JP6729263B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 第2カンチレバー
3 発光部
4 受光部
6 光路切替機構
7 逃がし機構
8 変位機構
9 制御部
10 ステージ
11 反射面
12 探針
21 反射面
22 探針
41 第1受光部
42 第2受光部
Claims (5)
- 試料の表面に沿って走査される計測用カンチレバーと、
前記計測用カンチレバーよりも撓みやすく、試料に対する接触を検出するための接触検出用カンチレバーと、
試料に対する前記計測用カンチレバー及び前記接触検出用カンチレバーの相対位置を変化させる変位機構と、
試料に接触した前記接触検出用カンチレバーを試料から退避させる逃がし機構と、
前記計測用カンチレバー及び前記接触検出用カンチレバーに向けて光を照射する少なくとも1つの発光部と、
前記計測用カンチレバー及び前記接触検出用カンチレバーからの反射光を受光する少なくとも1つの受光部と、
前記変位機構により前記計測用カンチレバー及び前記接触検出用カンチレバーを第1の速度で試料に近付けて、前記計測用カンチレバーよりも先に試料に接触する前記接触検出用カンチレバーの試料に対する接触を前記受光部における受光強度に基づいて検出し、その検出結果に基づいて前記逃がし機構により前記接触検出用カンチレバーを前記計測用カンチレバーよりも試料から離間する位置まで退避させた後、前記第1の速度よりも遅い第2の速度で前記変位機構により前記計測用カンチレバーを試料に近付ける制御部とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記発光部は、前記計測用カンチレバー及び前記接触検出用カンチレバーの両方に向けて光を照射する1つの共用発光部からなり、
前記共用発光部からの光の光路を切り替えることにより、その光を前記計測用カンチレバー又は前記接触検出用カンチレバーに対して選択的に照射させる光路切替機構をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。 - 前記受光部は、前記計測用カンチレバー及び前記接触検出用カンチレバーの両方からの反射光を受光する共用受光部からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記受光部は、2軸方向に配列された複数の受光面により前記計測用カンチレバーからの反射光を受光する計測用受光部と、1軸方向に配列された複数の受光面により前記接触検出用カンチレバーからの反射光を受光する接触検出用受光部とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型プローブ顕微鏡。
- 前記制御部は、前記接触検出用カンチレバーが試料に接触した後、当該接触検出用カンチレバーを試料の表面に沿って走査させ、その後に前記逃がし機構により前記接触検出用カンチレバーを前記計測用カンチレバーよりも試料から離間する位置まで退避させることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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Family Applications (1)
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JP2016197951A Active JP6729263B2 (ja) | 2016-10-06 | 2016-10-06 | 走査型プローブ顕微鏡 |
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- 2016-10-06 JP JP2016197951A patent/JP6729263B2/ja active Active
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