JP6740909B2 - Vacuum valve - Google Patents
Vacuum valve Download PDFInfo
- Publication number
- JP6740909B2 JP6740909B2 JP2017003443A JP2017003443A JP6740909B2 JP 6740909 B2 JP6740909 B2 JP 6740909B2 JP 2017003443 A JP2017003443 A JP 2017003443A JP 2017003443 A JP2017003443 A JP 2017003443A JP 6740909 B2 JP6740909 B2 JP 6740909B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve plate
- valve
- suppressing member
- opening
- deflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Sliding Valves (AREA)
- Details Of Valves (AREA)
Description
本発明は、真空バルブに関する。 The present invention relates to vacuum valves.
真空処理装置の真空チャンバにターボ分子ポンプなどの真空ポンプを装着する場合には、一般的に真空バルブを介在させる。 When a vacuum pump such as a turbo molecular pump is attached to the vacuum chamber of the vacuum processing apparatus, a vacuum valve is generally interposed.
真空バルブは、真空チャンバから真空ポンプへ流れる気体の量を変化させることに用いられたり、バルブ閉状態（例えば、特許文献１の図６（Ｂ）参照）にして気体の流れを遮断することに用いられたりする。 The vacuum valve is used for changing the amount of gas flowing from the vacuum chamber to the vacuum pump, or for shutting off the gas flow by closing the valve (see, for example, FIG. 6B of Patent Document 1). It is also used.
バルブ閉状態では、真空バルブのバルブプレートの上流側及び下流側のうちの一方を大気圧にして、他方を真空状態とすることがある。その結果、真空バルブのバルブプレートの上流側と下流側の差圧が０．１２ＭＰａ（大気圧）程度になることがある。 In the valve closed state, one of the upstream side and the downstream side of the valve plate of the vacuum valve may be at atmospheric pressure and the other may be in a vacuum state. As a result, the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the valve plate of the vacuum valve may be about 0.12 MPa (atmospheric pressure).
ところで、真空バルブの開閉動作には高速性が求められている。バルブプレートを高速に駆動するためには、バルブプレートを軽くする必要がある。例えば、バルブプレートを薄くすることなどが求められる。バルブプレートが薄いと、上記の差圧がかかった場合に、バルブプレートがたわみやすくなる。さらには、バルブプレートのたわみが過大となってバルブプレートが破損するおそれがある。 By the way, high-speed operation is required for opening and closing the vacuum valve. In order to drive the valve plate at high speed, it is necessary to lighten the valve plate. For example, it is required to thin the valve plate. When the valve plate is thin, the valve plate is likely to bend when the above differential pressure is applied. Further, the valve plate may be excessively bent, and the valve plate may be damaged.
本発明の好ましい態様による真空バルブは、バルブ流路が形成された筐体と、バルブ流路を開放及び遮断するバルブプレートと、遮断状態におけるバルブプレートの表側に対向配置され、バルブプレートの表側へのたわみを抑制する第１の抑制部材と、遮断状態におけるバルブプレートの裏側に対向配置され、バルブプレートの裏側へのたわみを抑制する第２の抑制部材と、を備え、前記バルブプレートの一方の面又は他方の面の少なくともいずれかに軽量化のための凹部が形成され、前記凹部には、前記抑制部材と当接するための突起が設けられている。 A vacuum valve according to a preferred embodiment of the present invention includes a housing in which a valve flow path is formed, a valve plate that opens and closes the valve flow path, and a front surface of the valve plate that is opposed to the valve plate in a closed state. deflection of the first suppressing member suppresses the, disposed to face the rear side of the valve plate in the blocking state, and a second suppressing member suppresses the deflection of the back side of the valve plate, one of said valve plate A recess for reducing the weight is formed on at least one of the surface and the other surface, and the recess is provided with a protrusion for contacting with the suppressing member .
本発明によれば、バルブプレートのたわみを抑制することができる。 According to the present invention, the deflection of the valve plate can be suppressed.
―実施形態―
図１，２は、本発明の一実施形態による真空バルブ１を示す図である。図１は真空バルブ１の外観を示す斜視図であり、図２は図１のＡ−Ａ断面図である。
-Embodiment-
1 and 2 are diagrams showing a
真空バルブ１は、バルブ本体２と駆動部１０とを備えている。バルブ本体２は、フランジ３と、フランジ面６（図２参照）と圧縮空気導入口・排出口９とが形成された筐体４と、筐体４内においてスライド駆動されるバルブプレート８（弁板８）と、を備えている。真空処理装置の真空チャンバにフランジ３のシール面３Ａが固定され、フランジ面６に真空ポンプが固定される。図示は省略するが、駆動部１０には、バルブプレート８を揺動駆動するモータと、モータを駆動制御する制御部と、が設けられている。
The
図１に示すαは、バルブプレート８の開度を示している。図に示す「α＝０％」は、フランジ３の開口部３１を全閉する開度を示し、「α＝１００％」は、フランジ３の開口部３１を全開する開度を示している。破線８ａは、全開（α＝１００％）時のバルブプレート８を示している。バルブプレート８は、駆動部１０のモータによって揺動駆動される。例えば、バルブプレート８の開度が調節されることで、真空処理装置から真空ポンプへ流れる気体の流量を調節する。
Α shown in FIG. 1 indicates the opening degree of the
図１に示すように、真空バルブ１には、バルブプレート８のたわみを抑制するためのたわみ抑制部材Ｓ１、Ｓ２が設けられている。たわみ抑制部材Ｓ１、Ｓ２の詳細については、後述する。
As shown in FIG. 1, the
図２においては、バルブプレート８の構造が簡略化して示されている。バルブプレート８の詳細については、後述する。
In FIG. 2, the structure of the
フランジ３は、シール面３Ａと、開口部３１とを有している。筐体４は、圧縮空気導入口・排出口９と、圧空導入路４２、開口部４１と、フランジ面６とを有している。フランジ３と筐体４とは、不図示のボルトにより締結されている。
The
開口部３１と開口部４１は互いに対向している。バルブプレート８は、開口部３１と開口部４１の間に挿脱される。図２に示すように、開口部３１側には、真空チャンバが締結され、開口部４１側に真空ポンプが締結される。
The opening 31 and the opening 41 face each other. The
フランジ３と筐体４との間には、封止体７が収容される筒状の収容部５が形成される。
Between the
封止体７は、ピストン部７１０とシールリング７２０とから構成されている。ピストン部７１０とシールリング７２０とは、突部７１ｂと凹部７２ａで互いに係合している。
The sealing
ピストン部７１０は、圧空導入路４２から送り込まれる圧縮空気（圧空）によって、図示上向きの力を受ける。また、ピストン部７１０は、圧縮ばね５０によって、図示下向きの力を受ける。圧縮空気が導入されると、封止体７は図示上方向に移動し、圧縮空気が排出されると封止体７は図示下方向に移動する。
The
バルブプレート８を全閉（α＝０％）にして、さらに、封止体７をバルブプレート８に当接させることで、バルブ閉状態となる。その結果、気体Ｇの流れが遮断される。
The
シールリング７２０におけるハッチングで示した領域には、後述するたわみ抑制部材Ｓ１が形成されている（図３参照）。また、開口部４１におけるハッチングで示した領域には、後述するたわみ抑制部材Ｓ２が形成されている（図３参照）。 A deflection suppressing member S1 described later is formed in a hatched area of the seal ring 720 (see FIG. 3). A deflection suppressing member S2, which will be described later, is formed in the hatched region of the opening 41 (see FIG. 3).
図３は、シールリング７２０を詳細に示す図である。図３（ａ）は、シールリング７２０を開口部３１側から見た図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
FIG. 3 is a diagram showing the
図３（ａ）に示すように、シールリング７２０は、環状のシールリング基部７２０Ａと、たわみ抑制部材Ｓ１と、を有している。シールリング７２０は、シールリング基部７２０Ａと、たわみ抑制部材Ｓ１と、を有している。たわみ抑制部材Ｓ１は封止体７のシールリング７２０の一部であるため、たわみ抑制部材Ｓ１は、封止体７の図示上下方向の移動に伴って図示上下方向に移動する。たわみ抑制部材Ｓ１は、バルブプレート８がたわむことを抑制するためのものである。たわみ抑制部材Ｓ１は、バルブ流路中に延在する接続部Ｓ１Ｂと、接続部Ｓ１Ｂの先端部に設けられてバルブプレート８に当接する当接部Ｓ１Ａと、備える。本実施形態においては、当接部Ｓ１Ａは、シールリング７２０の中央に１つ設けられている。接続部Ｓ１Ｂは、シールリング基部７２０Ａと当接部Ｓ１Ａとを接続する。本実施形態においては、接続部Ｓ１Ｂが４本設けられている。なお、接続部Ｓ１Ｂは、少なくとも１本設けられていればよい（後述）。以上のように、たわみ抑制部材Ｓ１が当接部Ｓ１Ａと接続部Ｓ１Ｂとを有することで、シールリング７２０の内周側に気体Ｇ（図２参照）が通過できる開口部分が設けられるため、シールリング７２０の内周側を気体Ｇが通過することができる。
As shown in FIG. 3A, the
図３（ｂ）に示すように、当接部Ｓ１Ａには、当接面Ｓ１ＡＬが形成されている。接続部Ｓ１Ｂよりも優先的に当接部Ｓ１Ａをバルブプレート８に当接させるために、当接面Ｓ１ＡＬは、接続部Ｓ１Ｂの下面Ｓ１ＢＬよりもバルブプレート８側に位置するように設計されている。なお、本実施形態では上記設計としたが、これに限定されない。例えば、下面Ｓ１ＢＬとバルブプレート８との距離を、当接面Ｓ１ＡＬとバルブプレート８との距離と等しくして、接続部Ｓ１Ｂと当接部Ｓ１Ａとをバルブプレート８に同時に当接させるように設計してもよい。
As shown in FIG. 3B, a contact surface S1AL is formed on the contact portion S1A. The contact surface S1AL is designed to be located closer to the
図４は、開口部４１に設けられたたわみ抑制部材Ｓ２について示した図である。図４（ａ）は、たわみ抑制部材Ｓ２をバルブプレート８側から見た図である。図４（ｂ）は、図４（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。
FIG. 4 is a view showing the deflection suppressing member S2 provided in the
図４（ａ）に示すように、たわみ抑制部材Ｓ２は、バルブ流路中に延在する接続部Ｓ２Ｂと、接続部Ｓ２Ｂの先端部に設けられてバルブプレート８に当接する当接部Ｓ２Ａと、備える。本実施形態においては、当接部Ｓ２Ａは、開口部４１の中央に１つ設けられている。接続部Ｓ２Ｂは、開口部４１と当接部Ｓ２Ａとを接続する。本実施形態においては、接続部Ｓ２Ｂが４本設けられている。なお、接続部Ｓ２Ｂは、少なくとも１本設けられていればよい（後述）。以上のように、たわみ抑制部材Ｓ２が当接部Ｓ２Ａと接続部Ｓ２Ｂとを有することで、開口部４１の内周側に気体Ｇ（図２参照）が通過できる開口部分が設けられるため、開口部４１の内周側を気体Ｇが通過することができる。
As shown in FIG. 4A, the deflection suppressing member S2 includes a connecting portion S2B extending in the valve flow passage, and an abutting portion S2A provided at the tip of the connecting portion S2B and abutting on the
図４（ｂ）に示すように、当接部Ｓ２Ａの上面Ｓ２ＡＵは、接続部Ｓ２Ｂの上面Ｓ２ＢＵよりも図示上側に位置している。接続部Ｓ２Ｂよりも優先的に、当接部Ｓ２Ａをバルブプレート８に当接させるために、上記設計としている。なお、開口部４１の上端面４１Ｓは、バルブプレート８の縁部と当接する（後述）。
As shown in FIG. 4B, the upper surface S2AU of the contact portion S2A is located above the upper surface S2BU of the connection portion S2B in the figure. The above-mentioned design is adopted in order to bring the contact portion S2A into contact with the
なお、本実施形態では上面Ｓ２ＡＵと上面Ｓ２ＢＵとの位置関係を上記設計としたが、これに限定されない。例えば、上面Ｓ２ＢＵとバルブプレート８との距離を、上面Ｓ２ＡＵとバルブプレート８との距離と等しくして、接続部Ｓ２Ｂと当接部Ｓ２Ａとをバルブプレート８に同時に当接させるように設計してもよい。
In the present embodiment, the positional relationship between the upper surface S2AU and the upper surface S2BU is the above design, but the present invention is not limited to this. For example, the distance between the upper surface S2BU and the
図５は、バルブプレート８を示した図である。図５（ａ）は、真空排気下流側からバルブプレート８を見た図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＤ−Ｄ断面図である。
FIG. 5 is a diagram showing the
図５（ａ）に示すように、バルブプレート８は、弁部８１と、把柄部８２と、を有する。
As shown in FIG. 5A, the
図５（ａ）に示すように、把柄部８２には、貫通孔８２ａが設けられている。バルブプレート８の把柄部８２は、モータにより駆動される回転軸（不図示）に固定される。バルブプレート８は、上述の回転軸の軸芯Ｊを揺動軸として揺動する。
As shown in FIG. 5A, the
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、弁部８１の強度を維持しつつ軽量化するために、弁部８１には、凹部８１ｄが形成されている。凹部８１ｄが形成されたことで、環状当接部８１ｃが同時に形成される。環状当接部８１ｃは、開口部４１の上端面（図６の上端面４１Ｓ）と当接する。凹部８１ｄは、中央に突起８１ｂを有する。バルブプレートの凹部に形成された突起８１ｂは、たわみ抑制部材Ｓ２の当接部Ｓ２Ａと当接するために形成されている。
As shown in FIGS. 5A and 5B, a
図５（ｂ）に示すように、弁部８１において、凹部８１ｄの裏側は、平面８１ａとなっている。平面８１ａの中央部は、たわみ抑制部材Ｓ１の当接部Ｓ１Ａの当接面Ｓ１ＡＬと当接する。また、環状当接部８１ｃの裏面である、平面８１ａの縁部は、シールリング基部７２０Ａと当接する。
As shown in FIG. 5B, in the
図６は、シールリング７２０をバルブプレート８側に駆動して全閉状態となるまでの動作を示す図である。図６（ａ）がバルブプレート８側に駆動される前の状態（図２に示す状態）を示している。バルブプレート８は、開口部３１，４１に対向する位置に駆動され、全閉（α＝０％）とされている。この場合には、シールリング７２０、バルブプレート８、及び、筐体４の相互間にはギャップが形成されている。
FIG. 6 is a diagram showing an operation until the
次いで、図６（ｂ）に示すように、封止体７のシールリング７２０が図示下方に移動し、バルブプレート８の平面８１ａと、シールリング基部７２０Ａ及びたわみ抑制部材Ｓ１の当接部Ｓ１Ａとが当接する。この時点では、バルブプレート８と上端面４１Ｓ、筐体４は当接していない。
Next, as shown in FIG. 6B, the
さらに、シールリング７２０が図示下方に移動すると、バルブプレート８はシールリング７２０と共に筐体４の方向に移動し、図６（ｃ）に示すように、バルブプレート８が筐体４と当接する。具体的には、バルブプレート８の環状当接部８１ｃと上端面４１Ｓとが当接し、バルブプレート８の突起８１ｂとたわみ抑制部材Ｓ２の当接部Ｓ２Ａとが当接する。
Further, when the
図６（ｃ）に示すように、シールリング７２０が、バルブプレート８を筐体４に押し付けることにより、バルブプレート８の縁部の表裏面がシールリング基部７２０Ａと上端面４１Ｓとに密着する。その結果、バルブ閉状態となる。
As shown in FIG. 6C, when the
さらに、図６（ｃ）に示すように、バルブプレート８とたわみ抑制部材Ｓ１の当接部Ｓ１Ａとが当接し、バルブプレート８とたわみ抑制部材Ｓ２の当接部Ｓ２Ａとが当接する。これによって、バルブプレート８の表裏面に作用する圧力の差が生じた場合のバルブプレート８のたわみが抑制される。
Further, as shown in FIG. 6C, the
なお、図６に示す例では、バルブプレート８とたわみ抑制部材Ｓ１とが当接し、バルブプレート８とたわみ抑制部材Ｓ２とが当接するとしたが、これに限定されない。例えば、バルブプレート８とたわみ抑制部材Ｓ１との間にわずかな隙間が形成されるようにしてもよいが、その隙間量は、バルブプレート８がたわんで破損しない量に設定される。同様に、バルブプレート８とたわみ抑制部材Ｓ２との間にわずかな隙間が形成されるようにしてもよいが、その隙間量は、バルブプレート８がたわんで破損しない量に設定される。
In the example shown in FIG. 6, the
本実施形態の真空バルブは、以下の構成を有し、以下の作用効果を奏する。
（１）真空バルブ１は、遮断状態におけるバルブプレート８の開口部３１側（上流側）に対向配置され、バルブプレート８の開口部３１側へのたわみを抑制するたわみ抑制部材Ｓ１と、遮断状態におけるバルブプレート８の開口部４１側（下流側）に対向配置され、バルブプレート８の開口部４１側へのたわみを抑制するたわみ抑制部材Ｓ２と、を備える。
以上の構成により、たわみ抑制部材Ｓ１が、開口部３１側（上流側）のバルブプレート８のたわみを抑制し、たわみ抑制部材Ｓ２が、開口部４１側（下流側）のバルブプレート８のたわみを抑制することができる。その結果、バルブプレート８の開口部３１側と開口部４１側とで差圧が生じても、バルブプレート８が内部応力の許容範囲を超えてたわまないようにすることができる。
The vacuum valve of this embodiment has the following configuration, and has the following effects.
(1) The
With the above configuration, the deflection suppressing member S1 suppresses the deflection of the
（２）真空バルブ１は、遮断状態（バルブ閉状態）においてバルブプレート８の開口部３１側の面に当接し、バルブプレート８による遮断を行わせる環状の封止体７を備える。そして、たわみ抑制部材Ｓ１は、封止体７のシールリング７２０に設けられている。
封止体７のシールリング７２０はバルブプレート８と当接するので、たわみ抑制部材Ｓ１はバルブプレート８と当接することができ、その結果、バルブプレート８のたわみをより生じさせないようにすることができる。
(2) The
Since the
（３）たわみ抑制部材Ｓ２は、筐体４の開口部４１に設けられている。
筐体４の開口部４１は、バルブプレート８の近傍に位置するので、バルブプレート８のたわみをより生じさせないようにすることができる。
(3) The deflection suppressing member S2 is provided in the
Since the
（４）たわみ抑制部材Ｓ１は、バルブ流路中に延在する接続部Ｓ１Ｂと、接続部Ｓ１Ｂの先端部に設けられてバルブプレート８に当接する当接部Ｓ１Ａと、備える。また、たわみ抑制部材Ｓ２は、バルブ流路中に延在する接続部Ｓ２Ｂと、接続部Ｓ２Ｂの先端部に設けられてバルブプレート８に当接する当接部Ｓ２Ａと、備える。
これによって、バルブプレート８のたわみを抑制しつつ、バルブコンダクタンスの低下を抑えることができる。
(4) The deflection suppressing member S1 includes a connecting portion S1B extending in the valve flow path, and an abutting portion S1A provided at the tip of the connecting portion S1B and abutting on the
As a result, it is possible to suppress the deflection of the
（５）バルブプレート８には、凹部８１ｄが形成されている。凹部８１ｄには、たわみ抑制部材Ｓ２と当接するための突起８１ｂが設けられている。
凹部８１ｄが設けられていることでバルブプレート８を軽量化しつつ、突起８１ｂが設けられていることで、バルブプレート８のたわみを抑制することができる。
(5) The
By providing the
次のような変形も本発明の範囲内である。 The following modifications are also within the scope of the present invention.
―変形例１―
図７は、変形例１を示す図である。以上の実施形態では、たわみ抑制部材は、１つの当接部と、４本の接続部とを有しているとしたが、本発明は、これに限定されない。たわみ抑制部材は、少なくとも１つの当接部と１本の接続部とを有していればよい。例えば、図７に示す開口部４１に設けられたたわみ抑制部材Ｓ２１のように、１つの当接部Ｓ２１Ａが１本の接続部Ｓ２１Ｂで筐体４に接続される構成であってもよい。図７は、開口部４１に設けられたたわみ抑制部材Ｓ２１の例だが、シールリング７２０に設けられたたわみ抑制部材においても同様である。
-Modification 1-
FIG. 7 is a diagram showing a first modification. In the above embodiment, the deflection suppressing member has one contact portion and four connecting portions, but the present invention is not limited to this. The deflection suppressing member only needs to have at least one abutting portion and one connecting portion. For example, like the deflection suppressing member S21 provided in the
―変形例２―
図８（ａ）は、変形例２を示す図である。変形例２では、図８（ａ）に示すように、たわみ抑制部材Ｓ２２は、開口部４１の中央から外れた位置に当接部Ｓ２２Ａを有する。たわみ抑制部材Ｓ２２は複数設けられる。なお、当接部Ｓ２２Ａと当接できるように、変形例２のバルブプレート８の突起８１ｂは、図８（ｂ）に示すように、数及び位置を当接部Ｓ２２Ａに合わせる必要がある。変形例２は、開口部４１に設けられたたわみ抑制部材の例だが、シールリング７２０に設けられたたわみ抑制部材においても同様である。
-Modification 2-
FIG. 8A is a diagram showing a second modification. In
―変形例３―
図９は、変形例３を示す図である。変形例３では、図９に示すたわみ抑制部材Ｓ２２の当接部Ｓ２２Ａ同士を接続部Ｓ２２Ｃで接続するようにした。当接部Ｓ２２Ａ同士を接続部Ｓ２２Ｃで接続することで、複数のたわみ抑制部材Ｓ２２の位置がより安定する。なお、変形例３でも、当接部Ｓ２２Ａと当接できるように、バルブプレート８の突起８１ｂは、数及び位置を当接部Ｓ２２Ａに合わせる必要がある（図８（ｂ）参照）。図９は、開口部４１に設けられたたわみ抑制部材の例だが、シールリング７２０に設けられたたわみ抑制部材においても同様である。
-Modification 3-
FIG. 9 is a diagram showing a third modification. In
―変形例４―
図１０は、変形例４を示す図である。図５に示すバルブプレート８は、片面にのみ凹部と突起が設けられていたが、本発明はこれに限定されない。例えば、図１０に示すバルブプレート８００のように、一方の面に凹部８１１ｄ、環状当接部８１１ｃ、突起８１１ｂを設け、他方の面に凹部８１２ｄ、環状当接部８１２ｃ、突起８１２ｂを設けるような変形を行ってもよい。このような変形をしても、以上の実施形態と同様の効果を奏することができる。
-Modification 4-
FIG. 10 is a diagram showing a modified example 4. The
その他、以下のような変形も可能である。 In addition, the following modifications are possible.
バルブプレート８は、図５に示すバルブプレート８の環状当接部８１ｃ及び突起８１を取り除いた薄い板であってもよい。
The
以上では、振り子型（スウィング形式）の真空バルブに本発明を適用したが、バルブプレートが直線的にスライドする形式の真空バルブに本発明を適用することも可能である。 In the above, the present invention is applied to a pendulum type (swing type) vacuum valve, but the present invention can also be applied to a vacuum valve of a type in which a valve plate slides linearly.
本発明は、以上に示した内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。 The present invention is not limited to the contents shown above. Other modes that are conceivable within the scope of the technical idea of the present invention are also included within the scope of the present invention.
１：真空バルブ、
２：バルブ本体、
３：フランジ、
４：筐体、
６：フランジ面、
７：封止体、
８：バルブプレート、
３１：開口部、
４１：開口部、
８１：弁部、
８２：把柄部、
８１ｂ：突起、
８１ｃ：環状当接部、
８１ｄ：凹部、
７２０：シールリング、
Ｓ１、Ｓ２：たわみ抑制部材、
Ｓ１Ａ、Ｓ２Ａ：当接部、
Ｓ１Ｂ、Ｓ２Ｂ：接続部
1: vacuum valve,
2: valve body,
3: Flange,
4: housing,
6: Flange surface,
7: sealed body,
8: valve plate,
31: opening,
41: opening,
81: valve part,
82: Handle part,
81b: protrusion,
81c: annular contact portion,
81d: recess,
720: seal ring,
S1, S2: Deflection suppressing member,
S1A, S2A: contact part,
S1B, S2B: Connection part
Claims (3)
前記バルブ流路を開放及び遮断するバルブプレートと、
遮断状態における前記バルブプレートの一方の面側に対向配置され、前記バルブプレートの一方の面側へのたわみを抑制する第１の抑制部材と、
遮断状態における前記バルブプレートの他方の面側に対向配置され、前記バルブプレートの他方の面側へのたわみを抑制する第２の抑制部材と、を備え、
前記バルブプレートの一方の面又は他方の面の少なくともいずれかに軽量化のための凹部が形成され、前記凹部には、前記抑制部材と当接するための突起が設けられている、真空バルブ。 A housing in which a valve flow path is formed,
A valve plate for opening and closing the valve flow path,
A first suppressing member that is disposed so as to face one surface side of the valve plate in a shut-off state, and that suppresses bending of the valve plate toward the one surface side;
A second suppressing member that is disposed so as to face the other surface of the valve plate in the shut-off state, and that suppresses deflection of the valve plate toward the other surface ,
A vacuum valve , wherein a recess for reducing the weight is formed on at least one of the one surface and the other surface of the valve plate, and the recess is provided with a projection for contacting with the suppressing member .
前記遮断状態において前記バルブプレートの一方の面に当接し、前記バルブプレートによる遮断を行わせる環状の封止体を備え、
前記第１の抑制部材は、前記封止体に設けられ、
前記第１の抑制部材は、前記封止体から前記バルブ流路中に延在する第１の接続部と、前記第１の接続部の先端部に設けられて前記バルブプレートに当接する第１の当接部とを有し、前記突起は前記第１の当接部に当接する、真空バルブ。 The vacuum valve according to claim 1,
An annular sealing body that is in contact with one surface of the valve plate in the shut-off state to shut off the valve plate;
The first suppressing member is provided on the sealing body ,
The first suppressing member is provided at a first connecting portion extending from the sealing body into the valve flow path, and a first connecting portion provided at a tip end portion of the first connecting portion and abutting on the valve plate. A contact portion of the vacuum valve , wherein the protrusion abuts the first contact portion .
前記第２の抑制部材は、前記筐体に設けられ、
前記第２の抑制部材は、前記筐体から前記バルブ流路中に延在する第２の接続部と、前記第２の接続部の先端部に設けられて前記バルブプレートに当接する第２の当接部とを有し、前記突起は前記第２の当接部に当接する、真空バルブ。
The vacuum valve according to claim 1 or 2,
The second suppressing member is provided on the housing ,
The second suppressing member is provided at a second connecting portion extending from the housing into the valve flow path, and a second connecting portion provided at a tip end portion of the second connecting portion and abutting on the valve plate. A vacuum valve having an abutment portion, and the protrusion abuts the second abutment portion .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017003443A JP6740909B2 (en) | 2017-01-12 | 2017-01-12 | Vacuum valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017003443A JP6740909B2 (en) | 2017-01-12 | 2017-01-12 | Vacuum valve |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018112261A JP2018112261A (en) | 2018-07-19 |
| JP6740909B2 true JP6740909B2 (en) | 2020-08-19 |
Family
ID=62911084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017003443A Active JP6740909B2 (en) | 2017-01-12 | 2017-01-12 | Vacuum valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6740909B2 (en) |
-
2017
- 2017-01-12 JP JP2017003443A patent/JP6740909B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2018112261A (en) | 2018-07-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6500445B2 (en) | Vacuum valve | |
| US6823891B2 (en) | Compressor suction reed valve | |
| US8118543B2 (en) | Centrifugal compressor having switchable two passages | |
| KR101576403B1 (en) | Valve device for controlling an exhaust gas flow of an internal combustion engine | |
| JPH04262089A (en) | Check valve for scroll compressor | |
| US10215089B2 (en) | Variable-flow-rate valve mechanism and turbocharger | |
| US11519290B2 (en) | Spring washer for a variable flow rate valve mechanism | |
| US20210108558A1 (en) | Variable flow rate valve mechanism and turbocharger | |
| JP6740909B2 (en) | Vacuum valve | |
| US7500493B2 (en) | Tuning slide valve for intake manifold | |
| US10876466B2 (en) | Wave washer and variable-flow-rate valve | |
| JP2018515726A (en) | Blade for vacuum valve | |
| GB2601079A (en) | Sanitary clean-in-place butterfly valve with low actuation force | |
| CN103797288A (en) | Bistable fluid valve | |
| CN104234979A (en) | Pump | |
| JPH0154554B2 (en) | ||
| JP6834882B2 (en) | Turbocharger | |
| US20180372233A1 (en) | Check valves | |
| WO2022222253A1 (en) | Gas pressure adjustment device | |
| JP2021080889A (en) | EGR valve device | |
| JP2011252421A (en) | Exhaust gas recirculation apparatus | |
| JPH0247331Y2 (en) | ||
| JP7424688B1 (en) | rotary valve | |
| CN110410320A (en) | Antivoid valve | |
| WO2022054348A1 (en) | Centrifugal compressor and supercharger |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190411 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200219 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200303 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200422 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20200422 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200623 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200706 |
|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6740909 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |