JP6735246B2 - Optical element manufacturing apparatus, optical element manufacturing method, and optical element manufacturing apparatus setting method - Google Patents

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Description

本発明は、光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法に関する。 The present invention relates to an optical element manufacturing apparatus, an optical element manufacturing method, and an optical element manufacturing apparatus setting method.

一般に、光学素子の製造装置では、互いに対向して配置され、少なくとも一方が可動する平板状のプレートの間に成形用の金型を配置し、当該金型によって成形素材を加熱、押圧成形および冷却することにより、光学素子を製造する。 Generally, in an optical element manufacturing apparatus, a molding die is disposed between flat plates, at least one of which is movable, facing each other, and the molding material is heated, pressed and cooled by the die. By doing so, an optical element is manufactured.

このような方法によって製造される光学素子は、金型を押圧する2つのプレートのプレス面が互いに平行になっていないと、製造された光学素子の偏心精度が悪化するという問題がある。このような問題に対して、例えば特許文献1では、プレート間の平行度を調整する調整機構を設けた製造装置が提案されている。 The optical element manufactured by such a method has a problem that the decentering accuracy of the manufactured optical element deteriorates unless the pressing surfaces of the two plates for pressing the mold are parallel to each other. With respect to such a problem, for example, Patent Document 1 proposes a manufacturing apparatus provided with an adjusting mechanism for adjusting the parallelism between the plates.

特許第5523133号公報Japanese Patent No. 5523133

特許文献1で提案された調整機構を用いたプレート間の平行度の調整は、きわめて精密な調整作業であることや、作業の安全性等を考慮すると、製造装置に熱や圧力がかからない状態で行う必要がある。しかしながら、実際に光学素子を製造する加熱および押圧成形の工程では、製造装置の熱変形やプレートの押圧力による製造装置の撓み等の影響を必然的に受けてしまうため、仮に調整機構によって平行度を調整したとしても、製造中に平行度が変化してしまう。 The adjustment of the parallelism between the plates using the adjustment mechanism proposed in Patent Document 1 is an extremely precise adjustment work, and considering the safety of the work, etc., in a state where heat or pressure is not applied to the manufacturing apparatus. There is a need to do. However, in the process of heating and press molding that actually manufactures an optical element, it is inevitably affected by thermal deformation of the manufacturing apparatus and bending of the manufacturing apparatus due to the pressing force of the plate. Even if is adjusted, the parallelism changes during manufacturing.

また、特許文献1で提案されたような調整機構では、当該調整機構を製造装置に取り付けるネジの締め込み具合等にばらつきがあることが通常であるため、このような調整機構によってプレート間の平行度を正確に調整するには困難を伴う。しかも、平行度の調整は、光学素子の偏心精度を向上させようとすればするほど精密さが必要となり、その調整が困難となる。また、そもそもプレート間の平行度を調整しようとすると複雑な調整機構が必要となり、コストも増加する。 Further, in the adjusting mechanism as proposed in Patent Document 1, there is usually variation in the tightening degree of the screws for attaching the adjusting mechanism to the manufacturing apparatus. It is difficult to adjust the degree accurately. Moreover, the adjustment of the parallelism requires precision as the eccentricity accuracy of the optical element is improved, and the adjustment becomes difficult. Moreover, if an attempt is made to adjust the parallelism between the plates in the first place, a complicated adjusting mechanism is required, which increases the cost.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、プレート間の平行度を調整することなく、高い偏心精度を持つ光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an apparatus for manufacturing an optical element having a high decentering accuracy without adjusting the parallelism between plates, a method for manufacturing an optical element, and a setting for the apparatus for manufacturing an optical element. The purpose is to provide a method.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子の製造装置は、金型内に配置した成形素材を押圧変形して光学素子を成形する光学素子の製造装置であって、前記金型を構成する上型および下型に押圧力を付与するプレス面をそれぞれ有する上部プレートおよび下部プレートを備え、前記上部プレートは、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を、前記プレス面に装着可能な接続部材を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, an optical element manufacturing apparatus is an optical element manufacturing apparatus that press-deforms a molding material arranged in a mold to mold an optical element, An upper plate and a lower plate each having a press surface that applies a pressing force to the upper mold and the lower mold that configure the mold are provided, and the upper plate has a relative inclination between the press surfaces of the upper plate and the lower plate. It is characterized in that the correction member transferred is provided with a connecting member that can be mounted on the pressing surface.

また、本発明に係る光学素子の製造装置は、上記発明において、前記補正部材を備え、前記補正部材は、前記補正部材に転写された傾きが、前記プレス面同士の傾きと一致するように、前記接続部材によって前記上部プレートのプレス面に装着されていることを特徴とする。 Further, the optical element manufacturing apparatus according to the present invention, in the above invention, comprises the correction member, the correction member, the inclination transferred to the correction member, so that the inclination of the press surface is the same, It is characterized in that it is attached to the pressing surface of the upper plate by the connecting member.

また、本発明に係る光学素子の製造装置は、上記発明において、前記補正部材は、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなることを特徴とする。 Further, the optical element manufacturing apparatus according to the present invention is characterized in that, in the above invention, the correction member is made of a material that does not deform in a manufacturing temperature zone of the molding material.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子の製造方法は、上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置を用いた光学素子の製造方法であって、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着する設定工程と、所望の光学機能面を創生する転写面を有する上型および下型から構成された前記金型内に前記成形素材を配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって、前記補正部材を介して前記金型に押圧力を付与し、前記成形素材に前記光学機能面を転写する製造工程と、を含むことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, a method for manufacturing an optical element is such that a pressing force is applied to a mold by pressing surfaces of an upper plate and a lower plate, and a molding material arranged in the mold. A method for manufacturing an optical element using a manufacturing apparatus for molding an optical element from, wherein a correction member molding material made of a material that is not deformed in a manufacturing temperature zone of the molding material is used as an upper die having a planar transfer surface. And a pressing surface of the upper plate and the lower plate by applying a pressing force to the correcting member mold by the upper plate and the lower plate. After molding the correction member in which the relative inclination of each other is transferred, a setting step of mounting the correction member on the press surface of the upper plate, and an upper mold and a lower mold having a transfer surface for creating a desired optical functional surface The molding material is arranged in the mold constituted by a mold, and a pressing force is applied to the mold by the upper plate and the lower plate via the correction member, and the optical function surface is applied to the molding material. And a manufacturing step of transferring

上述した課題を解決し、目的を達成するために、光学素子の製造装置の設定方法は上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置の設定方法であって、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the setting method of the apparatus for manufacturing an optical element is such that pressing force is applied to the mold by the pressing surfaces of the upper plate and the lower plate, and the device is arranged in the mold. A method of setting a manufacturing apparatus for molding an optical element from a molding material, comprising: a molding material for a correction member, which is made of a material that does not deform in a manufacturing temperature zone of the molding material; Is arranged in the correction member mold, and pressing force is applied to the correction member mold by the upper plate and the lower plate, so that the pressing surfaces of the upper plate and the lower plate are opposed to each other. It is characterized in that the correction member is mounted on the pressing surface of the upper plate after molding the correction member having the transferred inclination.

本発明によれば、上部プレートおよび下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を介して成形素材を押圧することにより、プレス面同士の相対的な傾きを相殺することができるため、プレート間の平行度を調整することなく、高い偏心精度を持つ光学素子を製造することが可能となる。 According to the present invention, the relative inclination of the press surfaces can be canceled by pressing the molding material through the correction member that transfers the relative inclination of the press surfaces of the upper plate and the lower plate. Therefore, it is possible to manufacture an optical element having high decentering accuracy without adjusting the parallelism between the plates.

図1は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置の構成を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a configuration of an optical element manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造方法を示すフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing an optical element according to the embodiment of the present invention. 図3は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置の設定方法を説明するための断面図である。FIG. 3 is a sectional view for explaining the setting method of the optical element manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図4は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置およびこれを利用した光学素子の製造方法を説明するための断面図である。FIG. 4 is a sectional view for explaining an optical element manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention and an optical element manufacturing method using the same. 図5は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置における補正部材の一例を示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing an example of a correction member in the optical element manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図6は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置における補正部材のその他の一例を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing another example of the correction member in the optical element manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図7は、本発明の実施の形態に係る光学素子の製造装置の変形例の構成を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing the configuration of a modified example of the optical element manufacturing apparatus according to the embodiment of the present invention. 図8は、従来技術に係る光学素子の製造装置およびこれを利用した光学素子の製造方法を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing an optical element manufacturing apparatus according to a conventional technique and an optical element manufacturing method using the same.

以下、本発明に係る光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、以下の実施の形態における構成要素には、当業者が置換可能かつ容易なもの、あるいは実質的に同一のものも含まれる。 Embodiments of an optical element manufacturing apparatus, an optical element manufacturing method, and an optical element manufacturing apparatus setting method according to the present invention will be described below with reference to the drawings. The present invention is not limited to the following embodiments, and constituent elements in the following embodiments include those that can be easily replaced by those skilled in the art, or those that are substantially the same.

[光学素子の製造装置]
本実施の形態に係る光学素子の製造装置(以下、「製造装置」という)は、金型内に配置した成形素材(ガラス素材)を押圧変形して光学素子(ガラスレンズ)を成形するものであり、図1に示すように、成形装置1と、型セット(金型)10と、を備えている。
[Optical element manufacturing equipment]
The optical element manufacturing apparatus according to the present embodiment (hereinafter, referred to as “manufacturing apparatus”) is for molding an optical element (glass lens) by pressing and deforming a molding material (glass material) arranged in a mold. As shown in FIG. 1, the molding apparatus 1 and the mold set (mold) 10 are provided.

成形装置1は、成形室30内に搬送された型セット10を連続的に循環させて光学素子の成形を行う循環式の成形装置である。成形装置1は、加熱ステージ30a、プレスステージ30bおよび冷却ステージ30cを備える成形室30と、成形室30内に型セット10を搬送する図示しない搬送アームと、を備えている。 The molding apparatus 1 is a circulation molding apparatus that continuously circulates the mold set 10 conveyed into the molding chamber 30 to mold an optical element. The molding apparatus 1 includes a molding chamber 30 including a heating stage 30a, a press stage 30b, and a cooling stage 30c, and a transfer arm (not shown) that transfers the mold set 10 into the molding chamber 30.

成形室30は、成形室上板301と、成形室下板302と、型セット10を成形室30に導入する際に開閉する入口シャッター303と、型セット10を成形室30から排出する際に開閉する出口シャッター304と、を備えている。また、成形室30内は、不活性ガス(例えば窒素ガス)で満たされている。 The molding chamber 30 includes a molding chamber upper plate 301, a molding chamber lower plate 302, an inlet shutter 303 that opens and closes when the mold set 10 is introduced into the molding chamber 30, and a mold set 10 is discharged from the molding chamber 30. And an exit shutter 304 that opens and closes. The molding chamber 30 is filled with an inert gas (for example, nitrogen gas).

成形室30の各ステージ(加熱ステージ30a、プレスステージ30bおよび冷却ステージ30c)は、上側に上部プレート31が、下側に下部プレート32が設けられている。各ステージの上部プレート31および下部プレート32は、型セット10を構成する上型11および下型12に押圧力を付与するプレス面311,321を有している。また、各ステージの上部プレート31および下部プレート32は、内部にそれぞれヒータを備えており、当該ヒータを介して型セット10内の成形素材Mを加熱または冷却する。また、各ステージの上部プレート31は、上側に駆動部33が設けられており、当該駆動部33により、上下動作と型セット10への押圧が可能となっている。 Each stage (heating stage 30a, press stage 30b, and cooling stage 30c) of the molding chamber 30 is provided with an upper plate 31 on the upper side and a lower plate 32 on the lower side. The upper plate 31 and the lower plate 32 of each stage have pressing surfaces 311 and 321 that apply a pressing force to the upper mold 11 and the lower mold 12 that form the mold set 10. Further, the upper plate 31 and the lower plate 32 of each stage are respectively provided with heaters inside, and heat or cool the molding material M in the mold set 10 via the heaters. Further, the upper plate 31 of each stage is provided with a drive unit 33 on the upper side, and the drive unit 33 enables vertical movement and pressing to the mold set 10.

駆動部33は、固定ネジ34によって成形室上板301に固定されている。また、プレスステージ30bの上部プレート31は、ネジ止めにより取り外し可能であり、かつ補正部材35をプレス面311に装着(係止)可能なアタッチメント(接続部材)36を備えている。補正部材35は、後記するように、上部プレート31および下部プレート32におけるプレス面311,321同士の相対的な傾きが転写されており、アタッチメント36によってプレス面311に装着されている。なお、アタッチメント36は、断面がL字状に形成されている。 The drive unit 33 is fixed to the molding chamber upper plate 301 with a fixing screw 34. Further, the upper plate 31 of the press stage 30b is provided with an attachment (connection member) 36 that can be removed by screwing and the correction member 35 can be attached (locked) to the pressing surface 311. As will be described later, the correction member 35 has the relative inclinations of the press surfaces 311 and 321 of the upper plate 31 and the lower plate 32 transferred thereto, and is attached to the press surface 311 by the attachment 36. The attachment 36 has an L-shaped cross section.

型セット10は、上型11と、下型12と、スリーブ13と、を備えている。上型11および下型12は、それぞれ段付きの円柱形状に形成されており、それぞれの転写面11a,12aが対向するように配置されている。 The mold set 10 includes an upper mold 11, a lower mold 12, and a sleeve 13. The upper die 11 and the lower die 12 are each formed in a stepped columnar shape, and are arranged so that the respective transfer surfaces 11a and 12a face each other.

上型11の転写面11aは、光学素子に凹形状の光学機能面を創生するためのものである。すなわち、上型11は、下型12と対向する端面に球面状の凸部が形成されており、その凸部が転写面11aを構成している。 The transfer surface 11a of the upper mold 11 is for creating a concave optical function surface in the optical element. That is, the upper mold 11 has a spherical convex portion formed on the end surface facing the lower mold 12, and the convex portion constitutes the transfer surface 11a.

下型12の転写面12aは、光学素子に凸形状の光学機能面を創生するためのものである。すなわち、下型12は、上型11と対向する端面に、球面状の凹部が形成されており、その凹部が転写面12aを構成している。 The transfer surface 12a of the lower mold 12 is for creating a convex optical function surface on the optical element. That is, the lower mold 12 has a spherical concave portion formed on the end surface facing the upper mold 11, and the concave portion constitutes the transfer surface 12a.

スリーブ13は、上型11および下型12を支持し、かつ両者の位置決めを行うためのものである。スリーブ13は、円筒状に形成されており、上型11および下型12の周囲に配置されている。 The sleeve 13 supports the upper mold 11 and the lower mold 12, and positions the both. The sleeve 13 is formed in a cylindrical shape and is arranged around the upper die 11 and the lower die 12.

ここで、本発明が解決すべき課題である上部プレート31と下部プレート32との間の傾きについて、図8を参照しながら説明する。同図に示すように上部プレート31のプレス面311と、下部プレート32のプレス面321とは、様々な加工誤差や取付誤差等に起因して、0ではない相対的な傾きαを持っている。 Here, the inclination between the upper plate 31 and the lower plate 32, which is a problem to be solved by the present invention, will be described with reference to FIG. 8. As shown in the figure, the pressing surface 311 of the upper plate 31 and the pressing surface 321 of the lower plate 32 have a relative inclination α which is not 0 due to various processing errors and mounting errors. ..

この傾きαは、実際に光学素子を成形する際には、成形装置1を構成する部材の熱膨張や熱変形、あるいはプレスステージ30bを固定している成形室30の押圧力による撓みの影響を受けて変化する。なお、傾きαは、実際には例えば1/60度程度の微小な値を想定しており、図8では説明の便宜上、この傾きαの値を誇張して図示している(後記する図3、図4および図7に示した傾きαも同様)。 When the optical element is actually molded, this inclination α is affected by the thermal expansion and thermal deformation of the members constituting the molding apparatus 1, or the bending due to the pressing force of the molding chamber 30 fixing the press stage 30b. Receive and change. Note that the inclination α is actually assumed to be a minute value of, for example, about 1/60 degree, and the value of the inclination α is exaggerated in FIG. 8 for convenience of description (see FIG. 3 described later. , And the inclination α shown in FIGS. 4 and 7 is the same).

図8に示すように、上下のプレス面311,321同士に相対的な傾きαを持った状態で成形素材Mを押圧すると、成形後の光学素子にも傾きαが転写される。なお、同図に示すように、上型11および下型12と、スリーブ13との間の隙間が十分大きい場合、成形後の光学素子には、傾きαがそのまま転写される。一方、例えば上型11および下型12と、スリーブ13との間の隙間が小さい場合、傾きαがスリーブ13によって規制されるため、成形後の光学素子には、上型11および下型12が取り得る最大の傾き(<傾きα)が転写される。このように、従来の成形装置では、少なくとも0ではない傾きが成形後の光学素子に転写されるという問題がある。 As shown in FIG. 8, when the molding material M is pressed while the upper and lower press surfaces 311 and 321 have a relative inclination α, the inclination α is also transferred to the optical element after molding. As shown in the figure, when the gap between the upper mold 11 and the lower mold 12 and the sleeve 13 is sufficiently large, the inclination α is directly transferred to the molded optical element. On the other hand, for example, when the gap between the upper die 11 and the lower die 12 and the sleeve 13 is small, the inclination α is regulated by the sleeve 13, so that the upper die 11 and the lower die 12 are formed in the molded optical element. The maximum possible slope (<slope α) is transferred. As described above, the conventional molding apparatus has a problem that at least a non-zero inclination is transferred to the optical element after molding.

そこで、本実施の形態では、図1に示すように、予め上下のプレス面311,321同士の相対的な傾きαを転写した補正部材35を製作し、上部プレート31と型セット10との間にこの補正部材35を挟んだ状態で押圧することにより、前記した傾きαを相殺する構成としている。 Therefore, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the correction member 35 in which the relative inclination α between the upper and lower press surfaces 311 and 321 is transferred in advance is manufactured, and the correction member 35 is formed between the upper plate 31 and the mold set 10. In addition, the inclination α is canceled by pressing the correction member 35 while sandwiching the correction member 35.

[光学素子の製造方法]
以下、製造装置を利用した本実施の形態に係る光学素子の製造方法について、図1〜図7を参照しながら説明する。本実施の形態に係る光学素子の製造方法は、図2に示すように、製造装置の設定工程(製造装置の設定方法)S1と、光学素子の製造工程S2と、を行う。
[Method for manufacturing optical element]
Hereinafter, a method of manufacturing the optical element according to the present embodiment using the manufacturing apparatus will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 2, the optical element manufacturing method according to the present embodiment includes a manufacturing apparatus setting step (manufacturing apparatus setting method) S1 and an optical element manufacturing step S2.

製造装置の設定工程S1は、図3に示すように、成形素材Mの製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材Mcを補正部材用型セット(補正部材用金型)40内に配置し、上部プレート31および下部プレート32によって補正部材用型セット40に押圧力を付与することにより補正部材35を成形した後、上部プレート31に補正部材35を装着する工程である。 In the setting step S1 of the manufacturing apparatus, as shown in FIG. 3, the correction member molding material Mc made of a material that does not deform in the manufacturing temperature range of the molding material M is set in the correction member mold set (correction member mold) 40. This is a step of arranging and correcting the mold 35 for the correcting member by the upper plate 31 and the lower plate 32 to form the correcting member 35, and then mounting the correcting member 35 on the upper plate 31.

製造装置の設定工程S1では、補正部材用成形素材Mcとして、例えばガラス素材「L−LAH53」を使用する。L−LAH53は、屈服点At=607℃、転移点Tg=574℃の材料であり、607℃付近では成形しやすく、574℃以下では変形しない性質を有している。なお、補正部材用成形素材Mcは、L−LAH53に限定されないが、後記するように、成形素材Mの製造温度帯では変形しない素材で構成される。また、補正部材用成形素材Mcの形状は、例えば厚み5mmの円筒形状であり、上面および下面は研磨されている。 In the setting step S1 of the manufacturing apparatus, for example, a glass material “L-LAH53” is used as the correction member forming material Mc. L-LAH53 is a material having a yield point At=607° C. and a transition point Tg=574° C., and has a property that it is easy to mold near 607° C. and does not deform at 574° C. or lower. The correction member molding material Mc is not limited to L-LAH53, but is composed of a material that does not deform in the manufacturing temperature range of the molding material M, as described later. The shape of the correction member molding material Mc is, for example, a cylindrical shape having a thickness of 5 mm, and the upper surface and the lower surface are polished.

補正部材用型セット40は、上型41と、下型42と、スリーブ43と、を備えている。上型41および下型42は、それぞれ精度良く平面加工された平面状の転写面41a,42aを有しており、補正部材用成形素材Mcに平面状の上面および下面を転写する。なお、上型41および下型42と、スリーブ43との間には、例えば0.1mm程度の十分に大きい隙間が形成されており、上下のプレス面311,321同士の相対的な傾きαを規制しないように構成されている。また、製造装置の設定工程S1において、補正部材用型セット40および補正部材用成形素材Mc以外の構成は、全て後記する光学素子の製造工程S2と同じものを用い、傾きαを再現できるような環境に設定する。 The correction member mold set 40 includes an upper mold 41, a lower mold 42, and a sleeve 43. The upper die 41 and the lower die 42 respectively have plane transfer surfaces 41a and 42a that are precisely machined into a plane, and transfer the plane upper surface and the lower surface to the correction member forming material Mc. A sufficiently large gap of, for example, about 0.1 mm is formed between the upper mold 41 and the lower mold 42 and the sleeve 43, and the relative inclination α between the upper and lower press surfaces 311 and 321 is It is configured not to regulate. Further, in the setting step S1 of the manufacturing apparatus, all the configurations other than the correction member mold set 40 and the correction member molding material Mc are the same as those of the optical element manufacturing step S2 described later, and the inclination α can be reproduced. Set in the environment.

(加熱工程)
製造装置の設定工程S1では、まず補正部材用型セット40内に補正部材用成形素材Mcを配置し、図示しない搬送アームによって当該補正部材用型セット40を成形室30の加熱ステージ30aに搬送する。そして、加熱ステージ30aにおいて、補正部材用型セット40を620℃まで加熱し(図2のステップS11参照)、補正部材用成形素材Mcを軟化させる。
(Heating process)
In the setting step S1 of the manufacturing apparatus, first, the correction member molding material Mc is arranged in the correction member mold set 40, and the correction member mold set 40 is transported to the heating stage 30a of the molding chamber 30 by a transport arm (not shown). .. Then, on the heating stage 30a, the correction member mold set 40 is heated to 620° C. (see step S11 in FIG. 2) to soften the correction member molding material Mc.

(押圧工程)
続いて、図3に示すように、図示しない搬送アームによって補正部材用型セット40をプレスステージ30bに搬送し、620℃を維持した状態で、駆動部33によって上部プレート31に3MPaの押圧力を付与して押圧を行う(図2のステップS12参照)。これにより、補正部材用成形素材Mcを徐々に変形させ、厚さが例えば4mmとなった時点で上部プレート31を上方に退避させて押圧を終了する。
(Pressing process)
Subsequently, as shown in FIG. 3, the correction member die set 40 is conveyed to the press stage 30b by a conveyance arm (not shown), and the driving unit 33 applies a pressing force of 3 MPa to the upper plate 31 while maintaining 620° C. It is applied and pressed (see step S12 in FIG. 2). As a result, the correction member molding material Mc is gradually deformed, and when the thickness reaches, for example, 4 mm, the upper plate 31 is retracted upward and the pressing is finished.

(冷却工程)
続いて、図示しない搬送アームによって補正部材用型セット40を冷却ステージ30cに搬送し、補正部材用型セット40を100℃まで冷却し(図2のステップS13参照)、冷却後の補正部材用型セット40を成形室30から排出する。以上の手順により、上下のプレス面311,321同士の相対的な傾きαが転写された補正部材35を成形する。
(Cooling process)
Subsequently, the correction member mold set 40 is transferred to the cooling stage 30c by a transfer arm (not shown), the correction member mold set 40 is cooled to 100° C. (see step S13 in FIG. 2), and the correction member mold after cooling is performed. The set 40 is discharged from the molding chamber 30. Through the above procedure, the correction member 35 in which the relative inclination α between the upper and lower press surfaces 311 and 321 is transferred is molded.

(装着工程)
そして最後に、図4に示すように、アタッチメント36により、上部プレート31に補正部材35を装着する(図2のステップS14参照)。補正部材35は、具体的には、当該補正部材35に転写された傾きαが、上下のプレス面311,321同士の傾きαと一致するように、アタッチメント36によって上部プレート31のプレス面311に装着される。
(Installation process)
Finally, as shown in FIG. 4, the correction member 35 is attached to the upper plate 31 by the attachment 36 (see step S14 in FIG. 2). Specifically, the correction member 35 is attached to the pressing surface 311 of the upper plate 31 by the attachment 36 so that the inclination α transferred to the correction member 35 matches the inclination α between the upper and lower pressing surfaces 311 and 321. It is installed.

また、補正部材35の装着する際は、光軸(図4の一点鎖線参照)を中心とした回転方向に対して、精度良く装着する必要がある。従って、補正部材35には、例えば図5に示すように、回転方向を規制するための平面部353を少なくとも一方向以上に設け、かつ前記した補正部材用成形素材Mcの押圧工程(図3参照)における上部プレート31との間の光軸を中心とした回転方向の位置関係を保持しつつ、上部プレート31のプレス面311に装着する。 Further, when the correction member 35 is attached, it is necessary to attach it accurately with respect to the rotation direction around the optical axis (see the alternate long and short dash line in FIG. 4). Therefore, for example, as shown in FIG. 5, the correction member 35 is provided with a flat surface portion 353 for restricting the rotation direction in at least one direction and the pressing step of the correction member molding material Mc described above (see FIG. 3). While the positional relationship between the upper plate 31 and the upper plate 31 in the rotational direction about the optical axis is maintained, the upper plate 31 is mounted on the pressing surface 311 of the upper plate 31.

なお、図5は、図4における補正部材35およびアタッチメント36を上から見た状態を示しており、符号361は、アタッチメント36を上部プレート31のプレス面311に固定する際の固定ネジ(図示省略)が挿入されるネジ孔である。また、同図に示すような補正部材35の平面部353は、例えば前記した補正部材用成形素材Mcの押圧工程において、平面部353に相当する位置に、円弧および直線からなる形状の規制部材を配置した状態で押圧を行うことにより、形成することが可能である。 5 shows a state in which the correction member 35 and the attachment 36 in FIG. 4 are viewed from above, and a reference numeral 361 indicates a fixing screw (not shown) for fixing the attachment 36 to the pressing surface 311 of the upper plate 31. ) Is a screw hole to be inserted. Further, the flat surface portion 353 of the correction member 35 as shown in the figure has a restriction member having a shape of an arc and a straight line at a position corresponding to the flat surface portion 353 in the pressing step of the correction member forming material Mc described above, for example. It can be formed by pressing in the arranged state.

またその他に、例えば図6に示すように、円筒形状の補正部材35Aの上面351に直線状の溝等からなるマーキング354を設け、そのマーキング354と上部プレート31のプレス面311に予め設けた同形状のマーキング(例えば直線状の印)とが一致するように、アタッチメント36によって補正部材35Aをプレス面311に装着してもよい。なお、この場合も、前記した補正部材用成形素材Mcの押圧工程(図3参照)における上部プレート31との間の光軸を中心とした回転方向の位置関係を保持しつつ、補正部材35Aをプレス面311に装着する。なお、同図に示すマーキング354は、例えば前記した補正部材用成形素材Mcの押圧工程において、マーキング354に対応する直線状の突起部が転写面に設けられた上型41を用いて押圧することにより、形成することが可能である。 In addition, as shown in FIG. 6, for example, a marking 354 made of a linear groove or the like is provided on the upper surface 351 of the cylindrical correction member 35A, and the marking 354 and the pressing surface 311 of the upper plate 31 are provided in advance. The correction member 35A may be attached to the press surface 311 by the attachment 36 so that the shape marking (for example, a linear marking) matches. Also in this case, the correction member 35A is retained while maintaining the positional relationship in the rotational direction about the optical axis between the correction member molding material Mc and the upper plate 31 in the pressing step (see FIG. 3). It is attached to the press surface 311. In addition, the marking 354 shown in the figure may be pressed by using the upper mold 41 in which a linear projection corresponding to the marking 354 is provided on the transfer surface in, for example, the pressing step of the correction member molding material Mc described above. It is possible to form.

光学素子の製造工程S2は、図4に示すように、型セット10内に成形素材Mを配置し、上部プレート31および下部プレート32によって、補正部材35を介して型セット10に押圧力を付与し、成形素材Mに光学機能面を転写する工程である。 In the optical element manufacturing step S2, as shown in FIG. 4, a molding material M is arranged in the mold set 10 and a pressing force is applied to the mold set 10 by the upper plate 31 and the lower plate 32 via the correction member 35. Then, the optical functional surface is transferred to the molding material M.

光学素子の製造工程S2では、成形素材Mとして、例えばガラス素材「S−FPL51」を使用する。S−FPL51は、屈服点At=489℃、転移点Tg=458℃の材料であり、489℃付近では成形しやすく、458℃以下では変形しない性質を有している。また、成形素材Mの形状は、ボール形状(球形状)であり、表面は研磨されている。 In the manufacturing process S2 of the optical element, for example, a glass material "S-FPL51" is used as the molding material M. S-FPL51 is a material having a yield point At=489° C. and a transition point Tg=458° C., and has a property that it is easy to mold near 489° C. and does not deform at 458° C. or lower. Further, the shape of the molding material M is a ball shape (spherical shape), and the surface is polished.

光学素子の製造工程S2では、前記したように、補正部材35が上部プレート31に装着されたプレスステージ30bにおいて、上下のプレス面311,321同士の相対的な傾きαが、同じ傾きαを有する補正部材35によって相殺されている。従って、補正部材35の下面352と下部プレート32のプレス面321との間の相対的な傾きは0になる。なお、図4では、補正部材35の下面352と、紙面右側のアタッチメント36との間に隙間が形成されているが、前記したように、実際の傾きαは1/60度程度の微小な値であるため、前記した隙間も実際には非常に小さなものである。さらに、後記する成形素材Mの押圧工程では、上部プレート31と上型11とによって補正部材35が隙間なく挟まれている状態となるため、前記した隙間の有無は成形の際の問題とはならない。 In the optical element manufacturing process S2, as described above, in the press stage 30b in which the correction member 35 is mounted on the upper plate 31, the relative inclination α between the upper and lower press surfaces 311 and 321 has the same inclination α. It is offset by the correction member 35. Therefore, the relative inclination between the lower surface 352 of the correction member 35 and the pressing surface 321 of the lower plate 32 becomes zero. In FIG. 4, a gap is formed between the lower surface 352 of the correction member 35 and the attachment 36 on the right side of the drawing, but as described above, the actual inclination α is a minute value of about 1/60 degrees. Therefore, the above-mentioned gap is actually very small. Further, in the pressing step of the molding material M described later, since the correction member 35 is sandwiched by the upper plate 31 and the upper mold 11 without a gap, the presence or absence of the above-mentioned gap does not pose a problem in molding. ..

(加熱工程)
光学素子の製造工程S2では、まず型セット10内に成形素材Mを配置し、図示しない搬送アームによって当該型セット10を成形室30の加熱ステージ30aに搬送する。そして、加熱ステージ30aにおいて、型セット10を500℃まで加熱し(図2のステップS21参照)、成形素材Mを軟化させる。
(Heating process)
In the optical element manufacturing step S2, first, the molding material M is placed in the mold set 10, and the mold set 10 is conveyed to the heating stage 30a of the molding chamber 30 by a conveyance arm (not shown). Then, on the heating stage 30a, the mold set 10 is heated to 500° C. (see step S21 in FIG. 2) to soften the forming material M.

(押圧工程)
続いて、図3に示すように、図示しない搬送アームによって型セット10をプレスステージ30bに搬送し、500℃を維持した状態で、駆動部33によって上部プレート31に3MPaの押圧力を付与して押圧を行う(図2のステップS22参照)。その際、上部プレート31による押圧力は、補正部材35を介して上型11に作用する。また、押圧の際の補正部材35の温度は500℃近傍であるため、補正部材35が変形する温度である574℃(L−LAH53の転移点Tg=574℃)よりも十分に低い。従って、押圧中に補正部材35が変形することはなく、上下のプレス面311,321同士の相対的な傾きαが相殺された状態を維持しつつ、上型11に押圧力を加えることが可能となる。押圧工程では、このような押圧力によって成形素材Mを徐々に変形させ、所望の厚さとなった時点で上部プレート31を上方に退避させて押圧を終了する。
(Pressing process)
Subsequently, as shown in FIG. 3, the die set 10 is conveyed to the press stage 30b by a not-shown conveying arm, and a driving force of 3 MPa is applied to the upper plate 31 by the driving unit 33 while maintaining 500° C. It is pressed (see step S22 in FIG. 2). At that time, the pressing force of the upper plate 31 acts on the upper mold 11 via the correction member 35. Further, since the temperature of the correction member 35 at the time of pressing is around 500° C., it is sufficiently lower than the temperature at which the correction member 35 deforms 574° C. (transition point Tg of L-LAH53=574° C.). Therefore, the correction member 35 is not deformed during pressing, and the pressing force can be applied to the upper mold 11 while maintaining the state in which the relative inclination α between the upper and lower press surfaces 311 and 321 is offset. Becomes In the pressing step, the molding material M is gradually deformed by such pressing force, and when the desired thickness is reached, the upper plate 31 is retracted upward and the pressing is finished.

(冷却工程)
続いて、図示しない搬送アームによって型セット10を冷却ステージ30cに搬送し、型セット10を100℃まで冷却し(図2のステップS23参照)、冷却後の型セット10を成形室30から排出する。以上の手順により、上下のプレス面311,321同士の相対的な傾きαが転写されていない、高い偏心精度を持つ光学素子を得ることができる。
(Cooling process)
Subsequently, the mold set 10 is conveyed to the cooling stage 30c by a transfer arm (not shown), the mold set 10 is cooled to 100° C. (see step S23 in FIG. 2), and the cooled mold set 10 is discharged from the molding chamber 30. .. By the procedure described above, it is possible to obtain an optical element having a high eccentricity accuracy in which the relative inclination α between the upper and lower press surfaces 311 and 321 is not transferred.

以上説明した実施の形態に係る光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法によれば、上部プレート31および下部プレート32におけるプレス面311,321同士の相対的な傾きを転写した補正部材35を介して成形素材Mを押圧することにより、プレス面311,321同士の相対的な傾きを相殺することができるため、プレート間の平行度を調整することなく、高い偏心精度を持つ光学素子を製造することが可能となる。 According to the optical element manufacturing apparatus, the optical element manufacturing method, and the optical element manufacturing apparatus setting method according to the above-described embodiments, the pressing surfaces 311 and 321 of the upper plate 31 and the lower plate 32 are relatively arranged. By pressing the molding material M via the correction member 35 to which the inclination is transferred, the relative inclination between the press surfaces 311 and 321 can be canceled out, so that the parallelism between the plates can be increased without adjustment. It becomes possible to manufacture an optical element having decentering accuracy.

[変形例]
例えば光学素子を成形する際の成形素材Mを別の温度域のものに変更する場合や、成形装置1のメンテナンスを行う場合、補正部材35を上部プレート31から取り外す必要がある。この場合、前記した実施の形態では、アタッチメント36を取り外さなければ補正部材35を取り外すことができないが、例えば図7に示すような構成であれば、補正部材35をより容易に取り外すことが可能である。
[Modification]
For example, when the molding material M for molding the optical element is changed to another temperature range, or when the molding apparatus 1 is maintained, the correction member 35 needs to be removed from the upper plate 31. In this case, in the above-described embodiment, the correction member 35 cannot be removed without removing the attachment 36, but the correction member 35 can be removed more easily with the configuration shown in FIG. 7, for example. is there.

変形例に係る成形装置は、アタッチメント36を備えておらず、上部プレート31Aの内部に、吸気を行う吸引部37が設けられている。この吸引部37は、図示しない吸引装置に接続されている。このような構成を備える変形例に係る成形装置では、吸引部37によって補正部材35を上部プレート31Aのプレス面311に吸着して保持する。なおその際、補正部材35と、補正部材用成形素材Mcの押圧工程(図3参照)における上部プレート31Aとの間の光軸を中心とした回転方向の位置関係を保持するために、例えば図示しない回転方向合わせ用の治具を用いて補正部材35をプレス面311に押し当てながら補正部材35をプレス面311に吸着させることが好ましい。 The molding apparatus according to the modified example does not include the attachment 36, and the suction portion 37 that performs suction is provided inside the upper plate 31A. The suction unit 37 is connected to a suction device (not shown). In the molding apparatus according to the modified example having such a configuration, the correction member 35 is sucked and held by the suction surface 37 on the press surface 311 of the upper plate 31A. At that time, in order to maintain the positional relationship in the rotational direction about the optical axis between the correction member 35 and the upper plate 31A in the step of pressing the correction member molding material Mc (see FIG. 3), for example, the illustration It is preferable that the correction member 35 is attracted to the press surface 311 while pressing the correction member 35 against the press surface 311 using a jig for adjusting the rotation direction.

以上、本発明に係る光学素子の製造装置、光学素子の製造方法および光学素子の製造装置の設定方法について、発明を実施するための形態により具体的に説明したが、本発明の趣旨はこれらの記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて広く解釈されなければならない。また、これらの記載に基づいて種々変更、改変等したものも本発明の趣旨に含まれることはいうまでもない。 Although the optical element manufacturing apparatus, the optical element manufacturing method, and the optical element manufacturing apparatus setting method according to the present invention have been specifically described above with reference to the mode for carrying out the invention, the gist of the present invention is these. The present invention is not limited to the description and should be broadly construed based on the description of the claims. Further, it goes without saying that various changes and modifications based on these descriptions are also included in the spirit of the present invention.

例えば、前記した実施の形態では、本発明を循環式の成形装置1に適用した例について説明したが、金型固定式の成形装置に適用してもよい。 For example, in the above-described embodiment, an example in which the present invention is applied to the circulation type molding apparatus 1 has been described, but the present invention may be applied to a mold fixed type molding apparatus.

また、前記した実施の形態では、補正部材35をプレスステージ30bの上部プレート31にのみに装着していたが、必要に応じて、補正部材35を加熱ステージ30aや冷却ステージ30cの上部プレート31に装着してもよい。 Further, in the above-described embodiment, the correction member 35 is attached only to the upper plate 31 of the press stage 30b, but the correction member 35 may be attached to the upper plate 31 of the heating stage 30a or the cooling stage 30c as necessary. You may wear it.

1 成形装置
10 型セット
11 上型
11a 転写面
12 下型
12a 転写面
13 スリーブ
30 成形室
301 成形室上板
302 成形室下板
303 入口シャッター
304 出口シャッター
30a 加熱ステージ
30b プレスステージ
30c 冷却ステージ
31,31A 上部プレート
311 プレス面
32 下部プレート
321 プレス面
33 駆動部
34 固定ネジ
35,35A 補正部材
351 上面
352 下面
353 平面部
354 マーキング
36 アタッチメント(接続部材)
361 ネジ孔
37 吸引部
40 補正部材用型セット
41 上型
41a 転写面
42 下型
42a 転写面
43 スリーブ
M 成形素材
Mc 補正部材用成形素材
1 Molding Equipment 10 Mold Set 11 Upper Mold 11a Transfer Surface 12 Lower Mold 12a Transfer Surface 13 Sleeve 30 Molding Room 301 Molding Chamber Upper Plate 302 Molding Chamber Lower Plate 303 Inlet Shutter 304 Outlet Shutter 30a Heating Stage 30b Press Stage 30c Cooling Stage 31, 31A Upper plate 311 Press surface 32 Lower plate 321 Press surface 33 Drive part 34 Fixing screw 35, 35A Correction member 351 Upper surface 352 Lower surface 353 Flat part 354 Marking 36 Attachment (connection member)
361 Screw hole 37 Suction part 40 Correcting member mold set 41 Upper mold 41a Transfer surface 42 Lower mold 42a Transfer surface 43 Sleeve M Molding material Mc Correcting member molding material

Claims (5)

金型内に配置した成形素材を押圧変形して光学素子を成形する光学素子の製造装置であって、
前記金型を構成する上型および下型に押圧力を付与するプレス面をそれぞれ有する上部プレートおよび下部プレートを備え、
前記上部プレートは、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を、前記プレス面に装着可能な接続部材を備えることを特徴とする光学素子の製造装置。
An optical element manufacturing apparatus for molding an optical element by pressing and deforming a molding material arranged in a mold,
An upper plate and a lower plate each having a pressing surface for applying a pressing force to the upper mold and the lower mold that configure the mold,
An apparatus for manufacturing an optical element, wherein the upper plate includes a connecting member capable of mounting a correction member, on which the relative inclination of the pressing surfaces of the upper plate and the lower plate is transferred, on the pressing surface.
前記補正部材を備え、
前記補正部材は、前記補正部材に転写された傾きが、前記プレス面同士の傾きと一致するように、前記接続部材によって前記上部プレートのプレス面に装着されていることを特徴とする請求項1に記載の光学素子の製造装置。
Comprising the correction member,
The correction member is attached to the press surface of the upper plate by the connecting member so that the inclination transferred to the correction member matches the inclination of the press surfaces. An apparatus for manufacturing an optical element according to.
前記補正部材は、前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光学素子の製造装置。 The apparatus for manufacturing an optical element according to claim 1, wherein the correction member is made of a material that does not deform in a manufacturing temperature range of the molding material. 上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置を用いた光学素子の製造方法であって、
前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着する設定工程と、
所望の光学機能面を創生する転写面を有する上型および下型から構成された前記金型内に前記成形素材を配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって、前記補正部材を介して前記金型に押圧力を付与し、前記成形素材に前記光学機能面を転写する製造工程と、
を含むことを特徴とする光学素子の製造方法。
A method of manufacturing an optical element using a manufacturing apparatus for applying a pressing force to a mold by a pressing surface of each of an upper plate and a lower plate to mold an optical element from a molding material arranged in the mold,
The correction member molding material made of a material that does not deform in the manufacturing temperature zone of the molding material is placed in a correction member mold composed of an upper mold and a lower mold each having a planar transfer surface, and the upper plate And by applying a pressing force to the correction member mold by the lower plate to form a correction member in which the relative inclination of the pressing surfaces of the upper plate and the lower plate is transferred, A setting step of mounting the correction member on the press surface,
The molding material is arranged in the mold composed of an upper mold and a lower mold having a transfer surface for creating a desired optical function surface, and the upper plate and the lower plate form the correction member through the correction member. A manufacturing process in which a pressing force is applied to the mold and the optical functional surface is transferred to the molding material,
A method for manufacturing an optical element, comprising:
上部プレートおよび下部プレートのそれぞれのプレス面により金型に押圧力を付与し、前記金型内に配置した成形素材から光学素子を成形する製造装置の設定方法であって、
前記成形素材の製造温度帯では変形しない材料からなる補正部材用成形素材を、それぞれ平面状の転写面を有する上型および下型から構成された補正部材用金型内に配置し、前記上部プレートおよび前記下部プレートによって前記補正部材用金型に押圧力を付与することにより、前記上部プレートおよび前記下部プレートにおけるプレス面同士の相対的な傾きを転写した補正部材を成形した後、前記上部プレートのプレス面に前記補正部材を装着することを特徴とする光学素子の製造装置の設定方法。
A setting method of a manufacturing apparatus for applying a pressing force to a mold by the respective pressing surfaces of the upper plate and the lower plate, and molding an optical element from a molding material arranged in the mold,
A correction member molding material made of a material that does not deform in the manufacturing temperature range of the molding material is disposed in a correction member mold composed of an upper mold and a lower mold each having a planar transfer surface, and the upper plate is provided. And by applying a pressing force to the correction member mold by the lower plate to form a correction member in which the relative inclination of the pressing surfaces of the upper plate and the lower plate is transferred, A method for setting an optical element manufacturing apparatus, characterized in that the correction member is mounted on a press surface.
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