JP6709457B2 - 被加工部材の加工方法及び加工装置 - Google Patents
被加工部材の加工方法及び加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6709457B2 JP6709457B2 JP2016105552A JP2016105552A JP6709457B2 JP 6709457 B2 JP6709457 B2 JP 6709457B2 JP 2016105552 A JP2016105552 A JP 2016105552A JP 2016105552 A JP2016105552 A JP 2016105552A JP 6709457 B2 JP6709457 B2 JP 6709457B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- processed
- inner table
- processing
- mounting surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
前記テーブルは、
被加工部材の載置面を有し、該載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、
前記内側テーブルの外側を取り囲んで設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体と、
前記外側筐体内であって、前記内側テーブルの吸引孔に挿通して設けられた複数の突没自在な昇降ピンと、を備え、
前記内側テーブルは、前記外側筐体と相対的に上下動自在に設けられ、前記被加工部材を載置するときは、上昇位置に位置し、前記吸引室内に負圧が作用したときは、下降位置まで下降するように構成され、
前記昇降ピンは、
弾性部材によって前記載置面に向けて付勢され、
前記内側テーブルが上昇位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの吸引孔内に位置し、
前記内側テーブルが下降位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの載置面より突出するようにした構成を採用する被加工部材の加工装置である。
前記被加工部材を内側テーブルに載置し、該内側テーブルの載置面に吸着力を発生させて前記被加工部材を吸着保持することで前記内側テーブルを下降位置に下降させて、昇降ピンを突出させることで、前記昇降ピンの少なくとも1本を被加工部材の開口内に挿入させ、前記被加工部材を吸着及び昇降ピンでテーブルに固定するようにした構成を採用する被加工部材の加工装置である。
前記テーブルを、被加工部材の載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、前記内側テーブルの外側を取り囲むように設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体とで形成すると共に前記内側テーブルの吸引孔に複数の突没自在な昇降ピンを挿通しておき、
前記内側テーブルの載置面に被加工部材を載置し、
前記吸引室を負圧にし、前記内側テーブルを下降位置まで下降させることで、前記被加工部材の吸着面と干渉しない位置の昇降ピンを前記載置面から突出可能にするようにした構成を採用する被加工部材の加工方法である。
S 非通気性シート
1 加工装置
2 機台
3 多関節ロボット
3a 先端軸
4 ツールチェンジャー
5 加工ユニット
5a 軸
6 ワイヤ
7 噴射ノズル
8 フレーム
9 ガイドプーリ
9a ガイドプーリ
9b ガイドプーリ
10 セル
11 セル壁
20 テーブル
21 内側テーブル
22 外側筐体
23 吸引孔
24 カバー
25 吸引アダプタ
26 ガイド部材
26a 弾性部材
27 ストッパ
28 昇降ピン
29 ガイド部材
29a 弾性部材
30 吸引室
Claims (7)
- 被加工部材をテーブル上に保持した状態で前記被加工部材を加工ユニットで加工する被加工部材の加工装置において、
前記テーブルは、
被加工部材の載置面を有し、該載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、
前記内側テーブルの外側を取り囲んで設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体と、
前記外側筐体内であって、前記内側テーブルの吸引孔に挿通して設けられた複数の突没自在な昇降ピンと、を備え、
前記内側テーブルは、前記外側筐体と相対的に上下動自在に設けられ、前記被加工部材を載置するときは、上昇位置に位置し、前記吸引室内に負圧が作用したときは、下降位置まで下降するように構成され、
前記昇降ピンは、
弾性部材によって前記載置面に向けて付勢され、
前記内側テーブルが上昇位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの吸引孔内に位置し、
前記内側テーブルが下降位置にあるときは、前記昇降ピンが前記内側テーブルの載置面より突出するように構成される被加工部材の加工装置。 - 前記加工ユニットは、移動自在なロボットアームの先端に設けられたワイヤソーである請求項1に記載の被加工部材の加工装置。
- 前記被加工部材は、少なくとも一面に複数の開口が形成され、
前記被加工部材を内側テーブルに載置し、該内側テーブルの載置面に吸着力を発生させて前記被加工部材を吸着保持することで前記内側テーブルを下降位置に下降させて、昇降ピンを突出させることで、前記昇降ピンの少なくとも1本を被加工部材の開口内に挿入させ、前記被加工部材を吸着及び昇降ピンでテーブルに固定するように構成した請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の被加工部材の加工装置。 - 前記被加工部材は、筒状のセルが集合して形成されるハニカムコア部材であり、前記ハニカムコア部材に非通気性部材を被せて前記テーブルの載置面に吸着力を発生させるように構成した請求項1または請求項2のいずれか1項に記載の被加工部材の加工装置。
- 前記昇降ピンは、弾性部材によって前記載置面に向けて付勢され、前記被加工部材の開口部と対応した昇降ピンのみがテーブルの載置面から突出するように構成した請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の被加工部材の加工装置。
- 被加工部材をテーブル上に保持し、前記被加工部材をテーブルに固定した状態で加工する被加工部材の加工方法において、
前記テーブルを、被加工部材の載置面に複数の吸引孔が設けられた内側テーブルと、前記内側テーブルの外側を取り囲むように設けられ、該内側テーブルが嵌合することによって吸引室を形成する外側筐体とで形成すると共に前記内側テーブルの吸引孔に複数の突没自在な昇降ピンを挿通しておき、
前記内側テーブルの載置面に被加工部材を載置し、
前記吸引室を負圧にし、前記内側テーブルを下降位置まで下降させることで、前記被加工部材の吸着面と干渉しない位置の昇降ピンを前記載置面から突出可能にするように構成した被加工部材の加工方法。 - 前記加工を移動自在なロボットアームの先端に設けたワイヤソーで行うように構成した請求項6に記載の被加工部材の加工方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016105552A JP6709457B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | 被加工部材の加工方法及び加工装置 |
PCT/JP2016/083941 WO2017086339A1 (ja) | 2015-11-16 | 2016-11-16 | ワイヤソー装置並びに被加工物の加工方法及び加工装置 |
EP16866340.9A EP3391994A4 (en) | 2015-11-16 | 2016-11-16 | WIRE SAW DEVICE, AND PROCESSING METHOD AND PROCESSING DEVICE FOR WORKPIECE |
US15/776,298 US20180326590A1 (en) | 2015-11-16 | 2016-11-16 | Wire saw device, and processing method and processing device for workpiece |
US17/353,084 US11504857B2 (en) | 2015-11-16 | 2021-06-21 | Wire saw device, and processing method and processing device for workpiece |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016105552A JP6709457B2 (ja) | 2016-05-26 | 2016-05-26 | 被加工部材の加工方法及び加工装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017209761A JP2017209761A (ja) | 2017-11-30 |
JP2017209761A5 JP2017209761A5 (ja) | 2019-04-18 |
JP6709457B2 true JP6709457B2 (ja) | 2020-06-17 |
Family
ID=60474314
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016105552A Active JP6709457B2 (ja) | 2015-11-16 | 2016-05-26 | 被加工部材の加工方法及び加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6709457B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113500508B (zh) * | 2021-06-29 | 2023-01-20 | 吉安职业技术学院 | 一种磨床的工件智能夹持*** |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5963437U (ja) * | 1982-10-19 | 1984-04-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体ウエハの吸着保持装置 |
JP2547395Y2 (ja) * | 1990-11-22 | 1997-09-10 | セイコー電子工業株式会社 | ダイヤルの表面加工装置 |
JPH0740236A (ja) * | 1993-07-26 | 1995-02-10 | Hitachi Ltd | 多層配線基板の平坦化加工方法 |
JPH10217239A (ja) * | 1996-12-02 | 1998-08-18 | Atsusato Kitamura | スライシング方法およびワイヤソー装置 |
US6279564B1 (en) * | 1997-07-07 | 2001-08-28 | John B. Hodsden | Rocking apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire |
JP4080401B2 (ja) * | 2003-09-05 | 2008-04-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP4178129B2 (ja) * | 2004-05-20 | 2008-11-12 | 日本ファステム株式会社 | ワイヤーソー切断装置および切断方法 |
JP4649307B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2011-03-09 | 株式会社東芝 | 機械式切断装置およびこの装置を用いた切断方法 |
KR101153196B1 (ko) * | 2005-10-04 | 2012-06-18 | 니혼쇼료쿠키카이 가부시키가이샤 | 초음파 트림장치 |
JP2014231099A (ja) * | 2013-05-28 | 2014-12-11 | 日立工機株式会社 | アタッチメント及び手持ち式ワイヤソー |
JP2014040001A (ja) * | 2013-11-26 | 2014-03-06 | Ihi Corp | ワーク加工装置とその制御方法 |
JP2015155119A (ja) * | 2014-02-20 | 2015-08-27 | 株式会社タカトリ | ワイヤソー及び切断加工方法 |
-
2016
- 2016-05-26 JP JP2016105552A patent/JP6709457B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017209761A (ja) | 2017-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11504857B2 (en) | Wire saw device, and processing method and processing device for workpiece | |
KR101969206B1 (ko) | 로봇 셀 | |
KR101933287B1 (ko) | 로봇 핸드, 로봇, 및 로봇 셀 | |
JP6615643B2 (ja) | 被加工部材の加工方法及び加工装置 | |
CN1648476A (zh) | 真空吸附式工具支架 | |
JP6709457B2 (ja) | 被加工部材の加工方法及び加工装置 | |
KR20160119066A (ko) | 워크 반전 지원 장치 및 이 장치를 구비한 로봇 셀 | |
TW202224839A (zh) | 輔助裝置 | |
JP5242348B2 (ja) | 加工装置 | |
CN114769893A (zh) | 一种带机器人输送的自动镭射雕刻机 | |
JP2017185588A (ja) | ワイヤソー装置 | |
JP2008087131A (ja) | 易削性被加工材の加工テーブルおよび固定方法ならびに加工テーブル用アタッチメント板 | |
JP2017185593A (ja) | ワイヤソー装置 | |
JP2022178891A (ja) | 補助装置 | |
JP6556040B2 (ja) | バイト切削装置 | |
JP5905179B1 (ja) | ワーク加工装置 | |
KR102353204B1 (ko) | 스크라이빙 장치 | |
CN216759098U (zh) | Cnc机台 | |
CN116276576A (zh) | 加工装置 | |
CN116262368A (zh) | 加工装置 | |
JP2023165444A (ja) | 補助装置 | |
JP2023171001A (ja) | 補助装置 | |
TW202227226A (zh) | 輔助裝置 | |
TW202227217A (zh) | 輔助裝置 | |
TW202247948A (zh) | 切削刀片更換裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190305 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190305 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200313 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200408 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200427 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6709457 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |