JP6766911B2 - 光学計測装置 - Google Patents
光学計測装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6766911B2 JP6766911B2 JP2019039432A JP2019039432A JP6766911B2 JP 6766911 B2 JP6766911 B2 JP 6766911B2 JP 2019039432 A JP2019039432 A JP 2019039432A JP 2019039432 A JP2019039432 A JP 2019039432A JP 6766911 B2 JP6766911 B2 JP 6766911B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- received
- measurement object
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
上記の構成によれば、たとえば計測対象物が、2枚の透明体(ガラス等)の間にスペーサ等によって空間が設けられた構成を有し、選択された5つの波長のうちの4つが計測波長と一致した場合であっても、残りの1つの波長における受光量に基づいて異常波形を検出することができる。
上記の構成によれば、波長ごとに閾値を設定することによって、異常波形をより正確に検出することができる。
まず、本実施の形態に従う光学計測装置により解決される課題およびそれを実現するための構成について概要を説明する。
図3は、本実施の形態に従う光学計測装置1の装置構成の一例を示す模式図である。図3を参照して、本実施の形態に従う光学計測装置1は、光源10と、導光部20と、センサヘッド30と、受光部40と、処理部50とを含む。
原理的には、光軸AX上において、計測対象物2の表面の位置で焦点を結ぶ波長成分のみが反射されて受光部40に入射する。しかしながら、導光部20(すなわち光源10からセンサヘッドへの照射光の光路)の途中において、照射光の一部が反射して、その反射光が受光部40に入射することが起こり得る。
図7は、第1の実施の形態による、光学計測装置1の異常の判定を説明するための模式的な波形図である。図3および図7を参照して、波長λ1,λ2,λ3,λ4,λ5のそれぞれにおける受光量I1,I2,I3,I4,I5が受光部40によって測定される。処理部50は、各波長における受光量を、その波長に対応した基準値(正常時の受光量)と比較する。たとえば基準値は、工場出荷時に初期設定される。現場でセンサヘッドの挿抜等が行われた場合に、たとえばユーザが光学計測装置1の操作ボタン(図示せず)を操作することにより、基準値を再設定することができる。
<E.第2の実施の形態>
第2の実施の形態では、光学計測装置1は、単一の波長における受光量の変化量に基づいて、異常波形を検出する。光学計測装置1の構成は実施の形態1に係る構成と同じであるので、以後の説明は繰り返さない。
上述したように、本実施の形態に係る光学計測装置1では、受光波形の異常を検出することができる。さらに、受光波形の異常をユーザに気づかせることができる。戻り光が増加したために計測の精度が悪化した場合には、受光波形の異常が検出される。ユーザは、光学計測装置1からの通知によって、低下した精度を高めるための適切な対策(たとえばコネクタのクリーニング、ファイバを延長したことによる戻り光の増加の場合は再度、戻り光成分の値を光学計測装置1の内部に記憶させること)を取ることができる。したがって、光学計測装置における変位測定の精度が低下した場合にも、高い計測精度を再び達成することができる。
Claims (7)
- 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、
前記光源からの前記照射光に対して軸上色収差を生じさせて、各波長成分の照射光を計測対象物へ照射するとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される計測対象物からの反射光を受光する光学系と、
前記光学系で受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、
前記受光部における前記計測対象物からの前記反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域内の波長成分の受光量に基づいて、計測対象物までの距離を算出する処理部とを備え、
前記処理部は、前記受光部における前記計測対象物からの前記反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域の外にある波長成分の受光量を、基準値と比較して、前記基準値に対する変化量が予め定められた閾値以上である場合には、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域内の波長成分の受光量を表す受光波形の異常を検出する、光学計測装置。 - 前記処理部は、前記計測範囲に対応する波長領域の外にある波長領域から選択した1つの波長の受光量を前記基準値との比較に用いる、請求項1に記載の光学計測装置。
- 前記1つの波長は、前記受光波形の前記異常を検出するために予め設定される、請求項2に記載の光学計測装置。
- 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、
前記光源からの前記照射光に対して軸上色収差を生じさせて、各波長成分の照射光を計測対象物へ照射するとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される計測対象物からの反射光を受光する光学系と、
前記光学系で受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、
前記受光部における前記計測対象物からの前記反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域内の波長成分の受光量に基づいて、計測対象物までの距離を算出する処理部とを備え、
前記処理部は、前記受光部における前記計測対象物からの前記反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域の外にある波長成分の受光量を、基準値と比較して、前記受光量と前記基準値との差が予め定められた閾値以上である場合には、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域内の波長成分の受光量を表す受光波形の異常を検出する、光学計測装置。 - 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、
前記光源からの前記照射光に対して軸上色収差を生じさせて、各波長成分の照射光を計測対象物へ照射するとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される計測対象物からの反射光を受光する光学系と、
前記光学系で受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、
前記受光部における前記計測対象物からの前記反射光の各波長成分のうち計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域内の波長成分の受光量に基づいて、計測対象物までの距離を算出する処理部とを備え、
前記処理部は、前記受光部における前記計測対象物からの前記反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域の外にある波長成分の受光量を、基準値と比較して、前記基準値に対する変化量が予め定められた閾値以上である場合には、前記計測対象物までの前記距離を正常に測定できないと判定する、光学計測装置。 - 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、
前記光源からの前記照射光に対して軸上色収差を生じさせて、各波長成分の照射光を計測対象物へ照射するとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される前記計測対象物からの反射光を受光する光学系と、
前記光学系で受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、
前記受光部における前記計測対象物からの反射光の各波長成分のうち前記計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域内の波長成分の受光量に基づいて、前記計測対象物までの距離を算出する処理部とを備え、
前記処理部は、前記受光部における前記計測対象物からの反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域の外にある波長成分の受光量を前記受光量の基準値と比較して、前記受光量と前記基準値との差が予め定められた閾値未満である場合は前記計測物までの距離を算出し、前記受光量と前記基準値との前記差が前記閾値以上であるときは、異常を通知する、光学計測装置。 - 複数の波長成分を有する照射光を発生する光源と、
前記光源からの前記照射光に対して軸上色収差を生じさせて、各波長成分の照射光を計測対象物へ照射するとともに、光軸の延長線上に少なくともその一部が配置される前記計測対象物からの反射光を受光する光学系と、
前記光学系で受光される反射光を各波長成分に分離して、前記各波長成分の光を受光する受光部と、
前記受光部における前記計測対象物からの反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の計測範囲に対応する波長領域内の波長成分の受光量に基づいて、計測対象物までの距離を算出する処理部とを備え、
前記処理部は、前記受光部における前記計測対象物からの前記反射光の各波長成分のうち、計測対象物の変位の所定の計測範囲に対応する波長領域の外にある波長成分の受光量を、基準値と比較して、前記受光量と前記基準値との差が予め定められた閾値より大きい場合には、前記受光量を表す受光波形の異常を検出し、前記受光量と前記基準値との差が前記予め定められた閾値より小さい場合には、前記計測対象物までの距離を算出する、光学計測装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019039432A JP6766911B2 (ja) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | 光学計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019039432A JP6766911B2 (ja) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | 光学計測装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016060274A Division JP6493265B2 (ja) | 2016-03-24 | 2016-03-24 | 光学計測装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020120071A Division JP7070614B2 (ja) | 2020-07-13 | 2020-07-13 | 光学計測装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019090836A JP2019090836A (ja) | 2019-06-13 |
JP6766911B2 true JP6766911B2 (ja) | 2020-10-14 |
Family
ID=66836284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019039432A Active JP6766911B2 (ja) | 2019-03-05 | 2019-03-05 | 光学計測装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6766911B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3800505A1 (en) * | 2019-10-03 | 2021-04-07 | ASML Netherlands B.V. | Measurement system and method for characterizing a patterning device |
JP2022132827A (ja) * | 2021-03-01 | 2022-09-13 | オムロン株式会社 | 変位センサ及び状態監視方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2881727A4 (en) * | 2012-08-02 | 2016-03-30 | Olympus Corp | SPECTRAL ANALYSIS DEVICE COMPRISING AN OPTICAL SYSTEM WITH A CONFOCAL MICROSCOPE OR A MULTIPHOTONE MICROSCOPE, SPECTRAL ANALYSIS PROCESS AND SPECTRAL ANALYSIS PROGRAM |
US9068822B2 (en) * | 2013-07-03 | 2015-06-30 | Mitutoyo Corporation | Chromatic range sensor probe detachment sensor |
JP2018072510A (ja) * | 2016-10-27 | 2018-05-10 | オリンパス株式会社 | 光検出装置および走査型顕微鏡 |
-
2019
- 2019-03-05 JP JP2019039432A patent/JP6766911B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019090836A (ja) | 2019-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6493265B2 (ja) | 光学計測装置 | |
JP7268766B2 (ja) | 光学計測装置 | |
JP7408265B2 (ja) | 共焦点変位計 | |
JP6972273B2 (ja) | 共焦点変位計 | |
JP5124424B2 (ja) | 光学式変位計 | |
JP5060678B2 (ja) | 光学式変位計 | |
US8928874B2 (en) | Method for identifying abnormal spectral profiles measured by a chromatic confocal range sensor | |
WO2014141535A1 (ja) | 共焦点計測装置 | |
JP6766911B2 (ja) | 光学計測装置 | |
KR102109948B1 (ko) | 변위 계측 장치 | |
TWI673474B (zh) | 光學測量裝置 | |
WO2012170275A1 (en) | Coupled multi-wavelength confocal systems for distance measurements | |
JP2017116509A (ja) | 共焦点変位計 | |
JP2017116508A (ja) | 共焦点変位計 | |
JP7070614B2 (ja) | 光学計測装置 | |
JP2023009227A (ja) | 光学センサおよび光学センサにおける異常検出方法 | |
TWI755690B (zh) | 光學測量裝置、光學測量方法以及光學測量程式 | |
TWI667464B (zh) | 光學測量裝置及光學測量方法 | |
JP5239885B2 (ja) | 光導波路の検査方法、光コネクタ、及び、光学装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190305 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200107 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200304 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20200414 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200713 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20200713 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20200721 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20200728 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200818 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6766911 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |