JP6731668B2 - 顕微鏡観察方法及び顕微鏡観察補助装置 - Google Patents
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Description
2 試料
2a 溶液
3 対物レンズ
10 可動ステージ
12 ディッシュ
14 電子線透過膜
15 窓
21 真空チャンバ
22 電子銃
23 電子検出器
23a 画像表示手段
30、40 カップ
32 風船体
40b 吸盤
50 顕微鏡観察補助装置
A 光学顕微鏡部
B 走査電子顕微鏡部
Claims (9)
- 倒立型走査電子顕微鏡のステージ上で溶液中の試料を観察する方法であって、
前記ステージ上の電子線透過膜に前記試料を含む前記溶液を滴下し、弾性フィルムからなる風船体を入れたカップを前記ステージ上で前記溶液の上にかぶせ、前記カップ及び前記ステージの内部を脱気し前記風船体を膨らませ、前記溶液を前記カップの外部へと排出せしめつつ前記試料を前記電子線透過膜に押し付け、前記電子線透過膜を介して電子線を前記試料に照射して観察を行うことを特徴とする顕微鏡観察方法。 - 前記弾性フィルムはこれを間に介して前記試料を光学顕微鏡観察できる光透過性を有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡観察方法。
- 前記弾性フィルムはシリコンゴムであることを特徴とする請求項1又は2に記載の顕微鏡観察方法。
- 前記風船体は前記カップの外部と通じる管路を有しその内部圧力を制御されることを特徴とする請求項1乃至3のうちの1つに記載の顕微鏡観察方法。
- 倒立型走査電子顕微鏡のステージ上で溶液中の試料を観察するための補助装置であって、
弾性フィルムからなる風船体を入れられ前記ステージ上の電子線透過膜に滴下される前記試料を含む前記溶液の上にかぶせられるカップと、前記カップ及び前記ステージの内部を脱気する脱気手段と、とからなり、前記カップを前記ステージ上で前記溶液の上にかぶせ、前記カップ及び前記ステージの内部を脱気し前記風船体を膨らませ、前記溶液を前記カップの外部へと排出せしめつつ前記試料を前記電子線透過膜に押し付け可能とすることを特徴とする顕微鏡観察補助装置。 - 前記弾性フィルムはこれを間に介して前記試料を光学顕微鏡観察できる光透過性を有することを特徴とする請求項5記載の顕微鏡補助装置。
- 前記弾性フィルムはシリコンゴムであることを特徴とする請求項5又は6に記載の顕微鏡補助装置。
- 前記風船体は前記カップの外部と通じる管路を有しその内部圧力を制御可能としていることを特徴とする請求項5乃至7のうちの1つに記載の顕微鏡観察補助装置。
- 前記カップは前記ステージに吸着する吸盤体であることを特徴とする請求項8記載の顕微鏡補助装置。
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