JP6700782B2 - 内面電子線照射装置 - Google Patents

Description

本発明は、容器などの滅菌対象物の内面を電子線の照射により滅菌する内面電子線照射装置に関するものである。

医療用または飲食品用の容器を取り扱う企業は、その容器の滅菌が不十分ゆえに医療の事故または食中毒を引き起こすと、社会からの信用が大きく失墜することになる。このため、これらの容器には、安全性が重要視される先進諸国で、特に内面の確実な滅菌が必要である。

現在では、容器の内面を確実に滅菌するための装置として、容器の内面に電子線を照射し得る内面電子線照射装置が採用されている。公知の内面電子線照射装置には、図１２に示すように、容器Ｖの開口部から挿入可能で電子線Ｅを出射窓４から出射し得る真空ノズル１０２を備えるものが広く知られている（例えば、特許文献１の図１参照）。この真空ノズル１０２の内部では、図示しない真空チャンバーに連通して真空にされているので、多くの電子を加速させてなる電子線Ｅが形成される。この電子線Ｅは、真空ノズル１０２の先端部に設けられた出射窓４から出射すると、大気に放出されて空気分子などに衝突し、その結果として、電子雲Ｃとなって広がる。この電子雲Ｃを容器Ｖ（上記特許文献１ではプリフォーム）の内面に接触させて、つまり電子線Ｅを容器Ｖの内面に照射して、容器Ｖの内面が滅菌される。

上記特許文献１では、電子雲Ｃの指向性を強めるために、図１３（上記特許文献の図２に相当）に示すように、図１２で示した真空ノズル１０２の先端部に更なる延長ノズル１０５を取りつけたものも開示されている。

特開２０１３−１５１３２７号公報

上記特許文献１の内面電子線照射装置により容器Ｖの内面を滅菌すると、その電子雲Ｃの形状から、電子線Ｅの照射が、図１２に示す場合だと容器Ｖの口部ｍに対して過剰になってしまい、図１３に示す場合だと容器Ｖの底部ｂに対して過剰になる一方で肩部ｓに対して不足してしまう。このように、電子線Ｅの照射が容器Ｖの内面に対して不均一であれば、滅菌の効率が悪くなるだけでなく、滅菌が不十分になるおそれもある。特に、滅菌対象物がバイアルや点眼容器など、真空ノズル１０２を開口部に辛うじて挿入可能な程度に小型で且つ肩部が張り出した所謂「いかり肩」の容器であれば、この問題は顕著になる。

そこで、本発明は、電子線の照射を滅菌対象物の内面に対してより均一にすることで、滅菌の効率を向上させ得るとともに、十分に滅菌し得る内面電子線照射装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、第１の発明に係る内面電子線照射装置は、開口部が形成された滅菌対象物の内面を電子線の照射により滅菌する内面電子線照射装置であって、
電子線を発生させる電子線発生器と、この電子線発生器を内部に配置した真空チャンバーと、上記電子線を真空チャンバーの外部に出射する出射窓と、出射窓から出射した電子線が広がってなる電子雲を導く延長ノズルとを備え、
上記延長ノズルが、上記電子雲を漏出させる漏出部を有し、
上記漏出部が、上記電子雲の一部を外部に放出する空間部分と、上記電子雲を内部に導く部材部分とからなり、
上記空間部分が、上記延長ノズルに形成された孔、スリットまたは網目であるものである。

また、第２の発明に係る内面電子線照射装置は、第１の発明に係る内面電子線照射装置における漏出部が、その周方向のいずれの幅も、出射窓側の端からその反対側の端までの範囲において、上記空間部分を含むよう構成されたものである。

さらに、第３の発明に係る内面電子線照射装置は、第１または第２の発明に係る内面電子線照射装置において、漏出部の周方向における空間部分と部材部分との面積比が、周方向に直交する方向で異なるものである。

加えて、第４の発明に係る内面電子線照射装置は、第１乃至第３のいずれかの発明に係る内面電子線照射装置における漏出部が、空間部分の全面積が部材部分の全面積よりも大きくなるように構成されたものである。

上記内面電子線照射装置によると、電子線の照射を滅菌対象物の内面に対してより均一にすることで、滅菌の効率を向上させることができるとともに、十分に滅菌することができる。

本発明の実施の形態に係る内面電子線照射装置を模式的に示す一部切欠側面図である。 本発明の実施例１に係る内面電子線照射装置の一部切欠側面図である。 同内面電子線照射装置の延長ノズル体を拡大して示す一部切欠側面図である。 本発明の実施例２に係る内面電子線照射装置の延長ノズル体を拡大して示す一部切欠側面図である。 本発明の実施例３に係る内面電子線照射装置の延長ノズル体を拡大して示す一部切欠側面図である。 本発明の実施例４に係る内面電子線照射装置の延長ノズル体におけるノズルを拡大して示す側面図である。 本発明の実施例５に係る内面電子線照射装置の延長ノズル体におけるノズルを拡大して示す側面図である。 本発明の実施例６に係る内面電子線照射装置の延長ノズル体におけるノズルを拡大して示す側面図である。 本発明の他の実施形態に係る内面電子線照射装置の一部切欠側面図である。 本発明のさらに他の実施形態に係る内面電子線照射装置の一部切欠側面図である。 同内面電子線照射装置の延長ノズル体を拡大して示す一部切欠側面図である。 従来の広く知られた内面電子線照射装置の真空ノズルを拡大して示す断面図である。 従来の内面電子線照射装置の真空ノズルおよび延長ノズルを拡大して示す断面図である。

以下、本発明の実施の形態に係る内面電子線照射装置について図面に基づき説明する。
この内面電子線照射装置は、開口部が形成された滅菌対象物の内面を電子線Ｅの照射により滅菌するする装置である。上記開口部が形成された滅菌対象物は、例えば、バイアルや点眼容器など、全体として小型で且つ肩部が張り出した所謂「いかり肩」の容器である。勿論、上記開口部が形成された滅菌対象物は、このような容器に限定されるものではなく、ペットボトルまたはプリフォーム体など、開口部が形成されて滅菌の対象となる物であればよい。以下では、簡単のために、上記開口部が形成された滅菌対象物をバイアルとして説明する。

図１に示すように、上記内面電子線照射装置１は、図１３に示す従来の内面電子線照射装置１００と同様に、内部が真空雰囲気の真空チャンバー２と、この真空チャンバー２の内部に配置された電子線発生器３と、上記真空チャンバー２に設けられて電子線発生器３からの電子線Ｅを当該真空チャンバー２の外部に出射する出射窓４と、この出射窓４からの出射した電子線Ｅが広がってなる電子雲Ｃを導く延長ノズル５とを備える。この延長ノズル５において、以下では、出射窓４側の端を根元といい、その反対側の端を先端といい、根元−先端の方向を軸方向という。

本発明の特徴として、上記延長ノズル５は、先端から軸方向における所定範囲Ｌで電子雲Ｃを漏出させる漏出部６を有する。ここで、本明細書での「電子雲Ｃを漏出させる」とは、電子雲Ｃの多くを内部に導きつつも、電子雲Ｃの一部を外部に放出することである。このため、上記漏出部６は、内部に導かれている電子雲Ｃの一部を外部に放出するための空間部分１０が所定パターンで形成されたものである。言い換えれば、上記漏出部６は、上記所定パターンで形成された空間部分１０と、この空間部分１０以外であり電子雲Ｃを内部に導くための部材部分９とからなる。したがって、上記延長ノズル５は、図１３に示す従来の延長ノズル５とは異なり、上記漏出部６により、上記電子雲Ｃを漏出させるもの、すなわち、指向性が適度に弱められた電子雲Ｃを放出するものである。なお、必須ではないが、上記延長ノズル５は、図１に示すように、根元近傍（延長ノズル５における上記所定範囲Ｌ以外）で電子雲Ｃの全てを内部に導く（外部に放出しない）非漏出部７を有してもよい。上記延長ノズル５は、根元側の非漏出部７と先端側の漏出部６との組み合わせにより、バイアルＶの首部ｎに対して電子線Ｅの照射が過剰になるのを防ぐとともに、上記従来の延長ノズル５ほどではないが、ある程度の指向性がある電子雲Ｃを放出するものとなる。上記非漏出部７の有無、および非漏出部７と漏出部６との範囲の割合は、滅菌の対象となるバイアルＶの形状などにより、滅菌に適したものが採用される。

次に、上記内面電子線照射装置１の使用方法および作用について説明する。
まず、出射窓４から電子線Ｅを出射しない状態で、延長ノズル５の先端をバイアルＶの開口部へ向けた後、バイアルＶの開口部に延長ノズル５の漏出部６が挿入されるまで、バイアルＶおよび／または内面電子線照射装置１を軸方向に移動させる。

その後、図示しない電力供給器で供給された電力などにより電子線発生器３から多数の電子を発生させる。これら多数の電子が真空チャンバー２の内部で加速されて出射窓４に向かう電子線Ｅとなり、この電子線Ｅは出射窓４から延長ノズル５の内部である大気雰囲気に出射する。この出射窓４から延長ノズル５の内部に出射した電子線Ｅは、空気分子などに衝突し、その結果として、延長ノズル５の内部で広がって電子雲Ｃになる。延長ノズル５が非漏出部７を有する場合は、電子雲Ｃが非漏出部７を介して漏出部６に導かれ、延長ノズル５が非漏出部７を有しない場合は、電子雲Ｃが直に漏出部６に導かれる。そして、漏出部６では、電子雲Ｃの一部が外部に放出されることで、電子雲Ｃの指向性が適度に弱められる。したがって、延長ノズル５からの電子雲Ｃは、指向性が適度に弱められることにより、バイアルＶの滅菌に適する状態になる。

このような電子雲ＣがバイアルＶの内面に接触することにより、すなわち、電子線ＥがバイアルＶの内面に対して照射されることにより、バイアルＶの内面が滅菌される。なお、電子線ＥがバイアルＶの内面に対して照射されている際に、バイアルＶおよび／または内面電子線照射装置１を軸方向に移動させてもよく、停止させたままでもよい。

バイアルＶの内面が滅菌された後は、電子線発生器３からの電子の発生を中断し、バイアルＶの開口部から延長ノズル５が完全に除去されるまで、バイアルＶおよび／または内面電子線照射装置１を軸方向に移動させる。

なお、バイアルＶの開口部に延長ノズル５の漏出部６を挿入する際には、上述したように電子線Ｅを出射しない状態に限られず、電子線Ｅを出射したままの状態であってもよい。

このように、上記内面電子線照射装置１によると、電子雲ＣがバイアルＶ（開口部が形成された滅菌対象物の一例）の滅菌に適する状態になるので、電子線Ｅの照射が滅菌対象物の内面に対してより均一になり、その結果として、滅菌の効率を向上させることができるとともに、十分に滅菌することができる。

以下、上記実施の形態をより具体的に示した実施例１に係る内面電子線照射装置１について図面に基づき説明する。
図２に示すように、上記内面電子線照射装置１は、内部を真空雰囲気にする機器として、必要により冷却機構（図示省略）が設けられた真空チャンバー２と、この真空チャンバー２を封止する台座２１とを備える。この台座２１は、真空チャンバー２を他の機器などに設置するためのものである。また、上記台座２１は、真空チャンバー２の内部からの電子線Ｅを通過させるための貫通した貫通孔２２が形成されている。この貫通孔２２には、その内面に沿って配置されて真空チャンバー２の反対側に台座２１から突出した筒体２３が設けられている。この筒体２３における台座２１から突出した側の端部には、チタン箔などからなる出射窓４が設けられている。上記真空チャンバー２と台座２１との接続は気密にされ、上記台座２１の貫通孔２２と筒体２３との接続は気密にされ、上記筒体２３と出射窓４との接続は気密にされているので、上記内面電子線照射装置１を構成する上記真空チャンバー２、台座２１、筒体２３および出射窓４により、内部の真空雰囲気が維持される。

上記内面電子線照射装置１は、電子線Ｅを発生させる機器として、上記真空チャンバー２の内部に配置された電子線発生器３と、この電子線発生器３に電力を供給する電力供給器８とを備える。上記電子線発生器３は、上記電力供給器８からの電力の接続端子となる高圧端子３１と、この高圧端子３１に接続されたハウジング３２と、上記高圧端子３１からハウジング３２の内部にまで延びて上記電力により電子を発生させるフィラメント３４とを有する。上記フィラメント３４から発生した電子からなる電子線Ｅを適切な形状で上記出射窓４に導くために、上記ハウジング３２には電子線通過孔３３が形成されている。

上記内面電子線照射装置１は、電子雲ＣをバイアルＶの滅菌に適した状態にするために、上記台座２１における筒体２３が突出した側に着脱自在な延長ノズル体５０を備える。この延長ノズル体５０は、上記筒体２３の突出した部分および出射窓４を収容して台座２１に接し得る接続板５１と、上記台座２１と接続板５１とを螺合するネジ５４と、上記接続板５１から台座２１の反対側に延びて上記出射窓４からの電子雲Ｃを導くノズル５５とを有する。

以下、本発明の要旨である上記延長ノズル体５０の構成について図３に基づき詳細に説明する。なお、図３では、電子線Ｅ、電子雲ＣおよびバイアルＶを省略して示す。
図３に示すように、上記接続板５１は、上記筒体２３の突出した部分および出射窓４を収容するための貫通した収容孔５２が中央に形成されている。この収容孔５２は、ノズル５５の内部と連通し、収容した筒体２３の内径がノズル５５の内径と同一となるように形成されている。また、上記接続板５１には、上記ネジ５４をノズル５５側から台座２１側にネジ５４を通過させるためのネジ孔５３が、上記収容孔５２を中心とする円上に等ピッチで複数（例えば、図１〜図３では２つを示す）形成されている。

図３に示すように、上記ネジ５４は、接続板５１を台座２１に螺合するのに十分な長さを有する。一方で、台座２１においてネジ５４が螺合される部分には、タップが形成されている。

上記ノズル５５は、その内部が上記収容孔５２に連通する位置で接続板５１に接合された長筒部５６と、この長筒部５６の先端を塞ぐように配置された蓋部５８とを有する。上記長筒部５６には、上記先端から軸方向における所定範囲Ｌで、内部に案内される電子雲Ｃの一部を外部に放出するための丸孔１１が所定パターンで多数形成されている。上記長筒部５６において、上記先端から軸方向における所定範囲Ｌ、すなわち、丸孔１１が所定パターンで多数形成されている範囲が、漏出部６である。上記丸孔１１が上記実施の形態における空間部分１０に相当し、上記漏出部６における丸孔１１（空間部分１０）以外が部材部分９に相当する。上記丸孔１１は、図２および図３だと真円の形状を示しているが、楕円の形状であってもよい。この漏出部６は、正確に説明すると、上記ノズル５５の先端から、最も根元側の丸孔１１における根元側までの範囲である。なお、非漏出部７は、上記長筒部５６における漏出部６以外の部分と、接続部に形成された収容孔５２における出射窓４から先端側との範囲である。

上記ノズル５５の長筒部５６に多数形成された丸孔１１の所定パターンは、次の通りである。長筒部５６に多数形成された丸孔１１は、周方向で当ピッチにされるとともに、軸方向でも当ピッチにされる。また、上記漏出部６は、周方向のいずれの幅ｗであっても軸方向の全範囲において、丸孔１１を必ず含むＩようにされる。これは、上記部材部分９により電子雲Ｃの放出が所定箇所で遮られても、すなわち、上記部材部分９により電子線Ｅの照射が所定箇所で不十分になっても、バイアルＶの開口部に挿入されたノズル５５（具体的には漏出部６）および／またはバイアルＶを軸方向に動かすことで、このような所定箇所への電子線Ｅの照射が補われるからである。これにより、電子線Ｅの照射がバイアルＶの内面に対して非常に均一になる。

上記多数の丸孔１１は、図２および図３には全て同一の大きさで示しているが、根元側ほど大きくてもよい。また、上記多数の丸孔１１は、図２および図３に示すように等ピッチとして説明したが、根元側ほどピッチが小さくてもよい。このような丸孔１１の大きさおよびピッチは、丸孔１１による電子雲Ｃが放出される程度を根元側ほど大きくする。これにより、先端側ほど放出される程度が大きくなりがちであった電子雲Ｃが、根元側でも十分に放出されるので、バイアルＶの滅菌により適するようになる。

また、上記漏出部６において、丸孔１１（空間部分１０）の全面積が丸孔１１以外（部材部分９）の全面積よりも大きくてもよい。これにより、十分な電子雲Ｃが長筒部５６の外部に放出されるので、バイアルＶの滅菌により適するようになる。

このように、本実施例１に係る内面電子線照射装置１によると、上記実施の形態で説明した効果に加えて、電子線Ｅの照射が滅菌対象物の内面に対して非常に均一になるので、滅菌の効率を向上させることができるとともに、十分に滅菌することができる。

上記実施例１と本実施例２に係る内面電子線照射装置１では、漏出部６のみが異なる。上記実施例１に係る漏出部６は、長筒部５６に丸孔１１が所定パターンで多数形成されたものであるのに対し、図４に示すように、本実施例２に係る漏出部６は、長筒部５６に軸方向のスリット１２が所定パターンで複数形成されたものである。このため、上記スリット１２が上記実施の形態に係る空間部分１０に相当し、漏出部６におけるスリット１２（空間部分１０）以外が部材部分９に相当する。

以下、本実施例２に係る内面電子線照射装置１について図４に基づき説明するが、上記実施例１と異なる漏出部６に着目して説明するとともに、上記実施例１と同一の構成については、同一符号を付してその説明を省略する。

上記ノズル５５の長筒部５６に複数形成されたスリット１２の所定パターンは、次の通りである。長筒部５６に複数形成されたスリット１２は、上記先端からそれぞれ切り込まれた形状であり、周方向に当ピッチである。また、上記スリット１２は、根元側ほど周方向の幅が大きくされる。すなわち、上記漏出部６、出射窓４側ほど空間部分１０（スリット１２）の面積が大きくなるように構成されたものである。これにより、先端側ほど放出される程度が大きくなりがちであった電子雲Ｃが、根元側でも十分に放出される。なお、図４に示す構成は、漏出部６の周方向における空間部分１０（スリット１２）と部材部分９との面積比が、軸方向（周方向に直交する方向）で異なる場合の一例である。

このように、本実施例２に係る内面電子線照射装置１によると、上記実施の形態で説明した効果に加えて、電子雲Ｃが根元側でも十分に放出されるので、バイアルＶの滅菌により適するようになり、結果として、滅菌の効率を向上させることができるとともに、十分に滅菌することができる。

上記実施例１および実施例２と本実施例３に係る内面電子線照射装置１とは、漏出部６のみが異なる。上記実施例１または実施例２に係る漏出部６は、長筒部５６に丸孔１１または軸方向のスリット１２が所定パターンで複数形成されたものであるのに対し、図５に示すように、本実施例３に係る漏出部６は、長筒部５６がメッシュ５７で構成されたものである。

以下、本実施例３に係る内面電子線照射装置１について図５に基づき説明するが、上記実施例１および実施例２と異なる漏出部６に着目して説明するとともに、上記実施例１および実施例２と同一の構成については、同一符号を付してその説明を省略する。

上記漏出部６を構成するメッシュ５７は、線材９を網状に編み込んだものであるから、線材９の間となる網目１３と、軸方向および周方向の線材９とからなる。このため、上記網目１３が上記実施の形態に係る空間部分１０に相当し、上記線材９が部材部分９に相当する。

また、上記漏出部６において、網目１３（空間部分１０）の全面積が線材９（部材部分９）の全面積よりも大きい。これにより、十分な電子雲Ｃが長筒部５６の外部に放出されるので、バイアルＶの滅菌により適するようになる。

このように、本実施例３に係る内面電子線照射装置１によると、上記実施の形態で説明した効果に加えて、十分な電子雲Ｃが長筒部５６の外部に放出されるので、よりバイアルＶの滅菌により適するようになり、結果として、滅菌の効率を向上させることができるとともに、十分に滅菌することができる。

［実施例４〜６］
上述した主要な実施例である実施例１〜３以外にも、図６〜図８に示すような実施例４〜６がある。これら実施例４〜６は、上記実施例１〜３と漏出部６のみが異なるものである。

図６に示す本実施例４の漏出部６は、上記実施例１での丸孔１１を三角孔１４にしたものである。図７に示す本実施例５の漏出部６は、上記実施例２での軸方向のスリット１２を周方向に傾斜させたものである。図８に示す本実施例３の漏出部６は、上記実施例２での軸方向のスリット１２を軸方向ではなく周方向にしたものである。これら実施例４〜６は、バイアルＶの形状に応じて適切なものが採用される。

実施例１〜６に係る延長ノズル体５０は、上述したようにネジ５４により台座２１に着脱自在であるから、バイアルＶの形状に応じて適切なものが台座２１に装着されて使用される。

ところで、上記実施の形態および実施例１〜６では、蓋部５８について詳細に説明しなかったが、長筒部５６の先端部を完全に塞ぐものでもよく、孔５９が形成されることにより、またはメッシュ５７で構成されることにより、電子雲Ｃを漏出させるものでもよい。図３に示すような蓋部５８の孔５９は、バイアルＶの底部ｂに対する電子線Ｅの所望する照射に応じて適切な大きさおよびパターンが採用される。また、バイアルＶの底部ｂに対する電子線Ｅの十分な照射が必要であれば、蓋部５８を有しない構成でもよい。

また、上記実施の形態および実施例１〜６では、一つのバイアルＶの内面を滅菌する内面電子線照射装置１について説明したが、図９に示すように、複数のバイアルＶの内面を同時に内面電子線照射装置６０し得る装置でもよい。この内面電子線照射装置６０では、台座２１に形成される貫通孔２２（図示省略）、この貫通孔２２の内面に沿って配置される筒体２３（図示省略）、この筒体２３に設けられる出射窓４（図示省略）、並びに延長ノズル体５０の収容孔５２（図示省略）およびノズル５５が、上記実施例１〜６のように１つではなく複数である。また、電子線発生器３は、真空チャンバー２の内部における電子線Ｅが全てのノズル５５に到達するように構成され、漏出部６は、上記実施例１〜６の任意のものが採用される。図９に示す構成により、上記実施例１〜６で説明した効果に加えて、複数のバイアルＶの内面を同時に滅菌するので、滅菌の効率を極めて向上させることができる。

さらに、上記実施の形態および実施例１〜６では、延長ノズル５およびノズル５５の横断形状について説明しなかったが、特に限定されるものではなく、円状または角状のいずれであってもよく、好ましくはバイアルＶの横断形状に合わせたものが採用される。

加えて、上記実施の形態および実施例１〜６では、延長ノズル５およびノズル５５が軸方向で同じ幅として図示したが、バイアルＶの底部ｂに対する電子線Ｅの所望する照射に応じて、先端側ほど絞ってもよく、または逆に先端側ほど広げてもよい。

また、上記実施例１〜６では、延長ノズル体５０がネジ５４により台座２１に着脱自在として説明したが、ネジ５４以外の他の手段により着脱自在であってもよく、着脱自在でなくてもよい。

また、上記実施例１〜６では、収容孔５２の内径が軸方向で一定と図示したが、これに限定されるものではない。例えば、収容孔５２は、図１０および図１１に示すように、収容した上記筒体２３の突出した部分および出射窓４を安定させるために、台座２１側からノズル５５側にかけて縮径５２ｓしている。しかし、この縮径５２ｓは、出射窓４からの電子雲Ｃを妨げない程度であることが好ましい。

また、上記実施例１〜６では、貫通孔２２に配置された筒体２３について説明したが、筒体２３がなく、貫通孔２２に出射窓４が直接設けられていてもよい。
また、上記実施例１〜６で説明した構成のうち、上記実施の形態で説明した構成以外については、任意の構成であり、適宜削除および変更することが可能である。

Ｅ 電子線
Ｃ 電子雲
Ｌ 所定範囲
Ｖ バイアル
１ 内面電子線照射装置
２ 真空チャンバー
３ 電子線発生器
４ 出射窓
５ 延長ノズル
６ 漏出部
７ 非漏出部
８ 電力供給器
９ 部材部分
１０ 空間部分
２１ 台座
２２ 貫通孔
２３ 筒体
３１ 高圧端子
３２ ハウジング
３３ 電子線通過孔
３４ フィラメント
５０ 延長ノズル体
５１ 接続板
５２ 収容孔
５５ ノズル
５６ 長筒部
５７ メッシュ
５８ 蓋部

Claims (4)

1. 開口部が形成された滅菌対象物の内面を電子線の照射により滅菌する内面電子線照射装置であって、
   電子線を発生させる電子線発生器と、この電子線発生器を内部に配置した真空チャンバーと、上記電子線を真空チャンバーの外部に出射する出射窓と、出射窓から出射した電子線が広がってなる電子雲を導く延長ノズルとを備え、
   上記延長ノズルが、上記電子雲を漏出させる漏出部を有し、
   上記漏出部が、上記電子雲の一部を外部に放出する空間部分と、上記電子雲を内部に導く部材部分とからなり、
   上記空間部分が、上記延長ノズルに形成された孔、スリットまたは網目であることを特徴とする内面電子線照射装置。
2. 漏出部が、その周方向のいずれの幅も、出射窓側の端からその反対側の端までの範囲において、上記空間部分を含むよう構成されたものであることを特徴とする請求項１に記載の内面電子線照射装置。
3. 漏出部の周方向における空間部分と部材部分との面積比が、周方向に直交する方向で異なることを特徴とする請求項１または２に記載の内面電子線照射装置。
4. 漏出部が、空間部分の全面積が部材部分の全面積よりも大きくなるように構成されたものであることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の内面電子線照射装置。