JP6692362B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
部品が分別回収されるため、部品が廃棄される場合に比較して、部品を有効に利用することができる。例えば、測定結果に基づき、部品が適正である場合と不適正である場合とで分別回収されるようにした場合において、適正である部品は回路基板への装着に用いることができる。また、不適正である部品に基づけば、不適正である原因を明らかにすることができる。
本発明に係る検査装置においては、保持台と一対の測定子との相対位置を変えることにより部品が分別回収されるのに対して、特許文献1に記載の検査装置においては、部品が保持台から導入口部7´に送られた後に、その導入口部7の回動角度を変えることにより分別回収されるのであり、本発明に係る検査装置における分別の態様と特許文献1に記載の検査装置における態様とは互いに異なる。
図1に示す装着機は、部品を回路基板に装着するものであり、装置本体2,回路基板搬送保持装置4,部品供給装置6,ヘッド移動装置8等を含む。
回路基板搬送保持装置4は、回路基板P(以下、基板Pと略称する)を水平な姿勢で搬送して保持するものであり、図1において、基板Pの搬送方向をx方向、基板Pの幅方向をy方向、基板Pの厚み方向をz方向とする。y方向、z方向は、それぞれ、装着機の前後方向、上下方向である。これら、x方向、y方向、z方向は互いに直交する。部品供給装置6は、基板Pに装着される電子部品(以下、部品と略称する)sを供給するものであり、複数のテープフィーダ14等を含む。ヘッド移動装置8は、装着ヘッド16を保持してx、y、z方向へ移動させるものであり、装着ヘッド16は、部品を吸着して保持する吸着ノズル18を有する。
部品sの電気的特性としては、L(インダクタンス)、C(キャパシタンス)、R(レジスタンス)、Z′(インピーダンス)等が該当し、検査装置22によってこれらのうちの1つ以上が測定される。
検査装置22は、図2〜4に示すように、(i)上記本体部29およびベース部30、(ii)部品sを保持可能な保持台32、(iii)固定子34および可動子36から成る一対の測定子37、(iv)保持台32を移動させる保持台移動装置40、(v)可動子36を固定子34に対して接近・離間させる可動子移動装置41、(vi)電気的特性を測定する測定部としてのLCR測定部42等を含む。本実施例において、部品sは、両端部に電極を有し、一対の測定子37によって把持可能なものとすることができる。部品sとしては、例えば、角チップと称するものが該当する。
部品載置部44は、導電性、耐摩耗性を有し、かつ、酸化が進み難い材料で製造されたものとすることができる。部品載置部44は、複数の導電性を有する部材を介してベース部30に電気的に接続されるが、ベース部30が接地されることにより、部品載置部44も接地される。本実施例においては、部品載置部44が載置部保持体46に当接し、かつ、締結部47によって固定されるとともに、載置部保持体46が本体部29にストッパ80(図4参照)を介して当接し、本体部29がベース部30に締結部31によって固定される。そして、載置部保持体46、ストッパ80、本体部29、ベース部30、締結部31、47等は導電性を有するものである。したがって、部品載置部44は接地(アース)されるのである。
このように、部品載置部44が導電性を有する材料で製造され、かつ、接地されることにより、部品載置部44に載置させられた部品sの除電を行うことができる。また、部品載置部44が、耐摩耗性を有する材料で製造されることにより、部品載置部44の摩耗を抑制し、耐久性を向上させることができる。さらに、酸化が進み難い材料、すなわち、金属の酸化被膜である不動態皮膜が形成され得る材料で製造されることにより、部品載置部44が錆び難くすることができる。錆が部品sに付き難くすること等ができ、部品sの電気的特性の測定精度の低下を抑制することができる。例えば、部品載置部44は、アルミニウム合金またはステンレス材料等によって製造されたものとすることができる。
載置部保持体46は、概して直方体状を成したものであり、x方向およびz方向に伸びたものである。載置部保持体46の下面46fは本体部29の上面29f付近に達する。
また、可動子36は、本実施例において、y方向(移動方向)に伸びた長手部材であり、後退端において可動子保持体56に保持される。さらに、対向面36fを含む先端部の後部は、先端部よりx方向にはみ出す部分を有さない形状を成す。その結果、保持台32と可動子36とは互いに相対移動可能とされ、保持台32は、V溝44の底部が可動子36の下方に位置する状態で、対向面36fの前方へ移動したり後方へ移動したりすることが可能である。
さらに、可動子36と固定子34とから成る一対の測定子37、LCR測定部42、図示を省略する電源装置等を含む電気回路58が形成される。これら固定子34と可動子36との間に電流が供給されるとともに流れた電流が検出され、これらの関係に基づいて部品sの電気的特性がLCR測定部42によって測定される。LCR測定部42は、L,C,Rを測定する測定部に限らず、L,C,R,Z´等の電気的特性を表す物理量の1つ以上を測定するものとすることができる。なお、図2の符号58a、bは、一対の測定子37の電気回路58への接続部である。
また、側板部52c、カバー用板部54のy方向の寸法は、後述する第1回収状態において、一対の対向面34f、36fの間の空間の大部分をx方向から覆い得る大きさとされる。
また、図4に示すように、可動子保持体56の固定子側にはストッパ82が設けられ、本体部29の固定子保持体55を保持する部分にはストッパ80が設けられる。ストッパ82は、可動子保持体56と保持台32(載置部保持体46)との接近限度を規定するものであり、ストッパ80は、固定子34(本体部29)と保持台32(載置部保持体46)との接近限度を規定するものである。
なお、図4に示すように、載置部保持体46の可動子36側の中間部には、y方向に凹んだ凹部46bが形成され、凹部46bの底部においてストッパ80と当接可能とされている。その結果、保持台32と可動子36との相対移動可能な距離が大きくされる。
本実施例において、ガイドロッド74〜77は、保持台移動装置40、可動子移動装置41に共有され、ストッパ80,82は保持台移動装置40の構成要素であると考えることができる。
エア通路60には、エアシリンダ64,70が接続される。また、エア通路60のエアシリンダ64,70の下流側の部分にはイオナイザ62が設けられる。イオナイザ62は、コロナ放電を生起させて空気をイオン化するものであり、対向面36fにイオン化された空気が供給され得る。
なお、電磁弁装置69,72の構造は、本実施例のそれに限らない。例えば、1つの3位置弁を含むものとしたり、複数の開閉弁を含むものとしたりすること等ができる。また、イオナイザ62を設けることは不可欠ではない。
なお、ベース部30、回収箱26、第1、第2の2つの回収通路28a、bは、ベース部30の回収箱26に対する上下方向の相対移動が許容される構造とされるのであり、例えば、上述のように、第1、第2の回収通路28a、bが回収箱26に対して相対移動可能に係合させられるようにしたり、第1、第2の回収通路28a、bを伸縮可能なものとしたりすること等ができる。
一方、ベース部30の第1貫通穴30aと第2貫通穴30bとの間の部分には、保持台32、可動子36の移動方向と直交する方向、すなわち、x方向に伸びた分離壁94が設けられる。分離壁94は、上方へいくにつれて厚み(y方向)が漸減させられるものであり、頂部94pは本体部29の上面29fと、載置部保持体46の下面46fとの間に達する。
また、分離壁94の前側面94fは、下方へ向かうにつれて第1貫通穴30aに近づく向きに傾斜し、後側面94rは、下方へ向かうにつれて第2貫通穴30bに近づく向きに傾斜する。そのため、分離壁94の前側面94fに落ちた部品sは第1貫通穴30a、第1回収通路28aを経て良好に第1収容部26aに収容され、分離壁94の後側面94rに落ちた部品sは第2貫通穴30b、第2回収通路28bを経て良好に第2収容部26bに収容される。
なお、本実施例において、分離壁94のx方向の長さは、本体部29の貫通穴29aとほぼ同じとされているが、少なくとも、第1、第2貫通穴30a、bより長ければよい。
なお、本実施例においては、制御装置100によって装着機全体が制御される場合について説明したが、基板搬送保持装置4、部品供給装置6、ヘッド移動装置8等がそれぞれ互いに個別の制御装置によって制御されるようにすることもできる。
段取り替えが行われる場合等、新たなテープフィーダ14のセット、テープフィーダ14の交換等が行われた場合等に、そのテープフィーダ14に保持された部品sの電気的特性が測定され、そのテープフィーダ14(または部品s)が適正なものであるか否かが検査される。また、その検査結果がディスプレイ116に表示される。不適正である場合には、テープフィーダ14が取り替えられる。また、適正であると判定された部品sは第1収容部26aに回収され、不適正であると判定された部品sは第2収容部26bに回収されるのであり、電気的特性が測定された後の部品sは、適正である場合と不適正である場合とで分別回収される。
検査装置22は、常には、図10(1)に示す初期状態にある。可動子36は可動子位置センサ118がON状態にあるスタート位置にあり、保持台32は保持台位置センサ120がON状態にある位置、すなわち、ストッパ80に当接した前進端位置にある。この状態において、保持台32の部品載置部44はアースされた状態にある。保持台32のV溝44cの上方に可動子36が存在せず、部品sを載置可能な状態にある。また、カバー部50は固定子34の両側(x方向に隔たって)に位置する。
ステップ1(以下、S1と略称する。他のステップについても同様とする)において、部品sの電気的特性の測定指令が出されたか否かが判定される。段取り替えが行われる場合等には電気的特性の測定指令が出される。測定指令が出されると、S2において、装着ヘッド16が移動させられ、例えば、新たに取り付けられたテープフィーダ14に保持された部品sが吸着ノズル18によってピックアップされて、保持台32のV溝44c上に載せられる。例えば、吸着ノズル18が下降させられ、部品sが開放されることにより、部品sがV溝44c上に載置させられたことがわかる。
L2=Ld−L1
本実施例においては、ストロークL2は設定値Lx以上の大きさとされていて(L2≧Lx)、部品載置部44が部品sから設定値Lx以上離間させられる。導電性を有する部材(部品載置部44)が電気的特性の測定時に部品sの近傍に位置すると静電誘導が起きたり、渦電流が生じたりする等、電気的特性を正確に検出することができない。それに対して、部品載置部44を部品sから設定値Lx以上離間させれば(部品載置部44と部品sとの最短距離が設定値Lx以上とすれば)、部品載置部44が部品sの近傍に位置することに起因して生じる電気的特性の測定誤差を小さくすることができる。このように、設定値Lxは、部品載置部44が部品sの電気的特性の測定に影響を及ぼし難い距離であり、予め実験等により取得された値である。この状態が測定状態である。
なお、保持台32の後退開始時から、保持台32がストロークL2後退するのに要する時間である後退時間Taが経過した後に、電磁弁装置69の制御により保持台32の位置が保持される。後退時間Taは、タイマ124によって計測される。
そして、電気的特性の測定に要する時間である測定時間が経過すると、S7が実行されるのであるが、測定時間は部品sの種類等によって決まる時間としても、一定の時間としてもよい。いずれにしても予め取得されて記憶されている。
適正である場合には、S8,9において、可動子36が後退させられ、保持台32が後退させられる。可動子36は、電磁弁装置72の制御により、スタート位置よりΔLf前方の位置{図12(a)参照}まで後退させられる。可動子36は、(測定状態における位置、すなわち、部品sを把持する位置)から(スタート位置よりΔLf前方の位置)まで後退するのに要する時間である後退時間Tfが経過した後に、停止させられる。保持台32は、電磁弁装置69の制御により、測定状態における位置から可動子36のストッパ82に当接する位置まで後退させられる。保持台の32のストロークは、(L1−ΔLf)であるため、保持台32がストローク(L1−ΔLf)後退するのに要する時間である後退時間Tbが経過した後に、ストッパ82に当接したとされて、停止させられる。なお、図12(a)において、スタート位置にある可動子36の対向面36fの位置を二点鎖線で示す。
可動子36の対向面36fが固定子34の対向面34fから離間することにより、これらの間に把持されていた部品sが開放される。また、可動子36の後退時には、エアシリンダ70のエア室70bがエア通路60に連通させられ、カバー用板部52,54は、それぞれ、一対の対向面34f、36fの間の空間のx方向の両側に位置する。さらに、図10(4)、図12(a)に示すように、保持台32は可動子36の対向面36fの後方に位置し、一対の対向面34f、36fの間は、第1貫通穴30aに連通させられる。
