to the impurity removing part and the heat insulating performance of the pipe.
According to this configuration, when the measured value of the pressure gauge falls below the threshold value, the generator operates to supply electric power to the liquefied gas pump and / or the electric heater, and the heat medium is supplied to the heat exchange unit. The temperature rise by three elements (devices) can be performed instead of the conventional configuration in which the temperature is raised by two elements (devices), and the amount of power supplied from the generator can be reduced.

また、本発明の一実施形態において、前記熱交換部の後段に配置され、かつ前記熱交換部で生じた前記第２の温度のガスを、電気ヒータで前記第２の温度より高い第３の温度へ昇温させる加温部をさらに備え、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、前記発電機が前記液化ガスポンプに電力を供給し、かつ前記電気ヒータに電力を停止あるいは供給せず、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より低く、前記第３の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、前記発電機が前記電気ヒータおよび前記液化ガスポンプに電力を供給する構成であってもよい。
この構成によれば、第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、発電機が液化ガスポンプにのみ電力を供給して電気ヒータに電力を供給せず、第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より低く、第３の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、発電機が電気ヒータおよび液化ガスポンプに電力を供給することで、システムが電気ヒータを備えていたとしても、電気ヒータの使用を適切に制御できる。
上記構成おいて、前記発電機が前記電気ヒータおよび前記液化ガスポンプ、あるいは前記液化ガスポンプのみに電力を供給した後で、前記熱交換器の前記ガスの第２の温度を測定する第1温度計と、前記加温部より後段の前記ガスの第３の温度を測定する第２の温度計とを備えていてもよい。 Further, in one embodiment of the present invention, a third temperature gas that is arranged after the heat exchange unit and that is generated in the heat exchange unit and has a second temperature higher than the second temperature by an electric heater is used. Further equipped with a heating unit that raises the temperature to a temperature
When the second temperature is higher than the impurity removal processing temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removing device, the generator supplies electric power to the liquefied gas pump and stops the electric power to the electric heater. Without supplying
When the second temperature is lower than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device and the third temperature is higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device. , The generator may be configured to supply power to the electric heater and the liquefied gas pump.
According to this configuration, when the second temperature is higher than the impurity removal processing temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device, the generator supplies power only to the liquefied gas pump to supply power to the electric heater. No supply, the second temperature is lower than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device, and the third temperature is higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device. In some cases, the generator powers the electric heater and the liquefied gas pump so that the use of the electric heater can be adequately controlled even if the system is equipped with the electric heater.
In the above configuration, with a first thermometer that measures a second temperature of the gas in the heat exchanger after the generator supplies power only to the electric heater and the liquefied gas pump, or the liquefied gas pump. , A second thermometer for measuring the third temperature of the gas after the heating unit may be provided.

化学吸着式不純物除去装置は、メイン配管に設置されていてもよく、予備ガス供給配管に設置されていてもよい。
本発明において、蒸発器と熱交換部が別体として構成されていてもよい。
本発明において、熱交換部が排熱回収部であってもよい。
本発明において、蒸発器から熱交換部へガスを送る蒸発ガス供給配管と、熱交換部から加温部へガスを送る被加温ガス導入配管とを備えていてもよい。
本発明において、蒸発器と熱交換機が一体に構成されていてもよい。
本発明において、蒸発器の一部を構成する下流側配管に熱交換部が配置されていてもよい。 The chemisorption type impurity removing device may be installed in the main pipe or in the reserve gas supply pipe.
In the present invention, the evaporator and the heat exchange unit may be configured as separate bodies.
In the present invention, the heat exchange unit may be an exhaust heat recovery unit.
In the present invention, the evaporation gas supply pipe for sending gas from the evaporator to the heat exchange section and the heated gas introduction pipe for sending gas from the heat exchange section to the heating section may be provided.
In the present invention, the evaporator and the heat exchanger may be integrally configured.
In the present invention, the heat exchange unit may be arranged in the downstream pipe forming a part of the evaporator.

本発明において、液化ガスを貯蔵する貯槽は、例えば液体窒素、液体酸素、または液化天然ガス等の液化ガスを貯蔵する貯槽である。前記貯槽は１つであってもよく、複数あってもよい。液化ガス製造設備に設置された貯槽であってもよく、液化ガス製造設備とは独立しており、遠隔地で製造された液化ガスを貯蔵する貯槽であってもよい。
本発明において、蒸発器は空気加熱式であっても良い。
本発明において、熱交換部の熱媒体はガス状であってもよく、液状であってもよい。該熱媒体の温度は、第1の温度よりも高い温度である。 In the present invention, the storage tank for storing liquefied gas is a storage tank for storing liquefied gas such as liquid nitrogen, liquid oxygen, or liquefied natural gas. The storage tank may be one or a plurality. It may be a storage tank installed in a liquefied gas production facility, or may be a storage tank that is independent of the liquefied gas production facility and stores liquefied gas produced in a remote location.
In the present invention, the evaporator may be an air heating type.
In the present invention, the heat medium of the heat exchange unit may be gaseous or liquid. The temperature of the heat medium is higher than the first temperature.

本発明において、前記圧力計はメイン配管の内圧を測定してもよく、予備ガスがメイン配管に合流するポイントの上流側である予備ガス供給配管の内圧を測定してもよい。メイン配管または予備ガス供給配管に不純物除去部が設けられている場合には、圧力計は該不純物除去部の前段に設けてもよく、後段に設けてもよい。
圧力計が、予備ガス供給配管に配置されている場合に、圧力計よりも貯槽側に制御弁が配置され、通常運転時にはその制御弁が閉じてあり、バックアップ運転時にはその制御弁が開くように制御されていてもよい。
圧力計が、メイン配管に配置されている場合に、予備ガス供給配管に制御弁が配置され、通常運転時にはその制御弁が閉じてあり、バックアップ運転時にはその制御弁が開くように制御されていてもよい。 In the present invention, the pressure gauge may measure the internal pressure of the main pipe, or may measure the internal pressure of the spare gas supply pipe on the upstream side of the point where the spare gas joins the main pipe. When the main pipe or the reserve gas supply pipe is provided with the impurity removing portion, the pressure gauge may be provided in the front stage or the rear stage of the impurity removing portion.
When the pressure gauge is placed in the reserve gas supply pipe, the control valve is placed on the storage tank side of the pressure gauge, the control valve is closed during normal operation, and the control valve is opened during backup operation. It may be controlled.
When the pressure gauge is placed in the main pipe, a control valve is placed in the reserve gas supply pipe, and the control valve is closed during normal operation and opened during backup operation. May be good.

本発明において、発電機は、ディーゼル発電機であってもよい。前記発電機は電気ヒータと液化ガスポンプの両方に電力を供給してもよいが、電気ヒータまたは液化ガスポンプのいずれか一方にのみ電力を供給することもできる。 In the present invention, the generator may be a diesel generator. The generator may supply power to both the electric heater and the liquefied gas pump, but may also supply power to either the electric heater or the liquefied gas pump.

本発明において、圧力計で測定された圧力が閾値以下になった場合に発電機を稼働するが、前記閾値はメイン配管により気化させた液化ガスを供給しているときの供給圧力（通常時供給圧力）よりも低い値であり、例えば前記通常時供給圧力の５０％以下の値にあらかじめ設定することができる。 In the present invention, the generator is operated when the pressure measured by the pressure gauge becomes equal to or lower than the threshold value, and the threshold value is the supply pressure when the liquefied gas vaporized by the main pipe is supplied (normal supply). It is a value lower than the pressure), and can be set in advance to, for example, a value of 50% or less of the normal supply pressure.

（発明２）
本発明に係る液化ガス供給予備システムにおいて、前記熱媒体は前記発電機において発生した熱媒体であることができる。 (Invention 2)
In the liquefied gas supply standby system according to the present invention, the heat medium can be the heat medium generated in the generator.

本発明において、発電機において発生した熱媒体は、発電機の稼働に伴う発電機本体の温度上昇によって発生した排熱であってもよく、発電機を冷却するために使用された冷却水であってもよい。ここで、排熱または冷却水の温度は、第２の温度以上である。
本発明において、前記熱媒体は気化した液化ガスに熱を与えた後、大気に放出されてもよく、所定の処理後に放出されてもよく、回収されてもよい。前記所定の処理とは、例えばあらかじめ定めた所望の温度以下に熱媒体の温度を低下させる処理であってもよく、所定の処理なく放出されてもよい。 In the present invention, the heat medium generated in the generator may be exhaust heat generated by the temperature rise of the generator main body accompanying the operation of the generator, and is the cooling water used to cool the generator. You may. Here, the temperature of the exhaust heat or the cooling water is equal to or higher than the second temperature.
In the present invention, the heat medium may be released into the atmosphere after applying heat to the vaporized liquefied gas, may be released after a predetermined treatment, or may be recovered. The predetermined treatment may be, for example, a treatment for lowering the temperature of the heat medium to a temperature below a predetermined desired temperature, or may be released without a predetermined treatment.

従来は蒸発器で蒸発した液化ガス中の不純物を除去するため所定の温度にまでガスを加温しなければならないが、寒冷地においては空気による加温が不十分であった。そこで発電機により電気ヒータに電力を供給して、蒸発後の液化ガスを加温しなければならなかった。一方で、発電機の駆動に伴って発生した熱量は発電機の冷却水として、あるいは排熱として外部へ放出されていた。本発明によれば、発電機の駆動に伴って発生した熱量は、蒸発器において気化した液化ガスの加温に有効に使用される。このため発電機が電気ヒータに供給する電力は少なくなり、簡易な構成で、少ない消費電力で液化ガス予備供給を行うことができる。 Conventionally, the gas must be heated to a predetermined temperature in order to remove impurities in the liquefied gas evaporated by the evaporator, but in cold regions, heating by air has been insufficient. Therefore, it was necessary to supply electric power to the electric heater by a generator to heat the liquefied gas after evaporation. On the other hand, the amount of heat generated by driving the generator was released to the outside as cooling water for the generator or as exhaust heat. According to the present invention, the amount of heat generated by driving the generator is effectively used for heating the vaporized liquefied gas in the evaporator. Therefore, the electric power supplied by the generator to the electric heater is reduced, and the liquefied gas can be pre-supplied with a simple configuration and low power consumption.

（発明３）
本発明に係る液化ガス供給予備システムは、前記熱媒体を前記熱交換部と前記発電機に循環させる熱媒体循環路をさらに備えることができる。 (Invention 3)
The liquefied gas supply backup system according to the present invention may further include a heat medium circulation path for circulating the heat medium to the heat exchange unit and the generator.

本発明において、発電機で発生した熱媒体を熱交換部における熱媒体として使用した後、該熱媒体は熱交換部外部へ放出されてもよいが、熱媒体循環路により発電機へ循環させてもよい。熱媒体循環路により発電機へ戻された熱媒体は発電機の冷却用に使用されてもよい。熱媒体循環路により循環される熱媒体はガス状であってもよいが、例えば冷却水、その他の冷媒液のような液状であってもよい。 In the present invention, after the heat medium generated by the generator is used as the heat medium in the heat exchange section, the heat medium may be discharged to the outside of the heat exchange section, but is circulated to the generator by the heat medium circulation path. May be good. The heat medium returned to the generator by the heat medium circulation path may be used for cooling the generator. The heat medium circulated through the heat medium circulation path may be gaseous, but may be liquid such as cooling water or other refrigerant liquid.

本発明において、熱媒体循環路を設けることにより、熱交換部で温度が低下した熱媒体を、発電機を冷却する熱媒体としても使用することができ、効率的である。また、発電機の周囲に高温の排ガスまたは冷却水を放出できない場合にも、熱媒体循環路により熱媒体を循環させて使用すれば熱媒体を放出しないため、一定温度以下に温度を低下させてから熱媒体を放出する必要がなくなる。 In the present invention, by providing the heat medium circulation path, the heat medium whose temperature has dropped in the heat exchange section can also be used as a heat medium for cooling the generator, which is efficient. Even if high-temperature exhaust gas or cooling water cannot be discharged around the generator, the heat medium is not released if the heat medium is circulated through the heat medium circulation path, so the temperature is lowered below a certain temperature. There is no need to release the heat medium from.

（発明４）
本発明に係る液化ガス供給予備システムにおいて、前記熱交換部は、前記蒸発器を構成する管の内、下流側管に配置されることができる。 (Invention 4)
In the liquefied gas supply reserve system according to the present invention, the heat exchange unit can be arranged on the downstream side pipe among the pipes constituting the evaporator.

本発明において、液化ガスは蒸発器上流側管に液体状態で流入し、蒸発器下流側管にかけて徐々に気化する。そこで、蒸発器の一部を構成する下流側配管に熱交換部を配置し、熱媒体と下流側配管内のガスとが熱交換できるように構成する。 In the present invention, the liquefied gas flows into the evaporator upstream pipe in a liquid state and gradually vaporizes toward the evaporator downstream pipe. Therefore, a heat exchange unit is arranged in the downstream pipe which forms a part of the evaporator so that the heat medium and the gas in the downstream pipe can exchange heat.

本発明において、蒸発器と熱交換部を一体とすることで装置構成を簡易にし、装置を配置するフットプリントも小さくすることができる。 In the present invention, by integrating the evaporator and the heat exchange unit, the device configuration can be simplified and the footprint for arranging the device can be reduced.

（発明５）
本発明に係る液化ガス供給予備システムにおいて、前記熱交換部は、熱媒体を受け入れる前記熱媒体入口と、受け入れた前記熱媒体を排出する熱媒体出口とを有する熱媒体通路と、加温対象のガス（蒸発器から送られてきたガスまたは蒸発器下流側のガス）が流れるガス通路と、を備え、
前記熱媒体入口が前記ガス通路の下流側に配置され、前記熱媒体出口が前記ガス通路の上流側に配置されていてもよい。 (Invention 5)
In the liquefied gas supply preliminary system according to the present invention, the heat exchange unit has a heat medium passage having an inlet for the heat medium for receiving the heat medium and an outlet for the heat medium for discharging the received heat medium, and a heating target. It is equipped with a gas passage through which gas (gas sent from the evaporator or gas downstream of the evaporator) flows.
The heat medium inlet may be arranged on the downstream side of the gas passage, and the heat medium outlet may be arranged on the upstream side of the gas passage.

本発明において、熱交換部は、熱交換部導入直後であり気化した液化ガスが比較的低温である上流側部分と、熱交換部内で加温されて気化した液化ガスが比較的高温となっている下流側部分を有している。本発明において熱媒体は熱交換部全体に供給されてもよいが、下流部分に供給されるようにしても良い。熱媒体が気化した液化ガスが通過する管の外側に接触するように、熱交換部が熱媒体をその管の外側に吹き付ける吹き付け手段を有してもよい。 In the present invention, in the heat exchange section, the upstream portion where the vaporized liquefied gas is relatively low temperature immediately after the introduction of the heat exchange section and the liquefied gas heated and vaporized in the heat exchange section become relatively high temperature. It has a downstream part. In the present invention, the heat medium may be supplied to the entire heat exchange section, but may be supplied to the downstream portion. The heat exchange unit may have a spraying means for blowing the heat medium to the outside of the tube so that the heat medium comes into contact with the outside of the tube through which the vaporized liquefied gas passes.

本発明において、熱交換部は、特に制限されず、公知の形状であってもよい。熱交換部は、ガス通路上流側である高温側からガス通路下流側である低温側に向かって熱媒体が流れる構造の向流型構造の熱交換部であってもよい。向流型構造の熱交換部により、さらに熱交換効率が高まる。 In the present invention, the heat exchange unit is not particularly limited and may have a known shape. The heat exchange unit may be a heat exchange unit having a countercurrent structure in which the heat medium flows from the high temperature side on the upstream side of the gas passage to the low temperature side on the downstream side of the gas passage. The heat exchange section of the countercurrent structure further enhances the heat exchange efficiency.

（発明６）
本発明に係る液化ガス供給予備システムにおいて、前記予備ガス供給配管内のガスの温度を測定する、または前記予備ガス供給配管の温度を測定する第１の温度計と、
前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように、前記電気ヒータを制御する電気ヒータ制御部とを備えることができる。 (Invention 6)
In the liquefied gas supply backup system according to the present invention, a first thermometer for measuring the temperature of the gas in the reserve gas supply pipe or measuring the temperature of the reserve gas supply pipe,
An electric heater control unit that controls the electric heater can be provided so that the temperature measured by the first thermometer becomes the third temperature.

本発明において、温度計は予備ガス供給配管に挿入されており、予備ガス供給配管内のガス温度を測定してもよい。また本発明において、温度計は予備ガス供給配管の外側に貼付されており、予備ガス供給配管の配管温度を測定しても良い。
本発明において、加温部は、多管式またはフィン式の電気ヒータを有していてもよい。電気ヒータ制御部は、電気ヒータを制御し、例えば、発電機から供給される電流のＯＮ／ＯＦＦ制御を行ってもよく、測定されたガス温度に基づくフィードバック制御を行っても良い。 In the present invention, the thermometer is inserted in the spare gas supply pipe, and the gas temperature in the spare gas supply pipe may be measured. Further, in the present invention, the thermometer is attached to the outside of the spare gas supply pipe, and the pipe temperature of the spare gas supply pipe may be measured.
In the present invention, the heating unit may have a multi-tube type or fin type electric heater. The electric heater control unit may control the electric heater, for example, ON / OFF control of the current supplied from the generator, or feedback control based on the measured gas temperature.

本発明において、予備ガス供給配管の温度に基づいて電気ヒータを制御することにより、周辺環境温度の変化や液化ガス供給量の変動があった場合に会ってもあらかじめ定めた所望の温度の液化ガス（気化後の液化ガス）を供給することができる。さらにフィードバック制御をおこなうことにより気化した液化ガス温度を一定温度に制御できるため、発電機からの電力を低減できる。 In the present invention, by controlling the electric heater based on the temperature of the reserve gas supply pipe, the liquefied gas having a desired temperature determined in advance even when the ambient temperature changes or the liquefied gas supply amount fluctuates. (Liquefied gas after vaporization) can be supplied. Further, by performing feedback control, the temperature of the vaporized liquefied gas can be controlled to a constant temperature, so that the electric power from the generator can be reduced.

（発明７）
本発明に係る液化ガス供給予備システムにおいて、前記被加温ガス導入配管内のガスの温度を測定する、または前記被加温ガス導入配管の温度を測定する第２の温度計をさらに備え、前記電気ヒータ制御部は前記第２の温度計および前記第１の温度計で測定されたそれぞれの温度に基づいて、前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように前記電気ヒータを制御することができる。 (Invention 7)
The liquefied gas supply standby system according to the present invention further includes a second thermometer for measuring the temperature of the gas in the heated gas introduction pipe or measuring the temperature of the heated gas introduction pipe. The electric heater control unit sets the temperature measured by the first thermometer to be the third temperature based on the respective temperatures measured by the second thermometer and the first thermometer. The electric heater can be controlled.

本発明において、温度計は被加温ガス導入配管に挿入されており、被加温ガス導入配管内のガス温度を測定してもよい。また本発明において、温度計は被加温ガス導入配管の外側に貼付されており、被加温ガス導入配管の配管温度を測定しても良い。 In the present invention, the thermometer is inserted in the heated gas introduction pipe, and the gas temperature in the heated gas introduction pipe may be measured. Further, in the present invention, the thermometer is attached to the outside of the heated gas introduction pipe, and the pipe temperature of the heated gas introduction pipe may be measured.

本発明において、被加温ガス導入配管内を流れる、気化した液化ガスの温度は、周辺環境温度の変化、液化ガス供給量の変動、発電機の稼働状況に応じて変動する。よって被加温ガス導入配管内のガスの温度または前記被加温ガス導入配管の温度を測定し、測定した温度に基づいて電気ヒータを制御することで、あらかじめ定めた所望の温度の液化ガス（気化後の液化ガス）を供給することができる。また、これによりフィードバック制御に加えてフィードフォワード制御も可能となり、気化した液化ガス温度をより一定温度に制御できるため、発電機からの電力を低減できる。 In the present invention, the temperature of the vaporized liquefied gas flowing in the heated gas introduction pipe fluctuates according to the change in the ambient temperature, the fluctuation in the supply amount of the liquefied gas, and the operating condition of the generator. Therefore, by measuring the temperature of the gas in the heated gas introduction pipe or the temperature of the heated gas introduction pipe and controlling the electric heater based on the measured temperature, the liquefied gas (liquefied gas at a predetermined desired temperature) ( Liquefied gas after vaporization) can be supplied. Further, this enables feedforward control in addition to feedback control, and the temperature of the vaporized liquefied gas can be controlled to a more constant temperature, so that the electric power from the generator can be reduced.

（発明８）
本発明に係る液化ガス供給予備システムにおいて、前記蒸発ガス供給配管内のガスの温度を測定する、または前記被加温ガス導入配管の温度を測定する第３の温度計をさらに備え、
前記電気ヒータ制御部は前記第３の温度計、前記第２の温度計、および前記第１の温度計で測定されたそれぞれの温度の内いずれか１つまたは２以上に基づいて、前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように前記電気ヒータを制御することができる。 (Invention 8)
The liquefied gas supply backup system according to the present invention further includes a third thermometer for measuring the temperature of the gas in the evaporative gas supply pipe or the temperature of the heated gas introduction pipe.
The electric heater control unit is based on any one or more of the temperatures measured by the third thermometer, the second thermometer, and the first thermometer, and the first one. The electric heater can be controlled so that the temperature measured by the thermometer of the above becomes the third temperature.

本発明において、温度計は蒸発ガス供給配管に挿入されており、蒸発ガス供給配管内のガス温度を測定してもよい。また本発明において、温度計は蒸発ガス供給配管の外側に貼付されており、蒸発ガス供給配管の配管温度を測定しても良い。蒸発器と熱交換部がそれぞれ独立しており、配管で接続されている場合には、蒸発器と熱交換部の間の配管内のガス温度またはその配管温度を測定してもよい。蒸発器と熱交換部とが、一体に構成されている場合には、一体に構成された上流位置に温度計を配置していてもよい。 In the present invention, the thermometer is inserted in the evaporative gas supply pipe, and the gas temperature in the evaporative gas supply pipe may be measured. Further, in the present invention, the thermometer is attached to the outside of the evaporative gas supply pipe, and the pipe temperature of the evaporative gas supply pipe may be measured. When the evaporator and the heat exchange unit are independent of each other and are connected by a pipe, the gas temperature in the pipe between the evaporator and the heat exchange unit or the pipe temperature thereof may be measured. When the evaporator and the heat exchange unit are integrally configured, the thermometer may be arranged at the upstream position where the evaporator and the heat exchange unit are integrally configured.

本発明において、蒸発ガス供給配管内を流れる、気化した液化ガスの温度は、周辺環境温度の変化や液化ガス供給量の変動に応じて変動する。よって蒸発ガス供給配管内のガスの温度または前記蒸発ガス供給配管の温度を測定し、測定した温度に基づいて電気ヒータを制御することで、あらかじめ定めた所望の温度の液化ガス（気化後の液化ガス）を供給することができる。また、これによりフィードバック制御、フィードフォワード制御のそれぞれ、またはその組み合わせが可能となる。よって、気化した液化ガス温度をより一定温度に制御できるため、発電機からの電力を低減できる。 In the present invention, the temperature of the vaporized liquefied gas flowing in the evaporative gas supply pipe fluctuates according to the change of the ambient environment temperature and the change of the liquefied gas supply amount. Therefore, by measuring the temperature of the gas in the evaporative gas supply pipe or the temperature of the evaporative gas supply pipe and controlling the electric heater based on the measured temperature, the liquefied gas at a predetermined desired temperature (liquefaction after vaporization). Gas) can be supplied. In addition, this enables feedback control, feedforward control, or a combination thereof. Therefore, the temperature of the vaporized liquefied gas can be controlled to a more constant temperature, so that the electric power from the generator can be reduced.

（発明９）
本発明に係る液化ガス供給予備システムは、前記メイン配管または前記予備ガス供給配管に配置され、前記メイン配管または前記予備ガス供給配管内の流量を測定する流量計をさらに備え、前記電気ヒータ制御部は、前記第３の温度計、前記第２の温度計、および前記第１の温度計で測定されたそれぞれの温度の内いずれか１つまたは２以上と、前記流量計で測定された流量に基づいて、前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように前記電気ヒータを制御することができる。 (Invention 9)
The liquefied gas supply spare system according to the present invention is further provided with a thermometer which is arranged in the main pipe or the spare gas supply pipe and measures the flow rate in the main pipe or the spare gas supply pipe, and further includes the electric heater control unit. Is one or more of the respective temperatures measured by the third thermometer, the second thermometer, and the first thermometer, and the flow rate measured by the flow meter. Based on this, the electric heater can be controlled so that the temperature measured by the first thermometer becomes the third temperature.

本発明において、流量計はオリフィス差圧式であってもよく、マスフローメータであってもよい。 In the present invention, the flow meter may be an orifice differential pressure type or a mass flow meter.

本発明において、予備ガス供給配管により供給される、気化した液化ガス量が増えれば、電気ヒータが必要とする電力も大きくなる。よって、予備ガス供給配管内の流量を測定する流量計と、第３の温度計、第２の温度計、および第1の温度計で測定されたそれぞれの温度の内いずれか１つまたは２つ以上に基づいて電気ヒータの制御をすることで、あらかじめ定められた所望の温度の液化ガス（気化後の液化ガス）を供給することができる。 In the present invention, as the amount of vaporized liquefied gas supplied by the reserve gas supply pipe increases, the electric power required by the electric heater also increases. Therefore, one or two of the flow meter that measures the flow rate in the reserve gas supply pipe and the respective temperatures measured by the third thermometer, the second thermometer, and the first thermometer. By controlling the electric heater based on the above, it is possible to supply a liquefied gas (liquefied gas after vaporization) at a predetermined desired temperature.

（発明１０）
本発明に係るバックアップ付き液化ガス供給システムは、
原料空気を圧縮する空気圧縮部と、
前記空気圧縮部で得られた圧縮原料空気から不純物を除去する精製部と、
前記精製部において精製された圧縮原料空気を冷却する主熱交換部と、
前記主熱交換部において冷却された圧縮原料空気を窒素と酸素に分離する精留部と、
上記記載の液化ガス供給予備システムと、を備えることができる。 (Invention 10)
The liquefied gas supply system with backup according to the present invention
An air compression unit that compresses the raw material air,
A purification unit that removes impurities from the compressed raw air obtained by the air compression unit, and a purification unit.
A main heat exchange unit that cools the compressed raw material air purified in the purification unit,
A rectification section that separates the compressed raw material air cooled in the main heat exchange section into nitrogen and oxygen,
The liquefied gas supply backup system described above can be provided.

本発明において、原料空気から製造されるガス種は酸素であってもよく、窒素であってもよく、酸素および窒素の両方であってもよい。
本発明において、圧縮原料空気から不純物を除去する精製部は、圧縮された原料空気から水等の不純物を除去する機能を有してもよい。
本発明において主熱交換部は、前記精留部で発生した廃ガスと原料空気を熱交換させるものであっても良い。
本発明において、精留部は、深冷式の空気分離装置であってもよい。
本発明において、主蒸発器は、前記液体窒素製造装置で製造された液体窒素または液体酸素製造装置で製造された液体酸素を蒸発させる機能を有し、空気式蒸発器であってもよく、温水式蒸発器であっても良い。
本発明において、不純物除去部は、前記液体窒素製造装置で製造された液体窒素または液体酸素製造装置で製造された液体酸素を気化させたガス中の不純物を除去する機能を有する。該不純物除去部はゲッター式でＣＯ、Ｈ２等の不純物を除去してもよく、吸着式で水分、ＣＯ２を除去してもよい。 In the present invention, the gas species produced from the raw material air may be oxygen, nitrogen, or both oxygen and nitrogen.
In the present invention, the purification unit that removes impurities from the compressed raw material air may have a function of removing impurities such as water from the compressed raw material air.
In the present invention, the main heat exchange unit may be one that exchanges heat between the waste gas generated in the rectification unit and the raw material air.
In the present invention, the rectifying portion may be a deep-cooled air separation device.
In the present invention, the main evaporator has a function of evaporating liquid nitrogen produced by the liquid nitrogen producing apparatus or liquid oxygen produced by the liquid oxygen producing apparatus, and may be an pneumatic evaporator or hot water. It may be a type evaporator.
In the present invention, the impurity removing unit has a function of removing impurities in a gas produced by vaporizing liquid nitrogen produced by the liquid nitrogen producing apparatus or liquid oxygen produced by the liquid oxygen producing apparatus. The impurity removing part may remove impurities such as CO and H2 by a getter type, and may remove water and CO2 by an adsorption type.

かかる構成によれば、予備ガス供給配管により供給される、気化した液化ガスおよび/または液化ガス製造装置で製造された液化ガスを気化したガスを高純度ですることができる。さらに、液化ガス供給システムが電源喪失などの要因により停止した場合であっても窒素ガス供給予備システムを備えることにより連続的にガスを供給することができる。また加温部を設けることにより、低電力で運転することができる。 According to such a configuration, the vaporized liquefied gas and / or the liquefied gas produced by the liquefied gas production apparatus supplied by the reserve gas supply pipe can be vaporized with high purity. Further, even if the liquefied gas supply system is stopped due to a factor such as power loss, the gas can be continuously supplied by providing the nitrogen gas supply backup system. Further, by providing a heating unit, it is possible to operate with low electric power.

（発明１１）
本発明に係る第1の液化ガス予備供給方法は、
メイン供給からガスの供給が中断あるいは停止することを検知する第１検知工程と、
前記第１検知工程の検知結果に基づいて、液化ポンプに発電機を使用して電力を供給する電力供給工程と、
前記液化ガスポンプにより貯槽から送られた液化ガスを、蒸発器を使用して、周辺環境温度より低い第１の温度に気化してガスにする第１昇温工程と、
前記第１昇温工程で気化された第１の温度のガスを、熱交換部を使用して、第１の温度より高い第２の温度に昇温する第２昇温工程と、
前記第２昇温工程で、第２の温度に昇温されたガスを、メイン供給側に送りこむバックアップ供給工程と、を含む。
また、本発明に係る第２の液化ガス予備供給方法は、
メイン供給からガスの供給が中断あるいは停止することを検知する第１検知工程と、
前記第１検知工程の検知結果に基づいて、液化ポンプおよび/または電気ヒータに発電機を使用して電力を供給する電力供給工程と、
前記液化ガスポンプにより貯槽から送られた液化ガスを、蒸発器を使用して、周辺環境温度より低い第１の温度に気化してガスにする第１昇温工程と、
前記第１昇温工程で気化された第１の温度のガスを、熱交換部を使用して、第１の温度より高い第２の温度に昇温する第２昇温工程と、
前記第２昇温工程で、第２の温度に昇温されたガスを、電気ヒータを使用した加温部で、第２の温度より高い第３の温度に昇温する第３昇温工程と、
前記第３昇温工程で、第３の温度に昇温されたガスを、メイン供給側に送りこむバックアップ供給工程と、を含む。
また、本発明に係る第３の液化ガス予備供給方法は、前記第２の液化ガス予備供給方法において、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、前記発電機が前記液化ガスポンプに電力を供給し、かつ前記電気ヒータに電力を停止あるいは供給せず、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より低く、前記第３の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、前記発電機が前記電気ヒータおよび前記液化ガスポンプに電力を供給する工程をさらに含む。 (Invention 11)
The first liquefied gas reserve supply method according to the present invention is
The first detection process that detects that the gas supply from the main supply is interrupted or stopped,
Based on the detection result of the first detection step, the power supply step of supplying power to the liquefaction pump using a generator and
A first temperature raising step of vaporizing the liquefied gas sent from the storage tank by the liquefied gas pump to a first temperature lower than the ambient temperature using an evaporator and converting it into a gas.
A second temperature raising step of raising the temperature of the gas of the first temperature vaporized in the first temperature raising step to a second temperature higher than the first temperature by using a heat exchange unit,
The second temperature raising step includes a backup supply step of sending the gas heated to the second temperature to the main supply side.
The second liquefied gas reserve supply method according to the present invention is
The first detection process that detects that the gas supply from the main supply is interrupted or stopped,
Based on the detection result of the first detection step, the power supply step of supplying power to the liquefaction pump and / or the electric heater by using a generator, and
A first temperature raising step of vaporizing the liquefied gas sent from the storage tank by the liquefied gas pump to a first temperature lower than the ambient temperature using an evaporator and converting it into a gas.
A second temperature raising step of raising the temperature of the gas of the first temperature vaporized in the first temperature raising step to a second temperature higher than the first temperature by using a heat exchange unit,
In the second heating step, the gas heated to the second temperature is heated to a third temperature higher than the second temperature by a heating unit using an electric heater. ,
The third heating step includes a backup supply step of sending the gas heated to the third temperature to the main supply side.
Further, the third liquefied gas preliminary supply method according to the present invention is the second liquefied gas preliminary supply method.
When the second temperature is higher than the impurity removal processing temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removing device, the generator supplies electric power to the liquefied gas pump and stops the electric power to the electric heater. Without supplying
When the second temperature is lower than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device and the third temperature is higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device. Further includes a step in which the generator supplies power to the electric heater and the liquefied gas pump.

上記発明に係る液化ガス予備供給方法は、さらに以下の工程を有していてもよい。
前記メイン供給からガスの供給が再開あるいは開始することを検知する第２検知工程と、前記第２検知工程の検知結果に基づいて、液化ポンプおよび/または電気ヒータに電力の供給を停止する電力停止工程と、を含む。
液化ガスを貯槽に貯蔵する工程を含む。
液化ガスポンプにより、前記液化ガスを前記貯槽から下流へ送る工程と、を含む。 The liquefied gas preliminary supply method according to the above invention may further include the following steps.
A second detection step for detecting that the gas supply is restarted or started from the main supply, and a power stop for stopping the power supply to the liquefaction pump and / or the electric heater based on the detection result of the second detection step. Including the process.
Includes the step of storing liquefied gas in a storage tank.
The step of sending the liquefied gas from the storage tank to the downstream by a liquefied gas pump is included.

前記第１検出工程は、圧力計により、前記メイン配管または前記予備ガス供給配管の内圧を測定する工程であり、測定された内圧が閾値以下の場合に、前記電力供給工程が液化ポンプおよび/または電気ヒータに発電機を使用して電力を供給してもよい。
発電機制御部により、前記圧力計で測定された圧力が閾値以下になった場合に、前記発電機を稼働するように制御する工程を含んでいてもよい。
前記第２検知工程は、例えば、メインのガス製造部からガスが供給再開あるいは開始したことを示す情報を検知する工程であってもよい。 The first detection step is a step of measuring the internal pressure of the main pipe or the reserve gas supply pipe with a pressure gauge, and when the measured internal pressure is equal to or less than the threshold value, the power supply step is a liquefaction pump and / or A generator may be used to supply power to the electric heater.
The generator control unit may include a step of controlling the generator to operate when the pressure measured by the pressure gauge becomes equal to or less than a threshold value.
The second detection step may be, for example, a step of detecting information indicating that the supply of gas has been restarted or started from the main gas manufacturing unit.

本発明の方法の各構成要素において、上記発明のシステムと同様の構成要素は、同じ機能、作用を有している。 In each component of the method of the present invention, the same component as the system of the above invention has the same function and function.

本発明に係る液化ガス予備供給方法において、前記熱媒体は、前記発電機を冷却する冷却用流体であり、前記冷却用流体を、前記熱交換部と前記発電機に循環させる工程を含むことができる。 In the liquefied gas preliminary supply method according to the present invention, the heat medium is a cooling fluid for cooling the generator, and includes a step of circulating the cooling fluid between the heat exchange unit and the generator. it can.

（発明１２）
本発明に係るバックアップ付きガス供給方法は、液化ガスを主蒸発器により気化させてガスを供給する方法であって、
ガス製造部から、液化ガスを蒸発器で気化させたガスをメイン配管を通じて下流のプロセスに供給する工程と、
前記メイン配管に配置された不純物除去部において、前記ガス中の不純物を除去する不純物除去工程と、
前記不純物除去部より上流側で前記メイン配管に合流する予備ガス供給配管を通じて、前記ガスと同様のガスを供給する工程であって、上記記載の液化ガス予備供給方法の工程と、を含む。
本発明の方法の各構成要素において、上記発明のシステムと同様の構成要素は、同じ機能、作用を有する。 (Invention 12)
The backup gas supply method according to the present invention is a method in which liquefied gas is vaporized by a main evaporator to supply gas.
The process of supplying liquefied gas vaporized by an evaporator from the gas manufacturing department to the downstream process through the main pipe,
In the impurity removing section arranged in the main pipe, an impurity removing step of removing impurities in the gas and
The step of supplying the same gas as the gas through the spare gas supply pipe that joins the main pipe on the upstream side of the impurity removing portion, and includes the step of the liquefied gas preliminary supply method described above.
In each component of the method of the present invention, the same component as the system of the above invention has the same function and function.

実施形態１のガス製造システムの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the gas production system of Embodiment 1. 実施形態２のガス製造システムの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the gas production system of Embodiment 2. 実施形態３のガス製造システムの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the gas production system of Embodiment 3. 実施形態４のガス製造システムの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the gas production system of Embodiment 4. ガス製造部の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a gas manufacturing part.

以下に本発明のいくつかの実施形態について説明する。以下に説明する実施形態は、本発明の一例を説明するものである。本発明は以下の実施形態になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において実施される各種の変形形態も含む。なお、以下で説明される構成の全てが本発明の必須の構成であるとは限らない。 Some embodiments of the present invention will be described below. The embodiments described below describe an example of the present invention. The present invention is not limited to the following embodiments, and includes various modifications implemented without changing the gist of the present invention. It should be noted that not all of the configurations described below are essential configurations of the present invention.

（実施形態１）
本実施形態１のバックアップ付き液化ガス供給システム１を図１、図５に示す。
通常時はガス製造部５１から液化ガス（本実施形態においては窒素）がメイン配管Ｌ６により窒素ガス消費ポイント（下流のプロセスとも称することがある）へ供給されている。メイン配管Ｌ６には不純物除去部４１が配置されている。本実施例においてはＣＯやＣＯ２等を除去するゲッターが配置されている。 (Embodiment 1)
The backup liquefied gas supply system 1 of the first embodiment is shown in FIGS. 1 and 5.
Normally, liquefied gas (nitrogen in this embodiment) is supplied from the gas production unit 51 to the nitrogen gas consumption point (sometimes referred to as a downstream process) by the main pipe L6. An impurity removing unit 41 is arranged in the main pipe L6. In this embodiment, a getter that removes CO, CO2, etc. is arranged.

ガス製造部５１は、窒素ガス製造装置である。図５にガス製造部５１の内容を示す。窒素ガス製造装置は、深冷式空気分離装置である。空気圧縮部７１に原料空気を取り入れて、圧縮する。圧縮した原料空気は原料ガス熱交換部７２で冷却する。原料ガス熱交換部７２で冷却された原料空気中の不純物（水、ＣＯ２等）を精製部７３で除去する。精製部７３で生成された原料空気を主熱交換部７４において冷却し、液化させる。液化された原料空気を精留部７５において窒素および酸素に分離する。分離された窒素ガスは前記主熱交換部７４で原料空気との熱交換によって加熱され、メイン配管L6へ供給されてもよい。分離された液体窒素はタンク７６に一時的に貯留し、その後、主蒸発器７７で気化させてもよいが、液体窒素を取出さなくてもよい。前記主蒸発器７７で気化させた窒素ガスをメイン配管Ｌ６へ供給する。 The gas production unit 51 is a nitrogen gas production apparatus. FIG. 5 shows the contents of the gas manufacturing unit 51. The nitrogen gas production device is a deep-cooled air separation device. Raw material air is taken into the air compression unit 71 and compressed. The compressed raw material air is cooled by the raw material gas heat exchange unit 72. Impurities (water, CO2, etc.) in the raw material air cooled by the raw material gas heat exchange unit 72 are removed by the refining unit 73. The raw material air generated in the purification unit 73 is cooled in the main heat exchange unit 74 and liquefied. The liquefied raw material air is separated into nitrogen and oxygen in the rectification section 75. The separated nitrogen gas may be heated by heat exchange with the raw material air in the main heat exchange section 74 and supplied to the main pipe L6. The separated liquid nitrogen may be temporarily stored in the tank 76 and then vaporized in the main evaporator 77, but the liquid nitrogen may not be taken out. The nitrogen gas vaporized by the main evaporator 77 is supplied to the main pipe L6.

ここで、電源の喪失またはガス製造部のメンテナンス等の理由によりメイン配管Ｌ６から十分な窒素ガスができなくなる場合が考えられる。このような場合、メイン配管Ｌ６内の圧力は低下し、メイン配管Ｌ６と接続している予備ガス供給配管Ｌ４の圧力も低下する。圧力の低下は予備ガス供給配管Ｌ４に配置された圧力計２０による圧力測定で検出される。圧力計２０で測定された圧力が閾値（本実施例では１．０ＭＰａ）以下となった場合に発電機制御部３１で発電機１５を稼働するようにする。 Here, it is conceivable that sufficient nitrogen gas cannot be produced from the main pipe L6 due to reasons such as loss of power supply or maintenance of the gas production section. In such a case, the pressure in the main pipe L6 is lowered, and the pressure in the reserve gas supply pipe L4 connected to the main pipe L6 is also lowered. The decrease in pressure is detected by pressure measurement by a pressure gauge 20 arranged in the reserve gas supply pipe L4. When the pressure measured by the pressure gauge 20 becomes equal to or less than the threshold value (1.0 MPa in this embodiment), the generator control unit 31 operates the generator 15.

発電機１５が稼働すると、液化ガスポンプ１３および加温部１６の電気ヒータに電力が供給される。 When the generator 15 operates, electric power is supplied to the electric heaters of the liquefied gas pump 13 and the heating unit 16.

液化ガスポンプ１３に電力が供給されて、液化ガスポンプ１３が稼働すると、貯槽１１に貯蔵されている液化ガス（本実施形態においては窒素）は液化ガスポンプ１３により前記貯槽１１から導出され、下流側の蒸発器１２へ液体状態で送られる。 When power is supplied to the liquefied gas pump 13 and the liquefied gas pump 13 operates, the liquefied gas (nitrogen in this embodiment) stored in the storage tank 11 is led out from the storage tank 11 by the liquefied gas pump 13 and evaporates on the downstream side. It is sent to the vessel 12 in a liquid state.

蒸発器１２へ導入された液体窒素は蒸発器１２内でガスへ状態遷移される。ここで蒸発器１２は空気式蒸発器であり、周辺環境空気が液化ガスに熱を与えることにより、液体窒素は液体状態からガス状態の窒素ガスとなる。前記蒸発器導入時における液体窒素温度は例えば-１９５℃である。前記蒸発器１２内において周辺環境温度（本実施例においては０℃）よりも低い第1の温度（本実施例においては−１５℃）の窒素ガスとなって、蒸発器１２から蒸発ガス供給配管Ｌ２へ導出される。 The liquid nitrogen introduced into the evaporator 12 undergoes a state transition to gas in the evaporator 12. Here, the evaporator 12 is an pneumatic evaporator, and when the ambient air gives heat to the liquefied gas, the liquid nitrogen changes from a liquid state to a gas state nitrogen gas. The liquid nitrogen temperature at the time of introducing the evaporator is, for example, −195 ° C. In the evaporator 12, nitrogen gas having a first temperature (-15 ° C in this example) lower than the ambient temperature (0 ° C in this embodiment) becomes nitrogen gas, and the evaporation gas supply pipe is supplied from the evaporator 12. Derived to L2.

蒸発ガス供給配管Ｌ２内を通過した窒素ガスは熱交換部１６に導入される。本実施形態においては熱交換部１６に熱媒体である発電機１５の排ガスが送られ、排ガスと窒素ガスが熱交換を行う。これにより窒素ガスは第１の温度（本実施例においては−１５℃）から第２の温度（本実施例においては−６℃）まで加温される。加温された窒素ガスは熱交換部１６から被加温ガス導入配管Ｌ３へ導出される。
熱交換部１６は、熱媒体を受け入れる熱媒体入口と、受け入れた熱媒体を排出する熱媒体出口とを有する熱媒体通路と、蒸発器１２から送られてきたガスが流れるガス通路と、を備え、ガス通路L2が、ガス流れ方向において上流側に配置され、かつそれを通過するガスの温度が低い上流側１２１と、低温端部を通過するガスより高い温度のガスが通過する下流側１２２を有する。熱媒体入口が下流側１２２に配置され、熱媒体出口が上流側１２１に配置されている。 The nitrogen gas that has passed through the evaporative gas supply pipe L2 is introduced into the heat exchange unit 16. In the present embodiment, the exhaust gas of the generator 15 which is a heat medium is sent to the heat exchange unit 16, and the exhaust gas and the nitrogen gas exchange heat. As a result, the nitrogen gas is heated from the first temperature (-15 ° C. in this example) to the second temperature (-6 ° C. in this example). The heated nitrogen gas is led out from the heat exchange unit 16 to the heated gas introduction pipe L3.
The heat exchange unit 16 includes a heat medium passage having a heat medium inlet for receiving the heat medium, a heat medium outlet for discharging the received heat medium, and a gas passage through which the gas sent from the evaporator 12 flows. , The gas passage L2 is arranged on the upstream side in the gas flow direction, and the upstream side 121 where the temperature of the gas passing through the gas passage L2 is low and the downstream side 122 through which the gas having a temperature higher than the gas passing through the low temperature end passes. Have. The heat medium inlet is located on the downstream side 122, and the heat medium outlet is located on the upstream side 121.

被加温ガス導入配管Ｌ３を通過した窒素ガスは加温部１４に導入される。加温部１４内の多管式電気ヒータにより、窒素ガスは第２の温度（本実施例においては−６℃）から、あらかじめ定められた第３の温度（本実施例においては５℃）まで加温される。第３の温度は、不純物除去部４１の特性によって決定される。本実施例では不純物除去部４１は化学吸着によりＣＯおよびＣＯ２を除去するゲッターであるため、不純物除去性能を発揮するためには窒素ガス温度が０℃以上である必要がある。そこで第３の温度は５℃に設定した。電気ヒータによる加温温度は、予備ガス供給配管Ｌ４の内部のガス温度を測定する第１の温度計２１が第３の温度となるように、電気ヒータ制御部が電気ヒータをフィードバック制御する。 The nitrogen gas that has passed through the heated gas introduction pipe L3 is introduced into the heating unit 14. Due to the multi-tube electric heater in the heating unit 14, the nitrogen gas is heated from the second temperature (-6 ° C in this embodiment) to a predetermined third temperature (5 ° C in this embodiment). It is heated. The third temperature is determined by the characteristics of the impurity removing unit 41. In this embodiment, since the impurity removing unit 41 is a getter that removes CO and CO2 by chemisorption, the nitrogen gas temperature needs to be 0 ° C. or higher in order to exhibit the impurity removing performance. Therefore, the third temperature was set to 5 ° C. As for the heating temperature by the electric heater, the electric heater control unit feedback-controls the electric heater so that the first thermometer 21 for measuring the gas temperature inside the spare gas supply pipe L4 becomes the third temperature.

以上の構成によれば、メイン配管Ｌ６から供給される窒素ガスが電源喪失等の要因により停止または不十分となった場合であっても、本発明に係る液化ガス供給予備システムから窒素ガスを継続的に供給することができる。供給される窒素ガスは所定の温度に加温されており、不純物除去部４１において不純物が効率的に除去されることから純度も高い。 According to the above configuration, even if the nitrogen gas supplied from the main pipe L6 is stopped or insufficient due to a factor such as power loss, the nitrogen gas is continued from the liquefied gas supply standby system according to the present invention. Can be supplied as a target. The supplied nitrogen gas is heated to a predetermined temperature, and impurities are efficiently removed by the impurity removing unit 41, so that the purity is high.

本実施形態１に係る液化ガス供給予備システムにおいて、流量２５０００Ｎｍ３／ｈ、圧力１０ｂａｒ、温度５℃の窒素ガスを供給した場合の負荷を、熱交換部を有しないシステム（比較例１とする。図１において熱交換部１６を備えていないシステム）に係るシステムと比較した結果を表１に示す。 In the liquefied gas supply preliminary system according to the first embodiment, the load when nitrogen gas having a flow rate of 25,000 Nm3 / h, a pressure of 10 bar, and a temperature of 5 ° C. is supplied is a system having no heat exchange unit (Comparative Example 1). Table 1 shows the results of comparison with the system related to (1) the system not provided with the heat exchange unit 16.

（実施形態１と比較例１における熱負荷）
液体窒素を気化する蒸発器は、本実施形態１と比較例１との両方で使用される。前記蒸発器において−１９５℃の液体窒素は−１５℃の窒素ガスに状態遷移する。いずれの場合も空気式蒸発器により周辺空気から液体窒素に与えられる熱は３３４３ｋＷであった。蒸発器で発生した−１５℃の窒素ガスを５℃の窒素ガスとするためには、さらに３１ｋＷの熱を窒素ガスに与える必要がある。
比較例１においては、３１ｋＷの熱をすべて加温部１４の電気ヒータにより供給する必要がある。一方、本実施形態１においては熱交換部から１４ｋＷの熱が与えられる（算出根拠は後述する）。よって電気ヒータにより供給する熱は３１−１４＝１７ｋＷとなる。 (Heat load in Embodiment 1 and Comparative Example 1)
The evaporator that vaporizes liquid nitrogen is used in both the first embodiment and the first comparative example. In the evaporator, liquid nitrogen at 195 ° C. transitions to nitrogen gas at -15 ° C. In each case, the heat given to the liquid nitrogen from the ambient air by the pneumatic evaporator was 3343 kW. In order to convert the nitrogen gas at -15 ° C generated in the evaporator into the nitrogen gas at 5 ° C, it is necessary to further apply 31 kW of heat to the nitrogen gas.
In Comparative Example 1, it is necessary to supply all 31 kW of heat by the electric heater of the heating unit 14. On the other hand, in the first embodiment, 14 kW of heat is applied from the heat exchange unit (the basis for calculation will be described later). Therefore, the heat supplied by the electric heater is 31-14 = 17 kW.

（実施形態１と比較例１における電気負荷）
液化ガスポンプ１３が、流量２５０００Ｎｍ３／ｈの窒素ガスに相当する量の液体窒素を蒸発器１２へ送液するときに必要な電気負荷は３０ｋＷである。液化ガスポンプの電気負荷は実施形態１と比較例１で同じである。
実施形態１では、発電機は液化ガスポンプ１３に３０ｋＷの電力を供給し、かつ、電気ヒータに１７ｋＷの電力を供給する。よって発電機が供給する総合電力量は３０＋１７＝４７ｋＷとなる。
比較例１では発電機は液化ガスポンプ１３に３０ｋＷの電力を供給し、かつ、電気ヒータに３１ｋＷの電力を供給する。よって発電機が供給する総合電力量は３０＋３１＝６１ｋＷとなる。 (Electrical load in Embodiment 1 and Comparative Example 1)
The electric load required for the liquefied gas pump 13 to send liquid nitrogen in an amount corresponding to nitrogen gas having a flow rate of 25,000 Nm3 / h to the evaporator 12 is 30 kW. The electric load of the liquefied gas pump is the same in the first embodiment and the first comparative example.
In the first embodiment, the generator supplies 30 kW of electric power to the liquefied gas pump 13 and 17 kW of electric power to the electric heater. Therefore, the total electric energy supplied by the generator is 30 + 17 = 47 kW.
In Comparative Example 1, the generator supplies 30 kW of electric power to the liquefied gas pump 13 and 31 kW of electric power to the electric heater. Therefore, the total electric energy supplied by the generator is 30 + 31 = 61 kW.

（実施形態１における発電機からの熱媒体の寄与）
実施形態１における発電機の発電効率は４０％であった。よって、４０％にあたる４７ｋＷは電力として液化ガスポンプ１３および電気ヒータに供給される。残りの６０％にあたる７０．５ｋＷは熱として主に排ガス中に排出される。熱媒体である排ガスが窒素ガスに与える熱は７０．５ｋＷのうち２０％にあたる１４ｋＷであった。この１４ｋＷが実施形態１に係る熱交換部において窒素ガスに与えられる。 (Contribution of heat medium from generator in Embodiment 1)
The power generation efficiency of the generator in the first embodiment was 40%. Therefore, 47 kW, which is 40%, is supplied to the liquefied gas pump 13 and the electric heater as electric power. The remaining 60%, or 70.5 kW, is mainly discharged into the exhaust gas as heat. The heat given to the nitrogen gas by the exhaust gas, which is a heat medium, was 14 kW, which is 20% of the 70.5 kW. This 14 kW is given to the nitrogen gas in the heat exchange unit according to the first embodiment.

（実施形態１における発電機からの熱媒体の寄与）
実施形態１では電気ヒータの電気負荷が１７ｋＷであったのに対し、比較例１では３１ｋＷであった。よって実施形態１では、電気ヒータに係る電気負荷を比較例１よりも４５％削減することができた。
実施形態１では発電機の電気負荷が４７ｋＷであったのに対し、比較例１では６１ｋＷであった。よって実施形態１では、発電機に係る電気負荷を比較例１よりも２３％削減することができた。 (Contribution of heat medium from generator in Embodiment 1)
In the first embodiment, the electric load of the electric heater was 17 kW, whereas in Comparative Example 1, it was 31 kW. Therefore, in the first embodiment, the electric load related to the electric heater can be reduced by 45% as compared with the comparative example 1.
In the first embodiment, the electric load of the generator was 47 kW, whereas in Comparative Example 1, it was 61 kW. Therefore, in the first embodiment, the electric load related to the generator can be reduced by 23% as compared with the comparative example 1.

Figure 0006774905
Figure 0006774905

（別実施形態）
実施形態１のガス製造装置は、液体窒素を製造するものであったが、これに限定されず、液体酸素などを製造してもよく、液化天然ガスを貯蔵し供給するものであっても良い。 (Another embodiment)
The gas production apparatus of the first embodiment has been used to produce liquid nitrogen, but the present invention is not limited to this, and liquid oxygen or the like may be produced, or liquefied natural gas may be stored and supplied. ..

実施形態１における第１の温度計は予備ガス供給配管Ｌ４の内部のガス温度を測定するものであったが、これに限定されず、予備ガス供給配管Ｌ４の配管温度を測定してもよい。 The first thermometer in the first embodiment measures the gas temperature inside the spare gas supply pipe L4, but the present invention is not limited to this, and the pipe temperature of the spare gas supply pipe L4 may be measured.

実施形態１における不純物除去部４１はＣＯおよびＨ２を除去するゲッターであったがこれに限定されず、ＣＯ２、Ｈ２Ｏを除去するものであってもよい。 The impurity removing unit 41 in the first embodiment is a getter that removes CO and H2, but is not limited to this, and may be one that removes CO2 and H2O.

実施形態１における圧力計２０は予備ガス供給配管Ｌ４に配置されたが、これに限定されず、メイン配管Ｌ６に配置されても良い。予備ガス供給配管Ｌ４に不純物除去部４１が配置される場合には、圧力計２０は不純物除去部４１の上流側に配置されてもよいが、不純物除去部４１の下流側に配置されてもよい。メイン配管Ｌ６に不純物除去部４１が配置される場合には圧力計２０は不純物除去部４１の上流側に配置されてもよいが、不純物除去部４１の下流側に配置されてもよい。 The pressure gauge 20 in the first embodiment is arranged in the reserve gas supply pipe L4, but is not limited to this, and may be arranged in the main pipe L6. When the impurity removing unit 41 is arranged in the reserve gas supply pipe L4, the pressure gauge 20 may be arranged on the upstream side of the impurity removing unit 41, but may be arranged on the downstream side of the impurity removing unit 41. .. When the impurity removing unit 41 is arranged in the main pipe L6, the pressure gauge 20 may be arranged on the upstream side of the impurity removing unit 41, but may be arranged on the downstream side of the impurity removing unit 41.

実施形態１における発電機１５は液化ガスポンプ１３および加温部１４の電気ヒータの両方に電力を供給するものであったが、これに限定されず、２台の発電機を配置し、一方の発電機から液化ガスポンプ１３に電力を供給し、他方の発電機から電気ヒータに電力を供給しても良い。 The generator 15 in the first embodiment supplies electric power to both the liquefied gas pump 13 and the electric heater of the heating unit 14, but the present invention is not limited to this, and two generators are arranged to generate electric power. Electric power may be supplied from the machine to the liquefied gas pump 13, and electric power may be supplied from the other generator to the electric heater.

実施形態１において、熱交換部１６と蒸発器１２とが別体であったが、これに制限されず、実施形態２のように、熱交換部と蒸発部が一体の構成であってもよい。
実施形態１において、温度計２１の測定結果に基づいて電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御していたが、これに制限されず、実施形態２または実施形態３のように、温度計２２、温度計２３をさらに有し、それら単独の測定値または２以上の測定値の組み合せに基づいて、電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御してもよい。 In the first embodiment, the heat exchange unit 16 and the evaporator 12 are separate bodies, but the present invention is not limited to this, and the heat exchange unit and the evaporator unit may be integrated as in the second embodiment. ..
In the first embodiment, the electric heater control unit controls the electric heater based on the measurement result of the thermometer 21, but the present invention is not limited to this, and the thermometer 22 and the temperature are not limited to this, as in the second or third embodiment. A total of 23 may be further provided, and the electric heater control unit may control the electric heater based on the measured values of them alone or a combination of two or more measured values.

（実施形態２）
本実施形態２について、図２を用いて以下に説明する。なお、実施形態１と同様の機能を有する構成については説明を省略する。 (Embodiment 2)
The second embodiment will be described below with reference to FIG. The description of the configuration having the same function as that of the first embodiment will be omitted.

通常時はガス製造部５１から液化ガス（本実施形態においては酸素ガス）がメイン配管Ｌ６により酸素ガス消費ポイントへ供給されている。 Normally, liquefied gas (oxygen gas in this embodiment) is supplied from the gas manufacturing unit 51 to the oxygen gas consumption point by the main pipe L6.

電源の喪失またはガス製造部のメンテナンス等の理由によりメイン配管Ｌ６から十分な酸素ガスができない場合、メイン配管Ｌ６内の圧力が低下する。圧力低下は圧力計２０による圧力測定で検出される。圧力計２０で測定された圧力が閾値（本実施例では１．０ＭＰａ）以下となった場合に発電機制御部３１で発電機１５を稼働するようにする。 If sufficient oxygen gas cannot be produced from the main pipe L6 due to loss of power or maintenance of the gas manufacturing unit, the pressure in the main pipe L6 drops. The pressure drop is detected by measuring the pressure with the pressure gauge 20. When the pressure measured by the pressure gauge 20 becomes equal to or less than the threshold value (1.0 MPa in this embodiment), the generator control unit 31 operates the generator 15.

発電機１５が稼働すると、液化ガスポンプ１３および加温部１６の電気ヒータに電力が供給される。 When the generator 15 operates, electric power is supplied to the electric heaters of the liquefied gas pump 13 and the heating unit 16.

液化ガスポンプ１３に電力が供給されて、液化ガスポンプ１３が稼働すると、貯槽１１に貯蔵されている液化ガス（本実施形態においては酸素）は液化ガスポンプ１３により前記貯槽１１から導出され、下流側の蒸発器１２へ液体状態で送られる。 When power is supplied to the liquefied gas pump 13 and the liquefied gas pump 13 operates, the liquefied gas (oxygen in this embodiment) stored in the storage tank 11 is led out from the storage tank 11 by the liquefied gas pump 13 and evaporates on the downstream side. It is sent to the vessel 12 in a liquid state.

蒸発器１２へ導入された液体酸素は蒸発器１２内でガスへ状態遷移される。ここで蒸発器１２は空気式蒸発器である。前記蒸発器導入時における液体酸素温度は例えば-１８２℃である。前記蒸発器１２内において周辺環境温度（本実施例においては０℃）よりも低い第1の温度（本実施例においては−１５℃）の酸素ガスとなる。本実施形態において蒸発器１２を構成する管の内下流側に、熱媒体である発電機の排ガスが吹き付ける。排ガス吹き付け位置は、蒸発器１２の下流側１２２である。排ガスは下流側１２２で酸素ガスに熱を与えながら、蒸発器１２の上流側１２１へ流れる。このようにして、液体窒素は蒸発器１２内で気化し、前記第１の温度となり、さらに熱媒体である発電機の排ガスとの熱交換により第２の温度となる。蒸発器内に導入された排ガスは蒸発器に設けられた熱媒体出口から放出される。 The liquid oxygen introduced into the evaporator 12 undergoes a state transition to gas in the evaporator 12. Here, the evaporator 12 is an pneumatic evaporator. The liquid oxygen temperature at the time of introducing the evaporator is, for example, −182 ° C. In the evaporator 12, the oxygen gas has a first temperature (-15 ° C. in this example) lower than the ambient temperature (0 ° C. in this example). In the present embodiment, the exhaust gas of the generator, which is a heat medium, is blown onto the inner and downstream sides of the pipes constituting the evaporator 12. The exhaust gas spraying position is 122 on the downstream side of the evaporator 12. The exhaust gas flows to the upstream side 121 of the evaporator 12 while giving heat to the oxygen gas on the downstream side 122. In this way, liquid nitrogen is vaporized in the evaporator 12 to reach the first temperature, and further to the second temperature by heat exchange with the exhaust gas of the generator which is a heat medium. The exhaust gas introduced into the evaporator is discharged from the heat medium outlet provided in the evaporator.

第２の温度の酸素ガスは蒸発器１２から導出され、被加温ガス導入配管Ｌ３を通じて加温部１４へ送られる。加温部１４内の多管式電気ヒータにより、酸素ガスは第２の温度から、あらかじめ定めた第３の温度（本実施例においては５℃）まで加温される。 The oxygen gas at the second temperature is taken out from the evaporator 12 and sent to the heating unit 14 through the heated gas introduction pipe L3. The oxygen gas is heated from the second temperature to a predetermined third temperature (5 ° C. in this embodiment) by the multi-tube electric heater in the heating unit 14.

電気ヒータによる加温温度は、予備ガス供給配管Ｌ４の内部のガス温度を測定する第１の温度計２１による温度測定結果および被加温ガス導入配管内のガス温度を測定する第２の温度計による温度測定結果に基づいて、温度計２１による温度測定結果が第３の温度となるように電気ヒータ制御部が電気ヒータをフィードバック制御する。 The heating temperature by the electric heater is the temperature measurement result by the first thermometer 21 that measures the gas temperature inside the reserve gas supply pipe L4 and the second thermometer that measures the gas temperature in the heated gas introduction pipe. The electric heater control unit feedback-controls the electric heater so that the temperature measurement result by the thermometer 21 becomes the third temperature based on the temperature measurement result by.

以上の構成によれば、メイン配管Ｌ６から供給される酸素ガスが電源喪失等の要因により停止または不十分となった場合であっても、本発明に係る液化ガス供給予備システムから窒素ガスを継続的に供給することができる。 According to the above configuration, nitrogen gas is continued from the liquefied gas supply backup system according to the present invention even when the oxygen gas supplied from the main pipe L6 is stopped or insufficient due to factors such as power loss. Can be supplied as a target.

本実施形態２に係る液化ガス供給予備システムにおいて、流量２５０００Ｎｍ３／ｈ、圧力１０ｂａｒ、温度５℃の酸素ガスを供給する場合の負荷を、熱交換部を有しないシステム（比較例２とする。図２において熱交換部１６を備えていないシステム）に係るシステムと比較した結果を表２に示す。 In the liquefied gas supply preliminary system according to the second embodiment, the load when supplying oxygen gas having a flow rate of 25,000 Nm3 / h, a pressure of 10 bar, and a temperature of 5 ° C. is a system having no heat exchange unit (Comparative Example 2). Table 2 shows the results of comparison with the system according to (2), which does not include the heat exchange unit 16.

（実施形態２と比較例２における熱負荷）
液体酸素を気化する蒸発器は、本実施形態１と比較例１との両方で使用される。前記蒸発器において−１８２℃の液体酸素は−１５℃の酸素ガスに状態遷移する。いずれの場合も空気式蒸発器により周辺空気から液体窒素に与えられる熱は３５９７ｋＷであった。蒸発器で発生した−１５℃の酸素ガスを５℃の酸素ガスとするためには、さらに３１ｋＷの熱を窒素ガスに与える必要がある。
比較例１においては、３１ｋＷの熱をすべて加温部１４の電気ヒータにより供給する必要がある。一方、本実施形態１においては熱交換部から１４ｋＷの熱が与えられる（算出根拠は後述する）。よって電気ヒータにより供給する熱は３１−１４＝１７ｋＷとなる。 (Heat load in Embodiment 2 and Comparative Example 2)
The evaporator that vaporizes liquid oxygen is used in both the first embodiment and the first comparative example. In the evaporator, liquid oxygen at −182 ° C. transitions to oxygen gas at −15 ° C. In each case, the heat given to the liquid nitrogen from the ambient air by the pneumatic evaporator was 3597 kW. In order to convert the oxygen gas of -15 ° C generated in the evaporator into the oxygen gas of 5 ° C, it is necessary to further apply 31 kW of heat to the nitrogen gas.
In Comparative Example 1, it is necessary to supply all 31 kW of heat by the electric heater of the heating unit 14. On the other hand, in the first embodiment, 14 kW of heat is applied from the heat exchange unit (the basis for calculation will be described later). Therefore, the heat supplied by the electric heater is 31-14 = 17 kW.

（実施形態２と比較例２における電気負荷）
液化ガスポンプ１３が、流量２５０００Ｎｍ３／ｈの酸素ガスに相当する量の液体酸素を蒸発器１２へ送液するときに必要な電気負荷は３０ｋＷである。液化ガスポンプの電気負荷は実施形態２と比較例２で同じである。
実施形態２では、発電機は液化ガスポンプ１３に３０ｋＷの電力を供給し、かつ、電気ヒータに１７ｋＷの電力を供給する。よって発電機が供給する総合電力量は３０＋１７＝４７ｋＷとなる。
比較例２では発電機は液化ガスポンプ１３に３０ｋＷの電力を供給し、かつ、電気ヒータに３１ｋＷの電力を供給する。よって発電機が供給する総合電力量は３０＋３１＝６１ｋＷとなる。 (Electrical load in Embodiment 2 and Comparative Example 2)
The electric load required when the liquefied gas pump 13 sends liquid oxygen in an amount corresponding to oxygen gas having a flow rate of 25,000 Nm3 / h to the evaporator 12 is 30 kW. The electric load of the liquefied gas pump is the same in the second embodiment and the second comparative example.
In the second embodiment, the generator supplies 30 kW of electric power to the liquefied gas pump 13 and 17 kW of electric power to the electric heater. Therefore, the total electric energy supplied by the generator is 30 + 17 = 47 kW.
In Comparative Example 2, the generator supplies 30 kW of electric power to the liquefied gas pump 13 and 31 kW of electric power to the electric heater. Therefore, the total electric energy supplied by the generator is 30 + 31 = 61 kW.

（実施形態２における発電機からの熱媒体の寄与）
実施形態２における発電機の発電効率は４０％であった。よって、４０％にあたる４７ｋＷは電力として液化ガスポンプ１３および電気ヒータに供給される。残りの６０％にあたる７０．５ｋＷは熱として主に排ガス中に排出される。熱媒体である排ガスが酸素ガスに与える熱は７０．５ｋＷのうち２０％にあたる１４ｋＷであった。この１４ｋＷが実施形態１に係る熱交換部において酸素ガスに与えられる。 (Contribution of heat medium from generator in Embodiment 2)
The power generation efficiency of the generator in the second embodiment was 40%. Therefore, 47 kW, which is 40%, is supplied to the liquefied gas pump 13 and the electric heater as electric power. The remaining 60%, or 70.5 kW, is mainly discharged into the exhaust gas as heat. The heat given to the oxygen gas by the exhaust gas, which is a heat medium, was 14 kW, which is 20% of the 70.5 kW. This 14 kW is given to the oxygen gas in the heat exchange unit according to the first embodiment.

（実施形態２における発電機からの熱媒体の寄与）
実施形態２では電気ヒータの電気負荷が１７ｋＷであったのに対し、比較例２では３１ｋＷであった。よって実施形態１では、電気ヒータに係る電気負荷を比較例１よりも４５％削減することができた。
実施形態２では発電機の電気負荷が４７ｋＷであったのに対し、比較例１では６１ｋＷであった。よって実施形態２では、発電機に係る電気負荷を比較例２よりも２３％削減することができた。 (Contribution of heat medium from generator in Embodiment 2)
In the second embodiment, the electric load of the electric heater was 17 kW, whereas in Comparative Example 2, it was 31 kW. Therefore, in the first embodiment, the electric load related to the electric heater can be reduced by 45% as compared with the comparative example 1.
In the second embodiment, the electric load of the generator was 47 kW, whereas in Comparative Example 1, it was 61 kW. Therefore, in the second embodiment, the electric load related to the generator can be reduced by 23% as compared with the comparative example 2.

Figure 0006774905
Figure 0006774905

（別実施形態）
実施形態２における熱媒体入り口および熱媒体出口は蒸発器１２に設けられていたが、これに限定されず、蒸発器１２を構成する管の内下流側にダクト形状で吹き付ける構成としてもよい。この場合、吹き付け後の熱媒体はそのまま蒸発器１２周辺の環境へ放出される。 (Another embodiment)
The heat medium inlet and the heat medium outlet in the second embodiment are provided in the evaporator 12, but the present invention is not limited to this, and a duct-shaped spray may be provided on the inner and downstream sides of the pipe constituting the evaporator 12. In this case, the heat medium after spraying is discharged to the environment around the evaporator 12 as it is.

実施形態２において、熱交換部１６と蒸発器１２と一体であったが、これに制限されず、実施形態１のように、熱交換部と蒸発部とが別体の構成であってもよい。
実施形態２において、温度計２１、２２の測定結果に基づいて電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御していたが、これに制限されず、実施形態１のように温度計２１のみに基づいて電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御してもよく、または実施形態３のように温度計２３をさらに有してそれら単独の測定値または２以上の測定値の組み合せに基づいて電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御してもよい。 In the second embodiment, the heat exchange unit 16 and the evaporator 12 are integrated, but the present invention is not limited to this, and the heat exchange unit and the evaporator unit may have a separate configuration as in the first embodiment. ..
In the second embodiment, the electric heater control unit controls the electric heater based on the measurement results of the thermometers 21 and 22, but the present invention is not limited to this, and electricity is based only on the thermometer 21 as in the first embodiment. The heater control unit may control the electric heater, or as in the third embodiment, the thermometer 23 is further provided and the electric heater control unit is electrically operated based on the measured values of them alone or a combination of two or more measured values. The heater may be controlled.

（実施形態３）
本実施形態３について、図３を用いて以下に説明する。なお、実施形態１または２と同様の機能を有する構成については説明を省略する。 (Embodiment 3)
The third embodiment will be described below with reference to FIG. The description of the configuration having the same function as that of the first or second embodiment will be omitted.

通常時はガス製造部５１から液化ガス（本実施形態においてはメタンガス（以下、ＬＮＧともいう））がメイン配管Ｌ６によりメタンガス消費ポイントへ供給されている。 Normally, liquefied gas (methane gas (hereinafter, also referred to as LNG) in this embodiment) is supplied from the gas manufacturing unit 51 to the methane gas consumption point by the main pipe L6.

圧力計２０で測定された圧力が閾値（本実施例では１．０ＭＰａ）以下となった場合に発電機制御部３１で発電機１５を稼働するようにする。 When the pressure measured by the pressure gauge 20 becomes equal to or less than the threshold value (1.0 MPa in this embodiment), the generator control unit 31 operates the generator 15.

発電機１５が稼働すると、液化ガスポンプ１３および加温部１６の電気ヒータに電力が供給される。 When the generator 15 operates, electric power is supplied to the electric heaters of the liquefied gas pump 13 and the heating unit 16.

液化ガスポンプ１３に電力が供給されて、液化ガスポンプ１３が稼働すると、貯槽１１に貯蔵されている液化ガス（本実施形態においてはＬＮＧ）は液化ガスポンプ１３により前記貯槽１１から導出され、下流側の蒸発器１２へ液体状態で送られる。 When power is supplied to the liquefied gas pump 13 and the liquefied gas pump 13 operates, the liquefied gas (LNG in this embodiment) stored in the storage tank 11 is led out from the storage tank 11 by the liquefied gas pump 13 and evaporates on the downstream side. It is sent to the vessel 12 in a liquid state.

蒸発器１２へ導入されたＬＮＧは蒸発器１２内でガスへ状態遷移される。ここで蒸発器１２は空気式蒸発器である。前記蒸発器導入時におけるＬＮＧ温度は例えば-１６０℃である。前記蒸発器１２内において周辺環境温度（本実施例においては０℃）よりも低い第1の温度（本実施例においては−１５℃）のメタンガスとなる。第１の温度となったメタンガスは、蒸発器１２から蒸発ガス供給配管Ｌ２へ導出される。 The LNG introduced into the evaporator 12 undergoes a state transition to gas in the evaporator 12. Here, the evaporator 12 is an pneumatic evaporator. The LNG temperature at the time of introducing the evaporator is, for example, −160 ° C. In the evaporator 12, methane gas has a first temperature (-15 ° C. in this example) lower than the ambient temperature (0 ° C. in this example). The methane gas at the first temperature is led out from the evaporator 12 to the evaporation gas supply pipe L2.

蒸発ガス供給配管Ｌ２内を通過したメタンガスは熱交換部１６に導入される。本実施形態においては熱交換部に熱媒体である発電機１５の冷却水が送られ、排ガスとメタンガスが熱交換を行う。冷却水は稼働した発電機１５を冷却することにより温度が上昇しており、加温部でメタンガスに熱を与えることにより冷却水の温度は低下する。温度が低下した冷却水は熱媒体循環路により再び発電機の冷却に使用される。 The methane gas that has passed through the evaporative gas supply pipe L2 is introduced into the heat exchange unit 16. In the present embodiment, the cooling water of the generator 15, which is a heat medium, is sent to the heat exchange unit, and the exhaust gas and the methane gas exchange heat. The temperature of the cooling water rises by cooling the operating generator 15, and the temperature of the cooling water falls by applying heat to the methane gas in the heating portion. The cooled cooling water is used again for cooling the generator by the heat medium circulation path.

これによりメタンガスは第１の温度（本実施例においては−１５℃）から第２の温度（本実施例においては−６℃）まで加温される。加温されたメタンガスは熱交換部１６から被加温ガス導入配管Ｌ３へ導出される。 As a result, the methane gas is heated from the first temperature (-15 ° C. in this example) to the second temperature (-6 ° C. in this example). The heated methane gas is led out from the heat exchange unit 16 to the heated gas introduction pipe L3.

第２の温度のメタンガスは蒸発器１２から導出され、被加温ガス導入配管Ｌ３を通じて加温部１４へ送られる。加温部１４内の電気ヒータにより、メタンガスは第２の温度（本実施例においては−６℃）から、あらかじめ定めた第３の温度（本実施例においては５℃）まで加温される。 The methane gas having the second temperature is taken out from the evaporator 12 and sent to the heating unit 14 through the heated gas introduction pipe L3. The electric heater in the heating unit 14 heats the methane gas from the second temperature (-6 ° C. in this embodiment) to a predetermined third temperature (5 ° C. in this embodiment).

電気ヒータによる加温温度は、予備ガス供給配管Ｌ４の内部のガス温度を測定する第１の温度計２１による温度測定結果、被加温ガス導入配管内のガス温度を測定する第２の温度計２２、および蒸発ガス供給配管Ｌ２の内部のガス温度を測定する第３の温度計２３よる温度想定結果に基づいて、温度計２１による温度測定結果があらかじめ定めた第３の温度となるように電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御する。 The heating temperature by the electric heater is the temperature measurement result by the first thermometer 21 that measures the gas temperature inside the reserve gas supply pipe L4, and the second thermometer that measures the gas temperature in the heated gas introduction pipe. Electric so that the temperature measurement result by the thermometer 21 becomes a predetermined third temperature based on the temperature estimation result by the third thermometer 23 that measures the gas temperature inside 22 and the evaporative gas supply pipe L2. The heater control unit controls the electric heater.

以上の構成によれば、メイン配管Ｌ６から供給される窒素ガスが電源喪失等の要因により停止または不十分となった場合であっても、本発明に係る液化ガス供給予備システムから窒素ガスを継続的に供給することができる。 According to the above configuration, even if the nitrogen gas supplied from the main pipe L6 is stopped or insufficient due to a factor such as power loss, the nitrogen gas is continued from the liquefied gas supply standby system according to the present invention. Can be supplied as a target.

本実施形態３に係る液化ガス供給予備システムにおいて、流量２５０００Ｎｍ３／ｈ、圧力１０ｂａｒ、温度５℃のメタンガスを供給する場合の負荷を、熱交換部を有しないシステム（比較例３とする。図３において熱交換部１６を備えていないシステム）に係るシステムと比較した結果を表３に示す。 In the liquefied gas supply preliminary system according to the third embodiment, the load when supplying methane gas having a flow rate of 25,000 Nm3 / h, a pressure of 10 bar, and a temperature of 5 ° C. is a system having no heat exchange unit (Comparative Example 3). Table 3 shows the results of comparison with the system related to (the system not provided with the heat exchange unit 16).

（実施形態３と比較例３における熱負荷）
液体酸素を気化する蒸発器は、本実施形態１と比較例１との両方で使用される。前記蒸発器において−１６０℃のＬＮＧは−１５℃のメタンガスに状態遷移する。いずれの場合も空気式蒸発器により周辺空気から液体窒素に与えられる熱は４０５７ｋＷであった。蒸発器で発生した−１５℃のメタンガスを５℃のメタンガスとするためには、さらに３１ｋＷの熱をメタンガスに与える必要がある。
比較例１においては、３１ｋＷの熱をすべて加温部１４の電気ヒータにより供給する必要がある。一方、本実施形態１においては熱交換部から１４ｋＷの熱が与えられる（算出根拠は後述する）。よって電気ヒータにより供給する熱は３１−１４＝１７ｋＷとなる。 (Heat load in Embodiment 3 and Comparative Example 3)
The evaporator that vaporizes liquid oxygen is used in both the first embodiment and the first comparative example. In the evaporator, LNG at −160 ° C. transitions to methane gas at −15 ° C. In each case, the heat given to the liquid nitrogen from the ambient air by the pneumatic evaporator was 4057 kW. In order to convert -15 ° C methane gas generated in the evaporator into 5 ° C methane gas, it is necessary to further apply 31 kW of heat to the methane gas.
In Comparative Example 1, it is necessary to supply all 31 kW of heat by the electric heater of the heating unit 14. On the other hand, in the first embodiment, 14 kW of heat is applied from the heat exchange unit (the basis for calculation will be described later). Therefore, the heat supplied by the electric heater is 31-14 = 17 kW.

（実施形態３と比較例３における電気負荷）
液化ガスポンプ１３が、流量２５０００Ｎｍ３／ｈのメタンガスに相当する量のＬＮＧを蒸発器１２へ送液するときに必要な電気負荷は３０ｋＷである。液化ガスポンプの電気負荷は実施形態３と比較例３で同じである。
実施形態３では、発電機は液化ガスポンプ１３に３０ｋＷの電力を供給し、かつ、電気ヒータに１７ｋＷの電力を供給する。よって発電機が供給する総合電力量は３０＋１７＝４７ｋＷとなる。
比較例３では発電機は液化ガスポンプ１３に３０ｋＷの電力を供給し、かつ、電気ヒータに３１ｋＷの電力を供給する。よって発電機が供給する総合電力量は３０＋３１＝６１ｋＷとなる。 (Electrical load in Embodiment 3 and Comparative Example 3)
The electric load required for the liquefied gas pump 13 to send an amount of LNG corresponding to methane gas having a flow rate of 25,000 Nm3 / h to the evaporator 12 is 30 kW. The electric load of the liquefied gas pump is the same in the third embodiment and the third comparative example.
In the third embodiment, the generator supplies 30 kW of electric power to the liquefied gas pump 13 and 17 kW of electric power to the electric heater. Therefore, the total electric energy supplied by the generator is 30 + 17 = 47 kW.
In Comparative Example 3, the generator supplies 30 kW of electric power to the liquefied gas pump 13 and 31 kW of electric power to the electric heater. Therefore, the total electric energy supplied by the generator is 30 + 31 = 61 kW.

（実施形態３における発電機からの熱媒体の寄与）
実施形態３における発電機の発電効率は４０％であった。よって、４０％にあたる４７ｋＷは電力として液化ガスポンプ１３および電気ヒータに供給される。残りの６０％にあたる７０．５ｋＷは熱として主に排ガス中に排出される。熱媒体である排ガスがメタンガスに与える熱は７０．５ｋＷのうち２０％にあたる１４ｋＷであった。この１４ｋＷが実施形態１に係る熱交換部においてメタンガスに与えられる。 (Contribution of heat medium from generator in Embodiment 3)
The power generation efficiency of the generator in the third embodiment was 40%. Therefore, 47 kW, which is 40%, is supplied to the liquefied gas pump 13 and the electric heater as electric power. The remaining 60%, or 70.5 kW, is mainly discharged into the exhaust gas as heat. The heat given to methane gas by the exhaust gas, which is a heat medium, was 14 kW, which is 20% of the 70.5 kW. This 14 kW is given to methane gas in the heat exchange unit according to the first embodiment.

（実施形態３における発電機からの熱媒体の寄与）
実施形態３では電気ヒータの電気負荷が１７ｋＷであったのに対し、比較例２では３１ｋＷであった。よって実施形態１では、電気ヒータに係る電気負荷を比較例１よりも４５％削減することができた。
実施形態２では発電機の電気負荷が４７ｋＷであったのに対し、比較例１では６１ｋＷであった。よって実施形態３では、発電機に係る電気負荷を比較例３よりも２３％削減することができた。 (Contribution of heat medium from generator in Embodiment 3)
In the third embodiment, the electric load of the electric heater was 17 kW, whereas in Comparative Example 2, it was 31 kW. Therefore, in the first embodiment, the electric load related to the electric heater can be reduced by 45% as compared with the comparative example 1.
In the second embodiment, the electric load of the generator was 47 kW, whereas in Comparative Example 1, it was 61 kW. Therefore, in the third embodiment, the electric load related to the generator can be reduced by 23% as compared with the comparative example 3.

Figure 0006774905
Figure 0006774905

（別実施形態）
実施形態３においては、液化ガス供給予備システムから供給されるガス量を測定する流量計２４が設けられていないが、これに限定されず、流量計２４を設ける構成としてもよい。この場合、流量計２４はメイン配管Ｌ６または予備ガス供給配管Ｌ４に配置される。流量計はオリフィス差圧計を使用する。
電気ヒータ制御部３０は、前記第３の温度計２３、前記第２の温度計２２、および前記第１の温度計で測定されたそれぞれの温度の内いずれか１つまたは２以上と、前記流量計２４で測定された流量に基づいて、前記第１の温度計２１で測定された温度が前記第３の温度になるように電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御する。 (Another embodiment)
In the third embodiment, the flow meter 24 for measuring the amount of gas supplied from the liquefied gas supply backup system is not provided, but the present invention is not limited to this, and the flow meter 24 may be provided. In this case, the flow meter 24 is arranged in the main pipe L6 or the reserve gas supply pipe L4. The flow meter uses an orifice differential pressure gauge.
The electric heater control unit 30 includes one or two or more of the temperatures measured by the third thermometer 23, the second thermometer 22, and the first thermometer, and the flow rate. Based on the flow rate measured by the total 24, the electric heater control unit controls the electric heater so that the temperature measured by the first thermometer 21 becomes the third temperature.

実施形態３において、熱交換部１６と蒸発器１２とが別体であったが、これに制限されず、実施形態２のように、熱交換部と蒸発部が一体の構成であってもよい。
実施形態３において、温度計２１、２２、２３の測定結果に基づいて電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御していたが、これに制限されず、実施形態１または２のように、温度計２１または温度計２２の単独の測定値に基づいて、電気ヒータ制御部が電気ヒータを制御してもよい。 In the third embodiment, the heat exchange unit 16 and the evaporator 12 are separate bodies, but the present invention is not limited to this, and the heat exchange unit and the evaporator unit may be integrated as in the second embodiment. ..
In the third embodiment, the electric heater control unit controls the electric heater based on the measurement results of the thermometers 21, 22, and 23, but the present invention is not limited to this, and the thermometer 21 is not limited to this, as in the first or second embodiment. Alternatively, the electric heater control unit may control the electric heater based on a single measurement value of the thermometer 22.

（実施形態４）
図４に示す実施形態４は、メイン配管Ｌ６に流量計２４（例えば、マスフローメーター）が配置されている。同じ符号の要素は、上記実施形態と同様の機能を有するため説明を省略する。
電気ヒータ制御部３０は、第３の温度計２３、第２の温度計２２、および第１の温度計２１で測定されたそれぞれの温度の内いずれか１つまたは２以上と、流量計２４で測定された流量に基づいて、第１の温度計２１で測定された温度が第３の温度になるように電気ヒータを制御することができる。 (Embodiment 4)
In the fourth embodiment shown in FIG. 4, a flow meter 24 (for example, a mass flow meter) is arranged in the main pipe L6. Since the elements having the same reference numerals have the same functions as those in the above embodiment, the description thereof will be omitted.
The electric heater control unit 30 is a flow meter 24 with any one or more of the temperatures measured by the third thermometer 23, the second thermometer 22, and the first thermometer 21. Based on the measured flow rate, the electric heater can be controlled so that the temperature measured by the first thermometer 21 becomes the third temperature.

本実施形態４において、メイン配管に流量計２４が配置されているが、これに制限されず、予備ガス供給配管Ｌ４に配置されていてもよい。
また、流量計２４は、実施形態４の構成に限定されず、実施形態１〜３の実施形態においても設けられていてもよく、電気ヒータ制御部３０は、各温度計の測定結果と流量計２４で測定された流量に基づいて、第１の温度計２１で測定された温度が第３の温度になるように電気ヒータを制御してもよい。 In the fourth embodiment, the flow meter 24 is arranged in the main pipe, but the flow meter 24 is not limited to this, and may be arranged in the reserve gas supply pipe L4.
Further, the flow meter 24 is not limited to the configuration of the fourth embodiment, and may be provided in the embodiments of the first to third embodiments, and the electric heater control unit 30 includes the measurement result of each thermometer and the flow meter. The electric heater may be controlled so that the temperature measured by the first thermometer 21 becomes the third temperature based on the flow rate measured by 24.

（実施形態1〜４の別実施形態）
上記実施形態１〜４は、いずれも電気ヒータ有する加温部を備え、電気ヒータに電力を供給する構成であったが、電気ヒータ有する加温部を備えない構成または電気ヒータ有する加温部を備えていても電気ヒータに電力を供給しない構成であってもよい。熱交換部による昇温によって、ガス温度が必要十分な温度に達している場合には、電気ヒータを稼働する必要がなく、さらなる電力供給量の削減を達成できる。 (Another Embodiment of Embodiments 1 to 4)
Each of the above-described first to fourth embodiments has a configuration in which a heating unit having an electric heater is provided and power is supplied to the electric heater. Even if it is provided, it may be configured not to supply electric power to the electric heater. When the gas temperature reaches the necessary and sufficient temperature due to the temperature rise by the heat exchange unit, it is not necessary to operate the electric heater, and further reduction of the electric power supply amount can be achieved.

（実施形態５）
液化ガス予備供給方法は、
メイン供給からガスの供給が中断あるいは停止することを検知する第１検知工程と、
前記第１検知工程の検知結果に基づいて、液化ポンプ１３および/または電気ヒータに発電機１５を使用して電力を供給する電力供給工程と、
前記液化ガスポンプ１３により貯槽から送られた液化ガスを、蒸発器１２を使用して、周辺環境温度より低い第１の温度に気化してガスにする第１昇温工程と、
前記第１昇温工程で気化された第１の温度のガスを、熱交換部１６を使用して、第１の温度より高い第２の温度に昇温する第２昇温工程と、
前記第２昇温工程で、第２の温度に昇温されたガスを、電気ヒータを使用した加温部１４で、第２の温度より高い第３の温度に昇温する第３昇温工程と、
前記第３昇温工程で、第３の温度に昇温されたガスを、メイン供給側に送りこむバックアップ供給工程と、
前記メイン供給からガスの供給が再開あるいは開始することを検知する第２検知工程と、
前記第２検知工程の検知結果に基づいて、液化ポンプ１３および/または電気ヒータに電力の供給を停止する電力停止工程と、を含む。
上記の液化ガス予備供給方法において、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、前記発電機が前記液化ガスポンプに電力を供給し、かつ前記電気ヒータに電力を停止あるいは供給せず、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より低く、前記第３の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（T）より高い温度である場合に、前記発電機が前記電気ヒータおよび前記液化ガスポンプに電力を供給する工程をさらに含んでいてもよい。 (Embodiment 5)
The liquefied gas reserve supply method is
The first detection process that detects that the gas supply from the main supply is interrupted or stopped,
Based on the detection result of the first detection step, the power supply step of supplying power to the liquefaction pump 13 and / or the electric heater using the generator 15 and
A first temperature raising step of vaporizing the liquefied gas sent from the storage tank by the liquefied gas pump 13 to a first temperature lower than the ambient temperature using an evaporator 12 to make a gas.
A second temperature raising step in which the gas of the first temperature vaporized in the first temperature raising step is heated to a second temperature higher than the first temperature by using the heat exchange unit 16.
In the second heating step, the gas heated to the second temperature is heated to a third temperature higher than the second temperature by the heating unit 14 using an electric heater. When,
In the third heating step, a backup supply step of sending the gas heated to the third temperature to the main supply side, and
A second detection step for detecting that the gas supply is restarted or started from the main supply, and
Based on the detection result of the second detection step, the power stop step of stopping the supply of power to the liquefaction pump 13 and / or the electric heater is included.
In the above liquefied gas reserve supply method,
When the second temperature is higher than the impurity removal processing temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removing device, the generator supplies electric power to the liquefied gas pump and stops the electric power to the electric heater. Without supplying
When the second temperature is lower than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device and the third temperature is higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device. , The generator may further include the step of supplying power to the electric heater and the liquefied gas pump.

また、別実施形態の液化ガス予備供給方法は、
メイン供給からガスの供給が中断あるいは停止することを検知する第１検知工程と、
前記第１検知工程の検知結果に基づいて、液化ポンプに発電機を使用して電力を供給する電力供給工程と、
前記液化ガスポンプにより貯槽から送られた液化ガスを、蒸発器を使用して、周辺環境温度より低い第１の温度に気化してガスにする第１昇温工程と、
前記第１昇温工程で気化された第１の温度のガスを、熱交換部を使用して、第１の温度より高い第２の温度に昇温する第２昇温工程と、
前記第２昇温工程で、第２の温度に昇温されたガスを、メイン供給側に送りこむバックアップ供給工程と、を含む。 Further, the liquefied gas preliminary supply method of another embodiment is
The first detection process that detects that the gas supply from the main supply is interrupted or stopped,
Based on the detection result of the first detection step, the power supply step of supplying power to the liquefaction pump using a generator and
A first temperature raising step of vaporizing the liquefied gas sent from the storage tank by the liquefied gas pump to a first temperature lower than the ambient temperature using an evaporator and converting it into a gas.
A second temperature raising step of raising the temperature of the gas of the first temperature vaporized in the first temperature raising step to a second temperature higher than the first temperature by using a heat exchange unit,
The second temperature raising step includes a backup supply step of sending the gas heated to the second temperature to the main supply side.

液化ガス予備供給方法は、さらに以下の工程を有する。
液化ガスを貯槽１１に貯蔵する工程と、液化ガスポンプ１３により、前記液化ガスを前記貯槽から下流へ送る工程を含む。
前記第１検出工程は、圧力計２０により、メイン配管Ｌ６または予備ガス供給配管Ｌ４の内圧を測定する工程であり、測定された内圧が閾値以下の場合に、電力供給工程が液化ポンプ１６および/または電気ヒータに発電機１５から電力を供給する。
発電機制御部３１により、圧力計２０で測定された圧力が閾値以下になった場合に、発電機１５を稼働するように制御する工程を含む。
また、熱媒体が発電機１５を冷却する冷却用流体であり、冷却用流体を熱交換部１６と発電機１５との間で循環させる工程を含む。 The liquefied gas preliminary supply method further includes the following steps.
It includes a step of storing the liquefied gas in the storage tank 11 and a step of sending the liquefied gas downstream from the storage tank by the liquefied gas pump 13.
The first detection step is a step of measuring the internal pressure of the main pipe L6 or the reserve gas supply pipe L4 by the pressure gauge 20, and when the measured internal pressure is equal to or less than the threshold value, the power supply step is the liquefaction pump 16 and / Alternatively, electric power is supplied to the electric heater from the generator 15.
The generator control unit 31 includes a step of controlling the generator 15 to operate when the pressure measured by the pressure gauge 20 becomes equal to or less than the threshold value.
Further, the heat medium is a cooling fluid for cooling the generator 15, and includes a step of circulating the cooling fluid between the heat exchange unit 16 and the generator 15.

（実施形態６）
バックアップ付きガス供給方法は、液化ガスを主蒸発器により気化させてガスを供給する方法であって、
ガス製造部５１から、液化ガスを蒸発器で気化させたガスをメイン配管Ｌ６を通じて下流のプロセスに供給する工程と、
前記メイン配管Ｌ６に配置された不純物除去部４１において、前記ガス中の不純物を除去する不純物除去工程と、
前記不純物除去部４１より上流側で前記メイン配管Ｌ６に合流する予備ガス供給配管Ｌ４を通じて、前記ガスと同様のガスを供給する工程であって、上記記載の液化ガス予備供給方法の工程と、を含む。 (Embodiment 6)
The gas supply method with backup is a method in which the liquefied gas is vaporized by the main evaporator to supply the gas.
A process of supplying gas vaporized by an evaporator from the gas manufacturing unit 51 to a downstream process through the main pipe L6.
In the impurity removing section 41 arranged in the main pipe L6, an impurity removing step of removing impurities in the gas and an impurity removing step.
The step of supplying the same gas as the gas through the spare gas supply pipe L4 that joins the main pipe L6 on the upstream side of the impurity removing unit 41, and the step of the liquefied gas preliminary supply method described above. Including.

１ 液化ガス供給予備システム
１１ 貯槽
１２ 蒸発器
１３ 液化ガスポンプ
１４ 加温部
１５ 発電機
１６ 熱交換部
２０ 圧力計
２１ 第１の温度計
２２ 第２の温度計
２３ 第３の温度計
２４ 流量計
３０ 加温制御部
３１ 発電機制御部
４１ 不純物除去部
５１ ガス製造部
７１ 空気圧縮部
７２ 原料ガス熱交換部
７３ 精製部
７４ 主熱交換部
７５ 精留部
７６ タンク
７７ 主蒸発器
Ｌ２ 蒸発ガス供給配管
Ｌ３ 被加温ガス導入配管
Ｌ４ 予備ガス供給配管
Ｌ６ メイン配管
1 Liquefied gas supply reserve system 11 Storage tank 12 Evaporator 13 Liquefied gas pump 14 Heating unit 15 Generator 16 Heat exchange unit 20 Pressure gauge 21 First thermometer 22 Second thermometer 23 Third thermometer 24 Flowmeter 30 Heating control unit 31 Generator control unit 41 Impurity removal unit 51 Gas production unit 71 Air compression unit 72 Raw material gas heat exchange unit 73 Purification unit 74 Main heat exchange unit
75 Stemming part 76 Tank 77 Main evaporator L2 Evaporative gas supply piping L3 Heated gas introduction piping L4 Reserve gas supply piping L6 Main piping

Claims (16)

液化ガスを貯蔵する貯槽と、
前記液化ガスを前記貯槽から下流へ送る液化ガスポンプと、
前記液化ガスポンプから送られた前記液化ガスを、周辺環境温度より低い第１の温度のガスへ状態遷移させる蒸発器と、
前記第１の温度のガスを、熱媒体で前記第１の温度より高い第２の温度へ昇温させる熱交
換部と、
前記熱交換部より下流において前記ガスをメイン配管へ送る予備ガス供給配管と、
前記メイン配管または前記予備ガス供給配管の内圧を測定する圧力計と、
前記液化ガスポンプに電力を供給する発電機と、
前記圧力計で測定された圧力が閾値以下になった場合に、前記発電機を稼働するように制御する発電機制御部と、を備える液化ガス供給予備システム。 A storage tank for storing liquefied gas and
A liquefied gas pump that sends the liquefied gas downstream from the storage tank,
An evaporator that transitions the state of the liquefied gas sent from the liquefied gas pump to a gas having a first temperature lower than the ambient temperature.
A heat exchange unit that raises the temperature of the gas having the first temperature to a second temperature higher than the first temperature with a heat medium.
A spare gas supply pipe that sends the gas to the main pipe downstream from the heat exchange unit,
A pressure gauge that measures the internal pressure of the main pipe or the reserve gas supply pipe,
A generator that supplies electric power to the liquefied gas pump,
A liquefied gas supply backup system including a generator control unit that controls the generator to operate when the pressure measured by the pressure gauge becomes equal to or lower than a threshold value. 前記熱交換部の後段に配置され、かつ前記熱交換部で生じた前記第２の温度のガスを、電気ヒータで前記第２の温度より高い第３の温度へ昇温させる加温部をさらに備え、
前記発電機が、前記電気ヒータおよび／または前記液化ガスポンプに電力を供給する、
請求項１に記載の液化ガス供給予備システム。 A heating unit that is arranged after the heat exchange unit and that raises the temperature of the gas at the second temperature generated in the heat exchange unit to a third temperature higher than the second temperature by an electric heater is further provided. Prepare,
The generator powers the electric heater and / or the liquefied gas pump.
The liquefied gas supply backup system according to claim 1. 前記熱交換部の後段に配置され、かつ前記熱交換部で生じた前記第２の温度のガスを、電気ヒータで前記第２の温度より高い第３の温度へ昇温させる加温部をさらに備え、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（Ｔ）より高い温度である場合に、前記発電機が前記液化ガスポンプに電力を供給し、かつ前記電気ヒータに電力を停止あるいは供給せず、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（Ｔ）より低く、前記第３の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（Ｔ）より高い温度である場合に、前記発電機が前記電気ヒータおよび前記液化ガスポンプに電力を供給する、請求項１に記載の液化ガス供給予備システム。 A heating unit that is arranged after the heat exchange unit and that raises the temperature of the gas at the second temperature generated in the heat exchange unit to a third temperature higher than the second temperature by an electric heater is further provided. Prepare,
When the second temperature is higher than the impurity removal processing temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removing device, the generator supplies electric power to the liquefied gas pump and stops the electric power to the electric heater. Without supplying
When the second temperature is lower than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device and the third temperature is higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device. The liquefied gas supply backup system according to claim 1, wherein the generator supplies power to the electric heater and the liquefied gas pump. 前記熱媒体は、前記発電機において発生した熱媒体であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液化ガス供給予備システム。 The liquefied gas supply backup system according to any one of claims 1 to 3, wherein the heat medium is a heat medium generated in the generator. 前記熱媒体を前記熱交換部と前記発電機に循環させる熱媒体循環路をさらに備え、
前記熱媒体は、前記発電機を冷却する冷却用流体であることを特徴とする、請求項４に記載の液化ガス供給予備システム。 Further provided with a heat medium circulation path for circulating the heat medium to the heat exchange section and the generator.
The liquefied gas supply backup system according to claim 4, wherein the heat medium is a cooling fluid for cooling the generator. 前記熱交換部は、前記蒸発器を構成する管の内、下流側管に配置されることを特徴とする、請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の液化ガス供給予備システム。 The liquefied gas supply backup system according to any one of claims 1 to 5, wherein the heat exchange unit is arranged in a downstream pipe among the pipes constituting the evaporator. 前記熱交換部は、熱媒体を受け入れる熱媒体入口と、受け入れた前記熱媒体を排出する熱媒体出口とを有する熱媒体通路と、加温対象のガスが流れるガス通路と、を備え、
前記熱媒体入口が前記ガス通路の下流側に配置され、前記熱媒体出口が前記ガス通路の上流側に配置されることを特徴とする請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載の液化ガス供給予備システム。 The heat exchange unit includes a heat medium inlet for receiving the heat medium, and a heat medium passage and a heat medium outlet for discharging the heat medium accepted, a gas passage through which heating target gas, and
The one according to any one of claims 1 to 6, wherein the heat medium inlet is arranged on the downstream side of the gas passage, and the heat medium outlet is arranged on the upstream side of the gas passage. Liquefied gas supply backup system. 前記予備ガス供給配管内のガスの温度を測定する、または前記予備ガス供給配管の温度を測定する第１の温度計と、
前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように、前記電気ヒータを制御する電気ヒータ制御部とを備える、請求項２または３に記載の液化ガス供給予備システム。 A first thermometer that measures the temperature of the gas in the spare gas supply pipe or measures the temperature of the spare gas supply pipe.
The liquefied gas supply backup system according to claim 2 or 3, further comprising an electric heater control unit that controls the electric heater so that the temperature measured by the first thermometer becomes the third temperature. 被加温ガス導入配管内のガスの温度を測定する、または被加温ガス導入配管の温度を測定する第２の温度計をさらに備え、
前記電気ヒータ制御部は前記第２の温度計および前記第１の温度計で測定されたそれぞれの温度に基づいて、前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように前記電気ヒータを制御することを特徴とする、請求項８に記載の液化ガス供給予備システム。 Further comprising a second thermometer for measuring the temperature of the temperature measuring or target heating gas inlet pipe of the gas of the warm gas inlet in the pipe,
The electric heater control unit sets the temperature measured by the first thermometer to be the third temperature based on the respective temperatures measured by the second thermometer and the first thermometer. The liquefied gas supply backup system according to claim 8, further comprising controlling the electric heater. 蒸発ガス供給配管内のガスの温度を測定する、または前記被加温ガス導入配管の温度を測定する第３の温度計をさらに備え、
前記電気ヒータ制御部は前記第３の温度計、前記第２の温度計、および前記第１の温度計で測定されたそれぞれの温度の内いずれか１つまたは２以上に基づいて、前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように前記電気ヒータを制御することを特徴とする、請求項９に記載の液化ガス供給予備システム。 Measuring the temperature of the gas evaporation gas supply in the pipe, or further comprising a third thermometer for measuring the temperature of the heated gas introduction pipe,
The electric heater control unit is based on any one or more of the temperatures measured by the third thermometer, the second thermometer, and the first thermometer, and the first one. The liquefied gas supply backup system according to claim 9, wherein the electric heater is controlled so that the temperature measured by the thermometer of the above is the third temperature. 前記メイン配管または前記予備ガス供給配管に配置され、前記メイン配管または前記予備ガス供給配管内の流量を測定する流量計をさらに備え、
前記電気ヒータ制御部は、前記第３の温度計、前記第２の温度計、および前記第１の温度計で測定されたそれぞれの温度の内いずれか１つまたは２以上と、前記流量計で測定された流量に基づいて、前記第１の温度計で測定された温度が前記第３の温度になるように前記電気ヒータを制御することを特徴とする、請求項１０に記載の液化ガス供給予備システム。 Further provided with a flow meter arranged in the main pipe or the spare gas supply pipe and measuring the flow rate in the main pipe or the spare gas supply pipe.
The electric heater control unit includes any one or more of the temperatures measured by the third thermometer , the second thermometer, and the first thermometer, and the flow meter. The liquefied gas supply according to claim 10, wherein the electric heater is controlled so that the temperature measured by the first thermometer becomes the third temperature based on the measured flow rate. Spare system. 原料空気を圧縮する空気圧縮部と、
前記空気圧縮部で得られた圧縮原料空気から不純物を除去する精製部と、
前記精製部において精製された圧縮原料空気を冷却する主熱交換部と、
前記主熱交換部において冷却された圧縮原料空気を窒素と酸素に分離する精留部と、
請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の液化ガス供給予備システムと、を備える、バックアップ付き液化ガス供給システム。 An air compression unit that compresses the raw material air,
A purification unit that removes impurities from the compressed raw air obtained by the air compression unit, and a purification unit.
A main heat exchange unit that cools the compressed raw material air purified in the purification unit,
A rectification section that separates the compressed raw material air cooled in the main heat exchange section into nitrogen and oxygen,
A liquefied gas supply system with backup, comprising the liquefied gas supply backup system according to any one of claims 1 to 11. メイン供給からガスの供給が中断あるいは停止することを検知する第１検知工程と、
前記第１検知工程の検知結果に基づいて、液化ガスポンプに発電機を使用して電力を供給する電力供給工程と、
前記液化ガスポンプにより貯槽から送られた液化ガスを、蒸発器を使用して、周辺環境温度より低い第１の温度に気化してガスにする第１昇温工程と、
前記第１昇温工程で気化された第１の温度のガスを、熱交換部を使用して、第１の温度より高い第２の温度に昇温する第２昇温工程と、
前記第２昇温工程で、第２の温度に昇温されたガスを、メイン供給側に送りこむバックアップ供給工程と、とを含む、液化ガス予備供給方法。 The first detection process that detects that the gas supply from the main supply is interrupted or stopped,
Based on the detection result of the first detection step, a power supply step of supplying a power using a generator liquefied gas pump,
A first temperature raising step of vaporizing the liquefied gas sent from the storage tank by the liquefied gas pump to a first temperature lower than the ambient temperature using an evaporator and converting it into a gas.
A second temperature raising step of raising the temperature of the gas of the first temperature vaporized in the first temperature raising step to a second temperature higher than the first temperature by using a heat exchange unit,
A method for pre-supplying liquefied gas, which comprises a backup supply step of sending the gas heated to the second temperature to the main supply side in the second temperature raising step. メイン供給からガスの供給が中断あるいは停止することを検知する第１検知工程と、
前記第１検知工程の検知結果に基づいて、液化ガスポンプおよび／または電気ヒータに発電機を使用して電力を供給する電力供給工程と、
前記液化ガスポンプにより貯槽から送られた液化ガスを、蒸発器を使用して、周辺環境温度より低い第１の温度に気化してガスにする第１昇温工程と、
前記第１昇温工程で気化された第１の温度のガスを、熱交換部を使用して、第１の温度より高い第２の温度に昇温する第２昇温工程と、
前記第２昇温工程で、第２の温度に昇温されたガスを、電気ヒータを使用した加温部で、第２の温度より高い第３の温度に昇温する第３昇温工程と、
前記第３昇温工程で、第３の温度に昇温されたガスを、メイン供給側に送りこむバックアップ供給工程と、とを含む、液化ガス予備供給方法。 The first detection process that detects that the gas supply from the main supply is interrupted or stopped,
Based on the detection result of the first detection step, a power supply step of supplying a power using a generator liquefied gas pump and / or an electric heater,
A first temperature raising step of vaporizing the liquefied gas sent from the storage tank by the liquefied gas pump to a first temperature lower than the ambient temperature using an evaporator and converting it into a gas.
A second temperature raising step of raising the temperature of the gas of the first temperature vaporized in the first temperature raising step to a second temperature higher than the first temperature by using a heat exchange unit,
In the second heating step, the gas heated to the second temperature is heated to a third temperature higher than the second temperature by a heating unit using an electric heater. ,
A liquefied gas preliminary supply method including a backup supply step of sending a gas heated to a third temperature to the main supply side in the third temperature rise step. 前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（Ｔ）より高い温度である場合に、前記発電機が前記液化ガスポンプに電力を供給し、かつ前記電気ヒータに電力を停止あるいは供給せず、
前記第２の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（Ｔ）より低く、前記第３の温度が化学吸着式不純物除去装置における不純物除去処理温度（Ｔ）より高い温度である場合に、前記発電機が前記電気ヒータおよび前記液化ガスポンプに電力を供給する工程をさらに含む、請求項１４に記載の液化ガス予備供給方法。 When the second temperature is higher than the impurity removal processing temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removing device, the generator supplies electric power to the liquefied gas pump and stops the electric power to the electric heater. Without supplying
When the second temperature is lower than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device and the third temperature is higher than the impurity removal treatment temperature (T) in the chemical adsorption type impurity removal device. The liquefied gas preliminary supply method according to claim 14, further comprising a step of supplying power to the electric heater and the liquefied gas pump by the generator. 液化ガスを主蒸発器により気化させてガスを供給する方法であって、
ガス製造部から、液化ガスを蒸発器で気化させたガスをメイン配管を通じて下流のプロセスに供給する工程と、
前記メイン配管に配置された不純物除去部において、前記ガス中の不純物を除去する不純物除去工程と、
前記不純物除去部より上流側で前記メイン配管に合流する予備ガス供給配管を通じて、前記ガスと同様のガスを供給する工程であって、請求項１３から１５のいずれか１項に記載の液化ガス予備供給方法の工程と、を含む、バックアップ付きガス供給方法。 It is a method of supplying gas by vaporizing liquefied gas with a main evaporator.
The process of supplying liquefied gas vaporized by an evaporator from the gas manufacturing department to the downstream process through the main pipe,
In the impurity removing section arranged in the main pipe, an impurity removing step of removing impurities in the gas and
The liquefied gas reserve according to any one of claims 13 to 15, which is a step of supplying a gas similar to the gas through a reserve gas supply pipe that joins the main pipe on the upstream side of the impurity removing portion. Gas supply method with backup, including the steps of the supply method.
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