JP6769764B2 - 測定プローブ及び測定装置 - Google Patents
測定プローブ及び測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6769764B2 JP6769764B2 JP2016141320A JP2016141320A JP6769764B2 JP 6769764 B2 JP6769764 B2 JP 6769764B2 JP 2016141320 A JP2016141320 A JP 2016141320A JP 2016141320 A JP2016141320 A JP 2016141320A JP 6769764 B2 JP6769764 B2 JP 6769764B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- movable
- end side
- facing
- stationary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 44
- 241001422033 Thestylus Species 0.000 claims description 48
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 18
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 10
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B5/012—Contact-making feeler heads therefor
- G01B5/016—Constructional details of contacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
- G01B5/0007—Surface plates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/02—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/08—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters
- G01B5/12—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring diameters internal diameters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/14—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
- G01B5/143—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures between holes on a workpiece
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
[三次元測定装置の構成]
図1を参照しながら、本発明の一の実施形態に係る測定装置の一例である三次元測定装置1の構成について説明する。
ビーム23は、X軸方向に延びるように設けられている。ビーム23の長手方向の一端側は、コラム22に支持されており、ビーム23の長手方向の他端側は、支柱26に支持されている。ビーム23は、コラム22と共にY軸方向に移動する。
ラム25は、スライダ24の内部に挿通されており、スライダ24と共にX軸方向に移動する。また、ラム25は、スライダ24内をZ軸方向に沿って移動可能である。
図2〜図4を参照しながら、プローブ30の内部構成について説明する。
図2は、プローブ30の内部構成を説明するための斜視図である。図3は、図2に示すプローブ30をY軸方向から見た図である。図4は、図2に示すプローブ30をX軸方向から見た図である。
ここで、図5及び図6を参照しながら、X方向可動構造体40の詳細構成について説明する。
静止プレート42は、可動プレート41と同様に1つの金属部材から成り、図5に示すように可動プレート41の上方から重なるように、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に所定の大きさの隙間を設けた状態で配置されている。このような隙間を設けることで、可動プレート41が可動方向であるX軸方向に移動した際に、可動プレート41が静止プレート42に接触して擦れることを抑制できる。
一対の端側接続部442は、中央側接続部441の両側に位置している。一対の端側接続部442は、それぞれ静止プレート42の一端側延出部421、422と対向プレート43とを接続している。
中央側接続部441と端側接続部442の間には、図6に示すように、それぞれZ軸方向に沿ったスリット部444が形成されている。
図2〜図4を参照しながら、X方向可動構造体40と同様な構成であるY方向可動構造体50の詳細構成について説明する。Y方向可動構造体50は、図2に示すように、可動プレート51と、静止プレート52と、対向プレート53と、一対の接続板54、55と、連結部56とを有する。
図2〜図4を参照しながら、Z方向可動構造体60の詳細構成について説明する。Z方向可動構造体60は、図2に示すように、可動プレート61と、静止プレート62と、対向プレート63と、一対の接続板64、65と、連結部66とを有する。
上述したプローブ30は、それぞれ同様な構成から成るX方向可動構造体40、Y方向可動構造体50及びZ方向可動構造体60を有し、X方向可動構造体40の可動プレート41には、スタイラス32が取り付けられている。また、可動プレート41のX軸方向の両端に位置する一端側延出部411及び他端側延出部412、413は、接続板44、45と3箇所で接続されている。そして、一端側延出部411のY軸方向における全長が、他端側延出部412、413のY軸方向における全長と同じ大きさである。
3箇所に配置された一端側延出部411及び他端側延出部412、413が接続板44、45と接続され、かつ一端側延出部411のY軸方向における全長が他端側延出部412、413のY軸方向における全長と同じ大きさであることにより、可動プレート41の回転中心が、可動プレート41の中央部に位置する。そして、スタイラス32の取付位置414と可動プレート41の回転中心とが近くに位置するので、例えば可動プレート41がスタイラス32を介して外力を受けて回転中心を中心に回転しても、スタイラス32が変位し難い。この結果、スタイラス32の変位に起因する測定誤差の発生を防止できる。
図8及び図9を参照しながら、第2の実施形態に係るプローブ30の構成について説明する。
なお、図8には示していないが、Y方向可動構造体50においても、静止プレート52がハウジング34の側壁34bに連結されている。
図10及び図11を参照しながら、第2の実施形態に係るプローブ30の構成について説明する。
30 プローブ
32 スタイラス
40 X方向可動構造体
41 可動プレート
42 静止プレート
43 対向プレート
44、45 接続板
50 Y方向可動構造体
51 可動プレート
52 静止プレート
53 対向プレート
60 Z方向可動構造体
431a 貫通部
441 中央側接続部
442 端側接続部
451 中央側接続部
452 端側接続部
Claims (9)
- 被測定物に接触して測定を行う測定プローブであって、
被測定物に接触可能なスタイラスが取り付けられており、第1方向に移動可能な可動プレートと、
前記可動プレートと重なるようにして配置された静止プレートと、
前記可動プレート及び前記静止プレートに対向する対向プレートと、
前記可動プレートの前記第1方向の一端側に位置する一端側接続部、及び前記第1方向の他端側に位置する他端側接続部の各々と前記対向プレートとを少なくとも3箇所で接続する弾性を有する可動側接続板と、
前記静止プレートと前記対向プレートとを接続する静止側接続板と、
を備え、
前記一端側接続部の前記第1方向と直交する第2方向における全長が、前記他端側接続部の前記第2方向における全長と同じ大きさである、測定プローブ。 - 前記可動プレートの前記第1方向の一端側の形状と、前記可動プレートの前記第1方向の他端側の形状とは、前記第2方向を基準に互いに非対称である、
請求項1に記載の測定プローブ。 - 前記他端側接続部の前記スタイラスが取り付けられた取付位置からの直線距離は、前記一端側接続部の前記取付位置からの直線距離よりも大きい、
請求項2に記載の測定プローブ。 - 前記可動側接続板及び前記静止側接続板は、前記可動側接続板の前記対向プレート側の部分と前記静止側接続板の前記対向プレート側の部分とが繋がった1つの板部材から成る、
請求項1から3のいずれか1項に記載の測定プローブ。 - 前記可動プレート、前記静止プレート、前記対向プレート、前記可動側接続板及び前記静止側接続板は、それぞれ、第1可動プレート、第1静止プレート、第1対向プレート、第1可動側接続板及び第1静止側接続板であり、
前記第1静止プレートに連結部を介して連結されており、前記第1方向と直交する第2方向に移動可能な第2可動プレートと、
前記第2可動プレートと重なるようにして配置された第2静止プレートと、
前記第2可動プレート及び前記第2静止プレートに対向する第2対向プレートと、
前記第2可動プレートの前記第2方向の一端側に位置する一端側接続部、及び前記第2方向の他端側に位置する他端側接続部の各々と前記第2対向プレートとを少なくとも3箇所で接続する弾性を有する第2可動側接続板と、
前記第2静止プレートと前記第2対向プレートとを接続する第2静止側接続板と、を更に備え、
前記第2可動側接続板の前記一端側接続部の前記第1方向における全長が、前記第2可動側接続板の前記他端側接続部の前記第1方向における全長と同じ大きさである、
請求項1から4のいずれか1項に記載の測定プローブ。 - 前記第2可動プレートは、前記第1対向プレートの上方に位置しており、
前記第1対向プレートは、柱状の前記連結部が通過している貫通穴が形成された開口部を有する、
請求項5に記載の測定プローブ。 - 前記第2可動プレート、前記第2静止プレート、前記第2対向プレート、前記第2可動側接続板及び前記第2静止側接続板は、前記第1静止プレートと前記第1対向プレートの間の空間に位置している、
請求項5に記載の測定プローブ。 - 前記連結部は、前記第2可動プレートから前記第2方向に延出した部分である、
請求項7に記載の測定プローブ。 - 被測定物に接触して測定を行う測定プローブと、
前記測定プローブが取り付けられている取付け部と、を有する測定装置であって、
前記測定プローブは、
前記被測定物に接触可能なスタイラスが取り付けられており、第1方向に移動可能な可動プレートと、
前記可動プレートと重なるようにして配置された静止プレートと、
前記可動プレート及び前記静止プレートに対向する対向プレートと、
前記可動プレートの前記第1方向の一端側に位置する一端側接続部、及び前記第1方向の他端側に位置する他端側接続部の各々と前記対向プレートとを少なくとも3箇所で接続する弾性を有する可動側接続板と、
前記静止プレートと前記対向プレートとを接続する静止側接続板と、
を備え、
前記一端側接続部の前記第1方向と直交する第2方向における全長が、前記他端側接続部の前記第2方向における全長と同じ大きさである、測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016141320A JP6769764B2 (ja) | 2016-07-19 | 2016-07-19 | 測定プローブ及び測定装置 |
US15/647,446 US10415947B2 (en) | 2016-07-19 | 2017-07-12 | Measurement probe and measuring device |
DE102017006602.7A DE102017006602A1 (de) | 2016-07-19 | 2017-07-12 | Messsonde, Messvorrichtung und Messverfahren |
CN201710592508.9A CN107631712B (zh) | 2016-07-19 | 2017-07-19 | 测量探针和测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016141320A JP6769764B2 (ja) | 2016-07-19 | 2016-07-19 | 測定プローブ及び測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018013341A JP2018013341A (ja) | 2018-01-25 |
JP6769764B2 true JP6769764B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=60890337
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016141320A Expired - Fee Related JP6769764B2 (ja) | 2016-07-19 | 2016-07-19 | 測定プローブ及び測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10415947B2 (ja) |
JP (1) | JP6769764B2 (ja) |
CN (1) | CN107631712B (ja) |
DE (1) | DE102017006602A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102015206308A1 (de) * | 2015-04-09 | 2016-10-13 | Carl Zeiss 3D Automation Gmbh | Taststifthalter |
JP6769764B2 (ja) * | 2016-07-19 | 2020-10-14 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ及び測定装置 |
DE102016226087B4 (de) * | 2016-12-22 | 2023-02-16 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Dreh-Schwenk-Sensorsystem für ein Koordinatenmessgerät |
JP6830386B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-02-17 | 株式会社ミツトヨ | 測定ヘッド |
CN108907251A (zh) * | 2018-07-29 | 2018-11-30 | 赫克测控技术(苏州)有限公司 | 用于自动加工***的测头 |
CN112504636A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-03-16 | 江苏高明安光电有限公司 | 基于ca-210辉度计的条形屏辉度自动检测机 |
CN115597474B (zh) * | 2022-11-02 | 2024-03-15 | 北京工业大学 | 一维导向机构回转角误差测量装置 |
CN115540734B (zh) * | 2022-11-02 | 2024-03-15 | 北京工业大学 | 一种8簧片正交布置的垂向微位移测量装置 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5953192A (ja) * | 1982-09-21 | 1984-03-27 | 富士通株式会社 | 支持装置 |
IT1206842B (it) * | 1987-01-15 | 1989-05-11 | Fidia Spa | Dispositivo tastatore particolarmente per macchina a copiare |
GB8728500D0 (en) | 1987-12-05 | 1988-01-13 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
JP3340304B2 (ja) * | 1995-04-28 | 2002-11-05 | 株式会社東芝 | 光学ヘッド駆動装置 |
US5979070A (en) * | 1997-12-19 | 1999-11-09 | Lau; Kam C. | Method and apparatus for selectively locking a movement direction of a coordinate measurement probe |
JP3887188B2 (ja) * | 2001-08-08 | 2007-02-28 | 株式会社ミツトヨ | プローブのアライメント調整装置、その装置を備えた測定機およびプローブのアライメント調整方法 |
EP1400776B1 (en) * | 2002-09-18 | 2009-08-26 | Mecartex SA | Touch probing device |
GB0228368D0 (en) * | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Renishaw Plc | Probe for high speed scanning |
EP1443301B1 (fr) * | 2003-01-29 | 2010-02-10 | Tesa SA | Palpeur orientable |
CN2608939Y (zh) * | 2003-02-26 | 2004-03-31 | 台智精密科技股份有限公司 | 三维测量仪 |
JP3967274B2 (ja) * | 2003-02-27 | 2007-08-29 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置 |
DE602004010899T2 (de) * | 2004-07-16 | 2009-01-02 | Tesa Sa | Lenkbarer Taststift |
JP5350169B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2013-11-27 | 株式会社ミツトヨ | オフセット量校正方法および表面性状測定機 |
JP5838370B2 (ja) * | 2013-01-18 | 2016-01-06 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 三次元形状測定装置用プローブ |
JP6639089B2 (ja) | 2015-02-04 | 2020-02-05 | 日本板硝子株式会社 | 車両用の窓ガラス |
US9528824B2 (en) | 2015-03-31 | 2016-12-27 | Mitutoyo Corporation | Tactile probing system |
US10113931B2 (en) | 2015-04-07 | 2018-10-30 | Mitutoyo Corporation | Probe measuring force adjuster |
JP6769764B2 (ja) * | 2016-07-19 | 2020-10-14 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ及び測定装置 |
-
2016
- 2016-07-19 JP JP2016141320A patent/JP6769764B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2017
- 2017-07-12 DE DE102017006602.7A patent/DE102017006602A1/de active Pending
- 2017-07-12 US US15/647,446 patent/US10415947B2/en active Active
- 2017-07-19 CN CN201710592508.9A patent/CN107631712B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN107631712A (zh) | 2018-01-26 |
US10415947B2 (en) | 2019-09-17 |
DE102017006602A1 (de) | 2018-01-25 |
JP2018013341A (ja) | 2018-01-25 |
US20180023936A1 (en) | 2018-01-25 |
CN107631712B (zh) | 2021-01-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6769764B2 (ja) | 測定プローブ及び測定装置 | |
JP5836633B2 (ja) | 力覚センサ及び組立ロボット | |
EP2251635B1 (en) | Probe for three-dimensional shape measuring apparatus and three-dimensional shape measuring apparatus. | |
JP6626075B2 (ja) | 変位検出方式の6軸力センサ | |
US10239213B1 (en) | Flexure assembly for force/torque sensing | |
BRPI0822112B1 (pt) | sensor inercial capacitivo, método para detecção de movimento em um eixo geométrico e método para produzir o referido sensor | |
JP6552940B2 (ja) | 治具及びゲージ検査機 | |
JP6626074B2 (ja) | 変位検出方式の力検出構造及び力センサ | |
KR101985270B1 (ko) | 변형체 구조에 제한 없는 정전용량형 토크센서 | |
US20190310142A1 (en) | Capacitive sensor | |
US11320326B2 (en) | Force sensor and sensing element thereof | |
JP5112314B2 (ja) | 触知式座標測定装置のプローブ用センサーモジュール | |
JP2018077193A (ja) | 測長器、および測長システム | |
JPS6341001B2 (ja) | ||
JP5270384B2 (ja) | 直線案内機構および測定装置 | |
KR101012250B1 (ko) | 구 중심점의 3축 변위량 측정장치 | |
JP6661763B2 (ja) | 電流センサ | |
JP3127831U (ja) | プローブ | |
JP5717467B2 (ja) | 支承装置 | |
JP6480169B2 (ja) | 三次元座標測定機用プローブヘッド | |
JP2005055340A (ja) | 計量装置 | |
JP2012108100A (ja) | 3次元測定機検証用長尺ゲージ | |
WO2021186836A1 (ja) | 移動機構、及び、入力装置 | |
KR101501241B1 (ko) | 진동 상쇄구조를 갖는 변위측정유닛 및 이를 이용한 변위측정장치 | |
JP2007085823A (ja) | 硬さ計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190610 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200427 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200821 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200908 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200924 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6769764 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |