JP6747516B2 - Ceiling carrier and control method for ceiling carrier - Google Patents
Ceiling carrier and control method for ceiling carrier Download PDFInfo
- Publication number
- JP6747516B2 JP6747516B2 JP2018550074A JP2018550074A JP6747516B2 JP 6747516 B2 JP6747516 B2 JP 6747516B2 JP 2018550074 A JP2018550074 A JP 2018550074A JP 2018550074 A JP2018550074 A JP 2018550074A JP 6747516 B2 JP6747516 B2 JP 6747516B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- traveling
- article
- ceiling
- drive unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Control And Safety Of Cranes (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法に関する。 The present invention relates to a ceiling guided vehicle and a method for controlling the ceiling guided vehicle.
半導体製造工場等の製造工場では、例えば、半導体ウエハの搬送容器(FOUP)またはレチクル搬送用のレチクルPodなどの物品を搬送するため、天井または天井近傍に敷設された軌道(レール)に沿って走行する天井搬送車が用いられている。天井搬送車は、軌道を走行する走行部と、走行部の下側に本体部とを備えている。本体部は、物品を保持するグリッパなどの物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を本体部に対して走行方向の側方に突出させる横出し機構を備える。 In a manufacturing factory such as a semiconductor manufacturing factory, for example, a container (FOUP) for semiconductor wafers or a reticle Pod for transferring a reticle is used to transfer articles, so that it travels along a ceiling or a track (rail) laid near the ceiling. Ceiling carrier vehicles are used. The ceiling guided vehicle includes a traveling unit that travels along a track and a main body unit below the traveling unit. The main body includes an elevating and lowering drive unit that elevates and lowers an article holding unit such as a gripper that holds an article, and a sideways-out mechanism that causes the elevating and lowering drive unit to project laterally with respect to the main body unit.
上記の天井搬送車による物品の移載先は、処理装置の移載位置(ロードポート)などであり、軌道の下方かつ側方にずれて配置されている場合がある。天井搬送車は、移載位置に対応して停止した後、横出し機構によって昇降駆動部を側方に突出させ、続いて昇降駆動部により物品保持部を昇降させることにより移載位置に対して物品の移載を行っている。このような天井搬送車においては、物品の移載に要する時間を短縮することが求められている。特許文献1には、物品であるパレットを棚に収容するスタッカクレーンが記載されている。このスタッカクレーンは、昇降台に伸縮可能なフォークを有しており、走行中に昇降台を昇降させながらフォークを伸縮させるといったオーバーラップした動作を行うことで、パレットの移載時間を短縮している。 The transfer destination of the article by the above-mentioned ceiling guided vehicle is a transfer position (load port) of the processing device, and the like, and it may be arranged below the track and laterally. After the ceiling carrier stops at the transfer position, the sideways mechanism causes the lifting drive unit to project laterally, and then the lifting drive unit lifts the article holding unit to move it to the transfer position. Transferring goods. In such a ceiling guided vehicle, it is required to reduce the time required for transferring articles. Patent Document 1 describes a stacker crane that stores pallets, which are articles, on shelves. This stacker crane has an extendable and retractable fork on the elevator, and by performing overlapping operations such as extending and retracting the fork while moving up and down, the pallet transfer time is shortened. There is.
しかしながら、特許文献1のスタッカクレーンは、昇降台が昇降するだけで昇降台を駆動するための昇降駆動部が軌道の側方に突出しない。しかも、昇降台が物品を吊り下げた状態で保持していない。このスタッカクレーンに対して、天井搬送車は、物品を吊り下げた状態で保持しつつ天井近傍を走行し、軌道の下方かつ側方に配置された移載位置に対して昇降駆動部を横出しして物品を昇降させている。従って、天井搬送車においては、物品の移載に要する時間を短縮するため、スタッカクレーンと異なるオーバーラップした動作が必要となる。 However, in the stacker crane of Patent Document 1, the lifting drive unit for driving the lifting platform does not project to the side of the track only by lifting the lifting platform. Moreover, the lift does not hold the article in a suspended state. In contrast to this stacker crane, the overhead carrier travels near the ceiling while holding the articles in a suspended state, and horizontally raises and lowers the elevating and lowering drive unit to the transfer position located below and laterally of the track. Then the goods are raised and lowered. Therefore, in the ceiling guided vehicle, in order to reduce the time required for transferring the articles, it is necessary to perform an overlapping operation different from that of the stacker crane.
本発明は、天井または天井近傍の軌道を走行する天井搬送車において、軌道の下方かつ側方に配置された移載位置に対して物品の移載に要する時間を短縮することが可能な天井搬送車、及び天井搬送車の制御方法を提供することを目的とする。 The present invention relates to a ceiling transfer vehicle that travels on a ceiling or a track near the ceiling, and is capable of shortening the time required to transfer an article to a transfer position located below and laterally of the track. An object of the present invention is to provide a control method for a vehicle and a ceiling guided vehicle.
本発明に係る天井搬送車は、天井または天井近傍に敷設された軌道を走行する走行部と、走行部の下側に設けられる本体部と、物品を吊り下げた状態で保持する物品保持部と、物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を、本体部内に格納する格納位置と、本体部から軌道の側方に突出する突出位置との間で移動させる横出し機構と、軌道の下方から側方にずれて配置された物品の移載位置に対して走行部が停止する前に、横出し機構により突出位置に向けて昇降駆動部の移動を開始させ、または、横出し機構により昇降駆動部が格納位置に戻る前に、移載位置に対応して停止している走行部の走行を開始させるコントローラと、を備える。 The ceiling guided vehicle according to the present invention includes a traveling unit that travels on a track laid on the ceiling or in the vicinity of the ceiling, a main body unit provided below the traveling unit, and an article holding unit that holds the article in a suspended state. An elevating and lowering drive unit for elevating and lowering the article holding unit, a side-out mechanism for moving the elevating and lowering drive unit between a storage position for storing the elevating and lowering drive unit in a main body, and a protruding position for laterally projecting from the main body, and a track Before the traveling unit stops at the transfer position of the article that is displaced laterally from below, the horizontal ejection mechanism causes the elevation drive unit to start moving toward the protruding position, or the lateral ejection mechanism. The controller for starting the traveling of the traveling unit stopped corresponding to the transfer position before the lifting drive unit returns to the storage position.
また、コントローラは、走行部が移載位置に対応して停止した時点で昇降駆動部が突出位置に配置されているように、走行部の走行中に横出し機構の駆動開始を指示してもよい。また、コントローラは、走行部が移載位置に対応した位置から走行を開始する時点で、突出位置の昇降駆動部を格納位置に向けて横出し機構の駆動開始を指示してもよい。また、コントローラは、走行部の走行中に、突出した状態の昇降駆動部、物品保持部、及び物品保持部に保持された物品の少なくとも1つが接触可能な障害物が存在する場合、走行部の走行中において横出し機構の駆動を実行しなくてもよい。 In addition, the controller may instruct to start driving the sideways mechanism while the traveling unit is traveling so that the elevating/lowering drive unit is arranged at the projecting position when the traveling unit stops corresponding to the transfer position. Good. In addition, the controller may instruct the start of driving of the sideways-out mechanism by directing the elevating/lowering drive unit at the protruding position toward the storage position at the time point when the traveling unit starts traveling from the position corresponding to the transfer position. In addition, when there is an obstacle that can contact at least one of the lifting/lowering drive unit, the article holding unit, and the article held by the article holding unit while the running unit is running, the controller of the running unit It is not necessary to drive the sideways-out mechanism during traveling.
また、コントローラは、走行部の走行中に、突出した状態の昇降駆動部、物品保持部、及び物品保持部に保持された物品の少なくとも1つが接触可能な障害物が存在する場合、障害物との接触がない所定範囲において横出し機構の駆動を指示してもよい。また、コントローラは、走行部が障害物を超えた位置から横出し機構の駆動開始を指示してもよい。また、コントローラは、走行部の走行中に、突出した状態の昇降駆動部、物品保持部、及び物品保持部に保持された物品の少なくとも1つが接触可能な障害物が存在する場合、移載位置に対応した位置に停止している走行部が障害物に達するまでの時間から、突出位置にある昇降駆動部が格納位置まで移動する時間を減算した減算時間を求め、走行部の停止中に突出位置の昇降駆動部を格納位置に向けて横出し機構の駆動を開始させ、横出し機構の駆動開始から減算時間が経過したタイミングで走行部の走行開始を指示してもよい。 Further, the controller, when there is an obstacle that can contact at least one of the ascending/descending drive unit, the article holding unit, and the article held by the article holding unit while the traveling unit is traveling, determines that the obstacle is an obstacle. The driving of the sideways-out mechanism may be instructed in a predetermined range where there is no contact. Further, the controller may instruct to start driving of the sideways-out mechanism from a position where the traveling unit has passed over the obstacle. In addition, when the controller has an obstacle that can be contacted by at least one of the elevating and lowering drive unit, the article holding unit, and the article held by the article holding unit while the running unit is running, the transfer position is set. The time required for the traveling unit that has stopped at the position corresponding to to reach the obstacle is subtracted from the time required for the elevator drive unit in the protruding position to move to the storage position, and the subtraction time is calculated. It is also possible to start driving of the sideways-out mechanism with the elevating/lowering drive unit at the position toward the storage position, and instruct to start traveling of the traveling unit at a timing when a subtraction time has elapsed from the start of driving the side-outside mechanism.
また、障害物は、軌道の下方に配置される構造物を天井から吊り下げるための吊り下げ金具であってもよい。また、構造物は、物品を載置可能な保管装置であり、障害物は、保管装置に載置された物品であってもよい。また、構造物は、物品を載置可能な保管装置であり、障害物は、保管装置に載置された物品であってもよい。また、コントローラは、走行部の走行中に横出し機構の突出動作開始する位置、または、横出し機構の格納動作中に走行部の走行を開始するタイミングに関する情報を記憶する記憶部を有してもよい。 Further, the obstacle may be a hanging fitting for hanging a structure arranged below the track from the ceiling. Further, the structure may be a storage device on which an article can be placed, and the obstacle may be an article placed on the storage device. Further, the structure may be a storage device on which an article can be placed, and the obstacle may be an article placed on the storage device. In addition, the controller has a storage unit that stores information about a position at which the sideways-out mechanism starts projecting while the traveling unit is traveling, or information about a timing at which the traveling unit starts traveling during the storing operation of the sideways-out mechanism. Good.
本発明に係る天井搬送車の制御方法は、天井または天井近傍に敷設された軌道を走行する走行部と、走行部の下側に設けられる本体部と、物品を吊り下げた状態で保持する物品保持部と、物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を、本体部内に格納する格納位置と、本体部から軌道の側方に突出する突出位置との間で移動させる横出し機構と、を備える天井搬送車の制御方法であって、軌道の下方から側方にずれて配置された物品の移載位置に対して走行部が停止する前に、横出し機構により突出位置に向けて昇降駆動部の移動を開始させること、または、横出し機構により昇降駆動部が格納位置に戻る前に、移載位置に対応して停止している走行部の走行を開始させること、を含む。 A control method for a ceiling guided vehicle according to the present invention is a traveling unit that travels on a ceiling or a track installed near the ceiling, a main body unit provided below the traveling unit, and an article that holds an article in a suspended state. A holding unit, an elevating/lowering drive unit for elevating/lowering the article holding unit, and a side-out mechanism for moving the elevating/lowering drive unit between a storage position for storing the elevating/lowering drive unit in a main body unit and a protruding position for laterally projecting from the main body unit. A method of controlling a ceiling guided vehicle comprising: and a sideways mechanism for directing a projecting position before the traveling unit stops with respect to a transfer position of an article arranged laterally from below the track. To start the movement of the lifting drive unit, or to start the traveling of the traveling unit stopped corresponding to the transfer position before the lifting drive unit returns to the storage position by the sideways mechanism. ..
本発明に係る天井搬送車又は天井搬送車の制御方法では、横出し機構による昇降駆動部の移動を、走行部の走行とオーバーラップさせることができる。このオーバーラップにより、天井搬送車が停止した後に昇降駆動部の横出しを行う場合、または、昇降駆動部を本体部に格納した後に走行部の走行を開始する場合と比較して、物品の移載に要する時間を短縮できる。 In the ceiling guided vehicle or the method for controlling a ceiling guided vehicle according to the present invention, the movement of the elevating and lowering drive unit by the sideways-out mechanism can overlap the traveling of the traveling unit. Due to this overlap, compared to the case where the elevating drive unit is laid out sideways after the ceiling guided vehicle is stopped, or the traveling of the traveling unit is started after the elevating drive unit is stored in the main body, The time required for loading can be shortened.
また、コントローラが、走行部が移載位置に対応して停止した時点で昇降駆動部が突出位置に配置されているように、走行部の走行中に横出し機構の駆動開始を指示する構成では、走行部の停止を待つことなく横だし機構の駆動を開始させ、走行部が移載位置に対応して停止した段階で、突出位置への昇降駆動部の移動が完了またはほぼ完了するため、物品の移載に要する時間を短縮できる。また、コントローラにより、走行部が移載位置に対応した位置から走行を開始する時点で、突出位置の昇降駆動部を格納位置に向けて横出し機構の駆動開始を指示する構成では、走行部の走行開始と同時またはほぼ同時に、格納位置への昇降駆動部の移動を開始するので、昇降駆動部の本体部への格納を待つことなく走行部を走行させることにより、物品の移載に要する時間を短縮できる。 Further, in the configuration in which the controller instructs the start of driving of the sideways mechanism while the traveling unit is traveling such that the elevating and lowering drive unit is arranged at the projecting position when the traveling unit stops corresponding to the transfer position. , The driving of the laying mechanism is started without waiting for the traveling unit to stop, and when the traveling unit stops corresponding to the transfer position, the movement of the lifting drive unit to the protruding position is completed or almost completed, The time required for transferring the article can be shortened. Further, in the configuration in which the controller instructs the drive start of the side-out mechanism toward the retracted position by the controller when the traveling unit starts traveling from the position corresponding to the transfer position, The movement of the lifting drive unit to the storage position starts at the same time or almost at the same time as the start of running, so the time required for transferring the goods can be achieved by running the running unit without waiting for the lifting drive unit to be stored in the main body. Can be shortened.
また、コントローラが、走行部の走行中に、上記した障害物が存在する場合、走行部の走行中において横出し機構の駆動を実行しない構成では、昇降駆動部あるいは物品等が障害物に干渉することを防止できる。また、コントローラが、走行部の走行中に、上記した障害物が存在する場合、障害物との接触がない所定範囲において横出し機構の駆動を指示する構成では、昇降駆動部あるいは物品等が障害物に干渉することを回避しつつ、物品の移載に要する時間を短縮できる。また、コントローラが、走行部が障害物を超えた位置から横出し機構の駆動開始を指示する構成では、効率よく横出し機構の駆動を開始するので、物品の移載に要する時間を削減できる。また、コントローラが、走行部の走行中に、上記した障害物が存在する場合、移載位置に対応した位置に停止している走行部が障害物に達するまでの時間から、突出位置にある昇降駆動部が格納位置まで移動する時間を減算した減算時間を求め、走行部の停止中に突出位置の昇降駆動部を格納位置に向けて横出し機構の駆動を開始させ、横出し機構の駆動開始から減算時間が経過したタイミングで走行部の走行開始を指示する構成では、昇降駆動部が障害物に接触しないタイミングで走行部の走行を開始させ、昇降駆動部が格納位置まで戻ることを待つことなく走行部を走行させるので、物品の移載に要する時間を短縮できる。 In addition, when the controller has the above-mentioned obstacles while the traveling unit is traveling, in the configuration in which the sideways mechanism is not driven during traveling of the traveling unit, the lifting drive unit or the article interferes with the obstacles. Can be prevented. Further, when the controller is instructed to drive the sideways mechanism within a predetermined range where there is no contact with the obstacle when the obstacle is present during traveling of the traveling unit, the lifting drive unit or the article is obstructed. It is possible to reduce the time required to transfer the article while avoiding interference with the article. Further, in the configuration in which the controller instructs the start of the drive of the side-out mechanism from the position where the traveling unit has passed the obstacle, the drive of the side-out mechanism is efficiently started, so that the time required for transferring the article can be reduced. In addition, if the above-mentioned obstacle is present during the traveling of the traveling unit, the controller moves up and down at the protruding position from the time until the traveling unit stopped at the position corresponding to the transfer position reaches the obstacle. The subtraction time is calculated by subtracting the time required for the drive unit to move to the storage position, and while the traveling unit is stopped, the elevating drive unit at the protruding position is directed to the storage position to start the drive of the sideways mechanism and start the drive of the sideways mechanism. In the configuration that instructs the traveling section to start traveling at the timing when the subtraction time has elapsed, the traveling section starts traveling at the timing when the lifting drive section does not contact the obstacle, and waits for the lifting drive section to return to the storage position. Since the traveling unit is caused to travel without using the traveling unit, the time required to transfer the article can be shortened.
また、障害物が、天井から吊り下げられた状態で配置されて物品を載置可能な保管装置、または保管装置に載置された物品である例では、昇降駆動部あるいは物品等が保管装置または保管装置に載置された物品に干渉することを抑制できる。また、障害物が、軌道の下方に形成される構造物を天井から吊り下げるための吊り金具である例では、昇降駆動部あるいは物品等が吊り金具に干渉することを抑制できる。また、コントローラが、走行部の走行中に横出し機構の突出動作を開始する位置、または、横出し機構の格納動作中に走行部の走行を開始するタイミングに関する情報を記憶する記憶部を有する構成では、記憶部からの情報に基づいて横出し機構の動作または走行部の走行を行うので、昇降駆動部の突出あるいは走行部の走行開始を容易かつ確実に行うことができる。 Further, in the example in which the obstacle is a storage device in which the article is placed in a state of being suspended from the ceiling and on which the article can be placed, or an article placed on the storage device, the lifting drive unit or the article is the storage device or It is possible to suppress the interference with the article placed on the storage device. Further, in an example in which the obstacle is a suspending metal for suspending a structure formed below the track from the ceiling, it is possible to suppress the lifting drive unit or the article from interfering with the suspending metal. In addition, the controller has a storage unit that stores information about a position at which the sideways-out mechanism starts projecting while the traveling unit is traveling, or information about timing at which the traveling unit starts traveling during the retracting operation of the sideways-out mechanism. Since the operation of the sideways-out mechanism or the traveling of the traveling unit is performed based on the information from the storage unit, it is possible to easily and reliably perform the protrusion of the elevating/lowering drive unit or the traveling start of the traveling unit.
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表現している。以下の各図において、XYZ座標系を用いて図中の方向を説明する。このXYZ座標系においては、水平面に平行な平面をXY平面とする。また、XY平面に垂直な方向はZ方向と表記する。X方向、Y方向及びZ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が+方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるとして説明する。また、本実施形態では、天井搬送車10の走行方向をX方向として説明している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments described below. Further, in the drawings, in order to describe the embodiment, a part of the drawing is enlarged or emphasized, and the scale is appropriately changed. In each of the following drawings, the directions in the drawings will be described using the XYZ coordinate system. In this XYZ coordinate system, the plane parallel to the horizontal plane is the XY plane. Further, the direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction. In each of the X direction, the Y direction, and the Z direction, the arrow direction in the drawing is the + direction, and the direction opposite to the arrow direction is the − direction. Further, in the present embodiment, the traveling direction of the ceiling guided
図1は、実施形態に係る天井搬送車システム100の一例を示す図である。図2は、天井搬送車10からバッファ部32に、またはバッファ部32から天井搬送車10に物品2を受け渡す状態を示す図である。天井搬送車システム100は、軌道(走行レール)6と、天井搬送車10と、コントローラ20と、を備える。天井搬送車システム100は、例えば、半導体デバイスの製造工場などに設置される。
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a ceiling guided
物品2は、例えば、半導体素子の製造に用いられるウエハ、あるいはレチクルなどの物品を収容する。物品2は、例えば、内部をパージ可能なFOUP、SMIF Pod、レチクルPodなどである。図1及び図2には、物品2がFOUPである例を示している。物品2は、本体部2aと、蓋2cと、フランジ2gとを備える。ウエハなどの物品は、本体部2aの内部に収容される。蓋2cは、本体部2aの側面の1つに着脱可能に設けられる。本体部2aは、その底面側に、放射状に形成された複数の位置決め用の溝部2dが形成されている。
The
天井搬送車10は、図1に示すように、走行部5と、本体部3とを備える。走行部5は、不図示の走行駆動部の駆動力によって軌道6に沿って走行する。走行駆動部としては、例えば伝送モータあるいはリニアモータが用いられ、走行部5に搭載されてもよい。軌道6は、例えば、クリーンルーム棟の設備の天井18から吊り金具を介して敷設され、図1ではX方向に延びている。
As shown in FIG. 1, the ceiling guided
走行部5は、軌道6に接するように配置された走行輪7を有する。走行輪7は、例えば、エンコーダ(図示せず)などに接続される。このエンコーダは、走行輪7の回転数などを検出し、その検出結果をコントローラ20に出力する。コントローラ20は、エンコーダの検出結果に基づいて不図示の走行駆動部を制御し、天井搬送車10の速度あるいは停止位置の制御を行う。また、天井搬送車10は、図1に示すように、走行部5から下方に延びる支持軸9が取り付けられている。支持軸9の下部には本体部3が取り付けられている。
The traveling
本体部3は、物品2を保持する物品保持部13と、物品保持部13を上下方向(Z方向、鉛直方向)に昇降させる昇降駆動部14と、昇降駆動部14を側方に移動させる横出し機構11と、を有する。物品保持部13は、物品2のフランジ2gを把持することにより、物品2を吊り下げて保持する。物品保持部13は、例えば、水平方向に移動可能な爪部13aを有するチャックであり、爪部13aを物品2のフランジ2gの下方に進入させ、物品保持部13を上昇させることで、物品2を吊り下げた状態で保持する。物品保持部13は、ワイヤあるいはベルトなどの吊り下げ部材13bと接続されている。
The
昇降駆動部14は、例えばホイストであり、吊り下げ部材13bを繰り出すことにより物品保持部13を下降させ、また、吊り下げ部材13bを巻き取ることにより物品保持部13を上昇させる。昇降駆動部14は、コントローラ20に制御されて所定の速度で物品保持部13を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部14は、コントローラ20に制御されて物品保持部13を目標の高さに保持する。
The elevating and lowering
横出し機構11は、例えば、上下方向(Z方向)に重ねて配置された複数の可動板12を有する。可動板12は、不図示のY方向ガイドによってY方向に移動可能である。下側の可動板12には、昇降駆動部14が取り付けられている。横出し機構11は、不図示の電動モータ等のY方向駆動部を有し、このY方向駆動部からの駆動力によって可動板12をスライドさせ、昇降駆動部14を突出位置14Pと格納位置14Rとの間で移動可能である。突出位置14Pは、本体部3から軌道6の側方(Y方向)に昇降駆動部14を突出させた位置である。格納位置Rは、軌道6の下方であって本体部3内に昇降駆動部14を格納した位置である。
The sideways-out
なお、横出し機構11と昇降駆動部14との間に不図示の回動部が設けられてもよい。この回動部は、例えば、回動部材と回動駆動部とを有し、この回転駆動部を駆動することにより、昇降駆動部14を上下方向(Z方向)の軸周り方向に回転可能である。回動部によって昇降駆動部14を回転させることにより、昇降駆動部14に吊り下げられた物品保持部13(物品2)を回転させることが可能であり、物品2の蓋2cの向きを変えることができる。なお、このような回動部の動作は、例えば、コントローラ20によって制御される。また、天井搬送車10において、上記した回動部を備えるか否かは任意であり、回動部を備えなくてもよい。
In addition, a rotation unit (not shown) may be provided between the sideways-out
上述した横出し機構11、物品保持部13、及び昇降駆動部14を備える本体部3は、走行部5と一体となって軌道6に沿って移動する。また、本体部3の−X側及び+X側(走行方向の前側及び後ろ側)には、それぞれ、カバー16が設けられる。カバー16は、それぞれ、支持軸9を介して天井搬送車10に支持されており、走行部5と一体となって移動する。
The
天井搬送車10は、例えば、処理装置30のロードポート31(図1参照)、あるいはバッファ部32(図2参照)等の保管装置に対して物品2を渡すことができる。また、天井搬送車10は、ロードポート31あるいはバッファ部32等から物品2を受け取ることができる。なお、ロードポート31及びバッファ部32は、物品2を載置する部分が、昇降駆動部14により最上位置まで上昇している物品保持部13に保持される物品2の下端よりも下方に配置されている。ここで、処理装置30は、例えば、成膜装置、コーター・ディベロッパ、露光装置、またはエッチング装置などであり、デバイス(例、半導体デバイス)を製造する過程で各種処理を施す。また、ロードポート31は、図1に示すように、処理装置30で処理するための対象物を収容した容器(物品2)を載置する箇所である。
The
また、バッファ部32は、図2に示すように、軌道6の下方(−Z側)かつ+Y側の側方に配置される。このバッファ部32は、+Y側に配置されるだけでなく、−Y側に配置されてもよく、また、+Y側及び−Y側の両側に配置されてもよい。バッファ部32は、軌道6の下方かつ側方に配置されるサイドトラックバッファである。バッファ部32は、横出し機構11により物品保持部13及び昇降駆動部14をY方向に突出させて突出位置14Pに昇降駆動部14を配置した状態で、昇降駆動部14により物品保持部13を下降させることにより、物品保持部13に保持した物品2を載置可能な位置に配置される。
Further, the
バッファ部32は、フレーム33を有する。フレーム33は、複数の吊り金具34により天井18から吊り下げられた状態で保持され、天井18の近傍に配置される。フレーム33は、軌道6に沿ってX方向に延びて配置される。バッファ部32は、1つの物品2または複数の物品2を載置可能である。1つのバッファ部32において載置する物品2の数は任意に設定可能である。なお、バッファ部32が複数の物品2を載置可能である場合、複数の物品2は、軌道6に沿って(X方向に)並んで載置される。
The
ロードポート31及びバッファ部32には、図1及び図2に示すように、載置した物品2を位置決めする複数のピン25が設けられる。ピン25は、例えば、3個設けられる。それぞれのピン25は、物品2の底部に備える放射状の複数の溝部2dの位置に対応して配置され、この溝部2dに嵌まり込むことが可能である。物品2は、ロードポート31及びバッファ部32に載置される際、物品2の溝部2dにピン25が嵌まり込むことで、位置決めされる。なお、溝部2d及びピン25の形状および個数は、上記した形態に限定されず、物品2を位置決め可能な任意の構成が適用可能である。
As shown in FIGS. 1 and 2, the
コントローラ20は、天井搬送車10の各部の動作を制御する。例えば、コントローラ20は、横出し機構11による横出し動作あるいは格納動作(すなわち昇降駆動部14の移動)、及び、走行部5の動作などを制御する。また、コントローラ20は、走行部5の動作と、横出し機構11の動作とをオーバーラップさせることができる。したがって、コントローラ20は、物品2の移載位置であるロードポート31又はバッファ部32に対して天井搬送車10が物品2を移載可能である停止位置(突出位置14Pに突出した昇降駆動部14がロードポート31又はバッファ部32の直上となる停止位置)に走行部5が停止する前に、横出し機構11により昇降駆動部14の突出位置14Pに向けた移動を開始させることができる。また、コントローラ20は、横出し機構11により昇降駆動部14が突出位置14Pから格納位置14Rに戻る前に、この移載位置に対応して停止している走行部5の走行を開始させることができる。
The
コントローラ20によって、走行部5の動作と、横出し機構11の動作とをオーバーラップさせる制御は任意に設定可能である。例えば、コントローラ20は、走行部5が移載位置(例えば、上記したロードポート31など、以下同様である)に対応して停止した際に昇降駆動部14が突出位置14Pに配置されるように、走行部5の走行中に横出し機構11の駆動開始を指示することができる。また、コントローラ20は、走行部5が移載位置に対応した位置から走行を開始する際に、突出位置14Pの昇降駆動部14を格納位置14Rに向けて横出し機構11の駆動開始を指示することができる。
The
また、コントローラ20は、上記したオーバーラップさせる制御において、支障がないかを判断可能である。例えば、走行部5の走行中に、突出した状態の昇降駆動部14、物品保持部13、及び物品保持部13に保持された物品2の少なくとも1つが接触可能な障害物が存在する場合、走行部5の走行中において横出し機構11の駆動を実行しなくすることができる。また、コントローラ20は、走行部5の走行中に、突出した状態の昇降駆動部14、物品保持部13、及び物品保持部13に保持された物品2の少なくとも1つが接触可能な障害物が存在する場合、障害物との接触がない所定範囲において横出し機構11の駆動を指示してもよい。
In addition, the
この場合、障害物としては、図2に示すようなバッファ部32等の保管装置、あるいは、このような保管装置に載置された物品2が挙げられる。また、障害物として、バッファ部32を構成するフレーム33等の構造物を天井から吊り下げるための吊り金具34等が挙げられる。また、障害物としては、設備内の配管、または建屋の柱及び梁、設備内に配置された処理装置30(図1参照)なども含まれる。
In this case, the obstacle may be a storage device such as the
コントローラ20は、図1に示すように、導出部21を備え、記憶部22に接続されてもよい。導出部21は、横出し機構11により昇降駆動部14の突出動作を開始する位置を導出する。また、導出部21は、横出し機構11により昇降駆動部14を格納する格納動作を開始するタイミングを導出する。記憶部22は、例えば、天井搬送車10の軌道6において、横出し機構11により昇降駆動部14を突出させた際に障害物となるバッファ部32等の位置情報(マップデータ)などが記憶されている。記憶部22に記憶されている障害物の位置情報は、例えば、座標値等により管理されている。
As shown in FIG. 1, the
導出部21は、記憶部22に記憶されている障害物の座標値等から、横出し機構11が格納位置14Rと突出位置14Pとの間を移動するのに要する時間に基づいて、走行部5の走行中に横出し機構11の突出動作開始する位置、または、横出し機構11の格納動作中に走行部5の走行を開始するタイミングなどを導出する。導出部21は、導出した結果を記憶部22に記憶させてもよい。したがって、記憶部22は、走行部5の走行中に横出し機構の突出動作開始する位置、または、横出し機構11の格納動作中に走行部5の走行を開始するタイミングに関する情報を記憶している。また、記憶部22は、例えば、ロードポート31、バッファ部32等、物品2の移載位置に関する情報を記憶してもよい。また、コントローラ20は、バッファ部32等の位置情報(マップデータ)を用いる他に、天井搬送車10に設けられたセンサによって障害物までの距離等を検出し、このセンサからの出力に基づいて横出し機構11の駆動を指示してもよい。また、上位コントローラ(MCS,MES)からコントローラ20への搬送指示に障害物に関する座標を含ませておき、コントローラ20は、上位コントローラから取得した障害物の座標に基づいて横出し機構11の駆動を指示してもよい。
The
本実施形態において、コントローラ20は、例えば、天井搬送車10の走行部5または本体部3に搭載される車載コントローラを例に挙げて説明しているが、この構成に限定されない。例えば、コントローラ20として、地上側に設置された地上コントローラであってもよい。地上コントローラの場合、複数の天井搬送車10を統括的に制御するようなコントローラ20であってもよい。また、記憶部22についても、天井搬送車10の走行部5または本体部3に搭載されてもよく、地上側のコントローラ20とともに地上側に設置されてもよい。
In the present embodiment, the
次に、天井搬送車システム100の動作を説明する。図3は、天井搬送車システム100の動作の一例を示すフローチャートである。以下の例では、天井搬送車10がロードポート31またはバッファ部32等の移載位置に向けて走行し、天井搬送車10から移載位置に物品2を移載する動作について説明する。
Next, the operation of the ceiling guided
図3に示すように、コントローラ20は、まず、天井搬送車10に移載位置を指示する(ステップS01)。ステップS01において、コントローラ20は、例えば、記憶部22に記憶された移載位置に関する情報から、物品2の搬送先である移載位置の情報を抽出する。コントローラ20は、抽出した情報に基づいて走行部5の動作を制御し、天井搬送車10を移載位置に走行させる。なお、移載位置に関する情報は、例えば、コントローラ20に接続された上位コントローラから指示されてもよい。
As shown in FIG. 3, the
次に、コントローラ20は、移載位置が軌道6の下方かつ側方か否かを判断する(ステップS02)。コントローラ20は、例えば、記憶部22抽出した移載位置の情報からステップS02を判断する。移載位置が軌道6の下方かつ側方である場合(ステップS20のYES)、導出部21は、横出し機構11により昇降駆動部14の突出動作を開始する位置を導出する(ステップS03)。
Next, the
ステップS03において、導出部21は、例えば、昇降駆動部14を突出させる長さと、横出し機構11による昇降駆動部14の突出速度とに基づいて、突出動作開始から突出動作完了までの所要時間を算出する。続いて、導出部21は、例えば、算出した所要時間と、走行部5の走行速度とに基づいて、所要時間が経過する間に走行部5が走行する走行距離を算出する。導出部21は、算出した走行距離と、移載位置に対応する停止位置P3(後述する図4参照)とに基づいて、昇降駆動部14の突出動作を開始する突出動作開始位置P1(後述する図4参照)を導出する。
In step S03, the deriving
続いて、コントローラ20は、天井搬送車10の走行方向において、例えば、算出した突出動作開始位置P1から移載位置までの間に、障害物があるか否かを判断する(ステップS04)。コントローラ20は、障害物がないと判断した場合(ステップS04のNO)、走行部5の走行中に、突出動作開始位置P1から昇降駆動部14の突出動作を開始させる(ステップS05)。
Subsequently, the
図4は、ステップS05の動作の一例を示す図である。図4に示すように、コントローラ20は、導出部21で導出した突出動作開始位置P1に天井搬送車10が到達した際、あるいは到達する前に、走行部5の走行を維持したまま、突出動作開始位置P1から横出し機構11による昇降駆動部14の突出動作開始指示を行う。この指示により、天井搬送車10は、突出動作開始位置P1に達した段階で、走行方向に走行しながら昇降駆動部14の突出動作を行う。
FIG. 4 is a diagram showing an example of the operation of step S05. As shown in FIG. 4, when the ceiling guided
したがって、図4に示すように、突出動作開始位置P1と停止位置P3との間の走行位置P2では、天井搬送車10は、走行しながら突出位置14Pに向けて昇降駆動部14を突出させる途中の状態となる。その後、コントローラ20は、天井搬送車10が停止位置P3に到達した場合、走行部5の動作を停止させることで、天井搬送車10を停止位置P3に停止させる。また、天井搬送車10が停止位置P3に停止したタイミングで、昇降駆動部14が突出位置14Pに到達しており、突出動作が完了した状態となっている。
Therefore, as shown in FIG. 4, at the traveling position P2 between the projecting operation start position P1 and the stop position P3, the ceiling guided
また、図3のステップS02において移載位置が軌道6の下方かつ側方ではない場合(ステップS02のNO)、コントローラ20は、天井搬送車10の走行中に横出し機構11を動作させない(ステップS06)。例えば、移載位置が軌道6の下方に設置されている場合は、昇降駆動部14等を横出しせずに物品2の移載が可能である。また、ステップS04において走行方向に障害物があると判断した場合(ステップS04のYES)、コントローラ20は、天井搬送車10の走行中に横出し機構11を動作させない(ステップS06)。コントローラ20は、天井搬送車10の走行中に横出し機構11を動作させることなく、天井搬送車10を走行させることになる。
Further, when the transfer position is not below and on the side of the
図5は、ステップS06の動作の一例を示す図である。ステップS04において、コントローラ20は、バッファ部32、フレーム33、吊り金具34、またはバッファ部32上の物品2等の障害物があると判断した場合、天井搬送車10が突出動作開始位置P1に到達する際あるいは到達する前に(すなわち、到達するまでに)、天井搬送車10に対して突出動作を行わない指示を与える。なお、突出動作を行わない指示は、コントローラ20が指示してもよく、またコントローラ20により突出動作を指示しないことにより実現されてもよい。
FIG. 5: is a figure which shows an example of operation|movement of step S06. When the
この指示(あるいは不指示)により、天井搬送車10は、昇降駆動部14を格納位置14Rに配置した状態で、突出動作を行うことなく突出動作開始位置P1を通過する。その後、コントローラ20は、停止位置P3で天井搬送車10を移載位置で停止させた後に、横出し機構11により昇降駆動部14を突出位置14Pに突出させる。
By this instruction (or non-instruction), the ceiling guided
次に、コントローラ20は、走行部5の動作を停止させた後、昇降駆動部14を駆動させて物品保持部13を下降させる(ステップS07)。図4においては、停止位置P3に天井搬送車10が停止した段階で、昇降駆動部14が突出位置14Pに達しているため、コントローラ20は、停止位置P3に天井搬送車10が停止した直後、昇降駆動部14を駆動させて物品保持部13を下降させる。また、図5においては、停止位置P3に天井搬送車10が停止した後に横出し機構11を駆動し、昇降駆動部14が突出位置14Pに達した後に昇降駆動部14を駆動させて物品保持部13を下降させる。
Next, the
コントローラ20は、物品2が移載位置(ロードポート31など)に下降した段階で昇降駆動部14の駆動を停止し、物品保持部13による物品2の把持を解放することにより、物品2を移載位置(図4ではロードポート31)に載置する(ステップS08)。以上により、天井搬送車10から移載位置への物品2の移載が完了する。なお、天井搬送車10が移載位置の物品2を受け取る場合、コントローラ20は、昇降駆動部14を駆動して物品保持部13を物品2のフランジ2gの高さまで下降させ、物品保持部13を駆動してフランジ2gを把持することにより物品2を受け取ることが可能である。なお、コントローラ20は、天井搬送車10が移載位置の物品2を受け取る際に、上記した図3から図5に示すような横出し機構11の駆動の制御を同様に適用することができる。
The
図4に示すように、走行方向に障害物が無い場合、天井搬送車10の走行中に突出動作が行われ、天井搬送車10が停止位置P3で停止した時に突出動作が完了またはほぼ完了する。このように、天井搬送車10の走行と昇降駆動部14の突出動作とをオーバーラップさせることができるため、天井搬送車10が停止した後に突出動作が行われる場合に比べて、物品2の移載に要する時間を短縮できる。
As shown in FIG. 4, when there is no obstacle in the traveling direction, the projecting operation is performed while the ceiling guided
また、図5に示すように、走行方向に障害物がある場合、天井搬送車10が停止位置P3で停止するまで昇降駆動部14の突出動作が行われない。このため、天井搬送車10は、昇降駆動部14が格納位置14Rに配置された状態で障害物の側方を通過する。昇降駆動部14が格納位置14Rに配置されることにより、昇降駆動部14等が障害物に干渉することを回避できる。
Further, as shown in FIG. 5, when there is an obstacle in the traveling direction, the raising/lowering
続いて、天井搬送車システム100の他の動作について説明する。図6は、天井搬送車システム100の動作の他の例を示すフローチャートである。図6では、ステップS04でYESと判断された以降の動作が図3に示すフローチャートと異なっている。図7は、図6における動作の一例を示している。以下、図3における動作例との相違点を中心に説明する。
Next, another operation of the ceiling guided
図6に示すように、コントローラ20がステップS04において走行方向に障害物があると判断した場合(ステップS04のYES)、導出部21は、障害物を超える位置を突出動作開始位置として導出する(ステップS11)。ステップS11において、導出部21は、記憶部22に記憶されている障害物の座標値等に基づいて、図7に示すように、突出動作開始位置P1と停止位置P3との間であって、走行方向に障害物を超えた位置P4を突出動作開始位置として導出する。この場合、障害物の側方の位置P1では突出動作が開始されないため、天井搬送車10は、昇降駆動部14が格納位置14Rに格納された状態で障害物の側方を通過する。
As shown in FIG. 6, when the
また、突出動作開始位置P4と停止位置P3との間には、障害物がない。したがって、上記したステップS11で求めた突出動作開始位置P4に天井搬送車10が到達した場合、コントローラ20は、走行部5の走行中に昇降駆動部14の突出動作を開始させる(ステップS12)。したがって、図7に示すように、突出動作開始位置P4と停止位置P3との間の走行位置P5では、天井搬送車10が走行しながら突出位置14Pに向けて昇降駆動部14を突出している状態となる。
Further, there is no obstacle between the projecting operation start position P4 and the stop position P3. Therefore, when the ceiling guided
ステップS12において突出動作を行う場合、突出動作開始位置P4と停止位置P3との距離は、最初に求めた突出動作開始位置P1と停止位置P3との距離よりも短くなる。したがって、昇降駆動部14が突出位置14Pに到達する前に、天井搬送車10が停止位置P3に到達する。この場合、コントローラ20は、停止位置P3で天井搬送車10を停止させた後、昇降駆動部14が突出位置14Pに到達するまで突出動作を継続して行わせる(ステップS13)。昇降駆動部14が突出位置14Pに到達した後、コントローラ20は、昇降駆動部14を駆動させて物品保持部13を下降させる(ステップS14)。このステップS14の後、図3に示すステップS08のように、物品2の移載位置への移載、または物品2の受け取りを行う。
When the projecting operation is performed in step S12, the distance between the projecting operation start position P4 and the stop position P3 is shorter than the distance between the projecting operation start position P1 and the stop position P3 that is initially obtained. Therefore, the ceiling guided
図7に示すように、天井搬送車10が障害物の側方の位置を通過する際には昇降駆動部14の突出動作が行われないため、昇降駆動部14が障害物に干渉することを回避できる。また、天井搬送車10が障害物を超えた位置で、天井搬送車10の走行と昇降駆動部14の突出動作とをオーバーラップさせることができるため、天井搬送車10が停止した後に突出動作が行われる場合に比べて、物品2の移載に要する時間を短縮できる。
As shown in FIG. 7, when the ceiling guided
続いて、天井搬送車システム100の他の動作について説明する。図8は、天井搬送車システム100の動作の他の例を示すフローチャートである。以下の例では、天井搬送車10がロードポート31あるいはバッファ部32等の移載位置に載置された物品2を物品保持部13で保持した後に走行を再開する動作、または、天井搬送車10が移載位置に物品2を移載した後に走行を再開する動作について説明する。
Next, another operation of the ceiling guided
図8に示すように、コントローラ20は、昇降駆動部14を駆動させて物品保持部13を上昇させる(ステップS21)。なお、コントローラ20は、ステップS21を実行する前または後に天井搬送車10の次の移動先(移載先)に関する情報を受け取っている。続いて、コントローラ20は、走行方向に障害物があるか否かを判断する(ステップS22)。コントローラ20は、ステップS22を判断するタイミングとして、物品保持部13の上昇開始時または上昇開始前または上昇開始後のいずれであってもよい。したがって、ステップS21とステップS22とは、同時であってもよいし、ステップS22がステップS21より先であってもよい。
As shown in FIG. 8, the
コントローラ20は、例えば、横出し機構11が突出位置14Pから格納位置14Rに戻るまでの格納時間において走行部5が走行する距離を算出し、この走行距離において障害物が存在するか否かを、記憶部22に記憶されている障害物の座標値等から判断する。コントローラ20は、走行方向に障害物が無いと判断した場合(ステップS22のNO)、導出部21は、横出し機構11により昇降駆動部14を格納する格納動作を開始するタイミングを導出する(ステップS23)。
The
ステップS23において、導出部21は、例えば、走行部5の走行開始時に昇降駆動部14の格納動作を開始するようにタイミングを導出する。コントローラ20は、走行部5の走行を開始させるともに、導出部21によって導出したタイミングで昇降駆動部14の格納動作を開始させる(ステップS24)。なお、ステップS24は、昇降駆動部14による物品保持部13の上昇が完了した後に実行されてもよいし、物品保持部13の上昇途中で実行されてもよい。
In step S23, the deriving
図9は、ステップS24の動作の一例を示す図である。図9に示すように、コントローラ20は、ステップS23で導出部21が導出したタイミング(図9では走行部5の走行開始時)に格納動作を開始するように指示する。この指示により、天井搬送車10が停止位置P3から走行方向(+X方向)に走行開始すると同時またはほぼ同時に、昇降駆動部14の格納動作が開始される。したがって、図9に示すように、停止位置P3から走行方向に進んだ位置P6では、走行部5により走行しつつ、横出し機構11による昇降駆動部14の格納動作が行われている。
FIG. 9 is a diagram showing an example of the operation of step S24. As shown in FIG. 9, the
その後、走行部5による走行中に昇降駆動部14が格納位置14Rに到達し、格納動作が完了する(ステップS25)。格納動作が完了した後、コントローラ20は、例えば、次の停止位置へ向けて天井搬送車10を走行させる。
Thereafter, the elevating/lowering
また、上記のステップS22において走行方向に障害物があると判断した場合(ステップS22のYES)、コントローラ20は、天井搬送車10の停止中に格納動作を開始させる(ステップS26)。図10は、ステップS26の動作の一例を示す図である。図10に示すように、コントローラ20は、天井搬送車10が停止位置P3で停止している状態で、横出し機構11により昇降駆動部14を突出位置14Pから格納位置14Rに移動させる。格納動作が完了した後、コントローラ20は、走行部5に走行動作を開始させる(ステップS27)。天井搬送車10は、昇降駆動部14を格納位置14Rに配置した状態で走行を開始する。
When it is determined that there is an obstacle in the traveling direction in step S22 (YES in step S22), the
図9に示すように、天井搬送車10の走行方向に障害物が無い場合、天井搬送車10の走行開始時に格納動作が行われ、天井搬送車10の走行中に格納動作が完了する。図9に示す例のように、天井搬送車10の走行と昇降駆動部14の格納動作とをオーバーラップさせることができるため、天井搬送車10が停止した状態で格納動作を行ってから走行を開始する場合に比べて、天井搬送車10の走行開始時間を早めることができ、物品2の移載に要する時間を短縮できる。
As shown in FIG. 9, when there is no obstacle in the traveling direction of the ceiling guided
また、図10に示すように、天井搬送車10の走行方向に障害物がある場合、格納動作の完了後に天井搬送車10の走行を開始するため、天井搬送車10は、昇降駆動部14が格納位置14Rに配置された状態で障害物の側方を通過する。昇降駆動部14が格納位置14Rに配置されることにより、昇降駆動部14が障害物に干渉することを回避できる。
Further, as shown in FIG. 10, when there is an obstacle in the traveling direction of the ceiling guided
なお、図10に示す動作では、ステップS22において、走行方向に障害物があると判断した場合、コントローラ20が天井搬送車10の停止中に格納動作を完了させているが、この例に限定されない。例えば、ステップS22において、走行方向に障害物があると判断した場合、導出部21は、障害物に干渉しないように、横出し機構11により昇降駆動部14を格納する格納動作を開始するタイミングを導出するようにしてもよい。
In the operation shown in FIG. 10, when it is determined in step S22 that there is an obstacle in the traveling direction, the
図11は、天井搬送車システム100の他の動作を示す図である。図11に示すように、導出部21は、停止位置P3と障害物に達する位置P9との距離を算出し、天井搬送車10がこの距離を走行する場合に要する時間(走行時間)を算出する。また、導出部21は、例えば、昇降駆動部14を格納させる際の突出位置14Pから格納位置14Rまでの距離と、横出し機構11による昇降駆動部14の格納速度とに基づいて、格納動作開始から格納動作完了までに要する時間(格納時間)を算出する。
FIG. 11 is a diagram showing another operation of the ceiling guided
導出部21は、例えば、求めた格納時間と走行時間とを比較し、格納時間の方が短い場合には、天井搬送車10の走行開始時に昇降駆動部14の格納動作を行わせる。また、導出部21は、例えば、格納時間の方が長い場合には、格納時間から走行時間を減算した時間(減算時間)を求め、横出し機構11の格納動作を開始するタイミングT0から減算時間が経過したタイミングT1を導出する。コントローラ20は、天井搬送車10を停止位置P3で停止させた状態で格納動作を開始させ、格納動作開始時のタイミングT0から上記した減算時間が経過したタイミングT1で走行開始を指示する。
For example, the deriving
図11に示すように、天井搬送車10は、停止位置P3に停止中に横出し機構11による昇降駆動部14の格納動作を開始し、タイミングT1で格納動作を継続しながら走行部5の走行を開始させる。なお、図11に示すように、停止位置P3と位置P9との中間位置である走行位置P8では、横出し機構11による昇降駆動部14の格納動作を行っている。また、天井搬送車10が障害物に達する位置P9に到達した段階では、昇降駆動部14の格納動作が完了している。したがって、走行方向に障害物がある場合においても、天井搬送車10の走行と昇降駆動部14の格納動作とを一部オーバーラップさせることができる。この例により、昇降駆動部14が障害物に干渉することを回避しつつ、天井搬送車10の走行開始時間を早めることができ、物品2の移載に要する時間を短縮できる。
As shown in FIG. 11, the ceiling guided
図12は、天井搬送車システム100の他の動作を示す図である。なお、図12に示すバッファ部(保管装置)32は、天井搬送車10の走行方向に沿って、+X側及び−X側の吊り金具34の間に複数の物品2を並べて載置可能である。図12に示すように、天井搬送車10は、停止位置P10に停止してバッファ部32の、天井搬送車10の走行方向の手前側(−X側)に対して物品2の移載を行う。このとき、コントローラ20は、バッファ部32の、天井搬送車10の走行方向の先側(+X側)に物品2が載置されているかを判断し、物品2が載置されている場合は、この物品2が障害物であるとして、図10と同様に、天井搬送車10の走行方向に障害物(物品2)があるとして、格納動作の完了後に天井搬送車10の走行を開始させる。
FIG. 12 is a diagram showing another operation of the ceiling guided
また、コントローラ20が、バッファ部32の下流側(+X側)に物品2が載置されていないと判断した場合、導出部21は、停止位置P10と、障害物である吊り金具34に達する位置P11との距離を算出し、天井搬送車10がこの距離を走行する場合に要する時間(走行時間)を算出する。また、導出部21は、図11と同様に、昇降駆動部14の格納動作開始から格納動作完了までに要する時間(格納時間)を算出する。
When the
導出部21は、格納時間から走行時間を減算した時間(減算時間)を求め、横出し機構11の格納動作を開始するタイミングT0から減算時間が経過したタイミングT2を導出する。コントローラ20は、天井搬送車10を停止位置P10で停止させた状態で格納動作を開始させ、格納動作開始時のタイミングT0から上記した減算時間が経過したタイミングT2で走行開始を指示する。
The deriving
図12に示すように、天井搬送車10は、停止位置P3に停止中に横出し機構11による昇降駆動部14の格納動作を開始し、タイミングT2で格納動作を継続しながら走行部5の走行を開始させる。なお、図12に示すように、停止位置P10と位置P11との中間位置では、横出し機構11による昇降駆動部14の格納動作を行っている。また、天井搬送車10が吊り金具34に達する位置P11に到達した段階では、昇降駆動部14の格納動作が完了している。したがって、バッファ部32に対する物品2の移載後においても、天井搬送車10の走行と昇降駆動部14の格納動作とを一部オーバーラップさせることができる。この例により、昇降駆動部14が吊り金具34に干渉することを回避しつつ、天井搬送車10の走行開始時間を早めることができ、物品2の移載に要する時間を短縮できる。なお、図12では、バッファ部32に2個の物品2を載置する形態を示しているが、バッファ部32として物品2を3個以上並べて載置する形態であっても上記と同様である。
As shown in FIG. 12, the ceiling guided
図13は、天井搬送車システム200の他の例を示す図である。なお、図13において、上記した実施形態と同様の部材には同様の符号を付してその説明を省略または簡略化する。図13に示すように、天井搬送車システム200は、軌道6、6Aが上下2段に設けられており、かつ2列に並んで(Y方向に並んで)配置されている。天井搬送車10は、各軌道6、6Aを走行可能である。
FIG. 13 is a diagram showing another example of the ceiling guided
上段2列の軌道6、6Aは、それぞれ天井18に取り付けられる。下段の軌道6Aは、吊り金具134によって天井18に吊り下げられたフレーム132に取り付けられる。フレーム132は、軌道6の下方に配置された構造物である。また、バッファ部32は、フレーム132から吊り金具34を介して構造物であるフレーム33が吊り下げられて設けられる。フレーム33は、吊り金具134、フレーム132、及び吊り金具34により天井から吊り下げられている。
The upper two rows of
また、天井搬送車システム200は、各部を統括的に制御するコントローラ120を有する。コントローラ120は、地上に設置されてもよいし、各天井搬送車10に搭載されてもよい。コントローラ120は、上記したコントローラ20と同様に、天井搬送車10の走行中に昇降駆動部14の突出又は格納の動作を行わせるか否かを判断する。また、コントローラ120は、上記したコントローラ20と同様に、障害物に関する情報を取得するが、この天井搬送車システム200では、上段の軌道6を走行する天井搬送車10おいて、障害物として吊り金具134が存在する。なお、下段かつ左側(−Y側)の軌道6Aを走行する天井搬送車10において、障害物としてバッファ部32の吊り金具34が障害物となる点は天井搬送車システム100と同様である。
Further, the ceiling guided
コントローラ120は、吊り金具34、バッファ部32上の物品2、吊り金具134について、障害物となるかを判断することができる。したがって、上段2列の軌道6を走行する天井搬送車10について、吊り金具134が設けられる位置では、コントローラ120は、例えば、天井搬送車10の走行中に昇降駆動部14の突出又は格納の動作をオーバーラップさせないように制御する。
The controller 120 can determine whether the hanging metal fitting 34, the
また、下段かつ右側(+Y側)の軌道6Aを走行する天井搬送車10について、コントローラ120は、吊り金具34、134等の障害物がないため、天井搬送車10の走行中に昇降駆動部14の突出又は格納の動作をオーバーラップさせることが可能となる。また、下段かつ左側(−Y側)の軌道6Aを走行する天井搬送車10について、吊り金具34が設けられる位置では、コントローラ120は、例えば、天井搬送車10の走行中に昇降駆動部14の突出又は格納の動作をオーバーラップさせないように制御する。なお、図13に示すような構成において、上側の軌道6を走行する天井搬送車10については、吊り金具134が障害物となるため、上記したオーバーラップさせる制御を一律に非実行としてもよい。また、下側の軌道6A(+Y側の軌道6A)を走行する天井搬送車10Aについては、ロードポート31が設けられた側(+Y側)に吊り金具34、134等の障害物がないため、ロードポート31が設けられた側への昇降駆動部14の突出または格納の動作については、コントローラ20により、障害物があるか否かの判断(例えば、図3のステップS04または図8のステップS22)をすることなく、上記したオーバーラップさせる制御を一律に実行するようにしてもよい。
Further, regarding the ceiling guided
このように、本実施形態に係る天井搬送車システム100、200または天井搬送車10の制御方法によれば、横出し機構11による昇降駆動部14の移動を、走行部5の走行とオーバーラップさせることができる。この例により、天井搬送車10が停止した後に昇降駆動部14の横出しを行う場合、または、昇降駆動部14を本体部3に格納した後に走行部5の走行を開始する場合と比較して、物品2の移載に要する時間を短縮できる。
As described above, according to the method of controlling the ceiling guided
以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、上記した実施形態において、天井搬送車10の構成は一例であって、天井18近傍を走行して物品2を搬送可能であり、かつ、物品2を昇降する昇降駆動部14を横出しすることが可能な任意の構成が適用可能である。また、法令で許容される限りにおいて、日本特許出願である特願2016−217839、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。
Although the embodiments have been described above, the present invention is not limited to the above description, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the configuration of the
P1、P4・・・突出動作開始位置
P3・・・停止位置
2・・・物品
3・・・本体部
5・・・走行部
6・・・軌道
10・・・天井搬送車
11・・・横出し機構
13・・・物品保持部
14・・・昇降駆動部
14P・・・突出位置
14R・・・格納位置
18・・・天井
20、120・・・コントローラ
21・・・導出部
22・・・記憶部
30・・・処理装置
31・・・ロードポート(移載位置)
32・・・バッファ部(保管装置)
33、132・・・フレーム(構造物)
34、134・・・吊り金具
100、200・・・天井搬送車システムP1, P4... Protrusion operation start position P3... Stop
32... Buffer unit (storage device)
33, 132... Frame (structure)
34,134... Hanging
Claims (9)
前記走行部の下側に設けられる本体部と、
物品を吊り下げた状態で保持する物品保持部と、
前記物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、
前記昇降駆動部を、前記本体部内に格納する格納位置と、前記本体部から前記軌道の側方に突出する突出位置との間で移動させる横出し機構と、
吊り金具により天井から吊り下げられて前記軌道の下方から側方にずれて配置され、前記走行部の走行方向に沿って複数の物品を並べて載置可能な保管装置に対して前記走行部が停止する前に、前記横出し機構により前記突出位置に向けて前記昇降駆動部の移動を開始させ、または、前記横出し機構により前記昇降駆動部が前記格納位置に戻る前に、前記保管装置に対応して停止している前記走行部の走行を開始させるコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記保管装置に対して物品を移載する際、その保管装置に物品が載置されていない場合には、突出した状態の前記昇降駆動部、前記物品保持部、又は前記物品保持部に保持された物品と前記吊り金具との接触がない範囲において前記横出し機構の駆動を実行する、天井搬送車。A traveling unit that travels on a ceiling or a track laid near the ceiling,
A main body portion provided on the lower side of the traveling portion,
An article holding unit that holds the article in a suspended state,
An elevating and lowering drive unit for elevating and lowering the article holding unit,
A sideways-out mechanism for moving the elevating and lowering drive unit between a storage position for storing the elevation drive unit in the main body unit and a projecting position for laterally projecting from the main body unit;
The traveling unit is suspended from a ceiling by a suspending metal and arranged laterally from the lower side of the track, and the traveling unit is stopped with respect to a storage device in which a plurality of articles can be placed side by side along the traveling direction of the traveling unit. Before starting, the sideways-out mechanism starts the movement of the elevating and lowering drive section toward the protruding position, or the sideward-outing mechanism corresponds to the storage device before the elevating and lowering drive section returns to the storage position. And a controller for starting the traveling of the traveling unit that is stopped,
When the article is transferred to the storage device and the article is not placed on the storage device, the controller drives the lifting drive unit, the article holding unit, or the article holding unit in a protruding state. A ceiling guided vehicle that drives the sideways mechanism within a range in which the article held by the section does not come into contact with the hanging fitting.
前記走行部の下側に設けられる本体部と、
物品を吊り下げた状態で保持する物品保持部と、
前記物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、
前記昇降駆動部を、前記本体部内に格納する格納位置と、前記本体部から前記軌道の側方に突出する突出位置との間で移動させる横出し機構と、
前記軌道の下方から側方にずれて配置された物品の移載位置に対して前記走行部が停止する前に、前記横出し機構により前記突出位置に向けて前記昇降駆動部の移動を開始させ、または、前記横出し機構により前記昇降駆動部が前記格納位置に戻る前に、前記移載位置に対応して停止している前記走行部の走行を開始させるコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記走行部の走行中に、突出した状態の前記昇降駆動部、前記物品保持部、及び前記物品保持部に保持された物品の少なくとも1つが接触可能な障害物が存在する場合、前記移載位置に対応した位置に停止している前記走行部が前記障害物に達するまでの時間から、前記突出位置にある前記昇降駆動部が前記格納位置まで移動する時間を減算した減算時間を求め、前記走行部の停止中に前記突出位置の前記昇降駆動部を前記格納位置に向けて前記横出し機構の駆動を開始させ、前記横出し機構の駆動開始から前記減算時間が経過したタイミングで前記走行部の走行開始を指示する、天井搬送車。A traveling unit that travels on a ceiling or a track laid near the ceiling,
A main body portion provided on the lower side of the traveling portion,
An article holding unit that holds the article in a suspended state,
An elevating drive unit for elevating the article holding unit,
A sideways-out mechanism for moving the elevating and lowering drive unit between a storage position for storing the elevation drive unit in the main body unit and a projecting position for laterally projecting from the main body unit;
Before the traveling unit stops at the transfer position of the article that is displaced laterally from the lower side of the track, the sideways mechanism causes the elevation drive unit to start moving toward the protruding position. Or a controller that starts traveling of the traveling unit that is stopped in correspondence with the transfer position before the lifting drive unit returns to the storage position by the side-out mechanism.
When the controller has an obstacle with which at least one of the up-and-down drive unit in a protruding state, the article holding unit, and the article held by the article holding unit is in contact while the running unit is running, A subtraction time obtained by subtracting the time required for the elevating drive unit in the projecting position to move to the storage position from the time until the traveling unit stopped at the position corresponding to the transfer position reaches the obstacle. Obtained, at the timing when the subtraction time has elapsed from the start of driving of the side-discharging mechanism, the driving of the side-discharging mechanism is started with the elevating/lowering drive unit at the protruding position toward the storage position while the traveling unit is stopped. A ceiling carrier for instructing to start traveling of the traveling unit.
前記障害物は、前記保管装置に載置された物品である、請求項8に記載の天井搬送車。The structure is a storage device on which articles can be placed,
The ceiling guided vehicle according to claim 8, wherein the obstacle is an article placed on the storage device.
前記走行部の下側に設けられる本体部と、
物品を吊り下げた状態で保持する物品保持部と、
前記物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、
前記昇降駆動部を、前記本体部内に格納する格納位置と、前記本体部から前記軌道の側方に突出する突出位置との間で移動させる横出し機構と、を備える天井搬送車の制御方法であって、
吊り金具により天井から吊り下げられて前記軌道の下方から側方にずれ、前記走行部の走行方向に沿って複数の物品を並べて載置可能な保管装置に対して前記走行部が停止する前に、前記横出し機構により前記突出位置に向けて前記昇降駆動部の移動を開始させること、または、前記横出し機構により前記昇降駆動部が前記格納位置に戻る前に、前記保管装置に対応して停止している前記走行部の走行を開始させること、を含み、
前記保管装置に対して物品を移載する際、その保管装置に物品が載置されていない場合には、突出した状態の前記昇降駆動部、前記物品保持部、又は前記物品保持部に保持された物品と前記吊り金具との接触がない範囲において前記横出し機構の駆動を実行することを含む、天井搬送車の制御方法。A traveling unit that travels on a ceiling or a track laid near the ceiling,
A main body portion provided on the lower side of the traveling portion,
An article holding unit that holds the article in a suspended state,
An elevating and lowering drive unit for elevating and lowering the article holding unit,
A control method for a ceiling guided vehicle, comprising: a lifting mechanism that moves the lifting drive unit between a storage position for storing the lifting drive unit in the main body unit and a protruding position that projects laterally of the track from the main body unit. There
Before the traveling unit stops with respect to the storage device that is suspended from the ceiling by the suspending metal and shifts from the lower side of the track to the lateral side, and a plurality of articles can be placed side by side along the traveling direction of the traveling unit. , Starting the movement of the elevating and lowering drive unit toward the protruding position by the side-out mechanism, or corresponding to the storage device before the elevating and lowering drive unit returns to the storage position by the side-out mechanism. Including starting the traveling of the traveling unit that is stopped,
When the article is transferred to the storage device, if the article is not placed on the storage device, it is held by the lifting drive unit, the article holding unit, or the article holding unit in a protruding state. A method for controlling a ceiling guided vehicle, which comprises driving the side-out mechanism within a range in which there is no contact between the article and the hanging fitting.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016217839 | 2016-11-08 | ||
JP2016217839 | 2016-11-08 | ||
PCT/JP2017/036602 WO2018088089A1 (en) | 2016-11-08 | 2017-10-10 | Overhead transport vehicle and method for controlling overhead transport vehicle |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2018088089A1 JPWO2018088089A1 (en) | 2019-07-25 |
JP6747516B2 true JP6747516B2 (en) | 2020-08-26 |
Family
ID=62109414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018550074A Active JP6747516B2 (en) | 2016-11-08 | 2017-10-10 | Ceiling carrier and control method for ceiling carrier |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6747516B2 (en) |
TW (1) | TWI738911B (en) |
WO (1) | WO2018088089A1 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11417555B2 (en) * | 2018-10-29 | 2022-08-16 | Murata Machinery, Ltd. | Ceiling conveyance vehicle and ceiling conveyance vehicle system |
EP3915902B1 (en) * | 2019-01-25 | 2024-04-03 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system |
EP3943414A4 (en) * | 2019-03-22 | 2022-11-16 | Murata Machinery, Ltd. | Transport vehicle system |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4044017B2 (en) * | 2003-04-22 | 2008-02-06 | 松下電器産業株式会社 | Component mounting apparatus and method |
JP4421987B2 (en) * | 2004-09-28 | 2010-02-24 | ヤマハ発動機株式会社 | Component mounting method and component mounting apparatus |
JP2007331906A (en) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Murata Mach Ltd | Overhead traveling vehicle system |
JP2008141126A (en) * | 2006-12-05 | 2008-06-19 | Juki Corp | Component mounting apparatus and component mounting method |
-
2017
- 2017-10-10 JP JP2018550074A patent/JP6747516B2/en active Active
- 2017-10-10 WO PCT/JP2017/036602 patent/WO2018088089A1/en active Application Filing
- 2017-11-06 TW TW106138319A patent/TWI738911B/en active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201820517A (en) | 2018-06-01 |
TWI738911B (en) | 2021-09-11 |
JPWO2018088089A1 (en) | 2019-07-25 |
WO2018088089A1 (en) | 2018-05-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102279602B1 (en) | Article transport facility | |
JP4666213B2 (en) | Goods storage equipment | |
TWI722208B (en) | Transport system | |
CN110683260B (en) | Article conveying device | |
WO2018055883A1 (en) | Ceiling transfer system and ceiling transfer car | |
JP4378655B2 (en) | Article processing equipment | |
JP6531642B2 (en) | Goods transport equipment | |
KR102336425B1 (en) | Conveying system and conveying method | |
JP6747516B2 (en) | Ceiling carrier and control method for ceiling carrier | |
TWI714809B (en) | Transport system | |
JP2015134659A (en) | Article transport dolly | |
TW201819267A (en) | Article transport facility | |
US11319153B2 (en) | Floor-to-floor transport system and floor-to-floor transport method | |
JP2018039660A (en) | Article conveyance equipment | |
WO2020137225A1 (en) | Storage system | |
JP2010215359A (en) | Ceiling conveyance system and method for temporarily storing article | |
KR20210145675A (en) | Article transport facility | |
JP2019119553A (en) | Article conveyance facility | |
JP6132165B2 (en) | Temporary storage device and temporary storage method | |
TW202229135A (en) | Storage shelf and ceiling conveyance car system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A529 | Written submission of copy of amendment under article 34 pct |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A5211 Effective date: 20190412 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200720 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6747516 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |