JP6734738B2 - 電子増倍体、及び、光電子増倍管 - Google Patents
電子増倍体、及び、光電子増倍管 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6734738B2 JP6734738B2 JP2016169806A JP2016169806A JP6734738B2 JP 6734738 B2 JP6734738 B2 JP 6734738B2 JP 2016169806 A JP2016169806 A JP 2016169806A JP 2016169806 A JP2016169806 A JP 2016169806A JP 6734738 B2 JP6734738 B2 JP 6734738B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- channel
- hole
- plate
- shaped member
- hole portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 77
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
- H01J43/243—Dynodes consisting of a piling-up of channel-type dynode plates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
Claims (9)
- 第1方向に沿って延在する本体部と、
前記第1方向における前記本体部の一端面及び他端面に開口するように前記本体部に設けられ、入射した電子に応じて二次電子を放出する第1チャネルと、
前記第1方向における前記一端面及び前記他端面に開口するように前記本体部に設けられ、入射した電子に応じて二次電子を放出する第2チャネルと、を備え、
前記本体部は、第1方向に交差する第2方向に沿って互いに積層され、前記第1チャネル及び前記第2チャネルを形成するための第1板状部材及び第2板状部材を有し、
前記第1板状部材は、前記第2方向に交差する第1表面及び第1裏面と、前記第1表面から前記第1裏面に至ると共に前記第1表面及び前記第1裏面に沿って延びる第1孔部が形成された第1孔部領域と、前記第1孔部領域に隣接する第1中実領域と、を含み、
前記第2板状部材は、前記第2方向に交差する第2表面及び第2裏面と、前記第2表面から前記第2裏面に至ると共に前記第2表面及び前記第2裏面に沿って延びる第2孔部が形成された第2孔部領域と、前記第2孔部領域に隣接する第2中実領域と、を含み、
前記第1孔部領域は、前記第2方向に沿って前記第2中実領域に対向しており、
前記第2孔部領域は、前記第2方向に沿って前記第1中実領域に対向しており、
前記第1チャネルは、前記第1孔部の内面と、前記第2中実領域における前記第1孔部内に臨む面と、を含んで形成されており、
前記第2チャネルは、前記第2孔部の内面と、前記第1中実領域における前記第2孔部内に臨む面と、を含んで形成されており、
前記第1板状部材には、前記第1表面から前記第1裏面に至ると共に前記一端面から前記第1孔部に接続されるように延びる第3孔部が設けられており、
前記第2板状部材には、前記第2表面から前記第2裏面に至ると共に前記一端面から前記第2孔部に接続されるように延びる第4孔部が設けられており、
前記第3孔部と前記第4孔部とは、前記第2方向に沿って互いに重複している、
電子増倍体。 - 前記第1板状部材は、前記第1方向及び前記第2方向に交差する第3方向に沿って配列された複数の前記第1孔部領域及び複数の前記第1中実領域を含み、
前記第2板状部材は、前記第3方向に沿って配列された複数の前記第2孔部領域及び複数の前記第2中実領域を含む、
請求項1に記載の電子増倍体。 - 前記本体部は、複数の前記第1板状部材及び複数の前記第2板状部材を有し、
前記第1板状部材と前記第2板状部材とは、前記第2方向に沿って交互に積層されている、
請求項1又は2に記載の電子増倍体。 - 前記第1孔部及び前記第2孔部は、それぞれ、前記第1方向に沿って延びる第1部分と、前記第1方向に交差する方向に沿って延びる第2部分と、を含む、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子増倍体。 - 前記第1孔部の内面、前記第2中実領域における前記第1孔部内に臨む面、前記第2孔部の内面、及び、前記第1中実領域における前記第2孔部内に臨む面には、抵抗層及び二次電子増倍層が順に形成されている、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の電子増倍体。 - 前記第1板状部材及び前記第2板状部材は、導電体であり、
前記第1孔部の内面、前記第2中実領域における前記第1孔部内に臨む面、前記第2孔部の内面、及び、前記第1中実領域における前記第2孔部内に臨む面と、前記抵抗層と、の間には、絶縁膜が形成されている、
請求項5に記載の電子増倍体。 - 第1方向に沿って延在する本体部と、
前記第1方向における前記本体部の一端面及び他端面に開口するように前記本体部に設けられ、入射した電子に応じて二次電子を放出する第1チャネルと、
前記第1方向における前記一端面及び前記他端面に開口するように前記本体部に設けられ、入射した電子に応じて二次電子を放出する第2チャネルと、を備え、
前記本体部は、第1方向に交差する第2方向に沿って互いに積層され、前記第1チャネル及び前記第2チャネルを形成するための第1板状部材及び第2板状部材を有し、
前記第1板状部材は、前記第2方向に交差する第1表面及び第1裏面と、前記第1表面から前記第1裏面に至ると共に前記第1表面及び前記第1裏面に沿って延びる第1孔部が形成された第1孔部領域と、前記第1孔部領域に隣接する第1中実領域と、を含み、
前記第2板状部材は、前記第2方向に交差する第2表面及び第2裏面と、前記第2表面から前記第2裏面に至ると共に前記第2表面及び前記第2裏面に沿って延びる第2孔部が形成された第2孔部領域と、前記第2孔部領域に隣接する第2中実領域と、を含み、
前記第1孔部領域は、前記第2方向に沿って前記第2中実領域に対向しており、
前記第2孔部領域は、前記第2方向に沿って前記第1中実領域に対向しており、
前記第1チャネルは、前記第1孔部の内面と、前記第2中実領域における前記第1孔部内に臨む面と、を含んで形成されており、
前記第2チャネルは、前記第2孔部の内面と、前記第1中実領域における前記第2孔部内に臨む面と、を含んで形成されており、
前記第1孔部及び前記第2孔部は、それぞれ、前記第1方向に沿って延びる第1部分と、前記第1方向に交差する方向に沿って延びる第2部分と、を含む、
電子増倍体。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の電子増倍体と、
前記電子増倍体を収容する管体と、
前記一端面における前記第1チャネル及び前記第2チャネルの開口に臨むように前記管体に設けられ、前記第1チャネル及び前記第2チャネルに光電子を供給する光電面と、
前記他端面における前記第1チャネル及び前記第2チャネルの開口に臨むように前記管体内に配置され、前記第1チャネル及び前記第2チャネルから放出される二次電子を受ける陽極と、
を備える光電子増倍管。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の電子増倍体と、
前記一端面における前記第1チャネル及び前記第2チャネルの開口を塞ぐように設けられ、前記第1チャネル及び前記第2チャネルに光電子を供給する光電面と、
前記他端面における前記第1チャネル及び前記第2チャネルの開口を塞ぐように設けられ、前記第1チャネル及び前記第2チャネルから放出される二次電子を受ける陽極と、
を備える光電子増倍管。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016169806A JP6734738B2 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | 電子増倍体、及び、光電子増倍管 |
PCT/JP2017/028240 WO2018043024A1 (ja) | 2016-08-31 | 2017-08-03 | 電子増倍体、及び、光電子増倍管 |
US16/317,947 US10629418B2 (en) | 2016-08-31 | 2017-08-03 | Electron multiplier and photomultiplier tube |
CN201780052892.1A CN109643631B (zh) | 2016-08-31 | 2017-08-03 | 电子倍增体和光电倍增管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016169806A JP6734738B2 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | 電子増倍体、及び、光電子増倍管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018037295A JP2018037295A (ja) | 2018-03-08 |
JP6734738B2 true JP6734738B2 (ja) | 2020-08-05 |
Family
ID=61301499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016169806A Active JP6734738B2 (ja) | 2016-08-31 | 2016-08-31 | 電子増倍体、及び、光電子増倍管 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10629418B2 (ja) |
JP (1) | JP6734738B2 (ja) |
CN (1) | CN109643631B (ja) |
WO (1) | WO2018043024A1 (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3244922A (en) | 1962-11-05 | 1966-04-05 | Itt | Electron multiplier having undulated passage with semiconductive secondary emissive coating |
GB1064243A (en) * | 1963-10-08 | 1967-04-05 | Mullard Ltd | Improvements in or relating to image intensifiers and the like |
JPS4818030B1 (ja) | 1968-04-16 | 1973-06-02 | ||
FR2040610A5 (ja) | 1969-04-04 | 1971-01-22 | Labo Electronique Physique | |
US3665497A (en) | 1969-12-18 | 1972-05-23 | Bendix Corp | Electron multiplier with preamplifier |
US4305744A (en) * | 1978-10-24 | 1981-12-15 | Universite Laval, Cite Universitaire | Method of making an electron multiplier device |
US4757229A (en) * | 1986-11-19 | 1988-07-12 | K And M Electronics, Inc. | Channel electron multiplier |
EP0413482B1 (en) * | 1989-08-18 | 1997-03-12 | Galileo Electro-Optics Corp. | Thin-film continuous dynodes |
FR2676862B1 (fr) | 1991-05-21 | 1997-01-03 | Commissariat Energie Atomique | Structure multiplicatrice d'electrons en ceramique notamment pour photomultiplicateur et son procede de fabrication. |
KR100499866B1 (ko) * | 2002-12-18 | 2005-07-07 | 한국과학기술원 | 요철모양의 금형을 이용한 mcp 제작 방법 및 장치 |
US7687978B2 (en) | 2006-02-27 | 2010-03-30 | Itt Manufacturing Enterprises, Inc. | Tandem continuous channel electron multiplier |
CN102468110B (zh) * | 2010-10-29 | 2016-04-06 | 浜松光子学株式会社 | 光电倍增管 |
-
2016
- 2016-08-31 JP JP2016169806A patent/JP6734738B2/ja active Active
-
2017
- 2017-08-03 WO PCT/JP2017/028240 patent/WO2018043024A1/ja active Application Filing
- 2017-08-03 CN CN201780052892.1A patent/CN109643631B/zh active Active
- 2017-08-03 US US16/317,947 patent/US10629418B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018037295A (ja) | 2018-03-08 |
CN109643631B (zh) | 2021-03-16 |
CN109643631A (zh) | 2019-04-16 |
US10629418B2 (en) | 2020-04-21 |
US20190295829A1 (en) | 2019-09-26 |
WO2018043024A1 (ja) | 2018-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5452038B2 (ja) | 電子増倍器及び電子検出器 | |
CN109643627B (zh) | 电子倍增器的制造方法及电子倍增器 | |
JP6734738B2 (ja) | 電子増倍体、及び、光電子増倍管 | |
JPH08306335A (ja) | マルチ・チャンネル電子増倍器 | |
JP6407767B2 (ja) | 電子増倍体の製造方法、光電子増倍管、及び光電子増倍器 | |
JP6474281B2 (ja) | 電子増倍体、光電子増倍管、及び光電子増倍器 | |
JP6694033B2 (ja) | 電子増倍体及び光電子増倍管 | |
JPS62160652A (ja) | 高い補集効率を有する増倍素子、この増倍素子を有する増倍器、この増倍素子を用いた光増倍管、および増倍素子の製造方法 | |
JP2008098174A (ja) | 光電子増倍管 | |
JP6983956B2 (ja) | 電子増倍体 | |
JP2008098173A (ja) | 光電子増倍管 | |
US8330364B2 (en) | Photomultiplier | |
WO1998057353A1 (fr) | Multiplicateur d'electrons et photomultiplicateur | |
JP2008098175A (ja) | 光電子増倍管 | |
JP2008098172A (ja) | 光電子増倍管 | |
JP6411277B2 (ja) | マイクロチャンネルプレート、光電子増倍管、及びイメージインテンシファイア | |
WO2005091332A1 (ja) | マルチアノード型光電子増倍管 | |
FR2599557A1 (fr) | Plaque multiplicatrice d'electrons a multiplication dirigee, element multiplicateur comprenant ladite plaque, dispositif multiplicateur comportant ledit element et application dudit dispositif a un tube photomultiplicateur | |
JP2016207561A (ja) | マイクロチャンネルプレート | |
JP5284635B2 (ja) | 電子増倍管 | |
JP2013045748A (ja) | 電子増倍器 | |
JP2007012308A (ja) | 二次電子増倍電極及び光電子増倍管 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200519 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200625 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200710 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6734738 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |