JP6687197B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
次に、本発明にかかる圧力センサの一実施の形態を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
Claims (4)
- 第1絶縁層と、
前記第1絶縁層上に積層される導電層と、
前記導電層上に積層され、厚み方向に貫通する第1の貫通孔および第2の貫通孔が形成される第2絶縁層と、
前記第1絶縁層の前記導電層に対向する面上の一部に配置される第1検出電極部と、
前記第2絶縁層の前記導電層に対向する面上の一部から前記第1の貫通孔を取り囲む壁面まで延在するように配置される第2検出電極部と、
前記第2絶縁層の前記第2の貫通孔を取り囲む壁面上に配置される引き出し電極部と、
を備え、
前記導電層は、
前記第1絶縁層との間に基準圧力空間を形成するとともに、前記第2絶縁層との間に前記第1の貫通孔と連通する測定圧力空間を形成することにより、他の部分に比べて厚みの薄いダイヤフラム部と、
平面的に見て前記第2の貫通孔に重なる位置であって、前記ダイヤフラム部とは離れた位置に配置され、厚み方向に貫通する環状の空間に取り囲まれるアイランド部と、を含み、
前記第1検出電極部は、前記アイランド部の前記第1絶縁層側の端部に接続され、
前記引き出し電極部は、前記アイランド部の前記第2絶縁層側の端部に接続される、圧力センサ。 - 前記基準圧力空間の圧力は、大気圧未満である、請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記導電層は、不純物が導入されることにより導電性が付与された珪素からなる、請求項1または請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記第1絶縁層および前記第2絶縁層は、ガラス基板からなる、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の圧力センサ。
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