可動子36の後退に伴って、エア室70aから流出させられたエアが開口60aから噴出し、可動子36の対向面36fに斜め上方から供給される。エアは、主として対向面36fに当たった後、対向面36fに沿って下方へ流れる。そのため、仮に、対向面36fから部品sが落下せず、部分Rに付着していても、それを良好に落下させ、第1収容部26aに回収されるようにすることができる。また、対向面34f、36fから落下して保持台32の上に載った部品sは、保持台32の後退に伴う可動子36の対向面36fの前進により、第1貫通穴30aに落下させることができる。さらに、開口60aと対向面36fとの間がx方向からカバー部50によって覆われているため、エアの拡散を良好に抑制することができる。
可動子36の対向面36fは、分離壁94の頂部94pの前方に位置し、保持台32の載置部保持体46の前面46aが分離壁94の頂部94pの後方に位置する。そのため、対向面36fにエアが供給されることにより部品sが下方へ落とされても、その部品sが、分離壁94、載置部保持体46により対向面36fより後方の第2貫通穴30bに落ち難くされる。
可動子の対向面36fは、分離壁94の前側傾斜面94fの上方に位置する。そのため、下方へ落下した部品sは、分離壁94の前側傾斜面94f、第1貫通穴30aの傾斜した側面に沿って良好に第1収容部26aに収容されるようにすることができる。
この状態が第1回収状態であり、第1収容部選択状態でもある。本実施例においては、LCR測定プログラムのS8,9の実行により、第1回収状態とされるとともに第1収容部選択状態とされるのである。
次に、S13において、図11(5´)、図12(b)に示すように、可動子36が可動子位置センサ118がONになってから予め定められた後退時間Tcが経過するまで後退させられる。換言すれば、可動子36は、スタート位置よりΔLc後方まで後退させられ、対向面36fは、保持台32の後方の第2貫通穴30bの上方、すなわち、分離壁94の後方に位置する。そのため、一対の測定子37から放された部品sは、エアによりほぼ下方へ落下し、第2貫通穴30b、第2回収通路28bを経て第2収容部26bに収容される。
この場合において、保持台32は第1貫通穴30aの上方に位置するため、部品sが第1貫通穴30aに回収されることを良好に防止することができる。また、保持台32の載置部保持体46の下面46fは第1貫通穴30aのやや上方まで伸びたものである。そのため、対向面36fに当たったエアは載置部保持体46、分離壁94により前方へ流れ難くされる。載置部保持体46、分離壁94に当たったエアは後方へ流れ、部品sが第2収容部28bに良好に回収され得る。
この状態が第2回収状態である。本実施例においては、第2収容部選択状態とされた後に、第2回収状態とされる。
その後、S14において、可動子36が可動子位置センサ118がONになる(スタート位置)まで前進させられ、初期状態とされる。
S21において、当該部品sの電気的特性の測定値が取得され、S22において、次のJOBのJOB情報から対応する情報が読み込まれる。S23において、これらが比較され、一致するかどうかが判定される。一致する場合には部品sは適正なものであると判断され、不一致の場合には不適正なものであると判断される。いずれであっても、判定結果はディスプレイ116に表示される。仮に、不一致の場合には、適正なテープフィーダと交換される等の作業が行われる。
また、上記実施例においては、適否に基づいて部品sが分別回収されるようにしたが、部品sの電気的特性の測定値に基づいて分別回収されるようにすることができる。さらに、適否と測定値(例えば、抵抗値)との両方に基づいて分別回収されるようにすることもできる。
また、上記実施例においては、エア供給装置がエアシリンダ64,70の作動と連動してエアを供給するものであったが、エアシリンダ64,70の作動とは関係なく、エア源68から直接、対向面36fにエアが供給するものとすることができる。その場合には、第1回収状態、第2回収状態に達した時点で対向面36fにエアが供給されるようにすることもできる。
さらに、第1貫通穴30a、第2貫通穴30bのいずれか一方から選択的に吸引して部品sを吸い込むことができる。
また、部品sが不適正であると判断された場合と、適正であると判断された場合とで、初期状態を同じ状態とすることは不可欠ではなく、それぞれ、異なる状態から測定プログラムが実行されるようにすることもできる。初期状態における可動子、保持台の位置に応じて、ストロークが適宜決定されるようにすることができる。その場合には、S14のステップは不要となる。
さらに、適正である場合において、第1回収状態における可動子の位置を初期状態における可動子の位置とすることもできる。その場合には、S10のステップは不要となる。
また、S8,9を並行して実行したり、S10、11を並行して実行したりすること等もできる。
さらに、部品sが適正である場合に第1収容部26aに収容し、不適正である場合に第2収容部26bに収容されるようにすることは不可欠ではない。適正である場合に第2収容部26bに収容され、不適正である場合に第1収容部26aに収容されるようにすることもできる。
また、可動子位置センサ118、保持台位置センサ120は不可欠ではない。例えば、タイマ124による計測により電磁弁装置69,72を制御することもできる。また、エア供給装置も不可欠ではない等、本発明は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んだり、放したりする一対の測定子を備え、前記一対の測定子により前記部品の電気的特性を測定する測定部と、
前記一対の測定子と前記保持台とを相対移動させる相対移動装置と、
前記測定部による前記部品の前記電気的特性の測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記一対の測定子と前記保持台との相対位置を変えて、前記一対の測定子から放された部品を分別回収する分別回収装置と
を含むことを特徴とする検査装置。
部品は、例えば、電気的特性の測定値に基づいて分別回収されるようにしたり、測定結果に基づく適否の判断に基づいて分別回収されるようにしたりすること等ができる。
(2)当該検査装置が、前記相対移動装置による前記保持台と前記一対の測定子との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有する本体を含む(1)項に記載の検査装置。
本体は、第1貫通穴および第2貫通穴の少なくとも2つの貫通穴を含むものであり、3つ以上の貫通穴を含むものとすることもできる。
(3)当該検査装置が、前記本体の、前記第1貫通穴および前記第2貫通穴の間に設けられた分離壁を含む(2)項に記載の検査装置。
(4)当該検査装置が、前記一対の測定子から放された部品をそれぞれ収容する第1収容部および第2収容部と、前記第1収容部と前記第1貫通穴とを接続する第1回収通路と、前記第2収容部と前記第2貫通穴とを接続する第2回収通路とを含む(2)項または(3)項に記載の検査装置。
(5)前記第1貫通穴および第2貫通穴の各々の開口面積が、それぞれ、下方へ向かうにつれて小さくされた(2)項ないし(4)項のいずれか1つに記載の検査装置。
第1貫通穴、第2貫通穴の側面は傾斜面とされる。
前記相対移動制御装置が、前記測定結果に基づいて前記保持台移動装置を制御して、前記互いに離間させられた一対の測定子と前記保持台との相対位置を変える保持台移動制御部を含む(1)項ないし(5)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(7)当該検査装置が、前記相対移動装置による前記保持台と前記一対の測定子との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有する本体を含み、
前記保持台移動装置が、前記保持台を、前記本体の前記第1貫通穴および前記第2貫通穴の上方において移動させるものであり、
前記保持台移動制御部が、前記保持台移動装置を制御することにより、前記保持台を、前記第1貫通穴の上方から離れ前記第2貫通穴の上方に位置する第1位置と、前記第2貫通穴の上方から離れ前記第1貫通穴の上方に位置する第2位置とに変える第1収容部選択部を含む(6)項に記載の検査装置。
保持台1の第1位置において、第1貫通穴から部品が回収可能とされ、保持台の第2位置において、第2貫通穴から部品が回収可能とされる。
保持台が、第1貫通穴、第2貫通穴の各々の上方に位置するとは、ほぼ上方に位置するという意味であり、保持台の下面が第1貫通穴、第2貫通穴の各々の開口面のすべてを覆う位置に位置するとは限らない。例えば、第1貫通穴、第2貫通穴の各々の開口面の一部が保持台の下面から外れる場合があるのである。
(8)前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、
当該検査装置が、前記相対移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って互いに隔たって形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有する本体を含み、
前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記保持台が前記第2貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第1貫通穴側に位置する第1回収状態と、前記保持台が前記第1貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第2貫通穴側に位置する第2回収状態とに変える第1相対位置変更部を含む(1)項ないし(7)項のいずれか1つに記載の検査装置。
(9)当該検査装置が、互いに隔てて形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有する本体と、前記本体の、前記第1貫通穴と前記第2貫通穴との間に設けられた分離壁とを含み、
前記保持台移動装置が、前記保持台を、前記本体の前記第1貫通穴、前記第2貫通穴および前記分離壁の上方において移動させるものであり、
前記保持台移動制御部が、前記保持台移動装置を制御することにより、前記保持台を、前記分離壁の前記第2貫通穴側に位置する第3位置と、前記分離壁の前記第1貫通穴側に位置する第4位置とに変える第2収容部選択部を含む(6)項に記載の検査装置。
第1位置と第3位置とは同じ位置であっても異なる位置であってもよく、同様に、第2位置と第4位置とは同じ位置であっても異なる位置であってもよい。
(10)前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、
当該検査装置が、前記相対移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って互いに隔たって形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有する本体と、前記本体の、前記第1貫通穴と前記第2貫通穴との間に設けられた分離壁とを含み、
前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記保持台が前記分離壁より第2貫通穴側に位置し、前記可動子の前記対向面が前記分離壁より前記第1貫通穴側に位置する第3回収状態と、前記保持台が前記分離壁より前記第1貫通穴側に位置し、前記可動子の前記対向面が前記分離壁より前記第2貫通穴側に位置する第4回収状態とに変える第2相対位置変更部を含む(1)項ないし(7)項のいずれか1つに記載の検査装置。
第1回収状態および第3回収状態、第2回収状態および第4回収状態は、それぞれ、同じ状態であっても異なる状態であってもよい。
(11)前記相対移動装置が、前記可動子を移動させる可動子移動装置を含み、
前記相対位置変更部が、前記第2回収状態における前記可動子の位置を、前記第1回収状態における位置とは異なる位置とする可動子位置制御部を含む(8)項に記載の検査装置。
当該検査装置が、前記一対の測定子が離間させられる場合に、前記可動子の対向面にエアを供給するエア供給装置を含む(1)項ないし(11)項のいずれか1つに記載の検査装置。(13)当該検査装置が、可動子用シリンダを備え、その可動子用シリンダの作動により前記可動子を前記固定子に対して接近・離間させる可動子移動装置を含み、
前記エア供給装置が、前記可動子の前記固定子からの離間に伴って前記可動子用シリンダから流出させられるエアを前記可動子の対向面に供給する駆動源連動型供給部を含む(12)項に記載の検査装置。
Claims (10)
- 部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に設けられた検査装置であって、
本体と、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んだり、放したりする一対の測定子を備え、前記一対の測定子により前記部品の電気的特性を測定する測定部と、
前記一対の測定子と前記保持台とを相対移動させる相対移動装置と、
前記測定部による前記部品の前記電気的特性の測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記一対の測定子と前記保持台との相対位置を変えて、前記一対の測定子から放された部品を分別回収する分別回収装置と
を含み、
前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、
当該検査装置が、前記一対の測定子が離間させられる場合に、前記可動子の前記対向面にエアを供給するエア供給装置を含む検査装置。 - 前記本体が、前記相対移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有する請求項1に記載の検査装置。
- 前記相対移動装置が、前記保持台を移動させる保持台移動装置を含み、
前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記保持台移動装置を制御して、前記互いに離間させられた一対の測定子と前記保持台との相対位置を変える保持台移動制御部を含む請求項1または2に記載の検査装置。 - 前記本体が、互いに隔てて形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有し、
前記保持台移動装置が、前記保持台を、前記本体の前記第1貫通穴および前記第2貫通穴の上方において移動させるものであり、
前記保持台移動制御部が、前記保持台を、前記第1貫通穴の上方から離れ前記第2貫通穴の上方に位置する第1位置と、前記第2貫通穴の上方から離れ前記第1貫通穴の上方に位置する第2位置とに移動させる収容部選択部を含む請求項3に記載の検査装置。 - 部品供給装置によって供給された部品をピックアップして回路基板に装着する装着機に設けられた検査装置であって、
部品を保持可能な保持台と、
互いに接近・離間可能とされ、前記部品を挟んだり、放したりする一対の測定子を備え、前記一対の測定子により前記部品の電気的特性を測定する測定部と、
前記一対の測定子と前記保持台とを相対移動させる相対移動装置と、
前記測定部による前記部品の前記電気的特性の測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記一対の測定子と前記保持台との相対位置を変えて、前記一対の測定子から放された部品を分別回収する分別回収装置と
を含み、
前記相対移動装置が、前記保持台を移動させる保持台移動装置を含み、
当該検査装置が、前記保持台移動装置による前記一対の測定子と前記保持台との相対移動の方向に沿って、互いに隔てて形成された第1貫通穴および第2貫通穴を有する本体を含み、
前記一対の測定子が、前記本体に固定された固定子と、前記固定子に対して接近、離間可能な可動子とを含むとともに、前記固定子と前記可動子とが、それぞれ、前記部品を把持可能な対向面を含み、
前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記相対移動装置を制御することにより、前記保持台が前記第2貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第1貫通穴側に位置する第1回収状態と、前記保持台が前記第1貫通穴の上方に位置し、前記可動子の前記対向面が前記保持台より前記第2貫通穴側に位置する第2回収状態とに変える相対位置変更部を含む検査装置。 - 当該検査装置が、前記一対の測定子が離間させられる場合に、前記可動子の前記対向面にエアを供給するエア供給装置を含む請求項5に記載の検査装置。
- 前記分別回収装置が、前記測定結果に基づいて前記保持台移動装置を制御して、前記互いに離間させられた一対の測定子と前記保持台との相対位置を変える保持台移動制御部を含む請求項5または6に記載の検査装置。
- 前記保持台移動装置が、前記保持台を、前記本体の前記第1貫通穴および前記第2貫通穴の上方において移動させるものであり、
前記保持台移動制御部が、前記保持台を、前記第1貫通穴の上方から離れ前記第2貫通穴の上方に位置する第1位置と、前記第2貫通穴の上方から離れ前記第1貫通穴の上方に位置する第2位置とに移動させる収容部選択部を含む請求項7に記載の検査装置。 - 当該検査装置が、前記本体の、前記第1貫通穴および前記第2貫通穴の間に設けられた分離壁を含む請求項2,4,5ないし8のいずれか1つに記載の検査装置。
- 当該検査装置が、(a)前記一対の測定子から放された部品をそれぞれ収容する第1収容部および第2収容部と、(b)前記第1収容部と前記第1貫通穴とを接続する第1回収通路と、(c)前記第2収容部と前記第2貫通穴とを接続する第2回収通路とを含み、
前記第1貫通穴および前記第2貫通穴の各々の開口面積が、それぞれ、下方へ行くにつれて小さくされた請求項2,4,5ないし9のいずれか1つに記載の検査装置。
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