JP6726077B2 - Processor - Google Patents

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Description

本発明は、処理装置に関する。 The present invention relates to a processing device.

方形板状又は帯板状のフレキシブルワークの外縁を把持して検査又は加工する処理装置が用いられている。このような処理装置としては、例えばフレキシブルプリント基板の検査装置や穿孔装置等が挙げられる（例えば特開２０００−２０２７９９号公報、特開２００６−３３２４２２号公報）。 2. Description of the Related Art A processing device is used that grips an outer edge of a rectangular plate-shaped or strip-shaped flexible work and inspects or processes it. Examples of such a processing device include a flexible printed circuit board inspection device and a punching device (for example, JP 2000-202799 A and JP 2006-332422 A).

このような処理装置において、検査ヘッド又は加工ヘッドがフレキシブルワークに当接する位置が、フレキシブルワークの外縁を把持する位置からフレキシブルワークの表面の法線方向に位置ずれする場合がある。このような位置ずれが起きると、フレキシブルワークが把持部のエッジに強く押し当てられて損傷するおそれがある。 In such a processing apparatus, the position where the inspection head or the processing head contacts the flexible work may be displaced from the position where the outer edge of the flexible work is gripped in the direction normal to the surface of the flexible work. When such a positional deviation occurs, the flexible work may be strongly pressed against the edge of the grip portion and may be damaged.

特開２０００−２０２７９９号公報JP-A-2000-202799 特開２００６−３３２４２２号公報JP, 2006-332422, A

前記不都合に鑑みて、本発明は、把持部のエッジでフレキシブルワークが損傷することを防止できる処理装置を提供することを課題とする。 In view of the above-mentioned inconvenience, an object of the present invention is to provide a processing device capable of preventing the flexible work from being damaged at the edge of the grip portion.

前記課題を解決するためになされた発明は、検査対象又は加工対象である板状のフレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、前記各把持部を支持し、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有する支持部とを備えていることを特徴とする処理装置である。 The invention made in order to solve the above-mentioned problems, a plurality of gripping portions that grip the outer edge of a plate-shaped flexible work that is an inspection target or a processing target, and a gripping portion that supports and supports each of the gripping portions. A processing apparatus comprising: a parallel movement mechanism having one degree of freedom or more; or a support section having a swinging mechanism.

前記支持部が前記フレキシブルワークを法線方向に平行移動させる平行移動機構を有するとよい。 It is preferable that the support portion has a parallel movement mechanism that translates the flexible work in the normal direction.

前記平行移動機構が１自由度の運動機構であるとよい。 The parallel movement mechanism may be a movement mechanism having one degree of freedom.

前記支持部が前記フレキシブルワークをその表面と平行な軸中心に旋回させる首振り機構を有するとよい。 It is preferable that the support portion has a swinging mechanism that swings the flexible work about an axis parallel to the surface of the flexible work.

前記首振り機構が２自由度の運動機構であるとよい。 The swinging mechanism is preferably a two-degree-of-freedom moving mechanism.

前記支持部が支持する把持部を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有するとよい。 It is preferable to further include a restoration mechanism for automatically returning the gripping portion supported by the supporting portion to the initial position.

前記フレキシブルワークの表面に当接するよう移動可能に構成される検査ヘッド又は加工ヘッドをさらに備えるとよい。 It is preferable to further include an inspection head or a processing head configured to be movable so as to come into contact with the surface of the flexible work.

本発明の処理装置は、前記フレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、前記各把持部を支持する支持部とを備えており、前記支持部が、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有している。これによって、当該処理装置は、フレキシブルワークの検査又は加工の際に、検査ヘッド又は加工ヘッドのフレキシブルワークに対する当接位置と複数の把持部によるフレキシブルワークの把持位置とのフレキシブルワークの法線方向の位置ずれを吸収し、把持部のエッジでフレキシブルワークが損傷することを防止できる。 The processing apparatus of the present invention includes a plurality of grips that grip the outer edge of the flexible work, and a support that supports each of the grips, and the support can freely move with respect to the grips that it supports. It has a parallel movement mechanism or a swinging mechanism more than a degree. Thus, the processing apparatus, when inspecting or processing the flexible work, detects the contact position of the inspection head or the processing head with respect to the flexible work and the gripping position of the flexible work by the plurality of gripping portions in the normal direction of the flexible work. It is possible to absorb the positional deviation and prevent the flexible work from being damaged at the edge of the grip portion.

本発明の一実施形態の処理装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the processing apparatus of one Embodiment of this invention. 図１の処理装置における把持デバイスの模式的側面図である。FIG. 2 is a schematic side view of a grip device in the processing apparatus of FIG. 1. 図１の処理装置による電気検査の一工程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows 1 process of the electrical inspection by the processing apparatus of FIG. 図１の処理装置による電気検査の図３の次の工程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the next process of FIG. 3 of the electrical inspection by the processing apparatus of FIG. 本発明の図１とは異なる実施形態の処理装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the processing apparatus of embodiment different from FIG. 1 of this invention. 図５の処理装置における把持デバイスの模式的側面図である。6 is a schematic side view of a gripping device in the processing apparatus of FIG. 5. FIG. 図２及び図６とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的側面図である。FIG. 7 is a schematic side view of a gripping device according to an embodiment different from FIGS. 2 and 6. 図２、図６及び図７とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的側面図である。FIG. 8 is a schematic side view of a gripping device according to an embodiment different from FIGS. 2, 6, and 7. 図２、図６、図７及び図８とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的平面図である。FIG. 9 is a schematic plan view of a gripping device according to an embodiment different from FIGS. 2, 6, 7 and 8. 図９の把持デバイスの模式的側面図（Ａ方向視図）である。It is a typical side view (A direction view) of the holding|grip device of FIG. 図１０の把持デバイスの模式的正面図（Ｂ方向視図）である。FIG. 11 is a schematic front view (view from the B direction) of the grip device of FIG. 10. 図２、図６、図７、図８及び図９とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view of a gripping device according to an embodiment different from FIGS. 2, 6, 7, 8 and 9.

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.

［第一実施形態］
図１に本発明の一実施形態に係る処理装置の構成を示す。図１の処理装置は、薄い方形板状のフレキシブルワークであるフレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を検査する電気検査装置である。 [First embodiment]
FIG. 1 shows the configuration of a processing apparatus according to an embodiment of the present invention. The processing apparatus of FIG. 1 is an electrical inspection apparatus for inspecting the electrical characteristics of a flexible printed board P which is a thin rectangular plate-shaped flexible work.

当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐを挟んで対向して配設され、フレキシブルプリント基板Ｐの表面に当接するよう移動可能な第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と、この第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ駆動する第１駆動機構３及び第２駆動機構４と、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する複数の把持デバイス５と、フレキシブルプリント基板Ｐを撮影する第１カメラ６及び第２カメラ７と、第１駆動機構３及び第２駆動機構４を制御するコントローラー８とを備える。 The processing apparatus is provided so as to face each other with the flexible printed circuit board P sandwiched therebetween, and is movable so as to come into contact with the surface of the flexible printed circuit board P. A first drive mechanism 3 and a second drive mechanism 4 that drive the electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2, respectively, a plurality of gripping devices 5 that grip the outer edge of the flexible printed circuit board P, and an image of the flexible printed circuit board P. It includes a first camera 6 and a second camera 7, and a controller 8 that controls the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4.

また、当該処理装置は、各構成要素を支持する不図示のフレーム等をさらに備えることができる。 Further, the processing apparatus can further include a frame or the like (not shown) that supports each component.

＜フレキシブルプリント基板＞
当該処理装置により電気的特性を検査するフレキシブルプリント基板Ｐとしては、典型的には、平面視方形状の可撓性を有するシート状の基材の上に複数の機能部が形成され、最終的に各機能部を含む部分を切り出して複数の電子部品を得るものが想定される。 <Flexible printed circuit board>
As the flexible printed circuit board P whose electrical characteristics are inspected by the processing apparatus, typically, a plurality of functional portions are formed on a sheet-shaped base material having flexibility in a plan view shape, and finally, It is assumed that a plurality of electronic components are obtained by cutting out a portion including each functional unit.

このようなフレキシブルプリント基板Ｐは、個々の機能部又は少数の機能部を含む比較的小さい領域が第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって検査される検査対象部とされる。換言すると、フレキシブルプリント基板Ｐは、複数の検査対象部を有する。このため、フレキシブルプリント基板Ｐは、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって場所を変えて繰り返し挟持されて、各検査対象部の電気的特性が順番に検査される。 In such a flexible printed circuit board P, a comparatively small area including individual functional parts or a small number of functional parts is an inspection target part that is inspected by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. In other words, the flexible printed board P has a plurality of inspection target parts. Therefore, the flexible printed circuit board P is repeatedly sandwiched between the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2 at different locations, and the electric characteristics of each inspection target portion are inspected in order.

＜電気検査ヘッド＞
第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、フレキシブルプリント基板Ｐを挟んで対向するよう配設され、複数のプローブ９と、この複数のプローブ９がそれぞれ挿入される複数のガイド孔を有するガイドプレート１０とをそれぞれ有する <Electrical inspection head>
The first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2 are arranged so as to face each other with the flexible printed circuit board P sandwiched therebetween, and have a plurality of probes 9 and a plurality of guide holes into which the plurality of probes 9 are respectively inserted. And a guide plate 10 having

（プローブ）
複数のプローブ９は、ガイドプレート１０に垂直、かつそれぞれの先端がガイドプレート１０から僅かに突出するよう保持される。また、複数のプローブ９は、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの所定の測定点に当接できるよう配置される。 (probe)
The plurality of probes 9 are held perpendicularly to the guide plate 10 and their tips are slightly projected from the guide plate 10. In addition, the plurality of probes 9 are arranged so as to come into contact with predetermined measurement points on the conductive pattern of the flexible printed board P.

（ガイドプレート）
ガイドプレート１０は、絶縁性を有する材料から形成され、フレキシブルプリント基板Ｐに対向し、電気検査の際にフレキシブルプリント基板Ｐと当接する平坦な当接面１１を有する。 (Guide plate)
The guide plate 10 is made of an insulating material and has a flat contact surface 11 that faces the flexible printed circuit board P and contacts the flexible printed circuit board P during an electrical inspection.

また、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、複数のプローブ９を介してフレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を測定するための回路を有するものとすることが好ましい。つまり、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、フレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を測定し、測定結果を比較的少数の配線を介してコントローラー８に出力することができるような測定回路を有するとよい。 Further, it is preferable that the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2 have a circuit for measuring the electric characteristics of the flexible printed circuit board P via the plurality of probes 9. That is, the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2 can measure the electrical characteristics of the flexible printed circuit board P and output the measurement result to the controller 8 via a relatively small number of wirings. It is preferable to have a measurement circuit.

さらに、後で詳しく説明するように先にフレキシブルプリント基板Ｐに圧接される第１電気検査ヘッド１は、フレキシブルプリント基板Ｐの表裏面のうち導電パターンの配線幅が相対的に大きい側の面に圧接されることが好ましい。逆に言うと、当該処理装置を使用するときは、フレキシブルプリント基板Ｐを導電パターンの配線幅が大きい側が第１電気検査ヘッド１に対向するよう配置することが好ましい。 Further, as will be described later in detail, the first electrical inspection head 1 that is pressed against the flexible printed circuit board P first is mounted on the surface of the front and back surfaces of the flexible printed circuit board P where the wiring width of the conductive pattern is relatively large. It is preferable that they are pressed together. Conversely, when the processing apparatus is used, it is preferable to arrange the flexible printed circuit board P so that the side of the conductive pattern having the larger wiring width faces the first electrical inspection head 1.

また、当該処理装置では、後述するように、第１電気検査ヘッド１によりフレキシブルプリント基板Ｐに張力を付与することでフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に重力によってフレキシブルプリント基板Ｐが当接面１１に密着しやすいよう、第１電気検査ヘッド１が第２電気検査ヘッド２の下方に配置されることが好ましい。換言すると、当該処理装置では、フレキシブルプリント基板Ｐが略水平に保持され、第１電気検査ヘッド１がフレキシブルプリント基板Ｐに下方から圧接され、第２電気検査ヘッド２がフレキシブルプリント基板Ｐに対して上方から圧接されるものであることが好ましい。 Further, in the processing apparatus, as will be described later, when the warp or undulation of the flexible printed circuit board P is removed by applying tension to the flexible printed circuit board P by the first electrical inspection head 1, the flexible printed circuit board P is moved by gravity when the warp or undulation is removed. It is preferable that the first electrical inspection head 1 is disposed below the second electrical inspection head 2 so that the first electrical inspection head 1 can be easily attached to the contact surface 11. In other words, in the processing apparatus, the flexible printed circuit board P is held substantially horizontally, the first electric inspection head 1 is pressed against the flexible printed circuit board P from below, and the second electric inspection head 2 is pressed against the flexible printed circuit board P. It is preferable that the pressure is applied from above.

＜駆動機構＞
第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の３次元の位置決めを行うことができるものであればよく、さらにフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の軸を中心に第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の回転位置決めを行うことができるものが好ましい。なお、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向とは、複数の把持デバイス５がフレキシブルプリント基板Ｐの表面が平面状となるよう把持する理想的な状態におけるフレキシブルプリント基板Ｐの表面の法線方向を意味するものとする。 <Drive mechanism>
The first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4 are only required to be capable of performing the three-dimensional positioning of the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2, and further the normal line of the flexible printed board P. It is preferable that the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2 can be rotationally positioned about the axis of the direction. The normal direction of the flexible printed circuit board P means the normal direction of the surface of the flexible printed circuit board P in an ideal state where the plurality of gripping devices 5 hold the surface of the flexible printed circuit board P in a planar shape. It shall be.

第１駆動機構３及び第２駆動機構４としては、多関節ロボットを用いてもよいが、コスト及び占有スペースが比較的小さい直交座標型駆動システムを採用することが好ましい。この直交座標型駆動システムとしては、フレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に２軸の位置決めが可能な直交座標型ロボットと、この直交座標型ロボットの末端に配設される昇降デバイスと、この昇降デバイスにより昇降可能に保持され、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ回転位置決め可能に保持する回転位置決めデバイスとを備える構成とすることができる。 A multi-joint robot may be used as the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4, but it is preferable to employ an orthogonal coordinate drive system which has a relatively small cost and a relatively small space. As this Cartesian coordinate type drive system, a Cartesian coordinate type robot capable of biaxial positioning in the plane direction of the flexible printed board P, an elevating device arranged at the end of this Cartesian coordinate type robot, and this elevating device are used. A rotary positioning device that is held so as to be able to move up and down and that holds the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2 so that they can be rotationally positioned can be configured.

また、第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりフレキシブルプリント基板Ｐを挟持する際、フレキシブルプリント基板Ｐに作用する圧接力を適正化できるよう、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に弾性変形する緩衝部を有してもよい。 Further, the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4 optimize the pressure contact force acting on the flexible printed circuit board P when the flexible printed circuit board P is sandwiched by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. As much as possible, the flexible printed circuit board P may have a buffer portion that elastically deforms in the normal direction.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５は、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of gripping devices 5 grip the outer edge of the flexible printed circuit board P to roughly hold the position of the flexible printed circuit board P in the normal direction at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

各把持デバイス５は、図２に示すように、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２と、把持部１２を支持する支持部１３とを備えている。把持デバイス５の支持部１３は、支持する把持部１２に対して１自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５において、把持部１２は、支持部１３によって首振り可能に支持されている。 As shown in FIG. 2, each gripping device 5 includes a gripping portion 12 that grips the outer edge of the flexible printed board P and a support portion 13 that supports the gripping portion 12. The supporting portion 13 of the gripping device 5 has a swinging mechanism that is a passive movement mechanism having one degree of freedom with respect to the gripping portion 12 that it supports. That is, in the grasping device 5, the grasping portion 12 is supported by the supporting portion 13 so as to be swingable.

（把持部）
把持部１２は、支持部１３によって支持され、一方の端部の上面でフレキシブルプリント基板Ｐに当接するクランプベース１４と、このクランプベース１４の上に可動に配設され、クランプベース１４のフレキシブルプリント基板Ｐに当接する部分に対向する面がフレキシブルプリント基板Ｐに当接してクランプベース１４との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５の一方の端部とクランプベース１４とが当接又は離間するようクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。つまり、アクチュエーター１６の動作により、クランプベース１４の先端部とクランプアーム１５の先端部とが圧接又は離間することで、把持部１２はフレキシブルプリント基板Ｐを把持又は解放する。 (Grip part)
The grip portion 12 is supported by the support portion 13 and has a clamp base 14 that is in contact with the flexible printed circuit board P on the upper surface of one end thereof, and is movably disposed on the clamp base 14, and the flexible print of the clamp base 14 is performed. A clamp arm 15 having a surface opposite to a portion abutting on the substrate P abuts on the flexible printed circuit board P to sandwich the flexible printed circuit board P between the clamp base 15 and one end of the clamp arm 15 and the clamp base 14. And an actuator 16 for driving the clamp arm 15 so that they come into contact with or separate from each other. That is, the operation of the actuator 16 causes the tip of the clamp base 14 and the tip of the clamp arm 15 to come into pressure contact with or separate from each other, so that the grasping section 12 grasps or releases the flexible printed board P.

この把持部１２の構成、特にクランプアーム１５の駆動機構については、例えば特開２００６−２８１４３２号公報に開示されているように、アクチュエーター１６によって駆動されるカム機構等を用いて行うよう構成することができる。具体的には、クランプベース１４にカム溝が配設され、このカム溝に係合するピンがクランプアーム１５に配設されることによって、クランプベース１４に対するクランプアーム１５の相対移動が案内され、アクチュエーター１６によって駆動されるカムによってクランプアーム１５のクランプベース１４に対する相対移動が駆動される構成とすることができる。 The configuration of the grip portion 12, particularly the drive mechanism of the clamp arm 15 should be configured to be performed by using a cam mechanism or the like driven by an actuator 16 as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2006-281432. You can Specifically, a cam groove is provided in the clamp base 14, and a pin that engages with the cam groove is provided in the clamp arm 15 to guide the relative movement of the clamp arm 15 with respect to the clamp base 14, The cam driven by the actuator 16 may drive the relative movement of the clamp arm 15 with respect to the clamp base 14.

（支持部）
支持部１３は、首振り機構として、支持軸１７を中心に回動可能に把持部１２のクランプベース１４を支持する構成を有する。支持軸１７は、把持部１２が把持する薄板状のフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。つまり、支持部１３の首振り機構による把持部１２の首振りは、フレキシブルプリント基板Ｐの表面と、より詳しくは把持する部分の側縁と平行な支持軸１７を中心とする旋回動作である。なお、支持軸１７は、把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と緩衝しない位置に配設すればよい。 (Support part)
The support portion 13 has a structure that supports the clamp base 14 of the grip portion 12 so as to be rotatable about a support shaft 17 as a swing mechanism. The support shaft 17 is disposed so as to be parallel to the side edge of the thin flexible printed circuit board P gripped by the grip portion 12. That is, the swinging of the gripping portion 12 by the swinging mechanism of the supporting portion 13 is a swiveling operation about the support shaft 17 parallel to the surface of the flexible printed circuit board P, and more specifically, the side edge of the gripping portion. The support shaft 17 may be disposed at a position that does not interfere with the structure of the grip portion 12 for gripping the flexible printed circuit board P.

また、支持部１３は、把持部１２を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。支持部１３が復原機構を有することによって、把持するフレキシブルプリント基板Ｐの複数の把持デバイス５の把持部１２により把持される部分の表面を同一平面上に配置し、フレキシブルプリント基板Ｐに不必要な応力を作用させるような把持部１２の傾斜を抑制することができる。 In addition, the support portion 13 further includes a restoration mechanism that automatically returns the grip portion 12 to the initial position. Since the support portion 13 has the restoration mechanism, the surfaces of the portions of the flexible printed circuit board P to be grasped that are grasped by the grasping parts 12 of the plurality of grasping devices 5 are arranged on the same plane, and the flexible printed circuit board P is not required. It is possible to suppress the inclination of the grip portion 12 that causes stress.

この復原機構としては、図示するように、把持部１２のクランプベース１４を支持軸１７の周りに一方向に回動させるよう押圧するばね１８と、支持軸１７のばね１８と反対側に配置され、クランプベース１４に当接してばね１８の押圧力に対抗してクランプベース１４の回動を制止するストッパー１９とを有する構成とすることができる。このような復原機構は、把持部１２を初期位置から一方側にのみ移動可能とする。この把持部１２の初期位置からの移動可能方向としては、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向であって第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込む位置の側とされ、典型的には上側とされる。 As shown in the figure, the restoring mechanism includes a spring 18 that presses the clamp base 14 of the grip portion 12 so as to rotate around the support shaft 17 in one direction, and a spring 18 of the support shaft 17 that is opposite to the spring 18. It is also possible to adopt a configuration having a stopper 19 that abuts against the clamp base 14 and opposes the pressing force of the spring 18 to stop the rotation of the clamp base 14. Such a restoring mechanism allows the grip portion 12 to move from the initial position to only one side. The movable direction from the initial position of the grip portion 12 is the normal direction of the flexible printed circuit board P and the side where the flexible printed circuit board P is sandwiched by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. And is typically on the upper side.

前記ばね１８としては、例えば圧縮ばね等を用いることができる。また、クランプベース１４のストッパー１９に当接する部分又はストッパー１９にクランプベース１４を係止する角度位置を調節可能な当接部材２０を設けてもよい。 As the spring 18, for example, a compression spring or the like can be used. Further, a portion of the clamp base 14 that contacts the stopper 19 or a contact member 20 that can adjust the angular position for locking the clamp base 14 on the stopper 19 may be provided.

＜カメラ＞
第１カメラ６及び第２カメラ７は、フレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するために、フレキシブルプリント基板Ｐの画像を撮影し、後述するコントローラー８に画像データを提供する。 <Camera>
The first camera 6 and the second camera 7 capture images of the flexible printed circuit board P in order to acquire position information of the flexible printed circuit board P, and provide image data to the controller 8 described later.

第１カメラ６及び第２カメラ７は、当該処理装置の不図示のフレーム等に保持されてもよいが、第１駆動機構３及び第２駆動機構４によって第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に少なくともフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動可能に保持されるとよい。第１カメラ６及び第２カメラ７を第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に移動させることにより画像処理の範囲を限定し、必要とされるカメラの画素数及びコントローラーの演算能力が比較的小さくなるので、当該処理装置を比較的安価にできると共に、フレキシブルプリント基板Ｐの検査サイクルを短縮することができる。 Although the first camera 6 and the second camera 7 may be held by a frame or the like (not shown) of the processing apparatus, the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4 are used to drive the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 1. It is preferable that the flexible printed circuit board P and the inspection head 2 are held so as to be movable at least in the plane direction. By moving the first camera 6 and the second camera 7 together with the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2, the range of image processing is limited, and the required number of pixels of the camera and the calculation ability of the controller are reduced. Since the size is relatively small, the processing apparatus can be relatively inexpensive and the flexible printed circuit board P inspection cycle can be shortened.

第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データは、コントローラー８において公知の画像処理技術によって解析され、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の特徴点の座標を特定するために用いられる。具体的には、第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データから、第１カメラ６又は第２カメラ７とフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部との相対位置、ひいてはフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の絶対位置が特定される。 The image data captured by the first camera 6 and the second camera 7 is analyzed by a known image processing technique in the controller 8 and used to specify the coordinates of the characteristic points of the inspection target portion of the flexible printed circuit board P. Specifically, from the image data captured by the first camera 6 and the second camera 7, the relative position between the first camera 6 or the second camera 7 and the inspection target portion of the flexible printed circuit board P, and by extension, the flexible printed circuit board P. The absolute position of the inspection target part is specified.

なお、第１カメラ６及び第２カメラ７によってフレキシブルプリント基板Ｐのディジタル画像を撮影する際、第１カメラ６及び第２カメラ７のフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置（フレキシブルプリント基板Ｐからの離間距離）を一定にすることによって、第１カメラ６及び第２カメラ７とフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部との平面方向の相対位置を比較的容易に算出することができる。 In addition, when a digital image of the flexible printed circuit board P is taken by the first camera 6 and the second camera 7, positions in the normal direction of the flexible printed circuit board P of the first camera 6 and the second camera 7 (from the flexible printed circuit board P) By setting the separation distance) to be constant, the relative position in the plane direction of the first camera 6 and the second camera 7 and the inspection target portion of the flexible printed circuit board P can be relatively easily calculated.

画像処理において抽出する特徴点は、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの中で予め設定される特徴的な形状の部分であってもよく、フレキシブルプリント基板Ｐに画像処理専用に設けられるマーキングであってもよい。 The characteristic point extracted in the image processing may be a portion having a characteristic shape set in advance in the conductive pattern of the flexible printed circuit board P, and is a marking provided on the flexible printed circuit board P only for image processing. Good.

＜コントローラー＞
コントローラー８としては、例えばプログラマブルロジックコントローラー、パーソナルコンピューター等が用いられる。 <Controller>
As the controller 8, for example, a programmable logic controller, a personal computer or the like is used.

コントローラー８は、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第１駆動機構３を制御する第１圧接制御要素と、第１電気検査ヘッド１の位置決め及び圧接後に、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第２駆動機構４を制御する第２圧接制御要素とを有する。 The controller 8 positions the first electrical inspection head 1 in the plane direction with respect to the flexible printed circuit board P and then controls the first drive mechanism 3 to press the first electrical inspection head 1 in the normal direction, and the first electrical contact control element. After positioning and pressure-contacting the inspection head 1, the second pressure-contact control element for controlling the second drive mechanism 4 so that the second electric inspection head 2 is positioned in the plane direction with respect to the flexible printed circuit board P and then pressure-contacted in the normal direction. Have and.

前記第１圧接制御要素及び第２圧接制御要素は、例えばパートプログラム、サブルーチン等のソフトウェアによって実現することができる。 The first pressure contact control element and the second pressure contact control element can be realized by software such as a part program and a subroutine.

（第１圧接制御要素）
第１圧接制御要素は、第１カメラ６を用いてフレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第１位置情報取得ステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第１平面方向位置決めステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動させてフレキシブルプリント基板Ｐに圧接するステップ〔第１圧接ステップ〕とを順番に行うものである。 (First pressure welding control element)
The first pressure contact control element uses the first camera 6 to acquire position information of the flexible printed circuit board P [first position information acquisition step], and uses the first drive mechanism 3 to move the first electrical inspection head 1 to the first electrical inspection head 1. A step of positioning the flexible printed circuit board P in the plane direction so as to face the inspection target portion [first plane direction positioning step], and using the first drive mechanism 3 to move the first electrical inspection head 1 to the normal line of the flexible printed circuit board P. The step of moving in the direction and press-contacting the flexible printed circuit board P [first press-contacting step] is sequentially performed.

〔第１位置情報取得ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１位置情報取得ステップにおいて、第１カメラ６によりフレキシブルプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第１カメラ６に対するフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。 [First location information acquisition step]
The first pressure contact control element inspects the flexible printed circuit board P with respect to the first camera 6 by photographing the flexible printed circuit board P with the first camera 6 and performing image processing on the photographed image data in the first position information acquisition step. The relative position of the target portion in the plane direction is specified. Thereby, the amount of movement in the plane direction required to directly face the first electrical inspection head 1 to the inspection target portion of the flexible printed circuit board P is calculated.

〔第１平面方向位置決めステップ〕
第１圧接制御要素は、第１平面方向位置決めステップにおいて、第１駆動機構３により、第１位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。 [Positioning step in the first plane]
In the first planar direction positioning step, the first pressure contact control element causes the first drive mechanism 3 to move the first electrical inspection head 1 in the planar direction of the flexible printed circuit board P by the required movement amount calculated in the first position information acquisition step. By moving the first electric inspection head 1 to the inspection target portion of the flexible printed circuit board P.

〔第１圧接ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１圧接ステップにおいて、第１電気検査ヘッド１の当接面１１をフレキシブルプリント基板Ｐに圧接することにより、第１電気検査ヘッド１の複数のプローブ９をフレキシブルプリント基板Ｐの一方の面の複数の測定点に圧接する。 [First pressure welding step]
The first pressure contact control element presses the contact surface 11 of the first electrical test head 1 against the flexible printed circuit board P in the first pressure contact step, so that the plurality of probes 9 of the first electrical test head 1 are connected to the flexible printed circuit board P. Press contact with a plurality of measurement points on one surface of P.

また、第１圧接ステップでは、図３に示すように、把持デバイス５によるフレキシブルプリント基板Ｐの外縁の各把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させる。 Further, in the first press-contacting step, as shown in FIG. 3, the first electric test head 2 is located closer to the second electric inspection head 2 than the reference plane including the center in the thickness direction of each gripping position of the outer edge of the flexible printed circuit board P by the gripping device 5. The contact surface 11 of the electrical inspection head 1 is projected.

このように第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることによって、フレキシブルプリント基板Ｐに張力が作用することで、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部が第１電気検査ヘッド１の当接面１１に密着する。つまり、第１圧接制御要素は、第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることにより、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部を当接面１１に沿う平板状に引き延ばすことで反りやうねりを除去することができる。 By thus projecting the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 from the reference plane, tension acts on the flexible printed circuit board P, so that the inspection target portion of the flexible printed circuit board P is the first electrical inspection head. It comes into close contact with the contact surface 11 of 1. That is, the first pressure contact control element extends the inspection target portion of the flexible printed circuit board P into a flat plate shape along the contact surface 11 by causing the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 to project beyond the reference plane. Warp and swell can be removed with.

この第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の下限としては、フレキシブルプリント基板Ｐの対向する把持デバイス５による把持位置の平均間隔の０．１％が好ましく、０．２％がより好ましい。一方、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の上限としては、フレキシブルプリント基板Ｐの対向する把持デバイス５による把持位置の平均間隔の１％が好ましく、０．５％がより好ましい。第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記下限に満たない場合、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを十分に除去できないおそれがある。逆に、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記上限を超える場合、フレキシブルプリント基板Ｐに過剰な応力が作用してフレキシブルプリント基板Ｐを損傷するおそれがある。なお、「把持位置の平均間隔」とは、対向する把持デバイス５による把持領域の間隔の極小値の平均を意味し、把持デバイス５による把持領域の間隔が極小となる部分が連続する場合には間隔の極小値を間隔が極小となる部分の長さで加重平均した値（例えばフレキシブルプリント基板Ｐを複数対の把持デバイス５で挟み込んで保持する場合各対の把持デバイス５の間隔を、把持デバイス５の有効幅で重み付けした平均値）を意味するものとする。 The lower limit of the amount of protrusion of the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 from the reference plane is preferably 0.1% of the average distance between the gripping positions of the gripping devices 5 of the flexible printed circuit board P facing each other. 2% is more preferable. On the other hand, the upper limit of the amount of protrusion of the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 from the reference plane is preferably 1% of the average distance between the gripping positions of the gripping devices 5 on the flexible printed circuit board P, which is 0.5%. % Is more preferable. When the amount of protrusion of the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 from the reference plane is less than the lower limit, there is a possibility that the warp or undulation of the flexible printed circuit board P cannot be sufficiently removed. On the contrary, when the amount of protrusion of the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 from the reference plane exceeds the upper limit, excessive stress may act on the flexible printed board P and damage the flexible printed board P. .. Note that the “average gripping position interval” means the average of the minimum values of the intervals of the gripping regions by the opposing gripping devices 5, and when the portions where the intervals of the gripping regions by the gripping device 5 are minimal are continuous. A value obtained by weighting and averaging the minimum value of the interval with the length of the part having the minimum interval (for example, when the flexible printed circuit board P is sandwiched and held by a plurality of pairs of gripping devices 5, the interval between the gripping devices 5 of each pair is determined by (Mean value weighted with an effective width of 5).

また、この第１圧接ステップでは、第１電気検査ヘッド１の圧接によりフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に、フレキシブルプリント基板Ｐが僅かに位置ずれするおそれがある。このため、この第１圧接ステップにおいては、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側に圧接することが好ましい。 Further, in the first pressure contact step, there is a possibility that the flexible printed circuit board P may be slightly displaced when the warp or the undulation of the flexible printed circuit board P is removed by the pressure contact of the first electrical inspection head 1. Therefore, in the first pressure contact step, it is preferable that the first electrical inspection head 1 is pressure contacted with the side of the flexible printed circuit board P where the conductive pattern has a large wiring width.

（第２圧接制御要素）
第２圧接制御要素は、第２カメラ７を用いてフレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第２位置情報取得ステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第２平面方向位置決めステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動させてフレキシブルプリント基板Ｐに圧接することで、第１電気検査ヘッド１との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟持するステップ〔第２圧接ステップ〕とを順番に行うものである。 (Second pressure welding control element)
The second press contact control element uses the second camera 7 to acquire the position information of the flexible printed circuit board P [second position information acquisition step] and the second drive mechanism 4 to operate the second electrical inspection head 2. The step of positioning the flexible printed circuit board P in the plane direction so as to face the inspection target portion [second plane direction positioning step], and the second drive mechanism 4 to move the second electrical inspection head 2 to the normal line of the flexible printed circuit board P. By moving the flexible printed circuit board P in the direction and pressing it against the flexible printed circuit board P, the step of sandwiching the flexible printed circuit board P with the first electrical inspection head 1 [the second pressure contact step] is sequentially performed.

〔第２位置情報取得ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２位置情報取得ステップにおいて、第２カメラ７によりフレキシブルプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第２カメラ７に対するフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。 [Second position information acquisition step]
The second press contact control element inspects the flexible printed circuit board P with respect to the second camera 7 by photographing the flexible printed circuit board P with the second camera 7 and processing the photographed image data in the second position information acquisition step. The relative position of the target portion in the plane direction is specified. As a result, the amount of movement in the plane direction required to make the second electrical inspection head 2 face the inspection target portion of the flexible printed circuit board P is calculated.

〔第２平面方向位置決めステップ〕
第２圧接制御要素は、第２平面方向位置決めステップにおいて、第２駆動機構４により、第２位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。 [Positioning step in the second plane]
In the second planar direction positioning step, the second press contact control element causes the second drive mechanism 4 to move the second electrical inspection head 2 in the planar direction of the flexible printed circuit board P by the required movement amount calculated in the second position information acquisition step. By moving the second electric inspection head 2 to the inspection target portion of the flexible printed circuit board P.

〔第２圧接ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２圧接ステップにおいて、図４に示すように、第２駆動機構４により第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐに圧接し、第１電気検査ヘッド１の当接面１１と第２電気検査ヘッド２の当接面１１との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟持する。 [Second pressure welding step]
In the second pressure contact step, the second pressure contact control element presses the second electric inspection head 2 into contact with the flexible printed circuit board P by the second drive mechanism 4 as shown in FIG. The flexible printed circuit board P is sandwiched between the surface 11 and the contact surface 11 of the second electrical inspection head 2.

また、この第２圧接ステップは、第１圧接ステップにおいてフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりが除去された後に行われるため、フレキシブルプリント基板Ｐが殆ど位置ずれしない。このため、この第２圧接ステップにおいては、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側の面に圧接することが好ましい。 In addition, since the second press contacting step is performed after the warpage and the swell of the flexible printed circuit board P are removed in the first press contacting step, the flexible printed circuit board P is hardly displaced. Therefore, in the second pressure contact step, it is preferable that the second electrical inspection head 2 is pressure contacted with the surface of the flexible printed board P on the side where the wiring width of the conductive pattern is small.

つまり、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりに起因してプローブ９の当接位置が僅かにずれるおそれがある第１圧接ステップでは、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側の面にプローブ９を当接させることで、プローブ９の当接位置のずれによる測定不良を抑制することができる。一方、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりに起因するプローブ９の当接位置のずれが生じ難い第２圧接ステップでは、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側の面にプローブ９を当接させることで、測定不良を防止することができる。 That is, in the first pressure contact step in which the contact position of the probe 9 may be slightly displaced due to the warp or undulation of the flexible printed circuit board P, the probe is attached to the surface of the flexible printed circuit board P on the side where the wiring width of the conductive pattern is large. By contacting 9 with each other, it is possible to suppress measurement failure due to displacement of the contact position of the probe 9. On the other hand, in the second pressing step in which the displacement of the contact position of the probe 9 due to the warp or undulation of the flexible printed circuit board P is unlikely to occur, the probe 9 is applied to the surface of the flexible printed circuit board P on the side where the wiring width of the conductive pattern is small. By bringing them into contact with each other, measurement failure can be prevented.

＜利点＞
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐを第１電気検査ヘッド１により法線方向に押圧しても、把持部１２が回動して、把持部１２のエッジによりフレキシブルプリント基板Ｐに不必要な曲げ応力や剪断応力が作用することを防止できる。つまり、当該処理装置は、把持部１２のエッジでフレキシブルプリント基板Ｐが損傷することを防止することができる。 <Advantages>
In the processing apparatus, even if the flexible printed circuit board P is pressed by the first electric inspection head 1 in the normal direction, the grip portion 12 rotates and the edge of the grip portion 12 causes unnecessary bending of the flexible printed circuit board P. It is possible to prevent the action of stress or shear stress. That is, the processing apparatus can prevent the flexible printed circuit board P from being damaged by the edge of the grip portion 12.

このため、当該処理装置は、把持デバイス５の把持部１２によるフレキシブルプリント基板Ｐの外縁の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させることにより、フレキシブルプリント基板Ｐを損傷することなく張力を作用させて反りやうねりを除去することができる。これにより、当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐに対して第２電気検査ヘッド２を精度よく圧接して、フレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を比較的正確に検査することができる。 Therefore, in the processing apparatus, the first electric inspection head 1 is located closer to the second electric inspection head 2 than the reference plane including the center in the thickness direction of the grip position of the outer edge of the flexible printed board P by the grip portion 12 of the grip device 5. By projecting the contact surface 11 of No. 3, it is possible to apply tension without damaging the flexible printed circuit board P and remove warpage and undulation. As a result, the processing apparatus can press the second electric test head 2 against the flexible printed circuit board P with high accuracy and inspect the electric characteristics of the flexible printed circuit board P relatively accurately.

［第二実施形態］
図５に本発明の別の実施形態に係る処理装置の構成を示す。図５の処理装置は、長尺帯板状のフレキシブルワークであるフレキシブルプリント基板Ｐａに孔開け加工（穿孔）を行う加工装置である。 [Second embodiment]
FIG. 5 shows the configuration of a processing apparatus according to another embodiment of the present invention. The processing apparatus shown in FIG. 5 is a processing apparatus that performs punching processing (perforation) on a flexible printed circuit board Pa that is a long strip-shaped flexible work.

当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐａを挟んで対向して配設され、フレキシブルプリント基板Ｐａの表面に当接するよう移動可能な第１加工ヘッドであるダイ２１及び第２加工ヘッドであるパンチ２２と、このダイ２１及びパンチ２２をそれぞれ駆動する第１駆動機構３及び第２駆動機構４と、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁を把持する複数の把持デバイス５ａと、フレキシブルプリント基板Ｐａを撮影する第１カメラ６及び第２カメラ７と、第１駆動機構３及び第２駆動機構４を制御するコントローラー８とを備える。 The processing apparatus includes a die 21 which is a first processing head and a punch 22 which is a second processing head, which are arranged to face each other with the flexible printed circuit board Pa interposed therebetween and are movable so as to come into contact with the surface of the flexible printed circuit board Pa. , A first driving mechanism 3 and a second driving mechanism 4 for driving the die 21 and the punch 22, respectively, a plurality of gripping devices 5a for gripping the outer edge of the flexible printed circuit board Pa, and a first camera for photographing the flexible printed circuit board Pa. 6 and a second camera 7, and a controller 8 for controlling the first driving mechanism 3 and the second driving mechanism 4.

図５の処理装置における第１駆動機構３、第２駆動機構４、第１カメラ６、第２カメラ７及びコントローラー８は、図１の処理装置における第１駆動機構３、第２駆動機構４、第１カメラ６、第２カメラ７及びコントローラー８と同様とすることができる。このため、図５の処理装置について、図１の処理装置と重複する説明は省略する。 The first driving mechanism 3, the second driving mechanism 4, the first camera 6, the second camera 7 and the controller 8 in the processing apparatus of FIG. 5 are the first driving mechanism 3, the second driving mechanism 4, and the second driving mechanism 4 in the processing apparatus of FIG. The first camera 6, the second camera 7, and the controller 8 can be the same. Therefore, the description of the processing device of FIG. 5 overlapping with that of the processing device of FIG. 1 will be omitted.

＜フレキシブルプリント基板＞
当該処理装置により孔が開けられるフレキシブルプリント基板Ｐａは、リール状に巻き取られて提供され、巻き解かれて長手方向一端側から順に把持デバイス５ａに保持された状態でダイ２１及びパンチ２２により貫通孔が形成され、リール状に巻き取られる。 <Flexible printed circuit board>
The flexible printed circuit board Pa having holes formed therein by the processing device is provided by being wound up in a reel shape, unwound, and held by the gripping device 5a in order from one end in the longitudinal direction and penetrated by the die 21 and the punch 22. A hole is formed and wound into a reel.

＜加工ヘッド＞
ダイ２１及びパンチ２２は、フレキシブルプリント基板Ｐａを挟んで対向するよう配設され、パンチ２２の断面形状がダイ２１に形成されるパンチ孔２３と合致するよう形成される。当該処理装置は、ダイ２１上にフレキシブルプリント基板Ｐａを配置した状態で、パンチ孔２３にパンチ２２を挿入するようにしてフレキシブルプリント基板Ｐａに孔を形成する。 <Processing head>
The die 21 and the punch 22 are arranged so as to face each other with the flexible printed circuit board Pa interposed therebetween, and are formed so that the cross-sectional shape of the punch 22 matches the punch hole 23 formed in the die 21. The processing apparatus forms a hole in the flexible printed board Pa by inserting the punch 22 into the punch hole 23 with the flexible printed board Pa placed on the die 21.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ａは、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁（両側縁）を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向の位置を、ダイ２１及びパンチ２２による加工位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of gripping devices 5a grip the outer edges (both side edges) of the flexible printed circuit board Pa to roughly hold the position of the flexible printed circuit board Pa in the normal direction to the processing position of the die 21 and the punch 22.

各把持デバイス５ａは、図６に示すように、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁を把持する把持部１２ａと、把持部１２ａを支持する支持部１３ａとを備えている。把持デバイス５ａの支持部１３ａは、支持する把持部１２ａに対して１自由度の受動的な運動機構である平行移動機構を有している。つまり、把持デバイス５ａにおいて、把持部１２ａは、支持部１３ａによって平行移動可能に支持されている。 As shown in FIG. 6, each gripping device 5a includes a gripping portion 12a that grips the outer edge of the flexible printed circuit board Pa and a support portion 13a that supports the gripping portion 12a. The support portion 13a of the gripping device 5a has a parallel movement mechanism that is a passive movement mechanism having one degree of freedom with respect to the gripping portion 12a that it supports. That is, in the grip device 5a, the grip portion 12a is supported by the support portion 13a so as to be movable in parallel.

（把持部）
把持部１２ａは、支持部１３ａによって支持されるクランプベース１４ａと、このクランプベース１４ａに可動に配設され、クランプベース１４ａとの間にフレキシブルプリント基板Ｐａを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図６の把持部１２ａのフレキシブルプリント基板Ｐａを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。 (Grip part)
The grip portion 12a is provided with a clamp base 14a supported by a support portion 13a, a clamp arm 15 that is movably disposed on the clamp base 14a, and that sandwiches the flexible printed circuit board Pa between the clamp base 14a and the clamp arm 15. And an actuator 16 for driving the. The structure for holding the flexible printed circuit board Pa of the holding part 12a in FIG. 6 can be the same as the structure for holding the flexible printed circuit board P in the holding part 12 in FIG.

（支持部）
支持部１３ａは、平行移動機構として、図示するように、リニアガイド２４（ガイドレールとスライダーと組み合わせ）を有する構成とすることができる。リニアガイド２４は、把持部１２ａをフレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向（パンチ２２の動作方向）に移動可能に支持する。つまり、支持部１３ａの平行移動機構による把持部１２ａの平行移動は、フレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向の平行移動である。 (Support part)
The support portion 13a can be configured to have a linear guide 24 (a combination of a guide rail and a slider) as shown in the figure as a parallel movement mechanism. The linear guide 24 movably supports the grip portion 12a in the normal direction of the flexible printed circuit board Pa (the operating direction of the punch 22). That is, the parallel movement of the grip portion 12a by the parallel movement mechanism of the support portion 13a is the parallel movement of the flexible printed circuit board Pa in the normal direction.

また、支持部１３ａは、把持部１２ａを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。支持部１３ａが復原機構を有することによって、把持するフレキシブルプリント基板Ｐの複数の把持デバイス５ａの把持部１２ａにより把持される部分の表面を同一平面上に配置し、フレキシブルプリント基板Ｐに不必要な応力を作用させるような把持部１２ａ間の位置ずれを抑制することができる。 Further, the support portion 13a further includes a restoration mechanism that automatically returns the grip portion 12a to the initial position. Since the support portion 13a has the restoration mechanism, the surfaces of the portions of the flexible printed circuit board P to be grasped that are grasped by the grasping portions 12a of the plurality of grasping devices 5a are arranged on the same plane, and the flexible printed circuit board P is not required. It is possible to suppress the positional deviation between the gripping portions 12a that exerts a stress.

この復原機構としては、図示するように、把持部１２ａのクランプベース１４ａをリニアガイド２４にそって一方向に平行移動させるよう押圧するばね１８ａと、クランプベース１４ａに当接してばね１８ａの押圧力に対抗してクランプベース１４ａの平行移動を制止するストッパー１９とを有する構成とすることができる。このような復原機構は、把持部１２ａを初期位置から一方側にのみ移動可能とする。この把持部１２ａの初期位置からの移動可能方向としては、パンチ２２側とされ、典型的には上側とされる。 The restoring mechanism includes, as shown in the figure, a spring 18a that presses the clamp base 14a of the gripping portion 12a so as to move in parallel in one direction along the linear guide 24, and a pressing force of the spring 18a that abuts on the clamp base 14a. And a stopper 19 for preventing the parallel movement of the clamp base 14a in opposition to the above. Such a restoring mechanism allows the grip portion 12a to move from the initial position to only one side. The movable direction of the grip portion 12a from the initial position is the punch 22 side, typically the upper side.

＜利点＞
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐａをダイ２１により法線方向に押圧しても、把持部１２ａが平行移動することによって、把持部１２ａのエッジでフレキシブルプリント基板Ｐａが損傷することを防止することができる。このため、当該処理装置は、ダイ２１の当接面を、把持部１２ａによるフレキシブルプリント基板Ｐａの外縁の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりもパンチ２２側に突出させるよう圧接することにより、フレキシブルプリント基板Ｐａに張力を作用させて反りやうねりを除去して、精度よく孔開け加工を行うことができる。 <Advantages>
The processing apparatus prevents the flexible printed circuit board Pa from being damaged at the edge of the gripping part 12a due to the parallel movement of the gripping part 12a even when the flexible printed circuit board Pa is pressed by the die 21 in the normal direction. You can Therefore, the processing apparatus presses the contact surface of the die 21 so as to protrude toward the punch 22 side from the reference plane including the center in the thickness direction of the grip position of the outer edge of the flexible printed circuit board Pa by the grip portion 12a. As a result, it is possible to apply a tension to the flexible printed circuit board Pa to remove warpage and undulations, and perform punching with high accuracy.

［第三実施形態］
図７に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｂを示す。この把持デバイス５ｂは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Third embodiment]
FIG. 7 shows a gripping device 5b according to a processing apparatus of still another embodiment of the present invention. The gripping device 5b is used in place of the gripping device 5 of the processing apparatus of FIG. 1 to configure a processing apparatus of an embodiment different from that of FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｂは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of gripping devices 5b grip the outer edge of the flexible printed circuit board P to roughly hold the positions of the flexible printed circuit board P in the normal direction at the inspection positions of the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

把持デバイス５ｂは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｂと、把持部１２ｂを支持する支持部１３ｂとを備えている。把持デバイス５ｂの支持部１３ｂは、支持する把持部１２ｂに対して１自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｂにおいて、把持部１２ｂは、支持部１３ｂによって首振り可能に支持されている。 The grip device 5b includes a grip portion 12b that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P, and a support portion 13b that supports the grip portion 12b. The support portion 13b of the gripping device 5b has a swinging mechanism which is a passive movement mechanism having one degree of freedom with respect to the gripping portion 12b to be supported. That is, in the gripping device 5b, the gripping part 12b is supported by the support part 13b so as to be swingable.

（把持部）
把持部１２ｂは、支持部１３ｂによって支持されるクランプベース１４ｂと、このクランプベース１４ｂに可動に配設され、クランプベース１４ｂとの間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図７の把持部１２ｂのフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。 (Grip part)
The grip portion 12b is a clamp base 14b supported by the support portion 13b, a clamp arm 15 that is movably disposed on the clamp base 14b, and that sandwiches the flexible printed circuit board P between the clamp base 14b and the clamp arm 15b. And an actuator 16 for driving the. The structure for holding the flexible printed circuit board P of the holding part 12b in FIG. 7 can be the same as the structure for holding the flexible printed circuit board P in the holding part 12 in FIG.

（支持部）
支持部１３ｂは、首振り機構として、支持軸１７を中心に回動可能に把持部１２ｂのクランプベース１４ｂを支持する構成を有する。支持軸１７は、把持部１２ｂが把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう、クランプアーム１５の動作を阻害しない位置に配設される。従って、支持部１３ｂの首振り機構による把持部１２ｂの首振りは、フレキシブルプリント基板Ｐの表面と平行、より詳しくは把持する部分の側縁と平行な支持軸１７を中心とする旋回動作である。 (Support part)
The support portion 13b has a configuration as a swinging mechanism that supports the clamp base 14b of the grip portion 12b so as to be rotatable around the support shaft 17. The support shaft 17 is arranged at a position that does not hinder the operation of the clamp arm 15 so as to be parallel to the side edge of the flexible printed circuit board P held by the holding portion 12b. Therefore, the swinging of the gripping portion 12b by the swinging mechanism of the supporting portion 13b is a swiveling motion about the support shaft 17 that is parallel to the surface of the flexible printed circuit board P, and more specifically parallel to the side edge of the gripping portion. ..

また、支持部１３ｂは、把持部１２ｂを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、把持部１２ｂのクランプベース１４ｂの支持軸１７に垂直な方向に開口するよう形成される凹部２５にばね２６によって係合片２７を押圧する構成とすることができる。 The support portion 13b further includes a restoration mechanism that automatically returns the grip portion 12b to the initial position. As shown in the figure, the restoring mechanism is configured so that the engaging piece 27 is pressed by the spring 26 into the recess 25 formed so as to open in the direction perpendicular to the support shaft 17 of the clamp base 14b of the grip portion 12b. You can

凹部２５は、支持軸１７から一定の距離を空けた位置に配設するとよい。係合片２７は、支持部１３ｂに、支持軸１７と垂直な方向（径方向）に移動可能に、つまり支持軸１７に向かって突出及び後退できるように配設されるとよい。また、ばね２６及び係合片２７は、支持部１３ｂに組み込むことができる。このような復原機構は、支持軸１７を中心として把持部１２ｂを初期位置からどちらの方向にも旋回可能とする。 The recess 25 may be arranged at a position spaced apart from the support shaft 17 by a certain distance. The engagement piece 27 may be disposed on the support portion 13b so as to be movable in a direction (radial direction) perpendicular to the support shaft 17, that is, to be able to project and retract toward the support shaft 17. Further, the spring 26 and the engagement piece 27 can be incorporated in the support portion 13b. Such a restoring mechanism enables the grip portion 12b to pivot about the support shaft 17 in either direction from the initial position.

凹部２５の形状としては、支持軸１７に垂直な断面形状が略Ｖ字状の溝が好ましい。このＶ字状の一対の斜面間の角度としては１２０°以上１６０°以下とすることができる。また、ばね２５としては、圧縮ばねを用いることができる。また、係合片２７は、支持軸１７に直交する方向に移動可能となるよう支持部１３ｂに配設され、凹部２５に当接する球面又は円筒面を有する部材とすることができる。 As the shape of the recess 25, a groove having a substantially V-shaped cross section perpendicular to the support shaft 17 is preferable. The angle between the pair of V-shaped slopes can be 120° or more and 160° or less. A compression spring can be used as the spring 25. Further, the engagement piece 27 may be a member that is disposed in the support portion 13b so as to be movable in the direction orthogonal to the support shaft 17 and has a spherical surface or a cylindrical surface that abuts the recess 25.

このような構成により、クランプベース１４ｂの旋回により凹部２５の斜面が係合片２７を支持軸１７から離間する方向に押し出してばね２６を圧縮して復元力を蓄積することができる。この状態で、クランプベース１４ｂを旋回させる力が除去された場合、ばね２６が伸長して係合片２７により凹部２５の斜面を押圧してクランプベース１４ｂを旋回させることで、係合片２７を凹部２５内の一対の斜面の両方に当接させる。これにより、クランプベース１４ｂひいては把持部１２ｂを初期位置に自動復帰させる。 With such a configuration, the inclined surface of the recess 25 pushes the engaging piece 27 away from the support shaft 17 by the turning of the clamp base 14b, compresses the spring 26, and accumulates the restoring force. In this state, when the force for turning the clamp base 14b is removed, the spring 26 expands and the engaging piece 27 presses the slope of the recess 25 to turn the clamp base 14b, thereby moving the engaging piece 27. The pair of slopes in the recess 25 are brought into contact with each other. As a result, the clamp base 14b and thus the grip portion 12b are automatically returned to the initial position.

［第四実施形態］
図８に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｃを示す。この把持デバイス５ｃは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Fourth Embodiment]
FIG. 8 shows a gripping device 5c according to a processing apparatus of still another embodiment of the present invention. The gripping device 5c is used instead of the gripping device 5 of the processing apparatus of FIG. 1 to configure a processing apparatus of an embodiment different from that of FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｃは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of gripping devices 5c grip the outer edge of the flexible printed circuit board P to roughly hold the position of the flexible printed circuit board P in the normal direction at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

各把持デバイス５ｃは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｃと、把持部１２ｃを支持する支持部１３ｃとを備えている。把持デバイス５ｃの支持部１３ｃは、支持する把持部１２ｃに対して１自由度の受動的な運動機構である平行移動機構を有している。つまり、把持デバイス５ｃにおいて、把持部１２ｃは、支持部１３ｃによって平行移動可能に支持されている。 Each gripping device 5c includes a gripping portion 12c that grips the outer edge of the flexible printed board P and a support portion 13c that supports the gripping portion 12c. The support portion 13c of the gripping device 5c has a parallel movement mechanism which is a passive movement mechanism having one degree of freedom with respect to the gripping portion 12c to be supported. That is, in the grasping device 5c, the grasping portion 12c is supported by the supporting portion 13c so as to be movable in parallel.

（把持部）
把持部１２ｃは、支持部１３ｃによって支持されるクランプベース１４ｃと、このクランプベース１４ｃに可動に配設され、クランプベース１４ｃとの間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図８の把持部１２ｃのフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。 (Grip part)
The grip portion 12c is a clamp base 14c supported by the support portion 13c, a clamp arm 15 that is movably disposed on the clamp base 14c, and that sandwiches the flexible printed board P between the clamp base 14c and the clamp arm 15c. And an actuator 16 for driving the. The structure for holding the flexible printed circuit board P of the holding part 12c in FIG. 8 can be the same as the structure for holding the flexible printed circuit board P in the holding part 12 in FIG.

（支持部）
支持部１３ｃは、平行移動機構として、図示するように、リニアガイド２４を有する構成とすることができる。リニアガイド２４は、把持部１２ｃをフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動可能に支持する。つまり、支持部１３ｃの平行移動機構による把持部１２ｃの平行移動は、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の平行移動である。 (Support part)
The support portion 13c can be configured to have a linear guide 24 as shown in the figure as a parallel movement mechanism. The linear guide 24 movably supports the grip portion 12c in the normal direction of the flexible printed circuit board P. That is, the parallel movement of the grip portion 12c by the parallel movement mechanism of the support portion 13c is the parallel movement of the flexible printed circuit board P in the normal direction.

また、支持部１３ｃは、把持部１２ｃの初期位置からフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向両側への平行移動を許容すると共に、把持部１２ｃを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。このように、支持部１３ｃが復原機構を有することによって、把持部１２ｃのエッジでフレキシブルプリント基板Ｐにフレキシブルワークが損傷することを抑制できる。 In addition, the support portion 13c further includes a restoring mechanism that allows parallel movement from the initial position of the grip portion 12c to both sides in the normal direction of the flexible printed circuit board P and automatically returns the grip portion 12c to the initial position. As described above, since the support portion 13c has the restoration mechanism, it is possible to prevent the flexible work from being damaged on the flexible printed circuit board P at the edge of the grip portion 12c.

この復原機構としては、図示するように、把持部１２ｃのクランプベース１４ｃのリニアガイド２４の可動方向に垂直な方向に開口するよう形成される凹部２５にばね２６によって係合片２７を押圧する構成とすることができる。図８の把持デバイス５ｃにおける復原機構の凹部２５、ばね２６及び係合片２７の構成としては、図７の把持デバイス５ｂにおける復原機構の凹部２５、ばね２６及び係合片２７の構成と同様とすることができる。 As the restoration mechanism, as shown in the drawing, a spring 26 presses an engaging piece 27 into a recess 25 formed so as to open in a direction perpendicular to the movable direction of the linear guide 24 of the clamp base 14c of the grip portion 12c. Can be The configuration of the recess 25, the spring 26 and the engaging piece 27 of the restoring mechanism in the gripping device 5c of FIG. 8 is the same as the configuration of the recess 25, the spring 26 and the engaging piece 27 of the restoring mechanism in the gripping device 5b of FIG. can do.

［第五実施形態］
図９乃至図１１に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｄを示す。この把持デバイス５ｄは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Fifth Embodiment]
9 to 11 show a gripping device 5d according to a processing apparatus of still another embodiment of the present invention. The gripping device 5d is used in place of the gripping device 5 of the processing apparatus of FIG. 1 to form a processing apparatus of an embodiment different from that of FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｄは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
By gripping the outer edge of the flexible printed circuit board P, the plurality of gripping devices 5d roughly hold the position of the flexible printed circuit board P in the normal direction at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

把持デバイス５ｄは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２と、把持部１２を支持する支持部１３ｄとを備えている。把持デバイス５ｄの支持部１３ｄは、支持する把持部１２に対して２自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｄにおいて、把持部１２は、支持部１３ｄによって２方向に首振り可能に支持されている。なお、図９乃至図１１の把持デバイス５ｄの把持部１２の構成は、図２の把持デバイス５の把持部１２の構成と同様とすることができる。このため、図９乃至図１１の把持デバイス５ｄの把持部１２の構成要素には、図２の把持デバイス５の構成要素と同じ符号を付して重複する説明を省略する。 The grip device 5d includes a grip portion 12 that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P, and a support portion 13d that supports the grip portion 12. The support portion 13d of the gripping device 5d has a swinging mechanism that is a passive movement mechanism having two degrees of freedom with respect to the gripping portion 12 that it supports. That is, in the gripping device 5d, the gripping part 12 is supported by the support part 13d so as to be swingable in two directions. The configuration of the grip portion 12 of the grip device 5d in FIGS. 9 to 11 can be the same as the configuration of the grip portion 12 of the grip device 5 in FIG. Therefore, the constituent elements of the gripping portion 12 of the gripping device 5d of FIGS. 9 to 11 are denoted by the same reference numerals as those of the gripping device 5 of FIG. 2, and redundant description will be omitted.

（支持部）
支持部１３ｄは、首振り機構として、第１支持軸２８を中心に回動可能に把持部１２のクランプベース１４を支持する第１支持部材２９と、第２支持軸３０を中心に回動可能に前記第１支持部材２９を支持する第２支持部材３１とを有する。 (Support part)
The support portion 13d is a swing mechanism that is rotatable about a first support shaft 28 and a first support member 29 that supports the clamp base 14 of the grip portion 12 and a second support shaft 30. And a second support member 31 that supports the first support member 29.

第１支持軸２８は、把持部１２が把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。また、第２支持軸３０は、フレキシブルプリント基板Ｐと平行かつ第１支持軸２８と垂直になるよう配設される。つまり、支持部１３ｄの首振り機構による把持部１２の首振りは、互いに直交する２方向の首振り動作である。 The first support shaft 28 is arranged so as to be parallel to the side edge of the flexible printed circuit board P gripped by the grip portion 12. Further, the second support shaft 30 is arranged so as to be parallel to the flexible printed circuit board P and perpendicular to the first support shaft 28. That is, the swinging of the gripping portion 12 by the swinging mechanism of the support portion 13d is a swinging operation in two directions orthogonal to each other.

また、支持部１３ｄは、把持部１２を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、把持部１２のクランプベース１４を第１支持軸２８の周りに一方向に回動させるよう押圧する第１ばね３２と、第１支持部材２９に設けられ、クランプベース１４に当接して第１ばね３２の押圧力に対抗してクランプベース１４の回動を制止する第１ストッパー３３と、第１支持部材２９を第２支持軸３０の周りに一方向に回動させるよう押圧する第２ばね３４と、第２支持部材３１に設けられ、第１支持部材２９に当接して第２ばね３４の押圧力に対抗して第１支持部材２９の回動を制止する第２ストッパー３５とを有する構成とすることができる。 In addition, the support portion 13d further includes a restoration mechanism that automatically returns the grip portion 12 to the initial position. The restoring mechanism is provided on the first support member 29 and the first spring 32 that presses the clamp base 14 of the grip portion 12 so as to rotate in one direction around the first support shaft 28, as illustrated. , A first stopper 33 that abuts on the clamp base 14 and stops the rotation of the clamp base 14 against the pressing force of the first spring 32, and a first support member 29 in one direction around the second support shaft 30. The second spring 34 that presses the first support member 29 so as to rotate to the first support member 31, and the first support member 29 is rotated against the pressing force of the second spring 34 by contacting the first support member 29. And a second stopper 35 that stops the

また、把持部１２の初期位置を調節可能にするために、クランプベース１４の第１ストッパー３３に当接する部分又は第１ストッパー３３に第１当接部材３６を設け、第１支持部材２９の第２ストッパー３５に当接する部分又は第２ストッパー３５に第２当接部材３７を設けてもよい。 Further, in order to adjust the initial position of the grip portion 12, a portion of the clamp base 14 that abuts the first stopper 33 or the first stopper 33 is provided with a first abutting member 36, and the first supporting member 29 has a first abutting member 36. The second abutting member 37 may be provided on the portion that abuts the two stoppers 35 or on the second stopper 35.

［第六実施形態］
図１２に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｅを示す。この把持デバイス５ｅは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Sixth Embodiment]
FIG. 12 shows a gripping device 5e according to the processing apparatus of yet another embodiment of the present invention. The gripping device 5e is used in place of the gripping device 5 of the processing device of FIG. 1 to configure a processing device of an embodiment different from that of FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｅは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of gripping devices 5e grip the outer edge of the flexible printed circuit board P to roughly hold the position of the flexible printed circuit board P in the normal direction at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

把持デバイス５ｅは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｂと、把持部１２ｂを支持する支持部１３ｅとを備えている。把持デバイス５ｅの支持部１３ｅは、支持する把持部１２ｂに対して２自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｅにおいて、把持部１２ｂは、支持部１３ｅによって２方向に首振り可能に支持されている。なお、図１２の把持デバイス５ｅの把持部１２ｂの構成は、図７の把持デバイス５ｂの把持部１２ｂの構成と同様とすることができる。このため、図１２の把持デバイス５ｅの把持部１２ｂの構成要素には、図７の把持デバイス５ｂの構成要素と同じ符号を付して重複する説明を省略する。 The grip device 5e includes a grip portion 12b that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P and a support portion 13e that supports the grip portion 12b. The supporting portion 13e of the gripping device 5e has a swinging mechanism that is a passive movement mechanism having two degrees of freedom with respect to the gripping portion 12b that it supports. That is, in the gripping device 5e, the gripping part 12b is supported by the support part 13e so as to be swingable in two directions. The configuration of the grip portion 12b of the grip device 5e in FIG. 12 can be the same as the configuration of the grip portion 12b of the grip device 5b in FIG. 7. Therefore, the constituent elements of the grip portion 12b of the grip device 5e of FIG. 12 are denoted by the same reference numerals as the constituent elements of the grip device 5b of FIG. 7, and redundant description will be omitted.

（支持部）
支持部１３ｅは、首振り機構として、第１支持軸２８を中心に回動可能に把持部１２ｂのクランプベース１４ｂを支持する第１支持部材２９ｅと、第２支持軸３０を中心に回動可能に前記第１支持部材２９ｅを支持する第２支持部材３１ｅとを有する。 (Support part)
The support portion 13e is rotatable about a first support shaft 28 as a swinging mechanism, and a first support member 29e for supporting the clamp base 14b of the grip portion 12b and a second support shaft 30. And a second support member 31e for supporting the first support member 29e.

第１支持軸２８は、把持部１２ｂが把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。また、第２支持軸３０は、フレキシブルプリント基板Ｐと平行かつ第１支持軸３０と垂直になるよう配設される。つまり、支持部１３ｅの首振り機構による把持部１２ｂの首振りは、互いに直交する２方向の首振り動作である。 The first support shaft 28 is arranged so as to be parallel to the side edge of the flexible printed board P gripped by the grip portion 12b. The second support shaft 30 is arranged so as to be parallel to the flexible printed board P and perpendicular to the first support shaft 30. That is, the swinging of the gripping portion 12b by the swinging mechanism of the support portion 13e is a swinging operation in two directions orthogonal to each other.

また、支持部１３ｅは、把持部１２ｂを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、クランプベース１４ｂの第１支持軸２８に垂直な方向に開口するよう形成される第１凹部３８に第１ばね３９によって第１係合片４０を押圧すると共に、第１支持部材２９ｅの第２支持軸３０に垂直な方向に開口するよう形成される第２凹部４１に第２ばね４２によって第２係合片４３を押圧する構成とすることができる。 In addition, the support portion 13e further includes a restoration mechanism that automatically returns the grip portion 12b to the initial position. As the restoration mechanism, as shown in the figure, the first engaging piece 40 is pressed by the first spring 39 into the first recess 38 formed so as to open in the direction perpendicular to the first support shaft 28 of the clamp base 14b. At the same time, the second engagement piece 43 can be pressed by the second spring 42 into the second recess 41 formed so as to open in the direction perpendicular to the second support shaft 30 of the first support member 29e.

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。 [Other Embodiments]
The above embodiment does not limit the configuration of the present invention. Therefore, in the above-described embodiment, it is possible to omit, replace, or add the constituent elements of each part of the embodiment based on the description and technical common sense of the present specification, and all of them are construed as belonging to the scope of the present invention. Should be.

当該処理装置の支持部は、把持部を３自由度以上の自由度で支持するよう構成されてもよい。 The support part of the processing apparatus may be configured to support the grip part with three or more degrees of freedom.

当該処理装置において、復原機構は省略してもよい。 In the processing apparatus, the restoration mechanism may be omitted.

当該処理装置は、電気検査ヘッドを用いる電気検査以外の例えば光学センサを用いる検査等を行う検査装置であってもよく、穿孔以外の例えばレーザー加工等を行う加工装置であってもよい。また、電気検査装置の実施形態の把持デバイスの構成を加工装置に適用してもよく、加工装置の実施形態の把持デバイスの構成を検査装置に適用してもよい。 The processing device may be an inspection device other than the electric inspection using the electric inspection head, such as an inspection using an optical sensor, or a processing device other than the perforation such as laser processing. Further, the configuration of the gripping device of the embodiment of the electrical inspection apparatus may be applied to the processing apparatus, and the configuration of the gripping device of the embodiment of the processing apparatus may be applied to the inspection apparatus.

本発明に係る電気検査装置は、可撓性を有し、反りやうねりを生じ得るプリント基板の電気検査に好適に利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The electrical inspection device according to the present invention has flexibility and can be suitably used for electrical inspection of a printed circuit board that may cause warping or undulation.

１ 第１電気検査ヘッド
２ 第２電気検査ヘッド
３ 第１駆動機構
４ 第２駆動機構
５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ 把持デバイス
６ 第１カメラ
７ 第２カメラ
８ コントローラー
９ プローブ
１０ ガイドプレート
１１ 当接面
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ 把持部
１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ 支持部
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ クランプベース
１５ クランプアーム
１６ アクチュエーター
１７ 支持軸
１８，１８ａ ばね
１９ ストッパー
２０ 当接部材
２１ ダイ
２２ パンチ
２３ パンチ孔
２４ リニアガイド
２５ 凹部
２６ ばね
２７ 係合片
２８ 第１支持軸
２９，２９ｅ 第１支持部材
３０ 第２支持軸
３１，３１ｅ 第２支持部材
３２ 第１ばね
３３ 第１ストッパー
３４ 第２ばね
３５ 第２ストッパー
３６ 第１当接部材
３７ 第２当接部材
３８ 第１凹部
３９ 第１ばね
４０ 第１係合片
４１ 第２凹部
４２ 第２ばね
４３ 第２係合片
Ｐ，Ｐａ フレキシブルプリント基板 1 1st electrical inspection head 2 2nd electrical inspection head 3 1st drive mechanism 4 2nd drive mechanism 5, 5a, 5b, 5c, 5d, 5e Grasping device 6 1st camera 7 2nd camera 8 Controller 9 Probe 10 Guide plate 11 abutment surfaces 12, 12a, 12b, 12c gripping parts 13, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e support parts 14, 14a, 14b, 14c clamp base 15 clamp arm 16 actuator 17 support shaft 18, 18a spring 19 stopper 20 Contact member 21 Die 22 Punch 23 Punch hole 24 Linear guide 25 Recess 26 Spring 27 Engagement piece 28 First support shaft 29, 29e First support member 30 Second support shaft 31, 31e Second support member 32 First spring 33 1st stopper 34 2nd spring 35 2nd stopper 36 1st contact member 37 2nd contact member 38 1st recessed part 39 1st spring 40 1st engagement piece 41 2nd recessed part 42 2nd spring 43 2nd engagement One side P, Pa Flexible printed circuit board

Claims (5)

検査対象又は加工対象である板状のフレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、
前記各把持部を支持し、支持する把持部に対して１自由度以上の受動的な首振り機構を有する支持部と
を備え、
前記フレキシブルワークの表面に当接するよう移動可能に構成される検査ヘッド又は加工ヘッドをさらに備えることを特徴とする処理装置。 A plurality of gripping parts for gripping the outer edge of the plate-shaped flexible work to be inspected or processed,
A support portion that supports each of the grip portions, and that has a passive swing mechanism with one or more degrees of freedom with respect to the grip portion that is supported ,
The processing apparatus further comprising an inspection head or a processing head configured to be movable so as to come into contact with the surface of the flexible work . 前記支持部が前記フレキシブルワークをその表面と平行な軸中心に旋回させる首振り機構を有する請求項１に記載の処理装置。 The processing apparatus according to claim 1, wherein the support portion has a swing mechanism that swings the flexible work about an axis parallel to a surface thereof. 前記首振り機構が２自由度の運動機構である請求項２に記載の処理装置。 The processing device according to claim 2, wherein the swing mechanism is a movement mechanism having two degrees of freedom. 前記支持部が支持する把持部を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する請求項１、請求項２又は請求項３に記載の処理装置。 The processing apparatus according to claim 1, further comprising a restoration mechanism that automatically returns the gripping portion supported by the supporting portion to an initial position. 前記検査ヘッド又は加工ヘッドと前記フレキシブルワークとの当接面を前記フレキシブルワークの外縁の各把持位置の厚さ方向中心を含む平面よりも突出させることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の処理装置。 The contact surface between the inspection head or the processing head and the flexible work is projected from a plane including the center in the thickness direction of each gripping position of the outer edge of the flexible work . The processing device according to claim 1 .
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